JP2578868Y2 - 光路切換ユニット - Google Patents

光路切換ユニット

Info

Publication number
JP2578868Y2
JP2578868Y2 JP1991016461U JP1646191U JP2578868Y2 JP 2578868 Y2 JP2578868 Y2 JP 2578868Y2 JP 1991016461 U JP1991016461 U JP 1991016461U JP 1646191 U JP1646191 U JP 1646191U JP 2578868 Y2 JP2578868 Y2 JP 2578868Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
axis
pair
optical path
main surface
switching unit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP1991016461U
Other languages
English (en)
Other versions
JPH04107222U (ja
Inventor
哲 有賀
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP1991016461U priority Critical patent/JP2578868Y2/ja
Publication of JPH04107222U publication Critical patent/JPH04107222U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2578868Y2 publication Critical patent/JP2578868Y2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本考案は、レーザビームを入射ビ
ームとして受ける光路切換ユニットに関し、特に、入射
ビームの進路を、時分岐で、入射ビームの中心軸を含む
一平面内で切り換えて、一台のレーザ発振機からのレー
ザビームを前記平面内の互いに異なる多数の方向に導く
ための光路切換ユニットに関する。
【0002】
【従来の技術】従来の光路切換ユニットは、図4(a)
及び(b)に示すように、光ビーム5を反射する主面を
有する全反射ミラー1と、回転軸を有し回転軸をその軸
心4のまわりに所定角度(即ち、180度)ごとに回転
させるステッピングモータ3と、該回転軸に固定され、
前記主面が常に光ビーム5に対し45度に維持されるよ
うに、全反射ミラー1を保持するミラー保持部2とを有
している。
【0003】レーザビーム5は、全反射ミラー1によ
り、直角に曲げられる。ここで、全反射ミラー1を18
0度回転させることにより、レーザビーム5を左右方向
へ切り換えることが出来る。
【0004】切換光路数が、3光路以上になった場合
は、回転角を変えることにより、例えば90度ごとにす
れば、上下左右方向へ切り換えることが出来る。しか
し、この場合、反射後のレーザビームの処理が3次元処
理となり、複雑な処理となってしまう。
【0005】また図4(c)のように、ユニット数を増
やすことにより、切換光路数を増やすことが出来る。
【0006】図5(a)は別の従来の光路切換ユニット
である。この光路切換ユニットは、全反射ミラー1とミ
ラー保持部2と回転軸の軸心4が全反射ミラー1の主面
に対し垂直となり、主面がレーザビーム5に対して45
度となり、かつ、全反射ミラー1をレーザビーム5の光
路に出し入れ出来るように、配置されたロータリソレノ
イド53を有している。
【0007】レーザビーム5は、全反射ミラー1が光路
上に入ると、直角に曲げられ、光路から外れると直進す
る。切換光路数が、3光路以上になった場合は、図5
(b)のようにユニット数を増やすことにより、切換光
路数を増やすことが出来る。
【0008】図6(a)は別の従来の光路切換ユニット
である。この光路切換ユニットは、全反射ミラー1と、
ミラー保持部2と、移動軸64が全反射ミラー1の主面
に対して平行になり、主面がレーザビーム5に対して4
5度になり、かつ、全反射ミラー1をレーザビーム5の
光路上に出し入れ出来るように、配置したリニアソレノ
イド63を有している。
【0009】レーザビーム5は、全反射ミラー1が光路
上に入ると、直角に曲げられ、光路から外れると直進す
る。切換光路数が、3光路以上になった場合は、図6
(b)のようにユニット数を増やすことにより、切換光
路数を増やすことが出来る。
【0010】図7(a)は別の従来の光路切換ユニット
である。この光路切換ユニットは、全反射ミラー1と回
転軸を有するステッピングモータ3と、該回転軸に固定
され、該回転軸の軸心4が全反射ミラー1の主面に平行
になり、かつ、全反射ミラー1の主面の中心にレーザビ
ーム5が照射するように、全反射ミラー1を保持するス
テッピングモータ3とを有している。
【0011】ステッピングモータ3によって位置決めさ
れた全反射ミラー1の角度によって、レーザビーム5の
反射角度が決まる。しかし、この場合、レーザビーム5
に対して直角な方向×1及び×2以外の方向×3及び×
4においても、反射後のレーザビームを処理しなければ
ならないため、反射後のレーザビームの処理が複雑にな
る。
【0012】
【考案が解決しようとする課題】これらの従来の光路切
換ユニットでは、3光路以上は光路が増えるごとに、ユ
ニットを増やさなければならない、図4、図5、及び図
6のユニットの場合、切換光路数が増えるとユニットの
必要とするスペースが大きくなってしまうという欠点が
ある。
【0013】また、3光路以上の光路を、レーザビーム
の入射に対し、上下方向あるいは直角方向以外へ反射さ
せる図4及び図7のユニットでは、反射後のレーザビー
ムの処理が空間的に複雑になってしまうという欠点があ
る。
【0014】本考案の課題は、上記欠点を除去し、1つ
にユニットで、入射ビームの中心軸を含む一平面内にお
いて、入射ビームを直進ビームとして直進させたり、入
射ビームをそれに直角な2つの方向に反射させたりする
ことができる光路切換ユニットを提供することにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】本考案によれば、それぞ
れ主面を有する一対の反射ミラーと、回転軸を有し、該
回転軸をその軸心のまわりに90度ごとに回転させる回
転手段と、該回転軸に固定され、前記一対の反射ミラー
の前記主面を含む一対の平面が前記回転軸の軸心を含む
一平面に対してそれぞれ45度をなし、かつ、前記一対
の反射ミラーの前記主面が前記一平面に対して面対称を
なすように、前記一対の反射ミラーを保持するミラー保
持部とを有し、前記一対の反射ミラーは、第1の位置に
て前記一対の反射ミラーのうちの一方の反射ミラーの前
記主面によって入射光ビームを、その入射光ビームを含
みかつ前記回転軸の軸心に垂直な別の平面内において、
前記入射光ビームの直進方向に直角な第1の方向に反射
させ、前記第1の位置から前記回転手段によって前記回
転軸をその軸心のまわりに90度回転された第2の位置
にて前記入射光ビームを反射させることなく前記直進方
向に直進させ、前記第2の位置から前記回転手段によっ
て前記回転軸をその軸心のまわりに更に90度回転され
た第3の位置にて前記一対の反射ミラーのうちの他方の
反射ミラーの前記主面によって前記入射光ビームを前記
別の平面内において前記直進方向に直角でかつ前記第1
の方向と逆方向の第2の方向に反射させることを特徴と
する光路切換ユニットが得られる。
【0016】
【実施例】次に本考案の実施例について図面を参照して
説明する。
【0017】まず、図1を参照して、本考案のよりよき
理解のために、本考案の基となる光路切換ユニットにつ
いて説明する。図1の光路切換ユニットは、光ビーム5
を反射する主面を有する全反射ミラー1と、回転軸を有
し、該回転軸をその軸心4のまわりに所定角度(この場
合、90度)ごとに回転させるステッピングモータ3
と、該回転軸に固定され、前記主面と前記回転軸の軸心
4とが同一平面内に位置し、かつ、前記主面と前記回転
軸の軸心4とが該軸心4に垂直な方向において所定距離
だけ離れて位置するように、全反射ミラー1を保持する
ミラー保持部2とを、有する。
【0018】図1(a)において、全反射ミラー1がミ
ラー保持部2に取り付けられ、ステッピングモータ3に
より、回転軸4を中心に回転する。図1(a)より、9
0度回転したときが図1(b)であり、レーザビーム5
の進行方向は180度変えられる。さらに90度回軸す
ると全反射ミラー1はレーザ光路上から外れ、レーザビ
ーム5は直進する。つまり、1ユニットで左・右・直進
の3光路に切り換えることが可能である。
【0019】図2を参照すると、本考案の第1の実施例
による光路切換ユニットは、図1の光路切換ユニットに
おけるミラー保持部2に対し90度の方向にもう1つT
の字のミラー保持部22が追加してあり、そこに全反射
ミラーがもう1枚取り付けられている。そして図2
(d)のときに、図2(b)と同方向であるが、平行移
動した位置で反射するため、全部で4光路の切り換えが
可能である。
【0020】図3を参照すると、本考案の第2の実施例
による光路切換ユニットは、ハの字のミラー保持部32
に全反射ミラー1がハの字に取り付けられるようになっ
ている。詳細には、ミラー保持部3は、回転軸4に固定
され、一対の反射ミラー1の主面を含む一対の平面が回
転軸4の軸心を含む一平面に対してそれぞれ45度をな
し、かつ、一対の反射ミラー1の主面が前記一平面に対
して面対称をなすように、一対の反射ミラー1を保持し
ている。これにより、レーザビーム5は、図3(a)の
位置で、直角方向に反射し、90度回転して、図3
(b)の位置で直進し、さらに90度回転して、図3
(c)の位置で、図3(a)と180度反対の方向へ反
射する。
【0021】本実施例では、左右方向へ反射するレーザ
光路が同一線上に重なるという特徴を持つ。
【0022】
【考案の効果】以上説明したように本考案によれば、1
つのユニットで、入射ビームの中心軸を含む一平面内に
おいて、入射ビームを直進ビームとして直進させたり、
入射ビームをそれに直角な2つの方向に反射させたりす
ることができる光路切換ユニットが得られる。
【0023】本考案では、1つのユニットで、少なくと
も3光路の切り換えが可能であり、しかも、レーザビー
ムの入射に対し、直進方向及び直角方向に切り換えられ
るようになったので、省スペースかつ、切り換え後のレ
ーザビームの取り扱いが複雑にならないという効果を有
する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案の基となる光路切換ユニットを説明する
ための図である。
【図2】本考案の第1の実施例による光路切換ユニット
を説明するための図である。
【図3】本考案の第2の実施例による光路切換ユニット
を説明するための図である。
【図4】従来の光路切換ユニットを説明するための図で
ある。
【図5】もう一つの従来の光路切換ユニットを説明する
ための図である。
【図6】別の従来の光路切換ユニットを説明するための
図である。
【図7】他の従来の光路切換ユニットを説明するための
図である。
【符号の説明】
1 全反射ミラー 2 ミラー保持部 3 ステッピングモータ 4 回転軸の軸心 5 光ビーム

Claims (1)

    (57)【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 それぞれ主面を有する一対の反射ミラー
    と、回転軸を有し、該回転軸をその軸心のまわりに90
    度ごとに回転させる回転手段と、該回転軸に固定され、
    前記一対の反射ミラーの前記主面を含む一対の平面が前
    記回転軸の軸心を含む一平面に対してそれぞれ45度を
    なし、かつ、前記一対の反射ミラーの前記主面が前記一
    平面に対して面対称をなすように、前記一対の反射ミラ
    ーを保持するミラー保持部とを有し、前記一対の反射ミ
    ラーは、第1の位置にて前記一対の反射ミラーのうちの
    一方の反射ミラーの前記主面によって入射光ビームを、
    その入射光ビームを含みかつ前記回転軸の軸心に垂直な
    別の平面内において、前記入射光ビームの直進方向に直
    角な第1の方向に反射させ、前記第1の位置から前記回
    転手段によって前記回転軸をその軸心のまわりに90度
    回転された第2の位置にて前記入射光ビームを反射させ
    ることなく前記直進方向に直進させ、前記第2の位置か
    ら前記回転手段によって前記回転軸をその軸心のまわり
    に更に90度回転された第3の位置にて前記一対の反射
    ミラーのうちの他方の反射ミラーの前記主面によって前
    記入射光ビームを前記別の平面内において前記直進方向
    に直角でかつ前記第1の方向と逆方向の第2の方向に反
    射させることを特徴とする光路切換ユニット。
JP1991016461U 1991-02-28 1991-02-28 光路切換ユニット Expired - Lifetime JP2578868Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1991016461U JP2578868Y2 (ja) 1991-02-28 1991-02-28 光路切換ユニット

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1991016461U JP2578868Y2 (ja) 1991-02-28 1991-02-28 光路切換ユニット

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH04107222U JPH04107222U (ja) 1992-09-16
JP2578868Y2 true JP2578868Y2 (ja) 1998-08-20

Family

ID=31903472

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1991016461U Expired - Lifetime JP2578868Y2 (ja) 1991-02-28 1991-02-28 光路切換ユニット

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2578868Y2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005043217A1 (ja) * 2003-11-04 2005-05-12 Hamamatsu Photonics K.K. シャッタユニット及びそれを用いたレーザ加工装置

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS56164205U (ja) * 1980-05-08 1981-12-05
JPH0440211U (ja) * 1990-08-06 1992-04-06
JPH04165967A (ja) * 1990-10-30 1992-06-11 Sony Corp 光空間伝送装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005043217A1 (ja) * 2003-11-04 2005-05-12 Hamamatsu Photonics K.K. シャッタユニット及びそれを用いたレーザ加工装置
CN100432741C (zh) * 2003-11-04 2008-11-12 浜松光子学株式会社 快门单元及使用该快门单元的激光加工装置
US7626746B2 (en) 2003-11-04 2009-12-01 Hamamatsu Photonics K.K. Shutter unit and laser processing device using same

Also Published As

Publication number Publication date
JPH04107222U (ja) 1992-09-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2002062504A (ja) 特に2つの実質的に互いに直交する方向に光ビームを偏向するための光学装置
US4878720A (en) Device for deflecting a bundle of light rays
JP2603429B2 (ja) 追尾式レーザ干渉計
JP2578868Y2 (ja) 光路切換ユニット
GB2159015A (en) Detecting apparatus utilizing light beams
US4215912A (en) High speed scanning device for scanning the same area plural times by a beam deflected by a single deflecting surface
JPH0375846B2 (ja)
JP2002277812A (ja) レーザ走査方法並びに走査装置
JPH03127191A (ja) 光走査装置
KR940022119A (ko) 광학주사장치
CA2101420A1 (en) Scanning of moving objects using unique rotating polygon mounted on carousel which rotates at twice polygon's speed
JPH05228673A (ja) レ−ザ−加工装置
JPS5820410B2 (ja) 光学的走査装置
JPH063616A (ja) ポリゴンスキャナ
JP3327638B2 (ja) 回転型干渉計
JPS61156217A (ja) 光ビ−ム走査装置
JPH01280719A (ja) ビーム走査装置
JP2023013338A (ja) 三次元造形装置
JPS61217015A (ja) 光ビ−ム走査光学系
JPH07262304A (ja) 光走査読取装置及びその反射面
JPH0284611A (ja) 光偏向装置
JPS5820411B2 (ja) 光学的読取装置
JPS60164707A (ja) 回転型光結合接手
JPH01306813A (ja) 走査光の歪補正装置
JPS6091483A (ja) 光走査装置

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 19980430

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R323111

R371 Transfer withdrawn

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R323111

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R323111

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term