JP2573995B2 - 磁気軸受用の非接触型変位検出装置 - Google Patents
磁気軸受用の非接触型変位検出装置Info
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- JP2573995B2 JP2573995B2 JP63113990A JP11399088A JP2573995B2 JP 2573995 B2 JP2573995 B2 JP 2573995B2 JP 63113990 A JP63113990 A JP 63113990A JP 11399088 A JP11399088 A JP 11399088A JP 2573995 B2 JP2573995 B2 JP 2573995B2
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は検出の信頼性および安定性に優れる電磁／
静電誘導式変位検出装置に係り、詳しくは、磁気軸受用
の非接触型変位検出装置に関する。
静電誘導式変位検出装置に係り、詳しくは、磁気軸受用
の非接触型変位検出装置に関する。
［従来の技術］ 従来、たとえば、ターボ分子ポンプ、精密加工機械用
のスピンドルモータなどにおいては、超高速回転を達成
するため、回転軸の支承には、低摩擦、低振動、低騒音
などの点において優れる磁気軸受が用いられている。
のスピンドルモータなどにおいては、超高速回転を達成
するため、回転軸の支承には、低摩擦、低振動、低騒音
などの点において優れる磁気軸受が用いられている。
ところで、上記磁気軸受にあっては、回転軸を非接触
状態で支承するため、回転軸とのギャップ長の変位を検
出し、制御する必要がある。
状態で支承するため、回転軸とのギャップ長の変位を検
出し、制御する必要がある。
このため、上記非接触型変位検出装置として、第３図
〜第５図に示す渦電流式のものが提供されている。
〜第５図に示す渦電流式のものが提供されている。
第３図において、符号１は回転軸であって、この回転
軸１は、その一端部および他端部に格別に設けられた磁
気軸受（図示せず）によって支承されている。一方の磁
気軸受の近傍には同一構成の４個のセンサ（変位セン
サ）2a1〜2a4が回転軸１と同心円をなす円周上に、等間
隔に、かつ、それぞれの検出面を軸中心に向けて、配設
されている。他方の磁気軸受の近傍にもセンサ2a1〜2a4
と同一構成の４個のセンサ2b1〜2b4が回転軸１と同心円
をなす円周上に等間隔に、かつ、それぞれの検出面を軸
中心に向けて、配設されている。ここで、これらセンサ
2a1〜2a4;2b1〜2b4の代表として選んだセンサ2a1につい
て説明する。第４図に示すように、センサ2a1は、検出
面3aが平坦な検出コイル３、この検出コイル３のリード
線4,4、これらを収容するセンサケース５および外部電
気ケーブル６により構成されている。上記検出面3aは回
転軸１の回転面（被検出面）から、所定のギャップＸ
（約0.3〜1mm程度）を隔てて配設されている。また、上
記センサケース５には、位置決めのためのネジＭが切ら
れている。このネジＭにより、センサ2a1は取付け部
（図示せず）に固定されている。
軸１は、その一端部および他端部に格別に設けられた磁
気軸受（図示せず）によって支承されている。一方の磁
気軸受の近傍には同一構成の４個のセンサ（変位セン
サ）2a1〜2a4が回転軸１と同心円をなす円周上に、等間
隔に、かつ、それぞれの検出面を軸中心に向けて、配設
されている。他方の磁気軸受の近傍にもセンサ2a1〜2a4
と同一構成の４個のセンサ2b1〜2b4が回転軸１と同心円
をなす円周上に等間隔に、かつ、それぞれの検出面を軸
中心に向けて、配設されている。ここで、これらセンサ
2a1〜2a4;2b1〜2b4の代表として選んだセンサ2a1につい
て説明する。第４図に示すように、センサ2a1は、検出
面3aが平坦な検出コイル３、この検出コイル３のリード
線4,4、これらを収容するセンサケース５および外部電
気ケーブル６により構成されている。上記検出面3aは回
転軸１の回転面（被検出面）から、所定のギャップＸ
（約0.3〜1mm程度）を隔てて配設されている。また、上
記センサケース５には、位置決めのためのネジＭが切ら
れている。このネジＭにより、センサ2a1は取付け部
（図示せず）に固定されている。
次に、第３図において、7a1〜7a4;7b1〜7b4は同一構
成の計測回路である。ここで、これら計測回路7a1〜7a4
の代表として選んだ計測回路7a1について説明する。計
測回路7a1は、第５図においてその電気的構成を示すよ
うに、トランジスタを用いたコルピッツ発振回路８とフ
イルタ回路９とからなっている。次に、10a1〜10a4;10b
1〜10b4は共に同一構成のセンサアンプであって、計測
回路7a1〜7a4;7b1〜7b4の出力を増幅する。11a1,11a2,1
1b1,11b2は共に同一構成の差動アンプであって、対置さ
れた２つのセンサアンプ10a1と10a3,10a2と10a4,10b1と
10b3,10b2と10b4との出力差信号を増幅する。
成の計測回路である。ここで、これら計測回路7a1〜7a4
の代表として選んだ計測回路7a1について説明する。計
測回路7a1は、第５図においてその電気的構成を示すよ
うに、トランジスタを用いたコルピッツ発振回路８とフ
イルタ回路９とからなっている。次に、10a1〜10a4;10b
1〜10b4は共に同一構成のセンサアンプであって、計測
回路7a1〜7a4;7b1〜7b4の出力を増幅する。11a1,11a2,1
1b1,11b2は共に同一構成の差動アンプであって、対置さ
れた２つのセンサアンプ10a1と10a3,10a2と10a4,10b1と
10b3,10b2と10b4との出力差信号を増幅する。
以上のように構成された非接触型変位検出装置にあっ
て、各センサ2a1,2b1,…による変位検出機構の等価回路
は回転軸１を単コイルと考えると、第５図のように表さ
れる。
て、各センサ2a1,2b1,…による変位検出機構の等価回路
は回転軸１を単コイルと考えると、第５図のように表さ
れる。
同図において、r1およびL1はそれぞれ検出コイル３の
抵抗とその自己インダクタンス、r2およびL2はそれぞれ
回転軸１の抵抗とその自己インダクタンス、またＭは回
転軸１と検出コイル３との相互インダクタンスである。
コルピッツ発振回路８に設けられたコンデンサの静電容
量C1,C2は固定型であり、各センサ2a1,2b1,…に対応し
たコルピッツ発振回路８の各発振周波数は共に同一の発
振周波数に固定されている。
抵抗とその自己インダクタンス、r2およびL2はそれぞれ
回転軸１の抵抗とその自己インダクタンス、またＭは回
転軸１と検出コイル３との相互インダクタンスである。
コルピッツ発振回路８に設けられたコンデンサの静電容
量C1,C2は固定型であり、各センサ2a1,2b1,…に対応し
たコルピッツ発振回路８の各発振周波数は共に同一の発
振周波数に固定されている。
上記の等価回路において、コルピッツ発振回路８から
見た実効インピーダンスＺは発振周波数をωとすると となる。
見た実効インピーダンスＺは発振周波数をωとすると となる。
上式において、相互インダクタンスＭは回転軸１の変
位により変動する。このため、実効インピーダンスＺが
変化し発振電圧が変わり、この発振電圧によってギャッ
プ長Ｘを検出するようになっている。
位により変動する。このため、実効インピーダンスＺが
変化し発振電圧が変わり、この発振電圧によってギャッ
プ長Ｘを検出するようになっている。
［発明が解決しようとする課題］ ところで、上記従来の非接触型変位検出装置にあって
は、計測回路7a1,7b1,…、センサアンプ10a1,10b1,…お
よび差動アンプ11a1,11b1,…は回転軸１から隔てられた
制御部（図示せず）内に設置されていた。一方、センサ
2a1,2b1,…は回転軸１の一端部および他端部近傍に配設
されていた。
は、計測回路7a1,7b1,…、センサアンプ10a1,10b1,…お
よび差動アンプ11a1,11b1,…は回転軸１から隔てられた
制御部（図示せず）内に設置されていた。一方、センサ
2a1,2b1,…は回転軸１の一端部および他端部近傍に配設
されていた。
このため、各計測回路7a1,7b1,…と各センサ2a1,2b1,
…とを接続する外部電気ケーブル６（第５図におけるAB
間）の長さや取回しにより、等価回路における自己イン
ダクタンスL1,抵抗r1,相互インダクタンスＭの値が変動
し、これにより発振電圧が影響されるという不都合があ
った。
…とを接続する外部電気ケーブル６（第５図におけるAB
間）の長さや取回しにより、等価回路における自己イン
ダクタンスL1,抵抗r1,相互インダクタンスＭの値が変動
し、これにより発振電圧が影響されるという不都合があ
った。
また、各センサ2a1,2b1,…から出力される信号は微弱
のため、外部電気ケーブル６を長くすると、ノイズの影
響を受け易いという欠点がある。
のため、外部電気ケーブル６を長くすると、ノイズの影
響を受け易いという欠点がある。
さらに、従来は、取付け部に各センサ2a1,2b1,…を取
付ける際、各センサ2a1,2b1,…毎にネジ回転を行うこと
により最適ギャップに調整していた。その際、各センサ
2a1,2b1,…についてギャップがまちまちとなりがちで、
所定の同心度が得られないおそれがあった。このため、
精度の良い変位検出特性が得られにくいという欠点があ
った。一方、センサ2a1,2b1,…の取付けを高い精度で行
うには非常に手間がかかった。
付ける際、各センサ2a1,2b1,…毎にネジ回転を行うこと
により最適ギャップに調整していた。その際、各センサ
2a1,2b1,…についてギャップがまちまちとなりがちで、
所定の同心度が得られないおそれがあった。このため、
精度の良い変位検出特性が得られにくいという欠点があ
った。一方、センサ2a1,2b1,…の取付けを高い精度で行
うには非常に手間がかかった。
この発明は、上記問題点に鑑みてなされたもので、外
部電気ケーブルの長さや取回しなどの影響を受けずに、
常に安定した変位検出特性を示す磁気軸受用の非接触型
変位検出装置を提供することを目的としている。
部電気ケーブルの長さや取回しなどの影響を受けずに、
常に安定した変位検出特性を示す磁気軸受用の非接触型
変位検出装置を提供することを目的としている。
さらに、この発明は、回転軸へと取付けが容易で、か
つ取付精度が高い磁気軸受用の非接触型変位検出装置を
提供することを目的としている。
つ取付精度が高い磁気軸受用の非接触型変位検出装置を
提供することを目的としている。
［課題を解決するための手段］ この発明は、磁気軸受によって支承される回転軸の変
位に応じた電磁／静電誘導変化により、上記変位を検知
する変位センサと、前記電磁／静電誘導変化をもとに、
発振電圧の振幅が変化する発振回路と、前記発振電圧の
振幅変化を変位検出信号として通過させるフイルタ回路
とを具備してなる磁気軸受用の非接触型変位検出装置に
おいて、前記回転軸が挿入される貫通孔の周縁を形成す
る壁部を有する搭載部を備え、該貫通孔の軸に対称な位
置に形成された複数の穴部に、該周縁を基準にして前記
変位センサ、前記発振回路、及び前記フイルタ回路を一
体化して嵌着したことを特徴とする。
位に応じた電磁／静電誘導変化により、上記変位を検知
する変位センサと、前記電磁／静電誘導変化をもとに、
発振電圧の振幅が変化する発振回路と、前記発振電圧の
振幅変化を変位検出信号として通過させるフイルタ回路
とを具備してなる磁気軸受用の非接触型変位検出装置に
おいて、前記回転軸が挿入される貫通孔の周縁を形成す
る壁部を有する搭載部を備え、該貫通孔の軸に対称な位
置に形成された複数の穴部に、該周縁を基準にして前記
変位センサ、前記発振回路、及び前記フイルタ回路を一
体化して嵌着したことを特徴とする。
さらに、前記変位センサ、前記発振回路、及び前記フ
イルタ回路はモールド一体変されていることが好まし
い。
イルタ回路はモールド一体変されていることが好まし
い。
「作用」 搭載部の壁部に形成された複数の穴部に変位センサ、
前記発振回路、及び前記フイルタ回路を一体化して嵌着
したので、変位検出特性が外部電気ケーブルの長さや取
回しの影響を受けて変動することを回避することができ
る。また、ノイズの影響を軽減することもできる。
前記発振回路、及び前記フイルタ回路を一体化して嵌着
したので、変位検出特性が外部電気ケーブルの長さや取
回しの影響を受けて変動することを回避することができ
る。また、ノイズの影響を軽減することもできる。
また、上記変位センサ、前記発振回路、及び前記フイ
ルタ回路をモールド一体化すれば、一段と確実に上記目
的を達成することができる。
ルタ回路をモールド一体化すれば、一段と確実に上記目
的を達成することができる。
さらに、回転軸への取付の容易化、取り付け精度の向
上化を図ることができる。
上化を図ることができる。
［実施例］ 以下、図面を参照してこの発明の非接触型変位検出装
置の実施例について説明する。
置の実施例について説明する。
第１図および第２図はこの発明の理解を容易にするた
めの従来技術を改良した一例を示す参考図であり、第１
図はこの例の非接触型変位検出装置の概略平面図、第２
図は第１図のII−II線に沿う断面図である。これらの図
において、上記従来例と同一構成部分には同一符号を付
して説明を簡略化する。
めの従来技術を改良した一例を示す参考図であり、第１
図はこの例の非接触型変位検出装置の概略平面図、第２
図は第１図のII−II線に沿う断面図である。これらの図
において、上記従来例と同一構成部分には同一符号を付
して説明を簡略化する。
この例の非接触型変位検出装置が上記従来のものと異
なる点は、コルピッツ発振回路８とフイルタ回路９とか
らなる各計測回路7a1〜7a4と、これら各計測回路7a1〜7
a4に接続される各センサ2a1〜2a4とを、モールド材を用
いて、一体的に固定化した点である。センサ2b1〜2b4、
計測回路7b1〜7b4についても同様であるので、以下、セ
ンサ2a1〜2a4、計測回路7a1〜7a4の構成について説明す
る。
なる点は、コルピッツ発振回路８とフイルタ回路９とか
らなる各計測回路7a1〜7a4と、これら各計測回路7a1〜7
a4に接続される各センサ2a1〜2a4とを、モールド材を用
いて、一体的に固定化した点である。センサ2b1〜2b4、
計測回路7b1〜7b4についても同様であるので、以下、セ
ンサ2a1〜2a4、計測回路7a1〜7a4の構成について説明す
る。
すなわち、図中、符号12はセンサ2a1〜2a4やコルピッ
ツ発振回路８、フイルタ回路９の構成電気部品を搭載す
るラジアルケース（搭載部）である。このラジアルケー
ス12は第１図に示すようにドーナツ状の平面形状をして
おり、第２図に示すように、半径方向の断面形状が凹字
形となっている。すなわち、このラジアルケース12は内
周縁を形成する内壁部12aと外周縁を形成する外壁部12b
とドーナツ状の底部12cとからなっている。上記内壁部1
2a、外壁部12bの径精度、同心度も切削加工、研磨加工
などにより十分出されている。上記ラジアルケース12の
内壁部12aおよび外壁部12bのそれぞれの十字の方向には
円形状の穴部13a,13a,…、ネジ穴部13b,13b,…が設けら
れている。また、底部12cには、共に同一構成の４個の
センサ2a1〜2a4が搭載されている。これらセンサ2a1〜2
a4はいずれも、ボビン14,14,…と検出コイル3,3,…と係
止ピン15,15,…とリード線4,4,…とからなっている。上
記ボビン14,14,…は基体部14a,14a,…と線巻部14b,14b,
…とつば部14c,14c,…とからなっている。上記つば部14
c,14c,…はラジアルケース12の内壁部12aの穴部13a,13
a,…に嵌着されている。この時、つば部14c,14c,…の先
端部は内壁部12aの内周縁を基準に組付けている。上記
線巻部14b,14b,…にはリード線4,4,…が巻回され、検出
コイル3,3,…が形成されている。検出コイル3,3,…の両
端部は係止ピン15,15,…によって係止されている。16,1
6,…はボビン押えであって、ボビン14,14,…を内壁部12
aの穴部13a,13a,…に嵌着し固定するためのものであ
る。上記ボビン押え16,16,…にはネジが切られており、
これらネジにより、外壁部12bのネジ穴部13b,13b,…に
螺着されている。17はトランジスタ、コンデンサ、抵抗
などの電気部品が実装されたプリント基板であって、こ
れにより、コルピッツ発振回路８とフイルタ回路９とか
らなる計測回路7a1〜7a4が形成されている。上記プリン
ト基板17はラジアルケース12に搭載し得るように、ドー
ナル状に形成されている。上記センサ2a1〜2a4およびプ
リント基板17が搭載されているラジアルケース12の底部
12cにはモールド部材を充填固化することにより、モー
ルド層18が形成されている。このモールド層18によっ
て、センサ2a1〜2a4および実装されたプリント基板17は
被覆され、固定され、一体化されている。
ツ発振回路８、フイルタ回路９の構成電気部品を搭載す
るラジアルケース（搭載部）である。このラジアルケー
ス12は第１図に示すようにドーナツ状の平面形状をして
おり、第２図に示すように、半径方向の断面形状が凹字
形となっている。すなわち、このラジアルケース12は内
周縁を形成する内壁部12aと外周縁を形成する外壁部12b
とドーナツ状の底部12cとからなっている。上記内壁部1
2a、外壁部12bの径精度、同心度も切削加工、研磨加工
などにより十分出されている。上記ラジアルケース12の
内壁部12aおよび外壁部12bのそれぞれの十字の方向には
円形状の穴部13a,13a,…、ネジ穴部13b,13b,…が設けら
れている。また、底部12cには、共に同一構成の４個の
センサ2a1〜2a4が搭載されている。これらセンサ2a1〜2
a4はいずれも、ボビン14,14,…と検出コイル3,3,…と係
止ピン15,15,…とリード線4,4,…とからなっている。上
記ボビン14,14,…は基体部14a,14a,…と線巻部14b,14b,
…とつば部14c,14c,…とからなっている。上記つば部14
c,14c,…はラジアルケース12の内壁部12aの穴部13a,13
a,…に嵌着されている。この時、つば部14c,14c,…の先
端部は内壁部12aの内周縁を基準に組付けている。上記
線巻部14b,14b,…にはリード線4,4,…が巻回され、検出
コイル3,3,…が形成されている。検出コイル3,3,…の両
端部は係止ピン15,15,…によって係止されている。16,1
6,…はボビン押えであって、ボビン14,14,…を内壁部12
aの穴部13a,13a,…に嵌着し固定するためのものであ
る。上記ボビン押え16,16,…にはネジが切られており、
これらネジにより、外壁部12bのネジ穴部13b,13b,…に
螺着されている。17はトランジスタ、コンデンサ、抵抗
などの電気部品が実装されたプリント基板であって、こ
れにより、コルピッツ発振回路８とフイルタ回路９とか
らなる計測回路7a1〜7a4が形成されている。上記プリン
ト基板17はラジアルケース12に搭載し得るように、ドー
ナル状に形成されている。上記センサ2a1〜2a4およびプ
リント基板17が搭載されているラジアルケース12の底部
12cにはモールド部材を充填固化することにより、モー
ルド層18が形成されている。このモールド層18によっ
て、センサ2a1〜2a4および実装されたプリント基板17は
被覆され、固定され、一体化されている。
以上の構成に実装されたラジアルケース12を２個作製
する。そして、一の実装されたラジアルケース12を、そ
の貫通孔19（第１図参照）に回転軸１を貫通させるこに
より、回転軸１の一端部に所定のギャップ（0.3〜1mm）
を保って、非接触状態で取付ける。同様に、他の実装さ
れたラジアルケース12を回転軸１の他端部に取付ける。
する。そして、一の実装されたラジアルケース12を、そ
の貫通孔19（第１図参照）に回転軸１を貫通させるこに
より、回転軸１の一端部に所定のギャップ（0.3〜1mm）
を保って、非接触状態で取付ける。同様に、他の実装さ
れたラジアルケース12を回転軸１の他端部に取付ける。
以上の構成によれば、変位センサと発振回路とフイル
タ回路とをモールド層18によって固定化一体化したの
で、回転軸へと取付けの容易化、コンパクト化を図るこ
とができる。また、ラジアルケース12から引出される外
部電気ケーブルは、発振回路と一部を構成するものでは
なくなるので、変位検出特性が外部電気ケーブルの長さ
や取回しの影響を受けて変動することを回避することが
できる。さらにまた、ノイズの影響を軽減することもで
きる。このため、用途や回転軸の大きさに即して、回転
軸と制御部間との距離を任意に設定することができる。
タ回路とをモールド層18によって固定化一体化したの
で、回転軸へと取付けの容易化、コンパクト化を図るこ
とができる。また、ラジアルケース12から引出される外
部電気ケーブルは、発振回路と一部を構成するものでは
なくなるので、変位検出特性が外部電気ケーブルの長さ
や取回しの影響を受けて変動することを回避することが
できる。さらにまた、ノイズの影響を軽減することもで
きる。このため、用途や回転軸の大きさに即して、回転
軸と制御部間との距離を任意に設定することができる。
さらに、従来のように、変位センサ2a1,2b1,…に直
接、ネジ切りを設けることを廃止し、代わりに、ボビン
押え16,16,…にネジ切りを設けたので、取付精度の向上
化を図ることができる。
接、ネジ切りを設けることを廃止し、代わりに、ボビン
押え16,16,…にネジ切りを設けたので、取付精度の向上
化を図ることができる。
なお、上述の構成においては、モールド層18を設けた
場合について述べたが、モールド層18を設けなくとも、
一体化、固定化することができる場合には、モールド層
18を設けなくとも良い。
場合について述べたが、モールド層18を設けなくとも、
一体化、固定化することができる場合には、モールド層
18を設けなくとも良い。
また、上述の構成においては、コルピッツ発振回路８
とフイルタ回路９とからなる各計測回路7a1〜7a4と、こ
れら各計測回路7a1〜7a4に接続される各センサ2a1〜2a4
とを、モールド材を用いて、一体的に固定化した場合に
ついて述べたが、これに限らず、さらにセンサアンプ10
a1〜10a4や差動アンプ11a1,11a2を含めて一体化しても
良い。
とフイルタ回路９とからなる各計測回路7a1〜7a4と、こ
れら各計測回路7a1〜7a4に接続される各センサ2a1〜2a4
とを、モールド材を用いて、一体的に固定化した場合に
ついて述べたが、これに限らず、さらにセンサアンプ10
a1〜10a4や差動アンプ11a1,11a2を含めて一体化しても
良い。
さらにまた、上述の構成においては、渦電流式の非接
触型変位検出装置について述べたが、これに限らず、た
とえば、静電容量式の変位検出装置であっても上記した
と同様の効果を得ることができる。
触型変位検出装置について述べたが、これに限らず、た
とえば、静電容量式の変位検出装置であっても上記した
と同様の効果を得ることができる。
［発明の効果］ 以上説明したように、この発明の磁気軸受用の非接触型
変位検出装置は、搭載部の壁部に形成された複数の穴部
に変位センサ、前記発振回路、及び前記フイルタ回路を
一体化して嵌着したので、変位検出特性が外部電気ケー
ブルの長さや取回しの影響を受けて変動することを回避
することができる。また、ノイズの影響を軽減すること
もできる。
変位検出装置は、搭載部の壁部に形成された複数の穴部
に変位センサ、前記発振回路、及び前記フイルタ回路を
一体化して嵌着したので、変位検出特性が外部電気ケー
ブルの長さや取回しの影響を受けて変動することを回避
することができる。また、ノイズの影響を軽減すること
もできる。
また、上記変位センサ、前記発振回路、及び前記フイ
ルタ回路をモールド一体化すれば、一段と確実に、上記
効果を得ることができる。
ルタ回路をモールド一体化すれば、一段と確実に、上記
効果を得ることができる。
さらに、回転軸への取付の容易化、コンパクト化、取
り付け精度の向上化を図ることができる。
り付け精度の向上化を図ることができる。
第１図および第２図はこの発明の理解を容易にするため
の従来技術を改良した一例を示す参考図であり、第１図
はこの例の非接触型変位検出装置の概略平面図、第２図
は第１図のII−II線に沿う断面図、第３図は従来の非接
触型変位検出装置のブロック図、第４図は従来の変位セ
ンサの概略構成図、第５図は非接触型変位検出装置に係
り、変位センサを用いた変位検出機構の等価回路図であ
る。 １……回転軸、2a1〜2a4;2b1〜2b4……センサ（変位セ
ンサ）、８……発振回路、９……フイルタ回路、12……
ラジアルケース（搭載部）、18……モールド層、19……
貫通孔。
の従来技術を改良した一例を示す参考図であり、第１図
はこの例の非接触型変位検出装置の概略平面図、第２図
は第１図のII−II線に沿う断面図、第３図は従来の非接
触型変位検出装置のブロック図、第４図は従来の変位セ
ンサの概略構成図、第５図は非接触型変位検出装置に係
り、変位センサを用いた変位検出機構の等価回路図であ
る。 １……回転軸、2a1〜2a4;2b1〜2b4……センサ（変位セ
ンサ）、８……発振回路、９……フイルタ回路、12……
ラジアルケース（搭載部）、18……モールド層、19……
貫通孔。
Claims (2)
- 【請求項１】磁気軸受によって支承される回転軸の変位
に応じた電磁／静電誘導変化により、上記変位を検知す
る変位センサと、 前記電磁／静電誘導変化をもとに、発振電圧の振幅が変
化する発振回路と、 前記発振電圧の振幅変化を変位検出信号として通過させ
るフイルタ回路とを具備してなる磁気軸受用の非接触型
変位検出装置において、 前記回転軸が挿入される貫通孔の周縁を形成する壁部を
有する搭載部を備え、該貫通孔の軸に対称な位置に形成
された複数の穴部に、該周縁を基準にして前記変位セン
サ、前記発振回路、及び前記フイルタ回路を一体化して
嵌着した ことを特徴とする磁気軸受用の非接触型変位検出装置。 - 【請求項２】前記変位センサ、前記発振回路、及び前記
フイルタ回路はモールド一体化されていることを特徴と
する請求項１記載の磁気軸受け用の非接触型変位検出装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63113990A JP2573995B2 (ja) | 1988-05-11 | 1988-05-11 | 磁気軸受用の非接触型変位検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63113990A JP2573995B2 (ja) | 1988-05-11 | 1988-05-11 | 磁気軸受用の非接触型変位検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01284701A JPH01284701A (ja) | 1989-11-16 |
| JP2573995B2 true JP2573995B2 (ja) | 1997-01-22 |
Family
ID=14626297
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63113990A Expired - Fee Related JP2573995B2 (ja) | 1988-05-11 | 1988-05-11 | 磁気軸受用の非接触型変位検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2573995B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6398524B1 (en) * | 1997-12-02 | 2002-06-04 | Ebara Corporation | Magnetic bearing control device and turbo-molecular pump device |
| DE102006060650A1 (de) * | 2006-12-21 | 2008-06-26 | Mtu Aero Engines Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur berührungslosen Schaufelschwingungsmessung |
| JP4645610B2 (ja) * | 2007-03-22 | 2011-03-09 | 株式会社デンソー | 給電線長測定装置及び無線通信装置 |
| JP5764283B2 (ja) * | 2007-12-27 | 2015-08-19 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
| KR102576425B1 (ko) * | 2020-11-11 | 2023-09-11 | 한국기계연구원 | 비접촉식 변위 센싱 시스템 및 이의 동작 방법 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6015501A (ja) * | 1983-07-06 | 1985-01-26 | Ntn Toyo Bearing Co Ltd | 磁気軸受のスピンドル位置検出装置 |
-
1988
- 1988-05-11 JP JP63113990A patent/JP2573995B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01284701A (ja) | 1989-11-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |