JP2573159Y2 - イオン源の熱フイラメント - Google Patents
イオン源の熱フイラメントInfo
- Publication number
- JP2573159Y2 JP2573159Y2 JP1992075805U JP7580592U JP2573159Y2 JP 2573159 Y2 JP2573159 Y2 JP 2573159Y2 JP 1992075805 U JP1992075805 U JP 1992075805U JP 7580592 U JP7580592 U JP 7580592U JP 2573159 Y2 JP2573159 Y2 JP 2573159Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- filament
- ion source
- mounting screw
- mounting
- thermal filament
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、比較的大電流を必要と
する電子衝撃型イオン源に用いる熱フイラメントに関す
る。
する電子衝撃型イオン源に用いる熱フイラメントに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種熱フイラメントは、図５に
示すように、フイラメント１の両端部２をほぼＵ字状に
折曲し、図６に示す取付ねじ３の軸部４の挿通部５，及
び取付ねじ３の頭部６の当接部７を形成し、両端部２の
開口部８を互いに向かい合う方向に形成し、フイラメン
ト１の中央部９には、フイラメント１を流れる電流によ
る磁場を打ち消すよう、平行部分が形成されている。な
お、フイラメント１の材料はＷ，Ｔａ等の高融点材料を
用い、太さはφ０．５〜２．０mmである。
示すように、フイラメント１の両端部２をほぼＵ字状に
折曲し、図６に示す取付ねじ３の軸部４の挿通部５，及
び取付ねじ３の頭部６の当接部７を形成し、両端部２の
開口部８を互いに向かい合う方向に形成し、フイラメン
ト１の中央部９には、フイラメント１を流れる電流によ
る磁場を打ち消すよう、平行部分が形成されている。な
お、フイラメント１の材料はＷ，Ｔａ等の高融点材料を
用い、太さはφ０．５〜２．０mmである。
【０００３】そして、図６に示すように、フイラメント
１の両端部２の挿通部５に取付ねじ３の軸部４を挿通
し、２個の電流導入端子１０の取付孔にそれぞれ取付ね
じ３を締付け、取付ねじ３の頭部６を当接部７に押当
て、両電流導入端子１０が電流をフイラメント１に流し
てフイラメント１を加熱し、フイラメント１から熱電子
を放出させている。
１の両端部２の挿通部５に取付ねじ３の軸部４を挿通
し、２個の電流導入端子１０の取付孔にそれぞれ取付ね
じ３を締付け、取付ねじ３の頭部６を当接部７に押当
て、両電流導入端子１０が電流をフイラメント１に流し
てフイラメント１を加熱し、フイラメント１から熱電子
を放出させている。
【０００４】そして、フイラメント１の取外し時は、少
なくとも一方の取付ねじ３を取外し、他方の取付ねじ３
を緩め、フイラメント１をずらして取外している。な
お、フイラメント１の両端部２をＵ字状に折曲してある
のは、電流導入端子１０とフイラメント１の端部２との
接触面積を十分に取るためである。
なくとも一方の取付ねじ３を取外し、他方の取付ねじ３
を緩め、フイラメント１をずらして取外している。な
お、フイラメント１の両端部２をＵ字状に折曲してある
のは、電流導入端子１０とフイラメント１の端部２との
接触面積を十分に取るためである。
【０００５】
【考案が解決しようとする課題】従来の前記フイラメン
ト１の場合、フイラメント１の取外しに際し、両取付ね
じ３を緩めた後、少なくとも一方の取付ねじ３を取外さ
ねばならず、また、取付けに際しても、一方の取付ねじ
３を電流導入端子１０から取外した状態で、そのねじ３
を端部２の挿通部５に挿通し、電流導入端子１０の取付
孔に締付けねばならず、フイラメント１の脱着作業が煩
雑であり、長時間を要する。
ト１の場合、フイラメント１の取外しに際し、両取付ね
じ３を緩めた後、少なくとも一方の取付ねじ３を取外さ
ねばならず、また、取付けに際しても、一方の取付ねじ
３を電流導入端子１０から取外した状態で、そのねじ３
を端部２の挿通部５に挿通し、電流導入端子１０の取付
孔に締付けねばならず、フイラメント１の脱着作業が煩
雑であり、長時間を要する。
【０００６】しかも、大型のイオン源では、プラズマの
均一性やフイラメント電源等の制約で複数個のフイラメ
ント１が必要であり、各フイラメント１の脱着に長時間
を要することは、イオン源を用いた装置の長時間の休止
となり、イオン源を用いた装置の生産性が低下するとい
う問題点がある。本考案は、前記の点に留意し、脱着作
業を簡単にし、イオン源を用いた装置の生産性が向上す
るイオン源のフイラメントを提供することを目的とす
る。
均一性やフイラメント電源等の制約で複数個のフイラメ
ント１が必要であり、各フイラメント１の脱着に長時間
を要することは、イオン源を用いた装置の長時間の休止
となり、イオン源を用いた装置の生産性が低下するとい
う問題点がある。本考案は、前記の点に留意し、脱着作
業を簡単にし、イオン源を用いた装置の生産性が向上す
るイオン源のフイラメントを提供することを目的とす
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本考案のイオン源のフイラメントは、両端部をほぼ
Ｕ字状に折曲し、両端部に取付ねじの軸部の挿通部及び
取付ねじの頭部の当接部を形成し、少なくとも一方の端
部のＵ字状の開口部を，両端部を結ぶ線に対し直角の方
向に向けたものである。
に、本考案のイオン源のフイラメントは、両端部をほぼ
Ｕ字状に折曲し、両端部に取付ねじの軸部の挿通部及び
取付ねじの頭部の当接部を形成し、少なくとも一方の端
部のＵ字状の開口部を，両端部を結ぶ線に対し直角の方
向に向けたものである。
【０００８】
【作用】前記のように構成された本考案のイオン源のフ
イラメントは、少なくとも一方の端部のＵ字状の開口部
が、両端部を結ぶ線に対し直角方向に向いているため、
フイラメントの取外しに際しては、両取付ねじを緩め、
一方の端部をその開口部により取付ねじからずらして外
し、他方の端部を外せばよく、また、取付けに際して
は、緩んだ状態の他方の取付ねじにフイラメントの他方
の端部をその開口部から挿通し、その後一方の端部を一
方の取付ねじに挿通すればよく、フイラメントの脱着に
際し、両取付ねじを電流導入端子に取付けた状態で行う
ことができ、その作業がきわめて簡単であり、短時間に
行うことができ、イオン源を用いた装置の休止時間が短
く、生産性が向上する。その上、両端部が従来と同様の
Ｕ字状であり、電流導入端子と充分な接触面積を保つこ
とができる。
イラメントは、少なくとも一方の端部のＵ字状の開口部
が、両端部を結ぶ線に対し直角方向に向いているため、
フイラメントの取外しに際しては、両取付ねじを緩め、
一方の端部をその開口部により取付ねじからずらして外
し、他方の端部を外せばよく、また、取付けに際して
は、緩んだ状態の他方の取付ねじにフイラメントの他方
の端部をその開口部から挿通し、その後一方の端部を一
方の取付ねじに挿通すればよく、フイラメントの脱着に
際し、両取付ねじを電流導入端子に取付けた状態で行う
ことができ、その作業がきわめて簡単であり、短時間に
行うことができ、イオン源を用いた装置の休止時間が短
く、生産性が向上する。その上、両端部が従来と同様の
Ｕ字状であり、電流導入端子と充分な接触面積を保つこ
とができる。
【０００９】
【実施例】実施例について図１ないし図４を参照して説
明する。それらの図において図５及び図６と同一符号は
同一もしくは相当するものを示す。まず、１実施例を示
した図１及び図２において、図５及び図６と異なる点
は、フイラメント１の両端部２のＵ字状の開口部８が、
両端部２を結ぶ線に対し直角の方向に，同方向に向いて
いる点である。従って、図２に示すように、両電流導入
端子１０にそれぞれ取付ねじ３が緩く取付いた状態で、
フイラメント１を取付け，取外すことができる。
明する。それらの図において図５及び図６と同一符号は
同一もしくは相当するものを示す。まず、１実施例を示
した図１及び図２において、図５及び図６と異なる点
は、フイラメント１の両端部２のＵ字状の開口部８が、
両端部２を結ぶ線に対し直角の方向に，同方向に向いて
いる点である。従って、図２に示すように、両電流導入
端子１０にそれぞれ取付ねじ３が緩く取付いた状態で、
フイラメント１を取付け，取外すことができる。
【００１０】つぎに、他の実施例を示した図３及び図４
は、一方の端部２の開口部８は、図１と同様、両端部２
を結ぶ線に対し直角の方向に向いているが、他方の端部
２は、図５と同様、内方に向いている。この場合も、図
４に示すように、両電流導入端子１０にそれぞれ取付ね
じ３が取付いた状態で、フイラメント１の他方の端部２
を先にはめ込み、他方の端部２を軸として回転し、一方
の端部２を取付ねじ３に挿込んで取付け、両取付ねじ３
を締付けて取付け、また、取外しは、その逆の操作によ
り取外す。
は、一方の端部２の開口部８は、図１と同様、両端部２
を結ぶ線に対し直角の方向に向いているが、他方の端部
２は、図５と同様、内方に向いている。この場合も、図
４に示すように、両電流導入端子１０にそれぞれ取付ね
じ３が取付いた状態で、フイラメント１の他方の端部２
を先にはめ込み、他方の端部２を軸として回転し、一方
の端部２を取付ねじ３に挿込んで取付け、両取付ねじ３
を締付けて取付け、また、取外しは、その逆の操作によ
り取外す。
【００１１】
【考案の効果】本考案は、以上説明したように構成され
ているため、つぎに記載する効果を奏する。イオン源の
フイラメントは、少なくとも一方の端部２のＵ字状の開
口部８が、両端部２を結ぶ線に対し直角方向に向いてい
るため、フイラメントの取外しに際しては、両取付ねじ
を緩め、一方の端部をその開口部８により取付ねじから
ずらして外し、その後他方の端部を外せばよく、また、
取付けに際しては、緩んだ状態の他方の取付ねじにフイ
ラメントの他方の端部２をその開口部８から挿通し、そ
の後一方の端部２を一方の取付ねじに挿通すればよく、
フイラメントの脱着に際し、両取付ねじを電流導入端子
に取付けた状態で行うことができ、その作業をきわめて
簡単にし、短時間に行うことができ、イオン源を用いた
装置の休止時間を短くして生産性を向上することがで
き、かつ、両端部２が従来と同様のＵ字状であり、電流
導入端子と充分な接触面積を保つことができる。
ているため、つぎに記載する効果を奏する。イオン源の
フイラメントは、少なくとも一方の端部２のＵ字状の開
口部８が、両端部２を結ぶ線に対し直角方向に向いてい
るため、フイラメントの取外しに際しては、両取付ねじ
を緩め、一方の端部をその開口部８により取付ねじから
ずらして外し、その後他方の端部を外せばよく、また、
取付けに際しては、緩んだ状態の他方の取付ねじにフイ
ラメントの他方の端部２をその開口部８から挿通し、そ
の後一方の端部２を一方の取付ねじに挿通すればよく、
フイラメントの脱着に際し、両取付ねじを電流導入端子
に取付けた状態で行うことができ、その作業をきわめて
簡単にし、短時間に行うことができ、イオン源を用いた
装置の休止時間を短くして生産性を向上することがで
き、かつ、両端部２が従来と同様のＵ字状であり、電流
導入端子と充分な接触面積を保つことができる。
【図１】Ａ，Ｂは本考案の１実施例の平面図，正面図で
ある。
ある。
【図２】図１の取付時の斜視図である。
【図３】Ａ，Ｂは本考案の他の実施例の平面図，正面図
である。
である。
【図４】図３の取付時の斜視図である。
【図５】Ａ，Ｂは従来例の平面図，正面図である。
【図６】図５の取付時の斜視図である。
１ フイラメント ２ 端部 ３ 取付ねじ ４ 軸部 ５ 挿通部 ６ 頭部 ７ 当接部 ８ 開口部
Claims (1)
- 【請求項１】 両端部をほぼＵ字状に折曲し、前記両端
部に取付ねじの軸部の挿通部及び前記取付ねじの頭部の
当接部を形成し、少なくとも一方の前記端部のＵ字状の
開口部を，前記両端部を結ぶ線に対し直角の方向に向け
たイオン源の熱フイラメント。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992075805U JP2573159Y2 (ja) | 1992-10-06 | 1992-10-06 | イオン源の熱フイラメント |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992075805U JP2573159Y2 (ja) | 1992-10-06 | 1992-10-06 | イオン源の熱フイラメント |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0636191U JPH0636191U (ja) | 1994-05-13 |
| JP2573159Y2 true JP2573159Y2 (ja) | 1998-05-28 |
Family
ID=13586784
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1992075805U Expired - Fee Related JP2573159Y2 (ja) | 1992-10-06 | 1992-10-06 | イオン源の熱フイラメント |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2573159Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4111186B2 (ja) * | 2004-11-18 | 2008-07-02 | 日新電機株式会社 | イオン照射装置 |
-
1992
- 1992-10-06 JP JP1992075805U patent/JP2573159Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0636191U (ja) | 1994-05-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |