JP2571328Y2 - 蛍光ｘ線分析装置 - Google Patents
蛍光ｘ線分析装置Info
- Publication number
- JP2571328Y2 JP2571328Y2 JP8912592U JP8912592U JP2571328Y2 JP 2571328 Y2 JP2571328 Y2 JP 2571328Y2 JP 8912592 U JP8912592 U JP 8912592U JP 8912592 U JP8912592 U JP 8912592U JP 2571328 Y2 JP2571328 Y2 JP 2571328Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas flow
- window
- flow type
- type proportional
- gas
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- Expired - Lifetime
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、試料にＸ線を照射し、
これにより試料から励起されて放出される蛍光Ｘ線を分
光分析する蛍光Ｘ線分析装置に関し、さらに詳しくは、
多元素の同時分析が可能なマルチチャンネル型の蛍光Ｘ
線分析装置に関する。
これにより試料から励起されて放出される蛍光Ｘ線を分
光分析する蛍光Ｘ線分析装置に関し、さらに詳しくは、
多元素の同時分析が可能なマルチチャンネル型の蛍光Ｘ
線分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、蛍光Ｘ線分析装置において、
Ｂ，Ｃ，Ｎ，Ｆ，Ｎａ等の軽元素を分析する場合には、
これらの軽元素の検出効率に優れたガスフロー型比例計
数管（ＦＰＣ）が使用されることがある。
Ｂ，Ｃ，Ｎ，Ｆ，Ｎａ等の軽元素を分析する場合には、
これらの軽元素の検出効率に優れたガスフロー型比例計
数管（ＦＰＣ）が使用されることがある。
【０００３】このガスフロー型比例計数管においては、
陰極となるケース内に陽極となるタングステン等ででき
た芯線を配置し、この芯線に所定の電圧を印加するとと
もに、ケース内にアルゴン等の計数管ガスを流す。この
状態において、ポリプロピレン等の高分子フィルムでで
きた窓を通して分光器から蛍光Ｘ線がケース内に入射す
ると、その蛍光Ｘ線のエネルギーに比例した電離電流が
芯線に流れ、この電離電流の大きさを電圧値に変換して
検出するものである。
陰極となるケース内に陽極となるタングステン等ででき
た芯線を配置し、この芯線に所定の電圧を印加するとと
もに、ケース内にアルゴン等の計数管ガスを流す。この
状態において、ポリプロピレン等の高分子フィルムでで
きた窓を通して分光器から蛍光Ｘ線がケース内に入射す
ると、その蛍光Ｘ線のエネルギーに比例した電離電流が
芯線に流れ、この電離電流の大きさを電圧値に変換して
検出するものである。
【０００４】
【考案が解決しようとする課題】かかるガスフロー型比
例計数管では、検出感度を高めるために、前記窓を構成
する高分子フィルムを、例えば、１μｍ以下の厚さにし
ているが、このような薄い高分子フィルムでは、大気圧
であるケース内と、真空排気されている分光器内との気
圧の差によって、窓が破損してしまうことがあり、特
に、ガスフロー型比例計数管を複数備えるマルチチャン
ネル型の蛍光Ｘ線分析装置においては、その可能性が高
く、また、窓が破損した場合には、分析装置を停止させ
て窓の交換を行わねばならず、その間分析が中断されて
しまうという難点がある。
例計数管では、検出感度を高めるために、前記窓を構成
する高分子フィルムを、例えば、１μｍ以下の厚さにし
ているが、このような薄い高分子フィルムでは、大気圧
であるケース内と、真空排気されている分光器内との気
圧の差によって、窓が破損してしまうことがあり、特
に、ガスフロー型比例計数管を複数備えるマルチチャン
ネル型の蛍光Ｘ線分析装置においては、その可能性が高
く、また、窓が破損した場合には、分析装置を停止させ
て窓の交換を行わねばならず、その間分析が中断されて
しまうという難点がある。
【０００５】本考案は、上述の点に鑑みて為されたもの
であって、ガスフロー型比例計数管の窓が破損しても分
析装置を停止させることなく、速やかに分析を再開でき
るようにした蛍光Ｘ線分析装置を提供することを目的と
する。
であって、ガスフロー型比例計数管の窓が破損しても分
析装置を停止させることなく、速やかに分析を再開でき
るようにした蛍光Ｘ線分析装置を提供することを目的と
する。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本考案では、上述の目的
を達成するために、次のように構成している。
を達成するために、次のように構成している。
【０００７】すなわち、本考案は、試料から励起されて
放出される蛍光Ｘ線を分光する複数の分光器と、各分光
器でそれぞれ分光された蛍光Ｘ線をそれぞれ検出する複
数のガスフロー型比例計数管とを備えるマルチチャンネ
ル型の蛍光Ｘ線分析装置において、前記試料から前記ガ
スフロー型比例計数管の窓に至る光路の途中に、気体を
遮断する開閉弁を設けている。
放出される蛍光Ｘ線を分光する複数の分光器と、各分光
器でそれぞれ分光された蛍光Ｘ線をそれぞれ検出する複
数のガスフロー型比例計数管とを備えるマルチチャンネ
ル型の蛍光Ｘ線分析装置において、前記試料から前記ガ
スフロー型比例計数管の窓に至る光路の途中に、気体を
遮断する開閉弁を設けている。
【０００８】
【作用】上記構成によれば、ガスフロー型比例計数管の
窓に至る光路の途中に、気体を遮断する開閉弁を設けて
いるので、窓が破損したときには、前記開閉弁を閉じる
ことにより、真空度を速やかに回復して別のチャンネル
の分光器およびガスフロー型比例計数管を用いて分析を
再開できることになる。
窓に至る光路の途中に、気体を遮断する開閉弁を設けて
いるので、窓が破損したときには、前記開閉弁を閉じる
ことにより、真空度を速やかに回復して別のチャンネル
の分光器およびガスフロー型比例計数管を用いて分析を
再開できることになる。
【０００９】
【実施例】以下、図面によって本考案の実施例につい
て、詳細に説明する。
て、詳細に説明する。
【００１０】図１は、本考案の一実施例の蛍光Ｘ線分析
装置の要部の断面図である。
装置の要部の断面図である。
【００１１】同図において、１は真空の試料室、２は試
料、３は一次スリット、４はＸ線によって励起された試
料２から放出される蛍光Ｘ線を分光結晶５で分光する分
光器、６は二次スリット、７は分光された蛍光Ｘ線を検
出するガスフロー型比例計数管である。
料、３は一次スリット、４はＸ線によって励起された試
料２から放出される蛍光Ｘ線を分光結晶５で分光する分
光器、６は二次スリット、７は分光された蛍光Ｘ線を検
出するガスフロー型比例計数管である。
【００１２】このガスフロー型比例計数管７は、陰極と
なるケース８を有し、該ケース８には、ポリプロピレン
等の高分子フィルムで構成された蛍光Ｘ線入射用の窓９
が形成されるとともに、陽極となるタングステン等でで
きた芯線１０が張架されており、アルゴン等の計数管ガ
スが、導入口２０から導入された排気口２１より排気さ
れる。
なるケース８を有し、該ケース８には、ポリプロピレン
等の高分子フィルムで構成された蛍光Ｘ線入射用の窓９
が形成されるとともに、陽極となるタングステン等でで
きた芯線１０が張架されており、アルゴン等の計数管ガ
スが、導入口２０から導入された排気口２１より排気さ
れる。
【００１３】この図１においては、分光器４およびガス
フロー型比例計数管７が１組しか示されていないが、こ
の実施例の蛍光Ｘ線分析装置は、複数組の分光器４およ
びガスフロー型比例計数管７を備えるマルチチャンネル
型の分析装置である。
フロー型比例計数管７が１組しか示されていないが、こ
の実施例の蛍光Ｘ線分析装置は、複数組の分光器４およ
びガスフロー型比例計数管７を備えるマルチチャンネル
型の分析装置である。
【００１４】この実施例では、蛍光Ｘ線の検出感度を高
めるために、蛍光Ｘ線入射用の窓９は、例えば、１μｍ
以下の厚さの高分子フィルムで構成されており、大気圧
であるケース８内と真空排気されている分光器４内との
気圧の差によって、前記窓９が破損した場合に、従来例
のように分析装置を停止して窓９を交換しなくても速や
かに機能を回復して分析を行えるようにするために、次
のように構成している。
めるために、蛍光Ｘ線入射用の窓９は、例えば、１μｍ
以下の厚さの高分子フィルムで構成されており、大気圧
であるケース８内と真空排気されている分光器４内との
気圧の差によって、前記窓９が破損した場合に、従来例
のように分析装置を停止して窓９を交換しなくても速や
かに機能を回復して分析を行えるようにするために、次
のように構成している。
【００１５】すなわち、分光結晶５とガスフロー型比例
計数管７の窓９との間の光路の途中に、気体を遮断する
開閉弁１２を設けており、該開閉弁１２を閉じることに
より、分光結晶５側の光路とガスフロー型比例計数管７
の窓９側の光路とを真空的に絶縁可能としており、ガス
フロー型比例計数管７の窓が破損した場合には、それを
後述のように検出して開閉弁１２を閉じるようにしてい
る。
計数管７の窓９との間の光路の途中に、気体を遮断する
開閉弁１２を設けており、該開閉弁１２を閉じることに
より、分光結晶５側の光路とガスフロー型比例計数管７
の窓９側の光路とを真空的に絶縁可能としており、ガス
フロー型比例計数管７の窓が破損した場合には、それを
後述のように検出して開閉弁１２を閉じるようにしてい
る。
【００１６】この実施例の開閉弁１２は、いわゆるボー
ルバルブのような構造になっており、図１に示される開
放された状態では、分光結晶５から二次スリット６を介
してガスフロー型比例計数管７の窓９に至る光路を遮る
ことなく連通させ、９０度回転させて閉じた状態では、
分光結晶５側の光路とガスフロー型比例計数管７の窓９
側の光路との間を気密に遮断する。
ルバルブのような構造になっており、図１に示される開
放された状態では、分光結晶５から二次スリット６を介
してガスフロー型比例計数管７の窓９に至る光路を遮る
ことなく連通させ、９０度回転させて閉じた状態では、
分光結晶５側の光路とガスフロー型比例計数管７の窓９
側の光路との間を気密に遮断する。
【００１７】このように開閉弁１２を、分光結晶５とガ
スフロー型比例計数管７の窓９との間に設けているの
で、窓９が破損した場合に、湿気によって分光結晶５が
潮解するのを有効に防止できることになる。
スフロー型比例計数管７の窓９との間に設けているの
で、窓９が破損した場合に、湿気によって分光結晶５が
潮解するのを有効に防止できることになる。
【００１８】図２は、ガスフロー型比例計数管７の窓９
の破損を検出して開閉弁１２を制御する構成を示す図で
あり、同図において、１３は計数管ガスのガスボンベ、
１４圧力調整器、７は上述と同様の構成を有する各チャ
ンネルに対応するガスフロー型比例計数管、１５は各ガ
スフロー型比例計数管７に至る計数管ガスの管路に途中
に設けられた電動バルブ、１６は圧力センサ、１７はガ
ス密度安定装置である。
の破損を検出して開閉弁１２を制御する構成を示す図で
あり、同図において、１３は計数管ガスのガスボンベ、
１４圧力調整器、７は上述と同様の構成を有する各チャ
ンネルに対応するガスフロー型比例計数管、１５は各ガ
スフロー型比例計数管７に至る計数管ガスの管路に途中
に設けられた電動バルブ、１６は圧力センサ、１７はガ
ス密度安定装置である。
【００１９】一般に、蛍光Ｘ線分析装置においては、大
気圧の変動による計数管ガスの密度（圧力）の変化を、
自動的に修正するために、ガス密度安定装置１７が設け
られており、このガス密度安定装置１７は、各ガスフロ
ー型比例計数管７の圧力を圧力センサ１６で検出して各
計数管ガスの管路の途中にそれぞれ設けられている電動
バルブ１５を制御する。
気圧の変動による計数管ガスの密度（圧力）の変化を、
自動的に修正するために、ガス密度安定装置１７が設け
られており、このガス密度安定装置１７は、各ガスフロ
ー型比例計数管７の圧力を圧力センサ１６で検出して各
計数管ガスの管路の途中にそれぞれ設けられている電動
バルブ１５を制御する。
【００２０】この実施例の蛍光Ｘ線分析装置では、ガス
フロー型比例計数管７の窓９が破損し、それによって計
数管ガスの圧力が急激に低下すると、それを検出してガ
ス密度安定装置１７が、対応するガスフロー型比例計数
管７の電動バルブ１５を閉じて計数管ガスの供給を停止
するとともに、分光結晶５とガスフロー型比例計数管７
の窓９との間の光路の途中に設けられた上述の開閉弁１
２を閉じ、これによって、破損した窓９側の光路と分光
結晶５側の光路とを気密に絶縁するように構成してい
る。
フロー型比例計数管７の窓９が破損し、それによって計
数管ガスの圧力が急激に低下すると、それを検出してガ
ス密度安定装置１７が、対応するガスフロー型比例計数
管７の電動バルブ１５を閉じて計数管ガスの供給を停止
するとともに、分光結晶５とガスフロー型比例計数管７
の窓９との間の光路の途中に設けられた上述の開閉弁１
２を閉じ、これによって、破損した窓９側の光路と分光
結晶５側の光路とを気密に絶縁するように構成してい
る。
【００２１】これによって、従来例のように、ガスフロ
ー型比例計数管７の窓９が破損した場合に、分析装置を
停止させて破損した窓９を交換しなくても、試料室１が
所定の真空度に回復したら他のチャンネルの分光器４お
よびガスフロー型比例計数管７による分析を速やかに再
開できることになる。
ー型比例計数管７の窓９が破損した場合に、分析装置を
停止させて破損した窓９を交換しなくても、試料室１が
所定の真空度に回復したら他のチャンネルの分光器４お
よびガスフロー型比例計数管７による分析を速やかに再
開できることになる。
【００２２】また、ガスフロー型比例計数管７の窓９が
破損しても同一元素の分析を行えるように、予備のチャ
ンネルの分光器４およびガスフロー型比例計数管７を設
けておき、窓９が破損したときには、予備のチャンネル
に切り換えて同一元素の分析を再開できるようにしても
よい。
破損しても同一元素の分析を行えるように、予備のチャ
ンネルの分光器４およびガスフロー型比例計数管７を設
けておき、窓９が破損したときには、予備のチャンネル
に切り換えて同一元素の分析を再開できるようにしても
よい。
【００２３】上述の実施例では、開閉弁１２を、分光結
晶５とガスフロー型比例計数管７の窓９との間に設けた
けれども、本考案の他の実施例として、分光結晶５が真
空ポンプの油などによって汚染されるのを防止できるよ
うに、分光結晶５と一次スリット３との間に設けてもよ
く、あるいは、両方に設けてもよい。
晶５とガスフロー型比例計数管７の窓９との間に設けた
けれども、本考案の他の実施例として、分光結晶５が真
空ポンプの油などによって汚染されるのを防止できるよ
うに、分光結晶５と一次スリット３との間に設けてもよ
く、あるいは、両方に設けてもよい。
【００２４】
【考案の効果】以上のように本考案によれば、マルチチ
ャンネル型の蛍光Ｘ線分析装置において、試料からガス
フロー型比例計数管の窓に至る光路の途中に、気体を遮
断する開閉弁を設けているので、窓が破損したときに
は、前記開閉弁を閉じることにより、従来例のように、
分析装置を停止させて窓を交換しなくても、真空度を速
やかに回復して他のチャンネルの分光器およびガスフロ
ー型比例計数管を用いて分析を再開できることになる。
ャンネル型の蛍光Ｘ線分析装置において、試料からガス
フロー型比例計数管の窓に至る光路の途中に、気体を遮
断する開閉弁を設けているので、窓が破損したときに
は、前記開閉弁を閉じることにより、従来例のように、
分析装置を停止させて窓を交換しなくても、真空度を速
やかに回復して他のチャンネルの分光器およびガスフロ
ー型比例計数管を用いて分析を再開できることになる。
【図１】本考案の一実施例の要部の断面図である。
【図２】図１の実施例の開閉弁の制御を説明するための
構成図である。
構成図である。
２ 試料 ４ 分光器 ７ ガスフロー型比例計数管 ９ 窓 １２ 開閉弁
Claims (1)
- 【請求項１】 試料から励起されて放出される蛍光Ｘ線
を分光する複数の分光器と、各分光器でそれぞれ分光さ
れた蛍光Ｘ線をそれぞれ検出する複数のガスフロー型比
例計数管とを備えるマルチチャンネル型の蛍光Ｘ線分析
装置において、 前記試料から前記ガスフロー型比例計数管の窓に至る光
路の途中に、気体を遮断する開閉弁を設けたことを特徴
とする蛍光Ｘ線分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8912592U JP2571328Y2 (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 蛍光ｘ線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8912592U JP2571328Y2 (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 蛍光ｘ線分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0653963U JPH0653963U (ja) | 1994-07-22 |
| JP2571328Y2 true JP2571328Y2 (ja) | 1998-05-18 |
Family
ID=13962171
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8912592U Expired - Lifetime JP2571328Y2 (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 蛍光ｘ線分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2571328Y2 (ja) |
-
1992
- 1992-12-28 JP JP8912592U patent/JP2571328Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0653963U (ja) | 1994-07-22 |
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