JP2570615B2 - 移動装置 - Google Patents
移動装置Info
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- JP2570615B2 JP2570615B2 JP6070632A JP7063294A JP2570615B2 JP 2570615 B2 JP2570615 B2 JP 2570615B2 JP 6070632 A JP6070632 A JP 6070632A JP 7063294 A JP7063294 A JP 7063294A JP 2570615 B2 JP2570615 B2 JP 2570615B2
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- fixed
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- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
- Micromachines (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は微小形状をもつ移動装置
に関するものである。
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、微小形状をもつ移動装置を構成す
るため、移動体に圧電素子を介して慣性体（おもり）を
接着したものがある。圧電素子の駆動によるおもりの急
激な移動と駆動前位置への緩やかな復帰の組合せにより
微小機械の移動を実現するものである（例えば樋口ら
“圧電素子の急速変型を利用したマイクロロボットアー
ム”日本ロボット学会誌８巻４号ｐ１０３〜１０６）。
るため、移動体に圧電素子を介して慣性体（おもり）を
接着したものがある。圧電素子の駆動によるおもりの急
激な移動と駆動前位置への緩やかな復帰の組合せにより
微小機械の移動を実現するものである（例えば樋口ら
“圧電素子の急速変型を利用したマイクロロボットアー
ム”日本ロボット学会誌８巻４号ｐ１０３〜１０６）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記従来の移動装置で
は圧電素子の駆動により微小機械の移動を実現すること
ができるが、一回の圧電素子の駆動当りの移動量は圧電
素子の伸長量に相当する。これは数nmから数μm である
ため、高速の移動が困難であるという課題があった。
は圧電素子の駆動により微小機械の移動を実現すること
ができるが、一回の圧電素子の駆動当りの移動量は圧電
素子の伸長量に相当する。これは数nmから数μm である
ため、高速の移動が困難であるという課題があった。
【０００４】本発明の目的はこの課題を解決して高速の
移動ができる移動装置を提供することにある。
移動ができる移動装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、微小形
状をもつ移動装置において、装置フレームに積層型圧電
素子とばね要素が固定され、このばね要素におもりが固
定されしかもこのおもりはばね要素によって前記積層型
圧電素子に押しつけられており、ばね要素の接地面に斜
毛が固定され、積層型圧電素子の振動によりおもりを介
してばね要素を振動させて斜毛によりこの振動を斜毛に
より選択される特定の方向への推力に変換することを特
徴とする。
状をもつ移動装置において、装置フレームに積層型圧電
素子とばね要素が固定され、このばね要素におもりが固
定されしかもこのおもりはばね要素によって前記積層型
圧電素子に押しつけられており、ばね要素の接地面に斜
毛が固定され、積層型圧電素子の振動によりおもりを介
してばね要素を振動させて斜毛によりこの振動を斜毛に
より選択される特定の方向への推力に変換することを特
徴とする。
【０００６】おもりがなく、積層型圧電素子が装置フレ
ームと直接対向していてもよい。また斜毛を、ばね要素
にではなく装置フレームの接地面に固定してもよい。
ームと直接対向していてもよい。また斜毛を、ばね要素
にではなく装置フレームの接地面に固定してもよい。
【０００７】ばね要素の接地面側あるいはその反対側が
二つに分割され、それぞれにおもりが固定され、対向す
る装置フレームにこの二つのおもりに対応して二つの積
層型圧電素子が固定されているようにしてもよい。ばね
要素がない場合も同様である。
二つに分割され、それぞれにおもりが固定され、対向す
る装置フレームにこの二つのおもりに対応して二つの積
層型圧電素子が固定されているようにしてもよい。ばね
要素がない場合も同様である。
【０００８】
【実施例】本発明の実施例について、直線状の前進及び
左右方向への進路変更を可能とする移動装置を例として
本発明の構成を図面を用いて説明する。
左右方向への進路変更を可能とする移動装置を例として
本発明の構成を図面を用いて説明する。
【０００９】図１は本発明の第一の実施例を示す斜視図
である。鈎型形状の装置フレーム１０に積層型圧電素子
１１、１２を接着固定し、さらに、装置フレーム１０に
ばね要素２０を固定する。ばね要素２０の下部は左右２
つの部分に分割しておき、分割したそれぞれの部分の、
積層型圧電素子と同じ高さの位置におもり２１，２２を
それぞれ固定する。このとき、おもり２１，２２は圧電
素子１１，１２とは固定せず、ばね要素２０のばね定数
に対応した力で圧電素子１１，１２に押しつけられ接触
しているのみとする。ばね要素２０の更に下部は移動す
る接地面と並行するよう折り曲げておき、接地面側に斜
毛３１，３２を固定する。
である。鈎型形状の装置フレーム１０に積層型圧電素子
１１、１２を接着固定し、さらに、装置フレーム１０に
ばね要素２０を固定する。ばね要素２０の下部は左右２
つの部分に分割しておき、分割したそれぞれの部分の、
積層型圧電素子と同じ高さの位置におもり２１，２２を
それぞれ固定する。このとき、おもり２１，２２は圧電
素子１１，１２とは固定せず、ばね要素２０のばね定数
に対応した力で圧電素子１１，１２に押しつけられ接触
しているのみとする。ばね要素２０の更に下部は移動す
る接地面と並行するよう折り曲げておき、接地面側に斜
毛３１，３２を固定する。
【００１０】図に示した構成では、左右一対の圧電素子
１１，１２を駆動することにより、ばね要素２０を振動
させ、斜毛３１，３２により振動を単一方向への推力に
変換し、移動する。圧電素子１１，１２の各々の駆動電
圧若しくは駆動周波数を変更することにより左右の推進
力を変化させ、直線状の前進及び左右方向への進路変更
を可能とする。
１１，１２を駆動することにより、ばね要素２０を振動
させ、斜毛３１，３２により振動を単一方向への推力に
変換し、移動する。圧電素子１１，１２の各々の駆動電
圧若しくは駆動周波数を変更することにより左右の推進
力を変化させ、直線状の前進及び左右方向への進路変更
を可能とする。
【００１１】ばね要素２０の振動を発生させるために
は、圧電素子１１，１２を方形波状の電圧で駆動するこ
とにより圧電素子１１，１２の長さを急激に伸張・収縮
させる。本動作によれば、収縮状態にある時に圧電素子
１１，１２と接しているおもり２１，２２は、積層型圧
電素子１１，１２の急激な伸張によりはじき飛ばされ
る。
は、圧電素子１１，１２を方形波状の電圧で駆動するこ
とにより圧電素子１１，１２の長さを急激に伸張・収縮
させる。本動作によれば、収縮状態にある時に圧電素子
１１，１２と接しているおもり２１，２２は、積層型圧
電素子１１，１２の急激な伸張によりはじき飛ばされ
る。
【００１２】このはじき飛ばしを利用した駆動によるお
もり２１，２２の移動距離は、圧電素子が本来伸縮可能
な可能範囲である数μm から数十μm を大きく越える値
となる。さらに圧電素子１１，１２の駆動周波数を、ば
ね要素２０とおもり２１，２２及び斜毛３１，３２で定
まる共振周波数と一致させる、または共振周波数の整数
倍に選定することにより、共振現象を利用することが可
能である。共振現象を利用することにより、ばね要素２
０の振幅をさらに増大させることができる。
もり２１，２２の移動距離は、圧電素子が本来伸縮可能
な可能範囲である数μm から数十μm を大きく越える値
となる。さらに圧電素子１１，１２の駆動周波数を、ば
ね要素２０とおもり２１，２２及び斜毛３１，３２で定
まる共振周波数と一致させる、または共振周波数の整数
倍に選定することにより、共振現象を利用することが可
能である。共振現象を利用することにより、ばね要素２
０の振幅をさらに増大させることができる。
【００１３】以上説明した構成により、大きな振幅でば
ね要素２０を振動させることが可能となり、結果として
ばね要素２０の接地面に固定した斜毛３１，３２を大き
く前後に移動させることができる。斜毛は、接地面に接
触させて前後に移動させると、一方向には抵抗が少な
く、反対方向には大きな抵抗が働く特性を持つ。このた
め、上記ばね要素２０の振動を、斜毛の固定方向により
選択される特定の方向への推力に変換することができ
る。また、左右一対２枚の斜毛３１，３２の駆動振幅を
変えることにより、左右に分割した接地面に対する推力
のバランスを変えることができ、結果として直線状の前
進及び左右方向への進路変更が可能となる。
ね要素２０を振動させることが可能となり、結果として
ばね要素２０の接地面に固定した斜毛３１，３２を大き
く前後に移動させることができる。斜毛は、接地面に接
触させて前後に移動させると、一方向には抵抗が少な
く、反対方向には大きな抵抗が働く特性を持つ。このた
め、上記ばね要素２０の振動を、斜毛の固定方向により
選択される特定の方向への推力に変換することができ
る。また、左右一対２枚の斜毛３１，３２の駆動振幅を
変えることにより、左右に分割した接地面に対する推力
のバランスを変えることができ、結果として直線状の前
進及び左右方向への進路変更が可能となる。
【００１４】図２は本発明の第一の実施例の組立関係を
示す組立図である。
示す組立図である。
【００１５】装置フレーム１０に積層型圧電素子１１，
１２を接着固定する。ばね要素２０の下部は左右２つの
部分に分割しておき、下部左右の部分の圧電素子と同じ
高さの位置におもり２１，２２をそれぞれ固定する。ば
ね要素２０の更に下部は移動する接地面と並行するよう
折り曲げておき、接地面側に斜毛３１，３２を固定す
る。おもり２１，２２及び、斜毛３１，３２を固定した
ばね要素２０は装置フレーム１０に固定する。
１２を接着固定する。ばね要素２０の下部は左右２つの
部分に分割しておき、下部左右の部分の圧電素子と同じ
高さの位置におもり２１，２２をそれぞれ固定する。ば
ね要素２０の更に下部は移動する接地面と並行するよう
折り曲げておき、接地面側に斜毛３１，３２を固定す
る。おもり２１，２２及び、斜毛３１，３２を固定した
ばね要素２０は装置フレーム１０に固定する。
【００１６】図３は本発明の第二の実施例を示す斜視図
である。
である。
【００１７】装置フレーム１０に積層型圧電素子１１，
１２を接着固定し、さらに、装置フレーム１０にばね要
素２０を固定する。ただし図では圧電素子１２は圧電素
子１１の陰に隠れて見えていない。ばね要素２０の上部
は左右２つの部分に分割しておき、上部左右の部分の圧
電素子と同じ高さの位置におもり２１，２２をそれぞれ
固定する。このとき、おもり２１，２２は圧電素子１
１，１２とは固定せず、ばね要素２０のばね定数に対応
した力で圧電素子１１，１２に押しつけられ接触してい
るのみとする。装置フレーム１０の接地面側には斜毛３
０を固定する。
１２を接着固定し、さらに、装置フレーム１０にばね要
素２０を固定する。ただし図では圧電素子１２は圧電素
子１１の陰に隠れて見えていない。ばね要素２０の上部
は左右２つの部分に分割しておき、上部左右の部分の圧
電素子と同じ高さの位置におもり２１，２２をそれぞれ
固定する。このとき、おもり２１，２２は圧電素子１
１，１２とは固定せず、ばね要素２０のばね定数に対応
した力で圧電素子１１，１２に押しつけられ接触してい
るのみとする。装置フレーム１０の接地面側には斜毛３
０を固定する。
【００１８】図に示した構成では、左右一対の圧電素子
１１，１２を駆動することにより、ばね要素２０を振動
させ、斜毛３０によりこの振動に基づき発生する慣性力
を単一方向への推力に変換し、移動する。二つの圧電素
子の駆動電圧若しくは駆動周波数を変更することにより
装置フレーム全体に働く慣性力の左右のバランスを変化
させ、直線状の前進及び左右方向への進路変更を可能と
する。
１１，１２を駆動することにより、ばね要素２０を振動
させ、斜毛３０によりこの振動に基づき発生する慣性力
を単一方向への推力に変換し、移動する。二つの圧電素
子の駆動電圧若しくは駆動周波数を変更することにより
装置フレーム全体に働く慣性力の左右のバランスを変化
させ、直線状の前進及び左右方向への進路変更を可能と
する。
【００１９】ばね要素２０の振動を発生させるために
は、圧電素子１１，１２を方形波状の電圧にて駆動する
ことにより圧電素子１１，１２の長さを急激に伸張・収
縮させる。本動作によれば、収縮状態にある時に圧電素
子１１，１２と接しているおもり２１、２２は圧電素子
１１，１２の急激な伸張によりはじき飛ばされる。
は、圧電素子１１，１２を方形波状の電圧にて駆動する
ことにより圧電素子１１，１２の長さを急激に伸張・収
縮させる。本動作によれば、収縮状態にある時に圧電素
子１１，１２と接しているおもり２１、２２は圧電素子
１１，１２の急激な伸張によりはじき飛ばされる。
【００２０】このはじき飛ばしを利用した駆動によるお
もり２１，２２の移動距離は、圧電素子が本来伸縮可能
な可能範囲である数μm から数十μm を大きく越える値
となる。さらに圧電素子１１，１２の駆動周波数を、ば
ね要素２０とおもり２１，２２にて定まる共振周波数と
一致させる、または共振周波数の整数倍に選定すること
により共振現象を利用することが可能である。共振現象
を利用することにより、ばね要素２０の振幅をさらに増
大させることができる。
もり２１，２２の移動距離は、圧電素子が本来伸縮可能
な可能範囲である数μm から数十μm を大きく越える値
となる。さらに圧電素子１１，１２の駆動周波数を、ば
ね要素２０とおもり２１，２２にて定まる共振周波数と
一致させる、または共振周波数の整数倍に選定すること
により共振現象を利用することが可能である。共振現象
を利用することにより、ばね要素２０の振幅をさらに増
大させることができる。
【００２１】以上説明した構成により、大きな振幅でば
ね要素２０を振動させることが可能となり、この振動に
より前後に振れるおもり２１，２２に働く慣性力の効果
により装置フレーム１０全体に対し、前後にゆする力が
働く。結果として装置フレーム１０の接地面に固定した
斜毛３０を大きく前後に移動させることができる。斜毛
は、接地面に接触させて前後に移動させると、一方向に
は抵抗が少なく、反対方向には大きな抵抗が働く特性を
持つ。このため、装置フレーム１０に働く慣性力を、斜
毛の固定方向により選択される特定の方向への推力に変
換することができる。また、左右一対２つのおもり２
１，２２の駆動振幅を変えることにより、左右に働く慣
性力のバランスを変えることができ、結果として直線状
の前進及び左右方向への進路変更が可能となる。
ね要素２０を振動させることが可能となり、この振動に
より前後に振れるおもり２１，２２に働く慣性力の効果
により装置フレーム１０全体に対し、前後にゆする力が
働く。結果として装置フレーム１０の接地面に固定した
斜毛３０を大きく前後に移動させることができる。斜毛
は、接地面に接触させて前後に移動させると、一方向に
は抵抗が少なく、反対方向には大きな抵抗が働く特性を
持つ。このため、装置フレーム１０に働く慣性力を、斜
毛の固定方向により選択される特定の方向への推力に変
換することができる。また、左右一対２つのおもり２
１，２２の駆動振幅を変えることにより、左右に働く慣
性力のバランスを変えることができ、結果として直線状
の前進及び左右方向への進路変更が可能となる。
【００２２】図４は本発明の第二の実施例の組立関係を
示す組立図である。
示す組立図である。
【００２３】装置フレーム１０に圧電素子１１，１２を
接着固定する。ばね要素２０の上部は左右２つの部分に
分割しておき、分割した左右の部分の圧電素子と同じ高
さの位置におもり２１，２２をそれぞれ固定する。ばね
要素２０の下部は装置フレーム１０に固定する。装置フ
レーム１０の接地面側には斜毛３０を固定する。
接着固定する。ばね要素２０の上部は左右２つの部分に
分割しておき、分割した左右の部分の圧電素子と同じ高
さの位置におもり２１，２２をそれぞれ固定する。ばね
要素２０の下部は装置フレーム１０に固定する。装置フ
レーム１０の接地面側には斜毛３０を固定する。
【００２４】図５は本発明の第三の実施例を示す斜視図
である。第一の実施例と類似の構成を採るが、積層型圧
電素子１１，１２をばね要素２０側に接着固定し、おも
りを使用しない。圧電素子１１，１２と装置フレーム１
０とはばね要素２０のばね定数により定まる力で押しつ
けられ接触しているのみである。圧電素子１１，１２の
駆動により圧電素子１１，１２自体が装置フレーム１０
からはじき飛ばされる点以外、動作原理及び駆動方式は
前記第一の実施例とほぼ同一である。ただし、バネ要素
２０の振動の共振周波数に関しては圧電素子１１，１２
自体が第一の実施例におけるおもり２１、２２と同等の
意味を持つため、バネ要素２０、圧電素子１１、１２、
斜毛３１，３２により共振周波数が定まる。
である。第一の実施例と類似の構成を採るが、積層型圧
電素子１１，１２をばね要素２０側に接着固定し、おも
りを使用しない。圧電素子１１，１２と装置フレーム１
０とはばね要素２０のばね定数により定まる力で押しつ
けられ接触しているのみである。圧電素子１１，１２の
駆動により圧電素子１１，１２自体が装置フレーム１０
からはじき飛ばされる点以外、動作原理及び駆動方式は
前記第一の実施例とほぼ同一である。ただし、バネ要素
２０の振動の共振周波数に関しては圧電素子１１，１２
自体が第一の実施例におけるおもり２１、２２と同等の
意味を持つため、バネ要素２０、圧電素子１１、１２、
斜毛３１，３２により共振周波数が定まる。
【００２５】図６は本発明の第四の実施例を示す斜視図
である。第二の実施例と類似の構成を取るが、積層型圧
電素子１１，１２をばね要素２０側に接着固定し、おも
りを使用しない構成としている。圧電素子１１，１２と
装置フレーム１０とはばね要素２０のばね定数により定
まる力にて押しつけられ接触しているのみである。圧電
素子１１，１２の駆動により圧電素子１１，１２自体が
装置フレーム１０からはじき飛ばされる点以外、動作原
理及び駆動方式は前記第二の実施例とほぼ同一である。
ただし、バネ要素２０の振動の共振周波数および慣性力
に関しては圧電素子１１，１２自体が第二の実施例にお
けるおもり２１、２２と同等の意味を持つため、バネ要
素２０、圧電素子１１、１２により共振周波数および慣
性力が定まる。
である。第二の実施例と類似の構成を取るが、積層型圧
電素子１１，１２をばね要素２０側に接着固定し、おも
りを使用しない構成としている。圧電素子１１，１２と
装置フレーム１０とはばね要素２０のばね定数により定
まる力にて押しつけられ接触しているのみである。圧電
素子１１，１２の駆動により圧電素子１１，１２自体が
装置フレーム１０からはじき飛ばされる点以外、動作原
理及び駆動方式は前記第二の実施例とほぼ同一である。
ただし、バネ要素２０の振動の共振周波数および慣性力
に関しては圧電素子１１，１２自体が第二の実施例にお
けるおもり２１、２２と同等の意味を持つため、バネ要
素２０、圧電素子１１、１２により共振周波数および慣
性力が定まる。
【００２６】以上本発明の実施例について直線状の前進
及び左右方向への進路変更を可能とする移動装置を例と
して構成を説明した。本発明を前進のみ必要な移動装置
に適用する場合、ばね要素２０の部分的な分割をせず、
一つの積層型圧電素子及び一つのおもりにより移動装置
を構成することができる。また構成要素間の固定方法と
して接着、溶接、ねじ止めなどの変型が可能であり、こ
れらの変型に対しても本発明が適用可能であることは明
らかである。
及び左右方向への進路変更を可能とする移動装置を例と
して構成を説明した。本発明を前進のみ必要な移動装置
に適用する場合、ばね要素２０の部分的な分割をせず、
一つの積層型圧電素子及び一つのおもりにより移動装置
を構成することができる。また構成要素間の固定方法と
して接着、溶接、ねじ止めなどの変型が可能であり、こ
れらの変型に対しても本発明が適用可能であることは明
らかである。
【００２７】
【発明の効果】本発明によれば簡単な構成にて高速な移
動を可能とする移動装置が得られる。
動を可能とする移動装置が得られる。
【００２８】積層型圧電素子としては２mm×３mmの断面
をもち５mmの長さのものが市販されており、さらに微少
な形状も容易に作成可能である。接着を主体とした簡単
な方式により組み立て可能であり、各辺１cm以下という
微小形状をもつ移動装置を容易に構成可能である。
をもち５mmの長さのものが市販されており、さらに微少
な形状も容易に作成可能である。接着を主体とした簡単
な方式により組み立て可能であり、各辺１cm以下という
微小形状をもつ移動装置を容易に構成可能である。
【００２９】積層型圧電素子の伸縮範囲は数μm から数
十μm であるが、本発明による構成ではバネの共振現象
を利用しており、前記伸縮範囲と比較して非常に大きな
振幅の振動を発生することができる。このため、移動装
置として各辺１cm以下という微小形状でありながら、前
記従来の装置と比較して高速な移動が可能である。
十μm であるが、本発明による構成ではバネの共振現象
を利用しており、前記伸縮範囲と比較して非常に大きな
振幅の振動を発生することができる。このため、移動装
置として各辺１cm以下という微小形状でありながら、前
記従来の装置と比較して高速な移動が可能である。
【００３０】積層型圧電素子は容量型の素子であり、方
形波状の駆動電圧をかけた場合、電圧が変化した直後に
しか電流が流れない。高電圧をかけ急激な伸縮を行わせ
る場合にも非常に短い時間のみ大きな電流が流れるだけ
であり、平均電流として低い電流にて駆動が可能であ
る。このため本発明による移動装置と制御装置の間を、
細い配線にて接続可能であり、高電圧による力強い移動
動作を駆動する場合にも配線の引き回しによる駆動力損
失を避けることができる。
形波状の駆動電圧をかけた場合、電圧が変化した直後に
しか電流が流れない。高電圧をかけ急激な伸縮を行わせ
る場合にも非常に短い時間のみ大きな電流が流れるだけ
であり、平均電流として低い電流にて駆動が可能であ
る。このため本発明による移動装置と制御装置の間を、
細い配線にて接続可能であり、高電圧による力強い移動
動作を駆動する場合にも配線の引き回しによる駆動力損
失を避けることができる。
【００３１】図７は本発明に従う移動装置の駆動電流波
形の一例を示す波形図である。上半分（ａ）の波形図は
９００μ秒間に付いて示した波形であり、下半分（ｂ）
の波形図は駆動電圧の立ち上がり直後の９０μ秒間を拡
大して示した波形である。積層型圧電素子を１００Ｖの
方形波にて駆動した場合の駆動電流を示した。本例では
約１．８ＫＨｚにて駆動しており、５５０μ秒を周期と
してその間最初の３．８μ秒間に平均１．７Ａ、次の約
３５秒間に平均０．４Ａの電流が流れている。同様の電
流が反対の極性にて２８０μ秒の時刻に流れている。こ
こで、最大駆動電流は３．４Ａであるが、一周期の平均
電流としては０．０３７Ａである。
形の一例を示す波形図である。上半分（ａ）の波形図は
９００μ秒間に付いて示した波形であり、下半分（ｂ）
の波形図は駆動電圧の立ち上がり直後の９０μ秒間を拡
大して示した波形である。積層型圧電素子を１００Ｖの
方形波にて駆動した場合の駆動電流を示した。本例では
約１．８ＫＨｚにて駆動しており、５５０μ秒を周期と
してその間最初の３．８μ秒間に平均１．７Ａ、次の約
３５秒間に平均０．４Ａの電流が流れている。同様の電
流が反対の極性にて２８０μ秒の時刻に流れている。こ
こで、最大駆動電流は３．４Ａであるが、一周期の平均
電流としては０．０３７Ａである。
【００３２】図７に示したように本発明に従う移動装置
では、駆動電圧の立ち上がり時に３．４Ａという強い電
流にて強力な駆動を行いながらも、最大駆動電流の１０
０分の１の平均駆動電流にて駆動が可能である。従っ
て、高速かつ強力な移動装置の駆動を細い接続線にて接
続可能であるという大きな利点を持つ。
では、駆動電圧の立ち上がり時に３．４Ａという強い電
流にて強力な駆動を行いながらも、最大駆動電流の１０
０分の１の平均駆動電流にて駆動が可能である。従っ
て、高速かつ強力な移動装置の駆動を細い接続線にて接
続可能であるという大きな利点を持つ。
【００３３】以上述べた本発明によれば前記従来の課題
を解決した移動装置が得られる。
を解決した移動装置が得られる。
【図１】本発明の第一の実施例を示す斜視図である。
【図２】本発明の第一の実施例の組立関係を示す組立図
である。
である。
【図３】本発明の第二の実施例を示す斜視図である。
【図４】本発明の第二の実施例の組立関係を示す組立図
である。
である。
【図５】本発明の第三の実施例を示す斜視図である。
【図６】本発明の第四の実施例を示す斜視図である。
【図７】本発明に従う移動装置の駆動電流波形の一例を
示す波形図である。
示す波形図である。
１０ 装置フレーム １１、１２ 積層型圧電素子 ２０ ばね要素 ２１、２２ おもり ３０、３１、３２ 斜毛
Claims (5)
- 【請求項１】装置フレームに積層型圧電素子とばね要素
が固定され、このばね要素におもりが固定されしかもこ
のおもりはばね要素によって前記積層型圧電素子に押し
つけられており、ばね要素の接地面に斜毛が固定され、
積層型圧電素子の振動によりおもりを介してばね要素を
振動させて斜毛によりこの振動を斜毛により選択される
特定の方向への推力に変換することを特徴とする微小形
状をもつ移動装置。 - 【請求項２】装置フレームにばね要素が固定され、この
ばね要素に積層型圧電素子が固定され、この積層型圧電
素子と装置フレームとが対向ししかも積層型圧電素子は
ばね要素によって装置フレームに押しつけられており、
ばね要素の接地面に斜毛が固定され、前記積層型圧電素
子の振動によりばね要素を振動させて斜毛によりこの振
動を斜毛により選択される特定の方向への推力に変換す
ることを特徴とする微小形状をもつ移動装置。 - 【請求項３】斜毛をばね要素に代えて装置フレームの接
地面に固定した請求項１または２に記載の微小形状をも
つ移動装置。 - 【請求項４】ばね要素の接地面側あるいはその反対側が
二つに分割され、それぞれにおもりが固定され、対向す
る装置フレームにこの二つのおもりに対応して二つの積
層型圧電素子が固定されている請求項１または３に記載
の微小形状をもつ移動装置。 - 【請求項５】ばね要素の接地面側あるいはその反対側が
二つに分割され、対向する装置フレームにこの分割され
たばね要素に対応して二つの積層型圧電素子が固定され
ている請求項２、または３に記載の微小形状をもつ移動
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6070632A JP2570615B2 (ja) | 1994-04-08 | 1994-04-08 | 移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6070632A JP2570615B2 (ja) | 1994-04-08 | 1994-04-08 | 移動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07276267A JPH07276267A (ja) | 1995-10-24 |
| JP2570615B2 true JP2570615B2 (ja) | 1997-01-08 |
Family
ID=13437217
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6070632A Expired - Fee Related JP2570615B2 (ja) | 1994-04-08 | 1994-04-08 | 移動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2570615B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0698584B2 (ja) * | 1989-11-24 | 1994-12-07 | 俊郎 樋口 | マイクロマニピュレータの微小移動装置 |
| JPH04151598A (ja) * | 1990-06-27 | 1992-05-25 | Nuclear Fuel Ind Ltd | 搬送装置 |
-
1994
- 1994-04-08 JP JP6070632A patent/JP2570615B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07276267A (ja) | 1995-10-24 |
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