JP2564510Y2 - 磁気軸受装置 - Google Patents
磁気軸受装置Info
- Publication number
- JP2564510Y2 JP2564510Y2 JP1990081884U JP8188490U JP2564510Y2 JP 2564510 Y2 JP2564510 Y2 JP 2564510Y2 JP 1990081884 U JP1990081884 U JP 1990081884U JP 8188490 U JP8188490 U JP 8188490U JP 2564510 Y2 JP2564510 Y2 JP 2564510Y2
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- Japan
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- sensor
- cable
- position detection
- detection sensor
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- Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)
- Control Of Position Or Direction (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この考案は磁気軸受装置に関し、特に、対象物の位置
を位置検出センサで検出し、その検出信号をフィードバ
ック信号として制御回路に入力し、電磁石の電磁力を制
御して対象物を定位置に保持するような制御式の磁気軸
受装置に関する。
を位置検出センサで検出し、その検出信号をフィードバ
ック信号として制御回路に入力し、電磁石の電磁力を制
御して対象物を定位置に保持するような制御式の磁気軸
受装置に関する。
［従来の技術］ 磁気軸受装置は、対象物を電磁石または永久磁石から
なる磁気軸受によって軸支させるものであり、対象物の
位置を検出するために位置検出センサが用いられる。こ
のような位置検出センサとしては、一般に、渦電流式，
リラクタンス式，光電式または磁気式などが用いられ
る。これらのセンサは検出部やケーブル部での温度によ
って出力が変化するため、センサの検出部とケーブル部
での環境温度が大きく変化する場合には、正確な位置検
出をすることができず、特に、磁気軸受装置のような位
置検出センサ出力に応じて対象物の位置を制御する場合
には、これら検出部やケーブル部のセンサ各部での温度
変化を無視することができない。
なる磁気軸受によって軸支させるものであり、対象物の
位置を検出するために位置検出センサが用いられる。こ
のような位置検出センサとしては、一般に、渦電流式，
リラクタンス式，光電式または磁気式などが用いられ
る。これらのセンサは検出部やケーブル部での温度によ
って出力が変化するため、センサの検出部とケーブル部
での環境温度が大きく変化する場合には、正確な位置検
出をすることができず、特に、磁気軸受装置のような位
置検出センサ出力に応じて対象物の位置を制御する場合
には、これら検出部やケーブル部のセンサ各部での温度
変化を無視することができない。
第３図は従来のリラクタンス式センサの原理を示す図
である。リラクタンス式センサでは、センサコントロー
ル部１からある一定の電圧および周波数ωを持つ高周波
電圧vi（Ｖ）をケーブル部２を介してセンサ検出部３の
コイルＬに印加し、センサ検出部３とセンサターゲット
面との距離の関数として決定されるインピーダンスＬω
とセンサコントロール部１に設けられた直流抵抗R4との
分圧電圧を測定し、その電圧を整流回路４によって全波
整流することにより、センサ検出部３とセンサターゲッ
ト面間距離をアナログ的に測定する。しかしながら、実
際の測定系では、ケーブル部２内に存在する直流抵抗R1
およびR2とセンサ検出部３のコイル内に存在する直流抵
抗R3があり、これらの直流抵抗はセンサ各部温度によっ
て変化する。したがって、センサ出力は（R1＋R2＋R3＋
Ｌω）とR4との分圧によって決定されるため、センサ出
力はセンサ各部温度によって変化することがわかる。
である。リラクタンス式センサでは、センサコントロー
ル部１からある一定の電圧および周波数ωを持つ高周波
電圧vi（Ｖ）をケーブル部２を介してセンサ検出部３の
コイルＬに印加し、センサ検出部３とセンサターゲット
面との距離の関数として決定されるインピーダンスＬω
とセンサコントロール部１に設けられた直流抵抗R4との
分圧電圧を測定し、その電圧を整流回路４によって全波
整流することにより、センサ検出部３とセンサターゲッ
ト面間距離をアナログ的に測定する。しかしながら、実
際の測定系では、ケーブル部２内に存在する直流抵抗R1
およびR2とセンサ検出部３のコイル内に存在する直流抵
抗R3があり、これらの直流抵抗はセンサ各部温度によっ
て変化する。したがって、センサ出力は（R1＋R2＋R3＋
Ｌω）とR4との分圧によって決定されるため、センサ出
力はセンサ各部温度によって変化することがわかる。
第４図は温度変化によるセンサ出力のドリフトを抑圧
するようにした位置センサを示す図である。この第４図
に示した例は、測定対象物５に対向するように位置検出
部６と７をそれぞれ対向して配置し、位置検出部6,7の
出力をセンサコントローラ8,9を介して差動増幅回路10
に入力し、両センサ6,7の出力を演算することによっ
て、温度変化によるセンサ出力のドリフトを抑圧するも
のである。
するようにした位置センサを示す図である。この第４図
に示した例は、測定対象物５に対向するように位置検出
部６と７をそれぞれ対向して配置し、位置検出部6,7の
出力をセンサコントローラ8,9を介して差動増幅回路10
に入力し、両センサ6,7の出力を演算することによっ
て、温度変化によるセンサ出力のドリフトを抑圧するも
のである。
［考案が解決しようとする課題］ しかしながら、磁気軸受装置の構造によっては、第４
図に示したように、２つの位置検出部6,7を対向して配
置できない場合が多く、これらの場合、センサ各部温度
の変化に伴う正確な位置検出が困難であるという問題点
があった。
図に示したように、２つの位置検出部6,7を対向して配
置できない場合が多く、これらの場合、センサ各部温度
の変化に伴う正確な位置検出が困難であるという問題点
があった。
それゆえに、この考案の主たる目的は、位置検出部セ
ンサの温度変化に伴うセンサ出力のドリフトを防止でき
るような磁気軸受装置を提供することである。
ンサの温度変化に伴うセンサ出力のドリフトを防止でき
るような磁気軸受装置を提供することである。
［課題を解決するための手段］ この考案は対象物の位置を位置検出センサにより検出
し、その検出信号をフィードバック信号として制御回路
に入力し、電磁石の電磁力を制御して対象物を定位置に
保持する磁気軸受装置において、位置検出センサと隣接
して設けられるダミーセンサと、位置検出センサのケー
ブルと同一の抵抗値よび温度特性を有し、ダミーセンサ
に接続されるケーブルと、位置検出センサの出力とケー
ブルの一端に生じる電位差を検出する差動増幅器とを含
み、差動増幅器の出力のドリフトをキャンセルできるよ
うにケーブルの抵抗値を選ぶように構成したものであ
る。
し、その検出信号をフィードバック信号として制御回路
に入力し、電磁石の電磁力を制御して対象物を定位置に
保持する磁気軸受装置において、位置検出センサと隣接
して設けられるダミーセンサと、位置検出センサのケー
ブルと同一の抵抗値よび温度特性を有し、ダミーセンサ
に接続されるケーブルと、位置検出センサの出力とケー
ブルの一端に生じる電位差を検出する差動増幅器とを含
み、差動増幅器の出力のドリフトをキャンセルできるよ
うにケーブルの抵抗値を選ぶように構成したものであ
る。
［作用］ この考案に係る磁気軸受装置は、位置検出センサの出
力とダミーセンサに接続されるケーブルの一端に生じる
電位差を差動増幅器で検出し、そのドリフトがキャンセ
ルされるようにケーブルの抵抗値を選ぶことにより、位
置検出センサの出力を補償する。
力とダミーセンサに接続されるケーブルの一端に生じる
電位差を差動増幅器で検出し、そのドリフトがキャンセ
ルされるようにケーブルの抵抗値を選ぶことにより、位
置検出センサの出力を補償する。
［考案の実施例］ 第１図はこの考案の一実施例のブロック図である。第
１図を参照して、センサコントロール部１には、ケーブ
ル２を介して位置検出センサ３が接続されている。位置
検出センサ３の近傍には抵抗素子６が配置され、ケーブ
ル部２の近傍には抵抗素子７が配置される。センサコン
トロール部１の検出出力は抵抗８を介して差動増幅回路
10の一方入力端に与えられる。抵抗素子６と７は直列接
続され、抵抗素子７の一端には電源＋Ｖが与えられ、抵
抗素子６の一端は抵抗９を介して接地されるとともに、
差動増幅回路10の他方入力端に与えられる。
１図を参照して、センサコントロール部１には、ケーブ
ル２を介して位置検出センサ３が接続されている。位置
検出センサ３の近傍には抵抗素子６が配置され、ケーブ
ル部２の近傍には抵抗素子７が配置される。センサコン
トロール部１の検出出力は抵抗８を介して差動増幅回路
10の一方入力端に与えられる。抵抗素子６と７は直列接
続され、抵抗素子７の一端には電源＋Ｖが与えられ、抵
抗素子６の一端は抵抗９を介して接地されるとともに、
差動増幅回路10の他方入力端に与えられる。
第１図に示した実施例において、位置検出センサ３の
検出出力はケーブル部2,センサコントロール部1,抵抗８
を介して差動増幅回路10に与えられ、差動増幅回路10の
他方入力端には電源＋Ｖが抵抗６および７と抵抗８とに
よって分圧されて与えられる。そして、位置検出センサ
３およびケーブル部２の温度上昇に伴って、差動増幅回
路10の出力電圧は正の方向にドリフトを生じるものとす
る。そこで、位置検出センサ３とケーブル部２の温度変
化による差動増幅回路10の出力電圧の変化を観察してお
き、適当な温度勾配を有する抵抗素子6,7を選ぶことに
よって、差動増幅回路10で温度上昇に伴うドリフトの変
化をキャンセルできる。
検出出力はケーブル部2,センサコントロール部1,抵抗８
を介して差動増幅回路10に与えられ、差動増幅回路10の
他方入力端には電源＋Ｖが抵抗６および７と抵抗８とに
よって分圧されて与えられる。そして、位置検出センサ
３およびケーブル部２の温度上昇に伴って、差動増幅回
路10の出力電圧は正の方向にドリフトを生じるものとす
る。そこで、位置検出センサ３とケーブル部２の温度変
化による差動増幅回路10の出力電圧の変化を観察してお
き、適当な温度勾配を有する抵抗素子6,7を選ぶことに
よって、差動増幅回路10で温度上昇に伴うドリフトの変
化をキャンセルできる。
第２図はこの考案の他の実施例を示す概略ブロック図
である。この第２図に示した実施例においては、第１図
の実施例と同様にして、位置検出センサコントロール部
１はケーブル部２を介して位置検出センサ３に接続され
る。位置検出センサ３と検査対象15との間の距離はx0に
保たれるように磁気軸受装置によって制御される。さら
に、位置検出センサ３と同様の検出部12が設けられ、こ
の検出部12はケーブル部13を介して温度補償用センサコ
ントロール部14に接続される。ケーブル部13はケーブル
部２と同一の材質，同一の長さおよび同じ経路で温度補
償用センサコントロール部14に接続されている。位置検
出センサコントロール部１の出力は抵抗８を介して差動
増幅回路10の一方入力端に接続される。温度補償用セン
サコントロール部14の出力は抵抗９を介して差動増幅回
路10の他方入力端に接続される。検出部12は擬似センサ
ダーゲット16に距離x1x0を保ちながら対向するように
配置されている。この擬似センサダーゲット16は検出部
12が位置検出センサ３と同一の温度特性を持つために配
置されている。そして、距離x0，x1はその環境によって
変化しないように固定されている。
である。この第２図に示した実施例においては、第１図
の実施例と同様にして、位置検出センサコントロール部
１はケーブル部２を介して位置検出センサ３に接続され
る。位置検出センサ３と検査対象15との間の距離はx0に
保たれるように磁気軸受装置によって制御される。さら
に、位置検出センサ３と同様の検出部12が設けられ、こ
の検出部12はケーブル部13を介して温度補償用センサコ
ントロール部14に接続される。ケーブル部13はケーブル
部２と同一の材質，同一の長さおよび同じ経路で温度補
償用センサコントロール部14に接続されている。位置検
出センサコントロール部１の出力は抵抗８を介して差動
増幅回路10の一方入力端に接続される。温度補償用セン
サコントロール部14の出力は抵抗９を介して差動増幅回
路10の他方入力端に接続される。検出部12は擬似センサ
ダーゲット16に距離x1x0を保ちながら対向するように
配置されている。この擬似センサダーゲット16は検出部
12が位置検出センサ３と同一の温度特性を持つために配
置されている。そして、距離x0，x1はその環境によって
変化しないように固定されている。
従来のごとく位置検出センサコントロール部１とケー
ブル部２と位置検出センサ３とほぼ同様にして構成され
た温度補償用センサコントロール部14とケーブル部13と
検出部12とを設けたことによって、温度変化によるドリ
フト分を忠実に分離できる。そして、位置検出センサコ
ントロール部１と温度補償用センサコントロール部14の
出力を差動増幅回路10によって演算することにより、温
度変化によって変化する位置検出センサ３の出力を確実
に補償することができる。
ブル部２と位置検出センサ３とほぼ同様にして構成され
た温度補償用センサコントロール部14とケーブル部13と
検出部12とを設けたことによって、温度変化によるドリ
フト分を忠実に分離できる。そして、位置検出センサコ
ントロール部１と温度補償用センサコントロール部14の
出力を差動増幅回路10によって演算することにより、温
度変化によって変化する位置検出センサ３の出力を確実
に補償することができる。
［考案の効果］ 以上のように、この考案によれば、位置検出センサに
隣接してダミーセンサを設け、位置検出センサのケーブ
ルと同一の抵抗値および温度特性を有するケーブルの一
端をダミーセンサに接続し、位置検出センサの出力とダ
ミーセンサに接続されたケーブルの他端に生じる電位差
を検出し、そのドリフトをキャンセルされるようにケー
ブルの抵抗値を選ぶことにより、温度変化に伴うセンサ
出力のドリフトを防止することができる。
隣接してダミーセンサを設け、位置検出センサのケーブ
ルと同一の抵抗値および温度特性を有するケーブルの一
端をダミーセンサに接続し、位置検出センサの出力とダ
ミーセンサに接続されたケーブルの他端に生じる電位差
を検出し、そのドリフトをキャンセルされるようにケー
ブルの抵抗値を選ぶことにより、温度変化に伴うセンサ
出力のドリフトを防止することができる。
第１図はこの考案の一実施例の概略ブロック図である。
第２図はこの考案の他の実施例を示すブロック図であ
る。第３図は従来のリラクタンス式センサの原理を示す
図である。第４図はセンサ検出部を対向して配置した例
を示す図である。 図において、１はセンサコントロール部、2,13はケーブ
ル部、３は位置検出センサ、6,7は抵抗素子、8,9,11は
抵抗、10は差動増幅回路、12は位置検出部、14は温度補
償用センサコントロール部、15は検査対象、16は擬似セ
ンサターゲットを示す。
第２図はこの考案の他の実施例を示すブロック図であ
る。第３図は従来のリラクタンス式センサの原理を示す
図である。第４図はセンサ検出部を対向して配置した例
を示す図である。 図において、１はセンサコントロール部、2,13はケーブ
ル部、３は位置検出センサ、6,7は抵抗素子、8,9,11は
抵抗、10は差動増幅回路、12は位置検出部、14は温度補
償用センサコントロール部、15は検査対象、16は擬似セ
ンサターゲットを示す。
Claims (1)
- 【請求項１】対象物の位置を位置検出センサにより検出
し、その検出信号をフィードバック信号として制御回路
に入力し、電磁石の電磁力を制御して対象物を定位置に
保持する磁気軸受装置において、 前記位置検出センサに隣接して設けられるダミーセンサ
と、 前記位置検出センサのケーブルと同一の抵抗値よび温度
特性を有し、前記ダミーセンサに接続されるケーブル
と、 前記位置検出センサの出力と前記ケーブルの一端に生じ
る電位差を検出する差動増幅器とを含み、 前記差動増幅器の出力のドリフトをキャンセルできるよ
うに前記ケーブルの抵抗値を選ぶようにしたことを特徴
とする、磁気軸受装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990081884U JP2564510Y2 (ja) | 1990-07-31 | 1990-07-31 | 磁気軸受装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990081884U JP2564510Y2 (ja) | 1990-07-31 | 1990-07-31 | 磁気軸受装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0440308U JPH0440308U (ja) | 1992-04-06 |
| JP2564510Y2 true JP2564510Y2 (ja) | 1998-03-09 |
Family
ID=31628214
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990081884U Expired - Fee Related JP2564510Y2 (ja) | 1990-07-31 | 1990-07-31 | 磁気軸受装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2564510Y2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018033945A1 (ja) * | 2016-08-18 | 2018-02-22 | ダイキン工業株式会社 | 磁気軸受装置、及びそれを用いた流体機械システム |
| EP3486512B1 (en) | 2016-08-18 | 2021-08-11 | Daikin Industries, Ltd. | Magnetic bearing device and fluid mechanical system |
| JP6828762B2 (ja) | 2019-03-15 | 2021-02-10 | ダイキン工業株式会社 | 機械学習装置、及び、磁気軸受装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60161803U (ja) * | 1984-04-03 | 1985-10-28 | 三菱重工業株式会社 | 軸受油膜厚さ測定装置 |
| JPS61201921A (ja) * | 1985-03-06 | 1986-09-06 | Hitachi Ltd | 磁気軸受制御装置 |
| JPS62148814A (ja) * | 1985-12-24 | 1987-07-02 | Yaskawa Electric Mfg Co Ltd | レゾルバの温度補正方法 |
-
1990
- 1990-07-31 JP JP1990081884U patent/JP2564510Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0440308U (ja) | 1992-04-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |