JP2556693Y2 - 液晶表示装置 - Google Patents

液晶表示装置

Info

Publication number
JP2556693Y2
JP2556693Y2 JP1991089328U JP8932891U JP2556693Y2 JP 2556693 Y2 JP2556693 Y2 JP 2556693Y2 JP 1991089328 U JP1991089328 U JP 1991089328U JP 8932891 U JP8932891 U JP 8932891U JP 2556693 Y2 JP2556693 Y2 JP 2556693Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
glass
liquid crystal
electrode
boron
film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP1991089328U
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0543126U (ja
Inventor
雅彦 川辺
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sanyo Electric Co Ltd
Original Assignee
Sanyo Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sanyo Electric Co Ltd filed Critical Sanyo Electric Co Ltd
Priority to JP1991089328U priority Critical patent/JP2556693Y2/ja
Publication of JPH0543126U publication Critical patent/JPH0543126U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2556693Y2 publication Critical patent/JP2556693Y2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Liquid Crystal (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本考案は、液晶表示装置に関し、
特に安価なガラス、特にホウケイ酸ガラスを用いた液晶
表示装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】現在、LCDは、各種のフラットディス
プレイの中で、最もカラー化が進んでおり、市場でも注
目されている。その理由としては、バックライトとカラ
ーフィルターの組み合わせにより、比較的容易にカラー
化が実現できたためである。この構造としては、例えば
特開平3−137619号公報や産業図書株式会社発行
の「カラー液晶ディスプレイ」等に開示されている。
【0003】一方、これら液晶表示装置に用いる2枚の
透明な絶縁性基板としては、ガラス基板が用いられ、ス
イッチング素子、例えばTFTの特性劣化を懸念して一
般にはノンアルカリガラス、例えばコーニング社の70
59、日本電気ガラスのOA−2およびホヤのNA−4
5等が用いられている。また一般には、非常に薄いガラ
スが2枚対向して貼り合わされ、しかもシール部の固着
等で焼成されるので、一般的には2枚とも熱膨張係数が
同じになるように同一材料のものが用いられていた。
【0004】
【考案が解決しようとする課題】以上、液晶表示装置
は、技術的には脚光を浴びているが、前述の構成よう
に、ノンアルカリガラスを用いているために未だ高価で
ある問題があった。一方、ガラスとしてソーダガラスを
用いて液晶表示装置を達成しようとする試みも行われて
いるが、ナトリウムイオンが液晶の中に溶出し、TFT
の経時変化を引き起こす原因と成り、またスイッチング
素子が形成される基板にノンアルカリガラス、対向する
基板にソーダガラスを使って構成を試みたが、熱膨張係
数の違いによりこの2枚の基板を貼り合わせると反りを
生じ、均一なパネルギャップがとれず、未だ実用化には
成っていなかった。
【0005】
【課題を解決するための手段】本考案は、前述の課題に
鑑みて成され、少なくともスイッチング素子(31)、
表示電極(32)および配向膜(33)を有する基板
(30)にはノンアルカリガラスを用い、このノンアル
カリガラス(30)と対向し、少なくとも遮光膜(3
6)、対向電極(37)および配向膜(33)とを有す
る基板(35)には、ボロンが混入されたホウケイ酸ガ
ラスを用いることをで解決するものである。
【0006】
【作用】例えば不純物が混入しているガラス基板を用い
た場合、スイッチング素子を経時変化に導く原因として
は、第1にスイッチング素子の形成工程において、スイ
ッチング素子が形成されている基板がエッチング液に浸
され、このエッチング液から不純物がTFTの領域に侵
入することが考えられる。
【0007】従って、TFTの形成されているガラス基
板(30)のみに、ノンアルカリガラスを用いて、対向
ガラス基板のみに例えばソーダガラスを用いれば、この
表面には遮光膜(36)、対向電極(37)および配向
膜(38)が設けてあるので、不純物は、組立て後は殆
ど本装置に溶出せず、経時変化の防止が可能である。し
かしソーダガラスは、ノンアルカリガラスと比べて熱膨
張係数が大きく、2枚の基板を張り合わせるためにシー
ル部を設けて、焼成するとこの一体の基板(30)、
(35)は、反りを発生する。例えば図4は、2枚の基
板を張り合わせ焼成後に、真空吸着によりこの基板を固
定しガラスカッターで切断溝を形成しているものである
が、反りを発生するために固定ができず切断溝が形成し
にくい問題が生じる。この反りは、他に、ホトリソグラ
フィ工程におけるパターン形成工程においても温度上昇
により生じるため、固定および正確なパターン形成が達
成されない。
【0008】本願は、これを解決するために、不純物と
してボロンが混入されているホウケイ酸ガラスを用いて
これを解決している。ホイケイ酸ガラスは、ソーダガラ
スと比べ熱膨張係数が小さく、しかもノンアルカリガラ
スの熱膨張係数と近いためこの反りを防止できる。
【0009】
【実施例】以下に本考案の一実施例を図面にしたがって
説明する。先ず透明な第1の絶縁性基板(30)があ
る。この基板(30)には、スイッチング素子(31)
と表示電極(32)を少なくとも有する。第1の絶縁性
基板(30)は、ノンアルカリガラスより成り、図1で
はこの基板(30)上には大小2つの四角形が図示され
ており、小さいものがTFTやMIM等のスイッチング
素子であり、大きいものが表示電極である。更に上面に
は、パシベーション層(33)を介して配向膜(34)
が設けられている。当然これらのスイッチング素子は、
マトリックス状に配置され、このスイッチング素子を選
択するためにXとYの方向には多数のラインが設けられ
ているが、図面上では省略をしている。
【0010】以上の構成を形成する工程では、ノンアル
カリガラスを用いているので、この工程中にスイッチン
グ素子の経時変化の原因となる不純物の溶出はない。次
に透明な第2の絶縁性基板(35)がある。この基板
(35)は、間に液晶が注入されるために、前記第1の
絶縁性基板(30)と対向して設けられ、少なくとも遮
光膜(36)、対向電極(37)および配向膜(38)
を有している。
【0011】図1では、ガラス基板(35)上に先ず遮
光膜(36)が設けられている。この膜(36)は、前
記表示電極(32)が、光を透過させた時、目視できる
ように設けられ、表示電極に対応する第2の絶縁性基板
(35)表面を除いて設けられている。更に全面には、
前記対向電極(37)が設けられ、その上には、配向膜
(38)が設けられている。
【0012】またカラー表示の際は、遮光膜(36)と
対向電極(37)との間にカラーフィルターが設けられ
る。本考案の特徴は、前記ガラス基板(35)としてホ
ウケイ酸ガラスを用いることにある。図7に示すよう
に、ホウケイ酸ガラスは、ソーダガラスよりノンアルカ
リガラスの熱膨張係数に近似しているので、ノンアルカ
リガラスとこのホウケイ酸ガラスを貼り合わせたときに
生じる反りは防止できる。
【0013】しかも前述の反り防止により、パネルのギ
ャップを均一にできるので、製品化された本装置の液晶
の応答速度を一定にでき、しかも画面の色変化を防止で
きる効果を有する。しかも図1に示すように、遮光膜
(36)、対向電極(37)または配向膜(38)の少
なくとも1つが、その周辺をシール部に延在しており、
この周辺とシール用の樹脂が重畳しているので、この間
に液晶を注入してもボロンイオン等の特性劣化を生じせ
しめるイオンが液晶を介してTFTへ侵入しない。
【0014】以上、完成された2つのガラス基板(3
0)、(35)は、図2のように一方には、スペーサ
(40)が分散されて配置され、他方のガラス基板に
は、シール部に接着剤(41)が塗布されている。この
ガラス基板(30)、(35)は、一般に複数取りを行
うので製品のパネルよりも複数倍大きくなっている。
【0015】次にこのガラス基板(30)、(35)
は、図3のように位置合わせをしながら貼り合わせら
れ、例えば封着治具に入れられて焼成される。図4にお
いて、この焼成された一対のガラス基板(30)、(3
5)は、真空吸着により固定される。例えばホウケイ酸
ガラスの変わりにソーダガラスを用いて張り合わせたも
のが、破線のような形状となる。前述したように熱膨張
係数の値が大きく異なるので、大きく反りを生じるが、
本願構成では、反りが防止でき強固に真空吸着固定でき
る。この固定できた一対のガラス基板は、スクライブカ
ッター(42)によりラインがいれられる。
【0016】更には図5のようにブレークローラー(4
3)により、個々の液晶表示装置に分離され、図6のよ
うに液晶が注入される。最後に、偏光板が設けられる
が、図面では省略している。次に、TFTを用いた具体
的な実施例を説明する。先ず第1のガラス基板(30)
がある。この上には、TFTと表示電極が設けられてい
る。ガラス基板上には、TFT(31)のゲート、この
ゲートと一体のゲートライン、補助容量電極およびこの
電極と一体の補助容量ラインが設けられている。ゲート
ラインと補助容量ラインは、交差防止のために平行に設
けられている。
【0017】次に、SiO2または/およびSiNxよ
り成る一層または二層の絶縁層が全面に被着され、TF
T(31)の活性領域には、ノンドープの非単結晶シリ
コン膜が、更に上層には、ソースおよびドレイン領域
に、N+型にドープされた非単結晶シリコン膜が形成さ
れている。ここで非単結晶シリコン膜は、例えばアモル
ファスシリコンおよび多結晶シリコンである。更に上層
には、例えばAlより成るソース電極、ドレイン電極が
ある。ソース電極は、ソースから延在されて補助容量電
極と重畳する表示電極と電気的に接続されている。ドレ
イン電極は、ドレインからドレインラインとして一体で
延在されている。更に全面に設けられたパシベーション
層(33)を介して配向膜(34)が形成されている。
【0018】一方、第2のガラス基板(35)があり、
この上には、遮光膜(36)が設けられ、全面に対向電
極(37)および配向膜(38)が順次積層されてい
る。ここで対向電極(37)と遮光膜(36)の積層順
を逆としても良い。また第1のガラス基板(30)と第
2のガラス基板(35)の裏面に偏光板が設けられ、第
1のガラス基板(30)と第2のガラス基板(35)と
の間には、液晶が注入される。
【0019】
【考案の効果】以上の説明から明らかな通り、スイッチ
ング素子が形成されるガラス基板として、ノンアルカリ
ガラスが用いられ、この基板と対向するガラス基板とし
てホウケイ酸ガラスが用いられるので、ガラス基板を貼
り合わせ焼成しても、反りを防止できる。従って、例え
ば真空吸着によりこの貼り合わされた一対のガラス基板
を固定して作業しても外れることがない。
【0020】またこの2枚のガラス基板の間のギャップ
を均一にできるので、マトリックス状に形成された表示
電極上の液晶の応答速度を一定にでき、更には電界も一
定にできるためこの色の変化を防止できる。従って従来
と同等の特性を低コストで達成できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案の実施例を示した液晶表示装置の概略断
面図である。
【図2】液晶表示装置の組立てを説明した図である。
【図3】液晶表示装置の組立てを説明した図である。
【図4】液晶表示装置の組立てを説明した図である。
【図5】液晶表示装置の組立てを説明した図である。
【図6】液晶表示装置の組立てを説明した図である。
【図7】ガラスの熱膨張係数を説明した図である。
【符号の説明】
(30) 第1の絶縁性基板(ノンアルカリガラ
ス) (31) スイッチング素子 (32) 表示電極 (33) パシベーション層 (34) 配向膜 (35) 第2の絶縁性基板(ホウケイ酸ガラ
ス) (36) 遮光膜 (37) 対向電極 (38) 配向膜

Claims (4)

    (57)【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 少なくともスイッチング素子、表示電極
    および配向膜を有するノンアルカリガラスと、 このノンアルカリガラスと対向し、少なくとも遮光膜、
    対向電極及び配向膜とを有し、ボロンが混入されたホウ
    ケイ酸ガラスと、 前記ノンアルカリガラスと前記ボロンが混入されたホウ
    ケイ酸ガラスの間に設けられたスペーサと、 前記両基板の間に注入された液晶とを有することを特徴
    とした液晶表示装置。
  2. 【請求項2】 少なくともスイッチング素子、表示電極
    および配向膜を有するノンアルカリガラスと、 このノンアルカリガラスと対向し、少なくとも遮光膜、
    対向電極及び配向膜とを有し、ボロンが混入されたホウ
    ケイ酸ガラスと、 前記ノンアルカリガラスと前記ボロンが混入されたホウ
    ケイ酸ガラスの間に設けられたスペーサと、 前記遮光膜、対向電極または配向膜のいずれかの周辺と
    重畳して設けられたシール部と、 前記両基板の間に注入された液晶とを有することを特徴
    とした液晶表示装置。
  3. 【請求項3】 前記スイッチング素子は、非単結晶シリ
    コン膜よりなるスタッガー型または逆スタッガー型のト
    ランジスタより成る請求項2記載の液晶表示装置。
  4. 【請求項4】 ノンアルカリガラスに設けられたゲート
    およびこのゲートと一体で設けられた複数本のゲートラ
    インと、 このゲートラインを覆って前記ガラス全面に実質的に設
    けられたゲート絶縁膜と、 前記ゲートを一構成とするTFTの活性領域に対応する
    前記ゲート絶縁膜上に形成されたノンドープの非単結晶
    シリコン膜と、 前記ゲートを一構成とするTFTのソース及びドレイン
    に対応する前記ノンドープの非単結晶シリコン膜上に形
    成された不純物がドープされた非単結晶シリコン膜と、 前記TFTの近傍の前記ゲート絶縁膜上に設けれた表示
    電極と、 前記TFTのソースから延在された前記表示電極と電気
    的に接続されたソース電極と、 前記TFTのドレインから延在されたドレイン電極と電
    気的に接続され、また、前記ドレイン電極と一体でなる
    ドレインラインと、 前記ガラス基板に対向し、スペーサを介して所定の間隔
    に設けれた、ボロンが混入されたホウケイ酸ガラスと、 前記ボロンが混入されたホウケイ酸ガラス上に設けら
    れ、前記表示領域以外に対応する領域に設けられた遮光
    膜と、 前記遮光膜上に設けられた対向電極および配向膜と、 前記遮光膜、対向電極または配向膜のいずれかの周辺と
    重畳して設けれたシール部と、 前記ノンアルカリガラスと前記ボロンが混入されたホウ
    ケイ酸ガラスの間に注入された液晶とを少なくとも有す
    ることを特徴とした液晶表示装置。
JP1991089328U 1991-10-30 1991-10-30 液晶表示装置 Expired - Lifetime JP2556693Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1991089328U JP2556693Y2 (ja) 1991-10-30 1991-10-30 液晶表示装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1991089328U JP2556693Y2 (ja) 1991-10-30 1991-10-30 液晶表示装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0543126U JPH0543126U (ja) 1993-06-11
JP2556693Y2 true JP2556693Y2 (ja) 1997-12-08

Family

ID=13967613

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1991089328U Expired - Lifetime JP2556693Y2 (ja) 1991-10-30 1991-10-30 液晶表示装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2556693Y2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002350816A (ja) * 2001-05-28 2002-12-04 Matsushita Electric Ind Co Ltd 液晶表示装置およびその製造方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54133152A (en) * 1978-04-06 1979-10-16 Citizen Watch Co Ltd Liquid crystal cell
JPH0625833B2 (ja) * 1984-10-09 1994-04-06 セイコーエプソン株式会社 液晶パネル
JP2635542B2 (ja) * 1984-12-25 1997-07-30 株式会社東芝 薄膜トランジスタ

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0543126U (ja) 1993-06-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4483235B2 (ja) トランジスタアレイ基板の製造方法及びトランジスタアレイ基板
KR100250796B1 (ko) 액정 표시 소자 및 그 제조방법
KR100372533B1 (ko) 액정표시장치 및 그 제조방법
US5754261A (en) Color LCD device having multiple black masks
KR20050004236A (ko) 액정 표시 장치의 제조 방법
KR20040057798A (ko) 액정표시장치 및 그 제조방법
CN101685232B (zh) 阵列基底及其制造方法、采用该阵列基底的液晶显示装置
US8310647B2 (en) Image display device and manufacturing method of the same
JPH11258584A (ja) プラスチック液晶表示素子
KR970007456A (ko) 액티브매트릭스형 액정표시장치
JPH10153796A (ja) 液晶表示装置及びその作製方法
KR101980774B1 (ko) 컬러필터를 가지는 박막트랜지스터 기판 및 그 제조 방법
KR19990029752A (ko) 액티브 매트릭스형 액정표시장치
US20200050063A1 (en) Liquid crystal display device
KR20070066909A (ko) 액정표시 소자
KR20020062275A (ko) 전기회로기판 및 이것을 이용한 tft 어레이기판 그리고액정표시장치
KR20090081265A (ko) 박막 트랜지스터 표시판
KR20150076005A (ko) 액정 표시 장치
KR20030026088A (ko) 기판 흡착용 진공 척 구조
JP2556693Y2 (ja) 液晶表示装置
JPH1195231A (ja) 液晶表示装置
JP3582194B2 (ja) 液晶表示素子
KR20070080475A (ko) 박막 트랜지스터 기판 및 액정 표시 장치
JPH11109319A (ja) 液晶表示装置
JPH0572559A (ja) 液晶表示装置