JP2555010B2 - 質量分析計 - Google Patents
質量分析計Info
- Publication number
- JP2555010B2 JP2555010B2 JP60134171A JP13417185A JP2555010B2 JP 2555010 B2 JP2555010 B2 JP 2555010B2 JP 60134171 A JP60134171 A JP 60134171A JP 13417185 A JP13417185 A JP 13417185A JP 2555010 B2 JP2555010 B2 JP 2555010B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- intermediate pressure
- pressure
- ionization
- gas
- mass spectrometer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、質量分析計、特に高圧状態でイオン分子反
応により生成したクラスターイオンを解裂させる機構を
有する質量分析計の改良に関するものである。
応により生成したクラスターイオンを解裂させる機構を
有する質量分析計の改良に関するものである。
ガス中の微量不純物の分析手段として、数Torrから１
気圧の圧力下で効率よく試料をイオン化し試料をイオン
の形で細孔から質量分析計内に導入して分析する手段が
発展し実用化されている。これについては、たとえば、
特開昭51-7991号公報に記載されている。この方法は１
気圧以下でのコロナ放電またはNiβ線照射による一次イ
オン化とそれに引き続いておこるイオン分子反応による
二次イオン化の二段階でイオンを生成するために、従来
の電子衝撃イオン化法に比べて３〜６桁の高感度性を有
し、また、試料分子の分解なども少なく、単純で解釈し
やすいスペクトルが得られる。
気圧の圧力下で効率よく試料をイオン化し試料をイオン
の形で細孔から質量分析計内に導入して分析する手段が
発展し実用化されている。これについては、たとえば、
特開昭51-7991号公報に記載されている。この方法は１
気圧以下でのコロナ放電またはNiβ線照射による一次イ
オン化とそれに引き続いておこるイオン分子反応による
二次イオン化の二段階でイオンを生成するために、従来
の電子衝撃イオン化法に比べて３〜６桁の高感度性を有
し、また、試料分子の分解なども少なく、単純で解釈し
やすいスペクトルが得られる。
第１図はイオン化手段としてコロナ放電針状電極１を
備えた大気圧イオン化質量分析計でイオン化部２、中間
圧力部３、質量分析部４からなり夫夫細孔5,6で接続さ
れている。
備えた大気圧イオン化質量分析計でイオン化部２、中間
圧力部３、質量分析部４からなり夫夫細孔5,6で接続さ
れている。
同図においてイオン化部２でコロナ放電針状電極１に
より１次イオン化し、引き続きイオン分子反応により二
次イオン化がなされ、生成した被測定分子のイオンは細
孔５を通して中間圧力部３を通過する。この中間圧力部
３は一次排気７によつて約1Torrに保たれている。
より１次イオン化し、引き続きイオン分子反応により二
次イオン化がなされ、生成した被測定分子のイオンは細
孔５を通して中間圧力部３を通過する。この中間圧力部
３は一次排気７によつて約1Torrに保たれている。
次で第２の細孔６を通つて二次排気８された質量分析
部４に入り、質量分析計によつて質量分析された後、検
出器９で検出される。なお、中間圧力部３には、イオン
を第２の細孔６上に収束させるように求心状の電場を与
えるイオン収束用電極10が設けられている。また、質量
分析部４の前段にはキヤリブレーシヨン用のイオン化手
段11で、同図においては電子衝撃イオン源である。
部４に入り、質量分析計によつて質量分析された後、検
出器９で検出される。なお、中間圧力部３には、イオン
を第２の細孔６上に収束させるように求心状の電場を与
えるイオン収束用電極10が設けられている。また、質量
分析部４の前段にはキヤリブレーシヨン用のイオン化手
段11で、同図においては電子衝撃イオン源である。
試料の導入は、窒素，空気，酸素，アルゴン，あるい
はヘリウムなど種々のガスを用いることができるが、窒
素ガスが最も広く用いられている。そこで、窒素ガスを
キヤリヤーとして用いた場合について以下詳述する。
はヘリウムなど種々のガスを用いることができるが、窒
素ガスが最も広く用いられている。そこで、窒素ガスを
キヤリヤーとして用いた場合について以下詳述する。
試料は、大気圧のイオン化部２でコロナ放電用針状電
極１によつて１次イオンが生成される。一次イオンは大
多数の成分である窒素のイオン化により生じたＮ+ある
いはＮ2 +である。これらは直ちに窒素と反応してＮ4 +お
よびＮ3 +を与える。
極１によつて１次イオンが生成される。一次イオンは大
多数の成分である窒素のイオン化により生じたＮ+ある
いはＮ2 +である。これらは直ちに窒素と反応してＮ4 +お
よびＮ3 +を与える。
これらの反応で示されるように窒素中の微量の不純物
として存在する酸素や水などはＮ4 +から直接イオン化さ
れる。イオン化ポタンシヤルが低い分子やプロトンアフ
アニテイの大きな分子（Ｍ）から水クラスターイオンＨ
+（Ｈ2Ｏ）n-1Ｈ+・Ｍが生成される。生成されたＭを含
むイオンやＨ+（Ｈ2Ｏ）nは安定で窒素と衝突しても変
化しない。このようにしてMH+や（Ｈ2Ｏ）n-1Ｈ+・Ｍの
ようなイオンが衝質を重ねるごとに増加し、試料分子の
選択的なイオン化が行なわれ多種類のクラスターイオン
が生成される。このように大気圧で生成したクラスター
は第１の細孔５を通して中間圧力部（約1Torr）３に導
入される。中間圧力部３の両端の細孔5,6にかけられた
電圧（以後ドリフト電圧と呼ぶ）をかけると電場が形成
され、クラスターは電界方向にドリフトを始める。この
電場によつてイオンを効率よく収束させることができイ
オンの電界濃縮が行なわれるが、同時にイオンに内部エ
ネルギーを励起させる。すなわち、クラスターはドリフ
ト電場で加速され、運動エネルギーを持つてキヤリアガ
スである中性分子と衝突する。この時クラスターの運動
エネルギーの一部がクラスターの振動、回転などの内部
エネルギーに、また一部は中性分子に与えられる。この
ような内部自由度の励起は衝突するごとに行なわれる。
通突回数が十分あるとやがてクラスターの結合の弱いと
ころから解離する。イオンの運動エネルギーはドリフト
電圧を変化させることにより制御できるので、ドリフト
電圧を増加させることにより順次弱いクラスター結合か
ら解離を始める。
として存在する酸素や水などはＮ4 +から直接イオン化さ
れる。イオン化ポタンシヤルが低い分子やプロトンアフ
アニテイの大きな分子（Ｍ）から水クラスターイオンＨ
+（Ｈ2Ｏ）n-1Ｈ+・Ｍが生成される。生成されたＭを含
むイオンやＨ+（Ｈ2Ｏ）nは安定で窒素と衝突しても変
化しない。このようにしてMH+や（Ｈ2Ｏ）n-1Ｈ+・Ｍの
ようなイオンが衝質を重ねるごとに増加し、試料分子の
選択的なイオン化が行なわれ多種類のクラスターイオン
が生成される。このように大気圧で生成したクラスター
は第１の細孔５を通して中間圧力部（約1Torr）３に導
入される。中間圧力部３の両端の細孔5,6にかけられた
電圧（以後ドリフト電圧と呼ぶ）をかけると電場が形成
され、クラスターは電界方向にドリフトを始める。この
電場によつてイオンを効率よく収束させることができイ
オンの電界濃縮が行なわれるが、同時にイオンに内部エ
ネルギーを励起させる。すなわち、クラスターはドリフ
ト電場で加速され、運動エネルギーを持つてキヤリアガ
スである中性分子と衝突する。この時クラスターの運動
エネルギーの一部がクラスターの振動、回転などの内部
エネルギーに、また一部は中性分子に与えられる。この
ような内部自由度の励起は衝突するごとに行なわれる。
通突回数が十分あるとやがてクラスターの結合の弱いと
ころから解離する。イオンの運動エネルギーはドリフト
電圧を変化させることにより制御できるので、ドリフト
電圧を増加させることにより順次弱いクラスター結合か
ら解離を始める。
キヤリヤーガスが窒素，酸素，アルゴン等の場合、生
成されたクラスターイオンの多くはその解離するドリフ
ト電圧がキヤリヤーガスの種類には依存しない。また中
間圧力部３（衝突室）の圧力Ｐと電界強度Ｅの比（E/
P）でトリフト電圧を規格化すると、解離する電圧は衝
突室の長さにもあまり依存しない。このとこはクラスタ
ーイオンの解離エネルギーＤと規格化された電界強度
（E/P）の間に強い相関があることを示している。
成されたクラスターイオンの多くはその解離するドリフ
ト電圧がキヤリヤーガスの種類には依存しない。また中
間圧力部３（衝突室）の圧力Ｐと電界強度Ｅの比（E/
P）でトリフト電圧を規格化すると、解離する電圧は衝
突室の長さにもあまり依存しない。このとこはクラスタ
ーイオンの解離エネルギーＤと規格化された電界強度
（E/P）の間に強い相関があることを示している。
以上説明したごとく、生成されたクラスターイオンの
解離は、中間圧力部３（衝突室）の圧力Ｐとドリフト電
圧による電界強度Ｅによつて決定されており、本従来例
では中間圧力部３の圧力を一定としてドリフト電圧を制
御することによりクラスターイオンの解離の制御が行わ
れている。しかし、中間圧力部３の圧力Ｐの変動は、キ
ヤリヤーガスＣと微量の試料Ｘの供給量の変動や、クラ
スターイオンを中間圧力部３に導く細孔５（約0.15mm）
の目づまり、中間圧力部３の１次排気７を行うポンプの
性能劣化により発生し、中間圧力部３（衝突室）の圧力
Ｐと電界強度Ｅの比（E/P）でドリフト電圧を規格化で
きなくなり、クラスターイオンの衝突解離が一定となら
ない。したがつて得られるスペクトル強度に変動を生
じ、安定した同じスペクトルを得ることができない欠点
があつた。
解離は、中間圧力部３（衝突室）の圧力Ｐとドリフト電
圧による電界強度Ｅによつて決定されており、本従来例
では中間圧力部３の圧力を一定としてドリフト電圧を制
御することによりクラスターイオンの解離の制御が行わ
れている。しかし、中間圧力部３の圧力Ｐの変動は、キ
ヤリヤーガスＣと微量の試料Ｘの供給量の変動や、クラ
スターイオンを中間圧力部３に導く細孔５（約0.15mm）
の目づまり、中間圧力部３の１次排気７を行うポンプの
性能劣化により発生し、中間圧力部３（衝突室）の圧力
Ｐと電界強度Ｅの比（E/P）でドリフト電圧を規格化で
きなくなり、クラスターイオンの衝突解離が一定となら
ない。したがつて得られるスペクトル強度に変動を生
じ、安定した同じスペクトルを得ることができない欠点
があつた。
また、中間圧力部３の圧力は、第１の細孔５と中間圧
力部３の排気ポンプの排気速度で決定され、クラスター
イオンの量はこの細孔５の断面積により決定されてい
る。このためのクラスターイオンの量や中間圧力部３の
ガス圧力の最適化は細孔５の交換によるため最適化の自
由度が小さかつた。
力部３の排気ポンプの排気速度で決定され、クラスター
イオンの量はこの細孔５の断面積により決定されてい
る。このためのクラスターイオンの量や中間圧力部３の
ガス圧力の最適化は細孔５の交換によるため最適化の自
由度が小さかつた。
したがつて、本発明の目的は、上述したような従来の
大気圧質量分析計の難点を解消し、安定して同じスペク
トルやスペクトル強度が得られ、分析性能を向上した大
気圧質量分析計を提供することにある。
大気圧質量分析計の難点を解消し、安定して同じスペク
トルやスペクトル強度が得られ、分析性能を向上した大
気圧質量分析計を提供することにある。
上記目的を達成するために本発明においては、イオン
化部で生成されたクラスターイオンが中間圧力部（衝突
室）で安定に衝突解離が行なわれるように中間圧力部に
圧力検出器を設け、中間圧力部のガス圧力を検出して、
中間圧力部のガス圧力がほぼ一定となるように制御する
ことを提案するものである。そのためには、例えば、中
間圧力部のガス圧力を検出し、この信号に応じて中間圧
力部のガスの排気速度を制御することで実現できる。
化部で生成されたクラスターイオンが中間圧力部（衝突
室）で安定に衝突解離が行なわれるように中間圧力部に
圧力検出器を設け、中間圧力部のガス圧力を検出して、
中間圧力部のガス圧力がほぼ一定となるように制御する
ことを提案するものである。そのためには、例えば、中
間圧力部のガス圧力を検出し、この信号に応じて中間圧
力部のガスの排気速度を制御することで実現できる。
以下、本発明を実施例を用いて説明する。
第２図は本発明によるガス圧力検出装置とターボ分子
排気ポンプを備えた大気圧イオン化質量分子計を示す断
面図である。
排気ポンプを備えた大気圧イオン化質量分子計を示す断
面図である。
第２図に示す実施例ではイオン化部２と細孔５で接続
された中間圧力部３にガス圧力検出器12を設けターボ分
子ポンプ13が取り付けられている。中間圧力部３は大気
圧イオン化質量分析計では衝突励起解離を行う領域とな
つているため、中間圧力部３の圧力がクラスターイオン
の衝突励起解離に最適な圧力で、かつ、一定に保たれな
い場合はクラスターイオンの解離の状態に変化を生じ、
得られるスペクトルに変動を与える。従つて大気圧イオ
ン化質量分析計では中間圧力部の圧力を最適な圧力で、
かつ、一定に保つことが重要である。中間圧力部３の圧
力変動を与える要因として、試料ガス流量の変動や、ク
ラスターイオンを中間圧力部３に導く細孔５の目づま
り、中間圧力部３の一次排気10を行なうポンプの性能劣
化に起因する。従って、例えば、中間圧力部３の一次排
気７の排気速度を制御し、中間圧力部３の圧力をほぼ一
定となるように制御するのである。
された中間圧力部３にガス圧力検出器12を設けターボ分
子ポンプ13が取り付けられている。中間圧力部３は大気
圧イオン化質量分析計では衝突励起解離を行う領域とな
つているため、中間圧力部３の圧力がクラスターイオン
の衝突励起解離に最適な圧力で、かつ、一定に保たれな
い場合はクラスターイオンの解離の状態に変化を生じ、
得られるスペクトルに変動を与える。従つて大気圧イオ
ン化質量分析計では中間圧力部の圧力を最適な圧力で、
かつ、一定に保つことが重要である。中間圧力部３の圧
力変動を与える要因として、試料ガス流量の変動や、ク
ラスターイオンを中間圧力部３に導く細孔５の目づま
り、中間圧力部３の一次排気10を行なうポンプの性能劣
化に起因する。従って、例えば、中間圧力部３の一次排
気７の排気速度を制御し、中間圧力部３の圧力をほぼ一
定となるように制御するのである。
本実施例では、中間圧力部３の一次排気７をターボ分
子ポンプ13で行い、中間圧力部３の圧力を検出し、ガス
圧力検出回路14の出力電圧をターボ分子ポンプ13の駆動
電源15のロータ回転数制御回路に帰還制御をかけ、ター
ボ分子ポンプ13の排気速度を制御することができる。16
は補助排気ポンプである。第３図は、ターボ分子ポンプ
のロータの回転数と排気速度との関係を示す一例であ
る。このようにターボ分子ポンプの排気速度は、ロータ
の回転数と比例関係にありロータの回転数を設定制御す
ることにより排気速度を選択し一定に保つことができ
る。以上のことから中間圧力部３の圧力をクラスターイ
オンの衝突励起解離に最適な圧力を設定することができ
る。さらに、設定圧力を一定に保つようにターボ分子ポ
ンプの排気速度を一定にすることができる。
子ポンプ13で行い、中間圧力部３の圧力を検出し、ガス
圧力検出回路14の出力電圧をターボ分子ポンプ13の駆動
電源15のロータ回転数制御回路に帰還制御をかけ、ター
ボ分子ポンプ13の排気速度を制御することができる。16
は補助排気ポンプである。第３図は、ターボ分子ポンプ
のロータの回転数と排気速度との関係を示す一例であ
る。このようにターボ分子ポンプの排気速度は、ロータ
の回転数と比例関係にありロータの回転数を設定制御す
ることにより排気速度を選択し一定に保つことができ
る。以上のことから中間圧力部３の圧力をクラスターイ
オンの衝突励起解離に最適な圧力を設定することができ
る。さらに、設定圧力を一定に保つようにターボ分子ポ
ンプの排気速度を一定にすることができる。
以上のように、本手法では、中間圧力３のガス圧力を
最適な圧力に設定することができ、かつ中間圧力部３の
圧力を一定に精度よく確実に制御されるので、本実施例
では安定したスペクトルを得ることができ、測定精度の
向上を図ることができる。
最適な圧力に設定することができ、かつ中間圧力部３の
圧力を一定に精度よく確実に制御されるので、本実施例
では安定したスペクトルを得ることができ、測定精度の
向上を図ることができる。
またクラスターイオンの解離エネルギーＤは中圧力部
３の圧力Ｐと電界強度Ｅとの比（E/P）に強い相関があ
ることから、中間圧力部３の圧力を増圧させることによ
り、ドリフト電圧を増加させた時と同様に、クラスター
イオンは中性分子との衝突回数が増加しクラスターイオ
ンの解離を行うことができる。このことからドリフト電
圧によるクラスター結合の解離を行なう大気圧イオン化
質量分析計に併合することができるので質量分析計の分
析効率を向上させる効果がある。
３の圧力Ｐと電界強度Ｅとの比（E/P）に強い相関があ
ることから、中間圧力部３の圧力を増圧させることによ
り、ドリフト電圧を増加させた時と同様に、クラスター
イオンは中性分子との衝突回数が増加しクラスターイオ
ンの解離を行うことができる。このことからドリフト電
圧によるクラスター結合の解離を行なう大気圧イオン化
質量分析計に併合することができるので質量分析計の分
析効率を向上させる効果がある。
このように、上記実施例によれば中間圧力部３でのク
ラスターイオンの衝突解離が安定に行なわれる。従つて
得られるスペクトル強度に変動がなく再現性の良い安定
したスペクトルを得ることができる。さらに質量分析の
効率を向上させることができる。
ラスターイオンの衝突解離が安定に行なわれる。従つて
得られるスペクトル強度に変動がなく再現性の良い安定
したスペクトルを得ることができる。さらに質量分析の
効率を向上させることができる。
また本発明では以下の効果も得られる。ドリフト電圧
を変化させることにより、クラスターイオンの解離が行
われることは前述したが、クラスターイオンの解離の状
況を調べるとか、分析目的に不必要なクラスターイオン
を取り除く目的で、ドリフト電圧を変化させた時、目的
とするスペクトルを得るためのドリフト電圧条件ではイ
オン検出感度が低下する場合がある。これはドリフト電
圧を増加させて行くと細孔６でイオンビームが収束しな
かつたり、四重極質量分析計における加速エネルギーに
影響があるためである。しかし、本発明では、イオンビ
ームの集束や加速エネルギーに影響を与えないような最
適ドリフト電圧を設定した上で、さらにクラスターイオ
ンの解離を行なわせる必要が生じた時は中間圧力部３の
圧力を変化させることにより、目的を達成することがで
きる。大気圧イオン化質量分析計は、高感度分析を目的
とするもので、イオン検出感度（イオン量）を増加させ
ることは極めて重要である。
を変化させることにより、クラスターイオンの解離が行
われることは前述したが、クラスターイオンの解離の状
況を調べるとか、分析目的に不必要なクラスターイオン
を取り除く目的で、ドリフト電圧を変化させた時、目的
とするスペクトルを得るためのドリフト電圧条件ではイ
オン検出感度が低下する場合がある。これはドリフト電
圧を増加させて行くと細孔６でイオンビームが収束しな
かつたり、四重極質量分析計における加速エネルギーに
影響があるためである。しかし、本発明では、イオンビ
ームの集束や加速エネルギーに影響を与えないような最
適ドリフト電圧を設定した上で、さらにクラスターイオ
ンの解離を行なわせる必要が生じた時は中間圧力部３の
圧力を変化させることにより、目的を達成することがで
きる。大気圧イオン化質量分析計は、高感度分析を目的
とするもので、イオン検出感度（イオン量）を増加させ
ることは極めて重要である。
以上説明したように、本発明によると測定条件の測定
が簡便となり、クラスターイオンの衝突解離が安定に行
なわれるのでスペクトル強度の変動がなくなり、さらに
同一試料計測時再現性の良い安定したスペクトルを得る
ことができる。また、クラスターイオンの解離をドリフ
ト電圧を順次増加させる方法と中空圧力部（衝突室）の
圧力を順次増圧させる方法とを併用することができるの
で分析効率を向上させることができる。
が簡便となり、クラスターイオンの衝突解離が安定に行
なわれるのでスペクトル強度の変動がなくなり、さらに
同一試料計測時再現性の良い安定したスペクトルを得る
ことができる。また、クラスターイオンの解離をドリフ
ト電圧を順次増加させる方法と中空圧力部（衝突室）の
圧力を順次増圧させる方法とを併用することができるの
で分析効率を向上させることができる。
このように、分析精度の向上と効率の向上が図れるば
かりか、質量分析の簡易化が図れ、自動化への進展が可
能となる。
かりか、質量分析の簡易化が図れ、自動化への進展が可
能となる。
さらに、本発明によれば、ターボ分子ポンプを使用し
て排気を行うので、ポンプの特性の高速回転による超高
真空排気が可能となり、分析試料による分析装置への汚
染を真空クリーニングにより排除することが可能となる
メリットもある。
て排気を行うので、ポンプの特性の高速回転による超高
真空排気が可能となり、分析試料による分析装置への汚
染を真空クリーニングにより排除することが可能となる
メリットもある。
第１図はイオン化手段としてコロナ放電針状電極を備え
た大気圧イオン化質量分析計を示す断面図、第２図は本
発明によるガス圧力検出装置とターボ分子ポンプを備え
た大気圧イオン化質量分析計を示す断面図、第３図はタ
ーボ分子ポンプのロータの回転数と排気速度との関係を
示すグラフ。 １……イオン化部、２……中間圧力部、３……質量分析
部、4,5……細孔、７……１次排気、12……ガス圧力検
出器、13……ターボ分子ポンプ、14……ガス圧力検出回
路、15……（ターボ分子ポンプ）駆動電源、18……コン
ダクタンスバルブ、19……（コンダクタンスバルブ）駆
動電源。
た大気圧イオン化質量分析計を示す断面図、第２図は本
発明によるガス圧力検出装置とターボ分子ポンプを備え
た大気圧イオン化質量分析計を示す断面図、第３図はタ
ーボ分子ポンプのロータの回転数と排気速度との関係を
示すグラフ。 １……イオン化部、２……中間圧力部、３……質量分析
部、4,5……細孔、７……１次排気、12……ガス圧力検
出器、13……ターボ分子ポンプ、14……ガス圧力検出回
路、15……（ターボ分子ポンプ）駆動電源、18……コン
ダクタンスバルブ、19……（コンダクタンスバルブ）駆
動電源。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 近藤 弥太郎 青梅市藤橋３丁目３番地の２ 日立東京 エレクトロニクス株式会社内 審査官 堀部 修平 (56)参考文献 特開 昭53−81289（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−42650（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】試料が導入されるイオン化部と、クラスタ
ーイオンの衝突解離手段と、イオン収束手段と、差動排
気が行われる中間圧力部と、イオン分析を行う質量分析
部とを具備し、上記イオン化部と中間圧力部とを細孔ス
リットで接続した大気圧イオン化質量分析計において、
上記中間圧力部にガス圧力検出装置を備え、前記ガス圧
力が一定となるように、前記中間圧力部のガスを排気す
るターボ分子ポンプの回転数を制御し、前記中間圧力部
のガスの排気速度を制御することを特徴とする質量分析
計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60134171A JP2555010B2 (ja) | 1985-06-21 | 1985-06-21 | 質量分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60134171A JP2555010B2 (ja) | 1985-06-21 | 1985-06-21 | 質量分析計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61292847A JPS61292847A (ja) | 1986-12-23 |
| JP2555010B2 true JP2555010B2 (ja) | 1996-11-20 |
Family
ID=15122103
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60134171A Expired - Lifetime JP2555010B2 (ja) | 1985-06-21 | 1985-06-21 | 質量分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2555010B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3631862A1 (de) * | 1986-09-19 | 1988-03-31 | Strahlen Umweltforsch Gmbh | Einrichtung zur analytischen bestimmung von organischen stoffen |
| JPH0252223A (ja) * | 1988-08-16 | 1990-02-21 | Nippon Ferrofluidics Kk | ターボ分子ポンプの排気流量検出方法 |
| CN113632198A (zh) * | 2019-06-12 | 2021-11-09 | Dh科技发展私人贸易有限公司 | Tof质量校准 |
| JP7432605B2 (ja) * | 2019-07-26 | 2024-02-16 | 株式会社日立ハイテク | 質量分析装置およびこれを制御する方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6040664B2 (ja) * | 1976-12-27 | 1985-09-12 | 株式会社日立製作所 | イオン分子反応質量分析計 |
| JPS6042650A (ja) * | 1983-08-18 | 1985-03-06 | Jeol Ltd | 液体クロマトグラフ質量分析装置 |
-
1985
- 1985-06-21 JP JP60134171A patent/JP2555010B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61292847A (ja) | 1986-12-23 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4144451A (en) | Mass spectrometer | |
| JP2753265B2 (ja) | プラズマイオン化質量分析計 | |
| US6797947B2 (en) | Internal introduction of lock masses in mass spectrometer systems | |
| Eiden et al. | Beneficial ion/molecule reactions in elemental mass spectrometry | |
| EP1638132B1 (en) | Mass chromatography | |
| Okamoto | High-sensitivity microwave-induced plasma mass spectrometry for trace element analysis | |
| USRE35681E (en) | Atmospheric pressure ionization mass spectrometer | |
| JP2555010B2 (ja) | 質量分析計 | |
| JPH1012188A (ja) | 大気圧イオン化イオントラップ質量分析方法及び装置 | |
| JPS6215747A (ja) | 質量分析計 | |
| JPH08203468A (ja) | 大気圧イオン化質量分析計 | |
| Zook et al. | Detection mass bias in atmospheric pressure ionization mass spectrometry | |
| JPH0770301B2 (ja) | 質量分析計 | |
| Ong et al. | Why are electron capture negative ion mass spectra not reproducible? An ion source problem | |
| JP7435905B2 (ja) | 質量分析装置及び質量分析方法 | |
| Genuit et al. | Selective ion source for trace gas analysis | |
| JPH0746594B2 (ja) | 誘導結合プラズマをイオン源とする質量分析装置 | |
| JP2561049B2 (ja) | 質量分析計 | |
| JPH027344A (ja) | グロー放電質量分析装置 | |
| JP2005243573A (ja) | 試料分析装置 | |
| JPH11273615A (ja) | 大気圧イオン化質量分析方法および装置 | |
| JPH07118296B2 (ja) | 高圧質量分析法のためのイオン化法 | |
| JPH11295247A (ja) | 試料表面の分析方法 | |
| JPS6257069B2 (ja) | ||
| JPH0674940A (ja) | 大気圧イオン化質量分析方法及び分析装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |