JPS6040664B2 - イオン分子反応質量分析計 - Google Patents
イオン分子反応質量分析計Info
- Publication number
- JPS6040664B2 JPS6040664B2 JP51156516A JP15651676A JPS6040664B2 JP S6040664 B2 JPS6040664 B2 JP S6040664B2 JP 51156516 A JP51156516 A JP 51156516A JP 15651676 A JP15651676 A JP 15651676A JP S6040664 B2 JPS6040664 B2 JP S6040664B2
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- Japan
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- ion
- electric field
- electrode
- pressure
- collision
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- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は大気圧イオン化（ＡｔｍｏｓｐｈｅｒｉｃＰｒ
ｅｓｓｕｒｅ Ｉｏｎｉｚａｔｉｏｎ；Ｅ．Ｃ．Ｈｏｍ
ｉｎｇ ｅｔｏｌ．ａｎａｌｃｈｅｍ．４５９３６（′
７３） ａｎａｌ．ｃｈｅｍ．４７、２３６９（′７５
））あるいは化学イオン化など、イオン分子反応を利用
したィオンイｑ機能を有する質量分析計に関するもので
ある。
ｅｓｓｕｒｅ Ｉｏｎｉｚａｔｉｏｎ；Ｅ．Ｃ．Ｈｏｍ
ｉｎｇ ｅｔｏｌ．ａｎａｌｃｈｅｍ．４５９３６（′
７３） ａｎａｌ．ｃｈｅｍ．４７、２３６９（′７５
））あるいは化学イオン化など、イオン分子反応を利用
したィオンイｑ機能を有する質量分析計に関するもので
ある。
約ＩＴｏｎの圧力下でのイオン分子反応を利用する化学
イオン化法（以下Ｃ．１法と略す）あるいは７６０Ｔｏ
ｒｒの圧力下でのイオン分子反応を利用する大気圧イオ
ン化法（以下、ＡＰ．１法と略す）は、従来の電子衝撃
型イオン化‐（以下、ＥＩと略す）にくらべて衝撃の少
ないソフトなイオン化法である。
イオン化法（以下Ｃ．１法と略す）あるいは７６０Ｔｏ
ｒｒの圧力下でのイオン分子反応を利用する大気圧イオ
ン化法（以下、ＡＰ．１法と略す）は、従来の電子衝撃
型イオン化‐（以下、ＥＩと略す）にくらべて衝撃の少
ないソフトなイオン化法である。
このために試料をイオン化する際に分解することが少な
く、分子イオンが観測しやすい特徴を有し、ＥＩ法では
得られない多くの知見を得ることができる。更にＡＰＩ
法では高圧下でのイオン分子反応を利用するために、イ
オン化ポテンシャルの低い物質あるいはＨ＋付加力の強
い物質が選択的に、高いイオン化率でイオン化される。
このため非常に高感度となり、ガス中の１０‐１４タオ
ーダーの有機物まで検出できる。以下例としてＡＰＩ法
について本発明を説明する。
く、分子イオンが観測しやすい特徴を有し、ＥＩ法では
得られない多くの知見を得ることができる。更にＡＰＩ
法では高圧下でのイオン分子反応を利用するために、イ
オン化ポテンシャルの低い物質あるいはＨ＋付加力の強
い物質が選択的に、高いイオン化率でイオン化される。
このため非常に高感度となり、ガス中の１０‐１４タオ
ーダーの有機物まで検出できる。以下例としてＡＰＩ法
について本発明を説明する。
ＡＰＩ法では通常キャリャーガスとして窒素ガスを用い
る。
る。
第１図は従来のＡＰＩ質量分析計の例である。ＡＰＩで
は、まず、１気圧下でのコロナ放電あるいは母Ｎｉから
出る８線により窒素がイオン化される。生成した窒素イ
オンはただちに窒素ガスと反応してＮ３十あるいはＮ４
十を与える。コロナ放電→Ｎ＋、Ｎ２十Ｎ十、Ｎ２十十
２Ｎ２→Ｎ３十、Ｎ４１ これらのイオンは窒素中に残留する水と反応し比０十を
与える。
は、まず、１気圧下でのコロナ放電あるいは母Ｎｉから
出る８線により窒素がイオン化される。生成した窒素イ
オンはただちに窒素ガスと反応してＮ３十あるいはＮ４
十を与える。コロナ放電→Ｎ＋、Ｎ２十Ｎ十、Ｎ２十十
２Ｎ２→Ｎ３十、Ｎ４１ これらのイオンは窒素中に残留する水と反応し比０十を
与える。
これは更に水と反応してＨぬ十、日十（ＱＯ）ｎなどの
イオンが生成する。Ｎ４十十比○→比○十十Ｎ４ 比０十十比○十Ｎ２→日３０十十ＯＨ＋Ｎ２瓜０十十比
○十Ｎ２→日十（仏０）２十Ｎ２日十（ＱＯ）ｎ−，十
日２０十Ｎ２→日十（日２０）ｎ＋Ｎ２ このようにして生成した水のクラスターイオンはキャリ
ャーガス中に含まれる試料と反応し、日十付加、電荷移
動、イオン移動などの反応をおこす。
イオンが生成する。Ｎ４十十比○→比○十十Ｎ４ 比０十十比○十Ｎ２→日３０十十ＯＨ＋Ｎ２瓜０十十比
○十Ｎ２→日十（仏０）２十Ｎ２日十（ＱＯ）ｎ−，十
日２０十Ｎ２→日十（日２０）ｎ＋Ｎ２ このようにして生成した水のクラスターイオンはキャリ
ャーガス中に含まれる試料と反応し、日十付加、電荷移
動、イオン移動などの反応をおこす。
Ｈ＋（比０）ｎ＋Ｍ→
Ｍ十、ＭＨ十、ＭＨ十（比０）ｎｅに．
場合によっては、ＭＨ十十Ｍ→Ｍ２日十などの反応をお
こすこともある。
こすこともある。
以上ＡＰＩを例に試料のイオン化機構を説明した力ミＣ
１の場合もほぼ同機である。ＣＩの場合にはＩＪェージ
ェントガスとしてＣＨ４を用いる場合が多い。第２図は
通常のＣＩ質量分析計のイオン源の例である。ＣＩでは
電子衝撃によりまずＣ比がイオン化される。Ｃ凡＋ｅ→
ＣＨ４十、ＣＨ３十、ＣＨ２十、ｅｔｃ．これらの一次
イオンは更にＣＨ４と反応し、リアクタントィオンを生
成する。
１の場合もほぼ同機である。ＣＩの場合にはＩＪェージ
ェントガスとしてＣＨ４を用いる場合が多い。第２図は
通常のＣＩ質量分析計のイオン源の例である。ＣＩでは
電子衝撃によりまずＣ比がイオン化される。Ｃ凡＋ｅ→
ＣＨ４十、ＣＨ３十、ＣＨ２十、ｅｔｃ．これらの一次
イオンは更にＣＨ４と反応し、リアクタントィオンを生
成する。
Ｃ比十十ＣＨ４→ＣＨゞ
ＣＨ３十十ＣＨ４→Ｃ２は十
ＣＨ２十十ＣＨ４→Ｃ２比十、Ｃ２日３十Ｃ２＆十十Ｃ
Ｈ４→Ｃ３日５十 このようにして生成したりアクタントィオン（ＡＰＩで
は水のクラスターイオンがこれに相当する。
Ｈ４→Ｃ３日５十 このようにして生成したりアクタントィオン（ＡＰＩで
は水のクラスターイオンがこれに相当する。
）は試量と反応してこれをイオン化する。Ｍ＋Ｃ公十→
ＭＨ十Ｍ十Ｃ２＆十→Ｍ−Ｃ２日５十 ｅに． このようにＡＰＩあるいはＣＩでは、試料はあまり分解
することなくイオン化される反面、各種のクラスターィ
オンを生成することがある。
ＭＨ十Ｍ十Ｃ２＆十→Ｍ−Ｃ２日５十 ｅに． このようにＡＰＩあるいはＣＩでは、試料はあまり分解
することなくイオン化される反面、各種のクラスターィ
オンを生成することがある。
このクラスターィオン生成は試料の種類、リージェント
ガスあるいはキャリャーガスの種類、共存物質の濃度と
種類、およびイオン化室の温度と圧力などに依存する。
１つの試料からその分子量より大きな質量数のイオンが
いくつも生成したり、その質量スペクトルが測定条件に
より変化することはＣＩあるいはＡＰＩを定量あるいは
定性分析に応用する際に非常に都合がわるし、。
ガスあるいはキャリャーガスの種類、共存物質の濃度と
種類、およびイオン化室の温度と圧力などに依存する。
１つの試料からその分子量より大きな質量数のイオンが
いくつも生成したり、その質量スペクトルが測定条件に
より変化することはＣＩあるいはＡＰＩを定量あるいは
定性分析に応用する際に非常に都合がわるし、。
また、ＡＰ１、あるいはＣＩでは開裂イオンの生成が少
ないために、物質の構造あるいは物理化学的諸性質を知
る上で情報不足である。
ないために、物質の構造あるいは物理化学的諸性質を知
る上で情報不足である。
本発明は上記難点を解消するためになされたものである
。
。
さらに具体的には、本発明の目的は、所望の種類のクラ
スターイオンを効率的に開裂させることができるイオン
分子反応質量分析計を提供することにある。上記目的を
達成するために、本発明では、イオン化室と質量分析部
の中間に０．１〜１伽ｏｎの一つ領域、すなわち、緩衝
領域（イオン化室側）と衝突領域（質量分析部側）を設
ける。
スターイオンを効率的に開裂させることができるイオン
分子反応質量分析計を提供することにある。上記目的を
達成するために、本発明では、イオン化室と質量分析部
の中間に０．１〜１伽ｏｎの一つ領域、すなわち、緩衝
領域（イオン化室側）と衝突領域（質量分析部側）を設
ける。
そして、イオン化室でイオン化されてクラスターィオン
となった試料をまず、緩衝領域に導き、ここではクラス
ターィオンの開裂は行なわず、ガス圧力のみを自然降下
させる。緩衝領域を通過したクラスターィオンを、次に
衝突領域に導く。
となった試料をまず、緩衝領域に導き、ここではクラス
ターィオンの開裂は行なわず、ガス圧力のみを自然降下
させる。緩衝領域を通過したクラスターィオンを、次に
衝突領域に導く。
そして、衝突領域にかけた電場でクラスターィオンを加
速して中性分子と衝突させることにより、クラスターイ
オンを開裂させて質量分析部に導く構成としている。以
下本発明を実施例により説明する。
速して中性分子と衝突させることにより、クラスターイ
オンを開裂させて質量分析部に導く構成としている。以
下本発明を実施例により説明する。
第３図は本発明によるＡＰＩ質量分析計の例である。
母Ｎｊの８線源３から出た電子によりキャリャーガスが
イオン化される。８線のかわりに第５図に示すようにコ
ロナ放電を用いることもできる。
イオン化される。８線のかわりに第５図に示すようにコ
ロナ放電を用いることもできる。
生成したイオンは次々にイオン分子反応を行ない、最後
に試料を含んだクラスターィオンを生成する。これらの
イオンは電極７の純孔から中間圧力（〜ＩＴｏｍ）の衝
突室１１に入る。衝突室の条件はクラスターィオンが多
数回の衝突をおこすに十分な圧力を持つことである。衝
突室には電極７と１０にかけられた電圧で決定される電
界がある。この衝突室も第３図〜第６図のようなあるい
は他の変形が可能である。衝突室内でクラスターィオン
は加速され、中性子と何度も衝突する。クラスターィオ
ンが電極１０の紬孔から分析部２に入るまでに、多数回
の衝突によって得る内部エネルギーが開裂に必要な臨界
エネルギーご＊を超えると開裂する。この臨界エネルギ
ーご＊はクラスターィオンの解離エネルギーＤと密接に
結びついている。また、クラスクーィオンが衝突室内で
得る内部エネルギーは衝突室の長さ、電界強度、圧力、
クラスターィオンの種類などに依存する。−般に同一条
件下では電界強度をふやしていくと、解離エネルギーの
低いクラスターイオンから順次開裂していく。このよう
に衝突室の電界強度を変化させることにより、クラスタ
ーィオンを分子ィオンあるいは準分子イオンまで開裂さ
せることができる。また、開裂を開める電界強度の大き
さからクラスターイオンの解離エネルギーなどの情報も
得ることができる。第７図はＨ＋（比○）４およびＣＯ
＋（日２０）３イオンが露場の強さに応じて次々に開裂
する様を示した実験結果である。第４図は衝突室の出口
スリットをコーン形電極で作った例である。
に試料を含んだクラスターィオンを生成する。これらの
イオンは電極７の純孔から中間圧力（〜ＩＴｏｍ）の衝
突室１１に入る。衝突室の条件はクラスターィオンが多
数回の衝突をおこすに十分な圧力を持つことである。衝
突室には電極７と１０にかけられた電圧で決定される電
界がある。この衝突室も第３図〜第６図のようなあるい
は他の変形が可能である。衝突室内でクラスターィオン
は加速され、中性子と何度も衝突する。クラスターィオ
ンが電極１０の紬孔から分析部２に入るまでに、多数回
の衝突によって得る内部エネルギーが開裂に必要な臨界
エネルギーご＊を超えると開裂する。この臨界エネルギ
ーご＊はクラスターィオンの解離エネルギーＤと密接に
結びついている。また、クラスクーィオンが衝突室内で
得る内部エネルギーは衝突室の長さ、電界強度、圧力、
クラスターィオンの種類などに依存する。−般に同一条
件下では電界強度をふやしていくと、解離エネルギーの
低いクラスターイオンから順次開裂していく。このよう
に衝突室の電界強度を変化させることにより、クラスタ
ーィオンを分子ィオンあるいは準分子イオンまで開裂さ
せることができる。また、開裂を開める電界強度の大き
さからクラスターイオンの解離エネルギーなどの情報も
得ることができる。第７図はＨ＋（比○）４およびＣＯ
＋（日２０）３イオンが露場の強さに応じて次々に開裂
する様を示した実験結果である。第４図は衝突室の出口
スリットをコーン形電極で作った例である。
この例では電極７の紬孔から吹き出たガス流形をなるべ
く乱さないように工夫してある。また電子衝撃形イオン
化室１３を備えており、質量数のキャリブレーション等
に利用できる。第５図の例ではガスの圧力勾配が大きな
領域を緩衝領域１５として無電界あるいは弱電界とし、
ガスの圧力勾配が比較的少ない部分だけを衝突領域１１
としてここに電界をかけてクラスターィオン開裂に利用
した例である。
く乱さないように工夫してある。また電子衝撃形イオン
化室１３を備えており、質量数のキャリブレーション等
に利用できる。第５図の例ではガスの圧力勾配が大きな
領域を緩衝領域１５として無電界あるいは弱電界とし、
ガスの圧力勾配が比較的少ない部分だけを衝突領域１１
としてここに電界をかけてクラスターィオン開裂に利用
した例である。
ここで本実施例をさらに詳細に説明する。第５図におい
て、ＡＰＩイオン化室１の圧力は７６０Ｔｏｒｒであり
、第１紬孔付電極７と第２紬孔付電極１０の間の平均圧
力はＩＴｏｍである。
て、ＡＰＩイオン化室１の圧力は７６０Ｔｏｒｒであり
、第１紬孔付電極７と第２紬孔付電極１０の間の平均圧
力はＩＴｏｍである。
よって、第１紐孔付電極７近傍には大きな圧力勾配があ
る。この圧力勾配は第１紬孔付電極７から離れるにつれ
て急激に小さくなる。そこで、圧力勾配がある程度４・
さくなったところにメッシュ電極１４を配置する。さら
に望ましくは圧力勾配がほとんど無くなったところにメ
ッシュ電極１４を配置する。これによってメッシュ電極
１４と第２細孔付電極１０の間の圧力はほぼ均一になる
。ところで、クラスターイオンの開裂はＥ／Ｐ（ここで
Ｅは電界強度、Ｐは圧力）に依存する。
る。この圧力勾配は第１紬孔付電極７から離れるにつれ
て急激に小さくなる。そこで、圧力勾配がある程度４・
さくなったところにメッシュ電極１４を配置する。さら
に望ましくは圧力勾配がほとんど無くなったところにメ
ッシュ電極１４を配置する。これによってメッシュ電極
１４と第２細孔付電極１０の間の圧力はほぼ均一になる
。ところで、クラスターイオンの開裂はＥ／Ｐ（ここで
Ｅは電界強度、Ｐは圧力）に依存する。
従って、イオン化室で生成された各種のクラスターィオ
ンのうち、ある特定種類のクラスターィオンを衝突領域
で開裂させるには、衝突領域内のＥ／Ｐが所定の一定値
であることが望ましい。そこで、上記のようにメッシュ
電極１４を配置すれば、メッシュ電極１４と第２細孔付
電極１０で構成された衝突領域１５内の圧力Ｐはほぼ均
一となる。従って、この２枚の電極間の電界強度Ｅを、
所定値にセットすれば、所望の種類のクラスターィオン
を効率的に開裂させることができる。
ンのうち、ある特定種類のクラスターィオンを衝突領域
で開裂させるには、衝突領域内のＥ／Ｐが所定の一定値
であることが望ましい。そこで、上記のようにメッシュ
電極１４を配置すれば、メッシュ電極１４と第２細孔付
電極１０で構成された衝突領域１５内の圧力Ｐはほぼ均
一となる。従って、この２枚の電極間の電界強度Ｅを、
所定値にセットすれば、所望の種類のクラスターィオン
を効率的に開裂させることができる。
要するに、上記のようにメッシュ電極１４を配置すると
共に、緩衝領域１５を無電界または弱電界にすることに
より、衝突領域１５内でクラスターィオンは、その結合
エネルギーに応じて開裂できるかり、エネルギー分解館
が、メッシュ電極がない場合に比べて著しく向上する。
次に、緩衝領域１５は、圧力を十分に降下させる領域で
あるとともに、本実施例においては、クラスターィオン
の開裂を生じさせないための領域である。
共に、緩衝領域１５を無電界または弱電界にすることに
より、衝突領域１５内でクラスターィオンは、その結合
エネルギーに応じて開裂できるかり、エネルギー分解館
が、メッシュ電極がない場合に比べて著しく向上する。
次に、緩衝領域１５は、圧力を十分に降下させる領域で
あるとともに、本実施例においては、クラスターィオン
の開裂を生じさせないための領域である。
そのために、本実施例においては、緩衝領域１５を無電
界あるいは弱電界としている。また、第７図はメッシュ
電極がない場合の電界強度と相対イオン強度の関係を示
したものであり、図中、「圧力〜ＩＴｏｒｒ」は衝突領
域内の平均化された圧力を示すものである。従って、本
実施例により、第７図のような電界強度と相対イオン強
度の関係を示せば、ｎ＝０、１、２・・・・・・の曲線
は同図よりもシャープになり、複数の曲線の交差が少な
くなる。これはエネルギー分解館が高いことにほかなら
ない。第６図は磁場型質量分析計に本発明を応用した例
である。
界あるいは弱電界としている。また、第７図はメッシュ
電極がない場合の電界強度と相対イオン強度の関係を示
したものであり、図中、「圧力〜ＩＴｏｒｒ」は衝突領
域内の平均化された圧力を示すものである。従って、本
実施例により、第７図のような電界強度と相対イオン強
度の関係を示せば、ｎ＝０、１、２・・・・・・の曲線
は同図よりもシャープになり、複数の曲線の交差が少な
くなる。これはエネルギー分解館が高いことにほかなら
ない。第６図は磁場型質量分析計に本発明を応用した例
である。
本例では衝突室１１と補助ＥＩイオン化部１３を分離し
たが、これを兼用にすることもできる。以上ＡＰＩ質量
分析計に関連して本発明を述べて来たが、ＣＩ質量分析
計についても同様である。
たが、これを兼用にすることもできる。以上ＡＰＩ質量
分析計に関連して本発明を述べて来たが、ＣＩ質量分析
計についても同様である。
第８図はＣＩイオン源へ応用した例である。ＣＩイオン
源の場合動作圧力がＩＴｏｎ内外が多く、イオン生成部
と衝突部をメッシュで区分するだけでも良い場合がある
。この場合、メッシュと細孔付電極の間に電圧をかける
。もちろんＡＰＩの例のように少し減圧した衝突室を設
けることもできる。以上の応用例で共通に重要なことは
衝突室になんらかの方法でクラスターィオン開裂に必要
な電界をかけることである。また衝突室では複数回の衝
突を経ることによりクラスターィオンが励起されるので
これに必要な圧力と衝突室の最さを持つことが必要であ
る。以上述べたように本発明によれば、クラスターイオ
ンをその解離エネルギーの大きさに応じて開裂させて、
クラスターイオンを形成していた物質を同定したり、ク
ラスターィオンの解離エネルギーに関する情報を得るこ
とができる。
源の場合動作圧力がＩＴｏｎ内外が多く、イオン生成部
と衝突部をメッシュで区分するだけでも良い場合がある
。この場合、メッシュと細孔付電極の間に電圧をかける
。もちろんＡＰＩの例のように少し減圧した衝突室を設
けることもできる。以上の応用例で共通に重要なことは
衝突室になんらかの方法でクラスターィオン開裂に必要
な電界をかけることである。また衝突室では複数回の衝
突を経ることによりクラスターィオンが励起されるので
これに必要な圧力と衝突室の最さを持つことが必要であ
る。以上述べたように本発明によれば、クラスターイオ
ンをその解離エネルギーの大きさに応じて開裂させて、
クラスターイオンを形成していた物質を同定したり、ク
ラスターィオンの解離エネルギーに関する情報を得るこ
とができる。
また、種々のクラスターィオンができ、定量分析のため
の検量線を求めることが困難なことがある。この場合、
本発明による方法でクラスターィオンを分子イオンある
いは準分子イオンに開裂せしめて、分子イオンあるいは
準分子イオンに関する検量線を求めることにより定量分
析を可能ならしめることもできる。さらに、メッシュ電
極を第１細孔付電極と第２紬孔付電極の間の所定の位置
にメッシュ電極を配置すると共に、所定の電界強度分布
とすることにより、各種のクラスターィオンをその結合
エネルギーに応じて、効率的に開裂させることができる
。
の検量線を求めることが困難なことがある。この場合、
本発明による方法でクラスターィオンを分子イオンある
いは準分子イオンに開裂せしめて、分子イオンあるいは
準分子イオンに関する検量線を求めることにより定量分
析を可能ならしめることもできる。さらに、メッシュ電
極を第１細孔付電極と第２紬孔付電極の間の所定の位置
にメッシュ電極を配置すると共に、所定の電界強度分布
とすることにより、各種のクラスターィオンをその結合
エネルギーに応じて、効率的に開裂させることができる
。
すなわち、エネルギー分解能がメッシュ電極のない場合
に比べて著しく向上する。
に比べて著しく向上する。
第１図は従来のＡＰＩ装置を示す図、第２図は従来のＣ
Ｉイオン源を示す図、第３図〜第６図は本発明に係る衝
突室を持ったＡＰＩ装置を示す図、第７図はＨ＋（山○
）４、ＣＯ＋（日２０）３の亀場開裂を示す曲線図、第
８図は本発明に係る衝突室を備えたＣＩイオン源である
。 図において、１；ＡＰＩイオン化室、２：分析部、３：
６３ＮｉＢ線源、３′；コロナ放電電極、４；レンズ電
極、５；四重極柱、６；二次電子増倍管、７：第１細孔
付電極、８；ＥＩ用電子銃、９；リベラー、１０；第２
紬孔付電極、１１；衝突領域、１２；補助電子銃、１３
：補助ＥＩイオン化室、１４：メッシュ電極、１５；緩
衝領域、１６；メッシュ蟹極。 第１図 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図 第７図 第８図
Ｉイオン源を示す図、第３図〜第６図は本発明に係る衝
突室を持ったＡＰＩ装置を示す図、第７図はＨ＋（山○
）４、ＣＯ＋（日２０）３の亀場開裂を示す曲線図、第
８図は本発明に係る衝突室を備えたＣＩイオン源である
。 図において、１；ＡＰＩイオン化室、２：分析部、３：
６３ＮｉＢ線源、３′；コロナ放電電極、４；レンズ電
極、５；四重極柱、６；二次電子増倍管、７：第１細孔
付電極、８；ＥＩ用電子銃、９；リベラー、１０；第２
紬孔付電極、１１；衝突領域、１２；補助電子銃、１３
：補助ＥＩイオン化室、１４：メッシュ電極、１５；緩
衝領域、１６；メッシュ蟹極。 第１図 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図 第７図 第８図
Claims (1)
- １ 約１Ｔｏｒｒないし１気圧の圧力下でのイオン分子
反応を利用して試料のイオン化を行うものにおいて、イ
オン化室と分析部の中間に第１細孔付電極とメツシユ電
極で構成された無電界あるいは弱電界の緩衝領域と、前
記メツシユ電極と第２細孔付電極で構成された０．１な
いし１０Ｔｏｒｒの衝突領域を設け、イオン化室で生成
したイオンを前記緩衝領域を経て、前記衝突領域に導び
き、前記メツシユ電極と前記第２細孔付電極の間にかけ
た電場で加速して中性分子と衝突させることにより、前
記イオン化室で生成したイオンを開裂せしめるようにし
たことを特徴とするイオン分子反応質量分析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51156516A JPS6040664B2 (ja) | 1976-12-27 | 1976-12-27 | イオン分子反応質量分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51156516A JPS6040664B2 (ja) | 1976-12-27 | 1976-12-27 | イオン分子反応質量分析計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5381289A JPS5381289A (en) | 1978-07-18 |
| JPS6040664B2 true JPS6040664B2 (ja) | 1985-09-12 |
Family
ID=15629476
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP51156516A Expired JPS6040664B2 (ja) | 1976-12-27 | 1976-12-27 | イオン分子反応質量分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6040664B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4261698A (en) * | 1980-01-23 | 1981-04-14 | International Business Machines Corporation | Trace oxygen detector |
| JPH0770301B2 (ja) * | 1985-06-21 | 1995-07-31 | 株式会社日立製作所 | 質量分析計 |
| JP2555010B2 (ja) * | 1985-06-21 | 1996-11-20 | 株式会社日立製作所 | 質量分析計 |
| JPH07118295B2 (ja) * | 1985-10-30 | 1995-12-18 | 株式会社日立製作所 | 質量分析計 |
| JP2545528B2 (ja) * | 1987-01-29 | 1996-10-23 | 株式会社日立製作所 | 大気圧イオン化質量分析方法及び質量分析計 |
| JPH03201355A (ja) * | 1989-12-27 | 1991-09-03 | Jeol Ltd | 大気圧イオン化質量分析装置 |
| JP6231308B2 (ja) * | 2013-06-28 | 2017-11-15 | シャープ株式会社 | イオン化装置および質量分析装置 |
-
1976
- 1976-12-27 JP JP51156516A patent/JPS6040664B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5381289A (en) | 1978-07-18 |
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