JP2549549Y2 - レーザ加工機用オートローダユニット - Google Patents

レーザ加工機用オートローダユニット

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JP2549549Y2
JP2549549Y2 JP1991073447U JP7344791U JP2549549Y2 JP 2549549 Y2 JP2549549 Y2 JP 2549549Y2 JP 1991073447 U JP1991073447 U JP 1991073447U JP 7344791 U JP7344791 U JP 7344791U JP 2549549 Y2 JP2549549 Y2 JP 2549549Y2
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JP
Japan
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ceramic substrate
alumina ceramic
magazine
storage
substrate
Prior art date
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Application number
JP1991073447U
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English (en)
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JPH0524180U (ja
Inventor
伸雄 木原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本考案はアルミナセラミック基板
をレーザ加工する際上記基板をレーザ加工機の載物台に
自動供給収納するオートローダユニットに関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】従来のオードローダは図3に示すように
マガジン搬送部1と基板供給部2と基板収納部3と搬送
部4とコントローラ5から構成されており、自動でマガ
ジン11に収納されているアルミナセラミック基板を1
枚づつ取り出し、レーザ加工機の載物台(図示省略)に
搬送部により搬送し、又レーザ加工済のアルミナセラミ
ック基板を自動でマガジンに収納する。従ってアルミナ
セラミック基板をレーザ加工した際発生する粉塵がアル
ミナセラミック基板に付着したままマガジンに収納され
る。この粉塵が後工程の印刷や実装時に悪影響を及ぼす
為、レーザ加工後、超音波や有機溶剤による洗浄、或い
はブラシでこする等の粉塵除去作業をする為の1工程が
余分に必要であった。
【0003】
【考案が解決しようとする課題】上述する従来のオード
ローダユニットでは、アルミナセラミック基板をレーザ
加工機のX−Yテーブル上の載物台に自動的に供給,収
納するだけであった為、基板に付着した粉塵を除去する
作業が、レーザ加工後に1工程必要であるという問題点
があった。
【0004】
【課題を解決するための手段】本考案のオートローダユ
ニットは、収納ステージ上にステージ幅と同幅或いはそ
れ以上の幅で、アルミナセラミック基板押込み機構と同
期して押込み方向と逆方向に回転し、収納ステージ上の
アルミナセラミック基板の上面と十分接する位置に配置
した円筒状のナイロンブラシと、同様に押込み機構と同
期してナイロンブラシとアルミナセラミック基板が接触
する個所にナイロンブラシの回転方向からエアを吹き付
ける機構上からなる粉塵除去装置を有しており、レーザ
加工時に付着したアルミナセラミック基板上の粉塵を除
去する。
【0005】
【実施例】次に本考案について図面を参照して説明す
る。図1は本考案の一実施例のオートローダユニットの
全体図であり、図2は基板収納部3の拡大縦断面図であ
る。
【0006】本考案のオードローダユニットは、基板収
納部3が、図2に示すように、収納ステージ6と押込み
機構7で成る従来の構成に、さらにナイロンブラシ9と
エア吹付け機構10を加えた構成になっている。この他
の部分、すなわち、マガジン搬送部1、基板供給部2、
搬送部4、コントローラ5は従来通りである。
【0007】レーザ加工機によって加工されたアルミナ
セラミック基板8が、搬送部4によって収納ステージ6
上に搬送される。次に、押込み機構7がこのアルミナセ
ラミック基板8を収納マガジン11に収納する為、矢印
方向に移動するとこの押込み機構7と同期してナイロン
ブラシ9が矢印方向に回転し、エア吹付け機構10から
エア12がナイロンブラシ9とアルミナセラミック基板
8の接触する個所に吹き付けられる。この様にして、ア
ルミナセラミック基板8上の粉塵13が除去される。
【0008】図4は本考案の第2の実施例の基板収納部
3の縦断面図である。レーザ加工機によってスクライビ
ング加工と穴明け加工されたアルミナセラミック基板8
は上面にスクライビング加工による粉塵13が、下面の
穴周辺部には穴明け加工によるバリ14が付着してい
る。このアルミナセラミック基板8を前記実施例と同様
に搬送部4によって収納ステージ6上に搬送し、次に押
込み機構7が、このアルミナセラミック基板8を収納マ
ガジン11に収納する為、矢印方向に移動すると、この
押込み機構7と同期してアルミナセラミック基板8の上
下に配置されたナイロンブラシ9が矢印方向に回転し、
同じくエア吹付け機構10からエア12がナイロンブラ
シ9と、アルミナセラミック基8の上下面の接触個所に
吹き付けらる。この様にして、アルミナセミック基8の
上,下面の粉塵13及びバリ14が同時に除去される。
【0009】
【考案の効果】以上説明したように本考案は、アルミナ
セラミック基板をレーザ加工機のX−Yテーブル上の載
物台上に自動供給、収納するオードローダユニットにお
いて、収納ステージ上に、ナイロンブラシとエア吹き付
け機構からなる粉塵除去装置を付加したので、後工程で
の超音波洗浄等の粉塵除去工程が不要になり、工程の短
縮が図れるという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案の一実施例の全体図。
【図2】基板収納部の拡大縦断面図。
【図3】従来のオードローダユニットの一例を示す全体
図。
【図4】本考案の第二実施例の基板収納部の縦断面図。
【符号の説明】
1 マガジン搬送部 2 基板供給部 3 基板収納部 4 搬送部 5 コントローラ 6 収納ステージ 7 押込み機構 8 アルミセラミック基板 9 ナイロンブラシ 10 エア吹付け機構 11 収納マガジン 12 吹付けエア 13 粉塵 14 バリ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 // H05K 3/00 H05K 3/00 N

Claims (1)

    (57)【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 マガジンをエアシリンダで供給位置と収
    納位置にシフトすることによりマガジンの交換を行うマ
    ガジン搬送部と、供給マガジンと収納マガジンをエレベ
    ーション機構により、所定の位置まで上昇させ、前記供
    給マガジンに収納されているアルミナセラミック基板1
    枚を押出し機構により供給ステージ迄移動させ又レーザ
    加工済みのアルミナセラミック基板1枚を収納ステージ
    より押込み機構により前記収納マガジンに収納する基板
    供給部、及び基板収納部と、2組のメカチャック機構に
    より、前記供給ステージ上の前記アルミナセラミック基
    板1枚のレーザ加工機のX−Yテーブル上の載物台上
    に、また減圧載物台上の減圧加工済のアルミナセラミッ
    グ基板1枚を収納ステージ上に搬送する搬送部と、前記
    各機構部をシーケンス制御するコントローラから構成さ
    れ、前記レーザ加工機に前記アルミナセラミック基板を
    自動供給,収納するオートローダユニットにおいて、前
    記基板収納部の収納ステージ上に、ステージ幅と同幅或
    いはそれ以上の幅で、前記押込み機構と同期して、押込
    み方向と逆方向に回転し、前記収納ステージ上の前記ア
    ルミナセラミック基板の上面と十分接する位置に配置し
    た円筒上のブラシと、前記押込み機構と同期して、前記
    ブラシと前記アルミナセラミック基板が接触する個所に
    前記ブラシの回転方向からエアーを吹き付ける機構とを
    からなる粉塵除去装置を付加したことを特徴とするレー
    ザ加工機用オートローダユニット。
JP1991073447U 1991-09-12 1991-09-12 レーザ加工機用オートローダユニット Expired - Lifetime JP2549549Y2 (ja)

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JPH0524180U JPH0524180U (ja) 1993-03-30
JP2549549Y2 true JP2549549Y2 (ja) 1997-09-30

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ID=13518488

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KR20200142041A (ko) * 2018-04-13 2020-12-21 아이피지 포토닉스 코포레이션 전기 모터 코어의 레이저 보조 가공

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JPH0524180U (ja) 1993-03-30

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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 19970506