JP2547489B2 - 磁気浮上搬送装置の制御方法 - Google Patents
磁気浮上搬送装置の制御方法Info
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- JP2547489B2 JP2547489B2 JP3217762A JP21776291A JP2547489B2 JP 2547489 B2 JP2547489 B2 JP 2547489B2 JP 3217762 A JP3217762 A JP 3217762A JP 21776291 A JP21776291 A JP 21776291A JP 2547489 B2 JP2547489 B2 JP 2547489B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気浮上に用いる変位
センサを少なくとも軌道側に固設し、該変位センサの配
置箇所に浮上用電磁石の磁極を固設し、浮上用電磁石に
より可動体を軌道に対して非接触状態で該軌道に沿って
移動せしめる磁気浮上搬送装置の制御方法に関する。
センサを少なくとも軌道側に固設し、該変位センサの配
置箇所に浮上用電磁石の磁極を固設し、浮上用電磁石に
より可動体を軌道に対して非接触状態で該軌道に沿って
移動せしめる磁気浮上搬送装置の制御方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】かかる磁気浮上搬送装置としては、例え
ば特開昭６１−１３９２０１号公報に示されている磁気
浮上式直線スライダがある。この磁気浮上式直線スライ
ダによれば、可動部材は常に４個の磁気軸受により非接
触に保持され、且つ３個のギャップセンサにより間隔が
測定され、該測定された間隔に基づいて磁気軸受に供給
される電流が制御されている。
ば特開昭６１−１３９２０１号公報に示されている磁気
浮上式直線スライダがある。この磁気浮上式直線スライ
ダによれば、可動部材は常に４個の磁気軸受により非接
触に保持され、且つ３個のギャップセンサにより間隔が
測定され、該測定された間隔に基づいて磁気軸受に供給
される電流が制御されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記した従来
の磁気浮上式直線スライダによれば、スライダが直線移
動することにより該スライダを非接触浮上せしめる磁気
軸受及び間隔測定用のギャップセンサが次々に変更する
が、その変更に際して磁気軸受及びギャップセンサを切
り替える度毎に振動その他の好ましくない動きが生ずる
という問題が存在する。そして、振動その他の好ましく
ない動きは、特に半導体製造設備においてウエハの搬送
に磁気浮上搬送装置を使用する場合には、ウエハの破損
等の深刻な事態の要因となり得る。
の磁気浮上式直線スライダによれば、スライダが直線移
動することにより該スライダを非接触浮上せしめる磁気
軸受及び間隔測定用のギャップセンサが次々に変更する
が、その変更に際して磁気軸受及びギャップセンサを切
り替える度毎に振動その他の好ましくない動きが生ずる
という問題が存在する。そして、振動その他の好ましく
ない動きは、特に半導体製造設備においてウエハの搬送
に磁気浮上搬送装置を使用する場合には、ウエハの破損
等の深刻な事態の要因となり得る。
【０００４】その他の従来技術としては、特開平３−３
２３０６号公報には、可動体が常時４個の変位センサと
４個の磁極と重なる態様で変位センサ及び磁極を配置し
た磁気浮上搬送装置の制御方法が記載されており、特開
平３−１９０５０７号公報には、可動体が６個の磁極と
重なる態様の構成が示されている。しかし、これ等の従
来技術では、磁極及び変位センサを切り替える際に生じ
る振動その他の好ましくない動きは十分に防止されてい
ない。すなわち、上述した従来技術と同様な問題を有し
ている。本発明は、上述した問題に鑑みてなされたもの
で、振動その他の好ましくない動きを生ずることなく、
可動体を滑らかに移動することが出来る磁気浮上搬送装
置の制御方法を提供することを目的としている。
２３０６号公報には、可動体が常時４個の変位センサと
４個の磁極と重なる態様で変位センサ及び磁極を配置し
た磁気浮上搬送装置の制御方法が記載されており、特開
平３−１９０５０７号公報には、可動体が６個の磁極と
重なる態様の構成が示されている。しかし、これ等の従
来技術では、磁極及び変位センサを切り替える際に生じ
る振動その他の好ましくない動きは十分に防止されてい
ない。すなわち、上述した従来技術と同様な問題を有し
ている。本発明は、上述した問題に鑑みてなされたもの
で、振動その他の好ましくない動きを生ずることなく、
可動体を滑らかに移動することが出来る磁気浮上搬送装
置の制御方法を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気浮上搬送装
置の制御方法は、磁気浮上に用いる変位センサを少なく
とも軌道側に固設し、該変位センサの配置箇所に浮上用
電磁石の磁極を固設し、浮上用電磁石により可動体を軌
道に対して非接触状態で該軌道に沿って移動せしめる磁
気浮上搬送装置の制御方法において、可動体が常時３個
の変位センサ及び６個の磁極と重なる様に前記変位セン
サ及び磁極は配置されており、該３個の変位センサによ
り対向する可動体表面との垂直方向距離を計測して演算
制御ユニットへ出力する工程と、可動体進行方向及び該
進行方向に直交する方向についての各センサの座標と計
測された垂直方向距離とから演算により可動体表面を特
定する工程と、特定された可動体表面の位置に基づいて
前記演算制御ユニットが所定の磁極に供給する電流を制
御する工程と、該可動体が軌道に沿って移動する際に重
なり合う１個の変位センサ及び２個の磁極が変更する度
に前記演算制御ユニットと接続される変位センサ及び磁
極を切り替える工程、とを含んでいる。
置の制御方法は、磁気浮上に用いる変位センサを少なく
とも軌道側に固設し、該変位センサの配置箇所に浮上用
電磁石の磁極を固設し、浮上用電磁石により可動体を軌
道に対して非接触状態で該軌道に沿って移動せしめる磁
気浮上搬送装置の制御方法において、可動体が常時３個
の変位センサ及び６個の磁極と重なる様に前記変位セン
サ及び磁極は配置されており、該３個の変位センサによ
り対向する可動体表面との垂直方向距離を計測して演算
制御ユニットへ出力する工程と、可動体進行方向及び該
進行方向に直交する方向についての各センサの座標と計
測された垂直方向距離とから演算により可動体表面を特
定する工程と、特定された可動体表面の位置に基づいて
前記演算制御ユニットが所定の磁極に供給する電流を制
御する工程と、該可動体が軌道に沿って移動する際に重
なり合う１個の変位センサ及び２個の磁極が変更する度
に前記演算制御ユニットと接続される変位センサ及び磁
極を切り替える工程、とを含んでいる。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気浮上搬送装
置の制御方法は、磁気浮上に用いる変位センサを少なく
とも軌道側に固設し、該変位センサの配置箇所に浮上用
電磁石の磁極を固設し、浮上用電磁石により可動体を軌
道に対して非接触状態で該軌道に沿って移動せしめる磁
気浮上搬送装置の制御方法において、可動体が常時３個
の変位センサ及び６個の磁極と重なる様に前記変位セン
サ及び磁極は配置されており、該３個の変位センサによ
り対向する可動体表面との垂直方向距離を計測して演算
制御ユニットへ出力する工程と、可動体進行方向及び該
進行方向に直交する方向についての各センサの座標と計
測された垂直方向距離とから演算により可動体表面の３
次元空間上の座標を特定する工程と、特定された可動体
表面の３次元空間上の座標に基づいて前記演算制御ユニ
ットが所定の磁極に供給する電流を制御する工程と、可
動体が常時３個の変位センサ及び６個の磁極と重なる様
に、該可動体が軌道に沿って移動するに連れて該可動体
と重なり合う変位センサ及び磁極が変更する度に、前記
演算制御ユニット及び切替手段により作動している変位
センサ１個を切り替えると共に電流が供給されている磁
極２個を切り替える工程、とを含んでいる。
置の制御方法は、磁気浮上に用いる変位センサを少なく
とも軌道側に固設し、該変位センサの配置箇所に浮上用
電磁石の磁極を固設し、浮上用電磁石により可動体を軌
道に対して非接触状態で該軌道に沿って移動せしめる磁
気浮上搬送装置の制御方法において、可動体が常時３個
の変位センサ及び６個の磁極と重なる様に前記変位セン
サ及び磁極は配置されており、該３個の変位センサによ
り対向する可動体表面との垂直方向距離を計測して演算
制御ユニットへ出力する工程と、可動体進行方向及び該
進行方向に直交する方向についての各センサの座標と計
測された垂直方向距離とから演算により可動体表面の３
次元空間上の座標を特定する工程と、特定された可動体
表面の３次元空間上の座標に基づいて前記演算制御ユニ
ットが所定の磁極に供給する電流を制御する工程と、可
動体が常時３個の変位センサ及び６個の磁極と重なる様
に、該可動体が軌道に沿って移動するに連れて該可動体
と重なり合う変位センサ及び磁極が変更する度に、前記
演算制御ユニット及び切替手段により作動している変位
センサ１個を切り替えると共に電流が供給されている磁
極２個を切り替える工程、とを含んでいる。
【０００７】
【作用】上記のように構成された磁気浮上搬送装置の制
御方法においては、可動体と重なり合う３個の変位セン
サ及び６個の磁極のうち、１個の変位センサ及び２個の
磁極ずつが切り替えられ、可動体は常時３個の変位セン
サ及び６個の磁極と重なるため、切り替え時に振動その
他の好ましくない動きが生じることがない。
御方法においては、可動体と重なり合う３個の変位セン
サ及び６個の磁極のうち、１個の変位センサ及び２個の
磁極ずつが切り替えられ、可動体は常時３個の変位セン
サ及び６個の磁極と重なるため、切り替え時に振動その
他の好ましくない動きが生じることがない。
【０００８】また、可動体と重なり合うセンサについて
は、可動体進行方向の座標と、該進行方向に直交する方
向について座標とが特定される。これ等の座標と、セン
サにより計測された対向する可動体表面との垂直方向距
離とは、該可動体表面を含む平面を演算により特定する
際のデータとして十分である。換言すれば、可動体進行
方向の座標と、該進行方向に直交する方向について座標
と、センサにより計測された対向する可動体表面との垂
直方向距離とは、可動体表面の３次元空間上の座標を特
定するのである。該可動体表面の３次元空間上の座標を
特定することにより、該可動体が軌道と接触せず、水平
状態を維持して移動或いは走行するのに必要な精度の高
い制御が可能となる。すなわち、可動体表面を含む平面
の３次元空間上の座標を特定することにより平面が水平
状態に維持されているか否かが判別し、もしも傾いてい
る場合には、適当な磁極に供給される電流を増大又は減
少し磁気的な吸引力を調節して、該平面及び可動体表面
を水平状態に戻すことが出来る。これに加えて、磁気的
な吸引力を適宜調節して、可動体の浮上量を調整するこ
とも可能である。
は、可動体進行方向の座標と、該進行方向に直交する方
向について座標とが特定される。これ等の座標と、セン
サにより計測された対向する可動体表面との垂直方向距
離とは、該可動体表面を含む平面を演算により特定する
際のデータとして十分である。換言すれば、可動体進行
方向の座標と、該進行方向に直交する方向について座標
と、センサにより計測された対向する可動体表面との垂
直方向距離とは、可動体表面の３次元空間上の座標を特
定するのである。該可動体表面の３次元空間上の座標を
特定することにより、該可動体が軌道と接触せず、水平
状態を維持して移動或いは走行するのに必要な精度の高
い制御が可能となる。すなわち、可動体表面を含む平面
の３次元空間上の座標を特定することにより平面が水平
状態に維持されているか否かが判別し、もしも傾いてい
る場合には、適当な磁極に供給される電流を増大又は減
少し磁気的な吸引力を調節して、該平面及び可動体表面
を水平状態に戻すことが出来る。これに加えて、磁気的
な吸引力を適宜調節して、可動体の浮上量を調整するこ
とも可能である。
【０００９】さらに本発明によれば、搬送台に重なる変
位センサの数は常時３個である。従って、常時４個の変
位センサが搬送台に重なる従来技術（例えば特開平３−
３２３０６号公報）に比較して、比較的高価な変位セン
サの使用品数を激減させることが出来る。その結果とし
て、製造コストを低減することが可能である。
位センサの数は常時３個である。従って、常時４個の変
位センサが搬送台に重なる従来技術（例えば特開平３−
３２３０６号公報）に比較して、比較的高価な変位セン
サの使用品数を激減させることが出来る。その結果とし
て、製造コストを低減することが可能である。
【００１０】
【実施例】以下図面を参照して本発明の実施例を説明す
る。
る。
【００１１】図１において全体を符号１０で示す磁気浮
上搬送装置は、符号１２で示す軌道と、符号１４で示す
搬送台すなわち可動体と、軌道１２に固設された複数の
磁極１６−ａ、１６−ｂ、１６−ｃ・・・と、可動体１
４との垂直方向距離を計測するためのセンサ１８−ａ、
１８−ｄ、１８−ｅ・・・とを含んでいる。ここで、図
１から明らかな様に、センサ１８−ａ、１８−ｄ、１８
−ｅ・・・は互い違いに配置されており、且つ磁極１６
−ａ、１６−ｄ、１６−ｅ・・・と同一位置に配置され
ている。
上搬送装置は、符号１２で示す軌道と、符号１４で示す
搬送台すなわち可動体と、軌道１２に固設された複数の
磁極１６−ａ、１６−ｂ、１６−ｃ・・・と、可動体１
４との垂直方向距離を計測するためのセンサ１８−ａ、
１８−ｄ、１８−ｅ・・・とを含んでいる。ここで、図
１から明らかな様に、センサ１８−ａ、１８−ｄ、１８
−ｅ・・・は互い違いに配置されており、且つ磁極１６
−ａ、１６−ｄ、１６−ｅ・・・と同一位置に配置され
ている。
【００１２】センサ１８−ａ、１８−ｄ、１８−ｅ・・
・の出力は第１の切替手段２０に入力されており、該切
替手段２０は演算制御ユニット２２に接続されている。
この演算制御ユニット２２は第２の切替手段２４と接続
され、該切替手段２４は磁極１６−ｂ、１６−ｃ、１６
−ｆ・・・に制御信号或いは電流を供給している。ここ
で、第２の切替手段２４を全ての磁極１６−ａ、１６−
ｂ、１６−ｃに接続することも出来る。
・の出力は第１の切替手段２０に入力されており、該切
替手段２０は演算制御ユニット２２に接続されている。
この演算制御ユニット２２は第２の切替手段２４と接続
され、該切替手段２４は磁極１６−ｂ、１６−ｃ、１６
−ｆ・・・に制御信号或いは電流を供給している。ここ
で、第２の切替手段２４を全ての磁極１６−ａ、１６−
ｂ、１６−ｃに接続することも出来る。
【００１３】第１の切替手段２０は、演算制御ユニット
２２によりセンサ１８−ａ、１８−ｄ、１８−ｅ・・・
から３個のセンサを選択して（切り替えて）、その出力
すなわち可動体１４との垂直方向距離の計測値を演算制
御ユニット２２へ入力する様になっている。一方、第２
の切替手段２４は演算制御ユニット２２からの制御信号
を受けて、該ユニット２２からの制御のための出力を所
定の磁極に対して選択的に供給する。
２２によりセンサ１８−ａ、１８−ｄ、１８−ｅ・・・
から３個のセンサを選択して（切り替えて）、その出力
すなわち可動体１４との垂直方向距離の計測値を演算制
御ユニット２２へ入力する様になっている。一方、第２
の切替手段２４は演算制御ユニット２２からの制御信号
を受けて、該ユニット２２からの制御のための出力を所
定の磁極に対して選択的に供給する。
【００１４】なお、図１において符号Ａ〜Ｊは、可動体
１４において磁極１６−ａ、１６−ｂ、１６−ｃ・・・
に対応する箇所（点）を表示するものである。
１４において磁極１６−ａ、１６−ｂ、１６−ｃ・・・
に対応する箇所（点）を表示するものである。
【００１５】次に図１〜３を参照して、この実施例の作
用について説明する。
用について説明する。
【００１６】図１において、実線で示す位置に存在する
可動体１４は、磁極１６−ａ、１６−ｂ、１６−ｃ、１
６−ｄ、１６−ｅ、１６−ｆ及びセンサ１８−ａ、１８
−ｄ、１８−ｅに重なっている。そして、可動体１４に
おける磁極１６−ａ〜ｆに対応する箇所（点）Ａ〜Ｆが
図２において直交座標系に示されている。
可動体１４は、磁極１６−ａ、１６−ｂ、１６−ｃ、１
６−ｄ、１６−ｅ、１６−ｆ及びセンサ１８−ａ、１８
−ｄ、１８−ｅに重なっている。そして、可動体１４に
おける磁極１６−ａ〜ｆに対応する箇所（点）Ａ〜Ｆが
図２において直交座標系に示されている。
【００１７】ＡＥ間のｙ方向距離すなわちセンサ１６−
ａと１６−ｅとのｙ方向距離を２Ｗとして、ＡＤ間のｘ
方向距離すなわちセンサ１６−ａと１６−ｂとのｘ方向
距離をＳとする。そして、センサ１８−ａ、１８−ｄ、
１８−ｅにより計測された箇所Ａ、Ｅ、Ｄへのｚ方向距
離をそれぞれｚ1 、ｚ2 、ｚ3 とする。これ等の数値と
計測されたｚ方向距離ｚ1 、ｚ2 、ｚ3 とを参照し、図
２で示す位置に原点Ｏを設定すると、点Ａの座標は
（０，０，ｚ1 ）となり、点Ｄの座標は（Ｓ、Ｗ、
ｚ3 ）となり、点Ｅの座標は（０，２Ｗ，ｚ2 ）とな
る。
ａと１６−ｅとのｙ方向距離を２Ｗとして、ＡＤ間のｘ
方向距離すなわちセンサ１６−ａと１６−ｂとのｘ方向
距離をＳとする。そして、センサ１８−ａ、１８−ｄ、
１８−ｅにより計測された箇所Ａ、Ｅ、Ｄへのｚ方向距
離をそれぞれｚ1 、ｚ2 、ｚ3 とする。これ等の数値と
計測されたｚ方向距離ｚ1 、ｚ2 、ｚ3 とを参照し、図
２で示す位置に原点Ｏを設定すると、点Ａの座標は
（０，０，ｚ1 ）となり、点Ｄの座標は（Ｓ、Ｗ、
ｚ3 ）となり、点Ｅの座標は（０，２Ｗ，ｚ2 ）とな
る。
【００１８】点Ａ〜Ｆを含む可動体表面を包含する平面
の座標は、 Ｌｘ＋Ｍｙ＋Ｎｚ＝Ｐ・・・（１） なる式で表現される。この（１）式において、変数ｘ、
ｙ、ｚにそれぞれ点Ａ、Ｄ、Ｅの座標を代入すれば、
（１）式におけるＬ、Ｍ、Ｎが決定される。すなわち、
（１）式に点Ａの座標を代入すれば、Ｎｚ1 ＝Ｐとな
り、 Ｎ＝Ｐ／ｚ1 ・・・（２） が導かれる。次に、点Ｅの座標及び上式（２）を式
（１）に代入すればＭが求まる。
の座標は、 Ｌｘ＋Ｍｙ＋Ｎｚ＝Ｐ・・・（１） なる式で表現される。この（１）式において、変数ｘ、
ｙ、ｚにそれぞれ点Ａ、Ｄ、Ｅの座標を代入すれば、
（１）式におけるＬ、Ｍ、Ｎが決定される。すなわち、
（１）式に点Ａの座標を代入すれば、Ｎｚ1 ＝Ｐとな
り、 Ｎ＝Ｐ／ｚ1 ・・・（２） が導かれる。次に、点Ｅの座標及び上式（２）を式
（１）に代入すればＭが求まる。
【００１９】 Ｍ＝Ｐ（ｚ1 −ｚ2 ）／２Ｗｚ1 ・・・（３） さらに、点Ｄの座標と上式（２）及び（３）を式（１）
に代入すればＮが求まる。
に代入すればＮが求まる。
【００２０】 Ｌ＝Ｐ（ｚ1 ＋ｚ2 −２ｚ3 ）／２Ｓｚ1・・・（４） そして、Ｌ、Ｍ、Ｎが求まれば、式（１）すなわち点Ａ
〜Ｆを含む平面が特定されるのである。
〜Ｆを含む平面が特定されるのである。
【００２１】特定された式（１）から、点Ｂ、Ｃ、Ｆの
ｚ方向座標（ｚ方向距離）ｚ4 、ｚ6 、ｚ5 が演算され
る。そして、点Ｂ、Ｆに対応する磁極１６−ｂ、１６−
ｆに供給するべき電流が演算され、演算制御ユニット２
２から第２の切替手段２４を介して、該磁極１６−ｂ、
１６−ｆに供給される。換言するとｚ方向距離ｚ4 、ｚ
5 がｚ1 、ｚ2 と等しくなり、ｘ方向については傾斜が
生じない様に、磁極１６−ｂ、１６−ｆが磁気吸引力を
発生する。図１において、演算制御ユニット２２からの
出力は、第２の切替手段２４を介して該磁極１６−ｂ、
１６−ｃ、１６−ｆにのみ供給されるが、少なくとも可
動体１４の４隅部に対応する磁極１６−ａ、１６−ｂ、
１６−ｅ、１６−ｆに出力して、これ等におけるｚ方向
の座標ｚ1 、ｚ2 、ｚ4 、ｚ5 を適当に調節することが
出来るのである。
ｚ方向座標（ｚ方向距離）ｚ4 、ｚ6 、ｚ5 が演算され
る。そして、点Ｂ、Ｆに対応する磁極１６−ｂ、１６−
ｆに供給するべき電流が演算され、演算制御ユニット２
２から第２の切替手段２４を介して、該磁極１６−ｂ、
１６−ｆに供給される。換言するとｚ方向距離ｚ4 、ｚ
5 がｚ1 、ｚ2 と等しくなり、ｘ方向については傾斜が
生じない様に、磁極１６−ｂ、１６−ｆが磁気吸引力を
発生する。図１において、演算制御ユニット２２からの
出力は、第２の切替手段２４を介して該磁極１６−ｂ、
１６−ｃ、１６−ｆにのみ供給されるが、少なくとも可
動体１４の４隅部に対応する磁極１６−ａ、１６−ｂ、
１６−ｅ、１６−ｆに出力して、これ等におけるｚ方向
の座標ｚ1 、ｚ2 、ｚ4 、ｚ5 を適当に調節することが
出来るのである。
【００２２】ここで、図１において示されている様に、
可動体１４が実線で示す位置から１点鎖線で示す位置１
４−１、２点鎖線で示す位置１４−２に移動しても、常
に３個の変位センサ及び６個の磁極と重なっている。そ
して、第１の切替部材２０は常に３個の変位センサの出
力を選択して演算制御ユニット２２へ送出し、第２の切
替手段２４は演算制御ユニット２２の制御信号を所定の
磁極（図１において可動部材１４が実線位置にある場合
は磁極１６−ｂ、１６−ｆ：但し１６−ａ、１６−ｂ、
１６−ｅ、１６−ｆに出力する場合、その他の場合があ
る）へ供給するのである。
可動体１４が実線で示す位置から１点鎖線で示す位置１
４−１、２点鎖線で示す位置１４−２に移動しても、常
に３個の変位センサ及び６個の磁極と重なっている。そ
して、第１の切替部材２０は常に３個の変位センサの出
力を選択して演算制御ユニット２２へ送出し、第２の切
替手段２４は演算制御ユニット２２の制御信号を所定の
磁極（図１において可動部材１４が実線位置にある場合
は磁極１６−ｂ、１６−ｆ：但し１６−ａ、１６−ｂ、
１６−ｅ、１６−ｆに出力する場合、その他の場合があ
る）へ供給するのである。
【００２３】次に、上記の作用を図３のフローチャート
を参照しつつ説明する。
を参照しつつ説明する。
【００２４】まず、可動体１４とのｚ方向距離を計測し
ている３つの変位センサの出力を選択して、第１の切替
手段２０を介して演算制御ユニット２２へ送出する（ス
テップＳ１）。そして、該３つの変位センサの出力に基
づいて、図２で説明した様な態様にて演算制御ユニット
２２は可動体表面を特定する（ステップＳ２）。
ている３つの変位センサの出力を選択して、第１の切替
手段２０を介して演算制御ユニット２２へ送出する（ス
テップＳ１）。そして、該３つの変位センサの出力に基
づいて、図２で説明した様な態様にて演算制御ユニット
２２は可動体表面を特定する（ステップＳ２）。
【００２５】可動体表面が特定されれば、可動体の水平
状態を維持するためにはどの磁極にどの程度の電流を供
給すれば良いのかが求まるので（ステップＳ３）、第２
の切替手段２４を介して演算制御ユニット２２から所定
の制御電流（制御出力）が所定の磁極に対して送出され
る（ステップＳ４）。
状態を維持するためにはどの磁極にどの程度の電流を供
給すれば良いのかが求まるので（ステップＳ３）、第２
の切替手段２４を介して演算制御ユニット２２から所定
の制御電流（制御出力）が所定の磁極に対して送出され
る（ステップＳ４）。
【００２６】その後、可動体１４の移動につれて（ステ
ップＳ５がＮＯ）、可動体１４とのｚ方向距離を計測し
ている３つの変位センサが交替するが、常に可動体１４
とのｚ方向距離の計測出力が演算制御ユニット２２に送
られて、可動体の水平状態が維持される。一方、磁気浮
上搬送装置の運転を停止し、可動体１４が停止する場合
には（ステップＳ５がＹＥＳ）、磁極への電流供給が停
止される（ステップＳ６）。
ップＳ５がＮＯ）、可動体１４とのｚ方向距離を計測し
ている３つの変位センサが交替するが、常に可動体１４
とのｚ方向距離の計測出力が演算制御ユニット２２に送
られて、可動体の水平状態が維持される。一方、磁気浮
上搬送装置の運転を停止し、可動体１４が停止する場合
には（ステップＳ５がＹＥＳ）、磁極への電流供給が停
止される（ステップＳ６）。
【００２７】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、可動体と重なり合う３個の変位センサ及び
６個の磁極のうち、１個の変位センサ及び２個の磁極ず
つが切り替えられ、可動体は常時３個の変位センサ及び
６個の磁極と重なるため、切り替え時に振動その他の好
ましくない動きが生じることがない。
ているので、可動体と重なり合う３個の変位センサ及び
６個の磁極のうち、１個の変位センサ及び２個の磁極ず
つが切り替えられ、可動体は常時３個の変位センサ及び
６個の磁極と重なるため、切り替え時に振動その他の好
ましくない動きが生じることがない。
【００２８】また、可動体と重なり合うセンサが計測し
た距離及び該センサの座標に基づいて可動体表面を含む
平面を演算により特定することにより、該可動体が軌道
と接触せず、水平状態を維持して移動或いは走行するの
に必要な精度の高い制御が達成される。
た距離及び該センサの座標に基づいて可動体表面を含む
平面を演算により特定することにより、該可動体が軌道
と接触せず、水平状態を維持して移動或いは走行するの
に必要な精度の高い制御が達成される。
【００２９】これに加えて、磁気的な吸引力を適宜調節
して、可動体の浮上量を調整することも出来る。
して、可動体の浮上量を調整することも出来る。
【図１】本発明の一実施例を示すブロック図。
【図２】可動体表面の特定の態様を説明するための直交
座標系を示す図。
座標系を示す図。
【図３】フローチャートを示す図。
１０・・・磁気浮上搬送装置 １２・・・軌道 １４・・・可動体 １６−ａ・・・１６−ｎ・・・磁極 １８−ａ・・・１８−ｎ・・・変位センサ ２０、２４・・・切替手段 ２２・・・演算制御ユニット Ａ〜Ｆ・・・可動体表面の磁極に対応する箇所（或いは
点）
点）
Claims (1)
- 【請求項１】 磁気浮上に用いる変位センサを少なくと
も軌道側に固設し、該変位センサの配置箇所に浮上用電
磁石の磁極を固設し、浮上用電磁石により可動体を軌道
に対して非接触状態で該軌道に沿って移動せしめる磁気
浮上搬送装置の制御方法において、可動体が常時３個の
変位センサ及び６個の磁極と重なる様に前記変位センサ
及び磁極は配置されており、該３個の変位センサにより
対向する可動体表面との垂直方向距離を計測して演算制
御ユニットへ出力する工程と、可動体進行方向及び該進
行方向に直交する方向についての各センサの座標と計測
された垂直方向距離とから演算により可動体表面の３次
元空間上の座標を特定する工程と、特定された可動体表
面の３次元空間上の座標に基づいて前記演算制御ユニッ
トが所定の磁極に供給する電流を制御する工程と、可動
体が常時３個の変位センサ及び６個の磁極と重なる様
に、該可動体が軌道に沿って移動するに連れて該可動体
と重なり合う変位センサ及び磁極が変更する度に、前記
演算制御ユニット及び切替手段により作動している変位
センサ１個を切り替えると共に電流が供給されている磁
極２個を切り替える工程、とを含むことを特徴とする磁
気浮上搬送装置の制御方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3217762A JP2547489B2 (ja) | 1991-08-29 | 1991-08-29 | 磁気浮上搬送装置の制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3217762A JP2547489B2 (ja) | 1991-08-29 | 1991-08-29 | 磁気浮上搬送装置の制御方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0564315A JPH0564315A (ja) | 1993-03-12 |
| JP2547489B2 true JP2547489B2 (ja) | 1996-10-23 |
Family
ID=16709338
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3217762A Expired - Lifetime JP2547489B2 (ja) | 1991-08-29 | 1991-08-29 | 磁気浮上搬送装置の制御方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2547489B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6262580B2 (ja) * | 2014-03-25 | 2018-01-17 | Ｊｆｅ建材株式会社 | 回転防止具とこの回転防止具を備えた耐震型ハンガー金具 |
| US11472638B2 (en) | 2020-02-07 | 2022-10-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Conveyance apparatus, production system, and method for manufacturing article |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0332306A (ja) * | 1989-06-26 | 1991-02-12 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 磁気浮上制御装置 |
| JPH0728482B2 (ja) * | 1989-12-15 | 1995-03-29 | 株式会社安川電機 | 磁気浮上搬送方法と装置 |
-
1991
- 1991-08-29 JP JP3217762A patent/JP2547489B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0564315A (ja) | 1993-03-12 |
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