JP2547028B2 - 基準ディスク - Google Patents
基準ディスクInfo
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- JP2547028B2 JP2547028B2 JP62170272A JP17027287A JP2547028B2 JP 2547028 B2 JP2547028 B2 JP 2547028B2 JP 62170272 A JP62170272 A JP 62170272A JP 17027287 A JP17027287 A JP 17027287A JP 2547028 B2 JP2547028 B2 JP 2547028B2
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- disc
- center
- disk
- axial displacement
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/93—Detection standards; Calibrating baseline adjustment, drift correction
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/002—Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier
- G11B7/0037—Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier with discs
- G11B7/00375—Recording, reproducing or erasing systems characterised by the shape or form of the carrier with discs arrangements for detection of physical defects, e.g. of recording layer
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/9506—Optical discs
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、光ディスクの機構的精度を検出する装置
の較正に使用する基準ディスクに関する。
の較正に使用する基準ディスクに関する。
光ディスクの面振れ、偏心等の機械的精度は光記録再
生装置のフォーカス、およびトラックアクチュエータ等
の制御機能に与える影響が大きい。このため光ディスク
の互換性を保証するためには、光ディスクの製造、検査
の段階において面振れ、偏心等の機械的精度が一定の規
格値内に入っていることを確認する必要がある。
生装置のフォーカス、およびトラックアクチュエータ等
の制御機能に与える影響が大きい。このため光ディスク
の互換性を保証するためには、光ディスクの製造、検査
の段階において面振れ、偏心等の機械的精度が一定の規
格値内に入っていることを確認する必要がある。
いま、このような光ディスクの機械的精度を検出する
機械的精度検出装置の一例を第６図を用いて説明する
と、第６図中符号11はレーザー光源、12a〜12dはミラ
ー、13はハーフミラー、14a、14bは固定レンズ、15a、1
5bはビームスプリッタ、16はλ/4板、17は対物レンズ、
18は対物レンズ17のアクチュエータ、19は面振れ測定用
ミラーでこれに対物レンズ17が一体的に取付けられてい
る。
機械的精度検出装置の一例を第６図を用いて説明する
と、第６図中符号11はレーザー光源、12a〜12dはミラ
ー、13はハーフミラー、14a、14bは固定レンズ、15a、1
5bはビームスプリッタ、16はλ/4板、17は対物レンズ、
18は対物レンズ17のアクチュエータ、19は面振れ測定用
ミラーでこれに対物レンズ17が一体的に取付けられてい
る。
21はフォトディテクタ、22はフォーカス制御回路でそ
の出力端子がアクチュエータ18に接続されている。
の出力端子がアクチュエータ18に接続されている。
また23は光位置センサで、この光位置センサ23を含む
回路によりアキシャル方向変位検出回路が構成されてい
る。
回路によりアキシャル方向変位検出回路が構成されてい
る。
24は被試験光ディスクである。
そしてレーザ光源11から出力されるレーザ光がハーフ
ミラー13で分割され、その一部がミラー12b、固定レン
ズ14a、ビームスプリッタ15a、λ/4板16、ミラー12c、
および対物レンズ17を経て被試験光ディスク24に入射す
る。
ミラー13で分割され、その一部がミラー12b、固定レン
ズ14a、ビームスプリッタ15a、λ/4板16、ミラー12c、
および対物レンズ17を経て被試験光ディスク24に入射す
る。
入射光は被試験光ディスク24における図示省略の情報
記録面で反射され、反射光は再びλ/4板16を通過してそ
の偏波面が往復でλ/2だけ回転し、ビームスプリッタ15
aで反射され、フォトディテクタ21に入射する。フォト
ディテクタ21からはフォーカス誤差に対応した電圧が出
力され、この出力電圧によりフォーカス制御回路22がア
クチュエータ18を駆動して、対物レンズ17がディスク面
振れに追従される。
記録面で反射され、反射光は再びλ/4板16を通過してそ
の偏波面が往復でλ/2だけ回転し、ビームスプリッタ15
aで反射され、フォトディテクタ21に入射する。フォト
ディテクタ21からはフォーカス誤差に対応した電圧が出
力され、この出力電圧によりフォーカス制御回路22がア
クチュエータ18を駆動して、対物レンズ17がディスク面
振れに追従される。
またハーフミラー13で分割された他の一部の光は、ビ
ームスプリッタ15b、ミラー12d、固定レンズ14bを経て
面振れ測定用ミラー19に入射する。
ームスプリッタ15b、ミラー12d、固定レンズ14bを経て
面振れ測定用ミラー19に入射する。
面振れ測定用ミラー19は、前記のようにディスク面振
れに追従しているので、ビームスプリッタ15bを経て光
位置センサ23に入射したその反射光により、ディスク面
振れが当該光位置センサ23上でのビームスポット位置の
変動として検出され、この変動がこの光位置センサ23を
含むアキシャル方向変位検出器により直流値の電気的出
力に変換されてディスク面振れが検出される。
れに追従しているので、ビームスプリッタ15bを経て光
位置センサ23に入射したその反射光により、ディスク面
振れが当該光位置センサ23上でのビームスポット位置の
変動として検出され、この変動がこの光位置センサ23を
含むアキシャル方向変位検出器により直流値の電気的出
力に変換されてディスク面振れが検出される。
第７図は機械的精度検出装置の他の例を示すもので、
この機械的精度検出装置では、ディスク面振れに追従す
る対物レンズ17の移動量を、対物レンズ17に取付けた可
動電極板25と、固定電極板26との間の静電容量の変化と
して容量検出器27と検出することによりディスク面振れ
が測定される。
この機械的精度検出装置では、ディスク面振れに追従す
る対物レンズ17の移動量を、対物レンズ17に取付けた可
動電極板25と、固定電極板26との間の静電容量の変化と
して容量検出器27と検出することによりディスク面振れ
が測定される。
ディスクの偏心は、トラックに追従する対物レンズ17
のラジアル方向の変位を第６図い示したような光学式変
位検出器、または第７図に示したような静電容量式変位
検出器を適用して検出することにより測定される（特願
昭60−65784号）。
のラジアル方向の変位を第６図い示したような光学式変
位検出器、または第７図に示したような静電容量式変位
検出器を適用して検出することにより測定される（特願
昭60−65784号）。
光ディスク24の機械的精度の検出は、上述のようにし
て行われるが、これに使用する機械的精度検出装置は、
検出精度の確認等のため、通常定期的な較正が必要であ
る。そしてこの較正は従来次のようにして行われてい
た。
て行われるが、これに使用する機械的精度検出装置は、
検出精度の確認等のため、通常定期的な較正が必要であ
る。そしてこの較正は従来次のようにして行われてい
た。
即ち、機械的精度検出装置に微動治具を備えさせ、ま
ず、アキシャル方向変位検出器の較正については、フォ
ーカス制御された状態で微動治具を操作して疑似的な被
試験光ディスクをアキシャル方向に微小量変位させる。
このとき対物レンズ17も、これに追従して等量だけアキ
シャル方向に変位し、アキシャル方向変位検出器から
は、アキシャル方向変位量に対応した直流出力が得られ
る。これによりアキシャル方向変位検出器の較正を行
う。
ず、アキシャル方向変位検出器の較正については、フォ
ーカス制御された状態で微動治具を操作して疑似的な被
試験光ディスクをアキシャル方向に微小量変位させる。
このとき対物レンズ17も、これに追従して等量だけアキ
シャル方向に変位し、アキシャル方向変位検出器から
は、アキシャル方向変位量に対応した直流出力が得られ
る。これによりアキシャル方向変位検出器の較正を行
う。
ラジアル方向変位検出器の較正については、対物レン
ズ17から出射される反射光をコリメートし、これを光位
置センサ上に入射させるような図示省略の光学系を構成
し、微動治具の操作により対物レンズ17をラジアル方向
に強制的に微小量変位させたときの対物レンズ17の変位
量を光位置センサで把握する。そしてこのラジアル方向
変位量と、ラジアル方向変位検出器の出力との対応をと
ることにより、その較正を行なう。
ズ17から出射される反射光をコリメートし、これを光位
置センサ上に入射させるような図示省略の光学系を構成
し、微動治具の操作により対物レンズ17をラジアル方向
に強制的に微小量変位させたときの対物レンズ17の変位
量を光位置センサで把握する。そしてこのラジアル方向
変位量と、ラジアル方向変位検出器の出力との対応をと
ることにより、その較正を行なう。
しかし乍る、上記のような較正法をとる場合は、機械
的精度検出器に精密な微動治具を装備させることが必要
で、この設置位置等を考慮し検出装置の構造設計を要す
るとともに検出装置が複雑化するという問題点があっ
た。
的精度検出器に精密な微動治具を装備させることが必要
で、この設置位置等を考慮し検出装置の構造設計を要す
るとともに検出装置が複雑化するという問題点があっ
た。
また高精度のディスク検査を行なう場合には前記のよ
うに定期的に較正を行なうことが望まれるが、従来の較
正法では、面振れ測定用ミラー９と変位量検出部品等と
の部品同士間の精密な相対位置を得る必要があるなど、
較正作業が複雑になると共に、誤差要因が増して高い精
度が確立しにくく、さらに較正の自動化が不可能で作業
効率が悪いという問題点があった。
うに定期的に較正を行なうことが望まれるが、従来の較
正法では、面振れ測定用ミラー９と変位量検出部品等と
の部品同士間の精密な相対位置を得る必要があるなど、
較正作業が複雑になると共に、誤差要因が増して高い精
度が確立しにくく、さらに較正の自動化が不可能で作業
効率が悪いという問題点があった。
このほか、このように被試験光ディスウの精度を検出
する装置の較正に用いる基準ディスク本体が、アルミニ
ウム板から成り、このアルミニウム板の表面に光反射率
の調整と保護膜を兼ねてFe3O4などの反射膜を披着させ
ているが、この場合、反射膜を一定厚さで蒸着等の手段
により披着させる工程が必要であること、及び反射膜自
身が酸化されたり、傷が付くなどにより反射率が低下し
易いなどの問題点があった。
する装置の較正に用いる基準ディスク本体が、アルミニ
ウム板から成り、このアルミニウム板の表面に光反射率
の調整と保護膜を兼ねてFe3O4などの反射膜を披着させ
ているが、この場合、反射膜を一定厚さで蒸着等の手段
により披着させる工程が必要であること、及び反射膜自
身が酸化されたり、傷が付くなどにより反射率が低下し
易いなどの問題点があった。
この発明は、上記事情に基づいてなされたもので機械
的精度検出装置に高再度の微動治具を装備させることを
不要とすると共に、高精度の較正を効率よく行うことの
できる基準ディスクの提供を目的とし、かかる目的を達
成するために、この発明は光ディスクの情報記録面に対
応した中心較正面およびこの中心較正面から順次に所定
高さづつの段差を有する複数の較正面を備えたアキシャ
ル方向変位較正部、所定のピッチを有してトラック制御
を可能とすべく形成された複数個の溝を備えたラジカル
方向変位較正部、およびディスク本体の半径方向に所定
の角度で傾斜する環状の傾斜面を備えたフォーカス誤差
出力電圧較正部、の上記３種の較正部のうちの少なくと
もアキシャル方向変位校正部をサーメット材又は超硬材
から成る環状体を結合して構成し、該アキシャル方向変
位校正部を所定の反射率とし、変位量把握手段を具備さ
せて、高精度の較正を効率よく行えるようにしたもので
ある。
的精度検出装置に高再度の微動治具を装備させることを
不要とすると共に、高精度の較正を効率よく行うことの
できる基準ディスクの提供を目的とし、かかる目的を達
成するために、この発明は光ディスクの情報記録面に対
応した中心較正面およびこの中心較正面から順次に所定
高さづつの段差を有する複数の較正面を備えたアキシャ
ル方向変位較正部、所定のピッチを有してトラック制御
を可能とすべく形成された複数個の溝を備えたラジカル
方向変位較正部、およびディスク本体の半径方向に所定
の角度で傾斜する環状の傾斜面を備えたフォーカス誤差
出力電圧較正部、の上記３種の較正部のうちの少なくと
もアキシャル方向変位校正部をサーメット材又は超硬材
から成る環状体を結合して構成し、該アキシャル方向変
位校正部を所定の反射率とし、変位量把握手段を具備さ
せて、高精度の較正を効率よく行えるようにしたもので
ある。
以下この発明の実施例を第１図〜第５図（Ａ）（Ｂ）
（Ｃ）に基づいて説明する。
（Ｃ）に基づいて説明する。
まず構成を説明すると、第１図中符号１は基準ディス
クを示し、２はディスク本体で、このディスク本体２は
アルミナ、ジルコニア、炭化珪素、窒化珪素、などのセ
ラミック材で形成されている、 ３はディスク本体２の表面部に形成された基準面で、
この基準面３は光ディスクにおける透明基板のディスク
表面に相当する。４はアキシャル方向（軸方向）変位較
正部、５はラジカル方向（半径方向）変位較正部、６は
フォーカス誤差出力電圧較正部である。
クを示し、２はディスク本体で、このディスク本体２は
アルミナ、ジルコニア、炭化珪素、窒化珪素、などのセ
ラミック材で形成されている、 ３はディスク本体２の表面部に形成された基準面で、
この基準面３は光ディスクにおける透明基板のディスク
表面に相当する。４はアキシャル方向（軸方向）変位較
正部、５はラジカル方向（半径方向）変位較正部、６は
フォーカス誤差出力電圧較正部である。
アキシャル方向変位較正部４は、第２図に示すよう
に、中心較週面Zo（以下、Zo面等のようにも言う）に対
して順次に所定高さの段差ΔＺを有する段階状の複数の
較正面±Z1,±Z2が、基準ディスク１の回転中心1aに対
して同心円状に形成されている。これらの各較正面Zo,
±Z1,±Z2はフォーカス制御可能な表面精度および反射
率を有している。
に、中心較週面Zo（以下、Zo面等のようにも言う）に対
して順次に所定高さの段差ΔＺを有する段階状の複数の
較正面±Z1,±Z2が、基準ディスク１の回転中心1aに対
して同心円状に形成されている。これらの各較正面Zo,
±Z1,±Z2はフォーカス制御可能な表面精度および反射
率を有している。
基準面３からZo面までの高さの距離は光ディスクのデ
ィスク表面から情報記録面までの距離、例えば1.2±0.0
1mmに一致するように形成されている。従って、この基
準ディスク１を、前記第６図等に示した光ディスクの機
械的精度検出装置におけるディスク支持部に装着したと
き、Zo面は光ディスクの情報記録面の高さ方向に相当す
る。
ィスク表面から情報記録面までの距離、例えば1.2±0.0
1mmに一致するように形成されている。従って、この基
準ディスク１を、前記第６図等に示した光ディスクの機
械的精度検出装置におけるディスク支持部に装着したと
き、Zo面は光ディスクの情報記録面の高さ方向に相当す
る。
ところで、上記較正面＋Z2,＋Z1,Zo,−Z1,−Z2はそれ
ぞれ環状体4a,4b,4c,4d,4eの上面に形成されるととも
に、これら環状体4a〜4eは上記ディスク本体２とアルミ
ナ、炭化珪素などより成る下板2aに接着剤でもって貼着
される。この場合環状体4a〜4e及び下板2aは予め個別に
高精度の加工が施されており、特に環状体4a〜4eの上面
は面粗さ0.4S（Ra0.1）程度以上に研摩してあることに
よって良好なる光反射率をもったものにしてある。そこ
で、いま環状体4a〜4eをサーメット材であるTiC50％−T
iN20％−Mo2C10％−WC10％−Ni5％−Co5％の組成から成
るサンプル1,NbC30％−TiC20％−TiN5％−WC15％−Mo2C
15％の組成から成るサンプル２と、このサンプル２のサ
ーメット材のNbC30％の50％をTaCで置換し残部は同一で
ある組成のサーメット材から成るサンプル３の特性を第
１表に掲げた。
ぞれ環状体4a,4b,4c,4d,4eの上面に形成されるととも
に、これら環状体4a〜4eは上記ディスク本体２とアルミ
ナ、炭化珪素などより成る下板2aに接着剤でもって貼着
される。この場合環状体4a〜4e及び下板2aは予め個別に
高精度の加工が施されており、特に環状体4a〜4eの上面
は面粗さ0.4S（Ra0.1）程度以上に研摩してあることに
よって良好なる光反射率をもったものにしてある。そこ
で、いま環状体4a〜4eをサーメット材であるTiC50％−T
iN20％−Mo2C10％−WC10％−Ni5％−Co5％の組成から成
るサンプル1,NbC30％−TiC20％−TiN5％−WC15％−Mo2C
15％の組成から成るサンプル２と、このサンプル２のサ
ーメット材のNbC30％の50％をTaCで置換し残部は同一で
ある組成のサーメット材から成るサンプル３の特性を第
１表に掲げた。
このほかTiN,TiC,WCなどの単味からなるサーメット、
超硬などでもって形成した環状体4a〜4eも適度の反射率
を有し、優れた基準ディスクを構成し得た。
超硬などでもって形成した環状体4a〜4eも適度の反射率
を有し、優れた基準ディスクを構成し得た。
７はカバーガラスで、基準ディスク１を光ディスクの
光学的特性と等価にするために配設されており、その厚
さは光ディスクにおける透明基板の厚さと同一に形成さ
れている。
光学的特性と等価にするために配設されており、その厚
さは光ディスクにおける透明基板の厚さと同一に形成さ
れている。
ラジアル方向変位較正部５は、第３図に示すように、
複数本の所定ピッチのトラック溝８が、光ディスクにお
ける情報記録面に相当する高さ位置に、基準ディスク１
の回転中心1aに対して渦巻状又は同心円状に形成されて
いる。
複数本の所定ピッチのトラック溝８が、光ディスクにお
ける情報記録面に相当する高さ位置に、基準ディスク１
の回転中心1aに対して渦巻状又は同心円状に形成されて
いる。
複数本の所定ピッチのトラック溝は例えば、1.6μｍ
のピッチでトラック溝が形成されているような光ディス
クから、その複数本の溝部分を幅10mm程度の環状に切取
り、これをディスク本体２の所定位置に接着することに
よっても構成することができる。またトラック溝８は２
種以上のピッチのものを環状に設けてもよい。
のピッチでトラック溝が形成されているような光ディス
クから、その複数本の溝部分を幅10mm程度の環状に切取
り、これをディスク本体２の所定位置に接着することに
よっても構成することができる。またトラック溝８は２
種以上のピッチのものを環状に設けてもよい。
次いでフォーカス誤差出力電圧較正部６は、第４図に
示すように基準ディスク１の回転中心1aを中心とした例
えば幅3mm程度の環状の領域において、基準面３と平行
な面に対し、その環状面の内側が３〜30μｍの範囲で下
るような一定の角度の傾斜面９で形成されている。この
傾斜面９を角度θで示すと、θ＝１〜10mradである。傾
斜面９の中心環状線の位置が、光ディスクにおける情報
記録面の位置に担当して、これが較正基準位置9aとされ
る。
示すように基準ディスク１の回転中心1aを中心とした例
えば幅3mm程度の環状の領域において、基準面３と平行
な面に対し、その環状面の内側が３〜30μｍの範囲で下
るような一定の角度の傾斜面９で形成されている。この
傾斜面９を角度θで示すと、θ＝１〜10mradである。傾
斜面９の中心環状線の位置が、光ディスクにおける情報
記録面の位置に担当して、これが較正基準位置9aとされ
る。
傾斜面９は、前記のアキシャル方向変位較正部４にお
ける各較正面Zo・・・と、略同様の表面精度および反射
率を有している。
ける各較正面Zo・・・と、略同様の表面精度および反射
率を有している。
なお第４図の図示例は傾斜面９が内側に向かって傾斜
しているが、これと逆に外側に向かって傾斜するように
較正してもよい。即ち、傾斜面９はディスク本体２の半
径方向に沿って、内側、外側の何れの側に下るような傾
斜としても同一の較正機能が得られる。
しているが、これと逆に外側に向かって傾斜するように
較正してもよい。即ち、傾斜面９はディスク本体２の半
径方向に沿って、内側、外側の何れの側に下るような傾
斜としても同一の較正機能が得られる。
次に基準ディスクの使用法および作用を説明する。
基準ディスク１は、例えば第６図に示す光ディスクの
機械的精度検出装置に装着されて、その検出装置におけ
る各検出部が次のように較正される。
機械的精度検出装置に装着されて、その検出装置におけ
る各検出部が次のように較正される。
基準ディスク１は、機械的精度検出装置におけるディ
スク支持部に装着されると、その基準面３が光ディスク
におけるディスク表面と同一高さ位置になる。
スク支持部に装着されると、その基準面３が光ディスク
におけるディスク表面と同一高さ位置になる。
まずアキシャル方向変位検出器の較正を第５図（Ａ）
を用いて説明する。
を用いて説明する。
ビームスポットがアキシャル方向変位較正部４に当て
られ、Zo面が合焦位置となるようにフォーカス制御がか
けられる。このときアキシャル方向変位検出器の出力を
基準出力ａとして、ビームスポットの位置をずらせて±
Z1面、±Z2面の各較正部に合焦させたときのアキシャル
方向変位検出器の出力がとられる。
られ、Zo面が合焦位置となるようにフォーカス制御がか
けられる。このときアキシャル方向変位検出器の出力を
基準出力ａとして、ビームスポットの位置をずらせて±
Z1面、±Z2面の各較正部に合焦させたときのアキシャル
方向変位検出器の出力がとられる。
これらの出力値を基準ディスク１の１回転についてと
ったものが第５図（Ａ）に示す出力特性である。これら
の出力の直流値の差が各較正面Zo,±Z1,±Z2間の段差Δ
Ｚに対応する。
ったものが第５図（Ａ）に示す出力特性である。これら
の出力の直流値の差が各較正面Zo,±Z1,±Z2間の段差Δ
Ｚに対応する。
従って、これらの出力の直流値からアキシャル方向の
変位量が較正される。
変位量が較正される。
次いでラジカル方向変位検出器の較正を第５図（Ｂ）
を用いて説明する。
を用いて説明する。
この較正では、ビームスポットがラジカル方向変位較
正部５における或る第Ｎ番目のトラック溝８に追従する
ようにトラック制御がかけられる。このときのラジカル
方向変位検出器の出力をラジカル方向較正の基準出力ｂ
として、第Ｎトラックの外側および内側の各方向へ、一
定トラック数、例えば20トラックジャンプさせた後のラ
ジアル方向変位検出器の各出力がとられる。
正部５における或る第Ｎ番目のトラック溝８に追従する
ようにトラック制御がかけられる。このときのラジカル
方向変位検出器の出力をラジカル方向較正の基準出力ｂ
として、第Ｎトラックの外側および内側の各方向へ、一
定トラック数、例えば20トラックジャンプさせた後のラ
ジアル方向変位検出器の各出力がとられる。
これらの出力値を基準ディスク１の１回転についてと
ったものが、第５図（Ｂ）に示す出力特性である。これ
らの出力の直流値の差が、既知のトラックピッチとジャ
ンプ・トラック数との積であるラジアル方向へのレンズ
移動量に対応する。
ったものが、第５図（Ｂ）に示す出力特性である。これ
らの出力の直流値の差が、既知のトラックピッチとジャ
ンプ・トラック数との積であるラジアル方向へのレンズ
移動量に対応する。
従って、これらの出力の直流値からラジアル方向への
変位量が較正される。
変位量が較正される。
さらにフォーカス誤差出力電圧の較正を第５図（Ｃ）
を用いて説明する。
を用いて説明する。
この較正では、フォーカス誤差出力電圧較正部６にお
ける較正基準位置9aにビームが収束するように対物レン
ズが直流的に駆動される。
ける較正基準位置9aにビームが収束するように対物レン
ズが直流的に駆動される。
そしてこの状態、即ちフォーカス制御をかけないま
ま、光ヘッド（対物レンズ）を外側および内側方向へ例
えば1mm程度づつ移動させると、傾斜角度θに対応した
フォーカス誤差が生じてフォーカス誤差の出力電圧が変
化する。
ま、光ヘッド（対物レンズ）を外側および内側方向へ例
えば1mm程度づつ移動させると、傾斜角度θに対応した
フォーカス誤差が生じてフォーカス誤差の出力電圧が変
化する。
これを示したのが第５図（Ｃ）に示す出力電圧特性ｃ
で、同特性中θｏは較正基準位置9aにおける基準出力電
圧を示している。
で、同特性中θｏは較正基準位置9aにおける基準出力電
圧を示している。
較正基準位置9aを中心とした或る領域Ｘの範囲では、
出力電圧特性ｃは略直線となる。そしてこの領域Ｘの範
囲で較正基準位置9aから所定範囲だけ離れた点のフォー
カス誤差は、所定角度θからこれを知ることができるの
で、このフォーカス誤差と、上記の出力電圧特性ｃで示
す出力電圧の値と対応づけられる。
出力電圧特性ｃは略直線となる。そしてこの領域Ｘの範
囲で較正基準位置9aから所定範囲だけ離れた点のフォー
カス誤差は、所定角度θからこれを知ることができるの
で、このフォーカス誤差と、上記の出力電圧特性ｃで示
す出力電圧の値と対応づけられる。
従って、領域Ｘの範囲において、微小なフォーカス誤
差に対するフォーカス誤差出力特性を較正することがで
きる。
差に対するフォーカス誤差出力特性を較正することがで
きる。
なお上述の実施例において、アキシャル方向変位較正
部４は、階段状に構成してビームスポットは各較正部で
その都度合焦させたが、隣接する較正部の間は一定の角
度を有する斜面として、ビームスポットはフォーカス制
御をその都度外すことなく各較正面Zo,±Z1,±Z2の間を
移動させることもできる。
部４は、階段状に構成してビームスポットは各較正部で
その都度合焦させたが、隣接する較正部の間は一定の角
度を有する斜面として、ビームスポットはフォーカス制
御をその都度外すことなく各較正面Zo,±Z1,±Z2の間を
移動させることもできる。
なお、各較正面（Zo,±Z1,±Z2）における光反射率と
して反射率が大きく明るすぎると検出差、すなわち光の
ON,OFF差が出難いため正確な検出が出来ないこととな
り、反対に反射率が小さい場合には、ヘッド検出器の検
出損失が大となり、同様に正確なる検出機能をまたらさ
ないことから種々実験を重ねた結果、結局アキシャル方
向変位較正部４を成する各環状体4a・・・4eの上面にお
ける反射率としては17〜93％の範囲のものが最も優れた
検出特性をもたらすことが確認された。
して反射率が大きく明るすぎると検出差、すなわち光の
ON,OFF差が出難いため正確な検出が出来ないこととな
り、反対に反射率が小さい場合には、ヘッド検出器の検
出損失が大となり、同様に正確なる検出機能をまたらさ
ないことから種々実験を重ねた結果、結局アキシャル方
向変位較正部４を成する各環状体4a・・・4eの上面にお
ける反射率としては17〜93％の範囲のものが最も優れた
検出特性をもたらすことが確認された。
また、フォーカス誤差出力電圧較正部６における傾斜
面９の傾きは数mradと小さいので、これをアキシャル方
向変位較正部４で兼用することができる。
面９の傾きは数mradと小さいので、これをアキシャル方
向変位較正部４で兼用することができる。
従って、基準ディスク１は、各較正部4,5,6を全て備
えることなく、その何れかの較正部を適宜省略すること
もできる。
えることなく、その何れかの較正部を適宜省略すること
もできる。
さらに各較正部4,5,6は、ディスク本体２の片面側に
全てを備えさせることなく、その両面に分けて備えさせ
ることもできる。
全てを備えさせることなく、その両面に分けて備えさせ
ることもできる。
以上説明したように、この発明の構成によれば、各較
正部には所定高さの段差、所定のトラックピッチ、また
は所定角度の傾斜面等の各方向への変位量を高精度で且
つ効率的に把握できる変位量把握手段が備えられている
ので、機械的精度検出装置には高精度の微動治具を備え
させることが不要となって装置構成の簡略化を図ること
ができると共に、検出装置の較正を簡便且つ効率よく行
うことができる。また誤差要因が少なくなって高精度の
較正を行うことができ、さらには基準ディスクのみを検
出装置へ装着すればよいので較正の自動化も容易に可能
である等の諸種の利点がある。
正部には所定高さの段差、所定のトラックピッチ、また
は所定角度の傾斜面等の各方向への変位量を高精度で且
つ効率的に把握できる変位量把握手段が備えられている
ので、機械的精度検出装置には高精度の微動治具を備え
させることが不要となって装置構成の簡略化を図ること
ができると共に、検出装置の較正を簡便且つ効率よく行
うことができる。また誤差要因が少なくなって高精度の
較正を行うことができ、さらには基準ディスクのみを検
出装置へ装着すればよいので較正の自動化も容易に可能
である等の諸種の利点がある。
さらに、ディスク本体とこのディスク本体に嵌着一体
化させる環状体などをセラミック材又はサーメット材で
もって構成したことから、 寸法精度の向上、安定がはかられる。
化させる環状体などをセラミック材又はサーメット材で
もって構成したことから、 寸法精度の向上、安定がはかられる。
硬度が高く、キズが付きにくい。
錆びたり曇ったりすることなく耐候性が優れており、
安定した反射率を持続出来る。
安定した反射率を持続出来る。
熱膨張係数が小さいため、温度変化に影響されない。
反射率調整と、保護膜としてのFe3O4の蒸着をするな
ど別途の反射膜を施す必要がないことにより工程短縮と
コスト低減を実現することが出来る。
ど別途の反射膜を施す必要がないことにより工程短縮と
コスト低減を実現することが出来る。
分割型とし個々のセラミック部品の寸法精度と表面精
度の向上を図ると同時に歩留り向上が実現出来る。
度の向上を図ると同時に歩留り向上が実現出来る。
などの多くの作用効果をもった基準ディスクを提供する
ことができる。
ことができる。
第１図は本発明に係る基準ディスクの実施例を示す斜視
図、第２図は第１図の実施例におけるアキシャル方向変
位較正部の拡大断面図、第３図は第１図の実施例におけ
るラジアル方向変位較正部の拡大断面図、第４図は第１
図の実施例におけるフォーカス誤差出力電圧較正部の拡
大断面図、第５図（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）はそれぞれ第１図
の実施例による較正部を説明するための図で各変位検出
器等から得られる出力を示す出力特性図、第６図は従来
の機械的精度検出装置を示す構成図、第７図は他の従来
の機械的精度検出装置を示す構成図である。 １……基準ディスク 1a……基準ディスクの回転中心 ２……ディスク本体 2a……下板 ４……アキシャル方向変位較正部 ５……ラジアル方向変位較正部 ６……フォーカス誤差出力電圧較正部 ８……トラック溝 ９……環状の傾斜面 Zo……中心較正 Z1,Z2……較正部
図、第２図は第１図の実施例におけるアキシャル方向変
位較正部の拡大断面図、第３図は第１図の実施例におけ
るラジアル方向変位較正部の拡大断面図、第４図は第１
図の実施例におけるフォーカス誤差出力電圧較正部の拡
大断面図、第５図（Ａ）（Ｂ）（Ｃ）はそれぞれ第１図
の実施例による較正部を説明するための図で各変位検出
器等から得られる出力を示す出力特性図、第６図は従来
の機械的精度検出装置を示す構成図、第７図は他の従来
の機械的精度検出装置を示す構成図である。 １……基準ディスク 1a……基準ディスクの回転中心 ２……ディスク本体 2a……下板 ４……アキシャル方向変位較正部 ５……ラジアル方向変位較正部 ６……フォーカス誤差出力電圧較正部 ８……トラック溝 ９……環状の傾斜面 Zo……中心較正 Z1,Z2……較正部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉沢 高志 東京都武蔵野市緑町３丁目９番11号 日 本電信電話株式会社電子機構技術研究所 内 (72)発明者 木下 鼎 神奈川県横浜市緑区池辺町3327番地 新 電子工業株式会社内 (72)発明者 坂元 雅彦 京都府京都市山科区東野北井ノ上町５番 地の22 京セラ株式会社内 (72)発明者 寺田 三洋 京都府京都市山科区東野北井ノ上町５番 地の22 京セラ株式会社内 (72)発明者 鈴木 洋司 京都府京都市山科区東野北井ノ上町５番 地の22 京セラ株式会社内 (56)参考文献 特開 昭63−291229（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−222451（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−117151（ＪＰ，Ａ)
Claims (2)
- 【請求項１】光ディスクの検査において使用される基準
ディスクとして、 光ディスクの情報記録面に対応した中心較正面、およ
び該中心較正面から順次に所定高さの段差を有する複数
の較正面を備え、回転中心に対して同心円状に形成され
たアキシャル方向変位較正部、 前記回転中心に対して同心円状に形成され、所定のピ
ッチを有してトラック制御可能に形成された複数個の溝
を備えたラジアル方向変位較正部、 および所定の反射率を有すると共に、光ディスクの情
報記録面に対応した位置に前記回転中心に対して同心状
に形成され、且つディスク本体の半径方向に所定の角度
で傾斜する傾斜面を備えたフォーカス誤差出力電圧較正
部 の上記３種の較正部から成り、このうちの少なくともア
キシャル方向変位校正部がサーメット材又は超硬材から
成る複数の環状体で構成されていることを特徴とする基
準ディスク。 - 【請求項２】前記アキシャル方向変位較正部における環
状体の有する各較正面が17〜93％の反射率を有すること
を特徴とする特許請求の範囲第１項記載の基準ディス
ク。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62170272A JP2547028B2 (ja) | 1987-07-07 | 1987-07-07 | 基準ディスク |
| US07/210,243 US4988194A (en) | 1987-07-07 | 1988-06-23 | Optical storage inspection unit calibration disk |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62170272A JP2547028B2 (ja) | 1987-07-07 | 1987-07-07 | 基準ディスク |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6413408A JPS6413408A (en) | 1989-01-18 |
| JP2547028B2 true JP2547028B2 (ja) | 1996-10-23 |
Family
ID=15901864
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62170272A Expired - Lifetime JP2547028B2 (ja) | 1987-07-07 | 1987-07-07 | 基準ディスク |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4988194A (ja) |
| JP (1) | JP2547028B2 (ja) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5264911A (en) * | 1990-12-20 | 1993-11-23 | Mitsubishi Electric Corporation | Laser power measuring jig for optical disk unit |
| US5220408A (en) * | 1991-12-10 | 1993-06-15 | Guzik Technical Enterprises, Inc. | Method and apparatus for calibration of optical flying-height testers |
| US5410402A (en) * | 1994-01-24 | 1995-04-25 | Seagate Technology, Inc. | Calibration standard for flying height tester having a wedge slider and a transparent disc held together |
| US5675462A (en) * | 1994-09-02 | 1997-10-07 | Hitachi Electronics Engineering Co., Ltd. | Disk used for calibrating floating height of protrusion detection head, method of calibrating floating height of protrusion detection head using the disk and glide tester using the method |
| US5552884A (en) * | 1994-12-16 | 1996-09-03 | Seagate Technology, Inc. | Calibration standard for flying height tester having a head mounted on a multilevel surface transparent disc |
| KR100531628B1 (ko) | 1998-03-20 | 2005-11-29 | 엑손모빌 케미칼 패턴츠 인코포레이티드 | 연속적인 슬러리 중합반응의 휘발물질 제거 |
| US6138494A (en) * | 1999-07-02 | 2000-10-31 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Robot calibration tool and method |
| WO2003014660A1 (en) * | 2001-08-08 | 2003-02-20 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Displacement detecting method, displacement detecting device and calibrating method thereof, and recording device of information recording medium original disk |
| JP2003132587A (ja) * | 2001-10-24 | 2003-05-09 | Tdk Corp | 光記録媒体及び光記録媒体の評価方法 |
| EP1629493A2 (en) * | 2003-05-19 | 2006-03-01 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Disc drive apparatus, and method for timing recalibration in a disc drive apparatus |
| US7333913B2 (en) * | 2005-06-27 | 2008-02-19 | General Electric Company | Clearance measurement system and method of operation |
| JP4800749B2 (ja) * | 2005-11-09 | 2011-10-26 | オリンパス株式会社 | 校正機能を有する赤外顕微鏡及び赤外顕微鏡の校正方法 |
| US7773275B2 (en) * | 2007-03-21 | 2010-08-10 | International Business Machines Corporation | Apparatus and method to store information in a holographic data storage medium |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4571714A (en) * | 1984-07-06 | 1986-02-18 | Storage Technology Partners Ii | Read beam position calibration |
-
1987
- 1987-07-07 JP JP62170272A patent/JP2547028B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1988
- 1988-06-23 US US07/210,243 patent/US4988194A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4988194A (en) | 1991-01-29 |
| JPS6413408A (en) | 1989-01-18 |
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