JP2546366Y2 - 露出装置 - Google Patents
露出装置Info
- Publication number
- JP2546366Y2 JP2546366Y2 JP1993004263U JP426393U JP2546366Y2 JP 2546366 Y2 JP2546366 Y2 JP 2546366Y2 JP 1993004263 U JP1993004263 U JP 1993004263U JP 426393 U JP426393 U JP 426393U JP 2546366 Y2 JP2546366 Y2 JP 2546366Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slit
- photosensitive layer
- light beam
- width
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/435—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of radiation to a printing material or impression-transfer material
- B41J2/47—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of radiation to a printing material or impression-transfer material using the combination of scanning and modulation of light
- B41J2/471—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of radiation to a printing material or impression-transfer material using the combination of scanning and modulation of light using dot sequential main scanning by means of a light deflector, e.g. a rotating polygonal mirror
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N1/00—Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
- H04N1/024—Details of scanning heads ; Means for illuminating the original
- H04N1/032—Details of scanning heads ; Means for illuminating the original for picture information reproduction
- H04N1/036—Details of scanning heads ; Means for illuminating the original for picture information reproduction for optical reproduction
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Facsimile Scanning Arrangements (AREA)
- Printers Or Recording Devices Using Electromagnetic And Radiation Means (AREA)
- Dot-Matrix Printers And Others (AREA)
- Laser Beam Printer (AREA)
- Exposure Or Original Feeding In Electrophotography (AREA)
Description
【産業上の利用分野】本考案は露出装置、より詳細には
可動感光層上の線に沿って１ドットずつ、少なくとも１
本の光ビームに対して影像方式露出を行なうための露出
装置であって、少なくとも１つの光源と各光ビームを電
子情報で変調する手段とを含む露出装置に係る。
可動感光層上の線に沿って１ドットずつ、少なくとも１
本の光ビームに対して影像方式露出を行なうための露出
装置であって、少なくとも１つの光源と各光ビームを電
子情報で変調する手段とを含む露出装置に係る。
【従来の技術】このような種類の露出装置は、米国特許
第３９９５１１０号から周知であり、この特許はレーザ
が供給された電子情報で変調された光線を発するレーザ
プリンタを記載している。変調されたビームはレンズシ
ステムを介して回転式多角形鏡の上に投影されて、この
鏡がビームを感光層に偏向させる。鏡が回転し、同時に
ビームが変調されることによって、ビームが感光層上の
ラインに沿って１ドットずつ書き込んで行く。感光層を
走査方向に対し垂直に移動させることによって、完全な
影像をドット方式で構築することが可能となっている。
多角形鏡の独特な表面には常にいくらか精度の狂いがあ
り、それ故それぞれわずかに異なる回転軸角度をとるこ
とになる。その結果、偏向されたビームは感光層上の正
確に同一の想像線に当たらなくなる。このような偏差は
「ふれ」と呼ばれる。
第３９９５１１０号から周知であり、この特許はレーザ
が供給された電子情報で変調された光線を発するレーザ
プリンタを記載している。変調されたビームはレンズシ
ステムを介して回転式多角形鏡の上に投影されて、この
鏡がビームを感光層に偏向させる。鏡が回転し、同時に
ビームが変調されることによって、ビームが感光層上の
ラインに沿って１ドットずつ書き込んで行く。感光層を
走査方向に対し垂直に移動させることによって、完全な
影像をドット方式で構築することが可能となっている。
多角形鏡の独特な表面には常にいくらか精度の狂いがあ
り、それ故それぞれわずかに異なる回転軸角度をとるこ
とになる。その結果、偏向されたビームは感光層上の正
確に同一の想像線に当たらなくなる。このような偏差は
「ふれ」と呼ばれる。
【考案が解決しようとする課題】上述の米国特許第３９
９５１１０号においては、多角形鏡と感光層の間でレー
ザビームの中に半円筒形レンズを配置することによっ
て、このふれが減じられている。この既知の装置にはい
くつかの欠点がある。例えば、半円筒形レンズの使用に
よってビームのふれが減少するとは言え、やはりいくら
かは残ることになる。またレンズの位置決めに関して、
像の焦点と最小のふれとの間である最適条件を求める必
要がある。このためには非常に時間のかかる調整プロセ
スが要求されるのである。本考案の目的は、上述の欠点
およびその他の欠点を取り除いた露出装置を提供するこ
とである。
９５１１０号においては、多角形鏡と感光層の間でレー
ザビームの中に半円筒形レンズを配置することによっ
て、このふれが減じられている。この既知の装置にはい
くつかの欠点がある。例えば、半円筒形レンズの使用に
よってビームのふれが減少するとは言え、やはりいくら
かは残ることになる。またレンズの位置決めに関して、
像の焦点と最小のふれとの間である最適条件を求める必
要がある。このためには非常に時間のかかる調整プロセ
スが要求されるのである。本考案の目的は、上述の欠点
およびその他の欠点を取り除いた露出装置を提供するこ
とである。
【課題を解決するための手段】本考案によれば前記目的
は、可動感光層に１ドットずつ像を露出する露出装置で
あって、少なくとも一つの光源と、少なくとも一つの光
源から受取った各光ビームを電子情報で変調する手段
と、光ビームを可動感光層に照射する、多角形鏡、並び
に光源及び多角形鏡の間に位置するレンズシステムの二
つと、可動感光層に近接して配設されており、可動感光
層の移動方向と直交する方向に延伸するスリットを備え
たプレートとを含み、スリットの幅は、スリットの幅方
向に関して光ビームの寸法の１／２未満かつ１／３以上
であり、レンズシステムは、スリット及び多角形鏡の間
で前述の変調されたビームを合焦するように構成されて
おり、可動感光層は合焦された光ビームがスリットを介
して照射され、したがって、前記可動感光層上の同一ラ
インからそれた光ビームの偏差を減少させるように構成
されている露出装置によって達成される。
は、可動感光層に１ドットずつ像を露出する露出装置で
あって、少なくとも一つの光源と、少なくとも一つの光
源から受取った各光ビームを電子情報で変調する手段
と、光ビームを可動感光層に照射する、多角形鏡、並び
に光源及び多角形鏡の間に位置するレンズシステムの二
つと、可動感光層に近接して配設されており、可動感光
層の移動方向と直交する方向に延伸するスリットを備え
たプレートとを含み、スリットの幅は、スリットの幅方
向に関して光ビームの寸法の１／２未満かつ１／３以上
であり、レンズシステムは、スリット及び多角形鏡の間
で前述の変調されたビームを合焦するように構成されて
おり、可動感光層は合焦された光ビームがスリットを介
して照射され、したがって、前記可動感光層上の同一ラ
インからそれた光ビームの偏差を減少させるように構成
されている露出装置によって達成される。
【作用】本考案の露出装置においては、プレートが可動
感光層に近接して配設されるとともに可動感光層の移動
方向と直交する方向に延伸するスリットを備え、レンズ
システムがスリットの前面で変調された光ビームを合焦
するように構成され、かつスリットの幅が、スリットの
幅方向に関して光ビームの寸法の１／２未満かつ１／３
以上であるが故に、光ビームを感光層上で合焦するよう
に構成された一般的な露出装置における欠点、すなわち
回転する多角形鏡の反射面が厳密に均一な平面に研磨さ
れていないときに該多角形鏡の反射面での光ビームの偏
向角度にばらつきが生じ可動感光層へ照射される光ビー
ムの照射角度のばらつきによって可動感光層上での合焦
位置がずれ、光ビームがスリットを介して可動感光層へ
照射されなくなる事態を回避し得、すなわち光ビームの
可動感光層への照射角度に微小の狂いが生じたとしても
光ビームをスリットを介して可動感光層へ照射し得、光
ビームを可動感光層に確実に露出し得る。また，この
際、可動感光層と多角形鏡との間に高価なレンズシステ
ムを設ける必要がない。スリットの幅方向に関して光ビ
ームの寸法の１／２未満かつ１／３以上の細いスリット
を用いることによって、光ビームはふれが生じた場合も
含めて常に少なくとも同一のラインを描くことが、簡単
な手段を用いることで達成されるのである。ビームの焦
点合わせに関する要件もまたこの種のスリットを用いる
ことで減少される。
感光層に近接して配設されるとともに可動感光層の移動
方向と直交する方向に延伸するスリットを備え、レンズ
システムがスリットの前面で変調された光ビームを合焦
するように構成され、かつスリットの幅が、スリットの
幅方向に関して光ビームの寸法の１／２未満かつ１／３
以上であるが故に、光ビームを感光層上で合焦するよう
に構成された一般的な露出装置における欠点、すなわち
回転する多角形鏡の反射面が厳密に均一な平面に研磨さ
れていないときに該多角形鏡の反射面での光ビームの偏
向角度にばらつきが生じ可動感光層へ照射される光ビー
ムの照射角度のばらつきによって可動感光層上での合焦
位置がずれ、光ビームがスリットを介して可動感光層へ
照射されなくなる事態を回避し得、すなわち光ビームの
可動感光層への照射角度に微小の狂いが生じたとしても
光ビームをスリットを介して可動感光層へ照射し得、光
ビームを可動感光層に確実に露出し得る。また，この
際、可動感光層と多角形鏡との間に高価なレンズシステ
ムを設ける必要がない。スリットの幅方向に関して光ビ
ームの寸法の１／２未満かつ１／３以上の細いスリット
を用いることによって、光ビームはふれが生じた場合も
含めて常に少なくとも同一のラインを描くことが、簡単
な手段を用いることで達成されるのである。ビームの焦
点合わせに関する要件もまたこの種のスリットを用いる
ことで減少される。
【実施例】本考案のもつその他の特徴や利点について
も、添付図面を参照しての以下の説明から明白となろ
う。図１は本考案による露出装置を概略的に表わしてい
る。レーザ光源１０が単色平行光線を発し、この単色平
行光線が光ビームを電子情報で変調する変調器１１にお
いて線１２を介して送られるビデオ情報により変調され
る。このビームが後述する多角形鏡１５とともに光ビー
ム照射手段を構成するレンズシステム１３を介して、矢
印２３の方向に回転する多角形鏡１５の反射面１６に投
影される。反射されたビーム１７は感光層２１上に衝突
する。感光層２１は荷電された電子写真層であり、露出
によって生み出されるその電荷像はトナーを用いて周知
の方法で現像できる。光透過用スリット１９を備えたプ
レート２０が、感光層の近くにこれと平行に、かつ多角
形鏡１５と感光層２１との間に配置される。スリット１
９の幅は、例えば８０マイクロメータであるが、その他
の幅、望ましくは１５０マイクロメータ以下のスリット
も使用し得る。光ビーム１７はレンズシステム１３によ
って、ビームの焦点合わせがスリット１９の正面で行な
われるように調整される。こうして光スポット１８がス
リット１９上に形成され、少なくともスリット幅の方向
において、スリット１９の幅より大きくなっている。ス
リット１９上の光スポット１８の大きさは、ビームの焦
点を異なる場所にすることによって変えることができ
る。多角形鏡１５が矢印２３の方向に回転すると共に、
光スポット１８はスリット１９上を、図１で見て右から
左へと移動して行き、線１２を介して送られるビデオ情
報に従って、感光層２１を１本の線に沿って１ドットず
つ露出する。米国特許第３９９５１１０号に記載の方法
によれば、ビーム１７は感光層２１上に正確に焦点合わ
せされることになっている。多角形鏡１５の反射面１６
と感光層２１の中程との距離が多角形鏡１５の反射面１
６と感光層２１の側縁部との間の距離に等しくない以
上、この条件はおよそでしか満足されないものである。
従って、ビームを感光層２１の中程に焦点合わせした時
には小さな光スポットが形成されるが、ビームが側縁部
に向かって移動するに伴なって次第に大きくなって行
く。本考案による露出装置では、幅を限定するスリット
を用いた結果、露出範囲が常に一定に保たれる。図２は
スリット１９を詳細に表わしている。このスリットの幅
は、例えば８０マイクロメータであり、線３１はこのス
リットの中心を示している。光スポット３２の中心はス
リット１９の中心と正確に一致している。ふれが生じた
場合、光線の中心はもはや線３１と正確に一致せず、例
えば線３３と一致する。それに伴なう光スポット３４は
まだスリット１９の幅全体を包含している。スリット１
９のない場合露出されるであろう投影線３７は、その直
線性において、スリットを用いて露出した投影線より相
当変動が大きくなることは明白である。スリット上に投
影されたビームは、そのビームのスリット幅方向でのス
リットにおける寸法がスリットの幅より大きいことを条
件として、いかなる形状でもとることができる。望まし
くは図２のような楕円形のビームを用いるのが良い。例
えば、適当に構成した音響光学変調器を用いてレーザビ
ームを変調すれば、このような楕円形ビームが形成され
る。光ビームは一般的に、光スポットの幅ｐがスリット
１９の幅に対応し、光スポットの長さｑがスリット１９
の幅の２〜３倍に対応するように調節される。このよう
にして、８０×８０マイクロメータのドットが書き入れ
られる一方、約１００マイクロメータのふれ誤差を補償
することができる。本考案は決してここに記載した実施
態様に制限されるものではない。例えば、１つまたはそ
れ以上のレンズによって感光層上に映写される１つまた
はそれ以上の発光ダイオードアレーから成る露出装置に
も、この細いスリットを用いることができるのである。
米国特許第４１０７６８７号に記載されているこの種の
装置は、多数の発光ダイオードのアレーから成り、アレ
ー毎に１つのレンズが備えられて５つの発光ダイオード
から出される光ビームを感光層上に焦点合わせするよう
になっている。これらのアレーおよびレンズは全て、感
光層上に１本の直線がドット式に露出される。従ってこ
れを達成するために大がかりな調節手段が必要となる。
レンズと感光層との間に細いスリットを配置することに
よって、アレーおよびレンズに関する要件は大幅に減少
される。スリット上に入射する光ビームは、既に示した
通り、スリットの幅より大きいものでなければならな
い。このことは例えば、光源の形状寸法を修正する（発
光ダイオードを細長くする）ことによっても達成でき
る。スリットとレンズの間で焦点合わせが行なわれるよ
うにレンズを移動させることによっても、この条件を簡
単な方法で満足できる。光源として陰極線管を用いるこ
とによって、本考案による露出装置の別の実施態様が得
られる。その場合、影像に従って陰極線管上でライン窓
がドット式に励起される。これらのドットはレンズまた
は光ファイバを介して実質的に直接接触している感光層
の上に映写される。陰極線管の励起されたドットはかな
り大きく、このことが露出システムの解像度を制限す
る。感光層の正面に細いスリットを用いることによっ
て、この場合は解像度も増すことになる。プリント幅を
増加させるために、１つ以上の陰極線管を並べて用いた
場合、システムの配列に関して複雑な問題が生じる。全
ての陰極線管がその像形成ラインを、感光層上にある１
本の直線上に映写しなければならないからである。陰極
線管の比較的大きな光ビームと組合せてスリットを用い
ることによって、この配列の問題がそれ程重大でなくな
るのである。
も、添付図面を参照しての以下の説明から明白となろ
う。図１は本考案による露出装置を概略的に表わしてい
る。レーザ光源１０が単色平行光線を発し、この単色平
行光線が光ビームを電子情報で変調する変調器１１にお
いて線１２を介して送られるビデオ情報により変調され
る。このビームが後述する多角形鏡１５とともに光ビー
ム照射手段を構成するレンズシステム１３を介して、矢
印２３の方向に回転する多角形鏡１５の反射面１６に投
影される。反射されたビーム１７は感光層２１上に衝突
する。感光層２１は荷電された電子写真層であり、露出
によって生み出されるその電荷像はトナーを用いて周知
の方法で現像できる。光透過用スリット１９を備えたプ
レート２０が、感光層の近くにこれと平行に、かつ多角
形鏡１５と感光層２１との間に配置される。スリット１
９の幅は、例えば８０マイクロメータであるが、その他
の幅、望ましくは１５０マイクロメータ以下のスリット
も使用し得る。光ビーム１７はレンズシステム１３によ
って、ビームの焦点合わせがスリット１９の正面で行な
われるように調整される。こうして光スポット１８がス
リット１９上に形成され、少なくともスリット幅の方向
において、スリット１９の幅より大きくなっている。ス
リット１９上の光スポット１８の大きさは、ビームの焦
点を異なる場所にすることによって変えることができ
る。多角形鏡１５が矢印２３の方向に回転すると共に、
光スポット１８はスリット１９上を、図１で見て右から
左へと移動して行き、線１２を介して送られるビデオ情
報に従って、感光層２１を１本の線に沿って１ドットず
つ露出する。米国特許第３９９５１１０号に記載の方法
によれば、ビーム１７は感光層２１上に正確に焦点合わ
せされることになっている。多角形鏡１５の反射面１６
と感光層２１の中程との距離が多角形鏡１５の反射面１
６と感光層２１の側縁部との間の距離に等しくない以
上、この条件はおよそでしか満足されないものである。
従って、ビームを感光層２１の中程に焦点合わせした時
には小さな光スポットが形成されるが、ビームが側縁部
に向かって移動するに伴なって次第に大きくなって行
く。本考案による露出装置では、幅を限定するスリット
を用いた結果、露出範囲が常に一定に保たれる。図２は
スリット１９を詳細に表わしている。このスリットの幅
は、例えば８０マイクロメータであり、線３１はこのス
リットの中心を示している。光スポット３２の中心はス
リット１９の中心と正確に一致している。ふれが生じた
場合、光線の中心はもはや線３１と正確に一致せず、例
えば線３３と一致する。それに伴なう光スポット３４は
まだスリット１９の幅全体を包含している。スリット１
９のない場合露出されるであろう投影線３７は、その直
線性において、スリットを用いて露出した投影線より相
当変動が大きくなることは明白である。スリット上に投
影されたビームは、そのビームのスリット幅方向でのス
リットにおける寸法がスリットの幅より大きいことを条
件として、いかなる形状でもとることができる。望まし
くは図２のような楕円形のビームを用いるのが良い。例
えば、適当に構成した音響光学変調器を用いてレーザビ
ームを変調すれば、このような楕円形ビームが形成され
る。光ビームは一般的に、光スポットの幅ｐがスリット
１９の幅に対応し、光スポットの長さｑがスリット１９
の幅の２〜３倍に対応するように調節される。このよう
にして、８０×８０マイクロメータのドットが書き入れ
られる一方、約１００マイクロメータのふれ誤差を補償
することができる。本考案は決してここに記載した実施
態様に制限されるものではない。例えば、１つまたはそ
れ以上のレンズによって感光層上に映写される１つまた
はそれ以上の発光ダイオードアレーから成る露出装置に
も、この細いスリットを用いることができるのである。
米国特許第４１０７６８７号に記載されているこの種の
装置は、多数の発光ダイオードのアレーから成り、アレ
ー毎に１つのレンズが備えられて５つの発光ダイオード
から出される光ビームを感光層上に焦点合わせするよう
になっている。これらのアレーおよびレンズは全て、感
光層上に１本の直線がドット式に露出される。従ってこ
れを達成するために大がかりな調節手段が必要となる。
レンズと感光層との間に細いスリットを配置することに
よって、アレーおよびレンズに関する要件は大幅に減少
される。スリット上に入射する光ビームは、既に示した
通り、スリットの幅より大きいものでなければならな
い。このことは例えば、光源の形状寸法を修正する（発
光ダイオードを細長くする）ことによっても達成でき
る。スリットとレンズの間で焦点合わせが行なわれるよ
うにレンズを移動させることによっても、この条件を簡
単な方法で満足できる。光源として陰極線管を用いるこ
とによって、本考案による露出装置の別の実施態様が得
られる。その場合、影像に従って陰極線管上でライン窓
がドット式に励起される。これらのドットはレンズまた
は光ファイバを介して実質的に直接接触している感光層
の上に映写される。陰極線管の励起されたドットはかな
り大きく、このことが露出システムの解像度を制限す
る。感光層の正面に細いスリットを用いることによっ
て、この場合は解像度も増すことになる。プリント幅を
増加させるために、１つ以上の陰極線管を並べて用いた
場合、システムの配列に関して複雑な問題が生じる。全
ての陰極線管がその像形成ラインを、感光層上にある１
本の直線上に映写しなければならないからである。陰極
線管の比較的大きな光ビームと組合せてスリットを用い
ることによって、この配列の問題がそれ程重大でなくな
るのである。
【考案の効果】本考案の露出装置においては、プレート
が可動感光層に近接して配設されるとともに可動感光層
の移動方向と直交する方向に延伸するスリットを備え、
レンズシステムがスリットの前面で変調された光ビーム
を合焦するように構成され、かつスリットの幅が、スリ
ットの幅方向に関して光ビームの寸法の１／２未満かつ
１／３以上であるが故に、光ビームを感光層上で合焦す
るように構成された一般的な露出装置における欠点、す
なわち回転する多角形鏡の反射面が厳密に均一な平面に
研磨されていないときに該多角形鏡の反射面での光ビー
ムの偏向角度にばらつきが生じ可動感光層へ照射される
光ビームの照射角度のばらつきによって可動感光層上で
の合焦位置がずれ、光ビームがスリットを介して可動感
光層へ照射されなくなる事態を回避し得、すなわち光ビ
ームの可動感光層への照射角度に微小の狂いが生じたと
しても光ビームをスリットを介して可動感光層へ照射し
得、光ビームを可動感光層に確実に露出し得る。また，
この際、可動感光層と多角形鏡との間に高価なレンズシ
ステムを設ける必要がないので、上述の機能を備えた、
露出装置を安価に実現することができる。
が可動感光層に近接して配設されるとともに可動感光層
の移動方向と直交する方向に延伸するスリットを備え、
レンズシステムがスリットの前面で変調された光ビーム
を合焦するように構成され、かつスリットの幅が、スリ
ットの幅方向に関して光ビームの寸法の１／２未満かつ
１／３以上であるが故に、光ビームを感光層上で合焦す
るように構成された一般的な露出装置における欠点、す
なわち回転する多角形鏡の反射面が厳密に均一な平面に
研磨されていないときに該多角形鏡の反射面での光ビー
ムの偏向角度にばらつきが生じ可動感光層へ照射される
光ビームの照射角度のばらつきによって可動感光層上で
の合焦位置がずれ、光ビームがスリットを介して可動感
光層へ照射されなくなる事態を回避し得、すなわち光ビ
ームの可動感光層への照射角度に微小の狂いが生じたと
しても光ビームをスリットを介して可動感光層へ照射し
得、光ビームを可動感光層に確実に露出し得る。また，
この際、可動感光層と多角形鏡との間に高価なレンズシ
ステムを設ける必要がないので、上述の機能を備えた、
露出装置を安価に実現することができる。
【図１】本考案による露出装置の実施例を概略的に表わ
した図である。
した図である。
【図２】図１の露出装置の露出スリットを光ビームに関
連して詳細に示した図である。
連して詳細に示した図である。
１０ 光源 １１ 変調器 １３ レンズシステム １５ 多角形鏡 １６ 反射面 １７ 光ビーム １９ スリット ２１ 感光層 ３２，３４，３６ 光スポット
Claims (3)
- 【請求項１】 可動感光層に１ドットずつ像を露出する
露出装置であって、少なくとも一つの光源と、前記少な
くとも一つの光源から受取った各光ビームを電子情報で
変調する手段と、前記光ビームを可動感光層に照射す
る、多角形鏡、並びに前記光源及び前記多角形鏡の間に
位置するレンズシステムの二つと、前記可動感光層に近
接して配設されており、前記可動感光層の移動方向と直
交する方向に延伸するスリットを備えたプレートとを含
み、前記スリットの幅は、前記スリットの幅方向に関し
て前記光ビームの寸法の１／２未満かつ１／３以上であ
り、前記レンズシステムは、前記スリット及び前記多角
形鏡の間で前記変調されたビームを合焦するように構成
されており、前記可動感光層は合焦された光ビームが前
記スリットを介して照射され、したがって、前記可動感
光層上の同一ラインからそれた光ビームの偏差を減少さ
せるように構成されている露出装置。 - 【請求項２】 使用される光源がレーザである請求項１
に記載の露出装置。 - 【請求項３】 前記スリットの幅が１５０μｍ以下であ
る請求項１又は２に記載の露出装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL8303470 | 1983-10-10 | ||
| NL8303470A NL8303470A (nl) | 1983-10-10 | 1983-10-10 | Belichtingsinrichting. |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0573620U JPH0573620U (ja) | 1993-10-08 |
| JP2546366Y2 true JP2546366Y2 (ja) | 1997-08-27 |
Family
ID=19842531
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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