JP2545167B2 - ラップ加工装置 - Google Patents
ラップ加工装置Info
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- JP2545167B2 JP2545167B2 JP3208380A JP20838091A JP2545167B2 JP 2545167 B2 JP2545167 B2 JP 2545167B2 JP 3208380 A JP3208380 A JP 3208380A JP 20838091 A JP20838091 A JP 20838091A JP 2545167 B2 JP2545167 B2 JP 2545167B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ラップ加工装置、例え
ば、構造体の高精度ラップ加工、特に、回転構造体の回
転軸のポリゴンミラー取付面を高精度にラップ加工する
ラップ加工装置に関する。
ば、構造体の高精度ラップ加工、特に、回転構造体の回
転軸のポリゴンミラー取付面を高精度にラップ加工する
ラップ加工装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のラップ加工装置としては、例え
ば、図４（ａ）に示すようなものがある。ラップ加工装
置１は、両面ラッピングの場合には、図の左側に示すよ
うに上下ラップ円盤２の間に加工物キャリアまたは加工
物ホルダに収めた複数の加工物３を挟み、適当な一定の
相対運動を行わせる。また、片面ラッピングの場合に
は、図の右側に示すように、加工物３を下ラップ円盤２
上に加工物キャリア等に収めて保持し、加工物３上に所
定の重量のウェイト５をただ載せて加工物３をラップ円
盤２上に押付ける。そして、研磨材にラップ液を適量だ
け混合したものをラップ円盤２と加工物３間に介在さ
せ、駆動系６によりラップ円盤２と加工物３とを軸心Ａ
を中心にそれぞれ回転させて、加工物３のラップ加工面
３ａと、ラップ円盤２のラップ研磨面２ａとを互いに摺
動させ、ラップ加工面３ａを研磨材によって微小づつ削
取りラップ研磨加工するものである。
ば、図４（ａ）に示すようなものがある。ラップ加工装
置１は、両面ラッピングの場合には、図の左側に示すよ
うに上下ラップ円盤２の間に加工物キャリアまたは加工
物ホルダに収めた複数の加工物３を挟み、適当な一定の
相対運動を行わせる。また、片面ラッピングの場合に
は、図の右側に示すように、加工物３を下ラップ円盤２
上に加工物キャリア等に収めて保持し、加工物３上に所
定の重量のウェイト５をただ載せて加工物３をラップ円
盤２上に押付ける。そして、研磨材にラップ液を適量だ
け混合したものをラップ円盤２と加工物３間に介在さ
せ、駆動系６によりラップ円盤２と加工物３とを軸心Ａ
を中心にそれぞれ回転させて、加工物３のラップ加工面
３ａと、ラップ円盤２のラップ研磨面２ａとを互いに摺
動させ、ラップ加工面３ａを研磨材によって微小づつ削
取りラップ研磨加工するものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来のラップ加工装置にあっては、図４（ｂ）に示
すように、加工物３上に所定の重量の１個のウェイト５
をただ載せるだけであるため、ラップ加工時のウェイト
５の高さｈが加工物３の高さｈｏより大幅に高くなる。
このため、ウェイト５の重心Ｇ５が加工物３の最上面よ
り高くなり、ラップ研磨加工時にラップ円盤２上で加工
物３を摺動させる際、加工物３が不安定となり、加工仕
上の精度が悪くなるといる問題点がある。
うな従来のラップ加工装置にあっては、図４（ｂ）に示
すように、加工物３上に所定の重量の１個のウェイト５
をただ載せるだけであるため、ラップ加工時のウェイト
５の高さｈが加工物３の高さｈｏより大幅に高くなる。
このため、ウェイト５の重心Ｇ５が加工物３の最上面よ
り高くなり、ラップ研磨加工時にラップ円盤２上で加工
物３を摺動させる際、加工物３が不安定となり、加工仕
上の精度が悪くなるといる問題点がある。
【０００４】また、加工物である回転構造体の回転軸３
がポリゴンミラーを取付けるフランジ３Ａの取付面３ａ
を有する場合、すなわち、加工物３がフランジ３Ａで形
成される段差７を有する場合、ウェイト５と接触してい
る加工物３の最上面の接触面３ｂの直下の面３ｃがより
多くラップされてしまい、取付面３ａの平面度が悪くな
るという問題点がある。
がポリゴンミラーを取付けるフランジ３Ａの取付面３ａ
を有する場合、すなわち、加工物３がフランジ３Ａで形
成される段差７を有する場合、ウェイト５と接触してい
る加工物３の最上面の接触面３ｂの直下の面３ｃがより
多くラップされてしまい、取付面３ａの平面度が悪くな
るという問題点がある。
【０００５】そこで本発明は、ウェイトを加工物の段差
を形成する面に対応して複数のウェイトとし、それぞれ
のウェイトを面に係合してウェイトの重量で押しつける
ことにより、研削加工で得た精度を悪くすることなく、
ラップ加工面に均一なラップ圧Ｐを発生させ、高精度で
所定の表面粗さおよび平面度を有するラップ加工がで
き、また、ウェイトの高さを低く、かつ重心を下げるこ
とにより、安定したラップ圧Ｐを発生させ、安定した、
ラップ加工ができ、さらにまた、一方のウェイトで他方
のウェイトとの間隙を覆うことにより、加工物内へのラ
ップ液の浸入を防止し、内周面の傷発生を防止でき、ウ
ェイトの脱着を容易にし、加工物の洗浄が容易にできる
ラップ加工装置を提供することを目的とする。
を形成する面に対応して複数のウェイトとし、それぞれ
のウェイトを面に係合してウェイトの重量で押しつける
ことにより、研削加工で得た精度を悪くすることなく、
ラップ加工面に均一なラップ圧Ｐを発生させ、高精度で
所定の表面粗さおよび平面度を有するラップ加工がで
き、また、ウェイトの高さを低く、かつ重心を下げるこ
とにより、安定したラップ圧Ｐを発生させ、安定した、
ラップ加工ができ、さらにまた、一方のウェイトで他方
のウェイトとの間隙を覆うことにより、加工物内へのラ
ップ液の浸入を防止し、内周面の傷発生を防止でき、ウ
ェイトの脱着を容易にし、加工物の洗浄が容易にできる
ラップ加工装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】そこで本発明請求項１
は、ラップ研磨加工するラップ加工面を下面に有する加
工物のラップ加工面を、ラップ板のラップ研磨面上に対
面させて配置し、前記加工物上にウェイトを載せてラッ
プ加工面をラップ研磨面に押しつけ、加工物とラップ板
とを互いに摺動させてラップ加工するラップ加工装置に
おいて、前記加工物は最上面と、該最上面と段差を形成
した１つ以上の中間面とを有し、前記ウェイトは前記最
上面および少なくとも１つの前記中間面に対応した複数
のウェイトからなり、それぞれ対応した最上面および中
間面に係合し、それぞれのウェイトの重量で押しつけ、
前記ラップ加工面に均一なラップ圧を発生させることを
特徴とし、本発明の請求項２は請求項１記載のラップ加
工装置において、前記複数のウェイトは各重心の高さは
前記加工物の最上面以下にあることを特徴とし、本発明
の請求項３は請求項１または２記載のラップ加工装置に
おいて、前記複数のウェイトの一方のウェイトは他方の
ウェイトとの間の間隙を覆うよう形成された蓋部を有
し、ラップ液の加工物内への侵入を防止することを特徴
としている。
は、ラップ研磨加工するラップ加工面を下面に有する加
工物のラップ加工面を、ラップ板のラップ研磨面上に対
面させて配置し、前記加工物上にウェイトを載せてラッ
プ加工面をラップ研磨面に押しつけ、加工物とラップ板
とを互いに摺動させてラップ加工するラップ加工装置に
おいて、前記加工物は最上面と、該最上面と段差を形成
した１つ以上の中間面とを有し、前記ウェイトは前記最
上面および少なくとも１つの前記中間面に対応した複数
のウェイトからなり、それぞれ対応した最上面および中
間面に係合し、それぞれのウェイトの重量で押しつけ、
前記ラップ加工面に均一なラップ圧を発生させることを
特徴とし、本発明の請求項２は請求項１記載のラップ加
工装置において、前記複数のウェイトは各重心の高さは
前記加工物の最上面以下にあることを特徴とし、本発明
の請求項３は請求項１または２記載のラップ加工装置に
おいて、前記複数のウェイトの一方のウェイトは他方の
ウェイトとの間の間隙を覆うよう形成された蓋部を有
し、ラップ液の加工物内への侵入を防止することを特徴
としている。
【０００７】
【作用】本発明の請求項１では、加工物に載せるウェイ
トが、加工物の最上面および少なくとも１つの中間面に
対応した複数のウェイトからなり、それぞれ対応した最
上面および中間面に係合し、それぞれのウェイトの重量
で押しつけているので、各ウェイトがそれぞれの面に直
接にウェイトに対応した重量が作用し、その重量がそれ
ぞれの面の直下のラップ加工面をラップ研磨面に押しつ
け、ラップ加工面にはほぼ均一なラップ圧が発生する。
トが、加工物の最上面および少なくとも１つの中間面に
対応した複数のウェイトからなり、それぞれ対応した最
上面および中間面に係合し、それぞれのウェイトの重量
で押しつけているので、各ウェイトがそれぞれの面に直
接にウェイトに対応した重量が作用し、その重量がそれ
ぞれの面の直下のラップ加工面をラップ研磨面に押しつ
け、ラップ加工面にはほぼ均一なラップ圧が発生する。
【０００８】本発明の請求項２では、各ウェイトの重心
の高さが加工物の最上面以下であるので、ラップ加工時
に加工物は摺動してもより安定した状態を維持する。本
発明の請求項３では、複数のウェイトの一方のウェイト
が他方のウェイトとの間隙を覆う蓋部を有しているの
で、ラップ加工時にラップ液等が間隙から加工物内に浸
入するが防止される。
の高さが加工物の最上面以下であるので、ラップ加工時
に加工物は摺動してもより安定した状態を維持する。本
発明の請求項３では、複数のウェイトの一方のウェイト
が他方のウェイトとの間隙を覆う蓋部を有しているの
で、ラップ加工時にラップ液等が間隙から加工物内に浸
入するが防止される。
【０００９】
【実施例】以下、本発明を図面に基づいて説明する。図
１〜３は本発明の請求項１〜３に係るラップ加工装置の
実施例を示す図であり、11はラップ加工装置であり、ラ
ップ加工装置11は軸心Ａを中心に回転する環状のラップ
板13と、ラップ板13の周上にラップ研摩加工する複数
（例えば、８個）の加工物であるポリゴンスキャナの中
空の回転軸15を複数保持する保持部16ａを有する加工物
ホルダ16とを有している。
１〜３は本発明の請求項１〜３に係るラップ加工装置の
実施例を示す図であり、11はラップ加工装置であり、ラ
ップ加工装置11は軸心Ａを中心に回転する環状のラップ
板13と、ラップ板13の周上にラップ研摩加工する複数
（例えば、８個）の加工物であるポリゴンスキャナの中
空の回転軸15を複数保持する保持部16ａを有する加工物
ホルダ16とを有している。
【００１０】回転軸15は回転軸15の下面のラップ加工面
15ａをラップ板13のラップ研磨面13ａ上に対面させて配
置し、回転軸15の最上面15ｂと、最上面15ｂと段差17を
形成した小面積の第１中間面15ｃおよび第１中間面15ｃ
より大面積の環状第２中間面15ｄと、を有している。回
転軸15は第２中間面15ｄにより回転軸15の円管状の中空
軸部15Ａの一端に一体的に形成されたフランジ部15Ｂを
有している。
15ａをラップ板13のラップ研磨面13ａ上に対面させて配
置し、回転軸15の最上面15ｂと、最上面15ｂと段差17を
形成した小面積の第１中間面15ｃおよび第１中間面15ｃ
より大面積の環状第２中間面15ｄと、を有している。回
転軸15は第２中間面15ｄにより回転軸15の円管状の中空
軸部15Ａの一端に一体的に形成されたフランジ部15Ｂを
有している。
【００１１】ポリゴンスキャナの回転軸15は、使用時に
は、図２（ａ）に示すように、上下を反転し、回転軸15
のフランジ部15Ｂのラップ加工面15ａ、すなわち取付け
面にポリゴンミラー18の載置面18ａを取付け固定し、高
速回転するものである。ポリゴンミラー18の載置面18ａ
に面接触する回転軸15のラップ加工面15ａはポリゴンミ
ラー18の優れた性能を維持するため、ポリゴンミラー18
の載置面18ａの表面精度に合せて、高精度の表面粗さと
平面度が要求される。
は、図２（ａ）に示すように、上下を反転し、回転軸15
のフランジ部15Ｂのラップ加工面15ａ、すなわち取付け
面にポリゴンミラー18の載置面18ａを取付け固定し、高
速回転するものである。ポリゴンミラー18の載置面18ａ
に面接触する回転軸15のラップ加工面15ａはポリゴンミ
ラー18の優れた性能を維持するため、ポリゴンミラー18
の載置面18ａの表面精度に合せて、高精度の表面粗さと
平面度が要求される。
【００１２】回転軸15のラップ加工面15ａは通常は回転
軸15の高精度に加工された内筒面15ｅを加工基準として
研削加工された表面粗さ6.3 Ｓ以下であり、内周面15ｅ
を基準に回転したときの外周線15ｆの振れば数μｍ以下
となっている。この研削加工された回転軸15は、ラッピ
ング加工時の回転軸15のバランスを良くし、かつ、研削
加工で達成した内筒面15ｅに対する外周線15ｆの振れ精
度を維持する為に、図２（ｂ）に示すように、ラップ加
工面15ａを内筒面15ｅに直載する面Ｓに対して０度から
２分の範囲で傾斜角θを有するすり鉢状面15ａに加工さ
れている。
軸15の高精度に加工された内筒面15ｅを加工基準として
研削加工された表面粗さ6.3 Ｓ以下であり、内周面15ｅ
を基準に回転したときの外周線15ｆの振れば数μｍ以下
となっている。この研削加工された回転軸15は、ラッピ
ング加工時の回転軸15のバランスを良くし、かつ、研削
加工で達成した内筒面15ｅに対する外周線15ｆの振れ精
度を維持する為に、図２（ｂ）に示すように、ラップ加
工面15ａを内筒面15ｅに直載する面Ｓに対して０度から
２分の範囲で傾斜角θを有するすり鉢状面15ａに加工さ
れている。
【００１３】このすり鉢状面15ａによって、回転軸15は
ラッピング加工中、常に外周線15ｆがラップ板13のラッ
プ研磨面13ａに接し、バランス良く安定しながらラッピ
ング加工される。前述した様に、このラッピング前の回
転軸15の研削加工品質は、表面粗さ6.3Ｓ以下、傾斜角
度θは１°〜２″、外周線15ｆの振れ数μｍ以下であれ
ば、十分によい回転軸15を得ることができる。さらに、
特に、高精度を要求される時には、回転軸15はさらに、
表面粗さ2.5 Ｓ以下、傾斜角度θは０°〜30″（30
秒）、外周線15ｆの振れ1.5 μｍ以下にするのが好まし
い。
ラッピング加工中、常に外周線15ｆがラップ板13のラッ
プ研磨面13ａに接し、バランス良く安定しながらラッピ
ング加工される。前述した様に、このラッピング前の回
転軸15の研削加工品質は、表面粗さ6.3Ｓ以下、傾斜角
度θは１°〜２″、外周線15ｆの振れ数μｍ以下であれ
ば、十分によい回転軸15を得ることができる。さらに、
特に、高精度を要求される時には、回転軸15はさらに、
表面粗さ2.5 Ｓ以下、傾斜角度θは０°〜30″（30
秒）、外周線15ｆの振れ1.5 μｍ以下にするのが好まし
い。
【００１４】この様に研削加工された回転軸15をラッピ
ング加工する際、回転軸15のラップ加工面15ａはラップ
板13とのラップ研磨面13ａ上に対面させて配置され、こ
の回転軸15上に回転軸15の形状に対応したＴ字状のＴウ
ェイト21および円管状の管ウェイト22からなる２個１組
のウェイト20が載置され、ラップ加工面15ａをラップ研
磨面13ａに押しつけ、ラップ加工面15ａに好適なラップ
圧Ｐを発生させる。そして、回転軸15とラップ板13とは
互いに摺動するように軸心Ａを中心に回転させ、回転軸
15のラップ加工面15ａを研磨材で削り取りラップ加工面
15ａをラップ加工するようになされている。
ング加工する際、回転軸15のラップ加工面15ａはラップ
板13とのラップ研磨面13ａ上に対面させて配置され、こ
の回転軸15上に回転軸15の形状に対応したＴ字状のＴウ
ェイト21および円管状の管ウェイト22からなる２個１組
のウェイト20が載置され、ラップ加工面15ａをラップ研
磨面13ａに押しつけ、ラップ加工面15ａに好適なラップ
圧Ｐを発生させる。そして、回転軸15とラップ板13とは
互いに摺動するように軸心Ａを中心に回転させ、回転軸
15のラップ加工面15ａを研磨材で削り取りラップ加工面
15ａをラップ加工するようになされている。
【００１５】ラップ圧Ｐは10ｇ／cm2〜200 ｇ／cm2の範
囲にするのが好ましく、さらに高精度が要求される場合
には、30ｇ／cm2〜50ｇ／cm2の範囲にするのが好まし
い。管ウェイト22は回転軸15の中空軸部15Ａに遊嵌する
ように中空軸部15Ａの外径より大きい内径を有し、管ウ
ェイト22の底面22ａで回転軸15の第２中間面15ｄに接し
たとき、管ウェイト22の頂面22ｂが回転軸15の最上面15
ｂより下側になる長さを有している。管ウェイト22は、
底面22ａが第２中間面15ｄに接して係合時に、管ウェイ
ト22は第２中間面15ｄに接してフランジ部15Ｂの外周部
をこの重量で下方に押圧し、管ウェイト22の重心は回転
軸15の上面15ｂに対して十分下側にあるように材質およ
び形状が選ばれ形成されている。Ｔウェイト21は、回転
軸15の最上面15ｂに接するとともに管ウェイト22の頂面
22ｂを非接触で覆い、管ウェイト22の外周に接して下方
に突出した下行部21ａを有し、管ウェイト22との間隙を
覆うよう形成された薄い厚さ数ｍｍの円板状の蓋部21Ａ
と、蓋部21Ａの中央部に回転軸15の中空軸部15Ａ内に下
方に突出するように一体的に形成され、回転軸15の内周
面15ｅに遊嵌する棒状の軸部21Ｂとを有している。Ｔウ
ェイト21は蓋部21Ａが回転軸15の最上面15ｂに接して係
合した時に、Ｔウェイト21は最上面15ｂに接して中空軸
部15Ａを下方に押圧するとともに、Ｔウェイト21の重心
は回転軸15の最上面15ｂに対して十分下側にあるように
形成されている。ウェイト20の全重量は前述の好適なラ
ップ圧Ｐを充すとともに、Ｔウェイト21および管ウェイ
ト22の重量の配分および材質、比重、各部寸法は回転軸
15のラップ加工面15ａのラップ圧Ｐが均一になるように
好適に配慮されている。
囲にするのが好ましく、さらに高精度が要求される場合
には、30ｇ／cm2〜50ｇ／cm2の範囲にするのが好まし
い。管ウェイト22は回転軸15の中空軸部15Ａに遊嵌する
ように中空軸部15Ａの外径より大きい内径を有し、管ウ
ェイト22の底面22ａで回転軸15の第２中間面15ｄに接し
たとき、管ウェイト22の頂面22ｂが回転軸15の最上面15
ｂより下側になる長さを有している。管ウェイト22は、
底面22ａが第２中間面15ｄに接して係合時に、管ウェイ
ト22は第２中間面15ｄに接してフランジ部15Ｂの外周部
をこの重量で下方に押圧し、管ウェイト22の重心は回転
軸15の上面15ｂに対して十分下側にあるように材質およ
び形状が選ばれ形成されている。Ｔウェイト21は、回転
軸15の最上面15ｂに接するとともに管ウェイト22の頂面
22ｂを非接触で覆い、管ウェイト22の外周に接して下方
に突出した下行部21ａを有し、管ウェイト22との間隙を
覆うよう形成された薄い厚さ数ｍｍの円板状の蓋部21Ａ
と、蓋部21Ａの中央部に回転軸15の中空軸部15Ａ内に下
方に突出するように一体的に形成され、回転軸15の内周
面15ｅに遊嵌する棒状の軸部21Ｂとを有している。Ｔウ
ェイト21は蓋部21Ａが回転軸15の最上面15ｂに接して係
合した時に、Ｔウェイト21は最上面15ｂに接して中空軸
部15Ａを下方に押圧するとともに、Ｔウェイト21の重心
は回転軸15の最上面15ｂに対して十分下側にあるように
形成されている。ウェイト20の全重量は前述の好適なラ
ップ圧Ｐを充すとともに、Ｔウェイト21および管ウェイ
ト22の重量の配分および材質、比重、各部寸法は回転軸
15のラップ加工面15ａのラップ圧Ｐが均一になるように
好適に配慮されている。
【００１６】次に作用について説明する。本発明では、
ウェイト20が回転軸15の形状の最上面15ｂと第２中間面
15ｄに対応してそれぞれの好適な重量配分を有するＴウ
ェイト21と管ウェイト22との２個１組にウェイトからな
り、Ｔウェイト21の蓋部21Ａが最上面15ｂに係合してＴ
ウェイト21の重量で最上面15ｂを下方に押圧し、管ウェ
イト22がこの底面22ａで回転軸15の第２中間面15ｄに係
合して管ウェイト22の重量で第２中間面15ｄを下方に押
圧し、回転軸15の最上面15ｂおよび第２中間面15ｄに加
わる押圧力により、それぞれの直下のラップ加工面15ａ
面の内周部および外周部が押圧されているので、ラップ
加工面15ａのラップ圧Ｐのばらつきはなく、ほぼ均一な
ラップ圧Ｐが発生している。このため、ラップ加工面15
ａは、均一なラップ圧Ｐでラップ加工され、研削加工で
得た精度を悪くすることもなく、所定の均一な表面粗さ
および平面度を有する高精度のラップ加工をすることが
できる。
ウェイト20が回転軸15の形状の最上面15ｂと第２中間面
15ｄに対応してそれぞれの好適な重量配分を有するＴウ
ェイト21と管ウェイト22との２個１組にウェイトからな
り、Ｔウェイト21の蓋部21Ａが最上面15ｂに係合してＴ
ウェイト21の重量で最上面15ｂを下方に押圧し、管ウェ
イト22がこの底面22ａで回転軸15の第２中間面15ｄに係
合して管ウェイト22の重量で第２中間面15ｄを下方に押
圧し、回転軸15の最上面15ｂおよび第２中間面15ｄに加
わる押圧力により、それぞれの直下のラップ加工面15ａ
面の内周部および外周部が押圧されているので、ラップ
加工面15ａのラップ圧Ｐのばらつきはなく、ほぼ均一な
ラップ圧Ｐが発生している。このため、ラップ加工面15
ａは、均一なラップ圧Ｐでラップ加工され、研削加工で
得た精度を悪くすることもなく、所定の均一な表面粗さ
および平面度を有する高精度のラップ加工をすることが
できる。
【００１７】また、Ｔウェイト21は回転軸15の最上面15
ｂに接する薄い円板上の蓋部21Ａで管ウェイト22の頂面
22ｂを覆い回転軸15に対して高さ数ｍｍのみでかつ、Ｔ
ウェイト21および管ウェイト22の重心が回転軸15の最上
面15ｂより十分下側にあるので、回転軸15は摺動時には
安定しており、このため、ラップ圧Ｐも安定し、安定し
たラップ加工ができる。
ｂに接する薄い円板上の蓋部21Ａで管ウェイト22の頂面
22ｂを覆い回転軸15に対して高さ数ｍｍのみでかつ、Ｔ
ウェイト21および管ウェイト22の重心が回転軸15の最上
面15ｂより十分下側にあるので、回転軸15は摺動時には
安定しており、このため、ラップ圧Ｐも安定し、安定し
たラップ加工ができる。
【００１８】また、Ｔウェイト２１の蓋部２１Ａは管ウ
ェイト２２の頂面２２ｂを非接触で覆い、管ウェイト２
２の外周に接して下行する下行部２１ａを有しているの
で、Ｔウェイト２１と管ウェイト２２との間隙は覆わ
れ、ラップ液等が回転軸１５内に入り、回転軸１５の内
周面１５ｅを傷つけるのが防止され、ウェイトが取れな
く無くなる等の不具合が防止される。このため、ウェイ
ト２０の脱着が容易で回転軸１５の洗浄が容易にでき
る。なお、図１の実施例では中間面１５ｄのみにウェイ
ト２２を対応させているが、２つ以上の中間面に対しそ
れぞれウェイトを対応させることもできる。
ェイト２２の頂面２２ｂを非接触で覆い、管ウェイト２
２の外周に接して下行する下行部２１ａを有しているの
で、Ｔウェイト２１と管ウェイト２２との間隙は覆わ
れ、ラップ液等が回転軸１５内に入り、回転軸１５の内
周面１５ｅを傷つけるのが防止され、ウェイトが取れな
く無くなる等の不具合が防止される。このため、ウェイ
ト２０の脱着が容易で回転軸１５の洗浄が容易にでき
る。なお、図１の実施例では中間面１５ｄのみにウェイ
ト２２を対応させているが、２つ以上の中間面に対しそ
れぞれウェイトを対応させることもできる。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の請求項１
によれば、ウェイトを加工物の段差を形成する面に対応
して複数のウェイトとし、それぞれのウェイトを面に係
合して押しつけることにより、研削加工で得た精度を悪
くすることなく、ラップ加工面に均一なラップ圧Ｐを発
生させ、高精度で所定の表面粗さおよび平面度を有する
ラップ加工ができ、また、請求項２によれば、ウェイト
の高さを低く、かつ重心を下げることにより、安定した
ラップ圧Ｐを発生させ、安定したラップ加工ができ、さ
らにまた、請求項３によれば、一方のウェイトで他方の
ウェイトとの間隙を覆うことにより、加工物内へのラッ
プ液の浸入を防止し、内周面の傷発生が防止でき、ウェ
イトの脱着を容易にし、加工物の洗浄が容易にできる。
によれば、ウェイトを加工物の段差を形成する面に対応
して複数のウェイトとし、それぞれのウェイトを面に係
合して押しつけることにより、研削加工で得た精度を悪
くすることなく、ラップ加工面に均一なラップ圧Ｐを発
生させ、高精度で所定の表面粗さおよび平面度を有する
ラップ加工ができ、また、請求項２によれば、ウェイト
の高さを低く、かつ重心を下げることにより、安定した
ラップ圧Ｐを発生させ、安定したラップ加工ができ、さ
らにまた、請求項３によれば、一方のウェイトで他方の
ウェイトとの間隙を覆うことにより、加工物内へのラッ
プ液の浸入を防止し、内周面の傷発生が防止でき、ウェ
イトの脱着を容易にし、加工物の洗浄が容易にできる。
【図１】本発明の請求項１〜３に係るラップ加工装置の
一実施例を示す要部概略断面図である。
一実施例を示す要部概略断面図である。
【図２】図１に示すラップ加工装置によりラップ加工す
る前の加工物の状態を示す図で、（ａ）はその断面図、
（ｂ）はその要部の状態を示す断面図である。
る前の加工物の状態を示す図で、（ａ）はその断面図、
（ｂ）はその要部の状態を示す断面図である。
【図３】図１に示すラップ加工装置および加工物のその
要部の分解斜視図である。
要部の分解斜視図である。
【図４】従来のラップ加工装置を示す図で、（ａ）はそ
の一部概略断面図、（ｂ）はその要部拡大断面図であ
る。
の一部概略断面図、（ｂ）はその要部拡大断面図であ
る。
11 ラップ加工装置 13 ラップ板 13ａ ラップ研磨面 15 回転軸（加工物） 15ａ ラップ加工面 15ｂ 最上面 15ｃ 第１中間面 15ｄ 第２中間面 20 ウェイト 21 Ｔウェイト（ウェイト） 22 管ウェイト（ウェイト） Ｐ ラップ圧
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 森 三男 宮城県柴田郡柴田町大字中名生字神明堂 ３−１ 東北リコー株式会社内 (72)発明者 古積 友彦 宮城県柴田郡柴田町大字中名生字神明堂 ３−１ 東北リコー株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】ラップ研磨加工するラップ加工面を下面に
有する加工物のラップ加工面を、ラップ板のラップ研磨
面上に対面させて配置し、前記加工物上にウェイトを載
せてラップ加工面をラップ研磨面に押しつけ、加工物と
ラップ板とを互いに摺動させてラップ加工するラップ加
工装置において、前記加工物は最上面と、該最上面と段
差を形成した１つ以上の中間面とを有し、前記ウェイト
は前記最上面および少なくとも１つの前記中間面に対応
した複数のウェイトからなり、それぞれ対応した最上面
および中間面に係合し、それぞれのウェイトの重量で押
しつけ、前記ラップ加工面に均一なラップ圧を発生させ
ることを特徴とするラップ加工装置。 - 【請求項２】前記複数のウェイトの各重心の高さは前記
加工物の最上面以下にあることを特徴とする請求項１記
載のラップ加工装置。 - 【請求項３】前記複数のウェイトの一方のウェイトは他
方のウェイトとの間の間隙を覆うよう形成された蓋部を
有し、ラップ液の加工物内への浸入を防止することを特
徴とする請求項１または２記載のラップ加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3208380A JP2545167B2 (ja) | 1991-08-21 | 1991-08-21 | ラップ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3208380A JP2545167B2 (ja) | 1991-08-21 | 1991-08-21 | ラップ加工装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05104434A JPH05104434A (ja) | 1993-04-27 |
| JP2545167B2 true JP2545167B2 (ja) | 1996-10-16 |
Family
ID=16555319
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3208380A Expired - Fee Related JP2545167B2 (ja) | 1991-08-21 | 1991-08-21 | ラップ加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2545167B2 (ja) |
-
1991
- 1991-08-21 JP JP3208380A patent/JP2545167B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05104434A (ja) | 1993-04-27 |
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