JP2540041B2 - Cutting machine - Google Patents
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Landscapes
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Description
【発明の詳細な説明】 <技術分野> 本発明は、ガラス板の如き板状材料を同心状の円形内
側及び外側切断ラインに沿って切断するための切断機に
関する。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a cutting machine for cutting a plate-like material such as a glass plate along concentric circular inner and outer cutting lines.
<従来技術及びその問題点> 周知の如く、光学的又は磁気的記憶媒体として、円環
状板形状の所謂光又は磁気ディスクが広く実用に供され
ている。かかる光又は磁気ディスクの基板は、従来、ア
ルミニウムの如き適宜の金属材料から形成されていた
が、表面精度の向上等の種々の理由から、近時において
は、ガラスから光又は磁気ディスクの基板を形成するこ
とが提案され実用に供されるようになってきた。<Prior Art and its Problems> As is well known, a so-called optical or magnetic disk having an annular plate shape has been widely put into practical use as an optical or magnetic storage medium. Conventionally, the optical or magnetic disk substrate has been formed of an appropriate metal material such as aluminum. However, for various reasons such as improvement in surface accuracy, the optical or magnetic disk substrate is recently replaced with glass. Forming has been proposed and has come into practical use.
而して、ガラスから上記基板を形成するには、一般
に、方形乃至矩形等のガラス板を同心状の円形内側及び
外側切断ラインに沿って切断し、かくして上記円形内側
及び外側切断ライン間に残留する円環状板を得ることが
必要である。Thus, in order to form the substrate from glass, generally, a rectangular or rectangular glass plate is cut along concentric circular inner and outer cutting lines, thus leaving between the circular inner and outer cutting lines. It is necessary to obtain an annular plate that does.
然るに、ガラス板は高脆性であり、金属板と比べて切
断が著しく困難である等の事実から、上記円形内側及び
外側切断ラインに沿ってガラス板を自動的に切断するの
に適した切断機は未だ提案されていない。現状において
は、熟練工の手作業によってガラス板を上記円形内側及
び外側切断ラインに沿って切断し、円環状板を得てい
る。それ故に、生産効率が著しく低く、生産コストが著
しく高い。また、高精度のガラス製円環状板(即ち光又
は磁気ディスク基板)を安定して得ることができない。However, due to the fact that glass plates are highly brittle and are significantly more difficult to cut than metal plates, a cutting machine suitable for automatically cutting glass plates along the circular inner and outer cutting lines described above. Has not been proposed yet. Under the present circumstances, a glass plate is cut by a skilled worker's manual work along the circular inner and outer cutting lines to obtain an annular plate. Therefore, the production efficiency is remarkably low and the production cost is remarkably high. Further, it is not possible to stably obtain a highly accurate annular glass plate (that is, an optical or magnetic disk substrate).
<発明の課題> 従って、本発明の主たる技術的課題は、板状材料がガ
ラス板の如き高脆性で難切断性のものである場合にも、
同心状の円形内側及び外側切断ラインに沿って所要通り
に自動的に切断することができる、新規且つ優れた切断
機を提供することである。<Problem of the invention> Therefore, a main technical problem of the present invention is to provide a plate-shaped material having high brittleness and difficult-to-cut property such as a glass plate.
(EN) A novel and excellent cutting machine capable of automatically cutting as required along concentric circular inner and outer cutting lines.
<解決手段> 本発明の一局面によれば、板状材料を同心状の円形内
側及び外側切断ラインに沿って切断するための切断機に
して; 移動自在に装着された支持基台と、 該支持基台上に配設された少なくとも2個の材料保持
チャック手段と、 該支持基台を間けつ的に移動せしめて、該材料保持チ
ャック手段の各々を順次に切断作業域に位置付けるため
の支持基台間けつ移動手段と、 該材料保持チャック手段の各々が該切断作業域外にあ
る時に該材料保持チャック手段の各々に切断すべき材料
を搬入するための材料搬入手段と、 該切断作業域において、該材料保持チャック手段上に
保持された材料を切断するための切断ブレード装置であ
って、該支持基台に対して接近及び離隔する方向に移動
自在に且つ回転自在に装着された同心状の内側ブレード
及び外側ブレード、該内側ブレード及び該外側ブレード
を回転せしめるためのブレード回転手段、並びに該内側
ブレード及び該外側ブレードを該支持基台に対して接近
及び離隔する方向に移動せしめるためのブレード移動手
段、を含むところの切断ブレード装置と、 該材料保持チャック手段の各々が該切断作業域外にあ
る時に該材料保持チャック手段の各々から切断された材
料を搬出するための材料搬出手段と、 を具備することを特徴とする切断機が提供される。<Solution> According to one aspect of the present invention, a cutting machine for cutting a plate-shaped material along concentric circular inner and outer cutting lines; a movably mounted support base; At least two material holding chuck means arranged on the support base, and a support for moving the support base intermittently so that each of the material holding chuck means is sequentially positioned in the cutting work area. A base moving means, a material loading means for loading a material to be cut into each of the material holding chuck means when the material holding chuck means is outside the cutting work area, and A cutting blade device for cutting the material held on the material holding chuck means, the cutting blade device being concentrically mounted movably and rotatably in directions approaching and separating from the support base. Inside blur Blades and outer blades, blade rotating means for rotating the inner blades and outer blades, and blade moving means for moving the inner blades and outer blades toward and away from the support base. A cutting blade device including: and a material unloading means for unloading the cut material from each of the material holding chuck means when the material holding chuck means is outside the cutting work area. A cutting machine characterized by the above is provided.
かかる本発明の切断機の一実施形態においては、切断
ブレード装置における内側ブレードと外側ブレードとは
共通のブレード支持体に固着され、一体として回転され
且つ支持基台に対して接近及び隔離する方向に移動され
る。他の実施形態においては、切断ブレード装置におけ
る内側ブレードと外側ブレードとは、別個独立に回転さ
れ且つ支持基台に対して接近及び隔離する方向に移動さ
れる。In one embodiment of the cutting machine of the present invention, the inner blade and the outer blade in the cutting blade device are fixed to a common blade support, rotated as a unit, and approached and isolated from the support base. Be moved. In another embodiment, the inner and outer blades in the cutting blade apparatus are rotated independently and moved toward and away from the support base.
本発明の他の局面によれば、板状材料を同心状の円形
内側及び外側切断ラインに沿って切断するための切断機
にして; 移動自在に装着された支持基台と、 該支持基台上に配設された少なくとも3個の材料保持
チャック手段と、 該支持基台を間けつ的に移動せしめて、該材料保持チ
ャック手段の各々を、順次に、該支持基台の移動方向に
所定間隔を置いて規定された第1の切断作業域と第2の
切断作業域との一方に位置付け、次いで該第1の切断作
業域と該第2の切断作業域との他方に位置付ける支持基
台間けつ移動手段と、 該材料保持チャック手段の各々が該切断作業域外にあ
る時に該材料保持チャック手段の各々に切断すべき材料
を搬入するための材料搬入手段と、 該第1の切断作業域において、該材料保持チャック手
段上に保持された材料を切断するための第1の切断ブレ
ード装置であって、該支持基台に対して接近乃至隔離す
る方向に移動自在に且つ回転自在に装着された第1のブ
レード、該第1のブレードを回転せしめるための第1の
ブレード回転手段、及び該第1のブレードを該支持基台
に対して接近乃至隔離する方向に移動せしめるための第
1のブレード移動手段、を含む第1の切断ブレード装置
と、該第2の切断作業域において、該材料保持チャック
手段上に保持された材料を切断するための第2の切断ブ
レード装置であって、該支持基台に対して接近乃至隔離
する方向に移動自在に且つ回転自在に装着された第2の
ブレード、該第2のブレードを回転せしめるための第2
のブレード回転手段、及び該第2のブレードを該支持基
台に対して接近乃至隔離する方向に移動せしめるための
第2のブレード移動手段、を含むところの第2の切断ブ
レード装置と、 該材料保持チャック手段の各々が該切断作業域外にあ
る時に該材料保持チャック手段の各々から切断された材
料を搬送するための材料搬送手段と、 を具備し、該第1の切断ブレード装置と該第2の切断ブ
レード装置との一方が該内側切断ラインに沿って材料を
切断し、該第1の切断ブレード装置と該第2の切断ブレ
ード装置との他方が該外側切断ラインに沿って材料を切
断する、 ことを特徴とする切断機が提供される。According to another aspect of the present invention, a cutting machine is provided for cutting a plate-shaped material along concentric circular inner and outer cutting lines; a movably mounted support base, and the support base. At least three material holding chuck means arranged above and the support base are moved intermittently so that each of the material holding chuck means is sequentially moved in a predetermined direction in the moving direction of the support base. A support base positioned at one of the first cutting work area and the second cutting work area defined at intervals, and then positioned at the other of the first cutting work area and the second cutting work area. Intermittent moving means, material loading means for loading material to be cut into each of the material holding chuck means when each of the material holding chuck means is outside the cutting work area, and the first cutting work area Held on the material holding chuck means at A first cutting blade device for cutting a material, comprising a first blade movably and rotatably mounted in a direction approaching or separating from the support base, and the first blade. A first cutting blade device including first blade rotating means for rotating and first blade moving means for moving the first blade in a direction of approaching or separating from the support base. And a second cutting blade device for cutting the material held on the material holding chuck means in the second cutting work area in a direction of approaching or separating from the support base. A second blade movably and rotatably mounted, and a second blade for rotating the second blade.
Blade cutting means and second blade moving means for moving the second blade in a direction toward or away from the support base; and the material. Material conveying means for conveying the material cut from each of the material holding chuck means when each of the holding chuck means is outside the cutting work area, the first cutting blade device and the second cutting blade device. One of the cutting blade devices cuts the material along the inner cutting line, and the other of the first cutting blade device and the second cutting blade device cuts the material along the outer cutting line. A cutting machine characterized by the above is provided.
<発明の好適具体例> 以下、本発明に従って構成された切断機の具体例につ
いて詳細に説明する。<Preferred Specific Examples of the Invention> Specific examples of the cutting machine configured according to the present invention will be described in detail below.
第1図を参照して説明すると、図示の切断機は、実質
上鉛直に延びる(第1図において紙面に対して実質上垂
直に延びる)中心軸線を中心として回転自在に装着され
た円盤から成る支持基台2を含んでいる。この支持基台
2上には、90度の角度間隔を置いて4個の材料保持チャ
ック手段4が配設されている。上記支持基台2は、適宜
の伝動機構(図示していない)を介して電動モータでよ
い間けつ移動手段6に駆動連結されている。かかる間け
つ移動手段6は、支持基台2を矢印8で示す方向に90度
毎間けつ的に回転せしめる。上記支持基台2上には、90
度の角度間隔を置いて、支持基台2の矢印8で示す回転
方向に見て順次に、材料搬入域10、切断作業域12、材料
搬出域14及びチャック洗浄域16が規定されている。第1
図を参照することによって容易に理解される如く、上記
移動手段6によって支持基台2が90度毎間けつ的に回転
せしめられることにより、チャック手段4の各々は、材
料搬入域10、切断作業域12、材料搬出域14及びチャック
洗浄域16に順次に位置付けられる。Referring to FIG. 1, the illustrated cutting machine comprises a disk mounted rotatably about a central axis extending substantially vertically (extending substantially perpendicular to the plane of the drawing in FIG. 1). It includes a support base 2. Four material holding chuck means 4 are arranged on the support base 2 at an angular interval of 90 degrees. The support base 2 is drivingly connected to the intermittent movement means 6 which may be an electric motor through an appropriate transmission mechanism (not shown). The intermittent movement means 6 causes the support base 2 to intermittently rotate in the direction indicated by the arrow 8 every 90 degrees. 90 on the support base 2
A material loading area 10, a cutting work area 12, a material unloading area 14 and a chuck cleaning area 16 are defined in order at angular intervals of degrees when viewed in the direction of rotation of the support base 2 indicated by the arrow 8. First
As can be easily understood by referring to the drawings, the support base 2 is rotated by 90 degrees at intervals by the moving means 6, so that each of the chuck means 4 has a material loading area 10 and a cutting operation. The area 12, the material unloading area 14, and the chuck cleaning area 16 are sequentially positioned.
上記材料搬入域10に関連せしめて全体を番号18で示す
材料搬入手段が設けられ、上記切断作業域12に関連せて
めて全体を番号20で示す切断ブレード装置が設けられ、
上記材料搬出域14に関連せしめて全体を番号22で示す材
料搬出手段が設けられ、そして上記チャック洗浄域16に
関連せしめて全体を番号24で示す洗浄装置が設けられて
いる。A material carrying-in means generally indicated by numeral 18 is provided in relation to the material carrying-in area 10, and a cutting blade device generally indicated by numeral 20 is provided in relation to the cutting work area 12.
Material unloading means generally designated 22 is provided in association with the material unloading area 14, and a cleaning device generally designated 24 is associated with the chuck cleaning area 16.
第2図乃至第4図を参照して上記チャック手段4につ
いて説明すると、図示の具体例におけるチャック手段4
の各々は、チャック板26と保持板28とを具備している。
かかるチャック板26及び保持板28は、円形又は長方形等
の適宜の形状でよいが、切断すべき材料が方形の場合は
これに対応した略方形であるのが好都合である。第2図
及び第3図に明確に図示する如く、チャック板26の上面
には、同心状の4個の環状溝30,32,34及び36が形成され
ている。チャック板26は、外縁領域部38と共に、上記環
状溝30,32,34及び36が形成されている4個の略環状領域
部40,42,44及び46並びに周縁領域47及びその内側を周縁
領域47に平行に延びる領域48においては非通気性である
が、第3図に交差斜線を付した他の部分は通気性を有す
る。かかる通気性を実現するためには、第3図に交差斜
線を付した部分においてチャック板26に多数の上下方向
貫通孔49(第2図)を形成すればよい。或いは、チャッ
ク板26の第3図に交差斜線を付した部分のみを多孔性物
質から形成すればよい。第2図及び第4図を参照するこ
とによって理解される如く、保持板28の上面には、内側
凹部50と外側凹部52とが形成されている。内側凹部50は
略方形であり、かかる内側凹部50内には8個の弧状支持
ランド54が残留せしめられている。外側凹部52は内側凹
部50の周縁に沿って連続して延びており、内側凹部50と
外側凹部52との間には連続して延びる隔離ランド56が存
在している。外側凹部52の外側には連続して延びる外周
ランド58が存在する。第2図から明らかな如く、支持ラ
ンド54、隔離ランド56及び外周ランド58の上面は、同一
平面上にある。外周ランド58はチャック板26における周
縁領域47に対応して位置し、隔離ランド56はチャック板
26における領域48に対応して位置する。保持板28の下面
中央部には円形でよい凹部60が形成されている。更に、
保持板28には、上記内側凹部50と凹部60とを相互に連通
せしめる第1の連通路と、上記外側凹部52と凹部60とを
相互に連通せしめる第2の連通路とが設けられている。
第1の連絡路は、上記内側凹部50に開口した上端から上
記凹部60に開口した下端まで延びる孔62によって形成さ
れている。一方、第2の連通路は、上記外側凹部52に開
口した上端から下方に延びる孔64、実質上水平に延びる
孔66、及び孔66の内側端部から下方に上記凹部60に開口
した下端まで延びる孔68を含んでいる。保持板28には、
更に、その片側面(第2図及び第4図において左側面)
から内方へ延びる大径孔70が形成されている。上記孔64
の下端はこの大径孔70に接続されており、上記孔66の外
側端もこの大径孔70に接続されている。そして、上記大
径孔70には、開閉制御部材72が回転自在に装着されてい
る。この開閉制御部材72は、頭部74、小径部76、及び上
記大径孔70の内径に対応した外径を有する弁部78を有す
る。かかる開閉制御部材72は、その小径部76を受入れる
細長いスロットが形成されている止め板80を締結ねじ82
(第3図)によって保持板28の上記片側面に固定するこ
とによって、所定位置に回転自在に装着される。開閉制
御部材72の弁部78には、直径方向に延びる孔84と、この
孔84から先端まで延びる孔86とが形成されている。開閉
制御部材72が第2図に図示する角度位置にある時には、
上記孔84及び86によって、上記孔64及び孔66が相互に連
通され、従って上記外側凹部52と上記凹部60とが相互に
連通される。他方、頭部74を把持することによって開閉
制御部材72を例えば90度程度回転せしめると、上記孔84
と上記孔64とが非連通になり、従って上記外側凹部52と
上記凹部60とが非連通になる。The chuck means 4 will be described with reference to FIGS. 2 to 4. In the illustrated specific example, the chuck means 4 is described.
Each of them has a chuck plate 26 and a holding plate 28.
The chuck plate 26 and the holding plate 28 may have any suitable shape such as a circular shape or a rectangular shape, but when the material to be cut is a square shape, it is convenient to have a substantially square shape corresponding thereto. As clearly shown in FIGS. 2 and 3, four concentric annular grooves 30, 32, 34 and 36 are formed on the upper surface of the chuck plate 26. The chuck plate 26 includes the outer edge region 38, four substantially annular region portions 40, 42, 44 and 46 in which the annular grooves 30, 32, 34 and 36 are formed, the peripheral region 47 and the inner peripheral region thereof. Region 48, which extends parallel to 47, is non-breathable, but the other portions shown in FIG. 3 with cross hatching are breathable. In order to achieve such air permeability, a large number of vertical through holes 49 (FIG. 2) may be formed in the chuck plate 26 in the portion shown by cross hatching in FIG. Alternatively, only the portion of the chuck plate 26 indicated by the cross hatched lines in FIG. 3 may be formed of the porous material. As can be understood by referring to FIGS. 2 and 4, an inner recess 50 and an outer recess 52 are formed on the upper surface of the holding plate 28. The inner recess 50 has a substantially rectangular shape, and eight arc-shaped support lands 54 are left in the inner recess 50. The outer recess 52 extends continuously along the peripheral edge of the inner recess 50, and a separating land 56 that extends continuously exists between the inner recess 50 and the outer recess 52. An outer peripheral land 58 that extends continuously exists on the outer side of the outer recess 52. As is apparent from FIG. 2, the upper surfaces of the support land 54, the isolation land 56 and the outer peripheral land 58 are on the same plane. The outer peripheral land 58 is located corresponding to the peripheral region 47 of the chuck plate 26, and the isolation land 56 is the chuck plate.
Located corresponding to region 48 at 26. A circular recess 60 is formed in the center of the lower surface of the holding plate 28. Furthermore,
The holding plate 28 is provided with a first communication passage that allows the inner recess 50 and the recess 60 to communicate with each other, and a second communication passage that allows the outer recess 52 and the recess 60 to communicate with each other. .
The first communication path is formed by a hole 62 extending from an upper end opened to the inner recess 50 to a lower end opened to the recess 60. On the other hand, the second communication passage includes a hole 64 extending downward from the upper end opened in the outer recess 52, a hole 66 extending substantially horizontally, and an inner end of the hole 66 to a lower end opening downward in the recess 60. Includes an extending hole 68. The holding plate 28 has
Furthermore, one side surface (left side surface in FIGS. 2 and 4)
A large diameter hole 70 is formed to extend inwardly from. Above hole 64
The lower end of is connected to the large diameter hole 70, and the outer end of the hole 66 is also connected to the large diameter hole 70. An opening / closing control member 72 is rotatably attached to the large diameter hole 70. The opening / closing control member 72 has a head portion 74, a small diameter portion 76, and a valve portion 78 having an outer diameter corresponding to the inner diameter of the large diameter hole 70. The opening / closing control member 72 has a fastening plate 82 having a fastening plate 80 formed with an elongated slot for receiving the small diameter portion 76.
By fixing to one side surface of the holding plate 28 by (FIG. 3), it is rotatably mounted at a predetermined position. The valve portion 78 of the opening / closing control member 72 is formed with a hole 84 extending in the diameter direction and a hole 86 extending from the hole 84 to the tip. When the opening / closing control member 72 is in the angular position shown in FIG. 2,
The holes 84 and 86 connect the holes 64 and 66 to each other, and thus the outer recess 52 and the recess 60 to each other. On the other hand, when the opening / closing control member 72 is rotated about 90 degrees by gripping the head 74, the hole 84
And the hole 64 are not in communication with each other, and thus the outer recess 52 and the recess 60 are not in communication with each other.
第2図及び第4図に図示する如く、保持板28には、上
記外側凹部52において適宜の間隔を置いて貫通穴88が形
成されており、かかる貫通穴88を通して締結ボルト89を
上記支持基台2に螺着することによって、支持基台2上
の所定位置に保持板28が固定される。チャック板26は、
複数個の連結具90によって保持板28に装着される。第2
図に図示する如く、チャック板26の側面には溝92が形成
され、保持板28の側面には肩部94が形成されている。連
結具90は、その上部係止脚96を上記溝92にその下部係止
脚98を上記肩部94に係止せしめて、締結ボルト100によ
って保持板28の側面に固定される。As shown in FIGS. 2 and 4, through holes 88 are formed in the holding plate 28 at appropriate intervals in the outer recess 52, and through the through holes 88, the fastening bolts 89 are fixed to the support base. The holding plate 28 is fixed at a predetermined position on the support base 2 by being screwed onto the base 2. The chuck plate 26 is
It is attached to the holding plate 28 by a plurality of connecting members 90. Second
As shown in the drawing, a groove 92 is formed on the side surface of the chuck plate 26, and a shoulder portion 94 is formed on the side surface of the holding plate 28. The connecting tool 90 is fixed to the side surface of the holding plate 28 by fastening bolts 100 by locking its upper locking leg 96 in the groove 92 and its lower locking leg 98 in the shoulder portion 94.
上記の通りのチャック手段4において、保持板28の下
面に形成されている上記凹部60は、支持基台2に形成さ
れている連通路101を含む適宜の連通路を介して、制御
弁102及び104の制御によって、真空源106及び水供給源1
08に選択的に連通せしめられる。更に詳述すると、上記
材料搬入域10(第1図)においてチャック板26上に切断
すべき材料が載置されると、上記凹部60は真空源106に
連通せしめられる。チャック板26上に載置されるガラス
板の如き板状材料が、第2図及び第3図に2点鎖線GLで
示す如く、比較的大きい方形であり、その外縁が上記外
周領域47上に位置する場合、上記開閉制御部材72は第2
図に図示する開位置に位置付けられる。従って、上記凹
部60が孔62によって上記内側凹部50に連通されると共
に、上記凹部60が孔68,66,86,84及び64を介して上記外
側凹部52に連通される。かくして、チャック板26の全て
の通気性部分を通して空気が吸引され、材料GLがチャッ
ク板26上に吸着される。他方、チャック板26上に載置さ
れる材料が、第2図及び第3図に2点鎖線GSで示す如
く、比較的小さい方形であり、その外縁が上記領域48上
に位置する場合には、上記開閉制御部材72は第2図に図
示する開位置から90度程度回転せしめられて閉位置にせ
しめられる。従って、上記凹部60は孔62によって上記内
側凹部50に連通せしめられるが、上記凹部60と上記外側
凹部52とは非連通にせしめられる。かくして、上記隔離
ランド56よりも内側の領域においてのみ、チャック板26
の通気性部分を通して空気が吸引され、材料GSがチャッ
ク板26上に載置される。上記外側凹部52と上記凹部60と
は非連通であるので、上記隔離ランド56よりも外側の、
材料GSによって覆われていない領域において、チャック
板26の通気性部分を通して空気が吸引されることはな
く、従って材料GSの吸着が毀損されることはない。In the chuck means 4 as described above, the recess 60 formed on the lower surface of the holding plate 28 is provided with the control valve 102 and the control valve 102 via an appropriate communication passage including the communication passage 101 formed in the support base 2. Control of 104, vacuum source 106 and water source 1
It is possible to selectively communicate with 08. More specifically, when the material to be cut is placed on the chuck plate 26 in the material carrying-in area 10 (FIG. 1), the recess 60 is brought into communication with the vacuum source 106. A plate-like material such as a glass plate placed on the chuck plate 26 is a relatively large square as shown by a two-dot chain line GL in FIGS. 2 and 3, and its outer edge is on the outer peripheral region 47. When it is located, the opening / closing control member 72 is in the second position.
It is located in the open position shown in the figure. Therefore, the recess 60 is communicated with the inner recess 50 by the hole 62, and the recess 60 is communicated with the outer recess 52 through the holes 68, 66, 86, 84 and 64. Thus, air is sucked through all the breathable parts of the chuck plate 26 and the material GL is adsorbed on the chuck plate 26. On the other hand, when the material placed on the chuck plate 26 is a relatively small square as shown by the chain double-dashed line GS in FIGS. 2 and 3, and its outer edge is located on the area 48, The opening / closing control member 72 is rotated about 90 degrees from the open position shown in FIG. 2 to the closed position. Therefore, the recess 60 is communicated with the inner recess 50 by the hole 62, but the recess 60 and the outer recess 52 are not communicated with each other. Thus, only in the area inside the isolation land 56, the chuck plate 26
Air is sucked through the breathable parts of the material and the material GS is placed on the chuck plate 26. Since the outer recessed portion 52 and the recessed portion 60 are not in communication with each other, outside the isolation land 56,
In the areas not covered by the material GS, no air is sucked through the breathable part of the chuck plate 26 and thus the adsorption of the material GS is not impaired.
チャック手段4が上記材料搬出域14に位置付けられる
と、上記凹部60は真空源106から切離されて水供給源108
に連通せしめられる。かくして、チャック板26の通気性
部分を通してチャック板26の上面に水が流出せしめら
れ、これによってチャック板26上の材料GL又はGSが浮上
せしめられる。When the chuck means 4 is positioned in the material discharge area 14, the recess 60 is separated from the vacuum source 106 and the water supply source 108.
Be able to communicate with. Thus, water is caused to flow to the upper surface of the chuck plate 26 through the breathable portion of the chuck plate 26, and thus the material GL or GS on the chuck plate 26 is floated.
再び第1図を参照して説明すると、上記材料搬入域10
に関連せしめて配設されている材料搬入手段18は、鉛直
方向に間隔を置いて複数枚の板状材料GL(又はGS)を収
納することができるカセットが載置されるカセット載置
台110と、板状材料受台112と、上記カセット載置台110
上に載置されているカセットから板状材料GL(又はGS)
を1枚毎受台112上に供給する供給機構114とを含んでい
る。カセット載置台110、その上に載置されるカセッ
ト、及び供給機構114は、半導体ウェーハの裏面研削機
等において一般に使用されている周知の構成と実質上同
一のものでよく、それ故に、これらの構成及び作用につ
いての説明は省略する。材料搬入手段18は、更に、旋回
アーム116を含んでいる。この旋回アーム116は、実質上
鉛直に延びる(第1図において紙面に対して実質上垂直
に延びる)旋回軸線を中心として、実線で示す吸着位置
と2点鎖線で示す離脱位置との間を往復旋回回動自在
に、そしてまた実質上鉛直な方向に昇降動自在に装着さ
れている。旋回アーム116の自由端には、適宜の形態で
よい吸着ヘッド118が設けられている。かかる吸着ヘッ
ド118は、図示していないが切換弁を含む連通ラインを
介して通常の真空ポンプ又エゼクタでよい真空源及び空
気供給源に接続されており、上記切換弁によって真空源
又は空気供給源に選択的に連通せしめられる。旋回アー
ム116が実線で示す吸着位置に位置付けられると、吸着
ヘッド118は上記受台112上の板状材料GL(又はGS)の直
上に位置する。かかる状態において吸着ヘッド118が真
空源に連通せしめられ、かくして吸着ヘッド118が受台1
12上の板状材料GL(又はGS)を真空吸着する。次いで、
旋回アーム116が所定距離上昇され、しかる後に2点鎖
線で示す離脱位置に旋回動され、次いで所定距離下降さ
れる。かくすると、吸着ヘッド118は上記材料搬入域10
に位置付けられているチャック手段4の直上に位置す
る。かかる状態において吸着ヘッド118が真空源から切
離されると共に若干の時間だけ空気供給源に連通され、
従って板状材料GL(又はGS)が吸着ヘッド118から離脱
されてチャック手段4上に載置される。かくして、板状
材料GL(又はGS)が材料搬入域10においてチャック手段
4上に搬入される。しかる後に、旋回アーム116は、次
の板状材料GL(又はGS)の搬入のために、所定距離上昇
され、次いで実線で示す吸着位置に旋回動され、そして
所定距離下降される。Referring again to FIG. 1, the material loading area 10
The material carrying-in means 18 arranged in association with the above is a cassette mounting table 110 on which a cassette capable of accommodating a plurality of plate-shaped materials GL (or GS) is mounted at intervals in the vertical direction. , The plate-shaped material receiving table 112 and the cassette mounting table 110
Plate material GL (or GS) from the cassette placed on top
And a supply mechanism 114 for supplying each of the above to the receiving table 112. The cassette mounting table 110, the cassette mounted on the cassette mounting table 110, and the supply mechanism 114 may be substantially the same as the well-known configuration generally used in a backside grinding machine for semiconductor wafers and the like. The description of the configuration and operation will be omitted. The material loading means 18 further includes a pivot arm 116. The swivel arm 116 reciprocates between a suction position shown by a solid line and a disengagement position shown by a two-dot chain line with a swivel axis extending substantially vertically (extending substantially perpendicular to the paper surface in FIG. 1) as a center. It is mounted so that it can be swiveled and swung, and is also vertically movable in a substantially vertical direction. At the free end of the swivel arm 116, a suction head 118, which may be of any suitable form, is provided. The adsorption head 118 is connected to a vacuum source and an air supply source, which may be an ordinary vacuum pump or an ejector, through a communication line including a switching valve (not shown), and the vacuum source or the air supply source is connected by the switching valve. Can be selectively communicated with. When the swivel arm 116 is positioned at the suction position shown by the solid line, the suction head 118 is positioned directly above the plate-shaped material GL (or GS) on the pedestal 112. In such a state, the suction head 118 is made to communicate with the vacuum source, thus the suction head 118 is
The plate-shaped material GL (or GS) on 12 is vacuum-adsorbed. Then
The revolving arm 116 is raised by a predetermined distance, then pivoted to a disengaged position indicated by a chain double-dashed line, and then lowered by a predetermined distance. As a result, the suction head 118 moves to the above-mentioned material loading area 10
Is located directly above the chuck means 4 located at. In such a state, the suction head 118 is separated from the vacuum source and communicated with the air supply source for some time,
Therefore, the plate-shaped material GL (or GS) is detached from the suction head 118 and placed on the chuck means 4. Thus, the plate-shaped material GL (or GS) is loaded onto the chuck means 4 in the material loading area 10. Thereafter, the swivel arm 116 is raised by a predetermined distance for the next loading of the plate-shaped material GL (or GS), then swung to the suction position shown by the solid line, and lowered by a predetermined distance.
次に、上記切断作業域12に関連して配設されている切
断ブレード装置20について説明する。第5図を参照して
説明すると、切断ブレード装置20は、上記支持基台2の
上方に配置された静止支持枠120を含んでいる。この支
持枠120の前面には、間隔を置いて実質上鉛直に延びる
一対の案内レール122が固定されており、かかる一対の
案内レール122に可動支持体124が実質上鉛直な方向に昇
降動自在に装着されている。上記支持枠120の前面に
は、可動支持体124を昇降動せしめるブレード移動手段1
26も設けられている。このブレード移動手段126は、回
転自在に装着され且つ実質上鉛直に延びる雄ねじロッド
128と、この雄ねじロッド128を回転せしめるための電動
モータ130とを有する。上記雄ねじロッド128は上記可動
支持体124に形成されている雌ねじ穴(図示していな
い)に螺合されており、従って雄ねじロッド128の正転
及び逆転によって可動支持体124が下降及び上昇せしめ
られる。可動支持体124には、実質上鉛直に延びる軸132
が回転自在に装着され、そしてまた、この軸132を回転
せしめるための電動モータでよいブレード回転手段134
が装着されている。軸132は可動支持体124を越えて下方
に突出しており、その下端にはブレード支持体136が固
定されている。第5図と共に第6図を参照して説明する
と、上記ブレード支持体136の下面には、同心状の2個
のブレード、即ち比較的小径の円筒形状である内側ブレ
ード138及び、比較的大径の円筒形状である外側ブレー
ド140が固着されている。ブレード支持体136には、内側
ブレード138及び外側ブレード140による切断の際に水の
如き冷却液を噴出するための複数個の冷却液噴出孔142
が形成されている。ダイヤモンド砥粒を金属等で結合す
ることによって形成することができる内側ブレード138
及び外側ブレード140自体の好適構成及びその製造方法
は、昭和60年特許願第247749号の明細書及び図面(特公
平3−10458号公報参照)に詳細に説明されているの
で、これらについての説明は、上記明細書及び図面に委
ね、本明細書においては省略する。図示の具体例におけ
る内側ブレード138及び140は共に周方向に連続した円筒
形状であるが、所望ならば、内側ブレード138及び140の
各々は、周方向に間隔を置いて配設された複数個の弧状
片から構成することもできる。Next, the cutting blade device 20 arranged in relation to the cutting work area 12 will be described. Referring to FIG. 5, the cutting blade device 20 includes a stationary support frame 120 arranged above the support base 2. A pair of guide rails 122 extending substantially vertically at a distance are fixed to the front surface of the support frame 120, and the movable support 124 is vertically movable in a substantially vertical direction on the pair of guide rails 122. Is attached to. On the front surface of the support frame 120, blade moving means 1 for moving the movable support 124 up and down.
There are also 26. The blade moving means 126 is a male screw rod that is rotatably mounted and extends substantially vertically.
128 and an electric motor 130 for rotating the male screw rod 128. The male screw rod 128 is screwed into a female screw hole (not shown) formed in the movable support member 124. Therefore, the forward and reverse rotation of the male screw rod 128 causes the movable support member 124 to descend and rise. . The movable support 124 has a shaft 132 extending substantially vertically.
The blade rotating means 134 is rotatably mounted and may also be an electric motor for rotating the shaft 132.
Is installed. The shaft 132 projects downward beyond the movable support 124, and a blade support 136 is fixed to the lower end of the shaft 132. Referring to FIG. 6 together with FIG. 5, on the lower surface of the blade support 136, two concentric blades, that is, an inner blade 138 having a relatively small diameter cylindrical shape, and a relatively large diameter. The outer blade 140 having a cylindrical shape is fixed. The blade support 136 has a plurality of cooling liquid ejection holes 142 for ejecting a cooling liquid such as water at the time of cutting by the inner blade 138 and the outer blade 140.
Are formed. Inner blade 138 that can be formed by combining diamond abrasive grains with metal or the like
The preferred construction of the outer blade 140 itself and its manufacturing method are described in detail in the specification and drawings of Japanese Patent Application No. 247749 in 1985 (see Japanese Patent Publication No. 3-10458). Are left to the above specification and drawings, and are omitted in the present specification. Although the inner blades 138 and 140 in the illustrated embodiment are both circumferentially continuous cylindrical, each of the inner blades 138 and 140 may, if desired, have a plurality of circumferentially spaced intervals. It can also consist of arcuate pieces.
第5図と共に第7図を参照して説明すると、切断作業
域12においては、ブレード回転手段134が付勢されるこ
とによって、軸132が比較的高速で回転せしめられ、か
くして内側ブレード138及び外側ブレード140が比較的高
速で回転せしめられる。加えて、ブレード移動手段126
が付勢されて可動支持体124が比較的低速で下降され、
かくして内側ブレード138及び外側ブレード140が比較的
低速で下降される。かくすると、第7図に図示する如
く、比較的高速で回転せしめられている内側ブレード13
8及び外側ブレード140が、板状材料GLの上面から下方に
向けて漸次板状材料GLに作用してこれを切断する。従っ
て、板状材料GLは、内側ブレード138によって円形内側
切断ラインに沿って切断されると共に外側ブレード140
によって円形外側切断ラインに沿って切断される。かよ
うな切断の際には、冷却液噴出孔142(第6図)から水
の如き冷却液が噴出せしめられる。第7図に図示する如
く、内側ブレード138及び外側ブレード140は、板状材料
GLを完全に切断するまで下降せしめられる。板状材料GL
の下面を越えて下方に突出せしめられる内側ブレード13
8及び外側ブレード140の下端は、チャック手段4のチャ
ック板26の表面に形成されている上記環状溝32及び36内
に進入する。他方、切断すべき板状材料が比較的小さい
方形である場合には、比較的小径の内側ブレード及び外
側ブレードが使用され、この場合には内側ブレード及び
外側ブレードの下端は、チャック手段4のチャック板26
の表面に形成されている、環状溝32及び36ではなくて環
状溝30及び34内に進入する。板状材料GL(又はGS)の切
断が終了すると、内側ブレード138及び外側ブレード140
から上昇せしめられて板状材料GL(又はGS)から隔離せ
しめられる。Referring to FIG. 7 together with FIG. 5, in the cutting work area 12, the shaft 132 is rotated at a relatively high speed by the biasing of the blade rotating means 134, and thus the inner blade 138 and the outer side. The blade 140 is rotated at a relatively high speed. In addition, the blade moving means 126
Is urged to lower the movable support 124 at a relatively low speed,
Thus, the inner blade 138 and the outer blade 140 are lowered relatively slowly. Thus, as shown in FIG. 7, the inner blade 13 rotated at a relatively high speed.
8 and the outer blade 140 gradually act on the plate material GL from the upper surface of the plate material GL downward to cut the plate material GL. Therefore, the plate-shaped material GL is cut along the circular inner cutting line by the inner blade 138 and the outer blade 140.
Is cut along a circular outer cutting line. At the time of such cutting, a cooling liquid such as water is spouted from the cooling liquid spouting hole 142 (FIG. 6). As shown in FIG. 7, the inner blade 138 and the outer blade 140 are made of a plate-shaped material.
The GL can be lowered until it is completely cut. Plate material GL
Inner blade 13 protruding downward beyond the lower surface of
8 and the lower ends of the outer blades 140 enter the annular grooves 32 and 36 formed on the surface of the chuck plate 26 of the chuck means 4. On the other hand, if the plate-like material to be cut is a relatively small square, then relatively small diameter inner and outer blades are used, in which case the lower ends of the inner and outer blades are the chucks of the chuck means 4. Board 26
It enters into the annular grooves 30 and 34 instead of the annular grooves 32 and 36 formed in the surface of the. When the cutting of the plate material GL (or GS) is completed, the inner blade 138 and the outer blade 140
From the plate-shaped material GL (or GS).
所望ならば、内側ブレード138及び外側ブレード140の
最下降位置、従って板状材料GLの切断深さを、板状材料
GLの下面に若干(例えば数μm)の非切断部を残留せし
めるように設定することもできる。この場合には、後に
板状材料GLの上記非切断部に幾分かの力を加えることに
よって上記非切断部を破断せしめる。板状材料GLの裏面
に適宜の合成樹脂テープが貼着されている場合には、テ
ープは完全に切断することなく非切断状態に維持し、こ
れによって板状材料GLの一体性を維持するが、板状材料
GLは下部に非切断部を残留せしめることなく完全に切断
することもできる。If desired, the lowermost positions of the inner blade 138 and the outer blade 140, and thus the cutting depth of the plate material GL, may be
It is also possible to set such that some (for example, several μm) non-cutting portions remain on the lower surface of the GL. In this case, the non-cutting portion of the plate-shaped material GL is later broken by applying some force to the non-cutting portion. When an appropriate synthetic resin tape is attached to the back surface of the plate-shaped material GL, the tape is kept in an uncut state without being completely cut, thereby maintaining the integrity of the plate-shaped material GL. , Plate material
GL can also be completely cut without leaving a non-cut part at the bottom.
第8図は、切断ブレード装置の変形例を図示してい
る。全体を番号150で示す切断ブレード装置は、上記支
持基台2の上方に配置された静止支持枠152を含んでい
る。この支持枠152の前面には、間隔を置いて実質上鉛
直に延びる一対の案内レール154が固定されており、か
かる一対の案内レール154に可動支持体156が実質上鉛直
な方向に昇降動自在に装着されている。上記支持枠152
の前面には、可動支持体156を昇降動せしめるブレード
移動手段158が設けられている。このブレード移動手段1
58は、回転自在に装着され且つ実質上鉛直に延びる雄ね
じロッド160と、この雄ねじロッド160を回転せしめるた
めの電動モータ162とを有する。上記雄ねじロッド160は
上記可動支持体156に形成されている雌ねじ穴(図示し
ていない)に螺合されており、従って雄ねじロッド160
の正転及び逆転によって可動支持体156が下降及び上昇
せしめられる。可動支持体156内にも、間隔を置いて実
質上鉛直に延びる一対の案内レール164が固定されてい
る。そして、この一対の案内レール164には、補助支持
体166が実質上鉛直な方向に昇降動自在に装着されてい
る。可動支持体156内には、補助支持体166を昇降動せし
める補助移動手段168も設けられている。この補助移動
手段168は、回転自在に装着され且つ実質上鉛直に延び
る雄ねじロッド170と、この雄ねじロッド170を回転せし
めるための電動モータ172とを有する。上記雄ねじロッ
ド170は上記補助支持体166に形成されている雌ねじ穴
(図示していない)に螺合されており、従って雄ねじロ
ッド170の正転及び逆転によって補助支持体166が下降及
び上昇せしめられる。補助支持体166には、電動モータ
でよい第1の回転手段174と、この第1の回転手段174の
出力軸に駆動連結された上端から実質上鉛直に下方に延
びる軸176とが装着されている。この軸176は上記可動支
持体156を越えて下方に突出しており、その下端には略
円板形状の内側ブレード支持体178が固定されている。
そして、この内側ブレード支持体178の下面には、上述
した切断ブレード装置20における内側ブレード138(第
5図及び第6図)と実質上同一でよい内側ブレード180
が固着されている。上記可動支持体156内の下部には、
略円筒形状の回転部材182も回転自在に装着されてい
る。この回転部材182は可動支持体156の下端を越えて幾
分下方に突出しており、かかる下端には環状連結部材18
4が固定され、そしてこの連結部材184の下端には環状外
側ブレード支持体186が固定されている。外側ブレード
支持体186の下面には、上述した切断ブレード装置20に
おける外側ブレード140(第5図及び第6図)と実質上
同一でよい外側ブレード188が固着されている。更に、
上記可動支持体156の外側面には、回転軸190が回転自在
に装着されていると共に、この軸190に駆動連結された
電動モータでよい第2の回転手段192が装着されてい
る。上記軸190はベルト機構194によって上記回転部材18
2に駆動連結されている。従って、第2の回転手段192が
付勢されて軸190が回転せしめられると、回転部材182が
回転せしめられ、従って外側ブレード188が回転せしめ
られる。FIG. 8 shows a modification of the cutting blade device. The cutting blade device, generally designated by the numeral 150, comprises a stationary support frame 152 arranged above the support base 2. A pair of guide rails 154 extending substantially vertically with a space therebetween are fixed to the front surface of the support frame 152, and a movable support 156 is vertically movable in a substantially vertical direction on the pair of guide rails 154. Is attached to. The support frame 152
A blade moving means 158 for moving the movable support 156 up and down is provided on the front surface of the. This blade moving means 1
58 has a male screw rod 160 rotatably mounted and extending substantially vertically, and an electric motor 162 for rotating the male screw rod 160. The male screw rod 160 is screwed into a female screw hole (not shown) formed in the movable support 156, and thus the male screw rod 160 is provided.
The movable support 156 is lowered and raised by the forward and reverse rotations of. A pair of guide rails 164 extending in a substantially vertical direction with a space therebetween are also fixed in the movable support 156. An auxiliary support 166 is mounted on the pair of guide rails 164 so as to be vertically movable in a substantially vertical direction. Auxiliary moving means 168 for moving the auxiliary support 166 up and down is also provided in the movable support 156. The auxiliary moving means 168 has a male screw rod 170 rotatably mounted and extending substantially vertically, and an electric motor 172 for rotating the male screw rod 170. The male screw rod 170 is screwed into a female screw hole (not shown) formed in the auxiliary support body 166. Therefore, the normal rotation and the reverse rotation of the male screw rod 170 cause the auxiliary support body 166 to descend and rise. . Mounted on the auxiliary support 166 is a first rotating means 174, which may be an electric motor, and a shaft 176 extending substantially vertically downward from an upper end drivingly connected to an output shaft of the first rotating means 174. There is. The shaft 176 projects downward beyond the movable support 156, and a substantially disk-shaped inner blade support 178 is fixed to the lower end of the shaft 176.
Then, on the lower surface of the inner blade support 178, an inner blade 180 which may be substantially the same as the inner blade 138 (FIGS. 5 and 6) in the cutting blade device 20 described above.
Is stuck. In the lower part of the movable support 156,
A substantially cylindrical rotation member 182 is also rotatably mounted. The rotating member 182 projects slightly below the lower end of the movable support 156, and the annular connecting member 18 is provided at the lower end.
4 is fixed, and an annular outer blade support 186 is fixed to the lower end of the connecting member 184. An outer blade 188, which may be substantially the same as the outer blade 140 (FIGS. 5 and 6) in the cutting blade device 20 described above, is fixed to the lower surface of the outer blade support 186. Furthermore,
A rotary shaft 190 is rotatably mounted on the outer surface of the movable support 156, and second rotating means 192, which may be an electric motor drivingly connected to the shaft 190, is mounted on the outer surface. The shaft 190 is moved by the belt mechanism 194 into the rotating member 18
Driven to 2. Thus, when the second rotating means 192 is biased to rotate the shaft 190, the rotating member 182 is rotated and thus the outer blade 188 is rotated.
上述した通りの切断ブレード装置150の作用効果につ
いて要約して説明すると、次の通りである。実際の切断
作業に先立って、必要に応じて補助移動手段168が付勢
されて補助支持体166が下降又は上昇され、かくして外
側ブレード188に対する内側ブレード180の上下方向位置
が適宜に調整される。内側ブレード180の上下方向調整
位置は、例えば内側ブレード180の下端が外側ブレード1
88の下端に実質上合致せしめられる(従って、外側ブレ
ード188による板状材料GL(又はGS)の切断深さと内側
ブレード180による板状材料GL(又はGS)の切断深さと
が実質上同一にせしめられる)位置でよい。板状材料GL
(又はGS)の切断による内側ブレード180の摩耗量と外
側ブレード188の摩耗量とは必ずしも同一ではなく、従
って内側ブレード180の上下方向位置を必要に応じて調
整し得ない場合には、切断作業を繰返し遂行すると、内
側ブレード180による板状材料GL(又はGS)の切断深さ
と外側ブレード188による板状材料GL(又はGS)の切断
深さとの一方を所要値にせしめると他方が所要値から変
動してしまう。しかしながら、第8図に図示する切断ブ
レード装置150においては、内側ブレード180及び外側ブ
レード188の摩耗量に応じて内側ブレード180の上下方向
位置を適宜に調整することによって、内側ブレード180
による板状材料GL(又はGS)の切断深さと外側ブレード
188による板状材料GL(又はGS)の切断深さとの双方を
所要値にせしめることができる。The operation and effect of the cutting blade device 150 as described above will be summarized and described as follows. Prior to the actual cutting operation, the auxiliary moving means 168 is biased to lower or raise the auxiliary support 166 as necessary, and thus the vertical position of the inner blade 180 with respect to the outer blade 188 is appropriately adjusted. The vertical adjustment position of the inner blade 180, for example, the lower end of the inner blade 180 is the outer blade 1
The lower end of 88 is made to substantially match (so that the cutting depth of the plate material GL (or GS) by the outer blade 188 and the cutting depth of the plate material GL (or GS) by the inner blade 180 are substantially the same. Position). Plate material GL
(Or GS) the amount of wear of the inner blade 180 and the amount of wear of the outer blade 188 by cutting is not necessarily the same, therefore, if the vertical position of the inner blade 180 can not be adjusted as necessary, the cutting work If the cutting depth of the plate-shaped material GL (or GS) by the inner blade 180 and the cutting depth of the plate-shaped material GL (or GS) by the outer blade 188 is set to a required value, the other will be changed from the required value. It fluctuates. However, in the cutting blade device 150 shown in FIG. 8, the inner blade 180 is adjusted by appropriately adjusting the vertical position of the inner blade 180 according to the wear amount of the inner blade 180 and the outer blade 188.
Cutting depth of plate material GL (or GS) and outer blade
Both the cutting depth of the plate-shaped material GL (or GS) by 188 can be set to required values.
切断作業を遂行するためには、第1の回転手段174を
付勢して内側ブレード180を比較的高速で回転せしめる
と共に、第2の回転手段192を付勢して外側ブレード188
を比較的高速で回転せしめる。内側ブレード180の回転
方向と外側ブレード188の回転方向とは同一でもよい
が、相互に逆であるのが好都合である。加えて、ブレー
ド移動手段158が付勢されて可動支持体156が比較的低速
で下降され、かくして内側ブレード180及び外側ブレー
ド188が比較的低速で下降され、上述した切断ブレード
装置20の場合と同様に、内側ブレード180が円形内側切
断ラインに沿って板状材料GL(又はGS)を切断すると共
に、外側ブレード188が円形外側切断ラインに沿って板
状材料GL(又はGS)を切断する。かかる切断の際には、
例えば内側ブレード支持体178及び/又は外側ブレード
支持体186に形成されている冷却液噴射孔(図示してい
ない)から水の如き冷却液を噴出することができる。第
8図に図示する変形例においては、切断作業の際に内側
ブレード180の下降と外側ブレード188の下降とは一体的
に遂行されるが、所望ならば、切断作業の際の内側ブレ
ード180の下降と外側ブレード188の下降とを別個独立に
遂行することもできる。To perform the cutting operation, the first rotating means 174 is urged to rotate the inner blade 180 at a relatively high speed and the second rotating means 192 is urged to rotate the outer blade 188.
Rotate at a relatively high speed. The direction of rotation of the inner blade 180 and the direction of rotation of the outer blade 188 may be the same, but are preferably opposite to each other. In addition, the blade moving means 158 is urged to lower the movable support 156 at a relatively low speed, and thus the inner blade 180 and the outer blade 188 are moved at a relatively low speed, as in the cutting blade device 20 described above. In addition, the inner blade 180 cuts the plate material GL (or GS) along the circular inner cutting line, and the outer blade 188 cuts the plate material GL (or GS) along the circular outer cutting line. In the case of such cutting,
For example, a cooling liquid such as water can be jetted from a cooling liquid jet hole (not shown) formed in the inner blade support 178 and / or the outer blade support 186. In the modification shown in FIG. 8, the lowering of the inner blade 180 and the lowering of the outer blade 188 are integrally performed during the cutting operation, but if desired, the inner blade 180 may be lowered during the cutting operation. The lowering and lowering of the outer blade 188 can also be performed separately and independently.
再び第1図を参照して、上記材料搬出域14に関連して
設けられている材料搬出手段22について説明すると、図
示の材料搬出手段22は、旋回アーム200を含んでいる。
この旋回アーム200の一端部は、実質上鉛直に延びる
(第1図において紙面に実質上垂直に延びる)旋回軸線
を中心として旋回自在に且つ実質上鉛直な方向に昇降自
在に装着されている。そして、旋回アーム200は、適宜
の昇降動手段(図示していない)によって後述する通り
に昇降動せしめられると共に、適宜の旋回動手段(図示
していない)によって旋回動せしめられ、実線で示す吸
着位置、2点鎖線200Aで示す破棄位置及び2点鎖線200B
で示す収納位置に選択的に位置付けられる。旋回アーム
200の自由端部には、吸着ヘッド202が装着されている。
第1図と共に第9図及び第10図を参照して説明すると、
吸着ヘッド202は、八角形状の主部204とこの主部204の
一側縁から延在する連結脚部206とを有する第1の支持
板208を含んでいる。この第1の支持板208の連結脚部20
6の突出端部は、ボルト及びナットの如き適宜の締結具2
10によって、上記旋回アーム200の自由端部に固定され
ている。第1の支持板208の主部204には、その中央に配
設された1個の第1の吸着具212と、この第1の吸着具2
12の外側に配設された4個の第2の吸着具214とが装着
されている。第2の吸着具214は90度の角度間隔を置い
て配設されており、第1の吸着具212から第2の吸着具2
14の各々までの距離は実質上同一に設定されている。そ
れ自体は周知の形態でよい第1の吸着具212及び第2の
吸着具214は、上記第1の支持板208から下方に延び、そ
の下面が吸着面として機能する。吸着ヘッド202は、更
に、上記第1の吸着具212及び第2の吸着具214を介して
上記第1の支持板208に連結され、上記第1の支持板208
の下方に位置する第2の支持板216も含んでいる。この
第2の支持板216は、90度の角度間隔を置いて半径方向
外方に延在する4個の支持脚部218を有する。そして、
かかる4個の支持脚部218の各々には、装着板220が半径
方向に位置調整自在に装着されている。詳述すると、上
記支持脚部218の各々には、その中央部をその延在方向
に延びる開口221と共にその両側部をその延在方向に延
びる一対の細長いスリット222が形成されており、上記
装着板220の各々は、上記スリット222を通って延びるボ
ルトとこれと協働するナットでよい一対の締結具224に
よって上記支持脚部218の各々に装着されており、従っ
て上記装着板220の装着位置は、上記スリット222に沿っ
て適宜に調整することができる。装着板220の各々に
は、第3の吸着具226が装着されている。第1の吸着具2
12及び第2の吸着具214と同様にそれ自体は周知の形態
でよい第3の吸着具226は、上記開口221を通って下方に
延び、その下面が吸着面として機能する。第10図から理
解される如く、第1,第2及び第3の吸着具212,214及び2
26の下面(即ち吸着面)は、実質上同一平面内に位置せ
しめられている。第10図に簡略に図示する如く、第1の
吸着具212と第3の吸着具226は、制御弁228を介して真
空源230に接続されていると共に、制御弁232を介して空
気供給源234に接続されている。第2の吸着具214は、別
個の制御弁236を介して上記真空源230に接続されている
と共に、別個の制御弁238を介して上記空気供給源234に
接続されている。真空源230は、通常の真空ポンプ、或
いは空気供給源234からの空気が流動せしめられるオリ
フィスを有するエゼクタ等から構成することができる。Referring again to FIG. 1, the material unloading means 22 provided in association with the material unloading area 14 will be described. The material unloading means 22 shown in the drawing includes a swivel arm 200.
One end of the swivel arm 200 is mounted so as to be swivelable about a swivel axis extending substantially vertically (extending substantially perpendicular to the paper surface in FIG. 1) and vertically movable in a substantially vertical direction. Then, the revolving arm 200 is moved up and down as will be described later by an appropriate up-and-down moving means (not shown), and is also turned by an appropriate up-and-down moving means (not shown), and is attracted by a solid line. Position, two-dot chain line 200A, discard position and two-dot chain line 200B
It is selectively positioned in the storage position shown by. Swivel arm
A suction head 202 is attached to the free end of 200.
Referring to FIG. 9 and FIG. 10 together with FIG. 1,
The suction head 202 includes a first support plate 208 having an octagonal main portion 204 and a connecting leg portion 206 extending from one side edge of the main portion 204. The connecting leg 20 of the first support plate 208
The protruding end of 6 is a suitable fastener such as a bolt and nut.
It is fixed to the free end of the swivel arm 200 by 10. On the main part 204 of the first support plate 208, one first suction tool 212 arranged in the center thereof and the first suction tool 2 are provided.
Four second suction tools 214 arranged outside 12 are mounted. The second suction tools 214 are arranged at an angular interval of 90 degrees, and the first suction tools 212 to the second suction tools 2 are arranged.
The distances to each of the 14 are set to be substantially the same. The first suction tool 212 and the second suction tool 214, which may be in a known form per se, extend downward from the first support plate 208, and their lower surfaces function as suction surfaces. The suction head 202 is further connected to the first support plate 208 via the first suction tool 212 and the second suction tool 214, and the first support plate 208 is connected.
Also included is a second support plate 216 located below. The second support plate 216 has four support legs 218 extending radially outward at 90 degree angular intervals. And
A mounting plate 220 is mounted on each of the four support legs 218 so as to be positionally adjustable in the radial direction. More specifically, each of the support legs 218 is formed with an opening 221 that extends in the extending direction at the center thereof and a pair of elongated slits 222 that extend in the extending direction at both sides of the opening 221. Each of the plates 220 is attached to each of the support legs 218 by a pair of fasteners 224, which may be bolts extending through the slits 222 and nuts associated therewith, and thus the mounting position of the mounting plate 220. Can be appropriately adjusted along the slit 222. A third suction tool 226 is mounted on each of the mounting plates 220. First suction tool 2
Similar to 12 and the second suction tool 214, the third suction tool 226, which may be of a known form per se, extends downward through the opening 221, and its lower surface functions as a suction surface. As can be seen from FIG. 10, the first, second and third suction tools 212, 214 and 2
The lower surface (ie, the suction surface) of 26 is located substantially in the same plane. As schematically shown in FIG. 10, the first suction tool 212 and the third suction tool 226 are connected to a vacuum source 230 via a control valve 228 and an air supply source via a control valve 232. It is connected to 234. The second adsorber 214 is connected to the vacuum source 230 via a separate control valve 236, and is also connected to the air supply source 234 via a separate control valve 238. The vacuum source 230 can be composed of a normal vacuum pump or an ejector having an orifice through which the air from the air supply source 234 can flow.
第1図を参照して説明すると、旋回アーム200が実線
で示す上記吸着位置に位置付けられると、吸着ヘッド20
2は上記材料搬出域14において上記チャック手段4の1
個に対向してその上方に位置する。旋回アーム200が2
点鎖線200Aで示す破棄位置に位置付けられると、吸着ヘ
ッド202は破棄容器240に対向してその上方に位置する。
破棄容器240は、その上面が開口された箱でよい。旋回
アーム200が2点鎖線200Bで示す収納位置に位置付けら
れると、吸着ヘッド202は収納手段242に対向してその上
方に位置する。収納手段242は、吸着ヘッド202から製品
(円環状板)を受取る受取台244、複数枚の製品を収納
することができるカセットが載置されるカセット載置台
246、及び受取台244からカセット載置台246上のカセッ
トに製品を搬入する搬入機構248を含む、それ自体は周
知の形態のものでよい。Referring to FIG. 1, when the revolving arm 200 is positioned at the suction position indicated by the solid line, the suction head 20 is moved.
The reference numeral 2 designates one of the chuck means 4 in the material discharge area 14.
Located above and facing the individual. Two swivel arms 200
When positioned at the discarding position indicated by the dashed line 200A, the suction head 202 faces the discarding container 240 and is located above it.
The discard container 240 may be a box having an open top surface. When the revolving arm 200 is positioned at the storage position shown by the chain double-dashed line 200B, the suction head 202 is located above and facing the storage means 242. The storing means 242 is a receiving table 244 for receiving the product (annular plate) from the suction head 202, and a cassette mounting table for mounting a cassette capable of storing a plurality of products.
It may be of a form known per se, including 246 and a loading mechanism 248 for loading the product from the receiving table 244 into the cassette on the cassette mounting table 246.
上述した通りの材料搬出手段22の作用効果を説明する
と、次ぎの通りである。材料搬出域14に存在するチャッ
ク手段4上から切断された板状材料GL(又はGS)を搬出
するためには、最初に、旋回アーム200及びその自由端
部に装着された吸着ヘッド202が、第1図に実線で示す
吸着位置に位置付けられる。次いで、第1,第2及び第3
の吸着具212,214及び226(第10図)の下面がチャック手
段4上の板状材料GL(又はGS)の表面に接触乃至近接す
る位置まで、旋回アーム200及び吸着ヘッド202が下降せ
しめられる。しかる後に、制御弁228及び制御弁236が開
かれて第1,第2及び第3の吸着具212,214及び226が真空
源230に連通される。かくして、上述した如くしてチャ
ック手段4上に浮上せしめられる板状材料GL(又はGS)
を、第1,第2及び第3の吸着具212,214及び226が吸着す
る。The operation and effect of the material carrying-out means 22 as described above will be described below. In order to carry out the cut plate-shaped material GL (or GS) from the chuck means 4 existing in the material carrying-out area 14, first, the swivel arm 200 and the suction head 202 mounted at its free end are It is positioned at the suction position shown by the solid line in FIG. Then, the first, second and third
The swivel arm 200 and the suction head 202 are moved down to the position where the lower surfaces of the suction tools 212, 214 and 226 (Fig. 10) of (1) come into contact with or approach the surface of the plate-shaped material GL (or GS) on the chuck means 4. Thereafter, the control valve 228 and the control valve 236 are opened so that the first, second and third suction tools 212, 214 and 226 are connected to the vacuum source 230. Thus, the plate-like material GL (or GS) which is floated on the chuck means 4 as described above.
Are adsorbed by the first, second and third adsorption tools 212, 214 and 226.
而して、板状材料が比較的大きい方形のものGLである
場合、吸着ヘッド202における装着板220の各々は、第9
図に実線で示す外側位置に位置付けられる。この場合、
第9図を参照することによって理解される如く、第1の
吸着具212は、板状材料GLの中央部、即ち内側切断ライ
ンGL−ICよりも内側の中央不要部を吸着し、第2の吸着
具214は、板状材料GLの、内側切断ラインGL−ICと外側
切断ラインGL−OCとの間の製品部を吸着し、そして第3
の吸着具226は、板状材料GLの、外側切断ラインGL−OC
よりも外側の外側不要部を吸着する。他方、板状材料が
比較的小さい方形のものGSである場合、吸着ヘッドにお
ける装着板220の各々は、第9図に2点鎖線で示す内側
位置に位置付けられる。この場合、第9図を参照するこ
とによって理解される如く、第1の吸着具212は、板状
材料GSの中央部、即ち内側切断ラインGS−ICよりも内側
の中央不要部を吸着し、第2の吸着具214は、板状材料G
Sの、内側切断ラインGS−ICと外側切断ラインGS−OCと
の間の製品部を吸着し、そして第3の吸着具226は、板
状材料GSの、外側切断ラインGS−OCよりも外側の外側不
要部を吸着する。Thus, when the plate-shaped material is a relatively large square GL, each of the mounting plates 220 in the suction head 202 is
It is located at the outer position shown by the solid line in the figure. in this case,
As can be understood by referring to FIG. 9, the first suction tool 212 sucks the central portion of the plate-shaped material GL, that is, the central unnecessary portion inside the inner cutting line GL-IC, and the second suction tool 212 The suction tool 214 sucks the product portion of the plate-shaped material GL between the inner cutting line GL-IC and the outer cutting line GL-OC, and the third
The suction tool 226 of the plate material GL is an outer cutting line GL-OC.
The unnecessary portion outside is adsorbed. On the other hand, when the plate-shaped material is a relatively small square GS, each of the mounting plates 220 in the suction head is positioned at the inner position shown by the chain double-dashed line in FIG. In this case, as can be understood by referring to FIG. 9, the first suction tool 212 sucks the central portion of the plate-shaped material GS, that is, the central unnecessary portion inside the inner cutting line GS-IC, The second suction tool 214 is a plate-shaped material G.
The product portion of S between the inner cutting line GS-IC and the outer cutting line GS-OC is adsorbed, and the third adsorbing tool 226 is outside the outer cutting line GS-OC of the plate-shaped material GS. Adsorb unnecessary parts outside.
第1,第2及び第3の吸着具212,214及び226が板状材料
GL(又はGS)を吸着すると、旋回アーム200及び吸着ヘ
ッド202が所定距離上昇せしめられ、かくして板状材料G
L(又はGS)の全体がチャック手段4から上方に持上げ
られる。次いで、旋回アーム200及び吸着ヘッド202が第
1図に2点鎖線200A及び202Aで示す破棄位置に旋回せし
められる。しかる後に、制御弁228が閉じられて第1及
び第3の吸着具212及び226が真空源230から切離され、
これと同時に或いはその直後に制御弁232が若干の時間
だけ開かれて第1及び第3の吸着具212及び226が若干の
時間だけ空気供給源234に連通せしめられる。かくし
て、第1及び第3の吸着具212及び226の下面から空気が
噴出せしめられ、これによって、板状材料GL(又はGS)
の中央不要部、即ち内側切断ラインGL−IC(又はGS−I
C)よりも内側の部分と、外側不要部、即ち外側切断ラ
インGL−OC(又はGS−IC)よりも外側の部とが、第1及
び第3の吸着具212及び226から離脱されて、破棄容器24
0内に落下される。他方、板状材料GL(又はGS)の製品
部、即ち内側切断ラインGL−IC(又はGS−IC)と外側切
断ラインGL−OC(又はGS−OC)との間の部分は、真空源
230に連通せしめられ続けている第2の吸着具214に吸着
され続けている。The first, second and third suction tools 212, 214 and 226 are plate-shaped materials.
When GL (or GS) is adsorbed, the revolving arm 200 and the adsorption head 202 are raised by a predetermined distance, and thus the plate material G
The entire L (or GS) is lifted upward from the chuck means 4. Next, the swivel arm 200 and the suction head 202 are swung to the discard position shown by the two-dot chain lines 200A and 202A in FIG. Thereafter, the control valve 228 is closed and the first and third suction members 212 and 226 are disconnected from the vacuum source 230,
At the same time or shortly thereafter, the control valve 232 is opened for some time so that the first and third suction members 212 and 226 are connected to the air supply source 234 for some time. Thus, air is ejected from the lower surfaces of the first and third suction members 212 and 226, which causes the plate-shaped material GL (or GS).
Unnecessary part of the center, that is, inner cutting line GL-IC (or GS-I
A portion inside C) and an outside unnecessary portion, that is, a portion outside the outside cutting line GL-OC (or GS-IC) are separated from the first and third suction tools 212 and 226, Discard container 24
Dropped within 0. On the other hand, the product part of the plate-shaped material GL (or GS), that is, the part between the inner cutting line GL-IC (or GS-IC) and the outer cutting line GL-OC (or GS-OC) is a vacuum source.
It is continuously adsorbed by the second adsorption tool 214 which is kept in communication with 230.
次いで、旋回アーム200及び吸着ヘッド202が第1図に
2点鎖線200B及び202Bで示す収納位置に旋回せしめられ
る。しかる後に、制御弁236が閉じられて第2の吸着具2
14が真空源230から切離され、これと同時に或いはその
直後に制御弁238が若干の時間だけ開かれて第2の吸着
具214が若干の時間だけ空気供給源234に連通せしめられ
る。かくして、第2の吸着具214の下面から空気が噴出
せしめられ、これによって、板状材料GL(又はGS)の製
品部、即ち内側切断ラインGL−IC(又はGS−IC)と外側
切断ラインGL−OC(又はGS−OC)との間の部分が、第2
の吸着具214から離脱されて、その下方に位置する収納
手段242の受取台244上へ載置される。Next, the swivel arm 200 and the suction head 202 are swung to the storage positions shown by the two-dot chain lines 200B and 202B in FIG. Then, the control valve 236 is closed and the second suction tool 2
14 is disconnected from the vacuum source 230, and at the same time or shortly thereafter, the control valve 238 is opened for some time to allow the second suction tool 214 to communicate with the air supply source 234 for some time. Thus, air is ejected from the lower surface of the second suction tool 214, whereby the product portion of the plate material GL (or GS), that is, the inner cutting line GL-IC (or GS-IC) and the outer cutting line GL. -OC (or GS-OC) is the second
It is detached from the suction tool 214 and placed on the receiving table 244 of the storage means 242 located therebelow.
次に、上記チャック洗浄域16に関連して設けられてい
る洗浄装置24について説明する。第11図及び第12図を参
照して説明すると、図示の洗浄装置24は、円筒形状の支
持体256を含んでいる。この支持体256は、チャック洗浄
域16において上記支持基台2(第1図)の上方に配設さ
れている静止支持枠257に固定されている。上記支持体2
56には、実質上鉛直に延びる回転主軸258が軸受262を介
して回転自在に装着されている。回転主軸258の上端部
は、支持体256の上端壁を貫通して上方へ突出してお
り、回転主軸258の上端は、上記支持枠257に装着された
電動モータでよい回転駆動源266に駆動連結されてい
る。また、回転主軸258の下端部は、支持体256の下端壁
を貫通して下方に延び、回転主軸258の下端に支持部材2
68が固定されている。支持部材268は半径方向外方に延
びており、その外端部には実質上鉛直に延びる回転支持
軸270が軸受274を介して回転自在に装着されている。回
転支持軸270の下端には、洗浄手段252が装着されてい
る。図示の具体例における洗浄手段252は、実質上水平
に且つ相互に実質上垂直に延在する一対のブラシ部材27
6から構成されている。一対のブラシ部材276の各々は、
水平方向中間部が上記回転支持軸270の下端に固定され
た基板277と、この基板277の下面に植設された多数の毛
279から構成されている。合成樹脂製でよい毛279は、洗
浄すべきチャック手段4の表面に接触せしめられる。第
12図を参照することによって理解される如く、回転主軸
258は、チャック洗浄域16に位置するチャック手段4の
実質上中心位置に位置し、回転支持軸270は、チャック
手段4の中心と周縁との略中間に位置し、そして回転支
持軸270の中心線272からブラシ部材276の両端までの長
さlは、回転主軸258の中心線260と回転支持軸270の中
心線272との間隔Lより幾分大きく設定されているのが
好都合である。Next, the cleaning device 24 provided in association with the chuck cleaning area 16 will be described. Referring to FIGS. 11 and 12, the illustrated cleaning device 24 includes a cylindrical support 256. The support 256 is fixed to the stationary support frame 257 arranged above the support base 2 (FIG. 1) in the chuck cleaning area 16. Above support 2
A rotary main shaft 258 that extends substantially vertically is rotatably mounted on 56 via a bearing 262. The upper end of the rotary main shaft 258 penetrates the upper end wall of the support body 256 and projects upward, and the upper end of the rotary main shaft 258 is drivingly connected to a rotary drive source 266 which may be an electric motor mounted on the support frame 257. Has been done. Further, the lower end portion of the rotary main shaft 258 penetrates the lower end wall of the support body 256 and extends downward, and the support member 2 is provided at the lower end of the rotary main shaft 258.
68 is fixed. The support member 268 extends outward in the radial direction, and a rotary support shaft 270 extending substantially vertically is rotatably mounted on the outer end of the support member 268 via a bearing 274. Cleaning means 252 is attached to the lower end of the rotary support shaft 270. The cleaning means 252 in the illustrated embodiment comprises a pair of brush members 27 extending substantially horizontally and substantially vertically to each other.
It consists of six. Each of the pair of brush members 276 is
A substrate 277 whose horizontal middle portion is fixed to the lower end of the rotary support shaft 270 and a large number of hairs planted on the lower surface of the substrate 277.
It is composed of 279. The bristles 279, which may be made of synthetic resin, are brought into contact with the surface of the chuck means 4 to be cleaned. First
12 Spindle spindle, as can be seen by referring to FIG.
258 is located substantially in the center position of the chuck means 4 located in the chuck cleaning area 16, the rotary support shaft 270 is located substantially in the middle between the center and the peripheral edge of the chuck means 4, and the center of the rotary support shaft 270. The length l from the line 272 to both ends of the brush member 276 is conveniently set to be somewhat larger than the distance L between the center line 260 of the rotary main shaft 258 and the center line 272 of the rotary support shaft 270.
洗浄装置24には、回転主軸258の回転に応じて回転支
持軸270を自転及び公転せしめるための遊星運動機構254
も含んでいる。この遊星運動機構254は、上記支持体256
の下端部に固定された静止太陽歯車284と、回転支持軸2
70の上端に固定され且つ上記静止太陽歯車284に噛合さ
れている遊星歯車286とから成る。回転主軸258が矢印28
2(第12図)で示す方向に回転されると、回転支持軸270
及びこれに固定されたブラシ部材276は、回転主軸258の
中心線260を中心として矢印282(第12図)で示す方向に
公転される(従って、回転支持軸270の中心線272は第12
図に1点鎖線287で示す円形軌跡を描く)。そして、か
かる公転の際に、上記遊星運動機構254の作用によっ
て、回転支持軸270及びこれに固定されたブラシ部材276
は、回転支持軸270の中心線272を中心として矢印278
(第12図)で示す方向に自転せしめられる。所望なら
ば、太陽歯車284及び遊星歯車286に代えて太陽摩擦車及
び遊星摩擦車を使用することもできる。The cleaning device 24 has a planetary motion mechanism 254 for rotating and revolving the rotation support shaft 270 in response to the rotation of the rotation main shaft 258.
It also includes. The planetary motion mechanism 254 is composed of the support 256
The stationary sun gear 284 fixed to the lower end of the
A planetary gear 286 fixed to the upper end of 70 and meshed with the stationary sun gear 284. Spindle 258 is arrow 28
When rotated in the direction indicated by 2 (Fig. 12), the rotation support shaft 270
And the brush member 276 fixed thereto is revolved in the direction shown by an arrow 282 (FIG. 12) around the center line 260 of the rotation main shaft 258 (thus, the center line 272 of the rotation support shaft 270 is the 12th position).
Draw a circular locus indicated by the one-dot chain line 287 in the figure). Then, at the time of such revolution, the rotation support shaft 270 and the brush member 276 fixed to this are supported by the action of the planetary motion mechanism 254.
Is the arrow 278 about the center line 272 of the rotary support shaft 270.
It is allowed to rotate in the direction shown in (Fig. 12). If desired, sun and planetary friction wheels may be used in place of sun and planet gears 284 and 286.
第11図を参照して説明を続けると、洗浄装置24は、更
に、カバー288及び洗浄液供給手段290を含んでいる。カ
バー288は、円形(又はチャック手段4の形状に対応し
た、方形の如き多角形状)でよい基盤292と、この基盤2
92の周縁から垂下する円筒形(又は多角筒形)の側壁29
4を有する。カバー288の基盤292は、上記支持体256の下
端部に固定され、側壁294は上記ブラシ部材276を囲繞す
る。カバー288の基盤292内には環状空間が形成されてお
り、かかる空間は洗浄液供給手段290の洗浄液マニホル
ド296を構成する。かかる洗浄液マニホルド296は、基盤
292の上壁298に形成された流入口299を介して洗浄液供
給源300に連通せしめられている。また、基盤292の下壁
301には多数の噴出孔302が形成されている。Continuing the description with reference to FIG. 11, the cleaning device 24 further includes a cover 288 and a cleaning liquid supply unit 290. The cover 288 may have a base 292 which may be circular (or a polygonal shape such as a square corresponding to the shape of the chuck means 4), and the base 2
Cylindrical (or polygonal cylinder) side wall 29 hanging from the peripheral edge of 92
Having 4. The base 292 of the cover 288 is fixed to the lower end of the support 256, and the side wall 294 surrounds the brush member 276. An annular space is formed in the base 292 of the cover 288, and this space constitutes the cleaning liquid manifold 296 of the cleaning liquid supply means 290. Such cleaning fluid manifold 296 is a base
A cleaning liquid supply source 300 is connected to the cleaning liquid supply source 300 through an inlet 299 formed in the upper wall 298 of the 292. Also, the lower wall of the base 292
A large number of ejection holes 302 are formed in 301.
上記の通りの洗浄装置24においては、洗浄液供給源30
0から洗浄液マニホルド296に水の如き洗浄液が供給さ
れ、かかる洗浄液が噴出孔302からチャック手段4の表
面に向けて噴出せしめられる。加えて、回転駆動源266
が付勢されて回転主軸258が矢印282(第12図)で示す方
向に回転され、従ってブラシ部材276が上述した通りに
公転及び自転される。かくして、ブラシ部材276がチャ
ック手段4の表面全域に作用して所要通りに洗浄する。In the cleaning device 24 as described above, the cleaning liquid supply source 30
A cleaning liquid such as water is supplied to the cleaning liquid manifold 296 from 0, and the cleaning liquid is ejected from the ejection holes 302 toward the surface of the chuck means 4. In addition, the rotary drive source 266
Is urged to rotate the rotation main shaft 258 in the direction shown by the arrow 282 (FIG. 12), so that the brush member 276 revolves and rotates as described above. Thus, the brush member 276 acts on the entire surface of the chuck means 4 to clean it as required.
第13図は、本発明に従って構成された切断機の第2の
具体例を図示している。この第2の具体例においては、
支持基台402上には、72度の角度間隔を置いて5個の材
料保持チャック手段404が配設されている。そして、支
持基台404上には、72度の角度間隔を置いて、支持基台4
04の矢印408で示す回転方向に見て順次に、材料搬入域4
10、第1の切断作業域412A、第2の切断作業域412B、材
料搬出域414及びチャック洗浄域416が規定されている。
支持基台404は間けつ移動手段406によって72度毎間けつ
的に矢印408で示す方向に回転せしめられ、これによっ
てチャック手段404の各々は材料搬入域410、第1の切断
作業域412A、第2の切断作業域412B、材料搬出域414、
及びチャック洗浄域416に順次に位置付けられる。FIG. 13 illustrates a second specific example of a cutting machine constructed according to the present invention. In this second example,
On the support base 402, five material holding chuck means 404 are arranged at an angular interval of 72 degrees. Then, on the support base 404, with an angular interval of 72 degrees, the support base 4
When viewed in the direction of rotation indicated by the arrow 408 of 04, the material loading area 4
10, a first cutting work area 412A, a second cutting work area 412B, a material unloading area 414 and a chuck cleaning area 416 are defined.
The support base 404 is rotated by the intermittent moving means 406 at intervals of 72 degrees intermittently in the direction shown by the arrow 408, whereby each of the chuck means 404 is moved to the material loading area 410, the first cutting work area 412A, and the first cutting work area 412A. 2 cutting work area 412B, material unloading area 414,
And sequentially located in the chuck cleaning area 416.
上記第1の切断作業域412Aに関連せしめて、全体を番
号434Aで示す第1の切断ブレード装置が配設され、上記
第2の切断作業域412Bに関連せしめて、全体を番号434B
で示す第2の切断ブレード装置が配設されている。第14
図に図示する第1の切断ブレード装置434Aは、ブレード
支持体452Aの下面に比較的小径の円筒形状である第1の
ブレード454(この第1のブレード454は上記切断ブレー
ド装置20おける内側ブレード138に対応する)のみが固
着されている点を除けば、上述した第1の具体例におけ
る切断ブレード装置20と実質上同一である。また、第15
図に図示する第2の切断ブレード装置434Bは、ブレード
支持体452Bの下面に比較的大径の円筒形状である第2の
ブレード456(この第2のブレード456は上記切断ブレー
ド装置20における外側ブレード140に対応する)のみが
固着されている点を除けば、上述した第1の具体例にお
ける切断ブレード装置20と実質上同一である。A first cutting blade device, generally designated 434A, is provided in association with the first cutting work area 412A and is generally designated 434B in relation to the second cutting work area 412B.
A second cutting blade device indicated by is provided. 14th
The first cutting blade device 434A shown in the drawing has a first blade 454 (which is the inner blade 138 in the cutting blade device 20) having a relatively small cylindrical shape on the lower surface of the blade support 452A. (Corresponding to the above) is substantially the same as the cutting blade device 20 in the first embodiment described above, except that it is fixed. Also, the 15th
The second cutting blade device 434B shown in the figure has a second blade 456 having a relatively large diameter and a cylindrical shape on the lower surface of the blade support 452B (this second blade 456 is the outer blade in the cutting blade device 20). (Corresponding to 140) is substantially the same as the cutting blade device 20 in the first embodiment described above, except that it is fixed.
第13図と共に第14図及び第15図を参照して説明を続け
ると、上記第1の切断作業域412Aにおいては、第1の切
断ブレード装置434Aの第1のブレード454によって、チ
ャック手段4上に吸着されている板状材料GL(又はGS)
が円形内側切断ラインに沿って切断される。また、上記
第2の切断作業域412Bにおいては、第2の切断ブレード
装置434Bの第2のブレード456によって、チャック手段
4上に吸着されている板状材料GL(又はGS)が円形外側
切断ラインに沿って切断される。Continuing the description with reference to FIG. 14 and FIG. 15 together with FIG. 13, in the first cutting work area 412A, the first blade 454 of the first cutting blade device 434A causes the chuck means 4 to move upwardly. Plate material GL (or GS) adsorbed on
Is cut along a circular inner cutting line. In the second cutting work area 412B, the plate-shaped material GL (or GS) adsorbed on the chuck means 4 is circularly cut by the second blade 456 of the second cutting blade device 434B. Is cut along.
第13図を参照して説明すると、第2の具体例において
は、更に、表面気体吹付け手段476及び裏面気体吹付け
手段478が配設されている。表面気体吹付け手段476は、
上記第2の切断作業域412Bと上記材料搬出域414との間
にて上記支持基台402の上方に配設された細長い吹付け
ノズル480を有する。第16図及び第17図を参照して説明
すると、上記吹付けノズル480は中空逆三角形状の断面
形状を有し、両側傾斜壁には多数の孔482が形成されて
いる。かかる吹付けノズル480には、加熱空気の如き気
体が選択的に供給され、かかる気体が孔482から射出さ
れて、支持基台402の回転に応じて吹付けノズル480の下
方を通過するチャック手段404上の板状材料GL(又はG
S)の表面に吹付けられる。かくして、切断作業の際に
付着した切屑及び冷却液等が板状材料GL(又はGS)の表
面から除去され、板状材料GL(又はGS)の表面が洗浄及
び乾燥される。裏面気体吹付け手段478は、材料搬出手
段422における吸着ヘッド502が第13図に実線で示す吸着
位置から第13図に2点鎖線502Aで示す破棄位置まで移動
される際に描く軌跡の下方に配設された細長い吹付けノ
ズル484を有する。第18図及び第19図を参照して説明す
ると、上記吹付けノズル484は中空三角形状の断面形状
を有し、両側傾斜壁には多数の孔486が形成されてい
る。かかる吹付けノズル484内には、加熱空気の如き気
体が選択的に供給され、かかる気体が孔486から射出さ
れて、吸着ヘッド502に吸着されてチャック手段404から
搬出される板状材料GL(又はGS)の裏面に吹付けられ
る。かくして、切断作業の際に付着した切屑及び冷却液
等が板状材料GL(又はGS)の裏面から除去され、板状材
料GL(又はGS)の裏面が洗浄及び乾燥される。Referring to FIG. 13, in the second specific example, a front surface gas spraying means 476 and a back surface gas spraying means 478 are further provided. Surface gas blowing means 476,
There is an elongated spray nozzle 480 disposed above the support base 402 between the second cutting work area 412B and the material discharge area 414. Referring to FIG. 16 and FIG. 17, the spray nozzle 480 has a hollow inverted triangular cross-sectional shape, and a large number of holes 482 are formed in the inclined walls on both sides. Gas such as heated air is selectively supplied to the spray nozzle 480, the gas is ejected from the hole 482, and chuck means that passes below the spray nozzle 480 in accordance with the rotation of the support base 402. 404 on plate GL (or G
S) is sprayed on the surface. Thus, chips, cooling liquid, and the like attached during the cutting operation are removed from the surface of the plate material GL (or GS), and the surface of the plate material GL (or GS) is washed and dried. The backside gas blowing means 478 is located below the trajectory drawn when the suction head 502 of the material carrying-out means 422 is moved from the suction position shown by the solid line in FIG. 13 to the discarding position shown by the chain double-dashed line 502A in FIG. It has an elongated spray nozzle 484 disposed therein. Explaining with reference to FIGS. 18 and 19, the spray nozzle 484 has a hollow triangular cross-sectional shape, and a large number of holes 486 are formed in the inclined walls on both sides. A gas such as heated air is selectively supplied into the spray nozzle 484, the gas is ejected from the hole 486, adsorbed by the adsorption head 502, and discharged from the chuck means 404. Or it is sprayed on the back of GS). Thus, the chips, the cooling liquid, and the like attached during the cutting operation are removed from the back surface of the plate material GL (or GS), and the back surface of the plate material GL (or GS) is washed and dried.
第2の具体例の上述した構成及び作用効果以外の構成
及び作用効果は、上述した第1の具体例と実質上同一で
あるので説明を省略する。The configurations and operational effects of the second specific example other than the above-described configurations and operational effects are substantially the same as those of the first specific example described above, and therefore description thereof is omitted.
以上、添付図面を参照して本発明に従って構成された
切断機の好適具体例について詳細に説明したが、本発明
はかかる具体例に限定されるものではなく、本発明の範
囲を逸脱することなく種々の変形乃至修正が可能である
ことは勿論である。The preferred specific examples of the cutting machine configured according to the present invention have been described above in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the specific examples and does not depart from the scope of the present invention. Of course, various variations and modifications are possible.
例えば、図示する具体例においては、支持基台上に規
定されている作業域の数(第1の具体例では4個、第2
の具体例では5個)と同様のチャック手段を支持基台上
に配設しているが、所望ならば、作業域の数よりも多い
チャック手段を支持基台上に配設することもできる(こ
の場合、1個又は複数個のチャック手段作業域間の待期
位置にも位置付けられる)。For example, in the specific example shown, the number of work areas defined on the support base (four in the first specific example, the second in the second specific example).
In the specific example, 5 chucking means) are provided on the supporting base, but if desired, more chucking means than the number of working areas can be provided on the supporting base. (In this case, it is also positioned at the waiting position between one or more chuck means working areas).
また、図示する具体例においては、材料搬出域、チャ
ック洗浄域及び材料搬入域を別個独立に規定している
が、所望ならば、これらの作業域を共通化してチャック
手段が共通化された単一域に位置付けられている間に、
既に切断された板状材料をチャック手段から搬出し、次
いでチャック手段を洗浄し、しかる後に次の切断すべき
板状材料をチャック手段上に搬入することもできる。Further, in the illustrated example, the material carry-out area, the chuck cleaning area, and the material carry-in area are defined separately, but if desired, these working areas are made common and the chuck means is made common. While being located in the area,
It is also possible to carry out the already cut plate-shaped material from the chuck means, then wash the chuck means, and then carry in the next plate-shaped material to be cut onto the chuck means.
更に、図示する具体例においては、支持基台を間けつ
的に回転せしめることによって、チャック手段を複数個
の作業域に順次に位置付けているが、所望ならば、適宜
の形態の支持基台を間けつ的に直線往復動或いは旋回往
復動せしめることによって複数個の作業域に順次に位置
付けることもできる。Furthermore, in the illustrated example, the chuck means is sequentially positioned in a plurality of work areas by rotating the support base intermittently, but if desired, a support base of an appropriate form may be provided. It is also possible to sequentially position in a plurality of work areas by intermittently performing a linear reciprocating motion or a reciprocating reciprocating motion.
第1図は、本発明に従って構成された切断機の第1の具
体例を示す簡略平面図。 第2図は、第1図の切断機におけるチャック手段を示す
断面図。 第3図は、第2図のチャック手段の平面図。 第4図は、第2図のチャック手段における保持板の平面
図。 第5図は、第1図の切断機における切断ブレード装置
を、一部を断面で示す正面図。 第6図は、第5図の切断ブレード装置における内側ブレ
ード及び外側ブレードを示す斜面図。 第7図は、第5図の切断ブレード装置による板状材料の
切断状態を示す部分断面図。 第8図は、切断ブレード装置の変形例を、一部を断面で
示す正面図。 第9図は、第1図の切断機における材料搬出手段の吸着
ヘッドを示す平面図。 第10図は、第9図の吸着ヘッドの側面図。 第11図は、第1図の切断機における洗浄装置を示す断面
図。 第12図は、第11図の洗浄装置におけるブラシ部材の配置
及び運動を説明するための簡略平面図。 第13図は、本発明に従って構成された切断機の第2図の
具体例を示す簡略平面図。 第14図は、第13図の切断機における第1の切断ブレード
装置を示す正面図。 第15図は、第13図の切断機における第2の切断ブレード
装置を示す正面図。 第16図は、第13図の切断機における表面気体吹付け手段
を示す側面図。 第17図は、第16図の表面気体吹付け手段の断面図。 第18図は、第13図の切断機における裏面気体吹付け手段
を示す側面図。 第19図は、第18図の裏面気体吹付け手段の断面図。 2……支持基台 4……材料保持チャック手段 6……間けつ移動手段 10……材料搬入域 12……切断作業域 14……材料搬出域 16……チャック洗浄域 18……材料搬入手段 20……切断ブレード装置 22……材料搬出手段 24……洗浄装置 26……チャック板 28……保持板 138……内側ブレード 140……外側ブレード 202……吸着ヘッド 212……第1の吸着具 214……第2の吸着具 226……第3の吸着具 240……破棄容器 242……収納手段 402……支持基台 404……材料保持チャック手段 410……材料搬入域 412A……第1の切断作業域 412B……第2の切断作業域 414……材料搬出域 416……チャック洗浄域 434A……第1の切断ブレード装置 434B……第2の切断ブレード装置 454……第1のブレード 456……第2のブレード GL及びGS……板状材料FIG. 1 is a simplified plan view showing a first specific example of a cutting machine configured according to the present invention. FIG. 2 is a sectional view showing a chuck means in the cutting machine of FIG. FIG. 3 is a plan view of the chuck means shown in FIG. FIG. 4 is a plan view of a holding plate in the chuck means of FIG. FIG. 5 is a front view showing a part of the cutting blade device in the cutting machine of FIG. 1 in section. FIG. 6 is a perspective view showing an inner blade and an outer blade in the cutting blade device of FIG. FIG. 7 is a partial sectional view showing a cutting state of the plate-shaped material by the cutting blade device of FIG. FIG. 8 is a front view showing a modification of the cutting blade device with a part in cross section. FIG. 9 is a plan view showing the suction head of the material carrying-out means in the cutting machine of FIG. 1. FIG. 10 is a side view of the suction head of FIG. FIG. 11 is a sectional view showing a cleaning device in the cutting machine of FIG. 1. FIG. 12 is a simplified plan view for explaining the arrangement and movement of the brush members in the cleaning device of FIG. FIG. 13 is a simplified plan view showing a specific example of FIG. 2 of a cutting machine constructed according to the present invention. FIG. 14 is a front view showing a first cutting blade device in the cutting machine of FIG. 13. FIG. 15 is a front view showing a second cutting blade device in the cutting machine of FIG. 13. 16 is a side view showing the surface gas blowing means in the cutting machine of FIG. FIG. 17 is a sectional view of the surface gas blowing means of FIG. FIG. 18 is a side view showing the back surface gas blowing means in the cutting machine of FIG. FIG. 19 is a cross-sectional view of the back surface gas blowing means of FIG. 2 ... Support base 4 ... Material holding chuck means 6 ... Intermittent moving means 10 ... Material loading area 12 ... Cutting work area 14 ... Material unloading area 16 ... Chuck cleaning area 18 ... Material loading means 20 …… Cutting blade device 22 …… Material unloading means 24 …… Cleaning device 26 …… Chuck plate 28 …… Holding plate 138 …… Inner blade 140 …… Outer blade 202 …… Suction head 212 …… First suction tool 214 …… Second suction tool 226 …… Third suction tool 240 …… Discarding container 242 …… Storing means 402 …… Support base 404 …… Material holding chuck means 410 …… Material loading area 412A …… First Cutting work area 412B …… second cutting work area 414 …… material unloading area 416 …… chuck cleaning area 434A …… first cutting blade device 434B …… second cutting blade device 454 …… first blade 456 …… second blade GL and GS …… plate material
Claims (27)
ラインに沿って切断するための切断機にして; 移動自在に装着された支持基台と、 該支持基台上に配設された少なくとも2個の材料保持チ
ャック手段と、 該支持基台を間けつ的に移動せしめて、該材料保持チャ
ック手段の各々を順次に切断作業域に位置付けるための
支持基台間けつ移動手段と、 該材料保持チャック手段の各々が該切断作業域外にある
時に該材料保持チャック手段の各々に切断すべき材料を
搬入するための材料搬入手段と、 該切断作業域において、該材料保持チャック手段上に保
持された材料を切断するための切断ブレード装置であっ
て、該支持基台に対して接近及び離隔する方向に移動自
在に且つ回転自在に装着された同心状の内側ブレード及
び外側ブレード、該内側ブレード及び該外側ブレードを
回転せしめるためのブレード回転手段、並びに該内側ブ
レード及び該外側ブレードを該支持基台に対して接近及
び離隔する方向に移動せしめるためのブレード移動手
段、を含むところの切断ブレード装置と、 該材料保持チャックの手段の各々が該切断作業域外にあ
る時に該材料保持チャックの手段の各々から切断された
材料を搬出するための材料搬出手段と、 を具備することを特徴とする切断機。1. A cutting machine for cutting a plate-shaped material along concentric circular inner and outer cutting lines; a movably mounted support base, and a support base mounted on the support base. And at least two material holding chuck means, and a support base moving means for moving the support base intermittently to position each of the material holding chuck means in the cutting work area in sequence. Material loading means for loading the material to be cut into each of the material holding chuck means when each of the material holding chuck means is outside the cutting work area; and on the material holding chuck means in the cutting work area. A cutting blade device for cutting the held material, the concentric inner blade and outer blade being movably and rotatably mounted in a direction approaching and separating from the support base, Cutting including blade rotating means for rotating the side blades and the outer blades, and blade moving means for moving the inner blades and the outer blades toward and away from the support base. A blade device and material unloading means for unloading the cut material from each of the means of the material holding chuck when each of the means of the material holding chuck is outside the cutting work area. Cutting machine.
接近及び離隔する方向に移動自在に且つ回転自在に装着
された単一のブレード支持体を含み、該内側ブレードと
該外側ブレードとの双方は該ブレード支持体に固着され
ており、該ブレード回転手段は該ブレード支持体を回転
せしめ、該ブレード移動手段は該ブレード支持体を移動
せしめる、特許請求の範囲第1項記載の切断機。2. The cutting blade device includes a single blade support movably and rotatably mounted in a direction toward and away from the support base, the inner blade and the outer blade. 2. The cutting machine according to claim 1, wherein both blades are fixed to the blade support, the blade rotating means rotates the blade support, and the blade moving means moves the blade support. .
た内側ブレード支持体と、該内側ブレード支持体とは別
個に回転自在に装着された外側ブレード支持体とを含
み、該内側ブレードは該内側ブレード支持体に固着さ
れ、該外側ブレードは該外側ブレード支持体に固着され
ており、該ブレード回転手段は該内側ブレード支持体を
回転せしめるための第1の回転手段と、該外側ブレード
支持体を回転せしめるための第2の回転手段とを含む、
特許請求の範囲第1項記載の切断機。3. The cutting blade apparatus includes a rotatably mounted inner blade support and an outer blade support rotatably mounted separately from the inner blade support, the inner blade comprising: Fixed to an inner blade support, said outer blade being fixed to said outer blade support, said blade rotation means comprising first rotation means for rotating said inner blade support, and said outer blade support Second rotating means for rotating the
The cutting machine according to claim 1.
ブレード支持体の回転方向とは逆である、特許請求の範
囲第3項記載の切断機。4. The cutting machine according to claim 3, wherein the rotation direction of the inner blade support is opposite to the rotation direction of the outer blade support.
接近及び離隔する方向に移動自在に装着された可動支持
体を含み、該内側ブレード支持体と該外側ブレード支持
体との双方は該可動支持体に回転自在に装着されてお
り、該ブレード移動手段は該可動支持体を移動せしめ
る、特許請求の範囲第3項又は第4項記載の切断機。5. The cutting blade device includes a movable support member mounted so as to be movable toward and away from the support base, and both the inner blade support member and the outer blade support member are provided. The cutting machine according to claim 3 or 4, which is rotatably mounted on the movable support, and the blade moving means moves the movable support.
接近及び離隔する方向に移動自在に該可動支持体に装着
された補助支持体と、該可動支持体に対して該補助支持
体を移動せしめる補助移動手段とを含み、該内側ブレー
ド支持体と該外側ブレード支持体との一方は該補助支持
体を介することなく該可動支持体に装着されているが、
該内側ブレード支持体と該外側ブレード支持第との他方
は該補助支持体を介して該可動支持体に装着されてい
る、特許請求の範囲第5項記載の切断機。6. The cutting blade device is attached to the movable support so as to be movable in a direction approaching and leaving the supporting base, and the auxiliary support to the movable support. And an auxiliary moving means for moving the one of the inner blade support and the outer blade support is mounted on the movable support without interposing the auxiliary support,
The cutting machine according to claim 5, wherein the other one of the inner blade support and the outer blade support is attached to the movable support through the auxiliary support.
該支持基台間けつ移動手段は該支持基台を所定方向に間
けつ回転せしめる、特許請求の範囲第1項乃至第6項の
いずれかに記載の切断機。7. The support base is rotatably mounted,
The cutting machine according to any one of claims 1 to 6, wherein the supporting base moving means moves the supporting base in a predetermined direction.
入域、該切断作業域、材料搬出域及びチャック洗浄域が
規定されており、該支持基台には周方向に等間隔を置い
て該材料保持チャック手段が少なくとも4個装着されて
おり、該材料保持チャック手段のうちの1個が該切断作
業域に位置付けられると、該材料搬出域、該チャック洗
浄域及び該材料搬入域の各々にも夫々該材料保持チャッ
ク手段のうちの1個が位置付けられ、該材料搬入手段は
該材料搬入域に位置している該材料保持チャック手段に
切断すべき材料を搬入し、該材料搬出手段は該材料搬出
域に位置している該材料保持チャック手段から切断され
た材料を搬出し、該チャック洗浄域には該材料保持チャ
ック手段を洗浄するための洗浄装置が配設されている、
特許請求の範囲第7項記載の切断機。8. A material carry-in area, a cutting work area, a material carry-out area, and a chuck cleaning area are sequentially defined when viewed in the rotation direction of the support base, and the support base is equidistant in the circumferential direction. And at least four material holding chuck means are mounted, and when one of the material holding chuck means is positioned in the cutting work area, the material carry-out area, the chuck cleaning area, and the material carry-in area. One of the material holding chuck means is positioned in each of the zones, and the material loading means loads the material to be cut into the material holding chuck means located in the material loading area, The carry-out means carries out the cut material from the material holding chuck means located in the material carry-out area, and a cleaning device for cleaning the material holding chuck means is provided in the chuck cleaning area. ,
The cutting machine according to claim 7.
べき板状材料がその表面に載置されるチャック板を含
み、該チャック板の表面には、該内側ブレード及び該外
側ブレードの先端部が夫々進入することができる同心状
の少なくとも2個の環状溝が形成されている、特許請求
の範囲第1項乃至第8項のいずれかに記載の切断機。9. Each of the material holding chuck means includes a chuck plate on which a plate-shaped material to be cut is placed, and the surface of the chuck plate has tips of the inner blade and the outer blade. The cutting machine according to any one of claims 1 to 8, wherein at least two concentric annular grooves through which the respective parts can enter are formed.
形成されている少なくとも2個の略環状領域部は非通気
性であり、該チャック板の該外縁領域部及び該環状領域
部を除く他の部分は通気性であり、該チャック板の裏面
は真空源に選択的に連通せしめられる、特許請求の範囲
第9項記載の切断機。10. An outer edge region of the chuck plate and at least two substantially annular regions in which the annular groove is formed are impermeable, and the outer edge region and the annular region of the chuck plate are connected to each other. 10. The cutting machine according to claim 9, wherein the other portion except for the ventilation is permeable, and the back surface of the chuck plate is selectively communicated with a vacuum source.
持基台に装着される保持板を含み、該チャック板は該保
持板上に装着される、特許請求の範囲第10項記載の切断
機。11. The cutting according to claim 10, wherein each of the material holding chuck means includes a holding plate mounted on the support base, and the chuck plate is mounted on the holding plate. Machine.
該凹部から裏面まで延びる連通路とを含み、該チャック
板の裏面は該凹部及び該連通路を介して該真空源に選択
的に連通せしめられる、特許請求の範囲第11項記載の切
断機。12. The holding plate includes a recess formed in the front surface thereof and a communication passage extending from the recess to the back surface, and the back surface of the chuck plate is selectively connected to the vacuum source via the recess and the communication passage. The cutting machine according to claim 11, which is communicated with the cutting machine.
中央部に位置する内側凹部と該内側凹部から隔てられて
該内側凹部を囲む外側凹部とを有し、該連通路は該内側
凹部から延びる第1の連通路と該外側凹部から延びる第
2の連通路とを有し、該第2の連通路には開閉制御部材
が配設されている、特許請求の範囲第12項記載の切断
機。13. The recess formed on the surface of the holding plate,
A second recess extending from the inner recess and a second recess extending from the inner recess, the inner recess located at a central portion and an outer recess separated from the inner recess and surrounding the inner recess. 13. The cutting machine according to claim 12, further comprising a communication passage, and an opening / closing control member is provided in the second communication passage.
手段の1個に対向して位置する吸着位置と、破棄容器に
対向して位置する破棄位置と、収納手段に対向して位置
する収納位置とに選択的に位置付けられる吸着ヘッドを
含み、 該吸着ヘッドは、板状材料の該内側切断ラインよりも内
側の中央不要部を吸着するための第1の吸着具と、板状
材料の該内側切断ラインと該外側切断ラインとの間の製
品部を吸着するための第2の吸着具と、板状材料の該外
側切断ラインよりも外側の外側不要部を吸着するための
第3の吸着具とを有し、 該吸着位置においては、該第1,第2及び第3の吸着具が
真空源に連通され、該第1,第2及び第3の吸着具によっ
て板状材料の全体が該吸着ヘッドに吸着され、該破棄位
置においては、該第2の吸着具は該真空源に連通され続
けるが、該第1及び第3の吸着具は該真空源から切離さ
れ、板状材料の該中央不要部及び該外側不要部が該吸着
ヘッドから該破棄容器内に破棄され、該収納位置におい
ては、該第2の吸着具も該真空源から切離され、板状材
料の該製品部が該吸着ヘッドから該収納手段に送給され
る、特許請求の範囲第1項乃至第13項のいずれかに記載
の切断機。14. The material carrying-out means has a suction position which faces one of the material holding chuck means, a discarding position which faces the discarding container, and a storage which faces the storing means. And a suction head that is selectively positioned at a position, the suction head including a first suction tool for suctioning a central unnecessary portion of the plate-shaped material inside the inner cutting line, A second suction tool for sucking the product portion between the inner cutting line and the outer cutting line, and a third suction tool for sucking an unnecessary portion outside the outer cutting line of the plate-shaped material. At the suction position, the first, second and third suction tools are communicated with a vacuum source, and the whole plate-shaped material is made by the first, second and third suction tools. At the discarding position, the second suction tool is sucked by the suction head, and the second suction tool is the vacuum source. While continuing to communicate, the first and third suction tools are separated from the vacuum source, and the central unnecessary portion and the external unnecessary portion of the plate-shaped material are discarded from the suction head into the discard container, and At the storage position, the second suction tool is also disconnected from the vacuum source, and the product portion of the plate-shaped material is fed from the suction head to the storage means. The cutting machine according to any one of 13 items.
の吸着具は所定時間間隔だけ圧縮空気供給源に連通さ
れ、該収納位置においては、該第2の吸着源は所定時間
間隔だけ圧縮空気供給源に連通される、特許請求の範囲
第14項記載の切断機。15. The first and the third at the discarding position.
15. The suction device according to claim 14 is communicated with a compressed air supply source for a predetermined time interval, and at the storage position, the second suction source is communicated with a compressed air supply source for a predetermined time interval. Cutting machine.
らの半径方向位置が調節自在である、特許請求の範囲第
14項又は第15項記載の切断機。16. The position of the third suction tool in the radial direction from the center of the suction head is adjustable.
The cutting machine according to item 14 or 15.
断ラインに沿って切断するための切断機にして; 移動自在に装着された支持基台と、 該支持基台上に配設された少なくとも3個の材料保持チ
ャック手段と、 該支持基台を間けつ的に移動せしめて、該材料保持チャ
ック手段の各々を、順次に、該支持基台の移動方向に所
定間隔を置いて規定された第1の切断作業域と第2の切
断作業域との一方に位置付け、次いで該第1の切断作業
域と該第2の切断作業域との他方に位置付ける支持基台
間けつ移動手段と、 該材料保持チャック手段の各々が該切断作業域外にある
時に該材料保持チャック手段の各々に切断すべき材料を
搬入するための材料搬入手段と、 該第1の切断作業域において、該材料保持チャック手段
上に保持された材料を切断するための第1の切断ブレー
ド装置であって、該支持基台に対して接近乃至離隔する
方向に移動自在に且つ回転自在に装着された第1のブレ
ード、該第1のブレードを回転せしめるための第1のブ
レード回転手段、及び該第1のブレードを該支持基台に
対して接近乃至離隔する方向に移動せしめるための第1
のブレード移動手段、を含む第1の切断ブレード装置
と、 該第2の切断作業域において、該材料保持チャック手段
上に保持された材料を切断するための第2の切断ブレー
ド装置であって、該支持基台に対して接近乃至離隔する
方向に移動自在に且つ回転自在に装着された第2のブレ
ード、該第2のブレードを回転せしめるための第2のブ
レード回転手段、及び該第2のブレードを該支持基台に
対して接近乃至離隔する方向に移動せしめるための第2
のブレード移動手段、を含むところの第2の切断ブレー
ド装置と、 該材料保持チャック手段の各々が該切断作業域外にある
時に該材料保持チャック手段の各々から切断された材料
を搬送するための材料搬送手段と、 を具備し、該第1の切断ブレード装置と該第2の切断ブ
レード装置との一方が該内側切断ラインに沿って材料を
切断し、該第1の切断ブレード装置と該第2の切断ブレ
ード装置との他方が該外側ラインに沿って材料を切断す
る、 ことを特徴とする切断機。17. A cutting machine for cutting a plate-like material along concentric circular inner and outer cutting lines; a movably mounted support base, and a support base mounted on the support base. At least three material holding chuck means and the support base are moved intermittently, and each of the material holding chuck means is sequentially defined at a predetermined interval in the moving direction of the support base. A support base interlocking movement means positioned in one of the first cutting work area and the second cutting work area, and then positioned in the other of the first cutting work area and the second cutting work area. A material loading means for loading a material to be cut into each of the material holding chuck means when each of the material holding chuck means is outside the cutting work area, and the material holding means in the first cutting work area Cutting the material held on the chuck means A first cutting blade device for moving, the first blade being movably and rotatably mounted in a direction approaching or separating from the supporting base, and for rotating the first blade First blade rotating means, and a first blade rotating means for moving the first blade in a direction toward or away from the support base.
And a second cutting blade device for cutting the material held on the material holding chuck means in the second cutting work area. A second blade movably and rotatably mounted in a direction approaching or separating from the support base, a second blade rotating means for rotating the second blade, and the second blade. Second for moving the blade in a direction approaching or separating from the support base
A second cutting blade device including blade moving means, and material for conveying the cut material from each of the material holding chuck means when each of the material holding chuck means is outside the cutting work area. Conveying means, wherein one of the first cutting blade device and the second cutting blade device cuts the material along the inner cutting line, and the first cutting blade device and the second cutting blade device. A cutting machine, the other of which is for cutting the material along the outer line.
り、該支持基台間けつ移動手段は該支持基台を所定方向
に間けつ的に回転せしめる、特許請求の範囲第17項記載
の切断機。18. The support base according to claim 17, wherein the support base is rotatably mounted, and the support base gap moving means rotates the support base intermittently in a predetermined direction. Cutting machine.
搬入域、該第1の切断作業域、該第2の切断作業域、材
料搬出域及びチャック洗浄域が規定されており、該支持
基台には周方向に等間隔を置いて該材料保持チャック手
段が少なくとも5個装着されており、該材料保持チャッ
ク手段のうちの1個が該第1の切断作業域に位置付けら
れると、該第2の切断作業域、該材料搬出域、チャック
洗浄域、該材料搬入域の各々にも夫々該材料保持チャッ
ク手段のうちの1個が位置付けられ、該材料搬入手段は
該材料搬入域に位置している該材料保持チャック手段に
切断すべき材料を搬入し、該材料搬出手段は該材料搬出
域に位置している該材料保持チャック手段から切断され
た材料を搬出し、該チャック洗浄域には該材料保持チャ
ック手段を洗浄するための洗浄装置が配設されている、
特許請求の範囲第18項記載の切断機。19. A material carrying-in area, a first cutting working area, a second cutting working area, a material carrying-out area, and a chuck cleaning area are defined in order as viewed in the rotation direction of the support base. At least five material holding chuck means are mounted on the support base at equal intervals in the circumferential direction, and when one of the material holding chuck means is positioned in the first cutting work area. , One of the material holding chuck means is positioned in each of the second cutting work area, the material carry-out area, the chuck cleaning area, and the material carry-in area, and the material carry-in means is provided in the material carry-in area. The material to be cut is loaded into the material holding chuck means located at, and the material unloading means carries out the cut material from the material holding chuck means located in the material unloading area and cleans the chuck. Clean the material holding chuck means in the area Cleaning device for is provided,
The cutting machine according to claim 18.
すべき板状材料がその表面に載置されるチャック板を含
み、該チャック板の表面には、該第1のブレード及び該
第2のブレードの先端部が夫々進入することができる同
心状の少なくとも2個の環状溝が形成されている、特許
請求の範囲第17項乃至第19項のいずれかに記載の切断
機。20. Each of the material holding chuck means includes a chuck plate on which a plate-shaped material to be cut is placed, the surface of the chuck plate being provided with the first blade and the second blade. 20. A cutting machine according to any one of claims 17 to 19, wherein at least two concentric annular grooves into which the tip portions of the blades can enter are formed.
形成されている少なくとも2個の略環状領域部は非通気
性であり、該チャック板の該外縁領域部及び該環状領域
部を除く他の部分は通気性であり、該チャック板の裏面
は真空源に選択的に連通せしめられる、特許請求の範囲
第20項記載の切断機。21. An outer edge region of the chuck plate and at least two substantially annular regions in which the annular groove is formed are impermeable, and the outer edge region and the annular region of the chuck plate are connected to each other. 21. The cutting machine as set forth in claim 20, wherein the other portion except for the ventilation is permeable, and the back surface of the chuck plate is selectively communicated with a vacuum source.
持基台に装着される保持板を含み、該チャック板は該保
持板上に装着される、特許請求の範囲第21項記載の切断
機。22. The cutting according to claim 21, wherein each of the material holding chuck means includes a holding plate mounted on the support base, and the chuck plate is mounted on the holding plate. Machine.
該凹部から裏面まで延びる連通路とを含み、該チャック
板の裏面は該凹部及び該連通路を介して該真空源に選択
的に連通せしめられる、特許請求の範囲第22項記載の切
断機。23. The holding plate includes a recess formed on the surface thereof and a communication passage extending from the recess to the back surface, and the back surface of the chuck plate is selective to the vacuum source via the recess and the communication passage. The cutting machine according to claim 22, which is communicated with the cutting machine.
中央部に位置する内側凹部と該内側凹部から隔てられて
該内側凹部を囲む外側凹部とを有し、該連通路は該内側
凹部から延びる第1の連通路と該外側凹部から延びる第
2の連通路とを有し、該第2の連通路には開閉制御部材
が配設されている、特許請求の範囲第23項記載の切断
機。24. The recess formed in the surface of the holding plate,
A second recess extending from the inner recess and a second recess extending from the inner recess, the inner recess located at a central portion and an outer recess separated from the inner recess and surrounding the inner recess. 24. The cutting machine according to claim 23, further comprising a communication passage, and an opening / closing control member is provided in the second communication passage.
手段の1個に対向して位置する吸着位置と、破棄容器に
対向して位置する破棄位置と、収納手段に対向して位置
する収納位置とに選択的に位置付けられる吸着ヘッドを
含み、 該吸着ヘッドは、板状材料の該内側切断ラインよりも内
側の中央不要部を吸着するための第1の吸着具と、板状
材料の該内側切断ラインと該外側切断ラインとの間の製
品部を吸着するための第2の吸着具と、板状材料の該外
側切断ラインよりも外側の外側不要部を吸着するための
第3の吸着具とを有し、 該吸着位置においては、該第1,第2及び第3の吸着具が
真空源に連通され、該第1,第2及び第3の吸着具によっ
て板状材料の全体が該吸着ヘッドに吸着され、該破棄位
置においては、該第2の吸着具は該真空源に連通され続
けるが、該第1及び第3の吸着具は該真空源から切離さ
れ、板状材料の該中央不要部及び該外側不要部が該吸着
ヘッドから該破棄容器内に破棄され、該収納位置におい
ては、該第2の吸着具も該真空源から切離され、板状材
料の該製品部が該吸着ヘッドから該収納手段に送給され
る、特許請求の範囲第17項乃至第24項のいずれかに記載
の切断機。25. The material carrying-out means comprises a suction position facing one of the material holding chuck means, a discarding position facing the discarding container, and a storing position facing the storing means. And a suction head that is selectively positioned at a position, the suction head including a first suction tool for suctioning a central unnecessary portion of the plate-shaped material inside the inner cutting line, A second suction tool for sucking the product portion between the inner cutting line and the outer cutting line, and a third suction tool for sucking an unnecessary portion outside the outer cutting line of the plate-shaped material. At the suction position, the first, second and third suction tools are communicated with a vacuum source, and the whole plate-shaped material is made by the first, second and third suction tools. At the discarding position, the second suction tool is sucked by the suction head, and the second suction tool is the vacuum source. While continuing to communicate, the first and third suction tools are separated from the vacuum source, and the central unnecessary portion and the external unnecessary portion of the plate-shaped material are discarded from the suction head into the discard container, and The storage device according to claim 17, wherein the second suction tool is also disconnected from the vacuum source, and the product portion of the plate-shaped material is fed from the suction head to the storage means. The cutting machine according to any one of 24.
の吸着具は所定時間間隔だけ圧縮空気供給源に連通さ
れ、該収納位置においては、該第2の吸着源は所定時間
間隔だけ圧縮空気供給源に連通される、特許請求の範囲
第25項記載の切断機。26. In the discarding position, the first and the third
26. The suction device according to claim 25 is communicated with a compressed air supply source for a predetermined time interval, and at the storage position, the second suction source is communicated with a compressed air supply source for a predetermined time interval. Cutting machine.
らの半径方向位置が調節自在である、特許請求の範囲第
25項又は第26項記載の切断機。27. The third suction tool is adjustable in radial position from the center of the suction head.
The cutting machine according to item 25 or 26.
Applications Claiming Priority (2)
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Cited By (1)
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KR20160023101A (en) * | 2014-08-21 | 2016-03-03 | 송봉수 | CNC machine |
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1987
- 1987-06-02 JP JP13776187A patent/JP2540041B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160023101A (en) * | 2014-08-21 | 2016-03-03 | 송봉수 | CNC machine |
KR101665339B1 (en) * | 2014-08-21 | 2016-10-12 | 송봉수 | CNC machine |
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JPS63117921A (en) | 1988-05-21 |
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