JP2537300B2 - 圧力制御機構、これを利用したダイアフラム形のアイドル回転制御弁、圧力制御弁及び負圧サ―ボモ―タ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、例えばダイアフラムにより仕切られる可変
圧力室内等の圧力を可変制御するのに適した圧力制御機
構、これを利用したダイアフラム形のアイドル回転制御
弁、圧力制御弁及び負圧サーボモータに関する。

〔従来の技術〕

第12図に従来のこの種圧力制御機構をパイロット弁と
して組み込んだ内燃機関用アイドル回転制御弁を示す
（なお、この種のアイドル回転制御弁は、例えば特開昭
62−246672号公報に開示されている）。

第12図において、１はボディ２内に形成したアイドル
回転制御用の空気通路で、内部に計量弁３とその弁シー
ト４が内蔵される。空気通路１は、図示されないエンジ
ン吸気管の絞り弁をバイパスし、計量弁上流側1Aと計量
弁下流側1Bとに分けられる。空気通路１における計量弁
上流側1Aは、大気に通じて次に述べるダイアフラム５に
対し基準圧力室（ここでは大気圧状態、以下、計量弁上
流側を基準圧力室1Aと称する）としての役割をなす。

ダイアフラム５は、基準圧力室1Aに隣接して計量弁下
流側1Bとは反対側に配置され、一方に基準圧力室1Aが、
他方に可変圧力室1Cが位置するように仕切る。ダイアフ
ラム５は２枚のプレート6,7により挾まれ、プレート6,7
を介して中空シャフト８が貫通状態でダイアフラム５に
結合される。

中空シャフト８は、基準圧力室1Aを貫通して、一端が
可変圧力室1Cに、他端が計量弁下流側1Bに通じ、計量弁
下流側1Bの吸気負圧を内部通路8Aを通して可変圧力室1C
に導入するようしてある。プレート６には、可変圧力室
1Cの圧力を基準圧力室1A側に徐々に逃すためのオリフィ
ス6aが設けてある。

中空シャフト８の一端（可変圧力室1C側に通じる方）
8aは、オリフィスになっており、このオリフィスにより
可変圧力室1Cにエンジンの吸気負圧が適切にコントロー
ルして導入されるようにしてある。また、中空シャフト
８外周に前記計量弁３が固定配置される。

９は電磁ソレノイド機構で、可変圧力室1C側に設けた
プランジャ10と、ソレノイド11と、固定コア12と、戻し
ばね13a,13b（以下、13a,13bをまとめて13とする）、ヨ
ーク14等で構成され、ソレノイド11へ供給される電気量
に応じた磁気吸引力と戻しばね13の力との均衡によりプ
ランジャ10がスラスト方向に変位する。

すなわち、ソレノイド11の通電により固定コア12,プ
ランジャ10及びヨーク14が磁路を形成して、プランジャ
10は戻しばね13の力に抗して磁気吸引される。固定コア
12,ソレノイド11,ヨーク14はモールド15により一体形成
される。16はソレノイド11に電気信号を送るためのコネ
クタである。

プランジャ10は中空シャフト８と同一軸線上スラスト
方向に移動し、中空シャフト８の一端8aと対向する面
に、ゴム等の弾性部材よりなるシート17が固定配設され
る。

このような装置においては、アイドル運転時にソレノ
イド11を通電すると、プランジャ10が戻しばね13の力に
抗して固定コア12側（図の左方向）に変位し、シート17
と中空シャフト一端8aとが離れる。

そして、エンジンの吸気負圧が計量弁下流側1B,中空
シャフト８を介して可変圧力室1Cに導入される。この負
圧力がダイアフラム５に作用し、可変圧力室1Cと基準圧
力室1Aとの差圧により、図の左方向への力が生じ、この
力と引張ばね18の右方向への力がバランスする所に中空
シャフト８が位置し、ひいては計量弁３の開度が決定さ
れる。中空シャフト８が左方向に移動すると、再度シー
ト17に接しこの時可変圧力室1Cはオリフィス6aにより徐
々に大気が導入されて、基準圧力室1Aと可変圧力室1Cと
の差圧が小さくなり、ダイアフラム5,中空シャフト８ひ
いては計量弁３が若干右方向に移動する。そして、再び
シート17と中空シャフト８とが離れ可変圧力室1Cに吸気
負圧が導入され、ダイアフラム6,中空シャフト８及び計
量弁３が左方向に移動し、この動作を繰り返す。計量弁
３の開度は、ソレノイド11への電気供給量すなわちプラ
ンジャ８の変位量により決定される。

上記した装置においては、中空シャフト８の一端8aに
対するシート17の接・離動作により可変圧力室1Cの圧力
が制御され、中空シャフト8,シート17は、可変圧力室1C
に対する圧力制御機構をなす。そして、この圧力制御機
構は、パイロット弁機構としての役割をなし、電磁ソレ
ノイド機構９は軽量なシート17付きのプランジャを駆動
させるだけで、計量弁３を開度制御できるソレノイド11
の電気消費量を少なくできる利点がある。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、シート17と中空シャフト８とは、繰返しの接
・離動作を行うため、その接触時の衝突エネルギーがシ
ート17の経時的な摩耗を促進させる原因となる。また、
振動環境下でプランジャ10に高振動加速度が加わると、
プランジャ10が中空シャフト一端8aに衝突し、この衝突
エネルギーが大きいため、これもシート17の摩耗を早
め、この種のアイドル回転制御弁の特性劣化につながる
といった改善すべき点があった。

さらに、中空シャフト８やプランジャ10,シート17,戻
しばね13a等の部品精度や組立精度にばらつきが生じた
場合も、これが原因でシート17と中空シャフト８との接
触が必ずしも良好でなく、シート17に偏摩耗が生じた
り、計量精度の特性劣化をきたすおそれがあった。

本発明は以上の点に鑑みてなされたもので、その目的
とするところは、例えば上記のようにアイドル回転制御
弁その他各種機器に組み込まれる圧力制御機構に用いる
シートと中空シャフト（内部通路付きシャフト）の接・
離動作や衝突に起因するシートの摩耗及び特性劣化を防
止し、 或いは、上記目的に加えて圧力制御機構の部品精度，
組立精度にとらわれることなく、圧力制御機構ひいては
これを利用する各種機器のシート・中空シャフト間の接
・離動作を保証することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、上記目的を達成するために次のような課題
解決手段を提案する。

基本的な課題解決手段は、例えば各種機器に組み込ま
れる圧力制御機構に関するもので、その内容の理解を容
易にするため、第１図、第５図、第７図、第８図、第９
図の実施例の符号を引用してする。

まず、第１の課題解決手段（請求項１）は、第１図に
示すように（なお、第１図の実施例は、圧力制御機構を
アイドル回転制御弁に適用したもので、詳細は実施例の
項に説明してある）、ダイアフラム５により基準圧力室
1Aと可変圧力室1Cとを仕切り、ダイアフラム５には、可
変圧力室1Cに負圧或いは正圧を導くための内部通路8Aを
有するシャフト８を貫通結合し、このシャフト８の一端
と対向させてスラスト方向に移動可能に制御されるシー
ト17付き可動体10を戻しばね13で付勢しつつ配置し、こ
の可動体10の移動制御によりシート17・シャフト一端18
aとの接・離動作を行わせて、可変圧力室1Cの圧力を制
御する機構において、 前記シート17は、可動体10に緩衝用ばね20を介して可
動体10と相対移動が可能な状態で支持され、この緩衝用
ばね20の力を戻しばね13の力よりも充分に弱くして、こ
の緩衝用ばね20がシート17とシャフト一端8aとの衝突時
のエネルギーを吸収するよう設定してなる。

第２の課題解決手段（請求項２対応）は、第１図に示
すような、可変圧力室1Cに負圧或いは正圧を導く内部通
路8Aを有するシャフト８と、シャフト８の一端8aに対向
して配置されるシート17と、シート17とシャフト８とを
戻しばね13の力と均衡させてスラスト方向に相対的に変
位制御する移動手段９とを有し、この相対変位制御によ
り前記シート17・シャフト一端8a間を接・離動作させ
て、可変圧力室1C内の圧力を制御する機構において、第
１の課題解決手段に代わって、第５図に示すように、シ
ャフト８の一端8a′をシャフト本体８から分割して、こ
のシャフト一端8a′をシャフト本体８に対してスラスト
方向に相対移動可能に緩衝用ばね22を介して装着し、こ
の緩衝用ばね22の力を前記戻しばね13の力よりも充分に
弱くして、この緩衝用ばね22がシート17とシャフト一端
8a′との衝突時のエネルギーを吸収するよう設定してな
る。

第３の課題解決手段（請求項３対応）は、第1,第２の
課題解決手段に代えて、第９図に示すように、シート17
及びこれと対向するシャフト８−３の一端８−3aの少な
くとも一方を、スラスト方向及びラジアル方向に変位可
能な弾性フレキシブル部材55a（55b）により支持してな
る。

第４の課題解決手段（請求項４対応）は、第２の課題
解決手段の思想を第１の課題解決手段の如きダイヤフラ
ム形の制御機構に応用したものである。

すなわち、ダイアフラム５により基準圧力室1Aと可変
圧力室1Cとを仕切り、ダイアフラム５には、可変圧力室
1Cに負圧或いは正圧を導くための内部通路8Aを有するシ
ャフト８を貫通結合し、このシャフト８の一端と対向さ
せてスラスト方向に移動可能に制御されるシート17付き
可動体10を戻しばね13で付勢しつつ配置し、この可動体
10の移動制御によりシート17・シャフト一端18aとの接
・離動作を行わせて、可変圧力室1Cの圧力を制御する機
構において、 前記シャフト８の一端8a′をシャフト本体８と分割し
て、このシャフト一端8a′をシャフト本体８に対してス
ラスト方向に相対移動可能に緩衝用ばね22を介して装着
し、この緩衝用ばね22の力を戻しばね13の力よりも充分
に弱くして、この緩衝用ばね22がシート17とシャフト一
端8a′との衝突時のエネルギーを吸収するよう設定して
なる。

第５の課題解決手段（請求項５対応）は、上記第４の
課題解決手段同様の前提条件をなすダイアフラム形圧力
制御機構に、第３の課題解決手段における弾性フレキシ
ブル支持構造の思想を採用したものを提案する。

第６の課題解決手段（請求項６対応）は、ダイアフラ
ムそのものに圧力制御機構のシートを設けたものに係
り、 その内容とするところは、第７図（第７図に実施例
は、圧力制御弁に関する）に示すように、ダイアフラム
37により基準圧力室1Aと可変圧力室1Cとを仕切り、ダイ
アフラム37には、可変圧力室1Cに面する側にシート17を
設け、一方、内部に圧力導入通路（負圧或いは正圧導入
通路）８−1Aを有する管体８−１を一端をシート17と対
向させつつ可変圧力室1C内に導いて固定配置し、ダイア
フラム37を戻しばね35の力に抗してスラスト方向に移動
制御して、シート17と管体一端８−1aとを接・離させて
可変圧力室1Cの圧力を制御する機構において、 前記シート17は、ダイアフラム37に緩衝用ばね20を介
して該ダイアフラム37とスラスト方向に相対移動が可能
な状態で装着され、この緩衝用ばね37の力を戻しばね35
の力よりも充分に弱くして、この緩衝用ばね20がシート
17と管体８−１との衝突時のエネルギーを吸収するよう
設定してなる。

第７の課題解決手段（請求項９対応）は、第１の課題
解決手段の応用で、エンジンのアイドル回転制御弁に適
用したものである。すなわち、第１図に示すように、エ
ンジン吸気通路の絞り弁を迂回するバイパス通路１に計
量弁３を設け、バイパス通路１の計量弁上流側1Aを大気
室（基準圧力室）とし、この大気室1Aにダイアフラム５
を介して可変圧力室1Cを隣接させ、この可変圧力室1Cに
は、電磁ソレノイド機構９によりスラスト方向に移動制
御されるシート17付きプランジャ10を戻しばね13を介し
て配置し、一方、ダイアフラム５には、計量弁下流側1B
の吸気負圧を可変圧力室1Cに導く中空シャフト８を貫通
結合しつつ、この中空シャフト８に計量弁３を固定し、
この中空シャフト８の一端とプランジャ10のシート17を
プランジャ移動制御により接・離動作させて、可変圧力
室1Cの圧力制御ひいてはダイアフラム5,中空シャフト8,
計量弁３を作動制御するアイドル回転制御弁において、 シート17を、プランジャ10に緩衝用ばね20を介してプ
ランジャ10と相対移動が可能な状態で支持し、この緩衝
用ばね20の力を戻しばね13の力よりも充分に弱くして、
この緩衝用ばねがシート17と中空シャフト一端8aとの衝
突時のエネルギーを吸収するよう設定してなる。

第８の課題解決手段（請求項10対応）は、第７の課題
解決手段と同様の前提条件をなすアイドル回転制御弁
に、第４の課題解決手段のシャフト一端支持構造の思想
を採用してなる。

第９の課題解決手段（請求項11対応）は、第７の課題
解決手段と同様の前提条件をなすアイドル回転制御弁
に、第５の課題解決手段の弾性フレキシブル支持構造の
思想を採用してなる。

第10の課題解決手段（請求項12対応）は、第９図に示
す如き、エンジン吸気通路の絞り弁を迂回し計量弁３−
１を内蔵するバイパス通路１と、バイパス通路１の計量
弁上流側1Aとオリフィス56を介して通じる大気室1A′
と、バイパス通路１の計量弁下流側1Bとダイアフラム
５′を介して仕切られ且つ計量弁下流側1Bとダイアフラ
ム５′に設けたオリフィス6a′を介して通じる可変圧力
室1C′と、大気室1A′と可変圧力室1C′とをバイパス通
路１を貫通して連通させ且つダイアフラム５′に結合さ
れつつ計量弁３−１を固定して中空シャフト８−３と、
中空シャフト一端８−3aに対向してシート17を支持する
プランジャ52を電磁吸引力と戻しばね53の力との均衡に
より変位させる電磁ソレノイド機構50とを有し、このプ
ランジャ52の変位によりシート17・中空シャフト一端８
−3a間を接・離動作させて、可変圧力室1C′の圧力制御
ひいてはダイアフラム５′，中空シャフト８−3,計量弁
３−１を作動制御するアイドル回転制御弁において、 そのシート17の支持構造に、第１の課題解決手段の思
想を採用してなる。

第11の課題解決手段（請求項13対応）は、上記第10の
課題解決手段と同様の前提条件をなすアイドル回転制御
弁において、第2,第４の課題解決手段同様のシャフト一
端支持構造を採用してなる。

第12の課題解決手段（請求項14対応）は、上記第10課
題解決手段と同様の前提条件をなすアイドル回転制御弁
において、第3,第５課題解決手段の弾性フレキシブル構
造を採用してなる。

第13の課題解決手段（請求項15対応）は、第７図に示
すように、ダイアフラム37により基準圧力室1Aと可変圧
力室1Cとを仕切り、可変圧力室1Cには、大気に通じるオ
リフィス38と、負圧源に通じる負圧管路８−１と、制御
圧出力通路39とを配設し、且つ負圧管路８−１の一端８
−1aを可変圧力室1C内に導くと共に、この負圧管路一端
８−1aに対向させてダイアフラム37の一端にシート17を
設け、このシート付きダイアフラム37を電磁吸引力と戻
しばね35の力の均衡により変位制御することでシート17
・負圧管路一端８−1aを接・離動作させて、ひいては可
変圧力室1Cの圧力を制御する圧力制御弁において、 第６の課題解決手段と同様のシート支持構造を採用し
てなる。

第14の課題解決手段（請求項16対応）は、第８図に示
すように、第１のダイアフラム40により制御圧力導入42
Aと基準圧力室42Bとを、第２のダイアフラム41により基
準圧力室42Bと可変圧力室42Cとを仕切り形成し、制御圧
力導入室42Aには制御圧力を、基準圧力室42Bには大気
を、可変圧力室42Cにはバキューム源からの負圧及び第
２のダイアフラム41に貫通結合した内部通路８−2A付き
シャフト８−２を介して大気を導入可能とし、且つ、第
１のダイアフラム40には、基準圧力室42B側に面しつつ
シャフト一端８−2aと対向してシート17を配設し、制御
圧力導入室42Aに導入される制御圧力により第１のダイ
アフラム40の作動，シート17・シャフト８−２間の接・
離動作，第２ダイアフラム41及びシャフト８−２を連動
させる負圧サーボモータにおいて、 シート17は、第１のダイアフラム40に緩衝用ばね20を
介して第１のダイアフラム40とスラスト方向に相対移動
が可能な状態で装着され、この緩衝用ばね20の力を第１
のダイアフラム40にかかる戻しばね43の力よりも充分に
弱くして、この緩衝用ばね20がシート17とシャフト一端
８−2aとの衝突時のエネルギーを吸収するよう設定して
なる。

第15の課題解決手段（請求項17対応）は、第14の課題
解決手段と同様の前提条件のサーボモータにおいて、第
2,第４課題解決手段の如きシャフト一端支持構造を採用
してなる。

〔作用〕

第１の課題解決手段の作用…第１図に示すように可変
圧力室1Cは、圧力導入通路8A付きシャフト８の一端8aに
対しシート17が接・離動作することで、圧力が制御され
る。この場合、シート17とシャフト一端8aとに生じる、
接・離動作時の衝撃は、緩衝用ばね20の力を戻しばね13
よりも充分に弱くしてあるので、緩衝用ばね20によって
吸収される。

また、可動体（プランジャ）10等の振動環境下におけ
る高振動加速度がシート装着部Ｓ等に加わってシート17
がシャフト８の一端8aに衝突した場合も、この衝突エネ
ルギーが緩衝用ばね20により吸収される。

第２の課題解決手段の作用…本課題解決手段では、シ
ート17とシャフト８との接・離動作或いは外部振動に起
因して生じる衝突エネルギーを、第５図に示すようにシ
ャフト８の一端8a′による可動動作を介して緩衝用ばね
22により吸収される。

第３の課題解決手段の作用…本課題解決手段では、第
９図に示すようにシート17とシャフト８との接・離動作
或いは外部振動に起因して生じる衝突のエネルギー等
を、シート17を支持する弾性フレキシブル部材55a及び
シャフト一端８−3aを支持する弾性フレキシブル部材55
bの少なくともいずれか一方で吸収する。

また、弾性フレキシブル55a,55bは、ラジアル方向と
スラスト方向に変位可能であるので、この種圧力制御機
構の部品精度，組立精度にばらつきが生じても、その精
度誤差をフレキシブル弾性部材55a,55b等の変位により
吸収して、シート17とシャフト８−３とのスムーズな接
・離動作を保証する。

なお、第４の課題解決手段〜第15の課題解決手段のシ
ート17とシャフト８（８−1,8−２等）の衝突エネルギ
ー吸収動作は、第１〜第３の課題解決手段のいずれかと
共通するので、説明を省略する。また、その機器の全体
の動作については、実施例にて詳述してある。

〔実施例〕

本発明の実施例を図面に基づき説明する。

第１図は、本発明の第１実施例を示すアイドル回転制
御弁の縦断面図である。

本実施例のアイドル回転制御弁は、第12図に示した従
来のアイドル回転制御弁と基本的な動作原理は同様であ
り、第１図の符号のうち第12図と同一符号は同一或いは
共通する要素を示し、ここでは、改良した所を重点にお
いて説明する。

本実施例においては、プランジャ10のうち、中空シャ
フト８の一端（オリフィス）8aと対向する位置に、緩衝
用ばね20及びシートホルダ19を介してシート17をプラン
ジャ10に対しスラスト方向に相対移動可能に取付けてあ
る。

第２図にシート17の取り付け構造の詳細を示す。すな
わち、プランジャ10には、その一端にシート装着部とな
る凹部Ｓが形成され、その凹部Ｓに緩衝用ばね（実施例
ではコイルばねを使用）20を介して筒形のシートホルダ
19が組み込まれ、また凹部Ｓ内周にストッパ21を固定す
ることにより、定常時においてはシートホルダ19がスト
ッパ21に係合して位置規制がなされている。シート17は
ゴム等の弾性部材で構成され、シートホルダ19の一面に
接着される。

緩衝用ばね20は、戻しばね13の力に較べて充分に弱く
してある。

このようなシート17の取り付け構造によれば、次のよ
うな動作がなされる。

第３図は、プランジャ10が振動によりスラスト方向に
運動した時の動作説明図であり、同図（ａ）はプランジ
ャ10と中空シャフト８が離れている時で、振動の加わっ
ていない定常状態である。

第３図（ｂ）は、プランジャ10に振動が加わってプラ
ンジャ10がシャフト８の一端に衝突した瞬間、同図
（ｃ）は衝突した後の状態である。

プランジャ８がシャフト８と離れている時は、緩衝用
ばね20によってシート17は組立状態のままホールドされ
ている。

第３図（ｂ）に示すように、プランジャ10が振動によ
り図の右方向にある速度をもって移動し、シート17が中
空シャフト８の一端に衝突すると、第３図（ｃ）に示す
ように、プランジャ10はそのまま右方へ運動し続ける
が、シート17は緩衝用ばね20に打ち勝ってプランジャ10
内部に逃げることができる。この時、シート17に加わる
衝突エネルギーは、シート17自身の重量，緩衝用ばね20
の力及び衝突速度に依存される。

しかし、従来がプランジャ10の慣性重量による運動エ
ネルギーが直接シート17に作用したのに較べ、本実施例
においては、シート17の重量は極めて小さく、またばね
力も微小なため、衝突エネルギーは極小である。

また、可変圧力室1Cの圧力を制御するために行われる
シート17とシャフト８の一端8aとの接・離動作による衝
撃も緩衝用ばね20により吸収される。

従って、本実施例によればシート17とシャフト８との
衝突により発生する衝突エネルギーを小さくして、シー
ト17の経時的な摩耗を防止し、ダイアフラムにかかる圧
力制御ひいてはアイドル回転制御の計量精度の特性劣化
を防止することできる。

第４図〜第６図は、上記実施例の変形例を示すもの
で、それぞれプランジャ10がスラスト方向に運動して、
シート17と中空シャフト８とが衝突した場合の状態が示
してある。

第４図の実施例では、弾性薄板（例えば板ばね鋼）に
よりシートホルダ20−１を構成し、このシートホルダ20
−１のばねの力を記述の戻しばね13よりも小さくして、
シートホルダ20−１を緩衝用ばねとして兼用させてい
る。すなわち、このシートホルダ20−１にゴムのシート
17を焼付け固定し、これがストッパ21′に押えられてプ
ランジャ10の凹部Ｓに組み込まれている。

本実施例では、プランジャ10が図に右方向に運動し、
シート17がシャフト８の一端に衝突した後は、シートホ
ルダ（緩衝用ばね）20−１がばね効果により、プランジ
ャ10内部に逃げる形となり、プランジャ10はそのまま運
動し続ける。シートホルダ20−１は非常に弱いばね力の
ため、前記衝突によるエネルギーを吸収し、非常に小さ
くすることができる。

本実施例では、シートホルダ20−１自身が緩衝ばね機
構を兼ねるので、部品点数を削減できるメリットがあ
る。

第５図の実施例は、今までの従来と異なって、シート
17はプランジャ10に固定し、一方、中空シャフト８側の
一端8a′を緩衝用ばね22を介して中空シャフト８の本体
にスラスト方向に移動可能に組み込んだ例である。すな
わち、シャフト一端8a′は、可動オリフィスを構成し、
このシャフト一端8a′にばね力を付勢するようにして緩
衝用ばね22が中空シャフト８の内部一端に内装される。

本実施例では、プランジャ10が図の右方に運動し、中
空シャフト８に衝突した後は、シャフト一端8a′が緩衝
用ばね22に打ち勝って中空シャフト８内部に逃げる形と
なり、プランジャ10はそのまま運動し続ける。緩衝用ば
ね22のばね力はシャフト一端8a′を保持するためだけで
良く非常に小さくできる。従って、本実施例の場合も、
シート17と中空シャフト８一端の衝突エネルギーを緩衝
用ばね22により吸収し、シート17等の摩耗を防止するこ
とができる。

第６図の実施例は、第１図のシートホルダ19に類した
筒形部品をシート19−１として、一方、ゴム部材17′を
中空シャフト８の一端に直接焼付け固定して、可動シー
トとしたものである。一方のシート19−１は、プランジ
ャ10に緩衝用ばね20を介して組み込まれている。他方の
シートとなるゴム部材17′の中央には、オリフィスが形
成される。

本実施例では、緩衝用ばね20がシート19−１と中空シ
ャフト一端8a′との衝突エネルギーを吸収し、可動シー
ト17′等の摩耗を防止する。

第７図は、本発明を圧力制御弁に適用した例である。

本実施例では、ダイアフラム37におり基準圧力室1Aと
可変圧力室1Cとを仕切る。ダイアフラム37は、ロッド33
を介して電磁ソレノイド機構30のプランジャ32と連結さ
れる。

電磁ソレノイド機構30は、ソレノイド31、プランジャ
32、ロッド33、固定コア34、戻しばね35,36等で構成さ
れる。

可変圧力室1Cは、オリフィス38により大気と通じ、管
体８−１の内部通路８−1Aにより負圧源（バキュームタ
ンク）と通じ、また制御圧力を出力する管体39が設けて
ある。管体８−１は、可変圧力室1C内に導かれて固定配
置される。

またダイアフラム37のうち可変圧力室1Cに面する側に
は、管体８−１の一端８−1aに対向してシート17が配設
される。シート17は、戻しばね35,36よりばね力を充分
に弱くした緩衝用ばね36を介してシートホルダー19に固
着される。

本実施例の圧力制御弁は、ソレノイド31のオン，オフ
を周期的に繰り返すことにより、プランジャ32に働く磁
気吸引力と戻しばね35,36の力によりロッド33及びダイ
アフラム37がスラスト方向に往復動作し、これによりシ
ート17が管体８−１の一端と接・離動作する。そして、
電磁ソレノイドに印加する電気信号のデューティを変え
ることで、シート17と管体８−１との接・離動作期間が
変化し、これにより可変圧力室1C内の負圧導入量が変わ
って可変圧力室1C内の圧力が可変制御される。そして、
この可変圧力室1C内の制御圧力が管体39を介して他の機
器（例えば後述の第８図のサーボモータ）に出力され
る。

しかして、本実施例においても、シート17が管体８−
１と接・離動作を行ったり、或いは振動環境下ではシー
ト17が管体８−１に衝突する事態が起こり得るが、これ
らの衝突エネルギーを緩衝用ばね20が吸収し、シート17
の摩耗を防止する。

第８図の実施例は、本発明を負圧サーボモータに適用
した例である。

本実施例では、第１のダイアフラム40及び第２のダイ
アフラム41により、制御圧力導入室42A、大気室（基準
圧力室）42B、可変圧力室42Cとを仕切る。大気室42B
は、制御圧力導入室42Aと可変圧力室42Cとの間にあり、
第１のダイアフラム41は、制御圧力導入室42Aと大気室4
2Bとの間にあり、第２のダイアフラム41は、大気室42B
と可変圧力室42Cとの間にある。

大気室42Bは、オリフィス46を介して大気に通じ、制
御圧力導入室42Aは、管体47を介して制御圧力を導入
し、可変圧力室42Cは、管体48を介して駆動負圧を導入
するようにしてある。

第２のダイアフラム41には、出力シャフト８−２が可
変圧力室42C及び大気室42Bに貫通状態で結合される。出
力シャフト８−２の一端８−2aは、大気室42B内に導か
れ、この一端８−2a側には、内部通路８−2Aが形成され
る。

第１のダイアフラム40には、大気室42B側の面にシー
ト17がシャフト８−２の一端８−2aに対向しつつ、緩衝
用ばね20及びシートホルダ19を介して配設される。

このようなサーボモータにおいて、制御圧力導入室42
Aに圧力制御装置からの制御圧力（例えば制御負圧）が
入ると、この制御圧力が第１のダイアフラム（信号ダイ
アフラム）40に作用する力と戻しばね43の力の釣り合い
でシート17の力の位置が決まる。

この場合、シャフト８−２の一端８−2aとシート17と
が離れていると、可変圧力室42Cの負圧が大気に近づ
き、戻しばね44の力によりシャフト８−２はシート17に
近づき最終的に接触し、負圧の逃げがなくなる。これに
より可変圧力室42Cの負圧は回復し、シャフト８−２は
図の右方向に動く。この動作の繰返しにより、シャフト
８−２の位置制御がなされる。

しかして、本実施例においても、シート17とシャフト
８−２との接・離動作や振動環境下の衝突エネルギーを
緩衝用ばね20が吸収し、シート17等の摩耗を防止する。

第９図は、本発明をアイドル回転制御弁に適用した他
の実施例である。

第９図においても、第１図の実施例と同様に、エンジ
ン吸気通路の絞り弁を迂回するバイパス通路１に計量弁
３−１付き中空シャフト８−３を配置する。

バイパス通路１の計量弁上流側（大気室）1Aに隣接す
る位置には、オリフィス56を介して基準圧力室1A′が設
けられる。一方、計量弁下流側1Bに隣接して可変圧力室
1C′がダイアフラム５′により仕切り形成され、可変圧
力室1C′はオリフィス6a′を介して計量弁下流側1Bと通
じている。

計量弁付き中空シャフト８−３は、バイパス通路１の
計量弁上流側1A,1Bを横切ってダイアフラム５′に貫通
結合され、一端が基準圧力室1A′と、他端が可変圧力室
1C′に通じている。

可変圧力室1C′内には、計量弁３−１を閉じる方向に
付勢する戻しばね57が内蔵されている。

50は電磁ソレノイド機構で、ソレノイド51,プランジ
ャ52,戻しばね53,固定コア54等で構成される。プランジ
ャ52は、中空シャフト８−３と同一軸線上に配置され、
その一端にシート17が弾性フレキシブル部材55aを介し
て結合される。

シート17は、基準圧力室1A′内で中空シャフト８−３
の一端８−3aを対向し、この中空シャフト一端８−3aも
中空シャフト８−３の本体と弾性フレキシブル部材55b
を介して結合される構造としてある。弾性フレキシブル
部材55a,55bは、例えばゴム材で成形され、スラスト方
向及びラジアル方向に変位可能としてある。

かかる構造において、エンジンのアイドル運転時に、
決められた電流がソレノイド51に通電すると、その電流
に応じた値だけ、プランジャ52及び及びシート17が戻し
ばね53の力に抗して図の右側に変位し、この時計量弁３
−１付き中空シャフト８−３は、シート17に対して微妙
な間隙を保った位置に制御される。その原理について説
明する。

ソレノイド51が非通電状態でシート17と中空シャフト
一端８−3aとが離れているとき、吸入負圧室1Bの圧力と
可変圧力室1C′の圧力は、オリフィス6a′及びオリフィ
ス56で決まる値で圧力差を生じ、それは計量弁３−１を
閉じる方向に作用する。この時、大気室1Aと吸入負圧室
1Bとには、当然差圧が生じ、この差圧力が計量弁３−１
を開く方向に作用するが、ダイアフラム５′と戻しばね
57との力に勝てないため、計量弁３−１は閉じている。
しかるに、ソレノイド51を通電してシート17がプランジ
ャ52と共に右方向に動き、中空シャフト８−３の通路８
−3Aを閉じると、吸入負圧室1Bと可変圧力室1C′の圧力
は同じになるため、ダイアフラム５′によって計量弁３
−１を閉じようとする力はなくなり、計量弁３−１を閉
じる力は戻しばね57のみとなる。この時、大気室1Aと吸
入負圧室1Bの圧力差は、吸入負圧そのものとなり、その
力は戻しばね57に充分に打ち勝つ。その結果、計量弁３
−１は開き、空気が矢印方向に流れる。空気が流れる
と、計量弁３−１前後の差圧が小さくなり、戻しばね57
により中空シャフト８−３の一端８−3aはシート17に近
づき、シート17と中空シャフト８−３ひいては計量弁３
−１とその弁座２′とは、微妙な間隙を保ち、アイドル
回転の空気流量制御がなされる。

そして、本実施例においても、シート17と中空シャフ
ト８−３との接・離動作によって、及び振動環境下にお
いてシート17が中空シャフト８−３の一端に衝突する
が、これらの衝突エネルギーを弾性フレキシブル部材55
a及び55bが吸収し、シート17の経時的な摩耗を防止す
る。

また、弾性フレキシブル部材55a及び55bは、スラスト
方向及びラジアル方向に変位可能としてあるので、電磁
ソレノイド機構のプランジャ52や中空シャフト８−３等
の部品精度や組立精度に誤差があっても、シート17と中
空シャフト８−３が接触した時にこの誤差を吸収でき、
シート17と中空シャフト８−３との良好な接・離動作を
保証し、ひいてはアイドル計量精度の劣化を防止するこ
とができる。

第10図は、本実施例の弾性フレキシブル支持構造を採
用した空気流量特性（実線Ａで示すもの）と弾性フレキ
シブル支持構造を採用しない従来方式の空気流量特性
（一点鎖線Ｂで示すもの）とを比較した線図であり、本
実施例では、ソレノイド通電量に対する空気流量を従来
方式に較べより一層リニアな特性にすることができた。

第11図は、本実施例の弾性フレキシブル支持構造を採
用した可変圧力室1C′内の圧力特性（実線Ａで示すも
の）と弾性フレキシブル支持構造を採用しない従来方式
の可変圧力室1C′内の圧力特性（一点鎖線で示すもの）
とを比較した線図であり、本実施例では、ソレノイド通
電量に対する可変圧力室1C′内の圧力特性を従来方式に
較べより安定に保ち得る結果が得られた。

なお、本実施例では、シート17及び中空シャフト一端
８−3aの双方を各弾性フレキシブル部材55a,55bで支持
する構造を採用するが、これらのいずれか一方を弾性フ
レキシブル部材で支持してもよい。

〔発明の効果〕

以上のように、本発明によれば、シート及び内部通路
付きシャフト（管体）一端のいずれかを緩衝用ばねで支
持する構造にすることで、シートと中空シャフトの接・
離動作や衝突に伴うエネルギーを吸収してシート摩耗等
を有効に防止し、流体圧力制御の精度を良好に保持する
流体圧制御機構を提供することができる。

また、シート及びシャフト一端の少なくとも一つを弾
性フレキシブル支持構造とすることでも、上記同様の効
果を奏し、さらには、シート，これを可動させる部材，
中空シャフト等の部品精度，組立精度の誤差があっても
これを吸収し、より一層の流体圧力制御精度の向上を図
ることができる。

さらにこれらの流体圧力制御機構を、アイドル回転制
御弁、流体圧力制御弁、負圧サーボモータ等に応用した
場合には、これらの応用機器の空気流量制御，流体圧力
制御、サーボ制御の特性劣化を防止する効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の第１実施例を示す縦断面図、第２図
は、それに用いるシートの支持構造を示す断面図、第３
図は、上記実施例のシートと中空シャフト間の衝突エネ
ルギー吸収動作を示す説明図、第４図，第５図及び第６
図は、本発明の第２実施例，第３実施例及び第４実施例
におけるシートと中空シャフト間の衝突エネルギー吸収
動作を示す説明図、第７図は、本発明の第５実施例を示
す縦断面図、第８図は、本発明の第６実施例を示す縦断
面図、第９図は、本発明の第７実施例を示す縦断面図、
第10図は、第７実施例と従来のアイドル回転制御弁にお
ける空気流量特性を示す比較説明図、第11図は、第７実
施例と従来のアイドル回転制御における可変圧力室の圧
力特性を示す比較説明図、第12図は、従来のアイドル回
転制御弁の一例を示す縦断面図である。 １……バイパス通路、1A……大気室（基準圧力室，計量
弁上流側）、1B……吸入負圧室（計量弁下流側）、1C…
…可変圧力室、２……ボディ、３……計量弁、５……ダ
イアフラム、8,8−1,8−2,8−３……中空シャフト（内
部通路付きシャフト，管体）、8A,8−1A,8−2A,8−3A…
…内部通路、8a,8−1a,8−2a,8−3a……シャフト一端、
8a′……シャフト一端（可動オリフィス）、９……電磁
ソレノイド機構、10……プランジャ、11……ソレノイ
ド、12……固定コア、13（13a,13b）……戻しばね、17
……シート、19……シートホルダ、19−１……シート、
20…,20−1,22……緩衝用ばね、30……電磁ソレノイド
機構、32……プランジャ、35,36……戻しばね、40……
第１のダイアフラム、41……第２のダイアフラム、42A
……制御圧力導入室、42B……大気室（基準圧力室）、4
2C……可変圧力室、43,44……戻しばね、Ｓ……凹部
（シート装着位置）。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 江尻 裕城 茨城県勝田市大字高場2520番地 株式会 社日立製作所佐和工場内 (72)発明者 岡崎 勉 茨城県勝田市大字高場2520番地 株式会 社日立製作所佐和工場内 (72)発明者 前田 直宏 茨城県勝田市大字高場2520番地 株式会 社日立製作所佐和工場内 (72)発明者 狩野 公二 茨城県勝田市大字高場2520番地 株式会 社日立製作所佐和工場内 (72)発明者 新井田 千暁 茨城県勝田市大字高場字鹿島谷津2477番 地３ 日立オートモテイブエンジニアリ ング株式会社内 (72)発明者 本間 英樹 茨城県勝田市大字高場字鹿島谷津2477番 地３ 日立オートモテイブエンジニアリ ング株式会社内 (56)参考文献 実開 昭61−59975（ＪＰ，Ｕ)

Claims (17)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ダイアフラムにより基準圧力室と可変圧力
   室とを仕切り、前記ダイアフラムには、前記可変圧力室
   に負圧或いは正圧を導くための内部通路を有するシャフ
   トを貫通結合し、このシャフトの一端と対向させてスラ
   スト方向に移動可能に制御されるシート付き可動体を戻
   しばねで付勢しつつ配置し、この可動体の移動制御によ
   り前記シート・シャフト一端との接・離動作を行わせ
   て、前記可変圧力室の圧力を制御する機構において、 前記シートは、前記可動体に緩衝用ばねを介して該可動
   体と相対移動が可能な状態で支持され、この緩衝用ばね
   の力を前記戻しばねの力よりも充分に弱くして、この緩
   衝用ばねが前記シートと前記シャフト一端との衝突時の
   エネルギーを吸収するよう設定してなることを特徴とす
   る圧力制御機構。
2. 【請求項２】可変圧力室に負圧或いは正圧を導く内部通
   路を有するシャフトと、前記シャフトの一端に対向して
   配置されるシートと、前記シートと前記シャフトとの戻
   しばねの力と均衡させてスラスト方向に相対的に変位制
   御する移動手段とを有し、この相対変位制御により前記
   シート・シャフト一端間を接・離動作させて、前記可変
   圧力室内の圧力を制御する機構において、 前記シャフトの一端をシャフト本体と分割して、このシ
   ャフト一端を前記シャフト本体に対してスラスト方向に
   相対移動可能に緩衝用ばねを介して装着し、この緩衝用
   ばねの力を前記戻しばねの力よりも充分に弱くして、こ
   の緩衝用ばねが前記シートと前記シャフト一端との衝突
   時のエネルギーを吸収するよう設定してなることを特徴
   とする圧力制御機構。
3. 【請求項３】可変圧力室に負圧或いは正圧を導く内部通
   路を有するシャフトと、前記シャフトの一端に対向して
   配置されるシートと、前記シートと前記シャフトとの戻
   しばねの力と均衡させてスラスト方向に相対的に変位制
   御する移動手段とを有し、この相対変位制御により前記
   シート・シャフト一端間を接・離動作させて、前記可変
   圧力室内の圧力を制御する機構において、 前記シート及びこれと対向する前記シャフト一端の少な
   くとも一方を、スラスト方向及びラジアル方向に変位可
   能な弾性を有するフレキシブル部材により支持してなる
   ことを特徴とする圧力制御機構。
4. 【請求項４】ダイアフラムにより基準圧力室と可変圧力
   室とを仕切り、前記ダイアフラムには、前記可変圧力室
   に負圧或いは正圧を導くための内部通路を有するシャフ
   トを貫通結合し、このシャフトの一端と対向させてスラ
   スト方向に移動可能に制御されるシート付き可動体を戻
   しばねで付勢しつつ配置し、この可動体の移動制御によ
   り前記シート・シャフト一端との接・離動作を行わせ
   て、前記可変圧力室の圧力を制御する機構において、 前記シャフトの一端をシャフト本体と分割して、このシ
   ャフト一端を前記シャフト本体に対してスラスト方向に
   相対移動可能に緩衝用ばねを介して装着し、この緩衝用
   ばねの力を前記戻しばねの力よりも充分に弱くして、こ
   の緩衝用ばねが前記シートと前記シャフト一端との衝突
   時のエネルギーを吸収するよう設定してなることを特徴
   とする圧力制御機構。
5. 【請求項５】ダイアフラムにより基準圧力室と可変圧力
   室とを仕切り、前記ダイアフラムには、前記可変圧力室
   に負圧或いは正圧を導くための内部通路を有するシャフ
   トを貫通結合し、このシャフトの一端と対向させてスラ
   スト方向に移動可能に制御されるシート付き可動体を配
   置し、この可動体の移動制御により前記シート・シャフ
   ト一端との接・離動作を行わせて前記可変圧力室の圧力
   を制御する機構において、 前記シート及びこれと対向する前記シャフト一端の少な
   くとも一方を、スラスト方向及びラジアル方向に変位可
   能な弾性を有するフレキシブル部材により支持してなる
   ことを特徴とする圧力制御機構。
6. 【請求項６】ダイアフラムにより基準圧力室と可変圧力
   室とを仕切り、前記ダイアフラムには、前記可変圧力室
   に面する側にシートを設け、一方、内部に負圧或いは正
   圧導入通通路を有する管体を一端を前記シートと対向さ
   せつつ前記可変圧力室内に導いて固定配置し、前記ダイ
   アフラムを戻しばねの力に抗してスラスト方向に移動制
   御して、前記シートと前記管体一端とを接・離させて前
   記可変圧力室の圧力を制御する機構において、 前記シートは、前記ダイアフラムに緩衝用ばねを介して
   該ダイアフラムとスラスト方向に相対移動が可能な状態
   で装着され、この緩衝用ばねの力を前記戻しばねの力よ
   りも充分に弱くして、この緩衝用ばねが前記シートと前
   記管体との衝突時のエネルギーを吸収するよう設定して
   なることを特徴とする圧力制御機構。
7. 【請求項７】第１請求項又は第６請求項において、前記
   緩衝用ばねは、板ばねよりなり、この板ばねに前記シー
   トが一体に焼付け固定されている圧力制御機構。
8. 【請求項８】第３請求項又は第５請求項において、前記
   弾性を有するフレキシブル部材は、ゴム材で構成される
   圧力制御機構。
9. 【請求項９】エンジン吸気通路の絞り弁を迂回するバイ
   パス通路に計量弁を設け、前記バイパス通路の計量弁上
   流側を大気室とし、この大気室にダイアフラムを介して
   可変圧力室を隣接させ、この可変圧力室には、電磁ソレ
   ノイド機構によりスラスト方向に移動制御されるシート
   付きプランジャを戻しばねを介して配置し、一方、前記
   ダイアフラムには、計量弁下流側の吸気負圧を前記可変
   圧力室に導く中空シャフトを貫通結合しつつ、この中空
   シャフトに前記計量弁を固定し、この中空シャフトの一
   端と前記プランジャのシートをプランジャ移動制御によ
   り接・離動作させて、前記可変圧力室の圧力制御ひいて
   は前記ダイアフラム，中空シャフト，計量弁を作動制御
   するアイドル回転制御弁において、 前記シートは、前記プランジャに緩衝用ばねを介して該
   プランジャと相対移動が可能な状態で支持され、この緩
   衝用ばねの力を前記戻しばねの力よりも充分に弱くし
   て、この緩衝用ばねが前記シートと前記中空シャフト一
   端との衝突時のエネルギーを吸収するよう設定してなる
   ことを特徴とするアイドル回転制御弁。
10. 【請求項１０】エンジン吸気通路の絞り弁を迂回するバ
    イパス通路に計量弁を設け、前記バイパス通路の計量弁
    上流側を大気室とし、この大気室にダイアフラムを介し
    て可変圧力室を隣接させ、この可変圧力室には、電磁ソ
    レノイド機構によりスラスト方向に移動制御されるシー
    ト付きプランジャを戻しばねを介して配置し、一方、前
    記ダイアフラムには、前記計量弁下流側の吸気負圧を前
    記可変圧力室に導く中空シャフトを貫通結合しつつ、こ
    の中空シャフトに前記計量弁を固定し、この中空シャフ
    ト一端と前記プランジャのシートをプランジャ移動制御
    により接・離動作させて、前記可変圧力室の圧力制御ひ
    いては前記ダイアフラム，中空シャフト，計量弁を作動
    制御するアイドル回転制御弁において、前記中空シャフ
    トの一端をシャフト本体と分割して、このシャフト一端
    を前記シャフト本体に対してスラスト方向に相対移動可
    能に緩衝用ばねを介して装着し、この緩衝用ばねの力を
    前記戻しばねの力よりも充分に弱くして、この緩衝用ば
    ねが前記シートと前記中空シャフトの一端との衝突時の
    エネルギーを吸収するよう設定してなることを特徴とす
    るアイドル回転制御弁。
11. 【請求項１１】エンジン吸気通路の絞り弁を迂回するバ
    イパス通路に計量弁を設け、前記バイパス通路の計量弁
    上流側を大気室とし、この大気室にダイアフラムを介し
    て可変圧力室を隣接させ、この可変圧力室には、電磁ソ
    レノイド機構によりスラスト方向に移動制御されるシー
    ト付きプランジャを戻しばねを介して配置し、一方、前
    記ダイアフラムには、前記計量弁下流側の吸気負圧を前
    記可変圧力室に導く中空シャフトを貫通結合しつつ、こ
    の中空シャフトに前記計量弁を固定し、この中空シャフ
    ト一端と前記プランジャのシートをプランジャ移動制御
    により接・離動作させて、前記可変圧力室の圧力制御ひ
    いては前記ダイアフラム，中空シャフト，計量弁を作動
    制御するアイドル回転制御弁において、 前記シート及びこれと対向する前記中空シャフト一端の
    少なくとも一方を、スラスト方向及びラジアル方向に変
    位可能な弾性を有するフレキシブル部材により支持して
    なることを特徴とするアイドル回転制御弁。
12. 【請求項１２】エンジン吸気通路の絞り弁を迂回し計量
    弁を内蔵するバイパス通路と、前記バイパス通路の計量
    弁上流側とオリフィスを介して通じる大気室と、前記バ
    イパス通路の計量弁下流側とダイアフラムを介して仕切
    られ且つ計量弁下流側と前記ダイアフラムに設けたオリ
    フィスを介して通じる可変圧力室と、前記大気室と前記
    可変圧力室とを前記バイパス通路を貫通して連通させ且
    つ前記ダイアフラムに結合されつつ前記計量弁を固定し
    て中空シャフトと、前記中空シャフト一端と対向してシ
    ートを支持するプランジャを電磁吸引力と戻しばねの力
    との均衡により変位させる電磁ソレノイド機構とを有
    し、このプランジャの変位により前記シート・中空シャ
    フト一端間を接・離動作させて、前記可変圧力室の圧力
    制御ひいては前記ダイアフラム，中空シャフト、計量弁
    を作動制御するアイドル回転制御弁において、 前記シートは、前記プランジャに緩衝用ばねを介して該
    プランジャと相対移動が可能な状態で支持され、この緩
    衝用ばねの力を前記戻しばねの力よりも充分に弱くし
    て、この緩衝用ばねが前記シートと前記中空シャフト一
    端との衝突時のエネルギーを吸収するよう設定してなる
    ことを特徴とするアイドル回転制御弁。
13. 【請求項１３】エンジン吸気通路の絞り弁を迂回し計量
    弁を内蔵するバイパス通路と、前記バイパス通路の計量
    弁上流側とオリフィスを介して通じる大気室と、前記バ
    イパス通路の計量弁下流側とダイアフラムを介して仕切
    られ且つ計量弁下流側と前記ダイアフラムに設けたオリ
    フィスを介して通じる可変圧力室と、前記大気室と前記
    可変圧力室とを前記バイパス通路を貫通して連通させ且
    つ前記ダイアフラムに結合されつつ前記計量弁を固定し
    て中空シャフトと、前記中空シャフト一端と対向してシ
    ートを支持するプランジャを電磁吸引力と戻しばねの力
    との均衡により変位させる電磁ソレノイド機構とを有
    し、このプランジャの変位により前記シート・中空シャ
    フト一端とを接・離動作させて、前記可変圧力室の圧力
    制御ひいては前記ダイアフラム，中空シャフト、計量弁
    を作動制御するアイドル回転制御弁において、 前記中空シャフトの一端をシャフト本体と分割して、こ
    のシャフト一端を前記シャフト本体に対してスラスト方
    向に相対移動可能に緩衝用ばねを介して装着し、この緩
    衝用ばねの力を前記戻しばねの力よりも充分に弱くし
    て、この緩衝用ばねが前記シートと前記中空シャフトの
    一端との衝突時のエネルギーを吸収するよう設定してな
    ることを特徴とするアイドル回転制御弁。
14. 【請求項１４】エンジン吸気通路の絞り弁を迂回し計量
    弁を内蔵するバイパス通路と、前記バイパス通路の計量
    弁上流側とオリフィスを介して通じる大気室と、前記バ
    イパス通路の計量弁下流側とダイアフラムを介して仕切
    られ且つ計量弁下流側と前記ダイアフラムに設けたオリ
    フィスを介して通ずる可変圧力室と、前記大気室と前記
    可変圧力室とを前記バイパス通路を貫通して連通させ且
    つ前記ダイアフラムに結合されつつ前記計量弁を固定し
    た中空シャフトと、前記中空シャフト一端と対向してシ
    ートを支持するプランジャを電磁吸引力と戻しばねの力
    との均衡により変位させる電磁ソレノイド機構とを有
    し、このプランジャの変位により前記シート・中空シャ
    フト一端とを接・離動作させて、前記可変圧力室の圧力
    制御ひいては前記ダイヤフラム，中空シャフト、計量弁
    を作動制御するアイドル回転制御弁において、 前記シート及びこれと対向する前記中空シャフト一端の
    少なくとも一方の、スラスト方向及びラジアル方向に変
    位可能な弾性を有するフレキシブル部材により支持して
    なることを特徴とするアイドル回転制御弁。
15. 【請求項１５】ダイアフラムにより基準圧力室と可変圧
    力室とを仕切り、前記可変圧力室には、大気に通じるオ
    リフィスと、負圧源に通じる負圧管路と、制御圧出力通
    路とを配設し、且つ前記負圧管路の一端を前記可変圧力
    室内に導くと共に、この負圧管路一端に対向させて前記
    ダイアフラムの一面にシートを設け、このシート付きダ
    イアフラムを電磁吸引力と戻しばねの力の均衡により変
    位制御することで前記シート・負圧管路一端を接・離動
    作させ、ひいては前記可変圧力室の圧力を制御する圧力
    制御弁において、 前記シートは、前記ダイアフラムに緩衝用ばねを介して
    該ダイアフラムとスラスト方向に相対移動が可能な状態
    で装着され、この緩衝用ばねの力を前記戻しばねの力よ
    りも充分に弱くして、この緩衝用ばねが前記シートと前
    記負圧管路との衝突時のエネルギーを吸収するよう設定
    してなることを特徴とする圧力制御弁。
16. 【請求項１６】第１のダイアフラムにより制御圧力導入
    室と基準圧力室とを、第２のダイアフラムにより前記基
    準圧力室と可変圧力室とを仕切り形成し、前記制御圧力
    導入室には制御圧力を、前記基準圧力室には大気を、前
    記可変圧力室にはバキューム源からの負圧及び前記第２
    のダイアフラムに貫通結合した内部通路付きシャフトを
    介して大気を導入可能とし、且つ、前記第１のダイアフ
    ラムには、前記可変圧力室側に面しつつ前記シャフト一
    端と対向してシートを配設し、前記制御圧力導入室に導
    入される制御圧力により前記第１のダイアフラムの作
    動，前記シート・シャフト間の接・離動作，前記第２ダ
    イアフラム及びシャフトを連動させる負圧サーボモータ
    において、 前記シートは、前記第１のダイアフラムに緩衝用ばねを
    介して該第１のダイアフラムとスラスト方向に相対移動
    が可能な状態で装着され、この緩衝用ばねの力を前記第
    １のダイアフラムにかかる戻しばねの力よりも充分に弱
    くして、この緩衝用ばねが前記シートと前記シャフト一
    端との衝突時のエネルギーを吸収するよう設定してなる
    ことを特徴とする負圧サーボモータ。
17. 【請求項１７】第１のダイアフラムにより制御圧力導入
    室と基準圧力室とを、第２のダイアフラムにより前記基
    準圧力室と可変圧力室とを仕切り形成し、前記制御圧力
    導入室には制御圧力を、前記基準圧力室には大気を、前
    記可変圧力室にはバキューム源からの負圧及び前記第２
    のダイアフラムに貫通結合した内部通路付きシャフトを
    介して大気を導入可能とし、且つ、前記第１のダイアフ
    ラムには、前記可変圧力室側に面しつつ前記シャフト一
    端と対向してシートを配設し、前記制御圧力導入室に導
    入される制御圧力により前記第１のダイアフラムの作
    動，前記シート・シャフト間の接・離動作，前記第２ダ
    イアフラム及びシャフトを連動させる負圧サーボモータ
    において、 前記中空シャフトの一端をシャフト本体と分割して、こ
    の中空シャフト一端を前記シャフト本体に対してスラス
    ト方向に相対移動可能に緩衝用ばねを介して装着し、こ
    の緩衝用ばねの力を前記第１のダイアフラムにかかる戻
    しばねの力よりも充分に弱くして、この緩衝用ばねが前
    記シートと前記中空シャフト一端との衝突時のエネルギ
    ーを吸収するよう設定してなることを特徴とする負圧サ
    ーボモータ。