JPH04109074A - 圧力制御機構、これを利用したダイアフラム形のアイドル回転制御弁、圧力制御弁及び負圧サーボモータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、例えばダイアフラムにより仕切られる可変圧
力室内等の圧力を可変制御するのに適した圧力制御機構
、これを利用したダイアフラム形のアイドル回転制御弁
、圧力制御弁及び負圧サーボモータに関する。

〔従来の技術〕

第１２図に従来のこの種圧力制御機構をパイロット弁と
して組み込んだ内燃機関用アイドル回転制御弁を示す（
なお、この種のアイドル回転制御弁は、例えば特開昭６
２−２４６６７２号公報に開示されている）。

第１２図において、ｌはボディ２内に形成したアイドル
回転制御用の空気通路で、内部に計量弁３とその弁シー
ト４が内蔵される。空気通路１は、図示されないエンジ
ン吸気管の絞り弁をバイパスし、計量弁上流側ＩＡと計
量弁下流側ＩＢとに分けられる。空気通路１における計
量弁上流側ＩＡは、大気に通じて次に述べるダイアフラ
ム５に対し基準圧力室（ここでは大気圧状態、以下、計
量弁上流側を基準圧力室ＩＡと称する）としての役割を
なす。

ダイアフラム５は、基準圧力室ＩＡに隣接して計量弁下
流側ＩＢとは反対側に配置され、一方に基準圧力室ＩＡ
が、他方に可変圧力室ｌＣが位置するように仕切る。ダ
イアフラム５は２枚のプレート６．７により挟まれ、プ
レート６．７を介して中空シャフト８が貫通状態でダイ
アフラム５に結合される。

中空シャフト８は、基準圧力室ＩＡを貫通して、一端が
可変圧力室ＩＣに、他端が計量弁下流側ｌＢに通じ、計
量弁下流側ＩＢの吸気負圧を内部通路８Ａを通して可変
圧力室ＩＣに導入するようしである。プレート６には、
可変圧力室ＩＣの圧力を基準圧力室ＩＡ側に徐々に逃す
ためのオリフィス６ａが設けである。

中空シャフト８の一端（可変圧力室ＩＣ側に通じる方）
８ａは、オリフィスになっており、このオリフィスによ
り可変圧力室ＩＣにエンジンの吸気負圧が適切にコント
ロールして導入されるようにしである。また、中空シャ
フト８外周に前記計量弁３が固定配置される。

９は電磁ソレノイド機構で、可変圧力室ＩＣ側に設けた
プランジャ１０と、ソレノイド１１と、固定コア１２と
、戻しばね１３ａ、１３ｂ　（以下、１３ａ、１３ｂを
まとめて１３とする）、ヨーク１４等で構成され、ソレ
ノイド１１へ供給される電気量に応じた磁気吸引力と戻
しばね１３の力との均衡によりプランジャ１０がスラス
ト方向に変位する。

すなわち、ソレノイド１１０通電により固定コア１２．
プランジャｌＯ及びヨーク１４が磁路を形成して、プラ
ンジャ１０は戻しばね１３の力に抗して磁気吸引される
。固定コア１２．ソレノイド１１．ヨーク１４はモール
ド１５により一体成形される。１６はソレノイド１１に
電気信号を送るためのコネクタである。

プランジャ１０は中空シャフト８と同一軸線上スラスト
方向に移動し、中空シャフト８の一端８ａと対向する面
に、ゴム等の弾性部材よりなるシート１７が固定配設さ
れる。

このような装置においては、アイドル運転時にソレノイ
ド１１を通電すると、プランジャｌＯが戻しばね１３の
力に抗して固定コア１２側（図の左方向）に変位し、シ
ート１７と中空シャフト−端８ａとが離れる。

そして、エンジンの吸気負圧が計量弁下流側ＩＢ、中空
シャフト８を介して可変圧力室ＩＣに導入される。この
負圧力がダイアフラム５に作用し、可変圧力室ＩＣと基
準圧力室ＩＡとの差圧により、図の左方向への力が生じ
、この力と引張ばね１８の右方向への力がバランスする
所に中空シャフト８が位置し、ひいては計量弁３の開度
が決定される。中空シャフト８が左方向に移動すると、
再度シート１７に接しこの時可変圧力室ＩＣはオリフィ
ス６ａにより徐々に大気が導入されて、基準圧力室ＩＡ
と可変圧力室ＩＣとの差圧が小さくなり、ダイアフラム
５．中空シャフト８ひいては計量弁３が若干右方向に移
動する。そして、再びシート１７と中空シャフト８とが
離れ可変圧力室ＩＣに吸気負圧が導入され、ダイアフラ
ム６、中空シャフト８及び計量弁３が左方向に移動し、
この動作を繰り返す。計量弁３の開度は、ソレノイド１
１への電気供給量すなわちプランジャ８の変位量により
決定される。

上記した装置においては、中空シャフト８の一端８ａに
対するシート１７の接・離動作により可変圧力室ＩＣの
圧力が制御され、中空シャフト８゜シート１７は、可変
圧力室ＩＣに対する圧力制御機構をなす。そして、この
圧力制御機構は、パイロット弁機構としての役割をなし
、電磁ソレノイド機構９は軽量なシート１７付きのプラ
ンジャを駆動させるだけで、計量弁３を開度制御できソ
レノイド１１の電気消費量を少なくできる利点がある。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、シート１７と中空シャフト８とは、繰返しの接
・離動作を行うため、その接触時の衝突エネルギーがシ
ート１７の経時的な摩耗を促進させる原因となる。また
、振動環境下でプランジャｌＯに高振動加速度が加わる
と、プランジャ１０が中空シャフト一端８ａに衝突し、
この衝突エネルギーが大きいため、これもシート１７の
摩耗を早め、この種のアイドル回転制御弁の特性劣化に
つながるといった改善すべき点があった。

さらに、中空シャフト８やプランジャ１０．シート１７
．戻しばね１３ａ等の部品精度や組立精度にばらつきが
生じた場合も、これが原因でシート１７と中空シャフト
８との接触が必ずしも良好でなく、シート１７に偏摩耗
が生じたり、計量精度の特性劣化をきたすおそれがあっ
た。

本発明は以上の点に鑑みてなされたもので、その目的と
するところは、例えば上記のようにアイドル回転制御弁
その他各種機器に組み込まれる圧力制御機構に用いるシ
ートと中空シャフト（内部通路付きシャフト）の接・離
動作や衝突に起因するシートの摩耗及び特性劣化を防止
し、或いは、上記目的に加えて圧力制御機構の部品精度
９組立端度にとられれることなく、圧力制御機構ひいて
はこれを利用する各種機器のシート・中空シャフト間の
接・離動作を保証することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、上記目的を達成するために次のような課題解
決手段を提案する。

基本的な課題解決手段は、例えば各種機器に組み込まれ
る圧力制御機構に関するもので、その内容の理解を容易
にするため、第１図、第５図、第７図、第８図、第９図
の実施例の符号を引用してする。

まず、第１の課題解決手段（請求項１）は、第１図に示
すように（なお、第１図の実施例は、圧力制御機構をア
イドル回転制御弁に適用したもので、詳細は実施例の項
に説明しである）、可変圧力室ＩＣに圧力（負圧或いは
正圧）を導く内部通路８Ａを有するシャフト８と、シャ
フト８の一端８ａに対向して配置されるシート１７と、
シート１７とシャフト８とを戻しばね１３の力と均衡さ
せてスラスト方向に相対的に変位制御する移動手段９と
を有し、この相対変位制御により前記シート１７・シャ
フト一端８ａ間を接・離動作させて、可変圧力室ＩＣ内
の圧力を制御する機構において、前記シート１７は、シ
ート装着部Ｓに緩衝用ばね２０を介して支持され、この
緩衝用ばね２０の力を戻しばね１３の力よりも充分に弱
くして、この緩衝用ばね２０がシート１７とシャブド一
端８ａとの衝突時のエネルギーを吸収するよう設定して
なる。

第２の課題解決手段＜ｍ求項２対応）は、第１の課題解
決手段に代わって、第５図に示すように、シャフト８の
一端８ａ′をシャフト本体８から分割して、このシャフ
ト一端８ａ′をシャフト本体８に対してスラスト方向に
相対移動可能に緩衝用ばね２２を介して装着し、この緩
衝用ばね２２の力を前記戻しばね１３の力よりも充分に
弱くして、この緩衝用ばね２２がシート１７とシャフト
一端８、ａ′との衝突時のエネルギーを吸収するよう設
定してなる。

第３の課題解決手段（請求項３対応）は、第１゜第２の
課題解決手段に代えて、第９図に示すように、シート１
７及びこれと対向するシャフト８−３の一端８−３ａの
少なくとも一方を、スラスト方向及びラジアル方向に変
位可能な弾性フレキシブル部材５５ａ　（５５ｂ）によ
り支持してなる。

第４の課題解決手段（請求項４対応）は、第１の課題解
決手段の思想をダイヤフラム形の圧力制御機構に応用し
たもので、第１図に示すように、ダイアフラム５により
基準圧力室ＩＡと可変圧力室ｌＣとを仕切り、ダイアフ
ラム５には、可変圧力室ＩＣに圧力（負圧或いは正圧）
を導くための内部通路８Ａを有するシャフト８を貫通結
合し、このシャフト８の一端と対向させてスラスト方向
に移動可能に制御されるシート１７付き可動体１０を戻
しばね１３で付勢しつつ配置し、この可動体１０の移動
制御によりシート１７・シャフト−端８ａとの接・離動
作を行わせて、可変圧力室ＩＣの圧力を制御する機構に
おいて、 前記シート１７は、可動体１０に緩衝用ばね２０を介し
て可動体１０と相対移動が可能な状態で支持され、この
緩衝用ばね２０の力を戻しばね１３の力よりも充分に弱
くして、この緩衝用ばね２０がシート１７とシャフト一
端８ａとの衝突時のエネルギーを吸収するよう設定して
なる。

第５の課題解決手段（請求項５対応）は、上記第４の課
題解決手段同様の前提条件をなすダイアフラム形圧力制
御機構に、第２の課題解決手段におけるシャフト一端支
持構造の思想を採用したものを提案する。

第６の課題解決手段（請求項６対応）は、上記第４の課
題解決手段同様の前提条件をなすダイアフラム形圧力制
御機構に、第３の課題解決手段における弾性フレキシブ
ル支持構造の思想を採用したものを提案する。

第７の課題解決手段（請求項７対応）は、ダイアフラム
そのものに圧力制御機構のシートを設けたものに係り、 その内容とするところは、第７図（第７図に実施例は、
圧力制御弁に関する）に示すように、ダイアフラム３７
により基準圧力室ＩＡと可変圧力室ＩＣとを仕切り、ダ
イアフラム３７には、可変圧力室ｌＣに面する側にシー
ト１７を設け、一方、内部に圧力導入通路（負圧或いは
正圧導入通路）８−ＩＡを有する管体８−１を一端をシ
ート１７と対向させつつ可変圧力室ｌＣ内に導いて固定
配置し、ダイアフラム３７を戻しばね３５の力に抗して
スラスト方向に移動制御して、シート１７と管体一端８
−１ａとを接・離させて可変圧力室ＩＣの圧力を制御す
る機構において、 前記シート１７は、ダイアフラム３７に緩衝用ばね２０
を介して該ダイアフラム３７とスラスト方向に相対移動
が可能な状態で装着され、この緩衝用ばね３７の力を戻
しばね３５の力よりも充分に弱くして、この緩衝用ばね
２０がシート１７と管体８−１との衝突時のエネルギー
を吸収するよう設定してなる。

第８の課題解決手段（請求項１１対応）は、第４の課題
解決手段の応用で、エンジンのアイドル回転制御弁に適
用したものである。すなわち、第１図に示すように、エ
ンジン吸気通路の絞り弁を迂回するバイパス通路ｌに計
量弁３を設け、バイパス通路１の計量弁上流側ｌＡを大
気室（基準室）とし、この大気室ＩＡにダイアフラム５
を介して可変圧力室ＩＣを隣接させ、この可変圧力室Ｉ
Ｃには、電磁ソレノイド機構９によりスラスト方向に移
動制御されるシート１７付きプランジャ１０を戻しばね
１３を介して配置し、一方、ダイアフラム５には、計量
弁下流側ＩＢの吸気負圧を可変圧力室ＩＣに導く中空シ
ャフト８を貫通結合しつつ、この中空シャフト８に計量
弁３を固定し、この中空シャフト８の一端とプランジャ
１０のシート１７をプランジャ移動制御により接・離動
作させて、可変圧力室ＩＣの圧力制御ひいてはダイアフ
ラム５．中空シャフト８．計量弁３を作動制御するアイ
ドル回転制御弁において、 シート１７を、プランジャ１０に緩衝用ばね２０を介し
てプランジャｌＯと相対移動が可能な状態で支持し、こ
の緩衝用ばね２０の力を戻しばね１３の力よりも充分に
弱くして、この緩衝用ばねがシート１７と中空シャフト
一端８ａとの衝突時のエネルギーを吸収するよう設定し
てなる。

第９の課題解決手段（ｉｌ請求項１２対応は、第８の課
題解決手段と同様の前提条件をなすアイドル回転制御弁
に、第５の課題解決手段のシャフト一端支持構造の思想
を採用してなる。

第１０の課題解決手段（請求＊１３対応）は、第８の課
題解決手段と同様の前提条件をなすアイドル回転制御弁
に、第６の課題解決手段の弾性フレキシブル支持構造の
思想を採用してなる。

第１１の課題解決手段（請求項１４対応）は、第９図に
示す如き、エンジン吸気通路の絞り弁を迂回し計量弁３
−１を内蔵するバイパス通路１と、バイパス通路１の計
量弁上流側ＬＡとオリフィス５６を介して通じる大気室
ＩＡ′と、バイパス通路ｌの計量弁下流側ＩＢとダイア
フラム５′を介して仕切られ且つ計量弁下流側ＩＢとダ
イアフラム５′に設けたオリフィス６ａ′を介して通じ
る可変圧力室ＩＣ′と、大気室ＩＡ′と可変圧力室ＩＣ
′とをバイパス通路１を貫通して連通させ且つダイアフ
ラム５′に結合されつつ計量弁３−１を固定した中空シ
ャフト８−３と、中空シャフト一端８−３ａに対向して
シート１７を支持するプランジャ５２を電磁吸引力と戻
しばね５３の力との均衡により変位させる電磁ソレノイ
ド機構５０とを有し、このプランジャ５２の変位により
シート１７・中空シャフト一端８−３ａ間を接・離動作
させて、可変圧力室ｌＣ′の圧力制御ひいてはダイアフ
ラム５′、中空シャフト８−３、計量弁３−１を作動制
御するアイドル回転制御弁において、 そのシート１７の支持構造に、第１．第４の課題解決手
段の思想を採用してなる。

第１２の課題解決手段（請求項１５対応）は、上記第１
１の課題解決手段と同様の前提条件をなすアイドル回転
制御弁において、第２．第５の課題解決手段同様のシャ
フト一端支持構造を採用してなる。

第１３の課題解決手段（！ｉ１求項１６対応）は、上記
第１１課題解決手段と同様の前提条件をなすアイドル回
転制御弁において、第３．第６課題解決手段の弾性フレ
キシブル構造を採用してなる。

第１４の課題解決手段（請求項１７対応）は、第７図に
示すように、ダイアフラム３７により基準圧力室ＩＡと
可変圧力室ＩＣとを仕切り、可変圧力室ＩＣには、大気
に通じるオリフィス３８と、負圧源に通じる負圧管路８
−１と、制御圧出力通路３９とを配設し、且つ負圧管路
８−１の一端８−Ｉａを可変圧力室ＩＣ内に導くと共に
、この負圧管路一端８−１ａに対向させてダイアフラム
３７の一面にシート１７を設け、このシート付きダイア
フラム３７を電磁吸引力と戻しばね３５の力の均衡によ
り変位制御することでシート１７・負圧管路一端８−１
ａを接・離動作させ、ひいては可変圧力室ＩＣの圧力を
制御する圧力制御弁において、 第７の課題解決手段と同様のシート支持構造を採用して
なる。

第１５の課題解決手段（請求項１８対応）は、第８図に
示すように、第１のダイアフラム４０により制御圧力導
入室４２Ａと基準圧力室４２Ｂとを、第２のダイアフラ
ム４１により基準圧力室４２Ｂと可変圧力室４２Ｃとを
仕切り形成し、制御圧力導入室４２Ａには制御圧力を、
基準圧力室４２Ｂには大気を、可変圧力室４２Ｃにはバ
キューム源からの負圧及び第２のダイアフラム４１に貫
通結合した内部通路８−２Ａ付きシャフト８−２を介し
て大気を導入可能とし、且つ、第１のダイアフラム４０
には、基準圧力室４２Ｂ側に面しつつシャフト一端８−
２ａと対向してシート１７を配設し、制御圧力導入室４
２Ａに導入される制御圧力により第１のダイアフラム４
０の作動、シート１７・シャフト８−２間の接・離動作
、第２ダイアフラム４１及びシャフト８−２を連動させ
る負圧サーボモータにおいて、 シート１７は、第１のダイアフラム４０に緩衝用ばね２
０を介して第１のダイアフラム４０とスラスト方向に相
対移動が可能な状態で装着され、この緩衝用ばね２０の
力を第１のダイアフラム４０にかかる戻しばね４３の力
よりも充分に弱くして、この緩衝用ばね２０がシート１
７とシャフト一端８−２ａとの衝突時のエネルギーを吸
収するよう設定してなる。

第１６の課題解決手段（請求項１９対応）は、第１４の
課題解決手段と同様の前提条件のサーボモータにおいて
、第２．第５課題解決手段の如きシャフト一端支持構造
を採用してなる。

〔作用〕

第１の課題解決手段の作用・・・第１図に示すように可
変圧力室ＩＣは、圧力導入通路８Ａ付きシャフト８の一
端８ａに対しシート１７が接・離動作することで、圧力
が制御される。この場合、シート１７とシャフト一端８
ａとに生じる接・離動作詩の衝撃は、緩衝用ばね２０の
力を戻しばね１３よりも充分に弱くしであるので、緩衝
用ばね２０によって吸収される。

また、振動環境下における高振動加速度がシート装着部
Ｓ等に加わってシート１７がシャフト８の一端８ａに衝
突した場合も、この衝突エネルギーが緩衝用ばね２０に
より吸収される。

第２の課題解決手段の作用・・本課題解決手段では、シ
ート１７とシャフト８との接・離動作詩或いは外部振動
に起因して生じる衝突エネルギーを、第５図に示すよう
にシャフト８の一端８ａ′による可動動作を介して緩衝
用ばね２２により吸収される。

第３の課題解決手段の作用・・・本課題解決手段では、
第９図に示すようにシート１７とシャフト８との接・離
動作詩或いは外部振動に起因して生じる衝突のエネルギ
ー等を、シート１７を支持する弾性フレキシブル部材５
５ａ及びシャフト一端８−３ａを支持する弾性フレキシ
ブル部材５５ｂの少なくともいずれか一方で吸収する。

また、弾性フレキシブル５５ａ、５５ｂは、ラジアル方
向とスラスト方向に変位可能であるので、この種圧力制
御機構の部品精度１組立端度にばらつきが生じても、そ
の精度誤差をフレキシブル弾性部材５５ａ、５５ｂ等の
変位により吸収して、シート１７とシャフト８−３との
スムーズな接・離動作を保証する。

なお、第４の課題解決手段〜第１６の課題解決手段のシ
ート１７とシャフト８　（８−１，８−２等）の衝突エ
ネルギー吸収動作は、第１〜第３の課題解決手段のいず
れかと共通するので、説明を省略する。また、その機器
の全体の動作については、実施例にて詳述しである。

〔実施例〕

本発明の実施例を図面に基づき説明する。

第１図は、本発明の第１実施例を示すアイドル回転制御
弁の縦断面図である。

本実施例のアイドル回転制御弁は、第１２因に示した従
来のアイドル回転制御弁と基本的な動作原理は同様であ
り、第１図の符号のうち第１２図と同一符号は同−或い
は共通する要素を示し、ここでは、改良した所を重点に
おいて説明する。

本実施例においては、プランジャ１０のうち、中空シャ
フト８の一端（オリフィス）８ａと対向する位置に、緩
衝用ばね２０及びシートホルダ１９を介してシート１７
をプランジャ１０に対しスラスト方向に相対移動可能に
取付けである。

第２図にシート１７の取り付は構造の詳細を示す。すな
わち、プランジャ８には、その一端にシート装着部とな
る凹部Ｓが形成され、その凹部Ｓに緩衝用ばね（実施例
ではコイルばねを使用）２０を介して筒形のシートホル
ダ１９が組み込まれ、また凹部Ｓ内周にストッパ２１を
固定することにより、定常時においてはシートホルダ１
９がストッパ２１に係合して位置規制がなされている。

シート１７はゴム等の弾性部材で構成され、シートホル
ダ１９の一面に接着される。

緩衝用ばね２０は、戻しばね１３の力に較べて充分に弱
くしである。

このようなシート１７の取り付は構造によれば、次のよ
うな動作がなされる。

第３図は、プランジャ１０が振動によりスラスト方向に
運動した時の動作説明図であり、同図（ａ）はプランジ
ャｌＯと中空シャフト８が離れている時で、振動の加わ
っていない定常状態である。

第３図（ｂ）は、プランジャ１０に振動が加わってプラ
ンジャｌＯがシャフト８の一端に衝突した瞬間、同図（
Ｃ）は衝突した後の状態である。

プランジャ８がシャフト８と離れている時は、緩衝用ば
ね２０によってシート１７は組立状態のままホールドさ
れている。

第３図（ｂ）に示すように、プランジャｌＯが振動によ
り図の右方向にある速度をもって移動し、シート１７が
中空シャフト８の一端に衝突すると、第３図（Ｃ）に示
すように、プランジャ１０はそのまま右方へ運動し続け
るが、シート１７は緩衝用ばね２０に打ち勝ってプラン
ジャＩＯ内部に逃げることかできる。この時、シート１
７に加わる衝突エネルギーは、シート１７自身の重量、
緩衝用ばね２０の力及び衝突速度に依存される。

しかし、従来がプランジャ１０の慣性重量による運動エ
ネルギーが直接シート１７に作用したのに較べ、本実施
例においては、シート１７の重量は極めて小さく、また
ばね力も微小なため、衝突エネルギーは極小である。

また、可変圧力室ＩＣの圧力を制御するために行われる
シート１７とシャフト８の一端８ａとの接・離動作によ
る衝撃も緩衝用ばね２０により吸収される。

従って、本実施例によればシート１７とシャフト８との
衝突により発生する衝突エネルギーを小さくして、シー
ト１７の経時的な摩耗を防止し、ダイアフラムにかかる
圧力制御ひいてはアイドル回転制御の計量精度の特性劣
化を防止することできる。

第４図〜第６図は、上記実施例の変形例を示すもので、
それぞれプランジャ８がスラスト方向に運動して、シー
ト１７と中空シャフト８とが衝突した場合の状態が示し
である。

第４図の実施例では、弾性薄板（例えば板ばね鋼）によ
りシートホルダ２０−１を構成し、このシートホルダ２
０−１のばねの力を既述の戻しばね１３よりも小さくし
て、シートホルダ２０−１を緩衝用ばねとして兼用させ
ている。すなわち、このシートホルダ２０−１にゴムの
シート１７を焼付は固定し、これがストッパ２１′に押
えられてプランジャ１０の凹部Ｓに組み込まれている。

本実施例では、プランジャ１０が図に右方向に運動し、
シート１７がシャフト８の一端に衝突した後は、シート
ホルダ（緩衝用ばね）２０−１かばね効果により、プラ
ンジャ１０内部に逃げる形となり、プランジャ１０はそ
のまま運動し続ける。

シートホルダ２０−１は非常に弱いばね力のため、前記
衝突によるエネルギーを吸収し、非常に小さくすること
かできる。

本実施例では、シートホルダ２０−１自身が緩衝ばね機
構を兼ねるので、部品点数を削減できるメリットがある
。

第５図の実施例は、今までの従来と異なって、シート１
７はプランジャｌＯに固定し、一方、中空シャフト８側
の一端８ａ′を緩衝用ばね２２を介して中空シャフト８
の本体にスラスト方向に移動可能に組み込んだ例である
。すなわち、シャフト一端８ａ′は、可動オリフィスを
構成し、このシャフト一端８ａ′にばね力を付勢するよ
うにして緩衝用ばね２２が中空シャフト８の内部一端に
内装される。

本実施例では、プランジャ１０が図の右方に運動し、中
空シャフト８に衝突した後は、シャフト一端８ａ′が緩
衝用ばね２２に打ち勝って中空シャフト８内部に逃げる
形となり、プランジャ１０はそのまま運動し続ける。緩
衝用ばね２２のばね力はシャフト一端８ａ′を保持する
ためだけで良（非常に小さくできる。従って、本実施例
の場合も、シート１７と中空シャフト８一端の衝突エネ
ルギーを緩衝用ばね２２により吸収し、シート１７等の
摩耗を防止することができる。

第６図の実施例は、第１図のシートホルダ１９に類した
筒形部品をシート１９−１として、一方、ゴム部材１７
′を中空シャフト８の一端に直接焼付は固定して、可動
シートとしたものである。

方のシート１９−１は、プランジャ８に緩衝用ばね２０
を介して組み込まれている。他方のシートとなるゴム部
材１７′の中央には、オリフィスが形成される。

本実施例では、緩衝用ばね２０がシート１９−１と中空
シャフト一端８ａ′との衝突エネルギーを吸収し、可動
シート１７′等の摩耗を防止する。

第７図は、本発明を圧力制御弁に適用した例である。

本実施例では、ダイアフラム３７により基準圧力室ＬＡ
と可変圧力室ＩＣとを仕切る。ダイアフラム３７は、ロ
ッド３３を介して電磁ソレノイド機構３０のプランジャ
３２と連結される。

電磁ソレノイド機構３０は、ソレノイド３１、プランジ
ャ３２、ロッド３３、固定コア３４、戻しばね３５，３
６等で構成される。

可変圧力室ＩＣは、オリフィス３８により大気と通じ、
管体８−１の内部通路８−ＩＡにより負圧源（バキュー
ムタンク）と通じ、また制御圧力を出力する管体３９が
設けである。管体８−１は、可変圧力室ＩＣ内に導かれ
て固定配置される。

またダイアフラム３７のうち可変圧力室ＩＣに面する側
には、管体８−１の一端８−１ａに対向してシート１７
が配設される。シート１７は、戻しばね３５，３６より
ばね力を充分に弱くした緩衝用ばね３６を介してシート
ホルダー１９に固着される。

本実施例の圧力制御弁は、ソレノイド３１のオン、オフ
を周期的に繰り返すことにより、プランジャ３２に働く
磁気吸引力と戻しばね３５，３６の力によりロッド３３
及びダイアフラム３７がスラスト方向に往復動作し、こ
れによりシート１７が管体８−１の一端と接・離動作す
る。そして、電磁ソレノイドに印加する電気信号のデユ
ーティを変えることで、シート１７と管体８−１との接
・離動作期間が変化し、これにより可変圧力室ｌＣ内の
負圧導入量が変わって可変圧力室ｌＣ内の圧力が可変制
御される。そして、この可変圧力室ＩＣ内の制御圧力が
管体３９を介して他の機器（例えば後述の第８図のサー
ボモータ）に出力される。

しかして、本実施例においても、シート１７が管体８−
１と接・離動作を行ったり、或いは振動環境下ではシー
ト１７が管体８−１に衝突する事態が起こり得るが、こ
れらの衝突エネルギーを緩衝用ばね２０が吸収し、シー
ト１７の摩耗を防止する。

第８図の実施例は、本発明を負圧サーボモータに適用し
た例である。

本実施例では、第１のダイアフラム４０及び第２のダイ
アフラム４１により、制御圧力導入室４２Ａ、大気室（
基準圧力室）４２Ｂ、可変圧力室４２Ｇとを仕切る。大
気室４２Ｂは、制御圧力導入室４２Ａと可変圧力室４２
Ｇとの間にあり、第１のダイアフラム４１は、制御圧力
導入室４２Ａと大気室４２Ｂとの間にあり、第２のダイ
アフラム４１は、大気室４２Ｂと可変圧力室４２Ｃとの
間にある。

大気室４２Ｂは、オリフィス４７を介して大気に通じ、
制御圧力導入室４２Ａは、管体４７を介して制御圧力を
導入し、可変圧力室４２Ｃは、管体４８を介して駆動負
圧を導入するようにしである。

第２のダイアフラム４１には、出力シャフト８−２が可
変圧力室４２Ｃ及び大気室４２Ｂに貫通状態で結合され
る。出力シャフト８−２の一端８−２ａは、大気室４２
Ｂ内に導かれ、この一端８−２ａ側には、内部通路８−
２Ａが形成される。

第１のダイアフラム４０には、大気室４２Ｂ側の面にシ
ート１７がシャフト８−２の一端８−２ａに対向しつつ
、緩衝用ばね２０及びシートホルダ１９を介して配設さ
れる。

このようなサーボモータにおいて、制御圧力導入室４２
Ａに圧力制御装置からの制御圧力（例えば制御負圧）が
入ると、この制御圧力が第１のダイアフラム（信号ダイ
アフラム）４０に作用する力と戻しばね４３の力の釣り
合いでシート１７の力の位置が決まる。

この場合、シャフト８−２の一端８−２ａとシート１７
とが離れていると、可変圧力室４２Ｃの負圧が大気に近
づき、戻しばね４４の力によりシャフト８−２はシート
１７に近づき最終的に接触し、負圧の逃げがなくなる。

これにより可変圧力室４２Ｃの負圧は回復し、シャフト
８−２は図の右方向に動（。この動作の繰返しにより、
シャフト８−２の位置制御がなされる。

しかして、本実施例においても、シート１７とシャフト
８−２との接・離動作や振動環境下の衝突エネルギーを
緩衝用ばね２０が吸収し、シート１７等の摩耗を防止す
る。

第９図は、本発明をアイドル回転制御弁に適用した他の
実施例である。

第９図においても、第１図の実施例と同様に、エンジン
吸気通路の絞り弁を迂回するバイパス通路１に計量弁３
−１付き中空シャフト８−３を配置する。

バイパス通路ｌの計量弁上流側（大気室）ＩＡに隣接す
る位置には、オリフィス５６を介して基準圧力室ＩＡ′
が設けられる。一方、計量弁下流側ＩＢに隣接して可変
圧力室ｌＣ′がダイアフラム５′により仕切り形成され
、可変圧力室ＩＣ′はオリフィス６ａ′を介して計量弁
下流側ｌＢと通じている。

計量弁付き中空シャフト８−３は、バイパス通路１の計
量弁上流側ＩＡ、ＩＢを横切ってダイアフラム５′に貫
通結合され、一端が基準圧力室ＩＡ′と、他端が可変圧
力室ＩＣ′に通じている。

可変圧力室ＩＣ’内には、計量弁３−１を閉じる方向に
付勢する戻しばね５７が内蔵されている。

５０は電磁ソレノイド機構で、ソレノイド５１゜プラン
ジャ５２．戻しばね５３．固定コア５４等で構成される
。プランジャ５２は、中空シャフト８−３と同一軸線上
に配置され、その一端にシート１７が弾性フレキシブル
部材５５ａを介して結合される。

シート１７は、基準圧力室ＩＡ’内で中空シャフト８−
３の一端８−３ａと対向し、この中空シャフト一端８−
３ａも中空シャフト８−３の本体と弾性フレキシブル部
材５５ｂを介して結合される構造としである。弾性フレ
キシブル部材５５ａ。

５５ｂは、例えばゴム材で成形され、スラスト方向及び
ラジアル方向に変位可能としである。

かかる構造において、エンジンのアイドル運転時に、決
められた電流がソレノイド５１に通電すると、その電流
に応じた値だけ、プランジャ５２及び及びシート１７が
戻しばね５３の力に抗して図の右側に変位し、この時計
量弁１−１付き中空シャフト８−３は、シート１７に対
して微妙な間隙を保った位置に制御される。その原理に
ついて説明する。

ソレノイド５１が非通電状態でシート１７と中空シャフ
ト一端８−３ａとが離れているとき、吸入負圧室ＩＢの
圧力と可変圧力室ＩＣ′の圧力は、オリフィス６ａ　及
びオリフィス５６で決まる値で圧力差を生じ、それは計
量弁３−１を閉じる方向に作用する。この時、大気室１
Ａと吸入負圧室ＩＢとには、当然差圧が生じ、この差圧
力が計量弁３−１を開く方向に作用するが、ダイアフラ
ム５′と戻しばね５７どの力に勝てないため、計量弁３
−１は閉じている。しかるに、ソレノイド５１を通電し
てシート１７がプランジャ５２と共に右方向に動き、中
空シャフト８−３の通路８−３Ａを閉じると、吸入負圧
室ＩＢと可変圧力室ＩＣ′の圧力は同じになるため、ダ
イアフラム５′によって計量弁３−１を閉じようとする
力はなくなり、計量弁３−１を閉じる力は戻しばね５７
のみとなる。この時、大気室ＬＡと吸入負圧室ＩＢの圧
力差は、吸入負圧そのものとなり、その力は戻しばね５
７に充分に打ち勝つ。その結果、計量弁３−１は開き、
空気が矢印方向に流れる。空気が流れると、計量弁３−
１前後の差圧が小さ（なり、戻しばね５７により中空シ
ャフト８−３の一端８−３ａはシート１７に近づき、シ
ート１７と中空シャフト８−３ひいては計量弁３−１と
その弁座２′とは、微妙な間隙を保ち、アイドル回転の
空気流量制御がなされる。

そして、本実施例においても、シート１７と中空シャフ
ト８−３との接・離動作によって、及び振動環境下にお
いてシート１７が中空シャフト８３の一端に衝突するが
、これらの衝突エネルギーを弾性フレキシブル部材５５
ａ及び５５ｂが吸収し、シート１７の経時的な摩耗を防
止する。

また、弾性フレキシブル部材５５ａ及び５５ｂは、スラ
スト方向及びラジアル方向に変位可能としであるので、
電磁ソレノイド機構のプランジャ５２や中空シャフト８
−３等の部品精度や組立精度に誤差があっても、シート
１７と中空シャフト８−３が接触した時にこの誤差を吸
収でき、シート１７と中空シャフト８−３との良好な接
・離動作を保証し、ひいてはアイドル計量精度の劣化を
防止することができる。

第１０図は、本実施例の弾性フレキシブル支持構造を採
用した空気流量特性（実線Ａで示すもの）と弾性フレキ
シブル支持構造を採用しない従来方式の空気流量特性（
−点鎖線Ｂで示すもの）とを比較した線図であり、本実
施例では、ソレノイド通電量に対する空気流量を従来方
式に較べより−層リニアな特性にすることができた。

第１１図は、本実施例の弾性フレキシブル支持構造を採
用した可変圧力室ＩＣ′内の圧力特性（実線Ａで示すも
の）と弾性フレキシブル支持構造を採用しない従来方式
の可変圧力室ＩＣ′内の圧力特性（−点鎖線で示すもの
）とを比較した線図であり、本実施例では、ソレノイド
通電量に対する可変圧力室ＩＣ′内の圧力特性を従来方
式に較べより安定に保ち得る結果が得られた。

なお、本実施例では、シート１７及び中空シャフト一端
８−３ａの双方を各弾性フレキシブル部材５５ａ、５５
ｂで支持する構造を採用するが、これらのいずれか一方
を弾性フレキシブル部材で支持してもよい。

〔発明の効果〕

以上のように、本発明によれば、シート及び内部通路付
きシャフト（管体）一端のいずれかを緩衝用ばねで支持
する構造にすることで、シートと中空シャフトの接・離
動作や衝突に伴うエネルギーを吸収してシート摩耗等を
有効に防止し、流体圧力制御の精度を良好に保持する流
体圧制御機構を提供することができる。

また、シート及びシャフト一端の少なくともつを弾性フ
レキシブル支持構造とすることでも、上記同様の効果を
奏し、さらには、シート、これを可動させる部材、中空
シャフト等の部品精度。

組立精度の誤差があってもこれを吸収し、より層の流体
圧力制御精度の向上を図ることができる。

さらにこれらの流体圧力制御機構を、アイドル回転制御
弁、流体圧力制御弁、負圧サーボモータ等に応用した場
合には、これらの応用機器の空気流量制御、流体圧力制
御、サーボ制御の特性劣化を防止する効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の第１実施例を示す縦断面図、第２図
は、それに用いるシートの支持構造を示す断面図、第３
図は、上記実施例のシートと中空シャフト間の衝突エネ
ルギー吸収動作を示す説明図、第４図、第５図及び第６
図は、本発明の第２実施例、第３実施例及び第４実施例
におけるシートと中空シャフト間の衝突エネルギー吸収
動作を示す説明図、第７図は、本発明の第５実施例を示
す縦断面図、第８図は、本発明の第６実施例を示す縦断
面図、第９図は、本発明の第７実施例を示す縦断面図、
第１０図は、第７実施例と従来のアイドル回転制御弁に
おける空気流量特性を示す比較説明図、第１１図は、第
７実施例と従来のアイドル回転制御における可変圧力室
の圧力特性を示す比較説明図、第１２図は、従来のアイ
ドル回転制御弁の一例を示す縦断面図である。 ｌ・・・バイパス通路、ＩＡ・・大気室（基準圧力室。 計量弁上流側）、ＩＢ・・吸入負圧室（計量弁下流側）
、ＩＣ・・・可変圧力室、２・・・ボディ、３・・・計
量弁、５・・・ダイアフラム、８．８−１．８−２．８
−３・・・中空シャフト（内部通路付きシャフト、管体
）、８Ａ、８−ＩＡ、８−２Ａ、８−３Ａ・・・内部通
路、８ａ、８−１ａ、８−２ａ、８−３ａ・・・シャフ
ト一端、８ａ′・・・シャフト一端（可動オリフィス）
、９・・・電磁ソレノイド機構、１０・・プランジャ、
１１・・・ソレノイド、１２・・・固定コア、１３　（
１３ａ、１３ｂ）−戻しばね、１７−シート、１９・・
・シートホルダ、１９−１・・・シート、２ｏ・・・２
０−１．２２・・・緩衝用ばね、３０・・電磁ソレノイ
ド機構、３２・・・プランジャ、３５．３６・・・戻し
ばね、４０・・・第１のダイアフラム、４１・・・第２
のダイアフラム、４２Ａ・・・制御圧力導入室、４２Ｂ
・・・大気室（基準圧力室）、４２Ｃ・・・可変圧力室
、４３．４４・・・戻しばね、Ｓ・・・凹ｌ１３（シー
ト装着位置）。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、可変圧力室に圧力（負圧或いは正圧）を導く内部通
   路を有するシャフトと、前記シャフトの一端に対向して
   配置されるシートと、前記シートと前記シャフトとを戻
   しばねの力と均衡させてスラスト方向に相対的に変位制
   御する移動手段とを有し、この相対変位制御により前記
   シート・シャフト一端間を接・離動作させて、前記可変
   圧力室内の圧力を制御する機構において、前記シートは
   、シート装着部に緩衝用ばねを介して支持され、この緩
   衝用ばねの力を前記戻しばねの力よりも充分に弱くして
   、この緩衝用ばねが前記シートと前記シャフト一端との
   衝突時のエネルギーを吸収するよう設定してなることを
   特徴とする圧力制御機構。 ２、可変圧力室に圧力（負圧或いは正圧）を導く内部通
   路を有するシャフトと、前記シャフトの一端に対向して
   配置されるシートと、前記シートと前記シャフトとを戻
   しばねの力と均衡させてスラスト方向に相対的に変位制
   御する移動手段とを有し、この相対変位制御により前記
   シート・シャフト一端間を接・離動作させて、前記可変
   圧力室内の圧力を制御する機構において、前記シャフト
   の一端をシャフト本体と分割して、このシャフト一端を
   前記シャフト本体に対してスラスト方向に相対移動可能
   に緩衝用ばねを介して装着し、この緩衝用ばねの力を前
   記戻しばねの力よりも充分に弱くして、この緩衝用ばね
   が前記シートと前記シャフト一端との衝突時のエネルギ
   ーを吸収するよう設定してなることを特徴とする圧力制
   御機構。 ３、可変圧力室に圧力（負圧或いは正圧）を導く内部通
   路を有するシャフトと、前記シャフトの一端に対向して
   配置されるシートと、前記シートと前記シャフトとを戻
   しばねの力と均衡させてスラスト方向に相対的に変位制
   御する移動手段とを有し、この相対変位制御により前記
   シート・シャフト一端間を接・離動作させて、前記可変
   圧力室内の圧力を制御する機構において、前記シート及
   びこれと対向する前記シャフト一端の少なくとも一方を
   、スラスト方向及びラジアル方向に変位可能な弾性フレ
   キシブル部材により支持してなることを特徴とする圧力
   制御機構。 ４、ダイアフラムにより基準圧力室と可変圧力室とを仕
   切り、前記ダイアフラムには、前記可変圧力室に圧力（
   負圧或いは正圧）を導くための内部通路を有するシャフ
   トを貫通結合し、このシャフトの一端と対向させてスラ
   スト方向に移動可能に制御されるシート付き可動体を戻
   しばねで付勢しつつ配置し、この可動体の移動制御によ
   り前記シート・シャフト一端との接・離動作を行わせて
   、前記可変圧力室の圧力を制御する機構において、 前記シートは、前記可動体に緩衝用ばねを介して該可動
   体と相対移動が可能な状態で支持され、この緩衝用ばね
   の力を前記戻しばねの力よりも充分に弱くして、この緩
   衝用ばねが前記シートと前記シャフト一端との衝突時の
   エネルギーを吸収するよう設定してなること特徴とする
   圧力制御機構。 ５、ダイアフラムにより基準圧力室と可変圧力室とを仕
   切り、前記ダイアフラムには、前記可変圧力室に圧力（
   負圧或いは正圧）を導くための内部通路を有するシャフ
   トを貫通結合し、このシャフトの一端と対向させてスラ
   スト方向に移動可能に制御されるシート付き可動体を戻
   しばねで付勢しつつ配置し、この可動体の移動制御によ
   り前記シート・シャフト一端との接・離動作を行わせて
   、前記可変圧力室の圧力を制御する機構において、 前記シャフトの一端をシャフト本体と分割して、このシ
   ャフト一端を前記シャフト本体対してスラスト方向に相
   対移動可能に緩衝用ばねを介して装着し、この緩衝用ば
   ねの力を前記戻しばねの力よりも充分に弱くして、この
   緩衝用ばねが前記シートと前記シャフト一端との衝突時
   のエネルギーを吸収するよう設定してなること特徴とす
   る圧力制御機構。 ６、ダイアフラムにより基準圧力室と可変圧力室とを仕
   切り、前記ダイアフラムには、前記可変圧力室に圧力（
   負圧或いは正圧）を導くための内部通路を有するシャフ
   トを貫通結合し、このシャフトの一端と対向させてスラ
   スト方向に移動可能に制御されるシート付き可動体を配
   置し、この可動体の移動制御により前記シート・シャフ
   ト一端との接・離動作を行わせて前記可変圧力室の圧力
   を制御する機構において、 前記シート及びこれと対向する前記シャフト一端の少な
   くとも一方を、スラスト方向及びラジアル方向に変位可
   能な弾性フレキシブル部材により支持してなることを特
   徴とする圧力制御機構。 ７、ダイアフラムにより基準圧力室と可変圧力室とを仕
   切り、前記ダイアフラムには、前記可変圧力室に面する
   側にシートを設け、一方、内部に圧力導入通路（負圧或
   いは正圧導入通路）を有する管体を一端を前記シートと
   対向させつつ前記可変圧力室内に導いて固定配置し、前
   記ダイアフラムを戻しばねの力に抗してスラスト方向に
   移動制御して、前記シートと前記管体一端とを接・離さ
   せて前記可変圧力室の圧力を制御する機構において、 前記シートは、前記ダイアフラムに緩衝用ばねを介して
   該ダイアフラムとスラスト方向に相対移動が可能な状態
   で装着され、この緩衝用ばねの力を前記戻しばねの力よ
   りも充分に弱くして、この緩衝用ばねが前記シートと前
   記管体との衝突時のエネルギーを吸収するよう設定して
   なること特徴とする圧力制御機構。 ８、第１請求項、第２請求項、第４請求項、第５請求項
   、第７請求項のいずれか１項において、前記緩衝用ばね
   は、コイルばねよりなる圧力制御機構。 ９、第１請求項、第４請求項、第７請求項のいずれか１
   項において、前記緩衝用ばねは、板ばねよりなり、この
   板ばねに前記シートが一体に焼付け固定される圧力制御
   機構。 １０、第３請求項又は第６請求項において、前記弾性フ
   レキシブル部材は、ゴム材で構成される圧力制御機構。 １１、エンジン吸気通路の絞り弁を迂回するバイパス通
   路に計量弁を設け、前記バイパス通路の計量弁上流側を
   大気室（基準室）とし、この大気室にダイアフラムを介
   して可変圧力室を隣接させ、この可変圧力室には、電磁
   ソレノイド機構によりスラスト方向に移動制御されるシ
   ート付きプランジャを戻しばねを介して配置し、一方、
   前記ダイアフラムには、計量弁下流側の吸気負圧を前記
   可変圧力室に導く中空シャフトを貫通結合しつつ、この
   中空シャフトに前記計量弁を固定し、この中空シャフト
   の一端と前記プランジャのシートをプランジャ移動制御
   により接・離動作させて、前記可変圧力室の圧力制御ひ
   いては前記ダイアフラム、中空シャフト、計量弁を作動
   制御するアイドル回転制御弁において、前記シートは、
   前記プランジャに緩衝用ばねを介して該プランジャと相
   対移動が可能な状態で支持され、この緩衝用ばねの力を
   前記戻しばねの力よりも充分に弱くして、この緩衝用ば
   ねが前記シートと前記中空シャフト一端との衝突時のエ
   ネルギーを吸収するよう設定してなること特徴とするア
   イドル回転制御弁。 １２、エンジン吸気通路の絞り弁を迂回するバイパス通
   路に計量弁を設け、前記バイパス通路の計量弁上流側を
   大気室（基準室）とし、この大気室にダイアフラムを介
   して可変圧力室を隣接させ、この可変圧力室には、電磁
   ソレノイド機構によりスラスト方向に移動制御されるシ
   ート付きプランジャを戻しばねを介して配置し、一方、
   前記ダイアフラムには、前記計量弁下流側の吸気負圧を
   前記可変圧力室に導く中空シャフトを貫通結合しつつ、
   この中空シャフトに前記計量弁を固定し、この中空シャ
   フト一端と前記プランジャのシートをプランジャ移動制
   御により接・離動作させて、前記可変圧力室の圧力制御
   ひいては前記ダイアフラム、中空シャフト、計量弁を作
   動制御するアイドル回転制御弁において、前記中空シャ
   フトの一端をシャフト本体と分割して、このシャフト一
   端を前記シャフト本体に対してスラスト方向に相対移動
   可能に緩衝用ばねを介して装着し、この緩衝用ばねの力
   を前記戻しばねの力よりも充分に弱くして、この緩衝用
   ばねが前記シートと前記中空シャフトの一端との衝突時
   のエネルギーを吸収するよう設定してなること特徴とす
   るアイドル回転制御弁。 １３、エンジン吸気通路の絞り弁を迂回するバイパス通
   路に計量弁を設け、前記バイパス通路の計量弁上流側を
   大気室（基準室）とし、この大気室にダイアフラムを介
   して可変圧力室を隣接させ、この可変圧力室には、電磁
   ソレノイド機構によりスラスト方向に移動制御されるシ
   ート付きプランジャを戻しばねを介して配置し、一方、
   前記ダイアフラムには、前記計量弁下流側の吸気負圧を
   前記可変圧力室に導く中空シャフトを貫通結合しつつ、
   この中空シャフトに前記計量弁を固定し、この中空シャ
   フト一端と前記プランジャのシートをプランジャ移動制
   御により接・離動作させて、前記可変圧力室の圧力制御
   ひいては前記ダイアフラム、中空シャフト、計量弁を作
   動制御するアイドル回転制御弁において、前記シート及
   びこれと対向する前記中空シャフト一端の少なくとも一
   方を、スラスト方向及びラジアル方向に変位可能なフレ
   キシブル弾性部材により支持してなることを特徴とする
   アイドル回転制御弁。 １４、エンジン吸気通路の絞り弁を迂回し計量弁を内蔵
   するバイパス通路と、前記バイパス通路の計量弁上流側
   とオリフィスを介して通じる大気室と、前記バイパス通
   路の計量弁下流側とダイアフラムを介して仕切られ且つ
   計量弁下流側と前記ダイアフラムに設けたオリフィスを
   介して通じる可変圧力室と、前記大気室と前記可変圧力
   室とを前記バイパス通路を貫通して連通させ且つ前記ダ
   イアフラムに結合されつつ前記計量弁を固定した中空シ
   ャフトと、前記中空シャフト一端と対向してシートを支
   持するプランジャを電磁吸引力と戻しばねの力との均衡
   により変位させる電磁ソレノイド機構とを有し、このプ
   ランジャの変位により前記シート・中空シャフト一端間
   を接・離動作させて、前記可変圧力室の圧力制御ひいて
   は前記ダイアフラム、中空シャフト、計量弁を作動制御
   するアイドル回転制御弁において、 前記シートは、前記プランジャに緩衝用ばねを介して該
   プランジャと相対移動が可能な状態で支持され、この緩
   衝用ばねの力を前記戻しばねの力よりも充分に弱くして
   、この緩衝用ばねが前記シートと前記中空シャフト、一
   端との衝突時のエネルギーを吸収するよう設定してなる
   こと特徴とするアイドル回転制御弁。 １５、エンジン吸気通路の絞り弁を迂回し計量弁を内蔵
   するバイパス通路と、前記バイパス通路の計量弁上流側
   とオリフィスを介して通じる大気室と、前記バイパス通
   路の計量弁下流側とダイアフラムを介して仕切られ且つ
   計量弁下流側と前記ダイアフラムに設けたオリフィスを
   介して通じる可変圧力室と、前記大気室と前記可変圧力
   室とを前記バイパス通路を貫通して連通させ且つ前記ダ
   イアフラムに結合されつつ前記計量弁を固定した中空シ
   ャフトと、前記中空シャフト一端と対向してシートを支
   持するプランジャを電磁吸引力と戻しばねの力との均衡
   により変位させる電磁ソレノイド機構とを有し、このプ
   ランジャの変位により前記シート・中空シャフト一端と
   を接・離動作させて、前記可変圧力室の圧力制御ひいて
   は前記ダイアフラム、中空シャフト、計量弁を作動制御
   するアイドル回転制御弁において、 前記中空シャフトの一端をシャフト本体と分割して、こ
   のシャフト一端を前記シャフト本体に対してスラスト方
   向に相対移動可能に緩衝用ばねを介して装着し、この緩
   衝用ばねの力を前記戻しばねの力よりも充分に弱くして
   、この緩衝用ばねが前記シートと前記中空シャフトの一
   端との衝突時のエネルギーを吸収するよう設定してなる
   こと特徴とするアイドル回転制御弁。 １６、エンジン吸気通路の絞り弁を迂回し計量弁を内蔵
   するバイパス通路と、前記バイパス通路の計量弁上流側
   とオリフィスを介して通じる大気室と、前記バイパス通
   路の計量弁下流側とダイアフラムを介して仕切られ且つ
   計量弁下流側と前記ダイアフラムに設けたオリフィスを
   介して通じる可変圧力室と、前記大気室と前記可変圧力
   室とを前記バイパス通路を貫通して連通させ且つ前記ダ
   イアフラムに結合されつつ前記計量弁を固定した中空シ
   ャフトと、前記中空シャフト一端と対向してシートを支
   持するプランジャを電磁吸引力と戻しばねの力との均衡
   により変位させる電磁ソレノイド機構とを有し、このプ
   ランジャの変位により前記シート・中空シャフト一端と
   を接・離動作させて、前記可変圧力室の圧力制御ひいて
   は前記ダイアフラム、中空シャフト、計量弁を作動制御
   するアイドル回転制御弁において、 前記シート及びこれと対向する前記中空シャフト一端の
   少なくとも一方を、スラスト方向及びラジアル方向に変
   位可能な弾性フレキシブル部材により支持してなること
   を特徴とするアイドル回転制御弁。 １７、ダイアフラムにより基準圧力室と可変圧力室とを
   仕切り、前記可変圧力室には、大気に通じるオリフィス
   と、負圧源に通じる負圧管路と、制御圧出力通路とを配
   設し、且つ前記負圧管路の一端を前記可変圧力室内に導
   くと共に、この負圧管路一端に対向させて前記ダイアフ
   ラムの一面にシートを設け、このシート付きダイアフラ
   ムを電磁吸引力と戻しばねの力の均衡により変位制御す
   ることで前記シート・負圧管路一端を接・離動作させ、
   ひいては前記可変圧力室の圧力を制御する圧力制御弁に
   おいて、 前記シートは、前記ダイアフラムに緩衝用ばねを介して
   該ダイアフラムとスラスト方向に相対移動が可能な状態
   で装着され、この緩衝用ばねの力を前記戻しばねの力よ
   りも充分に弱くして、この緩衝用ばねが前記シートと前
   記負圧管路との衝突時のエネルギーを吸収するよう設定
   してなること特徴とする圧力制御弁。 １８、第１のダイアフラムにより制御圧力導入室と基準
   圧力室とを、第２のダイアフラムにより前記基準圧力室
   と可変圧力室とを仕切り形成し、前記制御圧力導入室に
   は制御圧力を、前記基準圧力室には大気を、前記可変圧
   力室にはバキューム源からの負圧及び前記第２のダイア
   フラムに貫通結合した内部通路付きシャフトを介して大
   気を導入可能とし、且つ、前記第１のダイアフラムには
   、前記可変圧力室側に面しつつ前記シャフト一端と対向
   してシートを配設し、前記制御圧力導入室に導入される
   制御圧力により前記第１のダイアフラムの作動、前記シ
   ート・シャフト間の接・離動作、前記第２ダイアフラム
   及びシャフトを連動させる負圧サーボモータにおいて、 前記シートは、前記第１のダイアフラムに緩衝用ばねを
   介して該第１のダイアフラムとスラスト方向に相対移動
   が可能な状態で装着され、この緩衝用ばねの力を前記第
   １のダイアフラムにかかる戻しばねの力よりも充分に弱
   くして、この緩衝用ばねが前記シートと前記シャフト一
   端との衝突時のエネルギーを吸収するよう設定してなる
   こと特徴とする負圧サーボモータ。 １９、第１のダイアフラムにより制御圧力導入室と基準
   圧力室とを、第２のダイアフラムにより前記基準圧力室
   と可変圧力室とを仕切り形成し、前記制御圧力導入室に
   は制御圧力を、前記基準圧力室には大気を、前記可変圧
   力室にはバキューム源からの負圧及び前記第２のダイア
   フラムに貫通結合した内部通路付きシャフトを介して大
   気を導入可能とし、且つ、前記第１のダイアフラムには
   、前記可変圧力室側に面しつつ前記シャフト一端と対向
   してシートを配設し、前記制御圧力導入室に導入される
   制御圧力により前記第１のダイアフラムの作動、前記シ
   ート・シャフト間の接・離動作、前記第２ダイアフラム
   及びシャフトを連動させる負圧サーボモータにおいて、 前記中空シャフトの一端をシャフト本体と分割して、こ
   の中空シャフト一端を前記シャフト本体に対してスラス
   ト方向に相対移動可能に緩衝用ばねを介して装着し、こ
   の緩衝用ばねの力を前記第１のダイアフラムにかかる戻
   しばねの力よりも充分に弱くして、この緩衝用ばねが前
   記シートと前記中空シャフト一端との衝突時のエネルギ
   ーを吸収するよう設定してなること特徴とする負圧サー
   ボモータ。