JP2533169B2 - Ｘ線回折装置 - Google Patents
Ｘ線回折装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明は、Ｘ線回折装置に関し、特に単結晶試料の格
子定数を測定するためのＸ線回折装置の改良に係わる。
子定数を測定するためのＸ線回折装置の改良に係わる。
（従来の技術） Ｘ線回折法により単結晶試料の格子定数を測定する場
合には、第５図に示すように単結晶試料１のあおり角
（単結晶試料１における回転軸２と該試料１の測定すべ
き格子面３とのなす角）α、該単結晶試料１表面にＸ線
を入射させた時に測定された誤差を含むブラッグ角の測
定値Θｍ、ブラッグ角の真値ΘＢ（図示せず）の間に
は、 sinΘＢ＝cosα・sinΘｍ の関係があるため、αの存在による格子定数の測定誤差
は Δd/d＝１−cosα となり、Δd/d＝10-6程度の高精度測定を行なうために
はαを５分（〜1.5×10-3［rad］）程度以内に抑える必
要がある。
合には、第５図に示すように単結晶試料１のあおり角
（単結晶試料１における回転軸２と該試料１の測定すべ
き格子面３とのなす角）α、該単結晶試料１表面にＸ線
を入射させた時に測定された誤差を含むブラッグ角の測
定値Θｍ、ブラッグ角の真値ΘＢ（図示せず）の間に
は、 sinΘＢ＝cosα・sinΘｍ の関係があるため、αの存在による格子定数の測定誤差
は Δd/d＝１−cosα となり、Δd/d＝10-6程度の高精度測定を行なうために
はαを５分（〜1.5×10-3［rad］）程度以内に抑える必
要がある。
このようなことから、従来より単結晶試料の格子定数
を高精度に測定する方法として、あおり角とブラッグ
角とを交互に変化させて回折Ｘ線強度の最大位置を捜す
方法（例えば特開昭62−159034号公報）、あおり角を
少しづつ変えながらその度毎に格子定数の測定を行な
い、得られた値のうち最大値を真値とする方法、単結
晶試料の表裏両面からの回折線が検出器の同じ位置に到
達するように調整する方法、或いはあおり角を積極的
に利用して計算で求める方法（例えば特開昭62−228152
号公報）等が知られている。
を高精度に測定する方法として、あおり角とブラッグ
角とを交互に変化させて回折Ｘ線強度の最大位置を捜す
方法（例えば特開昭62−159034号公報）、あおり角を
少しづつ変えながらその度毎に格子定数の測定を行な
い、得られた値のうち最大値を真値とする方法、単結
晶試料の表裏両面からの回折線が検出器の同じ位置に到
達するように調整する方法、或いはあおり角を積極的
に利用して計算で求める方法（例えば特開昭62−228152
号公報）等が知られている。
しかしながら、上記の方法ではあおり角を変える
と、変化するのは見掛けのブラッグ角（単結晶試料の回
転軸方向に測定した角度）であり、回折Ｘ線強度の最大
を示す位置では入射Ｘ線或いは回折Ｘ線が単結晶試料の
格子面となす角は真のブラッグ角となっている。つま
り、他の条件が等しければあおり角を変えても回折Ｘ線
強度の最大値は変化しない。仮に回折Ｘ線強度が変化し
たとすれば、それは検出器、例えばNaIシンチレータの
感度の位置依存性或いは入射Ｘ線束の強度分布が中心対
称ではないなどの他の要因を観察していることになる。
前記の方法では、莫大な時間が必要となって殆ど実用
的ではない。前記の方法では、単結晶試料の表面と裏
面とでの格子面に傾きが存在すれば誤差が生じるし、単
結晶試料を貼り付けて固定するような場合には背中の壁
の妨げにより裏面の回折線を観察することができない。
更に、前記の方法では１つの格子定数を求めるのに少
なくとも２回のの測定を行なわなくてはならない。
と、変化するのは見掛けのブラッグ角（単結晶試料の回
転軸方向に測定した角度）であり、回折Ｘ線強度の最大
を示す位置では入射Ｘ線或いは回折Ｘ線が単結晶試料の
格子面となす角は真のブラッグ角となっている。つま
り、他の条件が等しければあおり角を変えても回折Ｘ線
強度の最大値は変化しない。仮に回折Ｘ線強度が変化し
たとすれば、それは検出器、例えばNaIシンチレータの
感度の位置依存性或いは入射Ｘ線束の強度分布が中心対
称ではないなどの他の要因を観察していることになる。
前記の方法では、莫大な時間が必要となって殆ど実用
的ではない。前記の方法では、単結晶試料の表面と裏
面とでの格子面に傾きが存在すれば誤差が生じるし、単
結晶試料を貼り付けて固定するような場合には背中の壁
の妨げにより裏面の回折線を観察することができない。
更に、前記の方法では１つの格子定数を求めるのに少
なくとも２回のの測定を行なわなくてはならない。
（発明が解決しようとする課題） 本発明は、上記従来の課題を解決するためになされた
もので、あおり角の調整を迅速かつ容易に行なうことが
可能なＸ線回折装置を提供しようとするものである。
もので、あおり角の調整を迅速かつ容易に行なうことが
可能なＸ線回折装置を提供しようとするものである。
［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 本発明は、Ｘ線光源と、このＸ線光源からのＸ線が入
射される単結晶試料を回転させる回転軸（Θ軸）と、前
記回転軸に対して垂直な平面上に配置された前記単結晶
試料からの回折Ｘ線を検出するための検出器と、前記回
転軸に連結され、前記単結晶試料における前記回転軸と
前記単結晶試料の測定すべき格子面とのなす角（あおり
角）を調整するための傾動手段および設定角度の位置で
固定する固定手段を有する調整機構と、前記検出器の窓
に配置され、前記入射Ｘ線を含み前記回転軸に対して垂
直な平面と交わる前記検出器の窓部分を含む領域内にお
いて互いに離接するように上下動する一対の遮蔽板とを
具備し、 前記一対の遮蔽板の間隔（スリット幅）を十分に広く
した状態で、前記Ｘ線光源からＸ線を前記単結晶試料に
入射させると共に、前記回転軸を回動して前記単結晶試
料の測定すべき格子面の回折Ｘ線が前記一対の遮蔽板環
の窓を通して前記検出器に入射させるように前記単結晶
試料の角度位置、前記検出器の角度位置を設定し、 前記角度設定後に前記遮蔽板を互いに接近するように
移動させてそれらの間隔を狭め、前記調整機構により前
記単結晶試料のあおり角を一定速度で変化させながら、
前記検出器で検出された回折Ｘ線強度をそのあおり角毎
に測定し、得られた回折Ｘ線強度を比較して前記遮蔽板
間を通過するあおり角の範囲を定め、前記遮蔽板を互い
に接近するようにさらに移動させてそれらの間隔を狭め
る操作を繰り返し、前記単結晶試料の格子面が前記回転
軸と平行であるあおり角が零にして前記単結晶試料で反
射された回折Ｘ線を前記検出器に入射させることを特徴
とするＸ線回折装置である。
射される単結晶試料を回転させる回転軸（Θ軸）と、前
記回転軸に対して垂直な平面上に配置された前記単結晶
試料からの回折Ｘ線を検出するための検出器と、前記回
転軸に連結され、前記単結晶試料における前記回転軸と
前記単結晶試料の測定すべき格子面とのなす角（あおり
角）を調整するための傾動手段および設定角度の位置で
固定する固定手段を有する調整機構と、前記検出器の窓
に配置され、前記入射Ｘ線を含み前記回転軸に対して垂
直な平面と交わる前記検出器の窓部分を含む領域内にお
いて互いに離接するように上下動する一対の遮蔽板とを
具備し、 前記一対の遮蔽板の間隔（スリット幅）を十分に広く
した状態で、前記Ｘ線光源からＸ線を前記単結晶試料に
入射させると共に、前記回転軸を回動して前記単結晶試
料の測定すべき格子面の回折Ｘ線が前記一対の遮蔽板環
の窓を通して前記検出器に入射させるように前記単結晶
試料の角度位置、前記検出器の角度位置を設定し、 前記角度設定後に前記遮蔽板を互いに接近するように
移動させてそれらの間隔を狭め、前記調整機構により前
記単結晶試料のあおり角を一定速度で変化させながら、
前記検出器で検出された回折Ｘ線強度をそのあおり角毎
に測定し、得られた回折Ｘ線強度を比較して前記遮蔽板
間を通過するあおり角の範囲を定め、前記遮蔽板を互い
に接近するようにさらに移動させてそれらの間隔を狭め
る操作を繰り返し、前記単結晶試料の格子面が前記回転
軸と平行であるあおり角が零にして前記単結晶試料で反
射された回折Ｘ線を前記検出器に入射させることを特徴
とするＸ線回折装置である。
前記遮蔽板は、実用上、検出器の窓に対して平行もし
くはほぼ平行に配置することが望ましい。
くはほぼ平行に配置することが望ましい。
（作用） 本発明によれば、単結晶試料の測定すべき格子面の回
折線が検出器に入射されるように回転軸により単結晶試
料の角度位置（Θ）、検出器の角度位置（２Θ）を定め
た状態、つまり単結晶試料の測定すべき格子面がブラッ
グ条件を満たす位置、において前記検出器の窓に配置さ
れ、前記入射Ｘ線を含み前記回転軸に対して垂直な平面
と交わる前記検出器の窓部分を含む領域内において互い
に離接するように上下動する一対の遮蔽板の間隔（スリ
ット幅）を暫時狭小とし、前記回転軸と前記単結晶試料
の測定すべき格子面とのなすあおり角を調整するための
傾動手段および設定角度の位置で固定する固定手段を有
する調整機構により前記単結晶試料のあおり角を調整す
ることによって、前記単結晶試料からの回折Ｘ線が前記
遮蔽板の最も狭小なスリット幅に到達した時を単結晶試
料のあおり角が零として判定できるため、あおり角の調
整を迅速かつ容易に行うことができる。したがって、前
記あおり角が零での検出器に入射された回折Ｘ線の強度
を測定できるため、単結晶試料の格子定数を正確に測定
することができる。
折線が検出器に入射されるように回転軸により単結晶試
料の角度位置（Θ）、検出器の角度位置（２Θ）を定め
た状態、つまり単結晶試料の測定すべき格子面がブラッ
グ条件を満たす位置、において前記検出器の窓に配置さ
れ、前記入射Ｘ線を含み前記回転軸に対して垂直な平面
と交わる前記検出器の窓部分を含む領域内において互い
に離接するように上下動する一対の遮蔽板の間隔（スリ
ット幅）を暫時狭小とし、前記回転軸と前記単結晶試料
の測定すべき格子面とのなすあおり角を調整するための
傾動手段および設定角度の位置で固定する固定手段を有
する調整機構により前記単結晶試料のあおり角を調整す
ることによって、前記単結晶試料からの回折Ｘ線が前記
遮蔽板の最も狭小なスリット幅に到達した時を単結晶試
料のあおり角が零として判定できるため、あおり角の調
整を迅速かつ容易に行うことができる。したがって、前
記あおり角が零での検出器に入射された回折Ｘ線の強度
を測定できるため、単結晶試料の格子定数を正確に測定
することができる。
（実施例） 以下、本発明の実施例を第１図〜第４図を参照して詳
細に説明する。
細に説明する。
図中の11は、Ｘ線光源、図中の12は後述する調整機構
の支持部に支持された単結晶試料、図中の13は前記単結
晶試料12からの回折Ｘ線を検出し、後述する調整機構の
底部に固定された回転軸に対して垂直な平面上に配置さ
れる検出器である。この検出器13は、図示しないコンピ
ュータに接続され、該検出器13で検出された回折Ｘ線強
度が該コンピュータに取り込まれるようになっている。
の支持部に支持された単結晶試料、図中の13は前記単結
晶試料12からの回折Ｘ線を検出し、後述する調整機構の
底部に固定された回転軸に対して垂直な平面上に配置さ
れる検出器である。この検出器13は、図示しないコンピ
ュータに接続され、該検出器13で検出された回折Ｘ線強
度が該コンピュータに取り込まれるようになっている。
前記単結晶試料12を支持し、そのあおり角を調整する
ための調整機構14は、第２図及び第３図に示すように基
台15を備えている。この基台15は、中央部の長手方向に
沿って溝16が形成されており、かつ該溝16両側の突出部
17a、17bの上面は接線を基台15の長手方向と平行とした
凹面形状をなす。前記基台15の溝16には、ステッピング
モータ18を駆動源として矢印方向に往復動作する作動板
19が設けられている。前記ステッピングモータ18は、前
記コンピュータに接続されて、その入力信号により駆動
すると共に、該モータ18のステップ量（後述する傾動ブ
ロックの傾動角に相関する作動板20の移動量）が該コン
ピュータに出力できるようになっている。前記作動板19
は、前記溝16の最も浅い箇所の深さと同様な厚さを有
し、かつ上面にその長手方向と直角に切られた複数の歯
20が形成されている。前記基台15上には、傾動ブロック
21が載置されており、かつ該ブロック21の底面は該基台
15の突出部17a、17bの凹面に沿って摺動できるように凸
面形状をなしている。前記ブロック21の底面中央長手方
向には、前記作動板19の歯20と係合される複数の歯22が
形成されている。つまり、前記ステッピングモータ18の
駆動により、例えば作動板19を前方に移動させると、該
作動板19の歯20と係合する歯22を有する傾動ブロック21
が基台15の突出部17a、17b上面の凹面に沿って摺動して
第２図の矢印Ａ方向に傾動し、一方作動板19を後退する
と同ブロック21は第２図の矢印Ｂ方向に傾動する。ま
た、前記傾動ブロック21の上面中心には支持棒23が該上
面に対して垂直になるように立設されている。この支持
棒23の上端には、前記単結晶試料12を支持するためのＬ
形支持板24が一体的に取着されている。そして、こうし
た構成の調整機構14の前記基台15の底部中心には、回転
軸（Θ軸）25が軸着されている。
ための調整機構14は、第２図及び第３図に示すように基
台15を備えている。この基台15は、中央部の長手方向に
沿って溝16が形成されており、かつ該溝16両側の突出部
17a、17bの上面は接線を基台15の長手方向と平行とした
凹面形状をなす。前記基台15の溝16には、ステッピング
モータ18を駆動源として矢印方向に往復動作する作動板
19が設けられている。前記ステッピングモータ18は、前
記コンピュータに接続されて、その入力信号により駆動
すると共に、該モータ18のステップ量（後述する傾動ブ
ロックの傾動角に相関する作動板20の移動量）が該コン
ピュータに出力できるようになっている。前記作動板19
は、前記溝16の最も浅い箇所の深さと同様な厚さを有
し、かつ上面にその長手方向と直角に切られた複数の歯
20が形成されている。前記基台15上には、傾動ブロック
21が載置されており、かつ該ブロック21の底面は該基台
15の突出部17a、17bの凹面に沿って摺動できるように凸
面形状をなしている。前記ブロック21の底面中央長手方
向には、前記作動板19の歯20と係合される複数の歯22が
形成されている。つまり、前記ステッピングモータ18の
駆動により、例えば作動板19を前方に移動させると、該
作動板19の歯20と係合する歯22を有する傾動ブロック21
が基台15の突出部17a、17b上面の凹面に沿って摺動して
第２図の矢印Ａ方向に傾動し、一方作動板19を後退する
と同ブロック21は第２図の矢印Ｂ方向に傾動する。ま
た、前記傾動ブロック21の上面中心には支持棒23が該上
面に対して垂直になるように立設されている。この支持
棒23の上端には、前記単結晶試料12を支持するためのＬ
形支持板24が一体的に取着されている。そして、こうし
た構成の調整機構14の前記基台15の底部中心には、回転
軸（Θ軸）25が軸着されている。
更に、前記検出器13の前面には第４図に示すように楕
円形の窓26が開口されており、かつ該検出器13の前方に
は例えばモリブデンからなる一対の遮蔽板27a、27bが該
窓26に対して平行となるように配置されている。これら
遮蔽板27a、27bは、前記Ｘ線光源11からの入射Ｘ線を含
み、前記回転軸25に対して垂直な平面と該検出器13の窓
26との交線を境界線28とした場合、該境界線28を含む領
域内において互いに離接するように上下動するようにな
っている。
円形の窓26が開口されており、かつ該検出器13の前方に
は例えばモリブデンからなる一対の遮蔽板27a、27bが該
窓26に対して平行となるように配置されている。これら
遮蔽板27a、27bは、前記Ｘ線光源11からの入射Ｘ線を含
み、前記回転軸25に対して垂直な平面と該検出器13の窓
26との交線を境界線28とした場合、該境界線28を含む領
域内において互いに離接するように上下動するようにな
っている。
次に、本実施例のＸ線回折装置の作用を説明する。
．まず、一対の遮蔽板27a、27bが互いに離れるように
上部側の遮蔽板27aを上方に、下部側の遮蔽板27bを下方
に移動させてそれらの間隔（スリット幅）を充分に広く
した状態で、Ｘ線光源11からＸ線を単結晶試料12に入射
させると共に回転軸25を回動して単結晶試料12の測定す
べき格子面の回折Ｘ線が前記遮蔽板27a、27b間の窓26を
通して検出器13に入射されるように単結晶試料12の角度
位置（Θ）、検出器13の角度位置（２Θ）を設定する。
上部側の遮蔽板27aを上方に、下部側の遮蔽板27bを下方
に移動させてそれらの間隔（スリット幅）を充分に広く
した状態で、Ｘ線光源11からＸ線を単結晶試料12に入射
させると共に回転軸25を回動して単結晶試料12の測定す
べき格子面の回折Ｘ線が前記遮蔽板27a、27b間の窓26を
通して検出器13に入射されるように単結晶試料12の角度
位置（Θ）、検出器13の角度位置（２Θ）を設定する。
．前記各遮蔽板27a、27bが互いに接近するように上部
側の遮蔽板27aを下方に、下部側の遮蔽板27bを上方に移
動させてそれらの間隔（スリット幅）を狭める。この
時、スリット幅は単結晶試料12からの回折Ｘ線束の幅よ
り広くする。
側の遮蔽板27aを下方に、下部側の遮蔽板27bを上方に移
動させてそれらの間隔（スリット幅）を狭める。この
時、スリット幅は単結晶試料12からの回折Ｘ線束の幅よ
り広くする。
．コンピュータからの制御信号によりステッピングモ
ータ18を駆動して作動板19を前進又は後退させて該作動
板19の歯20と係合する歯22を有する傾動ブロック21を基
台15の突出部17a、17b上面の凹面に沿って第２図の矢印
Ａ方向又はＢ方向に傾動しながら、つまり該ブロック21
の支持棒23先端の支持板24に支持された単結晶試料12の
あおり角αを一定速度ｖで変化させながら、検出器13で
検出された回折Ｘ線強度Ｉ（α）をそのあおり角Δα毎
にコンピュータのメモリ部に取り込む。
ータ18を駆動して作動板19を前進又は後退させて該作動
板19の歯20と係合する歯22を有する傾動ブロック21を基
台15の突出部17a、17b上面の凹面に沿って第２図の矢印
Ａ方向又はＢ方向に傾動しながら、つまり該ブロック21
の支持棒23先端の支持板24に支持された単結晶試料12の
あおり角αを一定速度ｖで変化させながら、検出器13で
検出された回折Ｘ線強度Ｉ（α）をそのあおり角Δα毎
にコンピュータのメモリ部に取り込む。
．コンピュータのメモリ部に入力された回折Ｘ線強度
Ｉ（α）の各値を比較することにより、単結晶試料12か
らの回折Ｘ線が遮蔽板27a、27b間のスリットを通過する
あおり角の範囲を求める。
Ｉ（α）の各値を比較することにより、単結晶試料12か
らの回折Ｘ線が遮蔽板27a、27b間のスリットを通過する
あおり角の範囲を求める。
．前記各遮蔽板27a、27bが更に接近するように上部側
の遮蔽板27aを下方に、下部側の遮蔽板27bを上方に夫々
僅かに移動させてそれらの間隔（スリット幅）を狭め
る。
の遮蔽板27aを下方に、下部側の遮蔽板27bを上方に夫々
僅かに移動させてそれらの間隔（スリット幅）を狭め
る。
．前記〜の操作を繰返すことにより、あおり角α
を充分正確に零に近付けることができる。即ち、単結晶
試料12からの回折Ｘ線が回折Ｘ線束と同幅に設定した前
記遮蔽板27a、27bの間隔（スリット）を通過した時を単
結晶試料のあおり角が零として判定できる。
を充分正確に零に近付けることができる。即ち、単結晶
試料12からの回折Ｘ線が回折Ｘ線束と同幅に設定した前
記遮蔽板27a、27bの間隔（スリット）を通過した時を単
結晶試料のあおり角が零として判定できる。
従って、あおり角を0.1分以下に迅速かつ容易に調整
することができ、ひいてはかかるあおり角調整後におい
て格子定数の測定を行なった場合、あおり角の調整誤差
による格子定数の測定誤差をΔd/d＝５×10-10以下とい
う極めて小さい値にでき、正確な測定を行なうことがで
きる。
することができ、ひいてはかかるあおり角調整後におい
て格子定数の測定を行なった場合、あおり角の調整誤差
による格子定数の測定誤差をΔd/d＝５×10-10以下とい
う極めて小さい値にでき、正確な測定を行なうことがで
きる。
なお、上記実施例ではあおり角の調整機構を基台、こ
の基台の溝内を往復動作する作動板、該作動板を駆動す
るステッピングモータ、前記基台上に載置された前記作
動板の往復動作に応じて傾動する傾動ブロック、及び該
ブロックに立設され、先端に単結晶試料を支持する支持
板を有する支持棒等により構成したが、これに限定され
ず、要は単結晶試料を支持した状態で該単結晶試料を傾
動できる構造とすればよい。
の基台の溝内を往復動作する作動板、該作動板を駆動す
るステッピングモータ、前記基台上に載置された前記作
動板の往復動作に応じて傾動する傾動ブロック、及び該
ブロックに立設され、先端に単結晶試料を支持する支持
板を有する支持棒等により構成したが、これに限定され
ず、要は単結晶試料を支持した状態で該単結晶試料を傾
動できる構造とすればよい。
［発明の効果］ 以上詳述した如く、本発明によれば単結晶試料のあお
り角の調整を迅速かつ容易に行なうことができ、ひいて
はこのあおり角調整後において検出器で検出された回折
Ｘ線強度により単結晶試料の格子定数を正確に測定でき
る等顕著な効果を有するＸ線回折装置を提供できる。
り角の調整を迅速かつ容易に行なうことができ、ひいて
はこのあおり角調整後において検出器で検出された回折
Ｘ線強度により単結晶試料の格子定数を正確に測定でき
る等顕著な効果を有するＸ線回折装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の一実施例示すＸ線回折装置の平面図、
第２図は調整機構を示す正面図、第３図は第２図の要部
を示す分解斜視図、第４図は第１図の検出器の前方を示
す正面図、第５図は単結晶試料のあおり角及び同試料に
Ｘ線を入射させた時の誤差を含むブラッグ角を説明する
ための斜視図である。 11……Ｘ線光源、12……単結晶試料、13……検出器、14
……調整機構、15……基台、18……ステッピングモー
タ、19……作動板、21……傾動ブロック、24……支持
板、25……回転軸（Θ軸）、26……窓、27a、27b……遮
蔽板。
第２図は調整機構を示す正面図、第３図は第２図の要部
を示す分解斜視図、第４図は第１図の検出器の前方を示
す正面図、第５図は単結晶試料のあおり角及び同試料に
Ｘ線を入射させた時の誤差を含むブラッグ角を説明する
ための斜視図である。 11……Ｘ線光源、12……単結晶試料、13……検出器、14
……調整機構、15……基台、18……ステッピングモー
タ、19……作動板、21……傾動ブロック、24……支持
板、25……回転軸（Θ軸）、26……窓、27a、27b……遮
蔽板。
Claims (1)
- 【請求項１】Ｘ線光源と、このＸ線光源からのＸ線が入
射される単結晶試料を回転させる回転軸（Θ軸）と、前
記回転軸に対して垂直な平面上に配置された前記単結晶
試料からの回折Ｘ線を検出するための検出器と、前記回
転軸に連結され、前記単結晶試料における前記回転軸と
前記単結晶試料の測定すべき格子面とのなす角（あおり
角）を調整するための傾動手段および設定角度の位置で
固定する固定手段を有する調整機構と、前記検出器の窓
に配置され、前記入射Ｘ線を含み前記回転軸に対して垂
直な平面と交わる前記検出器の窓部分を含む領域内にお
いて互いに離接するように上下動する一対の遮蔽板とを
具備し、 前記一対の遮蔽板の間隔（スリット幅）を十分に広くし
た状態で、前記Ｘ線光源からＸ線を前記単結晶試料に入
射させると共に、前記回転軸を回動して前記単結晶試料
の測定すべき格子面の回折Ｘ線が前記一対の遮蔽板環の
窓を通して前記検出器に入射させるように前記単結晶試
料の角度位置、前記検出器の角度位置を設定し、 前記角度設定後に前記遮蔽板を互いに接近するように移
動させてそれらの間隔を狭め、前記調整機構により前記
単結晶試料のあおり角を一定速度で変化させながら、前
記検出器で検出された回折Ｘ線強度をそのあおり角毎に
測定し、得られた回折Ｘ線強度を比較して前記遮蔽板間
を通過するあおり角の範囲を定め、前記遮蔽板を互いに
接近するようにさらに移動させてそれらの間隔を狭める
操作を繰り返し、前記単結晶試料の格子面が前記回転軸
と平行であるあおり角が零にして前記単結晶試料で反射
された回折Ｘ線を前記検出器に入射させることを特徴と
するＸ線回折装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63175866A JP2533169B2 (ja) | 1988-07-14 | 1988-07-14 | Ｘ線回折装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63175866A JP2533169B2 (ja) | 1988-07-14 | 1988-07-14 | Ｘ線回折装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0225738A JPH0225738A (ja) | 1990-01-29 |
| JP2533169B2 true JP2533169B2 (ja) | 1996-09-11 |
Family
ID=16003572
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63175866A Expired - Fee Related JP2533169B2 (ja) | 1988-07-14 | 1988-07-14 | Ｘ線回折装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2533169B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19900346A1 (de) * | 1999-01-07 | 2000-07-13 | Europ Lab Molekularbiolog | Präzisions-Probendrehvorrichtung |
| KR20070002726A (ko) * | 2005-06-30 | 2007-01-05 | 주식회사 에이엘티 | 피측정물의 결정방향 측정장치 및 그 측정방법 |
| CN111157562A (zh) * | 2020-01-17 | 2020-05-15 | 胜科纳米（苏州）有限公司 | 一种窄侧壁样品光电子能谱测试中消除干扰信号的方法以及样品夹具 |
-
1988
- 1988-07-14 JP JP63175866A patent/JP2533169B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0225738A (ja) | 1990-01-29 |
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