JP2529136B2 - 感湿素子およびその製造方法 - Google Patents
感湿素子およびその製造方法Info
- Publication number
- JP2529136B2 JP2529136B2 JP3047452A JP4745291A JP2529136B2 JP 2529136 B2 JP2529136 B2 JP 2529136B2 JP 3047452 A JP3047452 A JP 3047452A JP 4745291 A JP4745291 A JP 4745291A JP 2529136 B2 JP2529136 B2 JP 2529136B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- moisture
- humidity
- sensitive element
- temperature
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、有機高分子樹脂材料を
感湿膜とする容量式の感湿素子およびその製造方法に関
するものである。
感湿膜とする容量式の感湿素子およびその製造方法に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、この種の感湿素子としては、
セルロースアセテートブチレート，セルロースアセテー
トプロピオネート，ポリイミドイミドもしくは線状の高
分子量のポリアミド酸を重合した線状ポリアミドなどの
有機高分子を感湿材料として用い、この感湿材料により
形成される感湿膜の電気容量値変化を湿度検出に利用し
た感湿容量素子が提案されている（特開昭６２−８８９
５１号公報）。
セルロースアセテートブチレート，セルロースアセテー
トプロピオネート，ポリイミドイミドもしくは線状の高
分子量のポリアミド酸を重合した線状ポリアミドなどの
有機高分子を感湿材料として用い、この感湿材料により
形成される感湿膜の電気容量値変化を湿度検出に利用し
た感湿容量素子が提案されている（特開昭６２−８８９
５１号公報）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うに構成された感湿素子は、親水性（水を引き付ける性
質）が高く、吸水率が大きいため、その化学吸着によっ
て高分子と強固に結合した水が多分に残留する。このた
め、例えば４０℃，９０％程度の高温・高湿度雰囲気中
で長時間にわたって使用すると、その出力値がドリフト
するなど長期の安定性に欠けるという問題があった。ま
た、吸湿過程と脱湿過程とでの感湿特性の差（ヒステリ
シス）が低温度側で小さく、高温度側で大きくなり、セ
ンサレスポンスが遅くなるという問題があった。さらに
低湿度雰囲気中で長期間にわたって使用すると、ヒステ
リシスが大きくなるという問題があった。また、結露の
発生，水浸漬によりその出力値がドリフトするという問
題があった。また、有機溶剤雰囲気に晒すと、その出力
値がドリフトするという問題があった。また、感湿素子
が温度特性を持つ場合は感温素子（温度センサ）で温度
補正する必要があるという問題があった。
うに構成された感湿素子は、親水性（水を引き付ける性
質）が高く、吸水率が大きいため、その化学吸着によっ
て高分子と強固に結合した水が多分に残留する。このた
め、例えば４０℃，９０％程度の高温・高湿度雰囲気中
で長時間にわたって使用すると、その出力値がドリフト
するなど長期の安定性に欠けるという問題があった。ま
た、吸湿過程と脱湿過程とでの感湿特性の差（ヒステリ
シス）が低温度側で小さく、高温度側で大きくなり、セ
ンサレスポンスが遅くなるという問題があった。さらに
低湿度雰囲気中で長期間にわたって使用すると、ヒステ
リシスが大きくなるという問題があった。また、結露の
発生，水浸漬によりその出力値がドリフトするという問
題があった。また、有機溶剤雰囲気に晒すと、その出力
値がドリフトするという問題があった。また、感湿素子
が温度特性を持つ場合は感温素子（温度センサ）で温度
補正する必要があるという問題があった。
【０００４】したがって本発明は、低温度から高温度ま
で、また、低湿度から高湿度までの使用範囲においてヒ
ステリシスが小さく、センサレスポンスの速い感湿素子
を提供することを目的としている。また、高湿度，高温
度高湿度，低湿度放置，有機溶剤雰囲気，結露もしくは
水浸漬などの条件に長期的にわたって晒されても安定し
た出力値が得られる感湿素子を提供することを目的とし
ている。また、温度特性が小さく、温度補正が不要な感
湿素子を提供することを目的としている。
で、また、低湿度から高湿度までの使用範囲においてヒ
ステリシスが小さく、センサレスポンスの速い感湿素子
を提供することを目的としている。また、高湿度，高温
度高湿度，低湿度放置，有機溶剤雰囲気，結露もしくは
水浸漬などの条件に長期的にわたって晒されても安定し
た出力値が得られる感湿素子を提供することを目的とし
ている。また、温度特性が小さく、温度補正が不要な感
湿素子を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために本発明による感湿素子は、フッ素化ポリイミド
を用いて感湿膜を構成するものである。また、本発明に
よる感湿素子の製造方法は、フッ素含有ポリイミドオリ
ゴマーを出発材料として薄膜形成後、窒素雰囲気中で２
００℃以上の温度で熱処理することにより、感湿膜を形
成するものである。
るために本発明による感湿素子は、フッ素化ポリイミド
を用いて感湿膜を構成するものである。また、本発明に
よる感湿素子の製造方法は、フッ素含有ポリイミドオリ
ゴマーを出発材料として薄膜形成後、窒素雰囲気中で２
００℃以上の温度で熱処理することにより、感湿膜を形
成するものである。
【０００６】
【作用】本発明における感湿素子において、感湿膜をフ
ッ素化ポリイミドを用いて形成することにより、吸水率
（吸着水分量）が小さくなり、ヒステリシスが小さくな
る。また、本発明による感湿素子の製造方法において
は、吸水率が低く抑えられ、疎水性が向上する。
ッ素化ポリイミドを用いて形成することにより、吸水率
（吸着水分量）が小さくなり、ヒステリシスが小さくな
る。また、本発明による感湿素子の製造方法において
は、吸水率が低く抑えられ、疎水性が向上する。
【０００７】
【実施例】以下、図面を用いて本発明の実施例を詳細に
説明する。図１は本発明による感湿素子の一実施例によ
る構成を示す図であり、図（ａ）は斜視図、図（ｂ）は
その平面図である。これらの図において、１は例えばア
ルミナ基板，ガラス基板，熱酸化シリコン基板などから
なる絶縁性基板、２は絶縁性基板１の上面部に形成され
た例えば白金などからなる下部電極、３はこの下部電極
２に交差するように積層塗着された感湿膜であり、この
感湿膜３はフッ素含有ポリイミドオリゴマーを重合させ
た感湿材料により形成されている。４はこの感湿膜３上
に形成された例えば金などからなる上部電極である。す
なわち感湿膜３は下部電極２と上部電極４とでサンドイ
ッチ状に挟み込み、この感湿膜３の相対湿度に対する電
気容量値の変化を検出すべく下部電極２および上部電極
４にそれぞれリード線２ａおよび４ａが接続されてい
る。
説明する。図１は本発明による感湿素子の一実施例によ
る構成を示す図であり、図（ａ）は斜視図、図（ｂ）は
その平面図である。これらの図において、１は例えばア
ルミナ基板，ガラス基板，熱酸化シリコン基板などから
なる絶縁性基板、２は絶縁性基板１の上面部に形成され
た例えば白金などからなる下部電極、３はこの下部電極
２に交差するように積層塗着された感湿膜であり、この
感湿膜３はフッ素含有ポリイミドオリゴマーを重合させ
た感湿材料により形成されている。４はこの感湿膜３上
に形成された例えば金などからなる上部電極である。す
なわち感湿膜３は下部電極２と上部電極４とでサンドイ
ッチ状に挟み込み、この感湿膜３の相対湿度に対する電
気容量値の変化を検出すべく下部電極２および上部電極
４にそれぞれリード線２ａおよび４ａが接続されてい
る。
【０００８】次にこの感湿素子の製造方法について説明
する。まず、フッ素含有ポリイミドオリゴマーの粉末を
例えば５〜１０ｇｒ用意し、例えばジエチレングリコー
ルジメチルエーテル１０〜５０ｍｌに溶解してフッ素含
有ポリイミドオリゴマー溶液を得る。次にこのフッ素含
有ポリイミドオリゴマー溶液を絶縁性基板１上に形成さ
れた下部電極２上にスピンコート法により塗布した後、
大気中もしくは窒素雰囲気中で１３０〜１５０℃，０．
５〜１．０時間乾燥させて厚さ０．５〜５μｍの感湿膜
３を得る。このとき、スピンナーの回転数は５００〜５
０００ｒｐｍとする。大気中もしくは窒素雰囲気で乾燥
後、今度は窒素雰囲気で１８０℃で０．５〜１時間，２
３０℃で１〜２時間，最終的に４００℃で０．２５〜１
時間の熱処理を行なって重合反応を完結させる。なお、
出発材料であるフッ素含有ポリイミドオリゴマーは、化
１に示すような構造式であり、この式中の［］内の繰り
返し数ｎにより平均重合度が規定される。この平均重合
度ｎは１から３０まで製造可能であり、出発材料として
は、いずれを用いても良く、また、これらの平均重合度
ｎが異なるものの２種類以上の混合でも良い。
する。まず、フッ素含有ポリイミドオリゴマーの粉末を
例えば５〜１０ｇｒ用意し、例えばジエチレングリコー
ルジメチルエーテル１０〜５０ｍｌに溶解してフッ素含
有ポリイミドオリゴマー溶液を得る。次にこのフッ素含
有ポリイミドオリゴマー溶液を絶縁性基板１上に形成さ
れた下部電極２上にスピンコート法により塗布した後、
大気中もしくは窒素雰囲気中で１３０〜１５０℃，０．
５〜１．０時間乾燥させて厚さ０．５〜５μｍの感湿膜
３を得る。このとき、スピンナーの回転数は５００〜５
０００ｒｐｍとする。大気中もしくは窒素雰囲気で乾燥
後、今度は窒素雰囲気で１８０℃で０．５〜１時間，２
３０℃で１〜２時間，最終的に４００℃で０．２５〜１
時間の熱処理を行なって重合反応を完結させる。なお、
出発材料であるフッ素含有ポリイミドオリゴマーは、化
１に示すような構造式であり、この式中の［］内の繰り
返し数ｎにより平均重合度が規定される。この平均重合
度ｎは１から３０まで製造可能であり、出発材料として
は、いずれを用いても良く、また、これらの平均重合度
ｎが異なるものの２種類以上の混合でも良い。
【０００９】
【化１】
【００１０】この化１に示す構造式において、フッ素を
導入したのは、疎水性を向上させるためであり、このフ
ッ素導入により吸水率を低く抑えることが可能となる。
次にこの感湿膜３を積層塗着した絶縁性基板１上に例え
ば金を蒸着法もしくはスパッタリング法により付着させ
て膜厚５０〜１０００Å程度の上部電極４を形成する。
なお、付着金属は金以外にもパラジウム，白金，クロム
などの耐蝕性金属であればいずれの金属を用いても良
い。また、絶縁性基板１上の下部電極２は白金を蒸着法
もしくはスパッタリング法などにより、１０００〜１０
０００Åの厚さで薄膜状に形成することにより得る。ま
た、前述したジエチレングリコールジメチルエーテルの
代わりにテトラヒドロフラン，エチレングリコールジメ
チルエーテル，Ｎ−メチルピロリドンなどの溶媒および
それらの混合溶媒でも同様の効果が得られる。
導入したのは、疎水性を向上させるためであり、このフ
ッ素導入により吸水率を低く抑えることが可能となる。
次にこの感湿膜３を積層塗着した絶縁性基板１上に例え
ば金を蒸着法もしくはスパッタリング法により付着させ
て膜厚５０〜１０００Å程度の上部電極４を形成する。
なお、付着金属は金以外にもパラジウム，白金，クロム
などの耐蝕性金属であればいずれの金属を用いても良
い。また、絶縁性基板１上の下部電極２は白金を蒸着法
もしくはスパッタリング法などにより、１０００〜１０
０００Åの厚さで薄膜状に形成することにより得る。ま
た、前述したジエチレングリコールジメチルエーテルの
代わりにテトラヒドロフラン，エチレングリコールジメ
チルエーテル，Ｎ−メチルピロリドンなどの溶媒および
それらの混合溶媒でも同様の効果が得られる。
【００１１】このように構成された感湿素子は、相対湿
度−電気容量特性を測定した結果、図２に示すようなデ
ータが得られた。なお、この測定にはＬＣＺメータを使
用し、周波数１００ＫＨｚでそれぞれ温度１０℃，２５
℃，４０℃について行った。同図から明らかなように温
度依存性が小さく、良好な感湿特性が得られた。したが
って温度による検出値の変化（温度特性）が小さくなる
ので、回路による温度補正が不要となる。また、同図か
ら明らかなように恒湿槽で安定化させた後、約２分後の
測定ではヒステリシスが１％ＲＨ以下であり、極めて良
好であった。
度−電気容量特性を測定した結果、図２に示すようなデ
ータが得られた。なお、この測定にはＬＣＺメータを使
用し、周波数１００ＫＨｚでそれぞれ温度１０℃，２５
℃，４０℃について行った。同図から明らかなように温
度依存性が小さく、良好な感湿特性が得られた。したが
って温度による検出値の変化（温度特性）が小さくなる
ので、回路による温度補正が不要となる。また、同図か
ら明らかなように恒湿槽で安定化させた後、約２分後の
測定ではヒステリシスが１％ＲＨ以下であり、極めて良
好であった。
【００１２】図３は前述した実施例で製作した感湿素子
を約４０℃，９０％ＲＨの高温・高湿度雰囲気中に放置
した後の２５℃における各１０％ＲＨ，３０％ＲＨ，５
０％ＲＨ，７０％ＲＨ，９０％ＲＨにおける各出力のド
リフトを示したものである。また、図４は比較例として
従来の線状の高分子量のポリアミド酸を重合したポリイ
ミド感湿材料を感湿膜とした感湿素子の２５℃における
２０％ＲＨ，４０％ＲＨ，６０％ＲＨ，８０％ＲＨの各
ドリフトを示したものである。これらの図から明らかな
ように本実施例による感湿素子の出力ドリフトは、従来
（図４）と比較して測定の湿度範囲が広いにもかかわら
ず安定した、すなわちドリフトの小さい感湿特性が得ら
れ、良好であった。また、ヒステリシスも恒湿槽安定
後、約２分後の測定で１％ＲＨ以下となり、従来と比べ
て再現性が良好であるとともに高温・高湿雰囲気中にお
いてさらに長期間にわたって同一雰囲気中に放置しても
殆ど容量比が変化せず、安定している。ここで容量比と
は、２５℃における９０％ＲＨの出力（Ｃ90）と１０％
ＲＨの出力（Ｃ10）の比Ｃ90／Ｃ10を指している。ま
た、高温・高湿雰囲気中に放置した後、室内雰囲気中に
戻すと、可逆的に初期特性に回復することができた。
を約４０℃，９０％ＲＨの高温・高湿度雰囲気中に放置
した後の２５℃における各１０％ＲＨ，３０％ＲＨ，５
０％ＲＨ，７０％ＲＨ，９０％ＲＨにおける各出力のド
リフトを示したものである。また、図４は比較例として
従来の線状の高分子量のポリアミド酸を重合したポリイ
ミド感湿材料を感湿膜とした感湿素子の２５℃における
２０％ＲＨ，４０％ＲＨ，６０％ＲＨ，８０％ＲＨの各
ドリフトを示したものである。これらの図から明らかな
ように本実施例による感湿素子の出力ドリフトは、従来
（図４）と比較して測定の湿度範囲が広いにもかかわら
ず安定した、すなわちドリフトの小さい感湿特性が得ら
れ、良好であった。また、ヒステリシスも恒湿槽安定
後、約２分後の測定で１％ＲＨ以下となり、従来と比べ
て再現性が良好であるとともに高温・高湿雰囲気中にお
いてさらに長期間にわたって同一雰囲気中に放置しても
殆ど容量比が変化せず、安定している。ここで容量比と
は、２５℃における９０％ＲＨの出力（Ｃ90）と１０％
ＲＨの出力（Ｃ10）の比Ｃ90／Ｃ10を指している。ま
た、高温・高湿雰囲気中に放置した後、室内雰囲気中に
戻すと、可逆的に初期特性に回復することができた。
【００１３】なお、前述した実施例においては、サンド
イッチ構造の感湿素子を例にとって説明したが、本発明
はこれに限定されるものではなく、絶縁性基板面上に対
向して一対の櫛形状薄膜電極を形成し、この櫛形状薄膜
電極を覆うように感湿膜を積層形成して得られる櫛形構
造の感湿素子に適用しても同様の効果が得られることは
言うまでもない。
イッチ構造の感湿素子を例にとって説明したが、本発明
はこれに限定されるものではなく、絶縁性基板面上に対
向して一対の櫛形状薄膜電極を形成し、この櫛形状薄膜
電極を覆うように感湿膜を積層形成して得られる櫛形構
造の感湿素子に適用しても同様の効果が得られることは
言うまでもない。
【００１４】さらに前述した実施例においては、感湿膜
の相対湿度に対する電気容量値の変化に注目して湿度検
出を行うものとしたが、その相対湿度の対するインピー
ダンンスの変化に注目して湿度検出を行うような方法を
採用しても良い。
の相対湿度に対する電気容量値の変化に注目して湿度検
出を行うものとしたが、その相対湿度の対するインピー
ダンンスの変化に注目して湿度検出を行うような方法を
採用しても良い。
【００１５】また、前述した実施例における感湿膜は、
水晶振動子上に形成し、その感湿膜の吸着に伴う共振周
波数のずれから湿度を検出する構成をとる感湿素子の感
湿膜としても好適であり、また、表面弾性波素子上に感
湿膜を形成し、その表面弾性波素子を通過する速度の変
化により、湿度を検出する構成をとる感湿素子の感湿膜
としても好適である。
水晶振動子上に形成し、その感湿膜の吸着に伴う共振周
波数のずれから湿度を検出する構成をとる感湿素子の感
湿膜としても好適であり、また、表面弾性波素子上に感
湿膜を形成し、その表面弾性波素子を通過する速度の変
化により、湿度を検出する構成をとる感湿素子の感湿膜
としても好適である。
【００１６】
【発明の効果】以上、説明したように本発明による感湿
素子によれば、フッ素化ポリイミドを用いて感湿膜を構
成したことにより、吸水率が小さくなり、ヒステリシス
が小さくなる。また、温度特性が小さくなり、温度補正
が不要となる。さらに高温・高湿度，有機溶剤雰囲気，
結露などの条件に長時間にわたり晒されも安定した出力
値が得られるなどの極めて優れた効果が得られる。ま
た、本発明による感湿素子の製造方法によれば、フッ素
含有ポリイミドオリゴマーを出発材料として窒素雰囲気
中で２００℃以上の温度で熱処理することにより、吸水
率が低くなり、ドリフトが少なく、かつ温度依存性のな
い安定した感湿特性をヒステリシスが少なく、さらにレ
スポンス良く得ることができる。また、吸着水分量が小
さく、親水性が低いので、その製造後において定温・定
湿雰囲気中でのコンディショニングおよび温湿度サイク
ルのようなコンディショニングが不要もしくは容易とな
るなどの極めて優れた効果が得られる。
素子によれば、フッ素化ポリイミドを用いて感湿膜を構
成したことにより、吸水率が小さくなり、ヒステリシス
が小さくなる。また、温度特性が小さくなり、温度補正
が不要となる。さらに高温・高湿度，有機溶剤雰囲気，
結露などの条件に長時間にわたり晒されも安定した出力
値が得られるなどの極めて優れた効果が得られる。ま
た、本発明による感湿素子の製造方法によれば、フッ素
含有ポリイミドオリゴマーを出発材料として窒素雰囲気
中で２００℃以上の温度で熱処理することにより、吸水
率が低くなり、ドリフトが少なく、かつ温度依存性のな
い安定した感湿特性をヒステリシスが少なく、さらにレ
スポンス良く得ることができる。また、吸着水分量が小
さく、親水性が低いので、その製造後において定温・定
湿雰囲気中でのコンディショニングおよび温湿度サイク
ルのようなコンディショニングが不要もしくは容易とな
るなどの極めて優れた効果が得られる。
【図１】（ａ）は本発明による感湿素子の一実施例によ
る構成を説明する斜視図、（ｂ）は（ａ）の平面図であ
る。
る構成を説明する斜視図、（ｂ）は（ａ）の平面図であ
る。
【図２】本発明による感湿素子の相対湿度−電気容量特
性を示す図である。
性を示す図である。
【図３】本発明による感湿素子の高温・高湿度雰囲気中
に放置した後の２５℃における各１０％ＲＨ，３０％Ｒ
Ｈ，５０％ＲＨ，７０％ＲＨ，９０％ＲＨにおける各出
力のドリフトを示す図である。
に放置した後の２５℃における各１０％ＲＨ，３０％Ｒ
Ｈ，５０％ＲＨ，７０％ＲＨ，９０％ＲＨにおける各出
力のドリフトを示す図である。
【図４】従来の感湿素子の高温・高湿度雰囲気中に放置
した後の２５℃における各２０％ＲＨ，４０％ＲＨ，６
０％ＲＨ，８０％ＲＨにおける各出力のドリフトを示す
図である。
した後の２５℃における各２０％ＲＨ，４０％ＲＨ，６
０％ＲＨ，８０％ＲＨにおける各出力のドリフトを示す
図である。
１ 絶縁性基板 ２ 下部電極 ３ 感湿膜 ４ 上部電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 阿部 亨 神奈川県藤沢市川名１丁目12番２号 山 武ハネウエル株式会社 藤沢工場内 (56)参考文献 特開 昭63−58112（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−88951（ＪＰ，Ａ)
Claims (3)
- 【請求項１】 フッ素化ポリイミドを感湿膜とすること
を特徴とする感湿素子。 - 【請求項２】 フッ素含有ポリイミドオリゴマーを出発
材料として薄膜形成後、窒素雰囲気中で２００℃以上の
温度で熱処理することを特徴とする感湿素子の製造方
法。 - 【請求項３】 請求項２において、フッ素含有ポリイミ
ドオリゴマーの平均重合度ｎがｎ＝１からｎ＝３０まで
の値をとる単体もしくは複数種の混合体よりなるオリゴ
マーを出発材料とすることを特徴とする感湿素子の製造
方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3047452A JP2529136B2 (ja) | 1991-02-21 | 1991-02-21 | 感湿素子およびその製造方法 |
| US07/837,059 US5161085A (en) | 1991-02-21 | 1992-02-18 | Moisture sensitive element and method of manufacturing the same |
| KR92002581A KR960012333B1 (en) | 1991-02-21 | 1992-02-20 | Moisture sensitive element and method of manufacturing the same |
| FI920762A FI111034B (fi) | 1991-02-21 | 1992-02-21 | Kosteusherkkä elementti ja menetelmä sen valmistamiseksi |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3047452A JP2529136B2 (ja) | 1991-02-21 | 1991-02-21 | 感湿素子およびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04265849A JPH04265849A (ja) | 1992-09-22 |
| JP2529136B2 true JP2529136B2 (ja) | 1996-08-28 |
Family
ID=12775549
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3047452A Expired - Fee Related JP2529136B2 (ja) | 1991-02-21 | 1991-02-21 | 感湿素子およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2529136B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7404312B2 (en) | 2003-06-12 | 2008-07-29 | Nippon Soken, Inc. | Humidity-sensitive element for humidity sensor |
| JP2015518158A (ja) * | 2012-06-04 | 2015-06-25 | コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ | グラフェン電極を有する容量性の湿度センサー |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP7212565B2 (ja) * | 2018-03-29 | 2023-01-25 | 住友化学株式会社 | 感湿膜及びそれを用いたセンサ |
-
1991
- 1991-02-21 JP JP3047452A patent/JP2529136B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7404312B2 (en) | 2003-06-12 | 2008-07-29 | Nippon Soken, Inc. | Humidity-sensitive element for humidity sensor |
| JP2015518158A (ja) * | 2012-06-04 | 2015-06-25 | コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ | グラフェン電極を有する容量性の湿度センサー |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04265849A (ja) | 1992-09-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7270002B2 (en) | Humidity sensor element, device and method for manufacturing thereof | |
| EP0395349B2 (en) | Moisture sensitive element | |
| CN107290241B (zh) | 一种qcm湿度传感器及其制备方法 | |
| WO2007102262A1 (ja) | 湿度センサ | |
| US5161085A (en) | Moisture sensitive element and method of manufacturing the same | |
| JPH11502922A (ja) | 空気中の有機成分と溶媒蒸気を検出する高感度物質およびデバイス | |
| JP2529136B2 (ja) | 感湿素子およびその製造方法 | |
| JPH0414301B2 (ja) | ||
| Kuroiwa et al. | A thin-film polysulfone-based capacitive-type relative-humidity sensor | |
| US4528543A (en) | Moisture sensitive resistive element | |
| JPH0412418B2 (ja) | ||
| JP2529137B2 (ja) | 感湿素子およびその製造方法 | |
| Lin et al. | Manufacture and examination of various spin-on glass films with respect to their humidity-sensitive properties | |
| JPH0692953B2 (ja) | 感湿素子 | |
| JP2969547B2 (ja) | 湿度センサおよびその製造方法 | |
| JP3084735B2 (ja) | 静電容量式湿度センサ | |
| JP2002005867A (ja) | 静電容量型湿度センサー | |
| JPH06118045A (ja) | 湿度センサ | |
| JPH0676982B2 (ja) | 感湿素子 | |
| JPH04318450A (ja) | 静電容量式湿度センサ | |
| JPH02285247A (ja) | 感湿素子 | |
| JP2753653B2 (ja) | 感湿素子 | |
| JPH04258750A (ja) | 抵抗変化型感湿素子の製造方法 | |
| JPH01196559A (ja) | 湿度センサ | |
| JPH0227249A (ja) | 感湿素子 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |