JP2519530Y2 - 炉内ロール - Google Patents
炉内ロールInfo
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- JP2519530Y2 JP2519530Y2 JP8421691U JP8421691U JP2519530Y2 JP 2519530 Y2 JP2519530 Y2 JP 2519530Y2 JP 8421691 U JP8421691 U JP 8421691U JP 8421691 U JP8421691 U JP 8421691U JP 2519530 Y2 JP2519530 Y2 JP 2519530Y2
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- Japan
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- pipe
- roll
- outer tube
- furnace
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- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Heat Treatments In General, Especially Conveying And Cooling (AREA)
- Tunnel Furnaces (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この考案は、所謂CVD連続処理
炉の加熱帯、CVD帯等の炉内搬送ロールに好適なロー
ルの構造に関する。
炉の加熱帯、CVD帯等の炉内搬送ロールに好適なロー
ルの構造に関する。
【0002】
【従来技術】高珪素鋼板を製造する方法として、所謂C
VD法(化学気相蒸着法)によるSi拡散浸透処理が知
られている。通常、このCVD法による高珪素鋼板の製
造は、図6に示すように鋼板の加熱帯A、CVD帯B、
均熱帯C、冷却帯Dを連続的に備えた連続炉において、
まず、加熱帯Aで鋼板Sを所定の温度まで加熱した後、
CVD帯BでSiCl4等のSi化合物(以下、SiC
l4を例に説明する)を含む高温(通常、約1200℃
前後)の非酸化性ガス雰囲気中にて浸珪処理(CVD処
理)を施すことにより鋼板の表面からSiを浸透させ、
次いで均熱帯CにおいてSi化合物を含まない非酸化性
ガス雰囲気中で鋼板Sに対して均熱拡散処理を施し、浸
透させたSiを鋼板中に拡散させた後、冷却帯Dで冷却
する。
VD法(化学気相蒸着法)によるSi拡散浸透処理が知
られている。通常、このCVD法による高珪素鋼板の製
造は、図6に示すように鋼板の加熱帯A、CVD帯B、
均熱帯C、冷却帯Dを連続的に備えた連続炉において、
まず、加熱帯Aで鋼板Sを所定の温度まで加熱した後、
CVD帯BでSiCl4等のSi化合物(以下、SiC
l4を例に説明する)を含む高温(通常、約1200℃
前後)の非酸化性ガス雰囲気中にて浸珪処理(CVD処
理)を施すことにより鋼板の表面からSiを浸透させ、
次いで均熱帯CにおいてSi化合物を含まない非酸化性
ガス雰囲気中で鋼板Sに対して均熱拡散処理を施し、浸
透させたSiを鋼板中に拡散させた後、冷却帯Dで冷却
する。
【0003】
【考案が解決しようとする課題】上記連続炉内では鋼板
Sは炉内ロール17で搬送されるが、加熱帯A、CVD
帯B、均熱帯C内の炉内ロール17は1200℃前後の
炉内雰囲気に曝されるため、内部が水冷構造となってい
る。しかし、このようにロールを水冷構造とすると、鋼
板との接触時にこれを急冷し、鋼板の品質に悪影響を与
えるという問題がある。
Sは炉内ロール17で搬送されるが、加熱帯A、CVD
帯B、均熱帯C内の炉内ロール17は1200℃前後の
炉内雰囲気に曝されるため、内部が水冷構造となってい
る。しかし、このようにロールを水冷構造とすると、鋼
板との接触時にこれを急冷し、鋼板の品質に悪影響を与
えるという問題がある。
【0004】このような鋼板の温度低下を防止するた
め、ロールを内管と外管とから構成し、内管内を冷却水
の流路とするとともに、内管と外管との間に断熱材を充
填し、ロール内への過度の入熱を防止するようにした構
造の炉内ロールが用いられているが、このようなロール
でも鋼板の温度低下を十分に防止することはできない。
め、ロールを内管と外管とから構成し、内管内を冷却水
の流路とするとともに、内管と外管との間に断熱材を充
填し、ロール内への過度の入熱を防止するようにした構
造の炉内ロールが用いられているが、このようなロール
でも鋼板の温度低下を十分に防止することはできない。
【0005】本考案はこのような従来の問題に鑑みなさ
れたもので、CVD連続処理炉等において、高温の被搬
送体の温度低下を生じることなく、これを搬送すること
ができる炉内ロールの提供をその目的とする。
れたもので、CVD連続処理炉等において、高温の被搬
送体の温度低下を生じることなく、これを搬送すること
ができる炉内ロールの提供をその目的とする。
【0006】上記のような目的を達成するため、本考案
の炉内ロールは、外管と、その内部に外管内壁と適当な
間隔を設けて配される中管と、内部が冷媒流路を構成
し、前記中管の内部にその内壁と適当な間隔を設けて配
される内管とからなり、外管と中管との間の中空部には
断熱材が充填され、内管と中管との間の中空部を外気と
連通させる通気孔を有する構造としたものである。
の炉内ロールは、外管と、その内部に外管内壁と適当な
間隔を設けて配される中管と、内部が冷媒流路を構成
し、前記中管の内部にその内壁と適当な間隔を設けて配
される内管とからなり、外管と中管との間の中空部には
断熱材が充填され、内管と中管との間の中空部を外気と
連通させる通気孔を有する構造としたものである。
【0007】上記構造において、長手方向での熱膨張に
差がある外管、中管および内管のそれぞれの熱膨張を吸
収するため、内管と中管を一体構造とするとともに、内
管の途中にエキスパンション部を設け、中管をロール軸
受に回転自在に支持させ、外管の一端側を中管の一端側
に対して固定するとともに、外管の他端側を中管の他端
側に対して管軸方向で非固定とし、該非固定側の外管の
端部に、中管に外装され、且つ一端が中管側に係止され
たコイルスプリングの他端を係合させる構造とすること
が好ましい。
差がある外管、中管および内管のそれぞれの熱膨張を吸
収するため、内管と中管を一体構造とするとともに、内
管の途中にエキスパンション部を設け、中管をロール軸
受に回転自在に支持させ、外管の一端側を中管の一端側
に対して固定するとともに、外管の他端側を中管の他端
側に対して管軸方向で非固定とし、該非固定側の外管の
端部に、中管に外装され、且つ一端が中管側に係止され
たコイルスプリングの他端を係合させる構造とすること
が好ましい。
【0008】
【作用】内管の内部には冷却水等の冷媒が流通し、ロー
ルを冷却する。この冷媒はロールの一方の軸端から供給
され、ロールの他方の軸端から排出される。一方、ロー
ル内部への入熱は、外管と中管との間、および中管と内
管との間の各介在層によりそれぞれ制限される。すなわ
ち、外管から中管への入熱は両管の間に介在した断熱材
により、また、中管から内管への入熱は両管の間に介在
した空気層(中空部)により、それぞれ防がれる。ロー
ル内での伝熱は700℃以上では放射伝熱が、また、3
00℃以下では直接伝熱(伝導熱)が主体であり、70
0℃以上の伝熱となる外管・中管間を断熱材で、また、
300℃以下の伝熱となる中管・内管を空気層でそれぞ
れ断熱することにより、被搬送材からロール内部への入
熱を適切に防止することができる。
ルを冷却する。この冷媒はロールの一方の軸端から供給
され、ロールの他方の軸端から排出される。一方、ロー
ル内部への入熱は、外管と中管との間、および中管と内
管との間の各介在層によりそれぞれ制限される。すなわ
ち、外管から中管への入熱は両管の間に介在した断熱材
により、また、中管から内管への入熱は両管の間に介在
した空気層(中空部)により、それぞれ防がれる。ロー
ル内での伝熱は700℃以上では放射伝熱が、また、3
00℃以下では直接伝熱(伝導熱)が主体であり、70
0℃以上の伝熱となる外管・中管間を断熱材で、また、
300℃以下の伝熱となる中管・内管を空気層でそれぞ
れ断熱することにより、被搬送材からロール内部への入
熱を適切に防止することができる。
【0009】外管、中管、内管は、その温度および材質
により長手方向での熱膨張に差があり、これらの熱膨張
はそれぞれ以下のようにして吸収される。まず、内管長
手方向での熱膨張は、その途中に設けられたエキスパン
ション部により吸収される。また、ロール軸受に支持さ
れた中管長手方向での熱膨張は、一方の軸受側に支持さ
れた中管端部を軸受に対して管軸方向で自由端とし、こ
の自由端側で中管の伸びを逃すことにより吸収される。
さらに、外管長手方向での熱膨張は、非固定の端部側に
係合したコイルスプリングの弾性力に抗して外管の伸び
を逃すことにより吸収される。
により長手方向での熱膨張に差があり、これらの熱膨張
はそれぞれ以下のようにして吸収される。まず、内管長
手方向での熱膨張は、その途中に設けられたエキスパン
ション部により吸収される。また、ロール軸受に支持さ
れた中管長手方向での熱膨張は、一方の軸受側に支持さ
れた中管端部を軸受に対して管軸方向で自由端とし、こ
の自由端側で中管の伸びを逃すことにより吸収される。
さらに、外管長手方向での熱膨張は、非固定の端部側に
係合したコイルスプリングの弾性力に抗して外管の伸び
を逃すことにより吸収される。
【0010】
【実施例】図1ないし図5は、本考案の炉内ロールをC
VD連続処理炉等に適用した場合の一実施例を示すもの
であり、Xは炉体、Yは本考案の炉内ロールである。本
考案の炉外ロールYは、外管1と、その内部に外管内壁
と適当な間隔を設けて配される中管2と、この中管の内
部に中管内壁と適当な間隔を設けて配される内管3等か
ら構成されている。内管3の内部は冷却水等の冷媒を流
すための冷媒流路aを構成している。前記各管の材質
は、通常、外管1は耐熱性等を考慮してセラミック製で
あり、中管2と内管3は金属製である。
VD連続処理炉等に適用した場合の一実施例を示すもの
であり、Xは炉体、Yは本考案の炉内ロールである。本
考案の炉外ロールYは、外管1と、その内部に外管内壁
と適当な間隔を設けて配される中管2と、この中管の内
部に中管内壁と適当な間隔を設けて配される内管3等か
ら構成されている。内管3の内部は冷却水等の冷媒を流
すための冷媒流路aを構成している。前記各管の材質
は、通常、外管1は耐熱性等を考慮してセラミック製で
あり、中管2と内管3は金属製である。
【0011】前記外管1と中管2との間の中空部には断
熱材4が充填され、また、内管3と中管2との間の中空
部5は空気層を構成する。中管3には、前記中空部5を
外気と連通させる通気孔12が設けられている。前記断
熱材4としては、例えば、アルミナとシリカを主成分と
するセラミックファイバーが用いられる。
熱材4が充填され、また、内管3と中管2との間の中空
部5は空気層を構成する。中管3には、前記中空部5を
外気と連通させる通気孔12が設けられている。前記断
熱材4としては、例えば、アルミナとシリカを主成分と
するセラミックファイバーが用いられる。
【0012】中管2の両端部200a、200bは外管
1の両端部100a、100bから突出し、この各端部
200a、200bがロール軸受7a、7bに回転自在
に支持されてる。中管2の端部のうち、端部200a側
はロール軸受7aにその管軸方向を固定的に支持されて
いるが、端部200b側はロール軸受7bに対して管軸
方向に変位可能な自由端となっている。
1の両端部100a、100bから突出し、この各端部
200a、200bがロール軸受7a、7bに回転自在
に支持されてる。中管2の端部のうち、端部200a側
はロール軸受7aにその管軸方向を固定的に支持されて
いるが、端部200b側はロール軸受7bに対して管軸
方向に変位可能な自由端となっている。
【0013】内管3は、その両端部300a、300b
が中管2の各端部200a、200b内側に接続され、
中管2と一体構造となっている。中管2の各端部200
a、200bの内部には、内管の冷媒流路aと連通する
冷媒流路a′が設けられている。したがって、冷媒の内
管3への供給、排出は中管2の前記冷媒流路a′を通じ
て行われる。内管3の端部300b寄りの部分には、エ
キスパンション部6(伸縮管部)が設けられている。
が中管2の各端部200a、200b内側に接続され、
中管2と一体構造となっている。中管2の各端部200
a、200bの内部には、内管の冷媒流路aと連通する
冷媒流路a′が設けられている。したがって、冷媒の内
管3への供給、排出は中管2の前記冷媒流路a′を通じ
て行われる。内管3の端部300b寄りの部分には、エ
キスパンション部6(伸縮管部)が設けられている。
【0014】外管1は、その一方の端部100a側が中
管2の端部200a側に対して固定されているが、他方
の端部100b側は中管の他端200b側に対して管軸
方向で非固定となっている。この非固定側の中管の端部
200bには、一端がスプリング押さえ金具9に係止さ
れたコイルスプリング8が外装され、このコイルスプリ
ング8の他端が前記外管1の端部100bに係合し、外
管1を付勢している。
管2の端部200a側に対して固定されているが、他方
の端部100b側は中管の他端200b側に対して管軸
方向で非固定となっている。この非固定側の中管の端部
200bには、一端がスプリング押さえ金具9に係止さ
れたコイルスプリング8が外装され、このコイルスプリ
ング8の他端が前記外管1の端部100bに係合し、外
管1を付勢している。
【0015】なお、その他図面において、13は外管の
両端部100a、100bの外周部において炉内外をシ
ールするシール部、10はスプリング押さえ金具9の位
置を調整するための調整ナット、14は外管1の端部1
00bを中管2に対して周方向で固定するキー、15は
内管3を中管2内の中心に保持するため、中空部5の長
手方向の複数個所に内管3と一体的に設けられるガイド
板、11は中管2の端部200aに固定されるロール回
転駆動用のスプロケットホイールである。また、Sは炉
内ロールに搬送される鋼板である。
両端部100a、100bの外周部において炉内外をシ
ールするシール部、10はスプリング押さえ金具9の位
置を調整するための調整ナット、14は外管1の端部1
00bを中管2に対して周方向で固定するキー、15は
内管3を中管2内の中心に保持するため、中空部5の長
手方向の複数個所に内管3と一体的に設けられるガイド
板、11は中管2の端部200aに固定されるロール回
転駆動用のスプロケットホイールである。また、Sは炉
内ロールに搬送される鋼板である。
【0016】以上のような構造の炉内ロールYでは、内
管3の内部に冷却水等の冷媒が流通し、ロールを冷却す
る。この冷媒は中管2の端部200aから冷媒流路a′
を通じて内管1の冷媒流路aに供給された後、中管2の
端部200b内の冷媒流路a′を通じて外部に排出され
る。
管3の内部に冷却水等の冷媒が流通し、ロールを冷却す
る。この冷媒は中管2の端部200aから冷媒流路a′
を通じて内管1の冷媒流路aに供給された後、中管2の
端部200b内の冷媒流路a′を通じて外部に排出され
る。
【0017】ロール内部への入熱は、3重管の各管間の
介在層によりそれぞれ制限される。すなわち、外管1か
ら中管2への入熱は断熱材4により、また、中管2から
内管3への入熱は中空部5の空気層により、それぞれ制
限される。ロール内での伝熱は700℃以上では放射伝
熱が、また、300℃以下では直接伝熱(伝導熱)が主
体であり、700℃以上の伝熱となる外管1・中管2間
を断熱材4で、また、300℃以下の伝熱となる中管2
・内管3を中空部5の空気層でそれぞれ断熱することに
より、鋼板Sからロール内部への入熱を適切に防止する
ことができる。
介在層によりそれぞれ制限される。すなわち、外管1か
ら中管2への入熱は断熱材4により、また、中管2から
内管3への入熱は中空部5の空気層により、それぞれ制
限される。ロール内での伝熱は700℃以上では放射伝
熱が、また、300℃以下では直接伝熱(伝導熱)が主
体であり、700℃以上の伝熱となる外管1・中管2間
を断熱材4で、また、300℃以下の伝熱となる中管2
・内管3を中空部5の空気層でそれぞれ断熱することに
より、鋼板Sからロール内部への入熱を適切に防止する
ことができる。
【0018】外管1、中管2、内管3は、その温度およ
び材質により長手方向での熱膨張に差があるが、図5に
示すように、まず、中管2と一体構造である内管3長手
方向の熱膨張は、その途中に設けられたエキスパンショ
ン部6により吸収され、また、ロール軸受7a、7bに
支持された中管2長手方向の熱膨張は、自由端である端
部200b側でロ−ル軸受7bに対して中管の伸びを逃
すことにより吸収される。さらに、外管1長手方向での
熱膨張は、その一方の端部100bに係合したコイルス
プリング8の弾性力に抗して外管1の伸びを逃すことに
より吸収される。
び材質により長手方向での熱膨張に差があるが、図5に
示すように、まず、中管2と一体構造である内管3長手
方向の熱膨張は、その途中に設けられたエキスパンショ
ン部6により吸収され、また、ロール軸受7a、7bに
支持された中管2長手方向の熱膨張は、自由端である端
部200b側でロ−ル軸受7bに対して中管の伸びを逃
すことにより吸収される。さらに、外管1長手方向での
熱膨張は、その一方の端部100bに係合したコイルス
プリング8の弾性力に抗して外管1の伸びを逃すことに
より吸収される。
【0019】
【考案の効果】以上述べた本考案の炉内ロールによれ
ば、CVD連続処理炉等において、高温の被搬送体の温
度低下を生じることなく、これを搬送することができ
る。
ば、CVD連続処理炉等において、高温の被搬送体の温
度低下を生じることなく、これを搬送することができ
る。
【図1】本考案の炉内ロールの一実施例を示すもので、
ロールをCVD連続処理炉に適用した場合の縦断面図
ロールをCVD連続処理炉に適用した場合の縦断面図
【図2】図1に示す(イ)部の部分拡大図
【図3】図1に示す(ロ)部の部分拡大図
【図4】図1中のIV−IV線に沿う断面図
【図5】図1に示す実施例において、各管長手方向での
熱膨張の逃げを示す説明図
熱膨張の逃げを示す説明図
【図6】CVD連続処理炉を示す説明図
1…外管、2…中管、3…内管、4…断熱材、5…中空
部、6…エキスパンション部、7a、7b…ロール軸
受、8…コイルスプリング、12…通気孔、100a、
100b、200a、200b、300a、300b…
端部、a、a′…冷媒通路、X…炉体、Y…炉内ロール
部、6…エキスパンション部、7a、7b…ロール軸
受、8…コイルスプリング、12…通気孔、100a、
100b、200a、200b、300a、300b…
端部、a、a′…冷媒通路、X…炉体、Y…炉内ロール
Claims (2)
- 【請求項1】 外管と、その内部に外管内壁と適当な間
隔を設けて配される中管と、内部が冷媒流路を構成し、
前記中管の内部にその内壁と適当な間隔を設けて配され
る内管とからなり、外管と中管との間の中空部には断熱
材が充填され、内管と中管との間の中空部を外気と連通
させる通気孔を有してなる炉内ロール。 - 【請求項2】 内管と中管を一体構造とするとともに、
内管の途中にエキスパンション部を設け、中管をロール
軸受に回転自在に支持させ、外管の一端側を中管の一端
側に対して固定するとともに、外管の他端側を中管の他
端側に対して管軸方向で非固定とし、該非固定側の外管
の端部に、中管に外装され、且つ一端が中管側に係止さ
れたコイルスプリングの他端を係合させてなる請求項1
に記載の炉内ロール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8421691U JP2519530Y2 (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 炉内ロール |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8421691U JP2519530Y2 (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 炉内ロール |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0527051U JPH0527051U (ja) | 1993-04-06 |
JP2519530Y2 true JP2519530Y2 (ja) | 1996-12-04 |
Family
ID=13824286
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8421691U Expired - Lifetime JP2519530Y2 (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | 炉内ロール |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2519530Y2 (ja) |
-
1991
- 1991-09-19 JP JP8421691U patent/JP2519530Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0527051U (ja) | 1993-04-06 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |