JP2516391B2 - レ―ザアニ―ル装置 - Google Patents
レ―ザアニ―ル装置Info
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- JP2516391B2 JP2516391B2 JP63025644A JP2564488A JP2516391B2 JP 2516391 B2 JP2516391 B2 JP 2516391B2 JP 63025644 A JP63025644 A JP 63025644A JP 2564488 A JP2564488 A JP 2564488A JP 2516391 B2 JP2516391 B2 JP 2516391B2
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- Japan
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- signal
- encoder
- motor
- data
- laser
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- Laser Beam Processing (AREA)
- Recrystallisation Techniques (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 発明の目的 （産業上の利用分野） 本発明は、レーザ加工機のアーム等の変位部材が変位
過程の所定位置にあるときにこれに同期してレーザを照
射させるレーザアニール装置に関するものである。
過程の所定位置にあるときにこれに同期してレーザを照
射させるレーザアニール装置に関するものである。
（従来の技術） 従来のレーザアニール装置を第４図に示す。この装置
は、変位部材を駆動するモータM0に付設したエンコーダ
１がモータM0の回転位置を信号化してカウンタ２に送
り、カウンタ２がこの信号を積算してアドレス信号及び
読み出し信号を発し、メモリ３をアクセスする。メモリ
３では予め記憶したON・OFFデータからアドレス信号に
対応するデータが読み出され、これをドライバに供給す
る。そして、このデータに基いてドライバ４の電源回路
がON・OFFすることによりシャッタ５が開閉駆動され
る。即ち、シャッタ５がモータM0の回転に同期して駆動
することにより、変位部材の位置に対応してレーザの照
射・遮断が制御される。
は、変位部材を駆動するモータM0に付設したエンコーダ
１がモータM0の回転位置を信号化してカウンタ２に送
り、カウンタ２がこの信号を積算してアドレス信号及び
読み出し信号を発し、メモリ３をアクセスする。メモリ
３では予め記憶したON・OFFデータからアドレス信号に
対応するデータが読み出され、これをドライバに供給す
る。そして、このデータに基いてドライバ４の電源回路
がON・OFFすることによりシャッタ５が開閉駆動され
る。即ち、シャッタ５がモータM0の回転に同期して駆動
することにより、変位部材の位置に対応してレーザの照
射・遮断が制御される。
（発明が解決しようとする課題） 上記従来のレーザアニール装置においては、エンコー
ダ１のモータM0から得られる位置情報がカウンタ２の積
算処理を必要とするインクリメント信号の場合にのみ適
用することができ、モータM0の性質上、位置情報がアブ
ソリュート信号の場合には適用することができないとい
う問題点がある。
ダ１のモータM0から得られる位置情報がカウンタ２の積
算処理を必要とするインクリメント信号の場合にのみ適
用することができ、モータM0の性質上、位置情報がアブ
ソリュート信号の場合には適用することができないとい
う問題点がある。
そこで、本発明はエンコーダに与えられる位置情報が
アブソリュート信号であるモータの回転に同期させてシ
ャッタの開閉動作を行うことができるレーザアニール装
置を提供することを課題とするものである。
アブソリュート信号であるモータの回転に同期させてシ
ャッタの開閉動作を行うことができるレーザアニール装
置を提供することを課題とするものである。
発明の構成 （課題を解決するための手段） 上記の目的を達成するため、本発明は、レーザ加工機
の変位部材を駆動するモータに付設してその回転位置を
アブソリュートアナログ電圧に信号化してこれをエンコ
ーダ信号として出力するエンコーダと、エンコーダから
の信号化された位置情報をデジタル変換してアドレス信
号を発生するA/D変換器と、アドレス信号を受けて予め
記憶したON又はOFFのデータからこのアドレスに対応す
るデータを供給するメモリと、前記データに従って電源
がON・OFFするシャッタードライバと、前記モータの回
転に同期してシャッタードライバにより駆動することに
より変位部材の位置に対応してレーザの照射・遮断を制
御するシャッタとからレーザアニール装置を構成した。
の変位部材を駆動するモータに付設してその回転位置を
アブソリュートアナログ電圧に信号化してこれをエンコ
ーダ信号として出力するエンコーダと、エンコーダから
の信号化された位置情報をデジタル変換してアドレス信
号を発生するA/D変換器と、アドレス信号を受けて予め
記憶したON又はOFFのデータからこのアドレスに対応す
るデータを供給するメモリと、前記データに従って電源
がON・OFFするシャッタードライバと、前記モータの回
転に同期してシャッタードライバにより駆動することに
より変位部材の位置に対応してレーザの照射・遮断を制
御するシャッタとからレーザアニール装置を構成した。
（作用） 本発明のレーザアニール装置においては、エンコーダ
10がモータM1の回転位置をアブソリュートアナログ信号
化し、A/D変換器11がこの信号をデシタル変換したアド
レス信号及び読み出し信号を発する。メモリ３は読み出
し信号により予め記憶したON・OFFデータからアドレス
信号に対応するデータを供給する。このON・OFFデータ
に基いてドライバ４がシャッタ５を駆動・停止させる。
10がモータM1の回転位置をアブソリュートアナログ信号
化し、A/D変換器11がこの信号をデシタル変換したアド
レス信号及び読み出し信号を発する。メモリ３は読み出
し信号により予め記憶したON・OFFデータからアドレス
信号に対応するデータを供給する。このON・OFFデータ
に基いてドライバ４がシャッタ５を駆動・停止させる。
（実施例） 本発明におけるレーザアニール装置の一実施例を第１
図乃至第３図に示す。第１図はレーザアニール装置のブ
ロック図、第２図はタイムチャート、第３図はガルバノ
スキャナに適用したブロック図である。なお、図中第４
図と同一の構成部分には同一の符号を付して説明を省略
する。
図乃至第３図に示す。第１図はレーザアニール装置のブ
ロック図、第２図はタイムチャート、第３図はガルバノ
スキャナに適用したブロック図である。なお、図中第４
図と同一の構成部分には同一の符号を付して説明を省略
する。
第１図において、M1は、レーザ加工機の変位部材を駆
動するモータである。モータM1にはエンコーダ10が付設
している。エンコーダ10は、モータM1の回転位置をアブ
ソリュート信号として検出し、アナログ電圧に信号化し
たエンコーダ信号を出力する。エンコーダ10には、A/D
変換器11が接続している。A/D変換器11は、前記エンコ
ーダ信号をデジタル変換してアドレス信号を発生すると
共にメモリ３のデータを読み出すための読み出し信号を
発生する。メモリ３は、データエリア内にON・OFFデー
タを予め記憶しており、読み出し信号を受けてアドレス
信号に対応するデータを読み出してドライバ４に供給す
る。ドライバ４は、データに従って電源がON・OFFされ
ることにより駆動・停止する。シャッタ５は、ドライバ
４にて動作し、レーザの開閉を行う。
動するモータである。モータM1にはエンコーダ10が付設
している。エンコーダ10は、モータM1の回転位置をアブ
ソリュート信号として検出し、アナログ電圧に信号化し
たエンコーダ信号を出力する。エンコーダ10には、A/D
変換器11が接続している。A/D変換器11は、前記エンコ
ーダ信号をデジタル変換してアドレス信号を発生すると
共にメモリ３のデータを読み出すための読み出し信号を
発生する。メモリ３は、データエリア内にON・OFFデー
タを予め記憶しており、読み出し信号を受けてアドレス
信号に対応するデータを読み出してドライバ４に供給す
る。ドライバ４は、データに従って電源がON・OFFされ
ることにより駆動・停止する。シャッタ５は、ドライバ
４にて動作し、レーザの開閉を行う。
次に上記実施例の作用を説明する。
モータM1が回転すると、エンコーダ10はモータM1の回
転位置を第２図（ａ）に示すようなアブソリュートアナ
ログ電圧に信号化してこれをエンコーダ信号として出力
する。このエンコーダ信号をA/D変換器11が第２図
（ｂ）に示すようなサンプリングクロックに基いてデジ
タル変換し、第２図（ｃ）に示すようなアドレス信号
と、さらに読み出し信号を発して、メモリ３をアクセス
する。メモリ３は記憶したデータからアドレス信号に対
応した第２図に示すようなON・OFFデータを供給する。
このデータに基くパターンに従ってドライバ４の電源が
ON・OFFし、シャッタ５を駆動・停止させる。即ち、シ
ャッタ５がモータM1の回転に同期して駆動することによ
り、変位部材の位置に対応してレーザの照射・遮断動作
が制御される。
転位置を第２図（ａ）に示すようなアブソリュートアナ
ログ電圧に信号化してこれをエンコーダ信号として出力
する。このエンコーダ信号をA/D変換器11が第２図
（ｂ）に示すようなサンプリングクロックに基いてデジ
タル変換し、第２図（ｃ）に示すようなアドレス信号
と、さらに読み出し信号を発して、メモリ３をアクセス
する。メモリ３は記憶したデータからアドレス信号に対
応した第２図に示すようなON・OFFデータを供給する。
このデータに基くパターンに従ってドライバ４の電源が
ON・OFFし、シャッタ５を駆動・停止させる。即ち、シ
ャッタ５がモータM1の回転に同期して駆動することによ
り、変位部材の位置に対応してレーザの照射・遮断動作
が制御される。
他の実施例を第３図に示す。この実施例ではモータに
ガルバノスキャナM2を適用したものである。ガルバノス
キャナM2にはスキャナドライバ12が接続されており、こ
のスキャナドライバ12はコントロール信号を受けてガル
バノスキャナM2を所定の位置に回転させると共にガルバ
ノスキャナM2の回転位置を信号化したエンコーダ信号を
発生する。そして、エンコーダ信号をA/D変換器11が受
けてアドレス信号に変換すると共に読み出し信号を発生
し、メモリ３がON・OFFデータを供給する。ここでメモ
リ３のデータエリア内のON・OFFデータは、既にデータ
バスにより読み込まれている。以下前記実施例と同様に
ドライバ４がデータに従って作動する。
ガルバノスキャナM2を適用したものである。ガルバノス
キャナM2にはスキャナドライバ12が接続されており、こ
のスキャナドライバ12はコントロール信号を受けてガル
バノスキャナM2を所定の位置に回転させると共にガルバ
ノスキャナM2の回転位置を信号化したエンコーダ信号を
発生する。そして、エンコーダ信号をA/D変換器11が受
けてアドレス信号に変換すると共に読み出し信号を発生
し、メモリ３がON・OFFデータを供給する。ここでメモ
リ３のデータエリア内のON・OFFデータは、既にデータ
バスにより読み込まれている。以下前記実施例と同様に
ドライバ４がデータに従って作動する。
発明の効果 以上のように本発明は、モータM1に付設してその回転
位置を信号化するエンコーダ10と、エンコーダ10からの
信号化された位置情報をデジタル変換してアドレス信号
を発生するA/D変換器11と、アドレス信号を受けて予め
記憶したON・OFFデータからこのアドレスに対応するデ
ータを供給するメモリ３と、このデータに従ってON・OF
Fするドライバ４と、ドライバ４により駆動してレーザ
の照射・遮断を制御するシャッタ５とからレーザアニー
ル装置を構成したため、エンコーダが検出する位置情報
がアブソリュート信号で与えられるモータに対してその
回転に同期するシャッタの開閉動作を行うことができ、
レーザ加工機に適用するモータの自由度を拡大すること
ができるという効果を奏する。
位置を信号化するエンコーダ10と、エンコーダ10からの
信号化された位置情報をデジタル変換してアドレス信号
を発生するA/D変換器11と、アドレス信号を受けて予め
記憶したON・OFFデータからこのアドレスに対応するデ
ータを供給するメモリ３と、このデータに従ってON・OF
Fするドライバ４と、ドライバ４により駆動してレーザ
の照射・遮断を制御するシャッタ５とからレーザアニー
ル装置を構成したため、エンコーダが検出する位置情報
がアブソリュート信号で与えられるモータに対してその
回転に同期するシャッタの開閉動作を行うことができ、
レーザ加工機に適用するモータの自由度を拡大すること
ができるという効果を奏する。
図面は本発明の実施例を示すものであり、第１図はレー
ザアニール装置のブロック図、第２図はタイムチャー
ト、第３図はガルバノスキャナに適用したブロック図、
第４図は従来のレーザアニール装置のブロック図であ
る。 ３……メモリ、４……ドライバ、５……シャッタ、10…
…エンコーダ、11……A/D変換器、M1,M2……モータ。
ザアニール装置のブロック図、第２図はタイムチャー
ト、第３図はガルバノスキャナに適用したブロック図、
第４図は従来のレーザアニール装置のブロック図であ
る。 ３……メモリ、４……ドライバ、５……シャッタ、10…
…エンコーダ、11……A/D変換器、M1,M2……モータ。
Claims (1)
- 【請求項１】レーザ加工機の変位部材を駆動するモータ
に付設してその回転位置をアブソリュートアナログ電圧
に信号化してこれをエンコーダ信号として出力するエン
コーダと、エンコーダからの信号化された位置情報をデ
ジタル変換してアドレス信号を発生するA/D変換器と、
アドレス信号を受けて予め記憶したON又はOFFのデータ
からこのアドレスに対応するデータを供給するメモリ
と、前記データに従って電源がON・OFFするシャッター
ドライバと、前記モータの回転に同期してシャッタード
ライバにより駆動することにより変位部材の位置に対応
してレーザの照射・遮断を制御するシャッタとから成る
ことを特徴とするレーザアニール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63025644A JP2516391B2 (ja) | 1988-02-08 | 1988-02-08 | レ―ザアニ―ル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63025644A JP2516391B2 (ja) | 1988-02-08 | 1988-02-08 | レ―ザアニ―ル装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01202388A JPH01202388A (ja) | 1989-08-15 |
| JP2516391B2 true JP2516391B2 (ja) | 1996-07-24 |
Family
ID=12171540
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63025644A Expired - Lifetime JP2516391B2 (ja) | 1988-02-08 | 1988-02-08 | レ―ザアニ―ル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2516391B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004103628A (ja) * | 2002-09-05 | 2004-04-02 | Hitachi Ltd | レーザアニール装置及びｔｆｔ基板のレーザアニール方法 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60133994A (ja) * | 1983-12-23 | 1985-07-17 | Hitachi Ltd | ビ−ム照射機構 |
| JPS62124092A (ja) * | 1985-11-22 | 1987-06-05 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ溶接装置 |
-
1988
- 1988-02-08 JP JP63025644A patent/JP2516391B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01202388A (ja) | 1989-08-15 |
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