JP2513528Y2 - 濃淡画像処理装置 - Google Patents
濃淡画像処理装置Info
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- JP2513528Y2 JP2513528Y2 JP1990035422U JP3542290U JP2513528Y2 JP 2513528 Y2 JP2513528 Y2 JP 2513528Y2 JP 1990035422 U JP1990035422 U JP 1990035422U JP 3542290 U JP3542290 U JP 3542290U JP 2513528 Y2 JP2513528 Y2 JP 2513528Y2
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 35
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000004069 differentiation Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000007781 pre-processing Methods 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
- Processing Or Creating Images (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Picture Signal Circuits (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 A.産業上の利用分野 本考案は濃淡画像の処理装置に関する。
B.考案の概要 撮像手段からのアナログ信号をデジタル化して記憶す
ると共にこの記憶したデータを読み出して演算処理する
装置において、雑音除去の為に前処理として全画面にフ
ィルター処理をすると非常に演算時間が長くなるが、本
考案では検査経路に沿って予めフィルター処理をするた
めに検査の始点を設定する手段と、検査経路を登録する
手段と、検査経路に沿って濃度情報を読み出して当該濃
度情報にフィルタ操作する手段等を設けたので一画面全
体にフィルタ処理する場合に比べて、短時間で雑音を除
去することができる。
ると共にこの記憶したデータを読み出して演算処理する
装置において、雑音除去の為に前処理として全画面にフ
ィルター処理をすると非常に演算時間が長くなるが、本
考案では検査経路に沿って予めフィルター処理をするた
めに検査の始点を設定する手段と、検査経路を登録する
手段と、検査経路に沿って濃度情報を読み出して当該濃
度情報にフィルタ操作する手段等を設けたので一画面全
体にフィルタ処理する場合に比べて、短時間で雑音を除
去することができる。
C.従来の技術 従来の画像処理装置としては、例えば、映像信号（輝
度信号）を予め設定した輝度レベルと比較し、その輝度
レベルの範囲内に入っていればON信号、その輝度レベル
の範囲外であればOFF信号に変換して、ON−OFFの２値信
号とし、ON信号からOFF信号に変化する座標又はOFF信号
からON信号に変化する座標を求める処理が知られてい
る。更に、その座標の連続を求めて境界線とし、この境
界線に囲まれた領域の重心を求める処理等も知られてい
る。また、映像信号に応じて、比較する輝度レベルを変
化させるフローティング２値化処理も知られている。
度信号）を予め設定した輝度レベルと比較し、その輝度
レベルの範囲内に入っていればON信号、その輝度レベル
の範囲外であればOFF信号に変換して、ON−OFFの２値信
号とし、ON信号からOFF信号に変化する座標又はOFF信号
からON信号に変化する座標を求める処理が知られてい
る。更に、その座標の連続を求めて境界線とし、この境
界線に囲まれた領域の重心を求める処理等も知られてい
る。また、映像信号に応じて、比較する輝度レベルを変
化させるフローティング２値化処理も知られている。
D.考案が解決しようとする課題 しかしながら、上述のような２値画像処理では、濃淡
変化の小さい信号で各種検査をしようとすると、雑音等
の影響により、正確な処理を行うことが出来なかった。
変化の小さい信号で各種検査をしようとすると、雑音等
の影響により、正確な処理を行うことが出来なかった。
また、雑音除去の為に、前処理として、全画面にフィ
ルター等の処理を施すと、非常に時間がかかる問題もあ
る。
ルター等の処理を施すと、非常に時間がかかる問題もあ
る。
本考案は、上記従来技術に鑑みてなされたものであ
り、一画面全体ではなく検査経路に沿ってフィルタ処理
する事により短時間で雑音を除去することのできる濃淡
画像処理装置を提供することを目的とする。
り、一画面全体ではなく検査経路に沿ってフィルタ処理
する事により短時間で雑音を除去することのできる濃淡
画像処理装置を提供することを目的とする。
E.課題を解決するための手段及び作用 本考案では、撮像手段からのアナログ信号をデジタル
化して濃淡情報として記憶すると共にこの濃度情報を読
み出して演算処理する濃淡画像処理装置において、検査
の始点を記憶した始点メモリと、検査経路を登録した検
査経路登録メモリと、始点から検査経路に沿って濃度情
報を読み出して当該濃度情報にフィルタ操作して濃度メ
モリに格納する手段と、前記濃度メモリの値を予め設定
した画素幅で読み出して微分処理して微分メモリに格納
する手段と、前記画素幅が設定された微分スキップ設定
器と、前記微分メモリの値を予め設定された値と比較し
て、所定の濃度範囲内にあるか否かを判定する手段とを
具備し、所定の濃淡及び所定の微分値となる座標を外部
へ出力するので、一画面全体にフィルタ処理する場合に
比べて、短時間で雑音を除去することができる。
化して濃淡情報として記憶すると共にこの濃度情報を読
み出して演算処理する濃淡画像処理装置において、検査
の始点を記憶した始点メモリと、検査経路を登録した検
査経路登録メモリと、始点から検査経路に沿って濃度情
報を読み出して当該濃度情報にフィルタ操作して濃度メ
モリに格納する手段と、前記濃度メモリの値を予め設定
した画素幅で読み出して微分処理して微分メモリに格納
する手段と、前記画素幅が設定された微分スキップ設定
器と、前記微分メモリの値を予め設定された値と比較し
て、所定の濃度範囲内にあるか否かを判定する手段とを
具備し、所定の濃淡及び所定の微分値となる座標を外部
へ出力するので、一画面全体にフィルタ処理する場合に
比べて、短時間で雑音を除去することができる。
F.実施例 以下、本考案について、図面に示す実施例を参照して
詳細に説明する。
詳細に説明する。
第１図に本考案の一実施例に係る濃淡画像処理装置を
示す。同図に示すように画像処理装置は１はA/D変換器
２、画像処理回路３及びD/A変換器４等から構成され、
固体撮像素子１からの出力信号はA/D変換器２によりア
ナログ信号からデジタル信号に変換された後、画像処理
回路３に入力される。固体撮像装置１は、表面に素子の
実装された基板６を撮影するものであり、この基板６は
Ｘ−Ｙテーブル７により位置調整可能である。また、固
体撮像装置１はリングライト８により照明されている。
画像処理回路３としては、第２図に示されるように画像
メモリ９、始点メモリ10、検査経路登録メモリ11、濃度
判定ハイレベル12、濃度判定ローレベル13、検査経路に
沿った濃度メモリ14、微分スキップ設定器15等から構成
されおり、入力された信号は画像メモリ９に例えば、8b
it/画素の濃淡画像データとして書き込まれる。画像メ
モリ９の内容はD/A変換器４によりビデオ信号に変換さ
れてモニタテレビ19に写し出され、またマイクロプロセ
ッサ（以下、CPUと略称する）20からも読み書き出来
る。
示す。同図に示すように画像処理装置は１はA/D変換器
２、画像処理回路３及びD/A変換器４等から構成され、
固体撮像素子１からの出力信号はA/D変換器２によりア
ナログ信号からデジタル信号に変換された後、画像処理
回路３に入力される。固体撮像装置１は、表面に素子の
実装された基板６を撮影するものであり、この基板６は
Ｘ−Ｙテーブル７により位置調整可能である。また、固
体撮像装置１はリングライト８により照明されている。
画像処理回路３としては、第２図に示されるように画像
メモリ９、始点メモリ10、検査経路登録メモリ11、濃度
判定ハイレベル12、濃度判定ローレベル13、検査経路に
沿った濃度メモリ14、微分スキップ設定器15等から構成
されおり、入力された信号は画像メモリ９に例えば、8b
it/画素の濃淡画像データとして書き込まれる。画像メ
モリ９の内容はD/A変換器４によりビデオ信号に変換さ
れてモニタテレビ19に写し出され、またマイクロプロセ
ッサ（以下、CPUと略称する）20からも読み書き出来
る。
始点メモリ10には画面上での検査経路の出発点を示す
絶対座標値が記憶され、また検査経路登録メモリ11には
検査経路を示す座標値が登録されている。検査経路とし
ては、本実施例ではチェインコード列として相対座標形
式で変位量を指定している。また、チェインコード列に
代えて絶対座標により指定してもよい。検査経路として
は、例えば直線パターン、円弧パターン等がある。
絶対座標値が記憶され、また検査経路登録メモリ11には
検査経路を示す座標値が登録されている。検査経路とし
ては、本実施例ではチェインコード列として相対座標形
式で変位量を指定している。また、チェインコード列に
代えて絶対座標により指定してもよい。検査経路として
は、例えば直線パターン、円弧パターン等がある。
この検査経路に沿って読み出された画像メモリの内容
はメディアンフィルター操作を順次施されて、検査経路
に沿った濃度メモリ14に順番に格納される。ここで、メ
ディアンフィルターとしては、第３図に示すように４近
傍の場合と８近傍の場合とがある。４近傍の場合は、中
央の値a0として、上下左右の位置の五つの濃度a0,a1,
a2,a3,a4の中央値を使用するものであり、また、８近傍
の場合は中央の値a0として、上下左右及び斜めの位置の
九つの濃度a0,a1,a2,a3,a4,a5,a6,a7,a8の中央値を使用
するものである。従って、検査経路の全画素数をＮ個と
し、濃度メモリ14の内容をＧ（ｉ）｛ｉ＝１〜Ｎ｝と
し、第４図のように検査経路ｌを取る。メディアンフィ
ルター操作しない場合の検査経路に沿った画像メモリの
内容としては｛a0,b0,c0,d0,e0,f0｝となる。これに対
して、メディアンフィルター操作をすると、次のように
G1,G2…が求められ、濃度メモリ14に格納される。
はメディアンフィルター操作を順次施されて、検査経路
に沿った濃度メモリ14に順番に格納される。ここで、メ
ディアンフィルターとしては、第３図に示すように４近
傍の場合と８近傍の場合とがある。４近傍の場合は、中
央の値a0として、上下左右の位置の五つの濃度a0,a1,
a2,a3,a4の中央値を使用するものであり、また、８近傍
の場合は中央の値a0として、上下左右及び斜めの位置の
九つの濃度a0,a1,a2,a3,a4,a5,a6,a7,a8の中央値を使用
するものである。従って、検査経路の全画素数をＮ個と
し、濃度メモリ14の内容をＧ（ｉ）｛ｉ＝１〜Ｎ｝と
し、第４図のように検査経路ｌを取る。メディアンフィ
ルター操作しない場合の検査経路に沿った画像メモリの
内容としては｛a0,b0,c0,d0,e0,f0｝となる。これに対
して、メディアンフィルター操作をすると、次のように
G1,G2…が求められ、濃度メモリ14に格納される。
G1＝｛a0.b0.b3.a3.a4.a5.a6.a7.a8｝の中央値 G2＝｛b0.c0.c3.b3.a3.a0.a7.b7.c7｝の中央値 この濃度メモリ14の内容G1,G2…を濃度判定ハイレベ
ル12、濃度判定ローレベル13の二つの値と順次比較し、
この判定レベルの範囲内に濃度メモリの内容G1,G2…が
ある時は、ON（＝１）信号を出力し、またその範囲外で
あればOFF（＝０）信号を出力する。
ル12、濃度判定ローレベル13の二つの値と順次比較し、
この判定レベルの範囲内に濃度メモリの内容G1,G2…が
ある時は、ON（＝１）信号を出力し、またその範囲外で
あればOFF（＝０）信号を出力する。
更に、検査経路に沿った画像メモリ９の内容は、次の
ように微分されて、その演算結果は検査経路に沿った微
分メモリ16に格納される。ここでもメディアンフィルタ
ーが使用されるが、上記と同様なので省略する。
ように微分されて、その演算結果は検査経路に沿った微
分メモリ16に格納される。ここでもメディアンフィルタ
ーが使用されるが、上記と同様なので省略する。
Ｄ（ｉ）＝Ｇ（ｉ＋ｋ）−Ｇ（ｉ−ｋ） 尚、上記式に代えて次の式の何れかを使用してもよ
い。
い。
Ｄ（ｉ）＝Ｇ（ｉ−ｋ）−Ｇ（ｉ＋ｋ） Ｄ（ｉ）＝Ｇ（ｉ＋ｋ）−Ｇ（ｉ） Ｄ（ｉ）＝Ｇ（ｉ）−Ｇ（ｉ−ｋ） ここで、ｋは微分演算において読み出す前後の画素の
幅であり、微分スキップ設定器15で設定する。
幅であり、微分スキップ設定器15で設定する。
この微分メモリ14の内容Ｄ（ｉ）を微分判定ハイレベ
ル17、微分判定ローレベル18の二つの値と順次比較し、
濃度メモリ９の急激な変化位置を検出する。例えば、明
るさ150〜200の範囲では、微分値‐30〜‐255となる最
初の（x,y）座標の位置が検査経路上でどの位置にある
かを検出する。例えば、第５図に示すように濃度がある
点から急激に明るくなり、その後一定距離ほぼその明る
さが保たれ、ある点から急激に暗くなる場合には、その
微分値は濃度の変化する点で極値を迎える。そこで、そ
の時の座標値を出力する。
ル17、微分判定ローレベル18の二つの値と順次比較し、
濃度メモリ９の急激な変化位置を検出する。例えば、明
るさ150〜200の範囲では、微分値‐30〜‐255となる最
初の（x,y）座標の位置が検査経路上でどの位置にある
かを検出する。例えば、第５図に示すように濃度がある
点から急激に明るくなり、その後一定距離ほぼその明る
さが保たれ、ある点から急激に暗くなる場合には、その
微分値は濃度の変化する点で極値を迎える。そこで、そ
の時の座標値を出力する。
また、これらの結果は、モニタテレビ19にて確認でき
る他、システムバス21を介してプリンター22等により確
認できるようになっている。
る他、システムバス21を介してプリンター22等により確
認できるようになっている。
尚、第１図中、23はCRT、24はキーボード、25は制御
装置である。
装置である。
G.考案の効果 以上、実施例に基づいて具体的に説明したように本考
案では、一画面全体にフィルタ処理するのではなく、検
査経路に沿ってフィルタ処理する事により短時間で雑音
を除去することができる。特に、２値画像の明暗画像の
明暗変化位置を検査し、明暗パターンの立ち上がり、立
ち下がり位置、最大長さ等を計測するランレングス検査
の場合には、メディアンフィルターを使用すれば雑音除
去ができ、安定して検査ができる利点がある。
案では、一画面全体にフィルタ処理するのではなく、検
査経路に沿ってフィルタ処理する事により短時間で雑音
を除去することができる。特に、２値画像の明暗画像の
明暗変化位置を検査し、明暗パターンの立ち上がり、立
ち下がり位置、最大長さ等を計測するランレングス検査
の場合には、メディアンフィルターを使用すれば雑音除
去ができ、安定して検査ができる利点がある。
第１図は本考案の一実施例にかかる濃淡画像処理装置の
構成図、第２図は前記実施例中の画像処理回路の構成
図、第３図（ａ）（ｂ）はそれぞれメディアンフィルタ
ーの説明図、第４図は検査経路とメディアンフィルター
との関係の説明図、第５図は濃度の変化とその微分値を
示すグラフである。 図面中 １は画像処理装置、２はA/D変換器、３は画像処理回
路、４はD/A変換器、５は固体撮像素子、６は基板、７
はＸ−Ｙテーブル、８はリングライト、９は画像メモ
リ、10は始点メモリ、11は検査経路登録メモリ、12は濃
度判定ハイレベル、13は濃度判定ローレベル、14は検査
経路に沿った濃度メモリ、15は微分スキップ設定器、16
は検査経路に沿った微分メモリ、17は微分判定ハイレベ
ル、18は微分判定ローレベル、19はテレビモニタ、20は
CPU、21はシステムバス、22はプリンタ、23はCRT、24は
キーボード、25制御装置である。
構成図、第２図は前記実施例中の画像処理回路の構成
図、第３図（ａ）（ｂ）はそれぞれメディアンフィルタ
ーの説明図、第４図は検査経路とメディアンフィルター
との関係の説明図、第５図は濃度の変化とその微分値を
示すグラフである。 図面中 １は画像処理装置、２はA/D変換器、３は画像処理回
路、４はD/A変換器、５は固体撮像素子、６は基板、７
はＸ−Ｙテーブル、８はリングライト、９は画像メモ
リ、10は始点メモリ、11は検査経路登録メモリ、12は濃
度判定ハイレベル、13は濃度判定ローレベル、14は検査
経路に沿った濃度メモリ、15は微分スキップ設定器、16
は検査経路に沿った微分メモリ、17は微分判定ハイレベ
ル、18は微分判定ローレベル、19はテレビモニタ、20は
CPU、21はシステムバス、22はプリンタ、23はCRT、24は
キーボード、25制御装置である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０６Ｆ 15/62 ３８０
Claims (1)
- 【請求項１】撮像手段からのアナログ信号をデジタル化
して濃度情報として記憶すると共にこの濃度情報を読み
出して演算処理する濃淡画像処理装置において、検査の
始点を記憶した始点メモリと、検査経路を登録した検査
経路登録メモリと、始点から検査経路に沿って濃度情報
を読み出して当該濃度情報にフィルタ操作して濃度メモ
リに格納する手段と、前記濃度メモリの値を予め設定し
た画素幅で読み出して微分処理して微分メモリに格納す
る手段と、前記画素幅が設定された微分スキップ設定器
と、前記微分メモリの値を予め設定された値と比較し
て、所定の濃度範囲内にあるか否かを判定する手段とを
具備し、所定の濃淡及び所定の微分値となる座標を外部
へ出力することを特徴とする濃淡画像処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990035422U JP2513528Y2 (ja) | 1990-04-03 | 1990-04-03 | 濃淡画像処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990035422U JP2513528Y2 (ja) | 1990-04-03 | 1990-04-03 | 濃淡画像処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03128377U JPH03128377U (ja) | 1991-12-24 |
| JP2513528Y2 true JP2513528Y2 (ja) | 1996-10-09 |
Family
ID=31540770
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990035422U Expired - Fee Related JP2513528Y2 (ja) | 1990-04-03 | 1990-04-03 | 濃淡画像処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2513528Y2 (ja) |
-
1990
- 1990-04-03 JP JP1990035422U patent/JP2513528Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03128377U (ja) | 1991-12-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |