JP2511997B2 - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JP2511997B2 JP2511997B2 JP62196726A JP19672687A JP2511997B2 JP 2511997 B2 JP2511997 B2 JP 2511997B2 JP 62196726 A JP62196726 A JP 62196726A JP 19672687 A JP19672687 A JP 19672687A JP 2511997 B2 JP2511997 B2 JP 2511997B2
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- film
- magnetization
- magnetic recording
- plane
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は短波長記録再生特性の優れた垂直磁気記録媒
体に関する。
体に関する。
従来の技術 情報化社会の進展に伴い、記録媒体の高密度化が要求
されている。磁気記録の分野で高記録密度化に対して有
望視されているものの一つが垂直磁気記録方式であり、
CoCr系の材料を用いた薄膜磁気記録媒体を中心に研究開
発が進められている。CoCr垂直磁気異方性膜の形成は真
空蒸着法及びスパッタ法等によって行われている。一
方、垂直磁気記録方式の応用分野としてビデオテープレ
コーダがあるが、回転シリンダを用いた記録再生系を考
えるとリングヘッドの使用が望ましい。
されている。磁気記録の分野で高記録密度化に対して有
望視されているものの一つが垂直磁気記録方式であり、
CoCr系の材料を用いた薄膜磁気記録媒体を中心に研究開
発が進められている。CoCr垂直磁気異方性膜の形成は真
空蒸着法及びスパッタ法等によって行われている。一
方、垂直磁気記録方式の応用分野としてビデオテープレ
コーダがあるが、回転シリンダを用いた記録再生系を考
えるとリングヘッドの使用が望ましい。
発明が解決しようとする問題点 ところが実際に垂直磁気異方性膜とリングヘッドを用
いた記録再生においては十分な再生出力を得ることがで
きず高密度磁気記録を実用に供するには再生出力のさら
なる向上が必要である。
いた記録再生においては十分な再生出力を得ることがで
きず高密度磁気記録を実用に供するには再生出力のさら
なる向上が必要である。
問題点を解決するための手段 垂直保磁力が面内保磁力よりも大きく、面内方向の磁
化曲線が、面内方向の保磁力Hcに相当する磁界近傍での
磁化量の急激な変化を有し（ここで急激な変化とはＸ＝
Hc付近での磁化曲線の傾きがＸ＝０での傾きの1.5倍以
上である場合を指す）、かつ面内磁化曲線がＹ軸と交差
する点（0,Mr）（Mr＞０）において引いた接線と、直線
Ｘ＝Hcとの交点を（−Hc,Mj）とするとき、Mjの飽和磁
化量Msに対する比Mj/Msが５％から30％の範囲にあり、
かつ膜表面から膜のエッチングを行うと、膜厚100nmに
至るまでエッチング後のMj/Msが略一定であるよう磁気
記録媒体を構成する。
化曲線が、面内方向の保磁力Hcに相当する磁界近傍での
磁化量の急激な変化を有し（ここで急激な変化とはＸ＝
Hc付近での磁化曲線の傾きがＸ＝０での傾きの1.5倍以
上である場合を指す）、かつ面内磁化曲線がＹ軸と交差
する点（0,Mr）（Mr＞０）において引いた接線と、直線
Ｘ＝Hcとの交点を（−Hc,Mj）とするとき、Mjの飽和磁
化量Msに対する比Mj/Msが５％から30％の範囲にあり、
かつ膜表面から膜のエッチングを行うと、膜厚100nmに
至るまでエッチング後のMj/Msが略一定であるよう磁気
記録媒体を構成する。
作用 本発明によれば、リングヘッドを用いて高密度記録再
生が高出力で実現可能である。
生が高出力で実現可能である。
実施例 厚さ10μｍのポリイミド基板上にTi下地膜を20nmの厚
さに蒸着した後に蒸着法によってCoCr膜を形成した。基
板温度は250℃である。作製した膜の磁化曲線はVSMによ
って測定した。面内方向の磁化曲線には第１図に示され
るようにＸ＝Hc近傍での磁化量の急激な変化が観察され
た（以下この現象を磁化量急変と呼ぶ）。この磁化量急
変の程度は、第１図で面内磁化曲線がＹ軸と交差する点
（0,Mr）（Mr＞０）において引いた接線と、直線Ｘ＝Hc
との交点（−Hc,Mj）を求めることによりMjとして求め
た。さらにこの磁化量急変の様子は２通りに大別でき
る。即ち磁化量急変の原因が基板近傍に限定された膜成
長初期層にある場合、及び磁化量急変が膜全体から発生
している場合である。前者（以下これを初期層ジャンプ
膜と呼ぶ）の場合には第２図（ａ）に示すように、急変
磁化量は膜厚が初期層以上になるとほぼ一定するのに対
して、後者（以下これを全体ジャンプ膜と呼ぶ）の場合
には第２図（ｂ）に示すように、急変磁化量は膜厚の増
加に対してほぼ比例的に増加を続ける。初期層ジャンプ
膜と全体ジャンプ膜の現れる成膜条件は明確ではない
が、同一堆積速度では真空度の良い条件下の方が初期層
ジャンプ膜に成りやすい傾向にある。
さに蒸着した後に蒸着法によってCoCr膜を形成した。基
板温度は250℃である。作製した膜の磁化曲線はVSMによ
って測定した。面内方向の磁化曲線には第１図に示され
るようにＸ＝Hc近傍での磁化量の急激な変化が観察され
た（以下この現象を磁化量急変と呼ぶ）。この磁化量急
変の程度は、第１図で面内磁化曲線がＹ軸と交差する点
（0,Mr）（Mr＞０）において引いた接線と、直線Ｘ＝Hc
との交点（−Hc,Mj）を求めることによりMjとして求め
た。さらにこの磁化量急変の様子は２通りに大別でき
る。即ち磁化量急変の原因が基板近傍に限定された膜成
長初期層にある場合、及び磁化量急変が膜全体から発生
している場合である。前者（以下これを初期層ジャンプ
膜と呼ぶ）の場合には第２図（ａ）に示すように、急変
磁化量は膜厚が初期層以上になるとほぼ一定するのに対
して、後者（以下これを全体ジャンプ膜と呼ぶ）の場合
には第２図（ｂ）に示すように、急変磁化量は膜厚の増
加に対してほぼ比例的に増加を続ける。初期層ジャンプ
膜と全体ジャンプ膜の現れる成膜条件は明確ではない
が、同一堆積速度では真空度の良い条件下の方が初期層
ジャンプ膜に成りやすい傾向にある。
次にリングヘッドを用いた高密度記録再生において初
期層ジャンプ膜と全体ジャンプ膜で記録密度160kfrpiで
の再生出力がどの様に異なるかを調べた。測定に用いた
媒体の静磁気特性と出力を表１に示す。表１の再生出力
は試料番号１の媒体の再生出力を基準とした時の相対値
を示している。ここで試料番号１の媒体の規格化出力は
100μVpp/mm・turn・m/sであった。なおここで垂直異方
性磁界Hkは第３図に示すように、面内方向の磁化曲線に
引いた接線から求めた。また飽和磁化量に対して急変磁
化量の占める割合を急変比（＝Mj/Mr）とした。測定に
用いたヘッドはギャップ長G1＝0.15μｍ、ギャップ深さ
Gd＝10μｍ、巻数２ターン、トラック幅Tw＝20μｍのMn
Znフェライトリングヘッドであり、ヘッド〜媒体相対速
度3m/secで測定した。
期層ジャンプ膜と全体ジャンプ膜で記録密度160kfrpiで
の再生出力がどの様に異なるかを調べた。測定に用いた
媒体の静磁気特性と出力を表１に示す。表１の再生出力
は試料番号１の媒体の再生出力を基準とした時の相対値
を示している。ここで試料番号１の媒体の規格化出力は
100μVpp/mm・turn・m/sであった。なおここで垂直異方
性磁界Hkは第３図に示すように、面内方向の磁化曲線に
引いた接線から求めた。また飽和磁化量に対して急変磁
化量の占める割合を急変比（＝Mj/Mr）とした。測定に
用いたヘッドはギャップ長G1＝0.15μｍ、ギャップ深さ
Gd＝10μｍ、巻数２ターン、トラック幅Tw＝20μｍのMn
Znフェライトリングヘッドであり、ヘッド〜媒体相対速
度3m/secで測定した。
表１で試料番号１から８は急変比が膜厚の変化に対し
てあまり変化しない膜（全体ジャンプ膜）、試料番号９
から14は急変比が膜厚の変化に対して大きく変化する膜
（初期層ジャンプ膜）である。各試料を膜表面からイオ
ンエッチングして残留膜厚と急変比の関係を調べた結果
を図４に示す。試料番号１から８は膜厚100nm以上で急
変比が２から40％の範囲でそれぞれほぼ一定となるのに
対して（図４（ａ））、試料番号９から14の膜は膜厚の
減少と共に急変比が増加し、磁化量急変が初期層に起因
していることが分かる。表１から分かるように全体ジャ
ンプ膜に比べてジャンプ比が５〜30％の初期層ジャンプ
膜は大きな再生出力が得られ、少なくともリングヘッド
を用いた高密度記録再生には初期層ジャンプ膜よりも全
体ジャンプ膜が適していることがわかる。
てあまり変化しない膜（全体ジャンプ膜）、試料番号９
から14は急変比が膜厚の変化に対して大きく変化する膜
（初期層ジャンプ膜）である。各試料を膜表面からイオ
ンエッチングして残留膜厚と急変比の関係を調べた結果
を図４に示す。試料番号１から８は膜厚100nm以上で急
変比が２から40％の範囲でそれぞれほぼ一定となるのに
対して（図４（ａ））、試料番号９から14の膜は膜厚の
減少と共に急変比が増加し、磁化量急変が初期層に起因
していることが分かる。表１から分かるように全体ジャ
ンプ膜に比べてジャンプ比が５〜30％の初期層ジャンプ
膜は大きな再生出力が得られ、少なくともリングヘッド
を用いた高密度記録再生には初期層ジャンプ膜よりも全
体ジャンプ膜が適していることがわかる。
尚、表１にはCoCr膜についての結果を示したが、CoCr
Ni等のその他のCo基合金垂直磁気異方性膜についても急
変比と再生出力の間には同様の関係があることが分かっ
た。ただし、急変比及び急変比の膜厚に対する変化が適
当であっても膜厚が200〜300nmの範囲外にある膜につい
ては出力が低下するので膜厚としては200〜300nmが望ま
しいと思われる。
Ni等のその他のCo基合金垂直磁気異方性膜についても急
変比と再生出力の間には同様の関係があることが分かっ
た。ただし、急変比及び急変比の膜厚に対する変化が適
当であっても膜厚が200〜300nmの範囲外にある膜につい
ては出力が低下するので膜厚としては200〜300nmが望ま
しいと思われる。
発明の効果 本発明によれば、リングヘッドを用いて高密度記録再
生が高出力で実現可能である。
生が高出力で実現可能である。
第１図は磁化曲線における磁化量急変を示すグラフ、第
２図は膜厚に対する磁化急変量の変化を示すグラフ、第
３図は磁化曲線から垂直異方性磁界を求める方法を示す
図、第４図は試料を膜表面からイオンエッチングして膜
厚と急変比の関係を調べた結果を示すグラフである。 １……面内磁化曲線、２……飽和磁化量レベル、３……
磁界＝０での接線、４……原点を通る接線、Hc……面内
保磁力、Mj……磁化急変量、Hk……垂直異方性磁界。
２図は膜厚に対する磁化急変量の変化を示すグラフ、第
３図は磁化曲線から垂直異方性磁界を求める方法を示す
図、第４図は試料を膜表面からイオンエッチングして膜
厚と急変比の関係を調べた結果を示すグラフである。 １……面内磁化曲線、２……飽和磁化量レベル、３……
磁界＝０での接線、４……原点を通る接線、Hc……面内
保磁力、Mj……磁化急変量、Hk……垂直異方性磁界。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 南部 太郎 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭61−204820（ＪＰ，Ａ)
Claims (4)
- 【請求項１】垂直保磁力が面内保磁力よりも大きく、面
内方向の磁化曲線が、面内方向の保磁力Hcに相当する磁
界近傍での磁化量の急激な変化を有し、かつ面内磁化曲
線がＹ軸と交差する点（0,Mr）（Mr＞０）において引い
た接線と、直線Ｘ＝Hcとの交点を（−Hc,Mj）とすると
き、Mjの飽和磁化量Msに対する比Mj/Msが５％から30％
の範囲にあり、かつ膜表面から膜のエッチングを行う
と、膜厚100nmに至るまでエッチング後のMj/Msが略一定
であることを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項２】面内方向の磁化曲線において、原点から磁
化曲線にひいた接線と、飽和磁化レベルとの交点から印
加磁界軸におろした垂線と、印加磁界軸との交点が、２
〜4.5kOeの範囲にあることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の磁気記録媒体。 - 【請求項３】膜厚が200〜300nmの範囲にあることを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の磁気記録媒体。 - 【請求項４】磁性層の主成分がCo基合金からなることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62196726A JP2511997B2 (ja) | 1987-08-06 | 1987-08-06 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62196726A JP2511997B2 (ja) | 1987-08-06 | 1987-08-06 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6439620A JPS6439620A (en) | 1989-02-09 |
| JP2511997B2 true JP2511997B2 (ja) | 1996-07-03 |
Family
ID=16362571
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62196726A Expired - Fee Related JP2511997B2 (ja) | 1987-08-06 | 1987-08-06 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2511997B2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61204820A (ja) * | 1985-06-18 | 1986-09-10 | Victor Co Of Japan Ltd | 垂直磁気記録媒体 |
| JPS6216230A (ja) * | 1985-07-16 | 1987-01-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 垂直磁気記録媒体及び磁気記録再生方法 |
-
1987
- 1987-08-06 JP JP62196726A patent/JP2511997B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6439620A (en) | 1989-02-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |