JP2508841Y2 - フオトマスクブランクス用保持具 - Google Patents
フオトマスクブランクス用保持具Info
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- Japan
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- substrate
- film
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- shielding film
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- Expired - Lifetime
Links
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1884590U JP2508841Y2 (ja) | 1990-02-28 | 1990-02-28 | フオトマスクブランクス用保持具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1884590U JP2508841Y2 (ja) | 1990-02-28 | 1990-02-28 | フオトマスクブランクス用保持具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03110439U JPH03110439U (enExample) | 1991-11-13 |
| JP2508841Y2 true JP2508841Y2 (ja) | 1996-08-28 |
Family
ID=31521988
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1884590U Expired - Lifetime JP2508841Y2 (ja) | 1990-02-28 | 1990-02-28 | フオトマスクブランクス用保持具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2508841Y2 (enExample) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4803576B2 (ja) * | 2004-09-29 | 2011-10-26 | Hoya株式会社 | マスクブランク用基板、マスクブランク、露光用マスク、半導体デバイスの製造方法、及びマスクブランク用基板の製造方法 |
| DE102005046135B4 (de) * | 2004-09-29 | 2017-04-13 | Hoya Corp. | Substrat für Maskenrohling, Maskenrohling, Belichtungsmaske und Herstellungsverfahren für Maskenrohlingssubstrat |
| JP4190523B2 (ja) | 2005-07-22 | 2008-12-03 | シャープ産業株式会社 | 応援用打ち鳴らし具 |
| JP5393972B2 (ja) * | 2007-11-05 | 2014-01-22 | Hoya株式会社 | マスクブランク及び転写用マスクの製造方法 |
-
1990
- 1990-02-28 JP JP1884590U patent/JP2508841Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03110439U (enExample) | 1991-11-13 |
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Legal Events
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