JP2507648Y2 - 半導体圧力センサ装置 - Google Patents

半導体圧力センサ装置

Info

Publication number
JP2507648Y2
JP2507648Y2 JP1990108268U JP10826890U JP2507648Y2 JP 2507648 Y2 JP2507648 Y2 JP 2507648Y2 JP 1990108268 U JP1990108268 U JP 1990108268U JP 10826890 U JP10826890 U JP 10826890U JP 2507648 Y2 JP2507648 Y2 JP 2507648Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure sensor
semiconductor pressure
substrate
casing
cover
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP1990108268U
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0464741U (ja
Inventor
進 長野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP1990108268U priority Critical patent/JP2507648Y2/ja
Publication of JPH0464741U publication Critical patent/JPH0464741U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2507648Y2 publication Critical patent/JP2507648Y2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
  • Pressure Sensors (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は、半導体圧力センサを実装する基板と、該
基板を収納し半導体圧力センサの信号を外部に出力する
半導体圧力センサ装置に関するものである。
〔従来の技術〕
第3図は、実開昭60−137494に示された半導体圧力セ
ンサ装置であり、ケーシング1内に配置された半導体圧
力センサ2及び他の電子部品3は、基板4に組みつけら
れ、基板4ごとケース内に装着されている。
即ち、図において、1は電気信号を伝達するコネクタ
1aとニップル1bを備えたハウジングで、このハウジング
外周部には、カバー5を挿入し、接着剤にて固定するた
めの溝部1cが構成されている。そしてハウジング1の内
部、即ち上記溝部1cの内側には、全周に約1mmもしくは
それ以上の間隙を有して、半導体圧力センサ2及び電子
回路3を搭載したメタル基板4が装着されている。
〔考案が解決しようとする課題〕 従来の圧力センサ装置は以上のように構成されていた
ので、ケーシングの全面を利用することができず、ま
た、搭載電子部品の占める面積からしてもこれ以上の小
形軽量化を達成することが困難な状況であった。
この考案は、上記のような課題を解消するためになさ
れたもので、耐震性能がよく、組立作業が簡単である小
形の半導体圧力センサ装置を提供することを目的とす
る。
〔課題を解決するための手段〕
この考案に係る半導体圧力センサ装置は、圧力導入部
と電気信号のコネクタとを有するケーシングの外周に、
溝部と、内縁の高さを外縁の高さより低くすることのよ
って段差が形成されるように内縁及び外縁とを設け、カ
バーの外周端を上記溝部に挿入し、カバー内に半導体圧
力センサ及び電子回路が収納されるように基板を内縁上
で支持し、段差内における基板の外周部と上記カバーと
の間、及び上記溝部に接着剤を注入したものである。
[作用] この考案によると、ケーシングの外周の内縁上で基板
を支持して半導体圧力センサ及び電子回路をカバー内に
収納したのでカバー内の空間を有効に利用することがで
き小形にすることができ、また、基板を所定の高さの位
置に支持するのが容易となる。また、内縁の高さを外縁
の高さより低くすることによって段差が形成されるよう
に内縁及び外縁とを設け、段差内における基板の外周部
と上記カバーとの間、及び上記溝部に接着剤を注入した
ので、カバーとケーシングとの間の気密が確実となり、
基板をカバーに確実に固定することができ耐震性能が向
上する。
〔実施例〕
以下、この考案の一実施例を図について説明する。第
1図は半導体圧力センサ装置を示す断面図、第2図はそ
の要部の拡大断面図である。
図において、11は電気信号を伝達するコネクタ11aと
圧力を導入する圧力導入部であるニップル11bを有し、
かつ内部を気密に保つため、エポキシ背着剤16を注入す
る溝11cを外周部に設けたケーシング、12はこのケーシ
ング11内に収容した半導体圧力センサ、13は半導体圧力
センサ12によって圧電変換された電気信号を増幅及び保
護する電子回路であり、この半導体圧力センサ12及び電
子回路13は基板14上に半田付け固定されて電気回路を構
成している。15はケーシング11と共に、半導体圧力セン
サユニットの外溝をなすカバーであり、その外周端15a
がエポキシ接着剤16が注入された溝部11cに挿入され、
気密封止される。カバー15には、半導体圧力センサ12、
電子回路13及び基板14が収納されている。
ここで基板14は、第2図の拡大図で示すように、その
外周部14bがケーシング11の溝部11cの内縁11d上に載置
されている。なおこのとき、溝部11cは、内縁11d側が外
縁11e側より基板14の有する厚み分以上低く設定されて
段差Dが形成されており、基板14が装着されても、溝部
11cを構成する内縁11dと外縁11eでは外縁の方が内縁と
同じ高さもしくは高くなる。これにより、カバー15の外
周端15aが溝部11cへの挿入に際して、エポキシ接着剤16
がケーシング11の外部へ溢れ出すことがない。
また、カバー15の外周端15aが溝部11cへ挿入される
と、エポキシ接着剤16が溝部11cから基板14の外周部14b
とカバー15との間に押し出されて、段差D部内において
基板14とカバー15との間を密封すると共に基板14をカバ
ー15に固定する。この場合、段差D部の高さは基板14の
厚さTより薄くても、接着剤16が基板14とカバー15との
間を密封したり基板14をカバー15に固定する効果がある
ことは言うまでもない。
また基板14は半導体圧力センサ12を保持しており、半
導体圧力センサ12のニップル12aは、ケーシング11の圧
力を導入するニップル11bより導かれる圧力を内部にと
り込むため、ケーシング内部のカップ部11fに予め挿入
されたOリング17によって位置決めされる。同時に、ケ
ーシング11の外部に電気信号を導出するターミナル11g
と、基板14内部に構成された半田接続端子穴14aは、一
定の間隙を保ち挿入され、ここでも位置決めされる。
このようにすれば、基板14は、半導体圧力センサニッ
プル12a及び半田接続端子穴14aにより、ケーシング11の
カップ部11f及びターミナル11gに位置決めされるので、
基板14のケーシング内縁11d上への配設にあたり、基板
の溝部へのはみ出しの心配がない。
また、基板14をケーシング11の内縁11dによって支持
しているので、基板14を所定の高さの位置に支持するの
が容易となる。
また、溝部11cがケーシング11に設けられているの
で、ケーシング11を第1図のように上を向けた状態で組
立ても、組立の過程で溝部11cから接着剤11がもれ落ち
る恐れがなく、組立が容易である。
〔考案の効果〕
以上のようにこの考案によれば、圧力導入部と電気信
号のコネクタとを有するケーシングの外周に、溝部と、
内縁の高さを外縁の高さより低くすることのよって段差
部が形成されるように内縁及び外縁とを設け、カバーの
外周端を上記溝部に挿入し、カバー内に半導体圧力セン
サ及び電子回路が収納されるように基板を内縁上で支持
し、段差部における基板の外周部と上記カバーとの間、
及び上記溝部に接着剤を注入することによって、カバー
内の空間を有効に利用することができ、また、基板を所
定の位置に支持するのが容易となり小形にでき、また、
カバーとケーシングとの間の気密が確実となり、基板が
カバーに確実に固定でき耐震性能が向上するという効果
がある。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの考案の一実施例を示す半導体圧力センサ装
置の断面図、第2図はその一部であるケーシング溝部の
拡大断面図、第3図は従来の半導体圧力センサ装置を示
す断面図である。 図中、11はケーシング、11cは溝部、11dは内側部縁、12
は半導体圧力センサ、14は基板、16は接着剤である。 なお、図中同一符号は同一又は相当部分を示す。

Claims (1)

    (57)【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】圧力導入部と電気信号のコネクタとを有し
    外周に溝部とこの溝部の内側及び外側のそれぞれに内縁
    及び外縁が形成されたケーシング、半導体圧力センサ及
    び電子回路が設けられ上記半導体圧力センサ及び上記電
    子回路が上記ケーシングの反対側に配置されるように上
    記内縁上で支持された基板、外周端が上記溝部に挿入さ
    れ上記半導体圧力センサ及び上記電子回路が収納された
    カバーを備え、上記内縁の高さを上記外縁の高さより低
    くして段差部を形成し、上記段差部における上記基板の
    外周部と上記カバーとの間、及び上記溝部に接着剤を注
    入したことを特徴とする半導体圧力センサ装置。
JP1990108268U 1990-10-15 1990-10-15 半導体圧力センサ装置 Expired - Lifetime JP2507648Y2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1990108268U JP2507648Y2 (ja) 1990-10-15 1990-10-15 半導体圧力センサ装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1990108268U JP2507648Y2 (ja) 1990-10-15 1990-10-15 半導体圧力センサ装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0464741U JPH0464741U (ja) 1992-06-03
JP2507648Y2 true JP2507648Y2 (ja) 1996-08-14

Family

ID=31855174

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1990108268U Expired - Lifetime JP2507648Y2 (ja) 1990-10-15 1990-10-15 半導体圧力センサ装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2507648Y2 (ja)

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0628664Y2 (ja) * 1987-05-09 1994-08-03 三菱電機株式会社 半導体圧力検出装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0464741U (ja) 1992-06-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20040095732A1 (en) Housing structure of vehicle-mounted electronic equipment
JP4757004B2 (ja) 圧力センサーを具備する時計
EP1286136B1 (en) Inertia transducer
JP4557181B2 (ja) 電子制御装置
US5783748A (en) Semiconductor sensor including protective resin package
US7682159B2 (en) Electrical connector and camera device having the same
JP2008067173A (ja) マイクロフォンモジュール、その取付構造及び携帯電子機器
JP2001041499A (ja) インバータ制御装置およびその製造方法
KR20010099916A (ko) 개방 공동부 반도체 다이 패키지
JP3220672U (ja) 電子装置及びその当止め構造
US20080188107A1 (en) Submersible electrical connector assembly and method of forming same
JP2507648Y2 (ja) 半導体圧力センサ装置
JP3520412B2 (ja) センサ取付構造並びにこれを備えた電子機器及び腕時計
JPH08292118A (ja) 圧力センサ
JP2004219402A (ja) 圧力センサ装置およびその製造方法
JPH103074A (ja) 液晶表示器保持構造
JPH1038730A (ja) 圧力センサ並びに圧力センサを用いた圧力検出装置
JPH08116179A (ja) 電子回路容器
JP3186044B2 (ja) 圧力検出器
JP3575526B2 (ja) 圧力検出器
JP3187922B2 (ja) 固体撮像素子のコネクタ及び実装方法
JP3182753B2 (ja) 圧力検出器
JPS6234313Y2 (ja)
JPH067575Y2 (ja) 気密端子
JPH09218123A (ja) 圧力センサ

Legal Events

Date Code Title Description
EXPY Cancellation because of completion of term