JP2505225B2 - 気体レ―ザ装置 - Google Patents
気体レ―ザ装置Info
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- JP2505225B2 JP2505225B2 JP28394587A JP28394587A JP2505225B2 JP 2505225 B2 JP2505225 B2 JP 2505225B2 JP 28394587 A JP28394587 A JP 28394587A JP 28394587 A JP28394587 A JP 28394587A JP 2505225 B2 JP2505225 B2 JP 2505225B2
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/034—Optical devices within, or forming part of, the tube, e.g. windows, mirrors
- H01S3/0346—Protection of windows or mirrors against deleterious effects
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は金属、非金属の切断に使用される大出力レー
ザ発振装置に関し、より詳細には良質の発振モードを得
るように改良した折り返し鏡ホルダーを有するCO2ガス
レーザ装置に関する。
ザ発振装置に関し、より詳細には良質の発振モードを得
るように改良した折り返し鏡ホルダーを有するCO2ガス
レーザ装置に関する。
CO2ガスレーザは出力が大きく、出力モードも良質で
あり、金属の切断はもとより、非金属の切断等に広く使
用されている。このようなCO2ガスレーザ用共振器の原
理図を第５図に示す。図において、１は全反射鏡、２及
び３は折り返し鏡、４は出力結合鏡であって、共振器内
に形成された定在波５の一部をレーザ光６として外部に
取り出す。折り返し鏡２、３が用いられるのは全体の共
振器長を半分にするためである。共振器長そのものは共
振器内に形成された定在波エネルギーからできるだけ大
きいエネルギーを引き出したいめに、できるだけ大きく
する必要がある。
あり、金属の切断はもとより、非金属の切断等に広く使
用されている。このようなCO2ガスレーザ用共振器の原
理図を第５図に示す。図において、１は全反射鏡、２及
び３は折り返し鏡、４は出力結合鏡であって、共振器内
に形成された定在波５の一部をレーザ光６として外部に
取り出す。折り返し鏡２、３が用いられるのは全体の共
振器長を半分にするためである。共振器長そのものは共
振器内に形成された定在波エネルギーからできるだけ大
きいエネルギーを引き出したいめに、できるだけ大きく
する必要がある。
第６図に従来の折り返し鏡を保持するための構造を示
す。第６図では、折り返し鏡２は第５図に対して、45゜
回転して、垂直になるように表してある。図において、
折り返し鏡２はフランジ７に取りつけたミラー支持用リ
ング８に背後から押し付けて支持されている。そのため
にＯ−リング９を中間に挟んで、押し付け用キャップ12
によって、押し付ける。押し付け用キャップ12は端部が
ネジになっているキャップ13によって、締め付けられ
る。共振器内部は外気から気密構造である必要があるの
で、折り返し鏡２の冷却はフランジ７中に設けられた冷
却水循環路11を使用して、間接冷却される。この結果折
り返し鏡２はその端部のみ冷却される。
す。第６図では、折り返し鏡２は第５図に対して、45゜
回転して、垂直になるように表してある。図において、
折り返し鏡２はフランジ７に取りつけたミラー支持用リ
ング８に背後から押し付けて支持されている。そのため
にＯ−リング９を中間に挟んで、押し付け用キャップ12
によって、押し付ける。押し付け用キャップ12は端部が
ネジになっているキャップ13によって、締め付けられ
る。共振器内部は外気から気密構造である必要があるの
で、折り返し鏡２の冷却はフランジ７中に設けられた冷
却水循環路11を使用して、間接冷却される。この結果折
り返し鏡２はその端部のみ冷却される。
第６図に示す従来の折り返し鏡を保持する構造には以
下に示す問題点がある。
下に示す問題点がある。
第１に、折り返し鏡２にかかる過大な締付け力による
折り返し鏡の変形であって、この変形によってレーザ発
振モードがTEM00モードから大幅にずれてしまい、加工
特性を低下させてしまう。逆に締付け力が過小である
と、気密性が十分に保たれない。従って、Ｏ−リング９
の締付け力を厳密に管理する必要がある。また、折り返
し鏡２の変形は折り返し鏡２の鏡面の両側におけるＯ−
リング９と支持用リング８の当たり位置がずれるときに
も発生する。
折り返し鏡の変形であって、この変形によってレーザ発
振モードがTEM00モードから大幅にずれてしまい、加工
特性を低下させてしまう。逆に締付け力が過小である
と、気密性が十分に保たれない。従って、Ｏ−リング９
の締付け力を厳密に管理する必要がある。また、折り返
し鏡２の変形は折り返し鏡２の鏡面の両側におけるＯ−
リング９と支持用リング８の当たり位置がずれるときに
も発生する。
第２に、折り返し鏡２の両側にかかる圧力差に起因す
る変形がある。第６図において、折り返し鏡２の左側は
レーザ放電管側であるので、圧力は通常50Torr程度であ
る。一方、折り返し鏡２の右側はＯ−リング９の存在の
ために、大気圧のままである。この折り返し鏡２の両側
の気圧差が原因となって、折り返し鏡が変形して、その
ために共振器の発振モードがTEM00モードからずれてし
まうことがある。図では、大気圧の部分を14で示す。な
お、図中の15で示す領域も大気圧であるが、この部分は
折り返し鏡２の変形にあまり関係しない。
る変形がある。第６図において、折り返し鏡２の左側は
レーザ放電管側であるので、圧力は通常50Torr程度であ
る。一方、折り返し鏡２の右側はＯ−リング９の存在の
ために、大気圧のままである。この折り返し鏡２の両側
の気圧差が原因となって、折り返し鏡が変形して、その
ために共振器の発振モードがTEM00モードからずれてし
まうことがある。図では、大気圧の部分を14で示す。な
お、図中の15で示す領域も大気圧であるが、この部分は
折り返し鏡２の変形にあまり関係しない。
第３に、第６図の従来の構造では、折り返し鏡２が冷
却水循環路11による間接冷却のため、十分に冷却されな
い。特に、折り返し鏡２の端部は冷却効果があるが、中
央部分で発生した熱の冷却には十分ではない。
却水循環路11による間接冷却のため、十分に冷却されな
い。特に、折り返し鏡２の端部は冷却効果があるが、中
央部分で発生した熱の冷却には十分ではない。
本発明では上記の問題点を解決するために、第１の発
明では、 全反射鏡、折り返し鏡、出力結合鏡からなり、光軸を
多段折り返しにした共振器からなる気体レーザ装置であ
って、 折り返し鏡ホルダーが複数個の切り込みを有し、該切
り込みによって可撓性と弾力性を持たせたて、一体構造
をなすことを特徴とする気体レーザ装置が、 提供される。
明では、 全反射鏡、折り返し鏡、出力結合鏡からなり、光軸を
多段折り返しにした共振器からなる気体レーザ装置であ
って、 折り返し鏡ホルダーが複数個の切り込みを有し、該切
り込みによって可撓性と弾力性を持たせたて、一体構造
をなすことを特徴とする気体レーザ装置が、 提供される。
また、第２の発明では、 全反射鏡、折り返し鏡、出力結合鏡からなり、光軸を
多段折り返しにした共振器からなる気体レーザ装置であ
って、 折り返し鏡ホルダーが複数個の切り込みを有し、該切
り込みによって可撓性と弾力性を持たせたて、一体構造
をなし、 前記折り返し鏡ホルダーに、折り返し鏡の背面への気
体の通路を設け、該折り返し鏡の前面と背面の圧力が等
しくなるように構成したことを特徴とする気体レーザ装
置が、 提供される。
多段折り返しにした共振器からなる気体レーザ装置であ
って、 折り返し鏡ホルダーが複数個の切り込みを有し、該切
り込みによって可撓性と弾力性を持たせたて、一体構造
をなし、 前記折り返し鏡ホルダーに、折り返し鏡の背面への気
体の通路を設け、該折り返し鏡の前面と背面の圧力が等
しくなるように構成したことを特徴とする気体レーザ装
置が、 提供される。
さらに、第３の発明では、 全反射鏡、折り返し鏡、出力結合鏡からなり、光軸を
多段折り返しにした共振器からなる気体レーザ装置であ
って、 折り返し鏡ホルダーが複数個の切り込みを有し、該切
り込みによって可撓性と弾力性を持たせたて、一体構造
をなし、 前記折り返し鏡ホルダー内に冷却水路を設けたことを
特徴とする気体レーザ装置が、 提供される。
多段折り返しにした共振器からなる気体レーザ装置であ
って、 折り返し鏡ホルダーが複数個の切り込みを有し、該切
り込みによって可撓性と弾力性を持たせたて、一体構造
をなし、 前記折り返し鏡ホルダー内に冷却水路を設けたことを
特徴とする気体レーザ装置が、 提供される。
折り返し鏡ホルダーに切り込みを入れ、この折り返し
鏡ホルダーで折り返し鏡を固定することにより、折り返
し鏡に過大な締付け力が加わるのを防止する。これに加
え、切り込みによって折り返し鏡ホルダーに可撓性をも
たせ、当たり位置のずれを防止する。
鏡ホルダーで折り返し鏡を固定することにより、折り返
し鏡に過大な締付け力が加わるのを防止する。これに加
え、切り込みによって折り返し鏡ホルダーに可撓性をも
たせ、当たり位置のずれを防止する。
また、折り返し鏡ホルダーに通路を設け、折り返し鏡
の前面の圧力と背面の圧力が等しくなるようにして、折
り返し鏡の両面の圧力差による変形を防止する。
の前面の圧力と背面の圧力が等しくなるようにして、折
り返し鏡の両面の圧力差による変形を防止する。
さらに、折り返し鏡ホルダーに冷却水路を設けて、折
り返し鏡の冷却を面方向に熱が伝播するようにして、折
り返し鏡の冷却を増進している。
り返し鏡の冷却を面方向に熱が伝播するようにして、折
り返し鏡の冷却を増進している。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図に本発明の一実施例の気体レーザ装置の折り返
し鏡を保持するための部分構造図を示す。図において、
５は定在波、すなわちレーザ光であり、２は折り返し鏡
である。７はフランジであり、８は支持リングである。
16は折り返し鏡ホルダーである。
し鏡を保持するための部分構造図を示す。図において、
５は定在波、すなわちレーザ光であり、２は折り返し鏡
である。７はフランジであり、８は支持リングである。
16は折り返し鏡ホルダーである。
折り返し鏡ホルダー16はネジ27、28によって、フラン
ジ７に結合されと同時に、折り返し鏡２は支持リング８
と折り返し鏡ホルダー16によって、固定される。24はＯ
−リングであり、フランジ７と折り返し鏡ホルダー16の
気密を保つためのものである。折り返し鏡ホルダー16に
は、切り込み17、18、19、20が設けられており、弾力性
と可撓性を持たせ、折り返し鏡２への過大な締付け力を
防止する。切り込み17〜20の詳細については、後述す
る。
ジ７に結合されと同時に、折り返し鏡２は支持リング８
と折り返し鏡ホルダー16によって、固定される。24はＯ
−リングであり、フランジ７と折り返し鏡ホルダー16の
気密を保つためのものである。折り返し鏡ホルダー16に
は、切り込み17、18、19、20が設けられており、弾力性
と可撓性を持たせ、折り返し鏡２への過大な締付け力を
防止する。切り込み17〜20の詳細については、後述す
る。
また、折り返し鏡ホルダー16には通路25が設けられて
おり、フランジ７には通路26がそれぞれ設けられてい
る。従って、折り返し鏡２の背面の圧力は前面の圧力と
同じとなり、圧力差による折り返し鏡２の変形を防止す
ることができる。
おり、フランジ７には通路26がそれぞれ設けられてい
る。従って、折り返し鏡２の背面の圧力は前面の圧力と
同じとなり、圧力差による折り返し鏡２の変形を防止す
ることができる。
さらに、折り返し鏡ホルダー16には、冷却水路21、冷
却水入口22、冷却水出口23が設けられており、冷却水を
循環することにより、折り返し鏡ホルダー16を冷却し、
折り返し鏡２を冷却する。とくに、折り返し鏡２と折り
返し鏡ホルダー16は面で接合しており、折り返し鏡ホル
ダー16はアルミニューム等の金属で構成されているの
で、折り返し鏡２の熱を十分にとることができる。さら
に、面で接合しているので、熱の放散が一様であり、折
り返し鏡２の熱による変形を防ぐことができる。
却水入口22、冷却水出口23が設けられており、冷却水を
循環することにより、折り返し鏡ホルダー16を冷却し、
折り返し鏡２を冷却する。とくに、折り返し鏡２と折り
返し鏡ホルダー16は面で接合しており、折り返し鏡ホル
ダー16はアルミニューム等の金属で構成されているの
で、折り返し鏡２の熱を十分にとることができる。さら
に、面で接合しているので、熱の放散が一様であり、折
り返し鏡２の熱による変形を防ぐことができる。
第２図に折り返し鏡ホルダー16の斜視図を示す。図に
おいて、25は先に説明した折り返し鏡２の前面と背面の
圧力を一定にするための通路であり、17〜20は折り返し
鏡ホルダー16に弾力性と可撓性を持たせるための切り込
みである。
おいて、25は先に説明した折り返し鏡２の前面と背面の
圧力を一定にするための通路であり、17〜20は折り返し
鏡ホルダー16に弾力性と可撓性を持たせるための切り込
みである。
第３図に折り返し鏡ホルダーの切り込みの詳細を示
す。図において、17〜20は切り込みであり、17は右側か
ら、18は左側から、19は紙面の奥側から手前に、20は紙
面の手前から奥へ向けて、それぞれ切り込みを入れてあ
る。
す。図において、17〜20は切り込みであり、17は右側か
ら、18は左側から、19は紙面の奥側から手前に、20は紙
面の手前から奥へ向けて、それぞれ切り込みを入れてあ
る。
第４図に折り返し鏡ホルダーの他の切り込みの詳細を
示す。図において、17〜20は切り込みであり、17は右側
から、18は紙面の奥側から手前に、19は左側から、20は
紙面の手前から奥へ向けて、それぞれ切り込みを入れて
ある。
示す。図において、17〜20は切り込みであり、17は右側
から、18は紙面の奥側から手前に、19は左側から、20は
紙面の手前から奥へ向けて、それぞれ切り込みを入れて
ある。
これ以外にも、種々の切り込みの形式が考えられが、
第３図及び第４図に示す切り込みを有する折り返し鏡ホ
ルダーによって、折り返し鏡への過大な締付け力を防止
することができた。
第３図及び第４図に示す切り込みを有する折り返し鏡ホ
ルダーによって、折り返し鏡への過大な締付け力を防止
することができた。
また第１図からも明らかなように、折り返し鏡ホルダ
ーは一体化されて、簡単な構造となっている。
ーは一体化されて、簡単な構造となっている。
以上説明したように本発明では、折り返し鏡ホルダー
に切り込みを入れ、この折り返し鏡ホルダーで折り返し
鏡を固定するように構成したので、折り返し鏡に過大な
締付け力が加わるのを防止し、これに加え、切り込みに
よって折り返し鏡ホルダーに可撓性をもたせ、当たり位
置のずれを防止して、折り返し鏡の変形によるモードの
劣化を防止し、加工上有用なTEM00モードを得ることが
できる。
に切り込みを入れ、この折り返し鏡ホルダーで折り返し
鏡を固定するように構成したので、折り返し鏡に過大な
締付け力が加わるのを防止し、これに加え、切り込みに
よって折り返し鏡ホルダーに可撓性をもたせ、当たり位
置のずれを防止して、折り返し鏡の変形によるモードの
劣化を防止し、加工上有用なTEM00モードを得ることが
できる。
また、折り返し鏡ホルダーに通路を設け、折り返し鏡
の前面の圧力と背面の圧力が等しくなるように構成して
いるので、折り返し鏡の両面の圧力差による変形を防止
でき、モード変形が防止でき、加工上有用なTEM00モー
ドが得られる。
の前面の圧力と背面の圧力が等しくなるように構成して
いるので、折り返し鏡の両面の圧力差による変形を防止
でき、モード変形が防止でき、加工上有用なTEM00モー
ドが得られる。
さらに、折り返し鏡ホルダーに冷却水路を設けて、折
り返し鏡の冷却を面方向に熱が伝播するように構成した
ので、折り返し鏡の冷却効果が十分となり、加工上有用
なTEM00モードが得られると同時に、折り返し鏡の寿命
が延長される。
り返し鏡の冷却を面方向に熱が伝播するように構成した
ので、折り返し鏡の冷却効果が十分となり、加工上有用
なTEM00モードが得られると同時に、折り返し鏡の寿命
が延長される。
これに加え、折り返し鏡ホルダーが一体化され、部品
点数が減少し、組立が容易になるとともにコストも低減
される。
点数が減少し、組立が容易になるとともにコストも低減
される。
第１図は本発明の一実施例の気体レーザ装置の折り返し
鏡を保持するための部分構造図、 第２図は折り返し鏡ホルダーの斜視図、 第３図は折り返し鏡ホルダーの切り込みの詳細を示す
図、 第４図は折り返し鏡ホルダーの他の切り込みの詳細を示
す図、 第５図は従来のCO2ガスレーザ用共振器の原理図、 第６図は従来の折り返し鏡を保持するための部分構造図
である。 ２……折り返し鏡 ４……出力結合鏡 ５……定在波の光軸 ７……フランジ ８……支持リング 16……折り返し鏡ホルダー 17〜20……切り込み 21……冷却水路 22……冷却水入口 23……冷却水出口 24……Ｏ−リング 25……ガス通路 26……ガス通路
鏡を保持するための部分構造図、 第２図は折り返し鏡ホルダーの斜視図、 第３図は折り返し鏡ホルダーの切り込みの詳細を示す
図、 第４図は折り返し鏡ホルダーの他の切り込みの詳細を示
す図、 第５図は従来のCO2ガスレーザ用共振器の原理図、 第６図は従来の折り返し鏡を保持するための部分構造図
である。 ２……折り返し鏡 ４……出力結合鏡 ５……定在波の光軸 ７……フランジ ８……支持リング 16……折り返し鏡ホルダー 17〜20……切り込み 21……冷却水路 22……冷却水入口 23……冷却水出口 24……Ｏ−リング 25……ガス通路 26……ガス通路
Claims (3)
- 【請求項１】全反射鏡、折り返し鏡、出力結合鏡からな
り、光軸を多段折り返しにした共振器からなる気体レー
ザ装置であって、 折り返し鏡ホルダーが複数個の切り込みを有し、該切り
込みによって可撓性と弾力性を持たせたて、一体構造を
なすことを特徴とする気体レーザ装置。 - 【請求項２】全反射鏡、折り返し鏡、出力結合鏡からな
り、光軸を多段折り返しにした共振器からなる気体レー
ザ装置であって、 折り返し鏡ホルダーが複数個の切り込みを有し、該切り
込みによって可撓性と弾力性を持たせたて、一体構造を
なし、 前記折り返し鏡ホルダーに、折り返し鏡の背面への気体
の通路を設け、該折り返し鏡の前面と背面の圧力が等し
くなるように構成したことを特徴とする気体レーザ装
置。 - 【請求項３】全反射鏡、折り返し鏡、出力結合鏡からな
り、光軸を多段折り返しにした共振器からなる気体レー
ザ装置であって、 折り返し鏡ホルダーが複数個の切り込みを有し、該切り
込みによって可撓性と弾力性を持たせたて、一体構造を
なし、 前記折り返し鏡ホルダー内に冷却水路を設けたことを特
徴とする気体レーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28394587A JP2505225B2 (ja) | 1987-11-10 | 1987-11-10 | 気体レ―ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28394587A JP2505225B2 (ja) | 1987-11-10 | 1987-11-10 | 気体レ―ザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01125883A JPH01125883A (ja) | 1989-05-18 |
| JP2505225B2 true JP2505225B2 (ja) | 1996-06-05 |
Family
ID=17672257
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28394587A Expired - Fee Related JP2505225B2 (ja) | 1987-11-10 | 1987-11-10 | 気体レ―ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2505225B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20210036478A1 (en) * | 2018-02-05 | 2021-02-04 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Optical system element, for receiving a pressurised functional fluid |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| IT1239891B (it) * | 1990-02-09 | 1993-11-15 | Comau Spa | Dispositivo di sopporto e regolazione di uno specchio in un sistema robot-laser, e sistema robot-laser utilizzante tale dispositivo. |
| CN108493757A (zh) * | 2018-04-09 | 2018-09-04 | 嘉兴华研激光科技有限公司 | 一种内置式折返镜片及使用该镜片的折叠co2激光管 |
-
1987
- 1987-11-10 JP JP28394587A patent/JP2505225B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20210036478A1 (en) * | 2018-02-05 | 2021-02-04 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Optical system element, for receiving a pressurised functional fluid |
| US11721946B2 (en) * | 2018-02-05 | 2023-08-08 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Optical system element, for receiving a pressurised functional fluid |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01125883A (ja) | 1989-05-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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