JPH04259270A - 高出力ストリップ導波路レーザ - Google Patents
高出力ストリップ導波路レーザInfo
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- JPH04259270A JPH04259270A JP3268449A JP26844991A JPH04259270A JP H04259270 A JPH04259270 A JP H04259270A JP 3268449 A JP3268449 A JP 3268449A JP 26844991 A JP26844991 A JP 26844991A JP H04259270 A JPH04259270 A JP H04259270A
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- 239000002826 coolant Substances 0.000 claims description 7
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims description 4
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- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 6
- 229910001374 Invar Inorganic materials 0.000 description 3
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/0315—Waveguide lasers
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
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- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は高出力ストリップ導波
路レーザに関する。
路レーザに関する。
【０００２】
【従来の技術】二つの金属電極を備え、両電極の間に放
電ギャップが形成され、その際これらの電極が放電ギャ
ップに向かう側の導波路面を有し、不安定共振器の共振
器鏡が一方の電極にじかに接している高出力ストリップ
導波路レーザは、ドイツ連邦共和国特許出願公開第３７
２９０５３ 号公報から知られている。
電ギャップが形成され、その際これらの電極が放電ギャ
ップに向かう側の導波路面を有し、不安定共振器の共振
器鏡が一方の電極にじかに接している高出力ストリップ
導波路レーザは、ドイツ連邦共和国特許出願公開第３７
２９０５３ 号公報から知られている。
【０００３】レーザの光線品質すなわちモード純粋性は
著しく導波路面の相互間隔に関係することが判明してい
る。
著しく導波路面の相互間隔に関係することが判明してい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この発明の課題は、高
出力ストリップ導波路レーザの光線品質を改善しモード
純粋性を高めることにある。
出力ストリップ導波路レーザの光線品質を改善しモード
純粋性を高めることにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この課題はこの発明に基
づき、電極の間隔が放電室の縦方向及び横方向に調節可
能であり、所望の値に調節されていることにより解決さ
れる。その際不安定共振器を鏡により形成することがで
き、鏡の間隔はアメリカ合衆国特許第４７１３８２５
号明細書に記載のように、例えば商品名インバー（Ｉｎ
ｖａｒ ）から成り熱膨張係数の非常に小さい棒により
一定に保たれる。
づき、電極の間隔が放電室の縦方向及び横方向に調節可
能であり、所望の値に調節されていることにより解決さ
れる。その際不安定共振器を鏡により形成することがで
き、鏡の間隔はアメリカ合衆国特許第４７１３８２５
号明細書に記載のように、例えば商品名インバー（Ｉｎ
ｖａｒ ）から成り熱膨張係数の非常に小さい棒により
一定に保たれる。
【０００６】経済的な構成は、共振器鏡が一つの電極上
で調節されかつ固定されるときに与えられる。この構成
の場合にはレーザには鏡のための調節装置が必要でない
。なぜならば鏡は組み込み前には露出しており、従って
再利用可能な装置により調節できるからである。
で調節されかつ固定されるときに与えられる。この構成
の場合にはレーザには鏡のための調節装置が必要でない
。なぜならば鏡は組み込み前には露出しており、従って
再利用可能な装置により調節できるからである。
【０００７】電極の相互間隔を非常に高い精度で調節す
ることを可能にするこの発明に基づく装置は、共振器鏡
が第１の電極上に固定されてこの電極に対して調節され
、第２の電極が共振器鏡の間に絶縁距離を残して配置さ
れ、容器が二つの端板と、端板の間に配置された少なく
とも三つの金属棒と、端板に真空密に結合された外壁と
から集成され、金属棒がすべて同一の熱膨張係数を有し
て端板の間の間隔を決定し、第１の電極が第１の端板と
強固に結合され、第２の端板に対して軸線方向へ可動で
ありしかし半径方向に案内され、少なくとも一つの端板
がレーザ光線のための出射窓を備えるという特徴を有す
る。この構成はレーザ容器中の外から影響されない温度
分布、従って端板の間の距離を決定する金属棒を介して
両端板の一定の相対位置を保証する。温度差とは無関係
に及び容器の相応に薄く寸法を選択された外壁中の温度
差に起因するひずみとは無関係に、金属棒が相応の寸法
選択により端板の間隔を決定する。
ることを可能にするこの発明に基づく装置は、共振器鏡
が第１の電極上に固定されてこの電極に対して調節され
、第２の電極が共振器鏡の間に絶縁距離を残して配置さ
れ、容器が二つの端板と、端板の間に配置された少なく
とも三つの金属棒と、端板に真空密に結合された外壁と
から集成され、金属棒がすべて同一の熱膨張係数を有し
て端板の間の間隔を決定し、第１の電極が第１の端板と
強固に結合され、第２の端板に対して軸線方向へ可動で
ありしかし半径方向に案内され、少なくとも一つの端板
がレーザ光線のための出射窓を備えるという特徴を有す
る。この構成はレーザ容器中の外から影響されない温度
分布、従って端板の間の距離を決定する金属棒を介して
両端板の一定の相対位置を保証する。温度差とは無関係
に及び容器の相応に薄く寸法を選択された外壁中の温度
差に起因するひずみとは無関係に、金属棒が相応の寸法
選択により端板の間隔を決定する。
【０００８】また間隔棒が極めて小さい熱膨張係数を有
する材料例えば商品名インバーとして知られている材料
から成ることにより、例えばレーザの起動の際に内部の
温度平衡に至るまでに容器内部に一時的に生じる温度差
も無害にされる。従ってウォームアップ時期にも異なる
膨張による電極の僅かな傾動が避けられ、レーザ光線が
その方向を維持し、光出射窓が放電室及び電極に対して
所望の角度位置にとどまる。
する材料例えば商品名インバーとして知られている材料
から成ることにより、例えばレーザの起動の際に内部の
温度平衡に至るまでに容器内部に一時的に生じる温度差
も無害にされる。従ってウォームアップ時期にも異なる
膨張による電極の僅かな傾動が避けられ、レーザ光線が
その方向を維持し、光出射窓が放電室及び電極に対して
所望の角度位置にとどまる。
【０００９】十分な精度で調節可能な電極装置は、電気
絶縁性間隔片が第１の電極と機械的に強固に結合され、
第２の電極のための保持片がこの間隔片により第１の電
極に対し垂直な方向へ調節可能に配置され、第２の電極
がこの保持片と機械的に強固に結合されることにより与
えられる。その際保持片が金属帯として構成され、第２
の電極がこの金属帯とろう付け又は溶接され、保持片と
間隔片との間に圧縮ばねが配置され、一つ又は複数のボ
ルトが保持片をばね圧力に逆らって所望の位置に保持す
ると有利である。
絶縁性間隔片が第１の電極と機械的に強固に結合され、
第２の電極のための保持片がこの間隔片により第１の電
極に対し垂直な方向へ調節可能に配置され、第２の電極
がこの保持片と機械的に強固に結合されることにより与
えられる。その際保持片が金属帯として構成され、第２
の電極がこの金属帯とろう付け又は溶接され、保持片と
間隔片との間に圧縮ばねが配置され、一つ又は複数のボ
ルトが保持片をばね圧力に逆らって所望の位置に保持す
ると有利である。
【００１０】一般にこの種の装置では冷却溝が必要であ
る。その際両電極が冷却溝を備え、冷却媒体接続口が電
気的に接地された下側の第１の電極だけに取り付けられ
、第１の電極と第２の電極との間に流入口及び流出口の
ために電気絶縁性かつ弾性の各一つの接続管路が配置さ
れ、この管路の弾性は第２の電極が調節のために十分に
可動でありばね力により調節の際に許容できないほど曲
げられないようにすると有利である。
る。その際両電極が冷却溝を備え、冷却媒体接続口が電
気的に接地された下側の第１の電極だけに取り付けられ
、第１の電極と第２の電極との間に流入口及び流出口の
ために電気絶縁性かつ弾性の各一つの接続管路が配置さ
れ、この管路の弾性は第２の電極が調節のために十分に
可動でありばね力により調節の際に許容できないほど曲
げられないようにすると有利である。
【００１１】接続管路は例えば金属管と電気絶縁性セラ
ミックスリーブとから集成することができ、その際セラ
ミックスリーブは例えば第１の電極上にろう付けするこ
とができる。
ミックスリーブとから集成することができ、その際セラ
ミックスリーブは例えば第１の電極上にろう付けするこ
とができる。
【００１２】
【実施例】次にこの発明に基づくストリップ導波路レー
ザの二つの実施例を示す図面により、この発明を詳細に
説明する。
ザの二つの実施例を示す図面により、この発明を詳細に
説明する。
【００１３】高出力ストリップ導波路レーザの電極装置
１が真空密な容器の端板２と機械的に強固に結合され、
端板３に対して軸方向へ可動にかつ半径方向へ案内され
て配置されている。半径方向への案内は例えば、電極装
置の電極５から第２の端板３の空所中へ延びる一つ又は
複数のダウエルピン４により行われる。
１が真空密な容器の端板２と機械的に強固に結合され、
端板３に対して軸方向へ可動にかつ半径方向へ案内され
て配置されている。半径方向への案内は例えば、電極装
置の電極５から第２の端板３の空所中へ延びる一つ又は
複数のダウエルピン４により行われる。
【００１４】第２の電極６は保持片７が間隔片８とねじ
止めされることにより第１の電極５によって支持されて
いる。絶縁性セラミック片１０を備える接続管路９が両
電極５と６を弾性的に結合するので、電極の許容できな
い変形を招くおそれなしに第１の電極５に対する第２の
電極６の調節が可能である。鏡１１、１２は同様に第１
の電極５上に取り付けられて調節される。光方向へ鏡１
２の後ろに光出射窓２８が配置され、この窓は真空密な
容器の一部を形成する。
止めされることにより第１の電極５によって支持されて
いる。絶縁性セラミック片１０を備える接続管路９が両
電極５と６を弾性的に結合するので、電極の許容できな
い変形を招くおそれなしに第１の電極５に対する第２の
電極６の調節が可能である。鏡１１、１２は同様に第１
の電極５上に取り付けられて調節される。光方向へ鏡１
２の後ろに光出射窓２８が配置され、この窓は真空密な
容器の一部を形成する。
【００１５】この実施例は四つの間隔棒１３、１４を備
え、その際図面ではそれぞれ二つの間隔棒が前後に重な
っている。容器の断面はこの実施例では正方形である。 しかし断面を円形に選ぶこともできる。別の構成も同様
に可能である。間隔棒１３、１４は端板２、３と機械的
に強固に結合され、例えばねじ止め又はろう付け又は溶
接され、端板の間隔を決定するように寸法を選択されて
いる。容器壁１５は比較的薄く構成され、端板２又は３
の同様に比較的薄く構成された結合部分１６と真空密に
ろう付け又は溶接されている。
え、その際図面ではそれぞれ二つの間隔棒が前後に重な
っている。容器の断面はこの実施例では正方形である。 しかし断面を円形に選ぶこともできる。別の構成も同様
に可能である。間隔棒１３、１４は端板２、３と機械的
に強固に結合され、例えばねじ止め又はろう付け又は溶
接され、端板の間隔を決定するように寸法を選択されて
いる。容器壁１５は比較的薄く構成され、端板２又は３
の同様に比較的薄く構成された結合部分１６と真空密に
ろう付け又は溶接されている。
【００１６】図１の実施例では第２の電極６が三つの保
持片７により第１の電極５と結合されている。それによ
り電極の僅かな曲がりを防止又は調整することもできる
。
持片７により第１の電極５と結合されている。それによ
り電極の僅かな曲がりを防止又は調整することもできる
。
【００１７】調節可能な実施例が図２に示されている。
図２では第１の電極１７上に間隔片８が取り付けられる
。間隔片８は絶縁材料特にセラミックから成る。この間
隔片８上には保持片２０に向かって押す板ばね１９が配
置されている。保持片２０は第２の電極１８と機械的に
強固に結合例えば溶接又はろう付けされている。細目ね
じとするのが有利である調節ボルト２１は、電極の相互
間隔及び相互の横転の非常に正確な調節を可能にする。 このために高精度の間隔指示片例えば針状ころ２２が電
極の間に押し込まれ、そして電極が接触させて調節され
る。その際一般に間隔片８当たり一つの調節ボルトで十
分であるが、安全のために二つの調節ボルトを用いるこ
ともできる。
。間隔片８は絶縁材料特にセラミックから成る。この間
隔片８上には保持片２０に向かって押す板ばね１９が配
置されている。保持片２０は第２の電極１８と機械的に
強固に結合例えば溶接又はろう付けされている。細目ね
じとするのが有利である調節ボルト２１は、電極の相互
間隔及び相互の横転の非常に正確な調節を可能にする。 このために高精度の間隔指示片例えば針状ころ２２が電
極の間に押し込まれ、そして電極が接触させて調節され
る。その際一般に間隔片８当たり一つの調節ボルトで十
分であるが、安全のために二つの調節ボルトを用いるこ
ともできる。
【００１８】電極装置の後ろ側端部には凸状の鏡２５及
び両電極のための冷却媒体流入口２３と冷却媒体流出口
２４が示されている。冷却媒体流入口２３は電極装置の
対称面の一方の側に配置され、冷却媒体流出口２４は他
方の側に配置されている。このことはレーザの出力が大
きい場合にも特に応力の生じない構成をもたらす。接続
管路２６はセラミックスリーブ２７を介して第１の電極
１７に結合され、また直接第２の電極１８に結合されて
いるので、両電極は相互に絶縁されている。接続管路２
６は十分に弾性的に構成されているので、電極１７に対
する電極１８の調節を損なわない。
び両電極のための冷却媒体流入口２３と冷却媒体流出口
２４が示されている。冷却媒体流入口２３は電極装置の
対称面の一方の側に配置され、冷却媒体流出口２４は他
方の側に配置されている。このことはレーザの出力が大
きい場合にも特に応力の生じない構成をもたらす。接続
管路２６はセラミックスリーブ２７を介して第１の電極
１７に結合され、また直接第２の電極１８に結合されて
いるので、両電極は相互に絶縁されている。接続管路２
６は十分に弾性的に構成されているので、電極１７に対
する電極１８の調節を損なわない。
【図１】この発明に基づくストリップ導波路レーザの一
実施例の容器側壁を外した状態の側面図である。
実施例の容器側壁を外した状態の側面図である。
【図２】図１に示す電極装置の変形例の斜視図である。
２、３ 端板
５、６、１７、１８ 電極
７、２０ 保持片
８ 間隔片
９、２６ 接続管路
１０、２７ セラミックスリーブ
１１、１２、２５ 共振器鏡
１３、１４ 間隔棒
１５ 外壁
１９ 圧縮ばね
２１ ボルト
２３、２４ 冷却媒体接続口
２８ 出射窓
Claims (6)
- 【請求項１】 二つの金属電極を備え、両電極の間に
放電ギャップが形成され、これらの電極が放電ギャップ
に向かう側の導波路面を有し、不安定共振器の共振器鏡
が一方の電極にじかに接している高出力ストリップ導波
路レーザにおいて、電極の間隔が放電室の縦方向及び横
方向に調節可能であり、所望の値に調節されていること
を特徴とする高出力ストリップ導波路レーザ。 - 【請求項２】 共振器鏡が第１の電極上に固定されて
この電極に対して調節され、第２の電極が共振器鏡の間
に絶縁距離を残して配置され、容器が二つの端板と、端
板の間に配置された少なくとも三つの間隔棒と、端板に
真空密に結合された外壁とから集成され、間隔棒がすべ
て同じ熱膨張係数を有して端板の間隔を決定し、第１の
電極が第１の端板と強固に結合され、第２の端板に対し
て軸線方向へ可動でありしかし半径方向へ案内され、少
なくとも一つの端板がレーザ光線のための出射窓を備え
ることを特徴とする請求項１記載のレーザ。 - 【請求項３】 間隔棒が非常に小さい熱膨張係数を有
する材料から成ることを特徴とする請求項１又は２記載
のレーザ。 - 【請求項４】 電気絶縁性間隔片が第１の電極と機械
的に強固に結合され、この間隔片により第２の電極のた
めの保持片が第１の電極に対し垂直な方向へ調節可能に
配置され、第２の電極がこの保持片と機械的に強固に結
合されていることを特徴とする請求項１ないし３の一つ
に記載のレーザ。 - 【請求項５】 保持片が金属帯として構成され、第２
の電極がこの金属帯とろう付けされ、保持片と間隔片と
の間には圧縮ばねが配置され、一つ又は複数のボルトが
保持片を圧縮ばねのばね力に逆らって所望の位置に保持
することを特徴とする請求項４記載のレーザ。 - 【請求項６】 両電極が冷却溝を備え、冷却媒体接続
口が下側の電極だけに取り付けられ、第１の電極と第２
の電極との間には流入口及び流出口のために電気絶縁性
かつ弾性の各一つの接続管路が配置され、この管路の弾
性は第２の電極が調節のために十分に可動でありばね力
により調節の際に許容できないほど曲がらないことを保
証するようにされることを特徴とする請求項１ないし５
の一つに記載のレーザ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE4030441 | 1990-09-26 | ||
| DE4030441.8 | 1990-09-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04259270A true JPH04259270A (ja) | 1992-09-14 |
Family
ID=6415014
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3268449A Withdrawn JPH04259270A (ja) | 1990-09-26 | 1991-09-18 | 高出力ストリップ導波路レーザ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5197079A (ja) |
| EP (1) | EP0477865B1 (ja) |
| JP (1) | JPH04259270A (ja) |
| DE (1) | DE59100894D1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008205495A (ja) * | 2008-04-07 | 2008-09-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | スラブレーザ |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0531781B1 (de) * | 1991-09-13 | 1996-01-10 | CARL ZEISS JENA GmbH | Bandleiterlaser |
| DE4131623A1 (de) * | 1991-09-23 | 1993-03-25 | Siemens Ag | Bandleiterlaser |
| DE59205031D1 (de) * | 1992-08-31 | 1996-02-22 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Bandleiterlaser mit Verbundelektroden |
| DE59205030D1 (de) * | 1992-08-31 | 1996-02-22 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Bandleiterlaser-Resonator |
| DE4232838A1 (de) * | 1992-09-30 | 1994-03-31 | Siemens Ag | Bandleiterlaser mit durch Massefedern optimierter HF-Spannungsverteilung |
| DE19852284C2 (de) | 1998-11-13 | 2000-11-30 | Norbert Taufenbach | Kleiner CO¶2¶-Slablaser |
| US6198758B1 (en) | 1999-12-27 | 2001-03-06 | Synrad, Inc. | Laser with heat transfer system and method |
| US6195379B1 (en) | 1999-12-27 | 2001-02-27 | Synrad, Inc. | Laser assembly system and method |
| US6198759B1 (en) | 1999-12-27 | 2001-03-06 | Synrad, Inc. | Laser system and method for beam enhancement |
| US6614826B1 (en) | 2000-05-05 | 2003-09-02 | Synrad, Inc. | Laser system and method for gain medium with output beam transverse profile tailoring longitudinal strips |
| US6879616B2 (en) * | 2003-01-24 | 2005-04-12 | Trumpf, Inc. | Diffusion-cooled laser system |
Family Cites Families (6)
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|---|---|---|---|---|
| US4876693A (en) * | 1984-12-26 | 1989-10-24 | Hughes Aircraft Company | Integrated laser head and low inductance pulse forming circuit for pulsed gas lasers |
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| US4713825A (en) * | 1986-07-02 | 1987-12-15 | Litton Systems, Inc. | Gas laser and method of making a gas laser |
| DE3729053A1 (de) * | 1987-08-31 | 1989-03-16 | Deutsche Forsch Luft Raumfahrt | Hochleistungs-bandleiterlaser |
| US4805072A (en) * | 1987-11-02 | 1989-02-14 | Trumpf Gmbh & Co. | Device for coupling HF energy to lasers |
| US4930137A (en) * | 1988-11-08 | 1990-05-29 | Sergoyan Edward G | Inorganic triple point screen |
-
1991
- 1991-08-26 US US07/749,692 patent/US5197079A/en not_active Expired - Fee Related
- 1991-09-18 JP JP3268449A patent/JPH04259270A/ja not_active Withdrawn
- 1991-09-24 DE DE91116245T patent/DE59100894D1/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-09-24 EP EP91116245A patent/EP0477865B1/de not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008205495A (ja) * | 2008-04-07 | 2008-09-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | スラブレーザ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0477865B1 (de) | 1994-01-19 |
| DE59100894D1 (de) | 1994-03-03 |
| EP0477865A1 (de) | 1992-04-01 |
| US5197079A (en) | 1993-03-23 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19981203 |