JP2501250B2 - 低摩擦抵抗性機械部品 - Google Patents
低摩擦抵抗性機械部品Info
- Publication number
- JP2501250B2 JP2501250B2 JP5790291A JP5790291A JP2501250B2 JP 2501250 B2 JP2501250 B2 JP 2501250B2 JP 5790291 A JP5790291 A JP 5790291A JP 5790291 A JP5790291 A JP 5790291A JP 2501250 B2 JP2501250 B2 JP 2501250B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- micromachine
- sicl
- group
- low friction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y30/00—Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Composite Materials (AREA)
- Micromachines (AREA)
- Sliding-Contact Bearings (AREA)
- Coating Of Shaped Articles Made Of Macromolecular Substances (AREA)
- Manufacture Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、低い摩擦抵抗性を有す
る機械部品に関する。さらに詳しくは、自己潤滑性を有
するマイクロマシーンなどの機械部品に関する。
る機械部品に関する。さらに詳しくは、自己潤滑性を有
するマイクロマシーンなどの機械部品に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般的な機械部品の一例である歯車、軸
受、ベアリング、ローター、回転軸、クランク、タービ
ン等の摺動部材は、潤滑性を保つために潤滑油を供給す
ることが通常は必要である。そして、潤滑油がなくなっ
たり供給不足になると、摺動部は摩擦熱が発生したり、
磨耗して破損に至る場合がある。ところで、前記一般的
な機械部品の場合、機械の用途によっては潤滑油を使え
ないか、その使用に当たっては大きな制約がある。たと
えば食品製造装置や医薬製造装置では、製造物に潤滑油
が誤って混入しないように細心の注意が払われる。同様
に、医療機器の場合も細心の注意が払われる。またたと
えば時計などのように、使用者が一般的な消費者である
ものであっても、長期的には潤滑油が必要な場合があ
る。
受、ベアリング、ローター、回転軸、クランク、タービ
ン等の摺動部材は、潤滑性を保つために潤滑油を供給す
ることが通常は必要である。そして、潤滑油がなくなっ
たり供給不足になると、摺動部は摩擦熱が発生したり、
磨耗して破損に至る場合がある。ところで、前記一般的
な機械部品の場合、機械の用途によっては潤滑油を使え
ないか、その使用に当たっては大きな制約がある。たと
えば食品製造装置や医薬製造装置では、製造物に潤滑油
が誤って混入しないように細心の注意が払われる。同様
に、医療機器の場合も細心の注意が払われる。またたと
えば時計などのように、使用者が一般的な消費者である
ものであっても、長期的には潤滑油が必要な場合があ
る。
【０００３】さらに、いわゆる大きさが約１ｍｍ以下の
部品で構成されたマイクロマシーン（微小精密機器）
は、その部品が余りにも小さいため潤滑油などを使用で
きず、マイクロマシーンの摺動性を良くするためには、
表面をできるだけ滑らかにするしか方手段なかった。本
発明に関連する公知例としては、ケイ素及びフッ素を含
むプラズマ重合膜からなる低摩擦性薄膜付き物品（特開
昭５９−１５０５号公報）、パーフルオロ基と加水分解
可能な有機基を含有する塗膜を透明性の基材表面に塗布
し、撥水撥油防汚性透明基材を得る例（特開平２−２４
８４８０号公報）、パーフルオロ基含有化合物をシラン
化合物、または合成樹脂の塗膜表面に塗布し、撥水防汚
性塗膜を得る例（特開昭６０−４０２５４号公報）、パ
ーフルオロ基含有シラン化合物または該化合物の加水分
解縮合物とシランカップリング剤とコロイダルシリカと
からなる撥水撥油剤をガラス基材表面に塗布し、ガラス
表面に撥水防汚性膜を形成する例（特開昭５８−１４７
４８３号公報）などがある。
部品で構成されたマイクロマシーン（微小精密機器）
は、その部品が余りにも小さいため潤滑油などを使用で
きず、マイクロマシーンの摺動性を良くするためには、
表面をできるだけ滑らかにするしか方手段なかった。本
発明に関連する公知例としては、ケイ素及びフッ素を含
むプラズマ重合膜からなる低摩擦性薄膜付き物品（特開
昭５９−１５０５号公報）、パーフルオロ基と加水分解
可能な有機基を含有する塗膜を透明性の基材表面に塗布
し、撥水撥油防汚性透明基材を得る例（特開平２−２４
８４８０号公報）、パーフルオロ基含有化合物をシラン
化合物、または合成樹脂の塗膜表面に塗布し、撥水防汚
性塗膜を得る例（特開昭６０−４０２５４号公報）、パ
ーフルオロ基含有シラン化合物または該化合物の加水分
解縮合物とシランカップリング剤とコロイダルシリカと
からなる撥水撥油剤をガラス基材表面に塗布し、ガラス
表面に撥水防汚性膜を形成する例（特開昭５８−１４７
４８３号公報）などがある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記し
たような一般的な機械部品の場合、細心の注意を払って
いても、潤滑油が漏れ出す危険性が皆無であるとはいえ
ない。また時計などのように使用者が一般的消費者であ
る場合、潤滑油を供給することは期待できない場合があ
る。
たような一般的な機械部品の場合、細心の注意を払って
いても、潤滑油が漏れ出す危険性が皆無であるとはいえ
ない。また時計などのように使用者が一般的消費者であ
る場合、潤滑油を供給することは期待できない場合があ
る。
【０００５】さらに前記マイクロマシーンの場合、ホト
リソグラフィーを用いた加工方法では、部品表面を滑ら
かにするのには限界があり充分な耐久性が得られてない
のが現状である。また前記特開昭５９−１５０５号公
報、特開平２−２４８４８０号公報、特開昭６０−４０
２５４号公報及び特開昭５８−１４７４８３号公報の提
案は、基材表面に膜分子が化学結合していないので耐久
性が低いという問題があった。すなわち、機械部品の摺
動部表面は、部品と部品の摩擦がとくに激しく行われる
部分であるので、摩擦によって容易に脱落してしまう物
質では耐久性に問題が出てしまうのである。
リソグラフィーを用いた加工方法では、部品表面を滑ら
かにするのには限界があり充分な耐久性が得られてない
のが現状である。また前記特開昭５９−１５０５号公
報、特開平２−２４８４８０号公報、特開昭６０−４０
２５４号公報及び特開昭５８−１４７４８３号公報の提
案は、基材表面に膜分子が化学結合していないので耐久
性が低いという問題があった。すなわち、機械部品の摺
動部表面は、部品と部品の摩擦がとくに激しく行われる
部分であるので、摩擦によって容易に脱落してしまう物
質では耐久性に問題が出てしまうのである。
【０００６】以上の通り従来は、優れた摺動抵抗が低い
高性能機械部品は得られていないという課題があった。
とくに精密機器や医療機器にとって、このような性能を
有する機械部品は強く要望されていた。
高性能機械部品は得られていないという課題があった。
とくに精密機器や医療機器にとって、このような性能を
有する機械部品は強く要望されていた。
【０００７】本発明は前記従来技術の課題を解決するた
め、摩擦抵抗が低く自己潤滑性に優れた機械部品を提供
することを目的とする。
め、摩擦抵抗が低く自己潤滑性に優れた機械部品を提供
することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明の低摩擦抵抗性機械部品は、機械部品の少な
くとも摺動部表面に、表層に炭化フッ素基を含み、基部
がシロキサン結合によって化学結合した、厚さがナノメ
ーターレベルの化学吸着膜が形成されているという構成
を備えたものである。
め、本発明の低摩擦抵抗性機械部品は、機械部品の少な
くとも摺動部表面に、表層に炭化フッ素基を含み、基部
がシロキサン結合によって化学結合した、厚さがナノメ
ーターレベルの化学吸着膜が形成されているという構成
を備えたものである。
【０００９】前記構成においては、化学吸着膜が単分子
膜であることが好ましい。
膜であることが好ましい。
【００１０】また前記構成においては、機械部品として
マイクロマシーンにも好ましく適用できる。
マイクロマシーンにも好ましく適用できる。
【００１１】
【作用】前記本発明の構成によれば、表層がフッ素基を
含み、基部がシロキサン結合によって基材に化学結合さ
れている化学吸着膜が、少なくとも機械部品の摺動部表
面に形成されてなるので、摩擦抵抗が低く自己潤滑性に
優れた機械部品とすることができる。すなわち、前記化
学吸着膜の表層にはフッ化アルキル基が存在するから、
摩擦抵抗が低く自己潤滑性に優れたものとなる。また、
前記化学吸着膜の基部は、シロキサン結合を介して化学
結合して形成されているので、耐久性に優れた膜とする
ことができ、表面が繰り返し摺動されても前記化学吸着
膜は基材の表面から容易には剥離しない。さらに、本発
明の化学吸着膜は、ナノメーター乃至オングストローム
単位の極薄い膜であるので、加工された機械の寸法精度
を損ねることがない。
含み、基部がシロキサン結合によって基材に化学結合さ
れている化学吸着膜が、少なくとも機械部品の摺動部表
面に形成されてなるので、摩擦抵抗が低く自己潤滑性に
優れた機械部品とすることができる。すなわち、前記化
学吸着膜の表層にはフッ化アルキル基が存在するから、
摩擦抵抗が低く自己潤滑性に優れたものとなる。また、
前記化学吸着膜の基部は、シロキサン結合を介して化学
結合して形成されているので、耐久性に優れた膜とする
ことができ、表面が繰り返し摺動されても前記化学吸着
膜は基材の表面から容易には剥離しない。さらに、本発
明の化学吸着膜は、ナノメーター乃至オングストローム
単位の極薄い膜であるので、加工された機械の寸法精度
を損ねることがない。
【００１２】また、化学吸着膜は単分子膜であるという
本発明の好ましい構成によれば、均一な厚さの薄い膜と
することができるので、透明性に優れ、機械的特性を損
ねることもない。
本発明の好ましい構成によれば、均一な厚さの薄い膜と
することができるので、透明性に優れ、機械的特性を損
ねることもない。
【００１３】さらに、機械部品としてマイクロマシーン
にも適用できるという本発明の好ましい構成によれば、
潤滑剤を必要とすることなく自己潤滑性を付与でき、し
かも耐久性に優れたものとすることができる。
にも適用できるという本発明の好ましい構成によれば、
潤滑剤を必要とすることなく自己潤滑性を付与でき、し
かも耐久性に優れたものとすることができる。
【００１４】
【実施例】本発明に使用できる、機械部品の材料は、金
属、セラミックス、プラスチック等その種類を問わな
い。また適用する機械部品の種類はいかなるものであっ
てもよい。以下説明の都合上、マイクロマシーンを例に
挙げて説明する。マイクロマシーン摺動部材としては、
歯車、ローター、回転軸、クランク、タービン等、大き
さが約１ｍｍ以下の部品がある。
属、セラミックス、プラスチック等その種類を問わな
い。また適用する機械部品の種類はいかなるものであっ
てもよい。以下説明の都合上、マイクロマシーンを例に
挙げて説明する。マイクロマシーン摺動部材としては、
歯車、ローター、回転軸、クランク、タービン等、大き
さが約１ｍｍ以下の部品がある。
【００１５】一般のマイクロマシーンの部品は、セラミ
クスまたは金属製であるため表面に水酸基を含む酸化膜
がある。そこで、一端にクロルシラン基（ＳｉＣｌn Ｘ
3-n基、ｎ＝１、２、３、Ｘは官能基）を有する直鎖状
炭素鎖を含む分子、例えばフッ化炭素基及びクロロシラ
ン基を含むクロロシラン系界面活性剤混ぜた非水系溶媒
に接触させて前記マイクロマシーン部品摺動部表面の水
酸基と前記クロロシリル基を複数個含む物質のクロロシ
リル基を反応させて前記物質よりなる単分子膜を前記マ
イクロマシーン部品摺動部表面に析出させる、あるいは
クロロシリル基を複数個含む物質を混ぜた非水系溶媒に
接触させて前記マイクロマシーン部品摺動部表面の水酸
基と前記クロロシリル基を複数個含む物質のクロロシリ
ル基を反応させて前記物質を前記マイクロマシーン部品
摺動部表面に析出させる工程と、非水系有機溶媒を用い
前記マイクロマシーン部品表面に残った余分なクロロシ
リル基を複数個含む物質を洗浄除去し、前記マイクロマ
シーン部品摺動部にクロロシリル基を複数個含む物質よ
りなるシロキサン系単分子膜を形成する工程と、一端に
クロルシラン基を有する直鎖状炭素鎖を含むシラン系界
面活性剤をマイクロマシーン部品摺動部に化学吸着し単
分子吸着膜を累積する工程とによりマイクロマシーン部
品摺動部表面にフッ化炭素系化学吸着単分子累積膜を形
成できる。
クスまたは金属製であるため表面に水酸基を含む酸化膜
がある。そこで、一端にクロルシラン基（ＳｉＣｌn Ｘ
3-n基、ｎ＝１、２、３、Ｘは官能基）を有する直鎖状
炭素鎖を含む分子、例えばフッ化炭素基及びクロロシラ
ン基を含むクロロシラン系界面活性剤混ぜた非水系溶媒
に接触させて前記マイクロマシーン部品摺動部表面の水
酸基と前記クロロシリル基を複数個含む物質のクロロシ
リル基を反応させて前記物質よりなる単分子膜を前記マ
イクロマシーン部品摺動部表面に析出させる、あるいは
クロロシリル基を複数個含む物質を混ぜた非水系溶媒に
接触させて前記マイクロマシーン部品摺動部表面の水酸
基と前記クロロシリル基を複数個含む物質のクロロシリ
ル基を反応させて前記物質を前記マイクロマシーン部品
摺動部表面に析出させる工程と、非水系有機溶媒を用い
前記マイクロマシーン部品表面に残った余分なクロロシ
リル基を複数個含む物質を洗浄除去し、前記マイクロマ
シーン部品摺動部にクロロシリル基を複数個含む物質よ
りなるシロキサン系単分子膜を形成する工程と、一端に
クロルシラン基を有する直鎖状炭素鎖を含むシラン系界
面活性剤をマイクロマシーン部品摺動部に化学吸着し単
分子吸着膜を累積する工程とによりマイクロマシーン部
品摺動部表面にフッ化炭素系化学吸着単分子累積膜を形
成できる。
【００１６】これにより、きわめて薄いナノメータレベ
ルの膜厚のフッ化炭素系単分子膜をマイクロマシーン部
品表面に形成するため、マイクロマシーン部品本来の機
能を損なうことがない。また、この膜はフッ化炭素系単
分子膜は摺動性に優れており、表面の摺動抵抗を少なく
することが可能となる。従って、摩耗が少なく信頼性の
高いマイクロマシーンを提供することができる。さらに
また、本発明で示したマイクロマシーンは、潤滑油を必
要とせず、また形成された単分子膜は人体に対して不活
性であるため、人体に挿入することも可能となる。
ルの膜厚のフッ化炭素系単分子膜をマイクロマシーン部
品表面に形成するため、マイクロマシーン部品本来の機
能を損なうことがない。また、この膜はフッ化炭素系単
分子膜は摺動性に優れており、表面の摺動抵抗を少なく
することが可能となる。従って、摩耗が少なく信頼性の
高いマイクロマシーンを提供することができる。さらに
また、本発明で示したマイクロマシーンは、潤滑油を必
要とせず、また形成された単分子膜は人体に対して不活
性であるため、人体に挿入することも可能となる。
【００１７】前記フッ化アルキル基を有するクロロシラ
ン系界面活性剤としては、例えば (1) ＣＦ3（ＣＦ 2）7（ＣＨ 2）2ＳｉＣｌ3 (2) ＣＦ3ＣＨ2Ｏ（ＣＨ2）15ＳｉＣｌ3 (3) ＣＦ3（ＣＨ2）2Ｓｉ（ＣＨ3）2（ＣＨ2）15ＳｉＣ
ｌ3 (4) Ｆ（ＣＦ2）4（ＣＨ2）2Ｓｉ（ＣＨ3）2（ＣＨ2）9
ＳｉＣｌ3 (5) Ｆ（ＣＦ2）8（ＣＨ2）2Ｓｉ（ＣＨ3）2（ＣＨ2）9
ＳｉＣｌ3 (6) ＣＦ3ＣＯＯ（ＣＨ2）15ＳｉＣｌ3 (7) ＣＦ3（ＣＦ2）5（ＣＨ2）2ＳｉＣｌ3などのような
トリクロロシラン系界面活性剤をはじめ、例えば (8) ＣＦ3（ＣＦ2）7（ＣＨ2）2ＳｉＣｌn（ＣＨ3）3-n (9) ＣＦ3（ＣＦ2）7（ＣＨ2）2ＳｉＣｌn（Ｃ2Ｈ5）
3-n (10)ＣＦ3ＣＦ 2 （ＣＨ2）15ＳｉＣｌn（ＣＨ3）3-n (11)ＣＦ3ＣＦ 2 （ＣＨ2）15ＳｉＣｌn（Ｃ2Ｈ5）3-n (12)ＣＦ3（ＣＨ2）2Ｓｉ（ＣＨ3）2（ＣＨ2）15ＳｉＣ
ｌn（ＣＨ3）3-n (13)Ｆ（ＣＦ2）4（ＣＨ2）2Ｓｉ（ＣＨ3）2（ＣＨ2）9
ＳｉＣｌn（Ｃ2Ｈ5）3-n (14)Ｆ（ＣＦ2）8（ＣＨ2）2Ｓｉ（ＣＨ3）2（ＣＨ2）9
ＳｉＣｌn（ＣＨ3）3-n (15)ＣＦ3ＣＯＯ（ＣＨ2）15ＳｉＣｌn（ＣＨ3）3-n (16)ＣＦ3（ＣＦ2）5（ＣＨ2）2ＳｉＣｌn（ＣＨ3）3-n （但し式中のｎは何れも１又は２）等のような低級アル
キル基置換のモノクロロシラン系あるいはジクロロシラ
ン系界面活性剤が挙げられる。これらの中でもとくにト
リクロロシラン系界面活性剤の親水性基と結合したクロ
ロシリル結合以外のクロロシリル結合が、隣合うクロロ
シラン基とシロキサン結合で分子間結合を形成するた
め、より強固な化学吸着膜となることから好ましい。
ン系界面活性剤としては、例えば (1) ＣＦ3（ＣＦ 2）7（ＣＨ 2）2ＳｉＣｌ3 (2) ＣＦ3ＣＨ2Ｏ（ＣＨ2）15ＳｉＣｌ3 (3) ＣＦ3（ＣＨ2）2Ｓｉ（ＣＨ3）2（ＣＨ2）15ＳｉＣ
ｌ3 (4) Ｆ（ＣＦ2）4（ＣＨ2）2Ｓｉ（ＣＨ3）2（ＣＨ2）9
ＳｉＣｌ3 (5) Ｆ（ＣＦ2）8（ＣＨ2）2Ｓｉ（ＣＨ3）2（ＣＨ2）9
ＳｉＣｌ3 (6) ＣＦ3ＣＯＯ（ＣＨ2）15ＳｉＣｌ3 (7) ＣＦ3（ＣＦ2）5（ＣＨ2）2ＳｉＣｌ3などのような
トリクロロシラン系界面活性剤をはじめ、例えば (8) ＣＦ3（ＣＦ2）7（ＣＨ2）2ＳｉＣｌn（ＣＨ3）3-n (9) ＣＦ3（ＣＦ2）7（ＣＨ2）2ＳｉＣｌn（Ｃ2Ｈ5）
3-n (10)ＣＦ3ＣＦ 2 （ＣＨ2）15ＳｉＣｌn（ＣＨ3）3-n (11)ＣＦ3ＣＦ 2 （ＣＨ2）15ＳｉＣｌn（Ｃ2Ｈ5）3-n (12)ＣＦ3（ＣＨ2）2Ｓｉ（ＣＨ3）2（ＣＨ2）15ＳｉＣ
ｌn（ＣＨ3）3-n (13)Ｆ（ＣＦ2）4（ＣＨ2）2Ｓｉ（ＣＨ3）2（ＣＨ2）9
ＳｉＣｌn（Ｃ2Ｈ5）3-n (14)Ｆ（ＣＦ2）8（ＣＨ2）2Ｓｉ（ＣＨ3）2（ＣＨ2）9
ＳｉＣｌn（ＣＨ3）3-n (15)ＣＦ3ＣＯＯ（ＣＨ2）15ＳｉＣｌn（ＣＨ3）3-n (16)ＣＦ3（ＣＦ2）5（ＣＨ2）2ＳｉＣｌn（ＣＨ3）3-n （但し式中のｎは何れも１又は２）等のような低級アル
キル基置換のモノクロロシラン系あるいはジクロロシラ
ン系界面活性剤が挙げられる。これらの中でもとくにト
リクロロシラン系界面活性剤の親水性基と結合したクロ
ロシリル結合以外のクロロシリル結合が、隣合うクロロ
シラン基とシロキサン結合で分子間結合を形成するた
め、より強固な化学吸着膜となることから好ましい。
【００１８】また、ＣＦ3（ＣＦ2）nＣＨ2ＣＨ2ＳｉＣ
ｌ3（但し式中のｎは整数であり、３〜２５程度が最も
扱いやすい）が、自己潤滑性、及び撥水・防汚性等の機
能性との釣合が取れているため好ましい。さらにまた、
フッ化アルキル鎖部分にエチレン基やアセチレン基を組
み込んでおけば、化学吸着膜形成後５メガラド程度の電
子線照射で架橋できるのでさらに化学吸着膜自体の硬度
を向上させることも可能である。
ｌ3（但し式中のｎは整数であり、３〜２５程度が最も
扱いやすい）が、自己潤滑性、及び撥水・防汚性等の機
能性との釣合が取れているため好ましい。さらにまた、
フッ化アルキル鎖部分にエチレン基やアセチレン基を組
み込んでおけば、化学吸着膜形成後５メガラド程度の電
子線照射で架橋できるのでさらに化学吸着膜自体の硬度
を向上させることも可能である。
【００１９】本発明に使用できるクロロシラン系界面活
性剤は、前記したように直鎖状だけではなく、フッ化ア
ルキル基又は炭化水素基が分岐した形状でも、又は末端
の珪素にフッ化アルキル基もしくは炭化水素基が置換し
た形状（即ちＲ、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3をフッ化アルキル基又
は炭化水素基として一般式Ｒ2ＳｉＣｌ2、Ｒ3ＳｉＣ
ｌ、Ｒ1Ｒ2ＳｉＣｌ2もしくはＲ1Ｒ2Ｒ3ＳｉＣｌ等）で
あってもよいが、吸着密度を高めるためには一般には直
鎖状が好ましい。さらに、例えば、ＳｉＣｌ4、ＳｉＨ
Ｃｌ3、ＳｉＨ2Ｃｌ2、Ｃｌ−（ＳｉＣｌ2Ｏ）n−Ｓｉ
Ｃｌ3（但し式中ｎは自然数）、ＳｉＣｌm（Ｃ
Ｈ3）4-m、ＳｉＣｌm（Ｃ2Ｈ5）4-m（但し式中ｍは１〜
３の整数）、ＨＳｉＣｌ k （ＣＨ3）3-k 、ＨＳｉＣｌ
k （Ｃ2Ｈ5）3-k （但し式中ｋは１又は２）等のようなク
ロロシリル結合を複数個含む物質を化学吸着させた後、
水と反応すると表面のクロロシリル結合が親水性のシラ
ノール結合に変わり、プラスチック成形品表面が親水性
となる。
性剤は、前記したように直鎖状だけではなく、フッ化ア
ルキル基又は炭化水素基が分岐した形状でも、又は末端
の珪素にフッ化アルキル基もしくは炭化水素基が置換し
た形状（即ちＲ、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3をフッ化アルキル基又
は炭化水素基として一般式Ｒ2ＳｉＣｌ2、Ｒ3ＳｉＣ
ｌ、Ｒ1Ｒ2ＳｉＣｌ2もしくはＲ1Ｒ2Ｒ3ＳｉＣｌ等）で
あってもよいが、吸着密度を高めるためには一般には直
鎖状が好ましい。さらに、例えば、ＳｉＣｌ4、ＳｉＨ
Ｃｌ3、ＳｉＨ2Ｃｌ2、Ｃｌ−（ＳｉＣｌ2Ｏ）n−Ｓｉ
Ｃｌ3（但し式中ｎは自然数）、ＳｉＣｌm（Ｃ
Ｈ3）4-m、ＳｉＣｌm（Ｃ2Ｈ5）4-m（但し式中ｍは１〜
３の整数）、ＨＳｉＣｌ k （ＣＨ3）3-k 、ＨＳｉＣｌ
k （Ｃ2Ｈ5）3-k （但し式中ｋは１又は２）等のようなク
ロロシリル結合を複数個含む物質を化学吸着させた後、
水と反応すると表面のクロロシリル結合が親水性のシラ
ノール結合に変わり、プラスチック成形品表面が親水性
となる。
【００２０】なお、このクロロシリル基を複数個含む物
質の中でも、テトラクロロシラン（ＳｉＣｌ4）は反応
性が高く分子量も小さいためより高密度にシラノール結
合を付与できるため好ましい。このようにして親水性化
すると、高分子を含む基体の基体の酸化処理よりも親水
性をより高くすることができる。この上に例えばフッ化
アルキル基を含むクロロシラン系界面活性剤を化学吸着
でき、このようにして得た化学吸着膜はより高密度化さ
れるためより好ましい。
質の中でも、テトラクロロシラン（ＳｉＣｌ4）は反応
性が高く分子量も小さいためより高密度にシラノール結
合を付与できるため好ましい。このようにして親水性化
すると、高分子を含む基体の基体の酸化処理よりも親水
性をより高くすることができる。この上に例えばフッ化
アルキル基を含むクロロシラン系界面活性剤を化学吸着
でき、このようにして得た化学吸着膜はより高密度化さ
れるためより好ましい。
【００２１】機械部品がプラスチック製の場合は、プラ
スチック成形品表面にシロキサン結合を介してフッ化ア
ルキル基を含有する化学吸着膜を形成する、その手段と
しては、プラスチック成形品表面を酸化処理して親水性
にする工程と、酸化処理した表面を非水系の有機溶媒に
浸漬等により接触させて、基材の表面にクロロシラン系
界面活性剤を化学吸着させ、シロキサン結合を介してフ
ッ化アルキル基を含有する化学吸着膜を形成する工程を
含むことが好ましい。
スチック成形品表面にシロキサン結合を介してフッ化ア
ルキル基を含有する化学吸着膜を形成する、その手段と
しては、プラスチック成形品表面を酸化処理して親水性
にする工程と、酸化処理した表面を非水系の有機溶媒に
浸漬等により接触させて、基材の表面にクロロシラン系
界面活性剤を化学吸着させ、シロキサン結合を介してフ
ッ化アルキル基を含有する化学吸着膜を形成する工程を
含むことが好ましい。
【００２２】プラスチック材料を酸化処理する方法とし
ては、例えば酸素プラズマ処理、コロナ処理、もしくは
濃硫酸と重クロム酸カリウムの混合溶液に浸漬する方法
（クロム混酸液処理）等通常の手法が適用される。
ては、例えば酸素プラズマ処理、コロナ処理、もしくは
濃硫酸と重クロム酸カリウムの混合溶液に浸漬する方法
（クロム混酸液処理）等通常の手法が適用される。
【００２３】本発明に用いる非水系溶媒は、化学吸着膜
を形成するプラスチック材料を溶解せず、かつクロロシ
ラン系界面活性剤と反応する活性水素を持たない有機溶
媒であればよい。その例として例えば１，１−ジクロ
ロ，１−フルオロエタン、１，１−ジクロロ，２，２，
２−トリフルオロエタン、１，１−ジクロロ，２，２，
３，３，３−ペンタフルオロプロパン、１，３−ジクロ
ロ，１，１，２，２，３−ヘプタフルオロプロパン等の
フッ素系溶媒、例えばヘキサン、オクタン、ヘキサデカ
ン、シクロヘキサン等の炭化水素系溶媒、例えばジブチ
ルエーテル、ジベンジルエーテル等のエーテル系溶媒、
例えば酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸イソプロピル、酢
酸アミル等エステル系溶媒の何れかが好ましい。
を形成するプラスチック材料を溶解せず、かつクロロシ
ラン系界面活性剤と反応する活性水素を持たない有機溶
媒であればよい。その例として例えば１，１−ジクロ
ロ，１−フルオロエタン、１，１−ジクロロ，２，２，
２−トリフルオロエタン、１，１−ジクロロ，２，２，
３，３，３−ペンタフルオロプロパン、１，３−ジクロ
ロ，１，１，２，２，３−ヘプタフルオロプロパン等の
フッ素系溶媒、例えばヘキサン、オクタン、ヘキサデカ
ン、シクロヘキサン等の炭化水素系溶媒、例えばジブチ
ルエーテル、ジベンジルエーテル等のエーテル系溶媒、
例えば酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸イソプロピル、酢
酸アミル等エステル系溶媒の何れかが好ましい。
【００２４】以下に本発明に関するマイクロマシーンと
しては、歯車、ローター、回転軸、クランク、タービン
等１ｍｍ以下のおおきさの部品で構成されたものがある
が、代表例として歯車と回転軸を取り上げ順に説明す
る。
しては、歯車、ローター、回転軸、クランク、タービン
等１ｍｍ以下のおおきさの部品で構成されたものがある
が、代表例として歯車と回転軸を取り上げ順に説明す
る。
【００２５】実施例１ まず、加工の終了した直径が１００ミクロンのＳｉＯ2
製のマイクロマシーン１（歯車は１ａ、回転軸は１ｂ）
を用意し（図１）、有機溶媒で洗浄する。次に、フッ化
炭素基及びクロロシラン基を含む物質の溶媒の一例であ
る、ＣＦ3 （ＣＦ2 ）7 （ＣＨ2 ）2 ＳｉＣｌ3 を、非
水系溶媒の一例である８０重量％ｎ−ヘキサデカン（ト
ルエン、キシレン、ジシクロヘキシルでもよい）、１２
重量％四塩化炭素、８重量％クロロホルム溶液からなる
混合溶媒に２重量％程度の濃度で溶かして、原料溶液を
調整した。この原料溶液に、少なくとも前記摺動部１’
（全てでもよい）を２時間程度浸漬すると、ＳｉＯ2 表
面は水酸基が多数含まれているので、フッ化炭素基及び
クロロシラン基を含む物質のＳｉＣｌ基と前記水酸基が
反応し脱塩酸反応が生じ摺動部表面全面に亘り、ＣＦ3
（ＣＦ2 ）7 （ＣＨ2 ）2 Ｓｉ（Ｏ−）3 の結合が生成
され、フッ素を含む単分子膜２が歯車及び回転軸と化学
結合した状態で約１５オングストローム（１．５ｎｍ）
の膜厚で形成できた。また、この膜の臨界表面エネルギ
ーを測定すると、１５ダイン／ｃｍであった（測定装
置：協和界面科学株式会社製造、自動接触角計、ＣＡ−
Ｚ型）。さらに動摩擦係数は０．１５であった（測定装
置：協和界面科学株式会社製造、全自動動摩擦係数計、
ＤＦＰＭ−ＳＳ型）。
製のマイクロマシーン１（歯車は１ａ、回転軸は１ｂ）
を用意し（図１）、有機溶媒で洗浄する。次に、フッ化
炭素基及びクロロシラン基を含む物質の溶媒の一例であ
る、ＣＦ3 （ＣＦ2 ）7 （ＣＨ2 ）2 ＳｉＣｌ3 を、非
水系溶媒の一例である８０重量％ｎ−ヘキサデカン（ト
ルエン、キシレン、ジシクロヘキシルでもよい）、１２
重量％四塩化炭素、８重量％クロロホルム溶液からなる
混合溶媒に２重量％程度の濃度で溶かして、原料溶液を
調整した。この原料溶液に、少なくとも前記摺動部１’
（全てでもよい）を２時間程度浸漬すると、ＳｉＯ2 表
面は水酸基が多数含まれているので、フッ化炭素基及び
クロロシラン基を含む物質のＳｉＣｌ基と前記水酸基が
反応し脱塩酸反応が生じ摺動部表面全面に亘り、ＣＦ3
（ＣＦ2 ）7 （ＣＨ2 ）2 Ｓｉ（Ｏ−）3 の結合が生成
され、フッ素を含む単分子膜２が歯車及び回転軸と化学
結合した状態で約１５オングストローム（１．５ｎｍ）
の膜厚で形成できた。また、この膜の臨界表面エネルギ
ーを測定すると、１５ダイン／ｃｍであった（測定装
置：協和界面科学株式会社製造、自動接触角計、ＣＡ−
Ｚ型）。さらに動摩擦係数は０．１５であった（測定装
置：協和界面科学株式会社製造、全自動動摩擦係数計、
ＤＦＰＭ−ＳＳ型）。
【００２６】なお、この単分子膜は、歯車及び回転軸の
寸法に比べ充分薄く、フッ化炭素基を含んでいるため潤
滑性が高く、きわめて強固に化学結合しているので、高
速の回転にも耐え全く剥離することがなかった。さら
に、この歯車を１万回回転させて試験してみたが、処理
しないものに比べ約３０倍の回転に耐えた。
寸法に比べ充分薄く、フッ化炭素基を含んでいるため潤
滑性が高く、きわめて強固に化学結合しているので、高
速の回転にも耐え全く剥離することがなかった。さら
に、この歯車を１万回回転させて試験してみたが、処理
しないものに比べ約３０倍の回転に耐えた。
【００２７】実施例２ 親水性ではあるが水酸基を含む割合が少ないアルミナ製
（ステンレス等の金属でも同じ）の場合、トリクロロシ
リル基を複数個含む物質（例えば、ＳｉＣｌ4、または
ＳｉＨＣｌ3 、ＳｉＨ2 Ｃｌ2 、Ｃｌ−（ＳｉＣｌ
2 Ｏ）n −ＳｉＣｌ3 （ｎは整数）。特に、ＳｉＣｌ4
を用いれば、分子が小さく水酸基に対する活性も大きい
ので、表面を均一に親水化する効果が大きい）を混ぜた
非水系溶媒、例えばクロロホルム溶媒に１重量パーセン
ト溶解した溶液に３０分間程度浸漬すると、アルミナ製
部品１１の表面には親水性のＯＨ基１２が多少とも存在
する（図３）ので表面で脱塩酸反応が生じトリクロロシ
リル基を複数個含む物質のクロロシラン単分子膜が形成
される。
（ステンレス等の金属でも同じ）の場合、トリクロロシ
リル基を複数個含む物質（例えば、ＳｉＣｌ4、または
ＳｉＨＣｌ3 、ＳｉＨ2 Ｃｌ2 、Ｃｌ−（ＳｉＣｌ
2 Ｏ）n −ＳｉＣｌ3 （ｎは整数）。特に、ＳｉＣｌ4
を用いれば、分子が小さく水酸基に対する活性も大きい
ので、表面を均一に親水化する効果が大きい）を混ぜた
非水系溶媒、例えばクロロホルム溶媒に１重量パーセン
ト溶解した溶液に３０分間程度浸漬すると、アルミナ製
部品１１の表面には親水性のＯＨ基１２が多少とも存在
する（図３）ので表面で脱塩酸反応が生じトリクロロシ
リル基を複数個含む物質のクロロシラン単分子膜が形成
される。
【００２８】例えば、トリクロロシリル基を複数個含む
物質としてＳｉＣｌ4 を用いれば、部品表面１１には少
量の親水性のＯＨ基が露出されているので、表面で脱塩
酸反応が生じ、下記に示す（化１）、（化２）のように
分子が−ＳｉＯ−結合を介して表面に固定される。
物質としてＳｉＣｌ4 を用いれば、部品表面１１には少
量の親水性のＯＨ基が露出されているので、表面で脱塩
酸反応が生じ、下記に示す（化１）、（化２）のように
分子が−ＳｉＯ−結合を介して表面に固定される。
【００２９】
【化１】
【００３０】
【化２】 その後、非水系の溶媒例えばクロロホルムで洗浄して、
さらに水で洗浄すると、部品表面と反応していないＳｉ
Ｃｌ4 分子は除去され、下記に示す（化３）、（化４）
のように部品表面に等のシロキサン単分子膜１３が得ら
れる（図４）。
さらに水で洗浄すると、部品表面と反応していないＳｉ
Ｃｌ4 分子は除去され、下記に示す（化３）、（化４）
のように部品表面に等のシロキサン単分子膜１３が得ら
れる（図４）。
【００３１】
【化３】
【００３２】
【化４】 なお、このときできた単分子膜１３は部品表面とは−Ｓ
ｉＯ−の化学結合を介して完全に結合されているので剥
がれることが全く無い。また、得られた単分子膜は表面
にシラノール結合（ＳｉＯＨ結合）を数多く持つ。当初
の水酸基のおよそ３倍程度の数が生成される。
ｉＯ−の化学結合を介して完全に結合されているので剥
がれることが全く無い。また、得られた単分子膜は表面
にシラノール結合（ＳｉＯＨ結合）を数多く持つ。当初
の水酸基のおよそ３倍程度の数が生成される。
【００３３】そこでさらに、フッ化炭素基及びクロロシ
ラン基を含む物質を混ぜた非水系の溶媒、例えば、ＣＦ
3 （ＣＦ2 ）7 （ＣＨ2 ）2 ＳｉＣｌ3 を用い、３重量
％程度の濃度で溶かした８０重量％ｎ−ヘキサデカン、
１２重量％四塩化炭素、８重量％クロロホルム溶液を調
整し、表面にＳｉＯＨ結合を数多く持つ単分子膜の形成
された部品を１時間程度浸漬すると、表面にＣＦ3 （Ｃ
Ｆ2 ）7 （ＣＨ2 ）2Ｓｉ（Ｏ−）3 の結合が生成さ
れ、フッ素を含む単分子膜１４が下層のシロキサン単分
子膜と化学結合した状態で部品表面全面に亘り高密度に
約１５オングストローム（１．５ｎｍ）の膜厚で形成で
きた（図５）。なお、この単分子累積膜は剥離試験を行
なっても全く剥離することがなかった。また、摺動抵抗
は、フッ素を含む単分子膜をそのまま部品表面に形成し
た場合に比べ約半分であった。
ラン基を含む物質を混ぜた非水系の溶媒、例えば、ＣＦ
3 （ＣＦ2 ）7 （ＣＨ2 ）2 ＳｉＣｌ3 を用い、３重量
％程度の濃度で溶かした８０重量％ｎ−ヘキサデカン、
１２重量％四塩化炭素、８重量％クロロホルム溶液を調
整し、表面にＳｉＯＨ結合を数多く持つ単分子膜の形成
された部品を１時間程度浸漬すると、表面にＣＦ3 （Ｃ
Ｆ2 ）7 （ＣＨ2 ）2Ｓｉ（Ｏ−）3 の結合が生成さ
れ、フッ素を含む単分子膜１４が下層のシロキサン単分
子膜と化学結合した状態で部品表面全面に亘り高密度に
約１５オングストローム（１．５ｎｍ）の膜厚で形成で
きた（図５）。なお、この単分子累積膜は剥離試験を行
なっても全く剥離することがなかった。また、摺動抵抗
は、フッ素を含む単分子膜をそのまま部品表面に形成し
た場合に比べ約半分であった。
【００３４】さらにまた上記実施例ではフッ化炭素系界
面活性剤としてＣＦ3 （ＣＦ2 ）7（ＣＨ2 ）2 ＳｉＣ
ｌ3 を用いたが、アルキル鎖部分にエチレン基やアセチ
レン基を付加したり組み込んでおけば、単分子膜形成後
５メガラド程度の電子線照射で架橋できるのでさらに単
分子膜の硬度を向上させることも可能である。
面活性剤としてＣＦ3 （ＣＦ2 ）7（ＣＨ2 ）2 ＳｉＣ
ｌ3 を用いたが、アルキル鎖部分にエチレン基やアセチ
レン基を付加したり組み込んでおけば、単分子膜形成後
５メガラド程度の電子線照射で架橋できるのでさらに単
分子膜の硬度を向上させることも可能である。
【００３５】以上説明した実施例によれば、マイクロマ
シーンの部品寸法に比べ充分薄いナノメータレベルの膜
厚の潤滑性フッ化炭素系単分子膜をマイクロマシーン摺
動部表面に形成するため、マイクロマシーン本来の機能
を損なうことがない。また、このフッ化炭素系単分子膜
は人体に対して不活性であり、摺動抵抗もきわめて低く
でき、剥離や模摩耗することもない。従って、潤滑剤な
どをしようできない人体内で使用するマイクロマシーン
においてはきわめて効果大なるものである。
シーンの部品寸法に比べ充分薄いナノメータレベルの膜
厚の潤滑性フッ化炭素系単分子膜をマイクロマシーン摺
動部表面に形成するため、マイクロマシーン本来の機能
を損なうことがない。また、このフッ化炭素系単分子膜
は人体に対して不活性であり、摺動抵抗もきわめて低く
でき、剥離や模摩耗することもない。従って、潤滑剤な
どをしようできない人体内で使用するマイクロマシーン
においてはきわめて効果大なるものである。
【００３６】
【発明の効果】以上説明した通り本発明によれば、表層
がフッ素基を含み、基部がシロキサン結合によって基材
に化学結合されている化学吸着膜が、少なくとも機械部
品の摺動部表面に形成されてなるので、摩擦抵抗が低く
自己潤滑性に優れた機械部品とすることができる。
がフッ素基を含み、基部がシロキサン結合によって基材
に化学結合されている化学吸着膜が、少なくとも機械部
品の摺動部表面に形成されてなるので、摩擦抵抗が低く
自己潤滑性に優れた機械部品とすることができる。
【００３７】また、化学吸着膜は単分子膜であるという
本発明の好ましい構成によれば、均一な厚さの薄い膜と
することができるので、透明性に優れ、加工された機械
の寸法精度を損ねることもない。
本発明の好ましい構成によれば、均一な厚さの薄い膜と
することができるので、透明性に優れ、加工された機械
の寸法精度を損ねることもない。
【００３８】さらに、機械部品としてマイクロマシーン
にも適用できるという本発明の好ましい構成によれば、
実用上潤滑剤を必要とすることなく自己潤滑性を付与で
き、しかも耐久性に優れたものとすることができる。
にも適用できるという本発明の好ましい構成によれば、
実用上潤滑剤を必要とすることなく自己潤滑性を付与で
き、しかも耐久性に優れたものとすることができる。
【図１】 本発明のマイクロマシーンの代表的な例であ
るＳｉＯ2 製歯車及び回転軸の斜視図である。
るＳｉＯ2 製歯車及び回転軸の斜視図である。
【図２】 本発明の歯車の表面を分子レベルまで拡大し
た断面概念図である。
た断面概念図である。
【図３】 本発明のマイクロマシーンの第２の実施例を
説明するためにアルミナ製部品の表面を分子レベルまで
拡大した処理前の断面概念図である。
説明するためにアルミナ製部品の表面を分子レベルまで
拡大した処理前の断面概念図である。
【図４】 本発明のマイクロマシーンの第２の実施例を
説明するためにアルミナ製部品の表面を分子レベルまで
拡大した処理中の断面概念図である。
説明するためにアルミナ製部品の表面を分子レベルまで
拡大した処理中の断面概念図である。
【図５】 本発明のマイクロマシーンの第２の実施例を
説明するためにアルミナ製部品の表面を分子レベルまで
拡大した処理後の断面概念図である。
説明するためにアルミナ製部品の表面を分子レベルまで
拡大した処理後の断面概念図である。
１…ＳｉＯ2 製歯車及び回転軸 ２，１４…単分子膜 １１…アルミナ製部品 １２…水酸基 １３…単分子膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｆ１６Ｃ 33/20 7123−3Ｊ Ｆ１６Ｃ 33/20 Ａ (56)参考文献 特開 昭59−1505（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−248480（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−40254（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−147483（ＪＰ，Ａ)
Claims (3)
- 【請求項１】 機械部品の少なくとも摺動部表面に、表
層に炭化フッ素基を含み、基部がシロキサン結合によっ
て化学結合した、厚さがナノメーターレベルの化学吸着
膜が形成されている低摩擦抵抗性機械部品。 - 【請求項２】 化学吸着膜が単分子膜である請求項１記
載の低摩擦抵抗性機械部品。 - 【請求項３】 機械部品がマイクロマシーンである請求
項１または２記載の低摩擦抵抗性機械部品。
Priority Applications (10)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5790291A JP2501250B2 (ja) | 1991-02-27 | 1991-02-27 | 低摩擦抵抗性機械部品 |
| EP19920102770 EP0501298B1 (en) | 1991-02-27 | 1992-02-19 | Self-lubricating device |
| DE69211181T DE69211181T2 (de) | 1991-02-27 | 1992-02-19 | Selbstschmierende Vorrichtung |
| CA 2061728 CA2061728C (en) | 1991-02-27 | 1992-02-24 | Self-lubricating device |
| KR1019920003102A KR960002716B1 (ko) | 1991-02-27 | 1992-02-27 | 저마찰 저항성부재 |
| US08/145,669 US5425989A (en) | 1991-02-27 | 1993-11-04 | Self-lubricating device |
| US08/458,703 US5731077A (en) | 1991-02-27 | 1995-06-02 | Self-lubricating device |
| US08/935,551 US5836827A (en) | 1991-02-27 | 1997-09-23 | Self-lubricating device |
| US08/936,024 US5876801A (en) | 1991-02-27 | 1997-09-23 | Self lubricating device |
| US08/935,418 US5876846A (en) | 1991-02-27 | 1997-09-23 | Self-lubricating device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5790291A JP2501250B2 (ja) | 1991-02-27 | 1991-02-27 | 低摩擦抵抗性機械部品 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06134916A JPH06134916A (ja) | 1994-05-17 |
| JP2501250B2 true JP2501250B2 (ja) | 1996-05-29 |
Family
ID=13068925
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5790291A Expired - Fee Related JP2501250B2 (ja) | 1991-02-27 | 1991-02-27 | 低摩擦抵抗性機械部品 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2501250B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5381301A (en) * | 1993-05-11 | 1995-01-10 | Aerovox Incorporated | Leak-tight and rupture proof, ultrasonically-welded, polymer-encased electrical capacitor with pressure sensitive circuit interrupter |
| JP2005336256A (ja) * | 2004-05-25 | 2005-12-08 | Toyota Motor Corp | 潤滑油組成物 |
| EP2031124A1 (en) * | 2007-08-27 | 2009-03-04 | Nederlandse Organisatie voor Toegepast-Natuuurwetenschappelijk Onderzoek TNO | Coating having low friction characteristics |
| JP7006065B2 (ja) | 2017-09-14 | 2022-01-24 | セイコーエプソン株式会社 | 時計用部品、時計用ムーブメントおよび時計 |
| JP7078896B2 (ja) * | 2018-06-29 | 2022-06-01 | 日産自動車株式会社 | 撥水撥油構造体 |
-
1991
- 1991-02-27 JP JP5790291A patent/JP2501250B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06134916A (ja) | 1994-05-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR960002716B1 (ko) | 저마찰 저항성부재 | |
| CA2060026C (en) | Medical member and method of manufacturing the same | |
| CA2060294C (en) | Chemically absorbed film and method of manufacturing the same | |
| Pellerite et al. | Dynamic contact angle studies of self-assembled thin films from fluorinated alkyltrichlorosilanes | |
| US10329510B2 (en) | Self-healable coatings and methods of making the same | |
| Hozumi et al. | Ultralyophobic oxidized aluminum surfaces exhibiting negligible contact angle hysteresis | |
| JP3588364B2 (ja) | 表面処理された基材および基材の表面処理方法 | |
| Hozumi et al. | Hydrophobicity of perfluoroalkyl isocyanate monolayers on oxidized aluminum surfaces | |
| JP2506234B2 (ja) | 透光性基体の製造方法 | |
| JP2501250B2 (ja) | 低摩擦抵抗性機械部品 | |
| Tao et al. | Surface modification of AFM silicon probes for adhesion and wear reduction | |
| JP6965930B2 (ja) | 撥水部材及び撥水部材の製造方法 | |
| Owen et al. | Surface modification by fluoroalkyl-functional silanes | |
| JPH05182952A (ja) | 半導体装置 | |
| JP2008137306A (ja) | 金型とその製造方法及びそれを用いて作製した成型品 | |
| Jung et al. | Characterization of octadecyltrichlorosilane self-assembled monolayers on silicon (100) surface | |
| Thami et al. | Controlled structure and hydrophilic property of polymethylhydrosiloxane thin films attached on silicon support and modified with phosphorylcholine group | |
| KR0138251B1 (ko) | 자기기록매체 및 그 제조방법 | |
| JP3008507B2 (ja) | 人工関節およびその製造方法 | |
| Bhushan | Self-assembled monolayers for controlling hydrophobicity and/or friction and wear | |
| JP3140189B2 (ja) | 潤滑膜およびその製造方法 | |
| Pham et al. | Nanotribological properties of silicon nano-pillars coated by a Z-DOL lubricating film | |
| JPH04252235A (ja) | 高分子組成物の製造方法 | |
| JP2005097401A (ja) | 摺動被膜及びその製法 | |
| JPH04327876A (ja) | 遊戯球 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |