JP2024079196A - 対基板作業システム、および処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】決定機構の変形を修正する。【解決手段】対基板作業装置１１０と、対基板作業装置１１０に着脱される処理装置１３０と、対基板作業装置１１０に対する処理装置１３０の位置関係を決定する決定機構１５０と、を備え、決定機構１５０は、板状であって、幅方向に間隔を空けて対向状に配置される一対の第一部材１５１と、第一部材１５１に沿って相対的に移動する一対の第二部材１５２と、着脱方向に嵌まり合い、嵌合した状態で幅方向の位置関係が決まる挿入部材１５３、および被挿入部材１５４の組である嵌合組１５９を少なくとも二組備え、第一部材１５１は、対基板作業装置１１０に取り付けられ、第二部材１５２は、処理装置１３０に取り付けられ、第一部材１５１は、被挿入部材１５４が取り付けられ、第二部材１５２は挿入部材１５３が取り付けられ、嵌合組１５９は、上下方向に間隔を空けて配置される対基板作業システム１００。【選択図】図３

Description

本発明は、基板に対して作業を実行する対基板作業システム、および対基板作業システムが備える処理装置に関する。

従来、プリント基板などに対して作業を実行する対基板作業装置が設置される床面上において搬送され、対基板作業装置に取り付けられる処理装置が存在している。具体的には、対基板作業装置の１つである部品実装装置に対して部品、特にキャリアテープを自動供給する処理装置の１つである部品供給装置は、床面上を搬送され部品実装装置に取り付けられる。

特許文献１には、一対のレールからなる位置決め部が部品供給装置に設けられており、部品実装装置に部品供給装置が取り付けられる際において、部品実装装置に取り付けられた案内手段により位置決め部を介して部品供給装置が案内され、部品実装装置に対する部品供給装置の位置ずれを矯正する技術が記載されている。

特開２０２１－０６４６７９号公報

従来の位置決め部を備えた案内機構は、剛性が高く、案内機構の変形は想定されていない。ところが、部品実装装置から突出し、長く延在する位置決め部などが重力などにより変形することを発明者は見いだした。

本発明は、発明者の知見に基づきなされたものであり、正しく位置決め可能な対基板作業システム、および処理装置の提供を目的とする。

上記目的を達成するために、本発明の１つである対基板作業システムは、基板に対して作業を行う対基板作業装置と、前記対基板作業装置が設置される床面において搬送され、前記対基板作業装置に着脱される処理装置と、前記対基板作業装置に対する前記処理装置の位置関係を決定する決定機構と、を備える対基板作業システムであって、前記決定機構は、上下方向を含む面に沿い着脱方向に延在する板状であって、前記着脱方向と水平面内で直交する幅方向に間隔を空けて対向状に配置される一対の第一部材と、前記第一部材のそれぞれに沿って相対的に移動する一対の第二部材と、着脱方向に嵌まり合い、嵌合した状態で幅方向の位置関係が決まる挿入部材、および被挿入部材の組である嵌合組と、を備え、一対の前記第一部材、および一対の前記第二部材の一方は、前記対基板作業装置に取り付けられ、他方は、前記処理装置に取り付けられ、幅方向の一方側に配置される前記第一部材、および前記第二部材の一方は、前記挿入部材が取り付けられ、他方は、前記被挿入部材が取り付けられ、幅方向の他方側に配置される前記第一部材、および前記第二部材の一方は、前記挿入部材が取り付けられ、他方は、前記被挿入部材が取り付けられ、幅方向の両側において、前記嵌合組は、上下方向に間隔を空けてそれぞれ配置される。

また、上記目的を達成するために、本発明の他の１つである処理装置は、基板に対して作業を行う対基板作業装置が設置される床面において搬送され、前記対基板作業装置に着脱される処理装置であって、上下方向を含む面に沿い着脱方向に延在する板状であって、前記着脱方向と水平面内で直交する幅方向に間隔を空けて対向状に配置される一対の第一部材、または前記第一部材のそれぞれに沿って相対的に移動する一対の第二部材と、前記処理装置に備えられ、幅方向の一方側に配置される前記第一部材、または前記第二部材は、着脱方向に嵌まり合い、嵌合した状態で幅方向の位置関係が決まり、上下方向に間隔を空けて配置される２つの挿入部材、または上下方向に間隔を空けて配置される２つの被挿入部材と、前記処理装置に備えられ、幅方向の他方側に配置される前記第一部材、または前記第二部材は、上下方向に間隔を空けて配置される２つの前記挿入部材、または上下方向に間隔を空けて配置される２つの前記被挿入部材と、を備える。

本発明によれば、 嵌合組が嵌まり合うことにより、第一部材と第二部材とが相互に拘束し合い、決定機構の変形がなくなる方向に収れんする。

対基板作業システムを示す斜視図である。 対基板作業装置を示す斜視図である。 一部透過状態の副作業装置、および処理装置と共に決定機構を示す斜視図である。 決定機構の片側を示す斜視図である。 対基板作業システムの動作例１を示す上面図である。 対基板作業システムの動作例２を示す上面図である。 対基板作業システムの動作例３を示す上面図である。 決定機構の別例１を示す斜視図である。 決定機構の別例２を示す斜視図である。 決定機構の別例３を示す斜視図である。 決定機構の別例４を示す斜視図である。 決定機構の別例５を示す斜視図である。

以下、本発明に係る対基板作業システム、および処理装置の実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。なお、以下の実施の形態は、本発明を説明するために一例を挙示するものであり、本発明を限定する主旨ではない。例えば、以下の実施の形態において示される形状、構造、材料、構成要素、相対的位置関係、接続状態、数値、数式、方法における各段階の内容、各段階の順序などは、一例であり、以下に記載されていない内容を含む場合がある。また、平行、直交などの幾何学的な表現を用いる場合があるが、これらの表現は、数学的な厳密さを示すものではなく、実質的に許容される誤差、ずれなどが含まれる。また、同時、同一などの表現も、実質的に許容される範囲を含んでいる。

また、図面は、本発明を説明するために適宜強調、省略、または比率の調整を行った模式的な図となっており、実際の形状、位置関係、および比率とは異なる。また、図中に示す場合があるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、図の説明のために任意に設定した直交座標を示している。つまりＺ軸は、鉛直方向に沿う軸とは限らず、Ｘ軸、Ｙ軸は、水平面内に存在するとは限らない。

また、以下では複数の発明を一つの実施の形態として包括的に説明する場合がある。また、以下に記載する内容の一部は、本発明に関する任意の構成要素として説明している。

図１は、対基板作業システム１００を示す斜視図である。対基板作業システム１００は、基板（不図示）に対し作業を実行するためのシステムであり、対基板作業装置１１０と、処理装置１３０と、決定機構１５０と、を備えている。本実施の形態の場合、対基板作業システム１００は、処理装置１３０を搬送するための無人搬送車２００を備えている。

図２は、対基板作業装置を示す斜視図である。対基板作業装置１１０は、基板に部品を装着するなど基板に対して作業を行う装置であれば特に限定されるものではない。例えば、対基板作業装置１１０としては、プリント基板などの表面にハンダペーストを印刷するハンダ印刷装置、基板に部品を実装する部品実装装置、加温によりハンダペーストを溶融し冷却により基板に部品を機械的、かつ電気的に接続するリフロー炉など、回路基板製造ラインに組み込まれる装置を例示することができる。また、対基板作業装置１１０には、基板に作業を実行する各工程において検査を行う検査装置、各装置間を結び製造途中の基板等を搬送する搬送装置なども含まれる。

本実施の形態の場合、対基板作業装置１１０は、対基板作業装置本体１１１と、副作業装置１１２と、を備えている。

対基板作業装置本体１１１は、基板に対して主として作業を行う装置である。例えば、対基板作業装置１１０が部品実装装置である場合、対基板作業装置本体１１１は、基板に対して部品を実装する。

副作業装置１１２は、対基板作業装置本体１１１に対して着脱される装置であり、基板に対する副次的な作業を行う装置である。例えば、対基板作業装置１１０が部品実装装置である場合、副作業装置１１２は、対基板作業装置本体１１１に基板に実装する部品を自動的に供給する。副作業装置１１２は、部品を並べて保持するキャリアテープを対基板作業装置本体１１１まで搬送して部品を対基板作業装置本体１１１に供給する部品供給ユニットなどの副作業装置本体１１３と、副作業装置本体１１３を保持する台車１１４により構成される場合がある。

処理装置１３０は、対基板作業装置１１０が設置される床面３００において搬送され、対基板作業装置１１０に取り付けられた状態で対基板作業装置１１０との間で処理を実行し、処理が終了した後に対基板作業装置１１０から取り外される装置である。処理装置１３０の種類は、特に限定されるものではない。例えば処理装置１３０としては、対基板作業装置１１０の１つである部品実装装置にキャリアテープが収納された収容器を供給するキャリアテープ供給装置、部品が載置されたトレーを供給するトレー供給装置、ハンダ印刷装置にハンダペーストを供給するハンダ供給装置などを例示することができる。また、処理装置１３０は、部品を供給するのではなく、対基板作業装置１１０にアクセスして調整処理などを行う装置でもかまわない。

本実施の形態の場合、処理装置１３０は、副作業装置１１２に取り付けられた状態で対基板作業装置１１０との間で処理を実行し、処理が終了した後に、無人搬送車２００によって副作業装置１１２から取り外される。

図３は、一部透過状態の副作業装置１１２、および処理装置１３０と共に決定機構１５０を示す斜視図である。図４は、決定機構１５０の片側を示す斜視図である。決定機構１５０は、対基板作業装置１１０に対する処理装置１３０の位置関係を決定する構造体であって、第一部材１５１と、第二部材１５２と、挿入部材１５３と、被挿入部材１５４と、を備えている。本実施の形態の場合、決定機構１５０は、当接部材１７０を備えている。

第一部材１５１は、対基板作業装置１１０に対する処理装置１３０の位置決めをするための部材である。第一部材１５１は、上下方向を含む面である鉛直面（図中ＹＺ平面）に沿い、着脱方向（図中Ｙ軸方向）に延在する板状の部材であって、着脱方向と水平面内で直交する幅方向（図中Ｘ軸方向）に間隔を空けて対向状に配置される一対の構造部材である。第一部材１５１は、対基板作業装置１１０、および処理装置１３０のいずれに取り付けられても構わないが、本実施の形態の場合、第一部材１５１は、対基板作業装置本体１１１に取り付けられている。

本実施の形態の場合、一対の第一部材１５１は、水平面（図中ＸＹ平面）内において着脱方向（図中Ｙ軸方向）に沿って外向き（図中Ｙ－の向き）に対基板作業装置本体１１１から突出し、平行に配置されている。一対の第一部材１５１は、着脱方向を含む上下方向を含む面を対称面とする面対称の形状となっている。第一部材１５１は、壁面部１５５と、副作業装置１１２を支持する支持面部１５６と、を備えている。

一対の壁面部１５５は、幅方向に並んで対向状に配置されている。処理装置１３０が対基板作業装置１１０に取り付けられる際に、一対の壁面部１５５に対して一対の第二部材１５２が挿入部材１５３を介して案内されながら移動することにより左右方向における対基板作業装置１１０に対する処理装置１３０の位置が決定される。一対の壁面部１５５に対し、一対の第二部材１５２は、外側、および内側のいずれに配置されても構わないが、本実施の形態では内側の場合を例示している。

一対の壁面部１５５のそれぞれの先端（処理装置１３０側）には、先端に向かって徐々に相互に離れるテーパー面１６３が設けられている。処理装置１３０が対基板作業装置１１０に取り付けられる際に、第二部材１５２に取り付けられた挿入部材１５３が最初にテーパー面１６３に当接する。これにより、対基板作業装置１１０に対する処理装置１３０の左右方向における位置がずれていた場合でもテーパー面１６３に案内されて適切な位置に処理装置１３０の位置が修正される。

支持面部１５６は、壁面部１５５の下端縁から幅方向に突出した部分であり、上方に開口した溝部１５７を上面に備えている。支持面部１５６は、溝部１５７に係合した副作業装置１１２の係合輪１１５を介して副作業装置１１２を下方から支持し、副作業装置１１２の台車１１４が備える台車車輪１１６を床面３００から浮かせる、または台車車輪１１６に加えられる副作業装置本体１１３の荷重を軽減させる。第一部材１５１の支持面部１５６により副作業装置１１２の対基板作業装置本体１１１に対する高さ位置（図中Ｚ軸方向における位置）、および幅方向の位置が決定される。また、一対の支持面部１５６に支持されることにより、対基板作業装置本体１１１に対する副作業装置１１２の着脱方向周りの傾き（いわゆるロール角）が決定される。

支持面部１５６の先端部には、先端から対基板作業装置本体１１１に向かって上り勾配のスロープ１５８がそれぞれ設けられている。スロープ１５８によって、対基板作業装置本体１１１に副作業装置１１２が取り付けられる際に、副作業装置１１２が対基板作業装置本体１１１に近づくにつれて上昇する。

第二部材１５２は、第一部材１５１のそれぞれに沿って相対的に移動する部材である。一対の第二部材１５２は、水平面（図中ＸＹ平面））内において着脱方向（図中Ｙ軸方向）に沿って処理装置１３０から対基板作業装置１１０に向かって突出し、平行に配置される構造体である。一対の第二部材１５２は、着脱方向を含む上下方向を含む面を対称面とする面対称の形状となっている。第二部材１５２の形状は、限定されるものではないが、本実施の形態の場合、フレーム構造が採用されており、一対の第二部材１５２は、幅方向において処理装置１３０の両端部にそれぞれ固定されている。

挿入部材１５３、および被挿入部材１５４は、着脱方向に嵌まり合い、嵌合した状態で幅方向の位置関係が決まる嵌合組１５９を構成する部材である。挿入部材１５３、および被挿入部材１５４の一方は、第一部材１５１に取り付けられ、他方は、第二部材１５２に取り付けられる。決定機構１５０は、第一部材１５１の一対の壁面部１５５にそれぞれ沿って上下に配置される二対の嵌合組１５９を備えている。

挿入部材１５３は、第一部材１５１、または第二部材１５２に取り付けられるが、本実施の形態の場合、挿入部材１５３は、第二部材１５２に取り付けられている。挿入部材１５３の形状、構造は、限定されるものではないが、本実施の形態では挿入部材１５３は、上下方向（鉛直方向）に延在する回転軸周りに回転自在に第二部材１５２に取り付けられるローラーである。挿入部材１５３は、枠構造である第二部材１５２から先端に向かって一部が突出し、また幅方向の両側に向かって一部がそれぞれ突出している。挿入部材１５３は、第二部材１５２の上端面、および下端面から突出するように第二部材１５２に軸支される。

被挿入部材１５４は、挿入部材１５３が挿入される部材である。被挿入部材１５４は、挿入された挿入部材１５３が嵌合した状態において少なくとも幅方向の挿入部材１５３の移動を相対的に規制する。被挿入部材１５４は、第一部材１５１、および第二部材１５２の挿入部材１５３が取り付けられていない方に取り付けられる。本実施の形態の場合、被挿入部材１５４は、第一部材１５１の着脱方向の中間位置に取り付けられている。被挿入部材１５４の形状、構造は、限定されるものではないが、本実施の形態では被挿入部材１５４、平面視において、処理装置１３０に向かって開口する凹形状を有し、一対の被挿入部材１５４は、上下方向に間隔を空けて配置される挿入部材１５３に対応して上下方向に間隔を空けて配置されている。上下方向に間隔を空けて配置されるとは、上下方向に延在する一軸上に配置されてもよく、配置されなくてもよいことを意味する。

本実施の形態の場合、上下方向に間隔を空けて配置される一対の被挿入部材１５４は、一体となって上下方向に延びている。また、被挿入部材１５４は、壁面部１５５から垂直に立ち上がる止め部１６１と、止め部１６１の先端から壁面部１５５に沿って処理装置１３０に向かって突出する対向面部１６２と、を備えている。被挿入部材１５４は、止め部１６１、対向面部１６２、および対向面部１６２と対向する壁面部１５５の一部で構成されている。つまり、被挿入部材１５４は、面一の壁面部１５５と一部を共有している。被挿入部材１５４の対向面部１６２と対向面部１６２に対向する壁面部１５５の部分は、幅方向の少なくとも１点ずつ挿入部材１５３と接触する。被挿入部材１５４の止め部１６１は、挿入部材１５３と当接することにより対基板作業装置１１０に対する処理装置１３０の着脱方向における位置が決定される。

当接部材１７０は、第二部材１５２に取り付けられ第一部材１５１と当接する部材であり、嵌合組１５９と着脱方向に間隔を空けて配置される。着脱方向に間隔を空けて配置されるとは、着脱方向に延在する一軸上に配置されてもよく、配置されなくてもよいことを意味する。本実施の形態の場合、当接部材１７０は、上下方向に間隔を空けて配置される嵌合組１５９とそれぞれ同じ高さ位置に配置されている。当接部材１７０の形状、構造は、限定されるものではないが、本実施の形態では当接部材１７０は、鉛直方向に延在する回転軸周りに回転自在に第二部材１５２に取り付けられるローラーである。当接部材１７０は、挿入部材１５３に対し処理装置１３０側に間隔を空けて配置され、第二部材１５２から幅方向の両側に向かって一部がそれぞれ突出している。当接部材１７０は、第二部材１５２の上端面、および下端面から突出するように第二部材１５２に軸支される。処理装置１３０が対基板作業装置１１０に取り付けられる際に、当接部材１７０は、第一部材１５１の壁面部１５５に当接状態で移動する。

次に、対基板作業装置１１０に処理装置１３０を取り付ける際の対基板作業システム１００の動作を説明する。図５、図６、図７は、対基板作業システム１００の動作を示す上面図である。なお、以下では決定機構１５０の幅方向（図中Ｘ軸方向）の一方の側について説明する場合があるが、他方の側でも同内容の動作が実施される。また、決定機構１５０の幅方向の両側の動作によって実現される効果を記載する。

図５に示すように、処理装置１３０に取り付けられた一対の第二部材１５２が対基板作業装置本体１１１に取り付けられた一対の第一部材１５１と平行になるように無人搬送車２００が所定の位置に処理装置１３０を搬送する。副作業装置１１２は、既に第一部材１５１の支持面部１５６に設けられた溝部１５７に係合輪１１５が係合して位置決めされた状態で一対の第一部材１５１の間に配置され、対基板作業装置本体１１１に取り付けられている。その後、無人搬送車２００は、処理装置１３０を副作業装置１１２に向かって移動させる。第二部材１５２の先端に設けられた挿入部材１５３が、第一部材１５１の先端に設けられたテーパー面１６３に当接し、対基板作業装置１１０に処理装置１３０が近づくにつれて回転しながらテーパー面１６３に沿って移動する。これにより、対基板作業装置１１０に対する処理装置１３０の幅方向の位置が多少ずれている場合でも、ある程度のずれは修正される。なお、対基板作業装置本体１１１から副作業装置１１２を越えて突出する第一部材１５１には、自重や副作業装置１１２の荷重により変形が発生しているため暫定的なずれの修正になる。

次に、図６に示すように、処理装置１３０が副作業装置１１２に向かってさらに移動すると、壁面部１５５の内側の面に一対の挿入部材１５３が当接し、着脱方向において挿入部材１５３と離間して配置される一対の当接部材１７０が壁面部１５５にそれぞれ当接することにより、対基板作業装置１１０に対する処理装置１３０の鉛直方向（図中Ｚ軸方向）周りの傾き（いわゆるヨー角）が暫定的に決定される。

次に、図７に示すように、処理装置１３０が副作業装置１１２に向かって移動し、一対の（本実施の形態では一体の）被挿入部材１５４に一対の挿入部材１５３が嵌合する。これにより、着脱方向（図中Ｙ軸方向）において被挿入部材１５４に挿入部材１５３の移動が規制され、着脱方向における副作業装置１１２に対する処理装置１３０の位置が決定される。また、上下方向（図中Ｚ軸方向）に間隔を空けて配置される一対の挿入部材１５３と一対の被挿入部材１５４とが嵌合して嵌合組１５９を形成することで、挿入部材１５３と被挿入部材１５４とが相互に拘束し合う。これにより、処理装置１３０、第二部材１５２、嵌合組１５９、第一部材１５１、および対基板作業装置本体１１１が構造的に一つながりとなり、結果的に第一部材１５１の変形が修正されて副作業装置１１２に対する処理装置１３０の変位がなくなる方向に収れんする。以上のような対基板作業システム１００の構成、および動作により、対基板作業装置１１０の副作業装置１１２と処理装置１３０とが正確な位置関係で接続される。

なお、本発明は、上記実施の形態に限定されるものではない。例えば、本明細書において記載した構成要素を任意に組み合わせて、また、構成要素のいくつかを除外して実現される別の実施の形態を本発明の実施の形態としてもよい。また、上記実施の形態に対して本発明の主旨、すなわち、請求の範囲に記載される文言が示す意味を逸脱しない範囲で当業者が思いつく各種変形を施して得られる変形例も本発明に含まれる。

例えば、図８に示すように、被挿入部材１５４は、挿入部材１５３と対向する面から着脱方向に窪む穴を凹形状の部分として有していてもよい。挿入部材１５３は、被挿入部材１５４が備える穴に嵌合するピン状の回転しない固定された部材であってもよい。穴、および挿入部材１５３は、同一方向に傾くテーパー形状を有してもよい。穴は、有底でも貫通していても構わない。

また、図８に示すように、当接部材１７０はローラーではなく、摩擦の少ない樹脂などで形成されても構わない。当接部材１７０は、着脱方向に間隔を空けて配置されても構わない。

また、図９に示すように、被挿入部材１５４が有する穴は、上下方向に延在する長穴であっても構わない。

また、図１０に示すように、当接部材１７０は、嵌合組１５９と異なる高さ位置に配置されても構わない。

また、図１１に示すように、決定機構１５０は、嵌合組１５９を三組以上（図１１では四組）備え、少なくとも一対の嵌合組１５９は、着脱方向に間隔を空けて配置されてもかまわない。また、当接部材１７０を備えなくても構わない。

また、図１２に示すように、被挿入部材１５４が有する凹形状は、Ｖ溝でも構わない。

本発明は、対基板作業装置によって構成される対基板作業ラインが設置されるフロア上を走行し取り付けられた対基板作業装置に対して作業を実行する処理装置、および当該処理装置を備えた対基板作業システムなどに利用可能である。

１００ 対基板作業システム
１１０ 対基板作業装置
１１１ 対基板作業装置本体
１１２ 副作業装置
１１３ 副作業装置本体
１１４ 台車
１１５ 係合輪
１１６ 台車車輪
１３０ 処理装置
１５０ 決定機構
１５１ 第一部材
１５２ 第二部材
１５３ 挿入部材
１５４ 被挿入部材
１５５ 壁面部
１５６ 支持面部
１５７ 溝部
１５８ スロープ
１５９ 嵌合組
１６１ 止め部
１６２ 対向面部
１６３ テーパー面
１７０ 当接部材
２００ 無人搬送車
３００ 床面

Claims (13)

1. 基板に対して作業を行う対基板作業装置と、前記対基板作業装置が設置される床面において搬送され、前記対基板作業装置に着脱される処理装置と、前記対基板作業装置に対する前記処理装置の位置関係を決定する決定機構と、を備える対基板作業システムであって、
   前記決定機構は、
   上下方向を含む面に沿い着脱方向に延在する板状であって、前記着脱方向と水平面内で直交する幅方向に間隔を空けて対向状に配置される一対の第一部材と、
   前記第一部材のそれぞれに沿って相対的に移動する一対の第二部材と、
   着脱方向に嵌まり合い、嵌合した状態で幅方向の位置関係が決まる挿入部材、および被挿入部材の組である嵌合組と、を備え、
   一対の前記第一部材、および一対の前記第二部材の一方は、前記対基板作業装置に取り付けられ、他方は、前記処理装置に取り付けられ、
   幅方向の一方側に配置される前記第一部材、および前記第二部材の一方は、前記挿入部材が取り付けられ、他方は、前記被挿入部材が取り付けられ、
   幅方向の他方側に配置される前記第一部材、および前記第二部材の一方は、前記挿入部材が取り付けられ、他方は、前記被挿入部材が取り付けられ、
   幅方向の両側において、前記嵌合組は、上下方向に間隔を空けてそれぞれ配置される
   対基板作業システム。
2. 前記第二部材は、前記第一部材の対向する面にそれぞれ沿って移動し、
   一対の前記嵌合組は、一対の前記第一部材の間に配置される
   請求項１に記載の対基板作業システム。
3. 前記被挿入部材のそれぞれは、平面視において、凹形状を有し、
   上下方向に間隔を空けて配置される前記被挿入部材は、一体となって上下方向に延びており、
   前記挿入部材は、幅方向の少なくとも２点において凹形状の前記被挿入部材と接触する
   請求項１または２に記載の対基板作業システム。
4. 前記被挿入部材は、前記挿入部材と対向する面から着脱方向に窪む穴を有し、
   前記挿入部材は、前記被挿入部材が有する穴に嵌合するピン状である
   請求項１または２に記載の対基板作業システム。
5. 前記被挿入部材が有する穴は、上下方向に長い長穴である、
   請求項４に記載の対基板作業システム。
6. 前記決定機構は、
   前記挿入部材が取り付けられた前記第二部材に取り付けられ、前記第一部材と当接する当接部材を備え、
   前記当接部材は、前記嵌合組と着脱方向に間隔を空けて配置される
   請求項１または２に記載の対基板作業システム。
7. 前記当接部材は、前記嵌合組と同じ高さ位置に配置される
   請求項６に記載の対基板作業システム。
8. 前記当接部材は、前記嵌合組と異なる高さ位置に配置される
   請求項６に記載の対基板作業システム。
9. 前記決定機構は、前記嵌合組を三組以上備え、
   少なくとも一対の前記嵌合組は、着脱方向に間隔を空けて配置される
   請求項１または２に記載の対基板作業システム。
10. 前記挿入部材の少なくとも１つは、上下方向に延在する回転軸を有するローラーである
    請求項１または２に記載の対基板作業システム。
11. 前記対基板作業装置は、前記基板に部品を実装する部品実装装置であり、
    前記処理装置は、前記部品を収容するキャリアテープが収納されたテープカセットを前記部品実装装置に供給するテープカセット供給装置である
    請求項１または２に記載の対基板作業システム。
12. 前記対基板作業装置は、
    対基板作業装置本体と、前記対基板作業装置本体に対し着脱される副作業装置を備え、
    前記対基板作業装置本体に取り付けられる一対の前記第一部材、または一対の前記第二部材は、前記対基板作業装置本体に取り付けられる前記一対の前記第一部材または前記一対の前記第二部材の間に配置される前記副作業装置を拘束する
    請求項１０に記載の対基板作業システム。
13. 基板に対して作業を行う対基板作業装置が設置される床面において搬送され、前記対基板作業装置に着脱される処理装置であって、
    上下方向を含む面に沿い着脱方向に延在する板状であって、前記着脱方向と水平面内で直交する幅方向に間隔を空けて対向状に配置される一対の第一部材、または前記第一部材のそれぞれに沿って相対的に移動する一対の第二部材と、
    前記処理装置に備えられ、幅方向の一方側に配置される前記第一部材、または前記第二部材は、着脱方向に嵌まり合い、嵌合した状態で幅方向の位置関係が決まり、上下方向に間隔を空けて配置される２つの挿入部材、または上下方向に間隔を空けて配置される２つの被挿入部材と、
    前記処理装置に備えられ、幅方向の他方側に配置される前記第一部材、または前記第二部材は、上下方向に間隔を空けて配置される２つの前記挿入部材、または上下方向に間隔を空けて配置される２つの前記被挿入部材と、
    を備える処理装置。

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