JP2024071002A - 加工装置 - Google Patents

Abstract

【課題】チャックテーブルを一定の温度に保つために、別途、新たに冷却水を供給する手段を必要とすることなく、不経済であるという問題を解消できる加工装置を提供する。【解決手段】研削装置１の研削手段３は、研削ホイール３５を装着するマウント３４と、マウント３４に連結する回転軸３３と、回転軸３３に連結するモータ３８と、回転軸３３をエアーＡで支持するエアーベアリング７０，８０を備えたハウジング３２と、ハウジング３２内に形成された第一の流路３２３と、を含み構成され、第一の流路３２３には、冷却水Ｌ１を供給してハウジング３２を冷却する冷却手段７が接続され、チャックテーブル４は、ウエーハ１０を吸引保持する保持部４１と、保持部４１を支持する枠体４２と、枠体４２に形成された第二の流路４５と、を含み構成され、制御手段１００は、第一の流路３２３から排出された廃水Ｌ２の温度を計測し、廃水Ｌ２を第二の流路４５に供給してチャックテーブル４の温度を所定の温度に調整する。【選択図】図２

Description

本発明は、チャックテーブルの温度を所定の温度に調整する加工装置に関する。

ＩＣ、ＬＳＩ等の複数のデバイスが分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは、研削装置によって所定の厚みに形成された後、ダイシング装置によって個々のデバイスチップに分割され、携帯電話、パソコン等の電気機器に利用される。

研削装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削砥石を環状に備えた研削ホイールを回転可能に支持する研削手段と、該研削手段を研削送りする研削送り手段と、制御手段とを含み構成されていて、ウエーハを所望の厚みに加工することができる。

また、研削手段によってチャックテーブルに保持されたウエーハに研削水を供給しながら研削しても、チャックテーブルには研削時の熱が伝達して微細な歪みが生じてウエーハの厚みにバラつきが生じて品質の低下を招くという問題があることから、チャックテーブルに冷却水を供給する水路を設けて一定の温度に保つ技術が提案されている（例えば特許文献１を参照。）。

特開２０１２－１２１０８８号公報

上記した特許文献１に記載の技術によれば、チャックテーブルに独立した冷却手段を配設して冷却水を導入することで、チャックテーブルの冷却は実現されるものの、チャックテーブルを冷却する新たな冷却手段を導入して一定の温度に保つために相当量の冷却水が必要となり、不経済であるという問題が生じる。

本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、チャックテーブルを一定の温度に保つために、別途、新たに冷却水を供給する手段を必要とすることなく、不経済であるという問題を解消できる加工装置を提供することにある。

上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削砥石を環状に備えた研削ホイールを回転可能に支持する研削手段と、該研削手段を研削送りする研削送り手段と、制御手段と、を含み構成された加工装置であって、該研削手段は、研削ホイールを装着するマウントと、該マウントに連結する回転軸と、該回転軸に連結するモータと、該回転軸をエアーで支持するエアーベアリングを備えたハウジングと、該ハウジング内に形成された第一の流路と、を含み構成され、該第一の流路には、冷却水を供給して該ハウジングを冷却する冷却手段が接続され、該チャックテーブルは、ウエーハを吸引保持する保持部と、該保持部を支持する枠体と、該枠体に形成された第二の流路とを含み構成され、該制御手段は、該第一の流路から排出された廃水の温度を計測し、廃水を該第二の流路に供給して該チャックテーブルの温度を所定の温度に調整する加工装置が提供される。

該制御手段は、該冷却水と該廃水とを混合して恒温水を生成し該第二の流路に供給するようにしてもよい。また、該チャックテーブルは、該所定の温度の環境で製作されたものであってもよい。

本発明の加工装置は、ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削砥石を環状に備えた研削ホイールを回転可能に支持する研削手段と、該研削手段を研削送りする研削送り手段と、制御手段と、を含み構成された加工装置であって、該研削手段は、研削ホイールを装着するマウントと、該マウントに連結する回転軸と、該回転軸に連結するモータと、該回転軸をエアーで支持するエアーベアリングを備えたハウジングと、該ハウジング内に形成された第一の流路と、を含み構成され、該第一の流路には、冷却水を供給して該ハウジングを冷却する冷却手段が接続され、該チャックテーブルは、ウエーハを吸引保持する保持部と、該保持部を支持する枠体と、該枠体に形成された第二の流路とを含み構成され、該制御手段は、該第一の流路から排出された廃水の温度を計測し、廃水を該第二の流路に供給して該チャックテーブルの温度を所定の温度に調整することから、チャックテーブルを一定の温度に保つために、独立した冷却水を供給する手段を配設する必要がなく、不経済であるという問題を解消することができる。

研削装置の全体斜視図である。 図１に示す研削装置に装着される研削手段の縦断面、及び冷却水の供給経路、高圧エアーの供給経路を示す概念図である。 研削加工の態様を示す斜視図である。

以下、本発明に基づいて構成される加工装置に係る実施形態について、添付図面を参照しながら、詳細に説明する。

図１には、本実施形態の加工装置の一例として示す研削装置１の全体斜視図が示されている。図示の研削装置１は、装置ハウジング２を備え、装置ハウジング２の後端側には、支持壁２１が立設されている。この支持壁２１の内側面には、上下方向（Ｚ軸方向）に延びる１対の案内レール２２、２２が設けられている。研削手段３は、移動基台３１に支持されて、案内レール２２、２２に上下方向に移動可能に装着されている。装置ハウジング２の手前側には、研削装置１を操作するための操作パネル１１０を備えた制御手段１００が配設され、該制御手段１００には、図示を省略する表示手段が接続されている。

装置ハウジング２の上面には、被加工物であるウエーハ１０を保持するチャックテーブル４が配設されている。なお、本実施形態の研削装置１によって裏面１０ｂが研削加工されるウエーハ１０は図示を省略するデバイスが形成された表面に保護テープＴが貼着されている。チャックテーブル４は、ウエーハ１０を吸引保持する保持部４１と、該保持部４１を囲繞して支持する枠体４２とを備えている。チャックテーブル４は、カバー板５の中央に回転可能に配設されており、装置ハウジング２の内部に配設された図示を省略する移動手段によりＹ軸方向、より具体的には、図１においてチャックテーブル４が位置付けられているウエーハ着脱位置と、研削手段３の直下で研削加工が施される研削位置との間で移動可能に構成されている。

研削手段３は、移動基台３１に支持部材３７を介して支持されたハウジング３２と、ハウジング３２に回転自在に支持された回転軸３３の下端に配設されたマウント３４と、マウント３４に装着され下面に環状に複数の研削砥石３６が配置された研削ホイール３５と、ハウジング３２の上端内部に装着され回転軸３３を回転させるモータ３８と、を備えている。

研削装置１は、研削手段３を一対の案内レール２２、２２に沿って上下方向に移動する研削送り手段６を備えている。研削送り手段６は、ボールねじ６１とパルスモータ６２とを備えている。該パルスモータ６２を制御手段１００によって回転駆動制御することによりボールねじ６１が回転し、研削手段３を支持する移動基台３１を上下方向の所望の位置に移動する。

図２には、研削手段３を構成するハウジング３２の縦断面が概略的に示されている。研削手段３のハウジング３２は、回転軸３３をエアーによって支持する追って詳述するエアーベアリングを備えている。回転軸３３は、回転軸３３と一体的に形成された円板形状のスラストプレート３３１を有しており、エアーベアリングは、回転軸３３のラジアル方向（直径方向）をエアーで支持するラジアルエアーベアリング７０と、回転軸３３のスラストプレート３３１を挟むスラスト方向（上下方向）をエアーで支持するスラストエアーベアリング８０を含んでいる。

研削手段３のハウジング３２の外周部には、外部のエアー供給源３９からの経路３９１を介して高圧エアーＡ（例えば０．６ＭＰａ）が供給される供給口３９２が配設されており、ハウジング３２内には、供給口３９２を介し高圧エアーＡが供給される供給経路３２１、３２２が配設されている。回転軸３３をラジアル方向で支持する空間には、該供給経路３２１に接続されたエアー噴出口３２１ａが配設されており、エアー噴出口３２１ａから高圧エアーＡを噴出することで回転軸３３を支持するラジアルエアーベアリング７０を構成している。スラストプレート３３１をスラスト方向で支持する空間には、供給経路３２２に接続されたエアー噴出口３２２ａが配設されており、エアー噴出口３２２ａから高圧エアーＡが噴出することでスラストプレート３３１を支持するスラストエアーベアリング８０を構成している。ラジアルエアーベアリング７０、スラストエアーベアリング８０を経た高圧エアーＡは、図示を省略する排気経路、及び排出口からハウジング３２の外部に排出される。

研削手段３が、上記したラジアルエアーベアリング７０、スラストエアーベアリング８０を備えていることにより、上記したエアー噴出口３２１ａ、３２２ａから高圧エアーＡが噴出されて、回転軸３３及びスラストプレート３３１の周囲に微小な隙間（５～１０μｍ）を持った高圧空気層が形成され、回転軸３３がハウジング３２によって非接触状態で支持されるように構成されている。上記したように、ハウジング３２内には、モータ３８が収容されており、回転軸３３を矢印Ｒ１で示す方向に、極めて少ない抵抗で安定して高速回転することが可能になっている。なお、外部のエアー供給源３９から高圧エアーＡを供給する経路には、図示を省略する圧力計、流量計を配設してハウジング３２内の供給経路３２１、３２２にエアー供給源３９から供給される高圧エアーＡの圧力及び流量を調整する。

上記した本実施形態の研削手段３を構成するハウジング３２の内部には、上記した高圧エアーＡが流通する供給経路３２１、３２２とは独立して形成される第一の流路３２３が形成されている。第一の流路３２３は、冷却水Ｌ１を流通させる通路であり、ハウジング３２の外周部には、第一の流路３２３に冷却水Ｌ１を導入する冷却水供給口３２４と、第一の流路３２３を通過してハウジング３２の内部を冷却した後の廃水Ｌ２を排出する排出口３２５が配設されている。冷却水供給口３２４には、冷却水供給路７ａを介して冷却水Ｌ１を供給する冷却手段７が接続されている。冷却手段７から供給される冷却水Ｌ１は、一定の温度（例えば２３℃）の水であるが、必ずしも冷蔵手段等によって強制的に温度を降下させる必要はなく、研削装置１が配置されるクリーンルームが、例えば常に２３℃に管理されているのであれば、該クリーンルーム内で貯蔵された水をそのまま使用するものであってもよい。ハウジング３２内に形成された第一の流路３２３を冷却水Ｌ１が流れることにより、モータ３８の熱や、研削砥石３６、研削ホイール３５等から伝達される研削時の熱によって回転軸３３や、ハウジング３２が過剰に昇温することが防止される。

ハウジング３２の排出口３２５には廃水排出路７ｂが接続され、排出口３２５から排出された廃水Ｌ２は、該廃水排出路７ｂを介して、図示のチャックテーブル４に供給される。

図２を参照しながら、チャックテーブル４の内部構成について、より具体的に説明する。なお、説明の都合上、チャックテーブル４が配設されるカバー板５は省略されている。断面で示された図示のチャックテーブル４の保持部４１には、保護テープＴが貼着された側を下方にしてウエーハ１０が載置されている。保持部４１は、通気性を有するポーラス部材により形成され、該保持部４１を囲繞して支持する枠体４２は、ロータリージョイント４４を介してモータ４０に連結されている。枠体４２の上面と保持部４１の下面により形成された空間４３ａと該空間４３ａから下方に伸びる負圧経路４３ｂは、ロータリージョイント４４を介して吸引源４６に接続されている。該吸引源４６を作動することにより、空間４３ａ及び負圧経路４３ｂを介して保持部４１の上面に負圧を生成して、ウエーハ１０を吸引保持することができる。枠体４２の内部には、上記した空間４３ａ及び負圧経路４３ｂから独立した第二の流路４５が形成されている。第二の流路４５は、枠体４２の内部において、枠体４２全体を冷却すべく水平方向で複数の経路に分岐されている。ロータリージョイント４４には、第二の流路４５に接続される廃水導入口４５ａと、第二の流路４５に接続され、廃水導入口４５ａから導入された廃水Ｌ２を排出する廃水排出口４５ｂが配設される。第２の流路４５を流れた廃水Ｌ２は、廃水排出口４５ｂからドレーン管７ｃを経て貯水容器９０に収容される。

チャックテーブル４は、研削装置１が作動して被加工物であるウエーハ１０を研削する際にチャックテーブル４の温度調整目標とされる所定の温度、例えば３０～３５℃の環境下で仕上げの製作が実行されることが重要である。すなわち、例えば、枠体４２の上面に保持部４１を圧入し、支持部４１の上面と枠体４１の上面とを同時に研削して、チャックテーブル４の上面を平坦とする加工である。このように製作することで、研削装置１が停止した状態でのチャックテーブル４は、一般的に半導体ウエーハの加工装置が配設されるクリーンルームの温度（例えば２３℃）の雰囲気下で、収縮した状態となるが、研削装置１が作動状態となることで調整される所定の温度（３０～３５℃）に昇温することで僅かに膨張し、設計上の目標寸法に沿った形態となり、加工精度の向上に寄与する。

ロータリージョイント４４の廃水導入口４５ａには、上記した廃水排出路７ｂが接続されており、ハウジング３２の排出口３２５から排出された廃水Ｌ２が、廃水排出路７ｂを経てロータリージョイント４４の廃水導入口４５ａからチャックテーブル４の枠体４２内の第２の流路４５に導入される。廃水排出路７ｂには、第２のバルブ８ｂが配設されており、第２のバルブ８ｂの開度を調整することにより、チャックテーブル４の第２の流路４５に導入される廃水Ｌ２の流量が調整される。

上記した廃水排出路７ｂの第２のバルブ８ｂの上流側には、第一の流路３２３から排出された廃水Ｌ２の温度を検出する第１水温計１２０が配設されている。また、第２のバルブ８ｂの下流側には、第２水温計１３０が配設されている。

本実施形態の研削装置１では、冷却手段７から冷却水Ｌ１を供給する冷却水供給路７ａの第１のバルブの上流側に、研削手段３のハウジング３２をバイパスして上記した廃水排出路７ｂに接続されるバイパス路７ｄが接続されている。また、廃水排出路７ｂにおいて、ハウジング３２の排出口３２５の下流であって、廃水排出路７ｂとバイパス路７ｄとの合流点よりも上流側には、逆止弁構造を備えたリリーフバルブ８ｄが配設されている。回転軸３３は中空で構成され、研削水供給手段９から供給される研削水Ｌ４が回転軸３３の上端から導入され、研削ホイール３５の下面から研削砥石３６による研削箇所に噴射される。

制御手段１００は、コンピュータにより構成され、制御プログラムに従って演算処理する中央演算処理装置（ＣＰＵ）と、制御プログラム等を格納するリードオンリメモリ（ＲＯＭ）と、検出した検出値、演算結果等を一時的に格納するための読み書き可能なランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）と、入力インターフェース、及び出力インターフェースとを備えている（詳細についての図示は省略）。制御手段１００には、上記した研削装置１の研削手段３を駆動するモータ３８、研削送り手段６、チャックテーブル４の移動手段等が接続され、作動が制御されると共に、上記した第１のバルブ８ａ、第２のバルブ８ｂ、第３のバルブ８ｃが接続され、制御手段１００によって各バルブの開閉、開度が制御される。

本実施形態の研削装置１、及び研削手段３は、概ね上記したとおりの構成を備えており、その機能、作用について以下に説明する。

図１に示す研削装置１によってウエーハ１０の裏面１０ｂを研削して薄化するに際し、ウエーハ１０のデバイスが形成された表面側に保護テープＴを貼着し、図１の如くウエーハ着脱位置に位置付けられたチャックテーブル４の保持部４１に載置して、上記した吸引源４６を作動して吸引保持する。次いで、上記した移動手段を作動して、研削加工の実施態様を示す図３に示すように、チャックテーブル４を研削手段３の直下の研削位置に位置付ける。次いで、上記したエアー供給源３９を作動してエアーベアリング（ラジアルエアーベアリング７０、スラストエアーベアリング８０）を作動すると共に、モータ３８を作動して、回転軸３３を図３において矢印Ｒ１で示す方向に、例えば６０００ｒｐｍで回転させつつ、チャックテーブル４を矢印Ｒ２で示す方向に、例えば３００ｒｐｍで回転させる。そして、上記した研削水供給源９を作動することにより、研削水Ｌ４をウエーハ１０の裏面１０ｂ上に供給しつつ、研削砥石３６を、ウエーハ１０の裏面１０ｂに接触させ、研削ホイール７６を、例えば１μｍ／秒の研削送り速度で下方に向けて研削送りする。この際、図示しない接触式又は非接触式の測定ゲージによりウエーハ１０の厚みを測定しながら研削を進めることができ、ウエーハ１０の裏面１０ｂを所定量研削し、ウエーハ１０を所定の厚さとする。

上記した研削加工を実施するに際し、図２に基づき説明した冷却手段７を作動し、第１のバルブ８ａと、第２のバルブ８ｂとを開放する（このとき、第３のバルブ８ｃは閉じられている。）。このようにすることで、冷却水Ｌ１が、冷却手段７から一定の流量でハウジング３２内の第一の流路３２３に供給され、モータ３８の高速回転と研削負荷により上昇しようとするハウジング３２内の温度が低下させられる。このようにハウジング３２内に導入された冷却水Ｌ１は、ハウジング３２内を冷却することで温められ廃水Ｌ２として、ハウジング３２の排出口３２５から廃水排出路７ｂに排出される。なお、廃水Ｌ２の温度は、後述するチャックテーブル４が調整される所定の温度（例えば３０～３５℃）よりは低い温度で排出されるようにその流量が設定される。

廃水排出路７ｂに排水された廃水Ｌ２は、チャックテーブル４の廃水導入口４５ａから第二の流路４５に導入され、チャックテーブル４の枠体４２を冷却し、廃水排出口４５ｂから収容容器９０に排出されて貯留される。ここで、制御手段１００は、第１水温計１２０、第２水温計１３０に基づき、第一の流路３２３から排出された廃水Ｌ２の温度を計測し、廃水Ｌ２を第二の流路４５に供給してチャックテーブル４の温度を該所定の温度に調整する。該調整は、本実施形態では、上記した第２のバルブ８ｂの開度を調整することで実施される。例えば、廃水Ｌ２の温度が高い場合には、第２のバルブ８ｂの開度は大きくなるように制御されて廃水Ｌ２の流量が多くなるように調整され、廃水Ｌ２の温度が低い場合には、第２のバルブ８ｂの開度が小さくなるように制御されて廃水Ｌ３の流量が少なくなるように調整される。これにより、チャックテーブル４の温度が、研削手段３に掛かる負荷の変化に関わらず、常に所定の温度（例えば３０～３５℃）に調整される。

第２のバルブ８ｂの開度が小さく設定された場合、廃水排出路７ｂにおける第２のバルブ８ｂの流通が制限されて上流側の水圧が高くなり、ハウジング３２内の温度調整が適切に行われなくなるおそれがある。しかし、本実施形態では、上記したように、廃水排出路７ｂ上の第２のバルブ８ｂの上流側にリリーフバルブ８ｄが配設されており、一定の圧力が掛かった場合に、これが開放されて廃水排出路７ｂの廃水Ｌ２を、図示を省略する排出路に排出するようにしていることから、そのような問題が起きることはない。なお、第１水温計１２０は第２のバルブ８ｂの上流側の温度を検出し、第２水温計１３０は第２のバルブ８ｂの下流側の温度を検出するものであり、第２のバルブ８ｂの開度を調整することで、両者に温度差が生じることがあり、該温度差に基づいてチャックテーブル４に導入される廃水Ｌ２の推定温度を補正することができる。ただし、本発明は、上記した第１水温計１２０、第２水温計１３０の両方を備えることに限定されず、いずれか一方のみを配設することによって実施するようにしてもよい。

上記した第一の流路３２３から排出された廃水Ｌ２の温度を計測し、廃水Ｌ２をチャックテーブル４の第二の流路４５に供給してチャックテーブル４の温度を所定の温度に調整する形態は、上記した実施形態に限定されない。

上記したように、冷却手段７から冷却水Ｌ１を供給する冷却水供給路７ａの第１のバルブ８ａの上流側に、研削手段３のハウジング３２をバイパスして廃水排出路７ｂに接続されるバイパス路７ｄを接続し、バイパス路７ｂ上に第３のバルブ８ｃを配設している。このバイパス路７ｄと第３のバルブ８ｃを使用することで、冷却手段７から供給される冷却しＬ１と第一の流路３２３から排出された廃水Ｌ２とを混合した混合水Ｌ１＋Ｌ２を第二の流路４５に供給し、チャックテーブル４５の温度を所定の温度に調整することができる。より具体的には、まず、第１のバルブ８ａと第２のバルブ８ｂとを開とする。そして、第３のバルブ８ｃを開とすると共に、第１水温計１２０、第２水温計１３０に基づき）いずれか一方のみであってもよい）、廃水排出路７ｂを流れる混合水Ｌ１＋Ｌ２の温度を検出する。そして、第３のバルブ８ｃの開度を調整して、バイパス路７ｄを介して廃水排出路７ｂに導入される冷却水Ｌ１の量を調整し、該冷却水Ｌ１と廃水Ｌ２との混合比を調整して、一定の温度（例えば２７℃）となる恒温水を生成する。この恒温水を本発明の廃水としてチャックテーブル４の第二の流路４５に供給することで、チャックテーブル４の温度が研削加工を実施している最中に常に所定の温度（例えば３０～３５℃）になるように調整することができる。

上記したように、研削手段３とチャックテーブル４とを冷却しながらウエーハ１０の裏面１０ｂを所定量研削したならば、研削手段３を停止し、図示を省略する洗浄装置を使用した洗浄工程、乾燥装置を使用した乾燥工程等を経て、ウエーハ１０の裏面１０ｂを研削する研削加工が完了する。

上記した実施形態によれば、チャックテーブル４を一定の温度に保つために、独立した冷却水を供給する手段を配設する必要がなく、不経済であるという問題を解消することができる。

１：研削装置
２：装置ハウジング
２１：支持壁
２２、２２：案内レール
３：研削手段
３１：移動基台
３２：ハウジング
３２１：供給経路
３２１ａ：エアー噴出口
３２２：供給経路
３２２ａ：エアー噴出口
３２３：第一の流路
３２５：排出口
３３：回転軸
３３１：スラストプレート
３４：マウント
３５：研削ホイール
３６：研削砥石
３８：モータ
３９：エアー供給源
３９１：経路
３９２：供給口
４：チャックテーブル
４０：モータ
４１：保持部
４２：枠体
４３ａ：空間
４３ｂ：負圧経路
４４：ロータリージョイント
４４ａ：負圧供給口
４５：第二の流路
４５ａ：廃水導入口
４５ｂ：廃水排出口
４６：吸引源
５：カバー板
６：研削送り手段
６１：ボールねじ
６２：パルスモータ
７：冷却手段
７ａ：冷却水供給路
７ｂ：廃水排出路
７ｃ：ドレーン管
７ｄ：バイパス路
８ａ：第１のバルブ
８ｂ：第２のバルブ
８ｃ：第３のバルブ
８ｄ：リリーフバルブ
９：研削水供給源
９ａ：研削水供給路
７０：ラジアルエアーベアリング
８０：スラストエアーベアリング
９０：貯水容器
１００：制御手段
１１０：操作パネル
１２０：第１水温計
１３０：第２水温計

Claims (3)

1. ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを研削する研削砥石を環状に備えた研削ホイールを回転可能に支持する研削手段と、該研削手段を研削送りする研削送り手段と、制御手段と、を含み構成された加工装置であって、
   該研削手段は、研削ホイールを装着するマウントと、該マウントに連結する回転軸と、該回転軸に連結するモータと、該回転軸をエアーで支持するエアーベアリングを備えたハウジングと、該ハウジング内に形成された第一の流路と、を含み構成され、
   該第一の流路には、冷却水を供給して該ハウジングを冷却する冷却手段が接続され、
   該チャックテーブルは、ウエーハを吸引保持する保持部と、該保持部を支持する枠体と、該枠体に形成された第二の流路とを含み構成され、
   該制御手段は、該第一の流路から排出された廃水の温度を計測し、廃水を該第二の流路に供給して該チャックテーブルの温度を所定の温度に調整する加工装置。
2. 該制御手段は、該冷却水と該廃水とを混合して恒温水を生成し該第二の流路に供給する請求項１に記載の加工装置。
3. 該チャックテーブルは、該所定の温度の環境で製作されたものである請求項１又は２に記載の加工装置。

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