JP2024056561A - 検査条件決定システム - Google Patents

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7811246B1 (ja) * 2024-09-10 2026-02-04 株式会社ソミックマネージメントホールディングス 検出性能評価プログラム、検出性能評価方法、及び、検出性能評価装置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4014379B2 (ja) * 2001-02-21 2007-11-28 株式会社日立製作所 欠陥レビュー装置及び方法
JP4935109B2 (ja) * 2005-03-17 2012-05-23 オムロン株式会社 基板検査装置並びにその検査ロジック設定方法および検査ロジック設定装置
JP2009014447A (ja) * 2007-07-03 2009-01-22 Fuji Electric Systems Co Ltd 欠陥検査装置及び欠陥検査プログラム
JPWO2018225406A1 (ja) * 2017-06-08 2020-04-09 コニカミノルタ株式会社 表面欠陥検査装置の配置決定方法、該装置、該プログラムおよび記録媒体
JP6923794B2 (ja) * 2017-08-04 2021-08-25 富士通株式会社 検査装置、検査プログラム、及び検査方法
JP2019090643A (ja) * 2017-11-13 2019-06-13 三菱電機株式会社 検査方法、および検査装置
WO2019171121A1 (en) * 2018-03-05 2019-09-12 Omron Corporation Method, device, system and program for setting lighting condition and storage medium
JP7167453B2 (ja) * 2018-03-12 2022-11-09 オムロン株式会社 外観検査システム、設定装置、画像処理装置、設定方法およびプログラム
JP7234812B2 (ja) * 2019-06-10 2023-03-08 コニカミノルタ株式会社 画像検査装置、及び、画像形成システム
JP2021086432A (ja) * 2019-11-28 2021-06-03 キヤノン株式会社 情報処理装置、情報処理方法、コンピュータプログラム、計測装置、システムおよび物品の製造方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7811246B1 (ja) * 2024-09-10 2026-02-04 株式会社ソミックマネージメントホールディングス 検出性能評価プログラム、検出性能評価方法、及び、検出性能評価装置
WO2026058547A1 (ja) * 2024-09-10 2026-03-19 株式会社ソミックマネージメントホールディングス 検出性能評価プログラム、検出性能評価方法、及び、検出性能評価装置

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