JP2024052623A - 基板ホルダー - Google Patents

Abstract

【課題】基板と基板ホルダーとの電気的な接続を安定させることが可能な基板ホルダーを提供する。【解決手段】基板の表面に電着による被膜を形成する際に用いられる基板ホルダーであって、基板を保持する収容カセット３１と、基板と接触する電極端子を有する電極プレート３３と、基板を電極端子に押し付ける押圧子を有する押圧ユニット３４と、を備えた基板ホルダー３である。【選択図】図１

Description

本発明は、基板の表面に電着による被膜を形成する際に用いられる基板ホルダーに関する。

図１３は、従来技術における基板ホルダーを示す斜視図である。図１３に示すように、従来技術における基板ホルダーとしてのラック２は、下枠２１と、可動枠２２及び２３と、把手部２４と、を備えている。下枠２１、可動枠２２及び２３、把手部２４は、それぞれ、金属等の通電可能な材料で構成されている。下枠２１の上部には、基板１の下部（角部）が嵌挿される複数の切込み部が形成されている。可動枠２２及び２３の下部には、基板１の上部（角部）が嵌挿される複数の切込み部が形成されている。下枠２１の上部に形成されている切込み部に基板１の下部を嵌挿することにより、基板１が下枠２１によって支持されると共に、基板１の表面に形成されている配線パターンと下枠２１とが接触して電気的に接続される。また、可動枠２２及び２３を下方へ移動させ、可動枠２２及び２３の下部に形成されている切込み部に基板１の上部を嵌挿することにより、基板１が可動枠２２及び２３によって押圧されると共に、基板１の表面に形成されている配線パターンと可動枠２２及び２３とが接触して電気的に接続される。そして、把手部２４をラック２の本体上部に取り付けたうえで把手部２４を外部の電極に接続することにより、基板１がラック２を介して外部の電極と電気的に接続される。この状態で基板１をラック２と共に電着溶液の中に浸漬し、基板１の表面に形成されている配線パターンにラック２を介して通電することにより、その配線パターンの表面に電着による被膜が形成される。（例えば、特許文献１参照）

特開平１－１５２７９１号公報

図１３に示す従来技術における基板ホルダー（ラック２）では、基板ホルダーに形成されている切込み部に基板を嵌挿することにより、基板の表面に形成されている配線パターンと基板ホルダーとが接触して電気的に接続されるが、切込み部の幅や基板の厚さのばらつきにより、基板と基板ホルダーとの電気的な接続（接触）が不安定になる虞がある。

本発明は、以上の問題点に鑑みて成されたものであり、基板と基板ホルダーとの電気的な接続を安定させることが可能な基板ホルダーを提供することを目的とする。

基板の表面に電着による被膜を形成する際に用いられる基板ホルダーであって、前記基板を保持する保持部と、前記基板と接触する電極端子を有する電極部と、前記基板を前記電極端子に押し付ける押圧子を有する押圧部と、を備えた、基板ホルダーである。

前記押圧子は、前記基板を前記電極端子に押し付ける斜面を有する、基板ホルダーであっても良い。

前記斜面は、円錐状の斜面である、基板ホルダーであっても良い。

前記押圧部は、互いに隣接する二つの前記基板の間に前記押圧子を挿入することにより、当該二つの前記基板のそれぞれを隣接する前記電極端子に押し付ける、基板ホルダーであっても良い。

前記保持部は、前記基板を収容する収容部材と、当該収容部材を支持する台座と、を有し、前記収容部材は、前記基板の一端を外部へ露呈させる開口部を有し、且つ、前記台座に対して着脱可能であり、前記台座は、前記開口部を通して前記収容部材の内部へ進入可能な突出部を有し、前記突出部は、前記収容部材が前記台座に取り付けられた際に、前記開口部を通して前記収容部材の内部へ進入し、前記基板の前記一端と当接することにより、前記基板の他端を前記収容部材の内部から外部へ相対的に突出させ、前記押圧子は、前記基板の前記他端を前記電極端子に押し付ける、基板ホルダーであっても良い。基板ホルダーであっても良い。

前記押圧子は、弾性部材である、基板ホルダーであっても良い。

前記弾性部材は、コイルバネである、基板ホルダーであっても良い。

前記コイルバネは、その伸縮方向と直交する方向の外面により、前記基板を前記電極端子に押し付ける、基板ホルダーであっても良い。

前記コイルバネは、その伸縮方向の一端部にフック部を有し、当該フック部により、前記基板を前記電極端子に押し付ける、基板ホルダーであっても良い。

前記フック部のフック先端は、水平面内において、前記基板の主面に対して平行となる方向を向いている、基板ホルダーであっても良い。

前記押圧部は、前記弾性部材を保持したまま所定の方向へ移動可能なフレームを備え、前記フレームが前記所定の方向へ移動することにより、前記フレームに保持された前記弾性部材が前記基板を前記電極端子に押し付ける、基板ホルダーであっても良い。

前記押圧部は、前記弾性部材の一つを保持したまま第一方向へ移動可能な第一フレームと、前記弾性部材のうち他の一つを保持したまま前記第一方向とは反対の第二方向へ移動可能な第二フレームと、を備え、前記第一フレームが前記第一方向へ移動することにより、前記第一フレームに保持された前記弾性部材が、前記基板の一つを、前記電極端子の一つに押し付け、前記第二フレームが前記第二方向へ移動することにより、前記第二フレームに保持された前記弾性部材が、前記基板の他の一つを、前記電極端子の他の一つに押し付ける、基板ホルダーであっても良い。

前記コイルバネは、その伸縮方向における一端に、バネ線材が中空円錐状に巻かれた中空円錐部を有し、前記押圧部は、互いに隣接する二つの前記基板の間に前記中空円錐部を挿入することにより、当該二つの前記基板のそれぞれを隣接する前記電極端子に押し付ける、基板ホルダーであっても良い。

前記コイルバネは、その伸縮方向における前記中空円錐部よりも他端側の位置に、バネ線材が円筒状に巻かれた円筒部を有する、基板ホルダーであっても良い。

本発明によれば、基板と基板ホルダーとの電気的な接続を安定させることが可能な基板ホルダーを提供することができる。

本発明の実施例における基板ホルダーを示す斜視図である。 本発明の実施例における基板ホルダーを示す分解斜視図である。 本発明の実施例における収容カセットに複数の基板が収容された状態を示す（ａ）上面図、（ｂ）正面図、（ｃ）右側面図、（ｄ）斜視図である。 本発明の実施例における台座を示す（ａ）上面図、（ｂ）正面図、（ｃ）右側面図、（ｄ）斜視図である。 本発明の実施例における台座に収容カセットが取り付けられた状態を示す（ａ）上面図、（ｂ）正面図、（ｃ）右側面図、（ｄ）斜視図である。 本発明の実施例における電極プレートを示す（ａ）上面図、（ｂ）正面図、（ｃ）右側面図、（ｄ）斜視図である。 本発明の実施例における押圧ユニットを示す（ａ）上面図、（ｂ）正面図、（ｃ）右側面図、（ｄ）斜視図である。 本発明の実施例における収容カセット、台座、電極プレート、押圧ユニットが互いに取り付けられた状態を示す（ａ）上面図、（ｂ）正面図、（ｂ’）正面の縦断面図、（ｃ）右側面図、（ｃ’）右側面の縦断面図である。 本発明の実施例におけるアームを示す（ａ）上面図、（ｂ）正面図、（ｃ）右側面図、（ｄ）斜視図である。 本発明の実施例における基板ホルダーを組み立てる工程（工程１）を示す斜視図である。 本発明の実施例における基板ホルダーを組み立てる工程（工程２）を示す斜視図である。 本発明の実施例における基板ホルダーを組み立てる工程（工程３）を示す斜視図である。 本発明の実施例における基板ホルダーを組み立てる工程（工程４）を示す斜視図である。 本発明の実施例における基板ホルダーを組み立てる工程（工程５）を示す斜視図である。 本発明の実施例における基板ホルダーを組み立てる工程（工程６）を示す斜視図である。 本発明の実施例における基板ホルダーを組み立てる工程（工程７）を示す斜視図である。 本発明の実施例における基板ホルダーを組み立てる工程（工程８）を示す斜視図である。 本発明の実施例における基板ホルダーを組み立てる工程（工程９）を示す斜視図である。 本発明の実施例における基板ホルダーを組み立てる工程（工程１０）を示す斜視図である。 本発明の実施例における基板ホルダーを組み立てる工程（工程１１）を示す斜視図である。 本発明の実施例における基板ホルダーを組み立てる工程（工程１２）を示す斜視図である。 本発明の実施例における基板ホルダーを組み立てる工程（工程１３）を示す斜視図である。 本発明の実施例における基板ホルダーを組み立てる工程（工程１４）を示す斜視図である。 本発明の実施例の変形例１における収容カセット、台座、電極プレート、押圧ユニットが互いに取り付けられた状態を示す（ａ）上面図、（ｂ）正面図、（ｂ’）正面の縦断面図、（ｃ）右側面図、（ｃ’）右側面の縦断面図である。 図１１（ｂ’）のＡ部拡大図である。 従来技術における基板ホルダーを示す斜視図である。

図１は、本発明の実施例における基板ホルダーを示す斜視図である。図２は、本発明の実施例における基板ホルダーを示す分解斜視図である。この実施例では、図１の紙面左下側に位置する面を「正面」と称し、「正面」の反対側に位置する面を「背面」と称し、「正面」に向かって左側に位置する面を「左側面」と称し、「正面」に向かって右側に位置する面を「右側面」と称する場合がある。また、「正面」、「背面」、「左側面」、「右側面」をそれぞれ「前」、「後」、「左」、「右」と称する場合がある。以下、図面を参照しながら、本発明の実施例における基板ホルダー３について説明する。

＜基板ホルダー＞
図１及び図２に示すように、基板ホルダー３は、収容カセット３１と、台座３２と、電極プレート３３と、押圧ユニット３４と、アーム３５と、二つの第一ネジ４１と、二つの第二ネジ４２と、二つの第三ネジ４３と、を備えている。また、基板ホルダー３は、付属的な部品として、位置決めプレート３６（後述の図１０－１参照）を備えている。

＜収容カセット＞
図３は、本発明の実施例における収容カセットに複数の基板が収容された状態を示す（ａ）上面図、（ｂ）正面図、（ｃ）右側面図、（ｄ）斜視図である。

図３に示すように、収容カセット３１は、底部の上面が複数の壁部で囲まれた概ね四角い箱型の外形を有している。収容カセット３１は、主として、例えば、白色半透明の絶縁性の樹脂で構成されている。収容カセット３１の上部は、上方へ解放されており、その解放されている部分を通して、複数の基板５が収容カセット３１の内部へ搬入される。

収容カセット３１に収容される基板５は、例えば、概ね四角形の水晶ウエハである。この水晶ウエハの幅広の表面（主面）には、金属膜等で構成された所定の配線パターンが形成されており、その配線パターンの表面に電着による被膜が形成される。なお、収容カセットに収容される基板は、水晶ウエハには限定されず、例えば、半導体ウエハや金属プレート等のその他の基板であっても良い。

収容カセット３１の底部の中央部には、上から見て概ね四角い開口部３１１が形成されている。そして、その開口部３１１を通して、収容カセット３１に収容されている複数の基板５の下端部が下方へ露呈されている。

収容カセット３１の内壁面のうち前後方向において互いに対向する二つの内壁面のそれぞれには、上から見て概ねＶ状の縦溝３１２が左右方向にわたって所定の間隔で複数形成されている。そして、それらの縦溝３１２には、複数の基板５の側端部が一つずつ挿入されている。これにより、複数の基板５は、主面同士が互いに対向するように左右方向へ一列に整列された状態で、収容カセット３１の内部に保持されている。なお、縦溝３１２の幅は、そこに挿入される基板５の側端部の厚さよりも僅かに大きい。

収容カセット３１の内壁面に形成されている縦溝３１２の直下には、収容カセット３１の底部の一部が配置されており、その底部の一部により、縦溝３１２に挿入されている基板５の側端部が下から支持されている。

収容カセット３１の壁部のうち左右方向において互いに対向する二つの壁部のそれぞれには、左右方向から見て概ね四角い開口部３１３が形成されている。この開口部３１３は、収容カセット３１の内部と外部との間で電着溶液を循環させる役割等を果たす。また、この開口部３１３の外周に接する壁部の端部には、収容カセット３１の外部から内部の中心付近へ向かって傾斜する斜面３１４が形成されている。この斜面３１４は、収容カセット３１の外部から内部へ電着溶液を流入し易くする役割等を果たす。

＜台座＞
図４は、本発明の実施例における台座を示す（ａ）上面図、（ｂ）正面図、（ｃ）右側面図、（ｄ）斜視図である。

図４に示すように、台座３２は、上から見て概ね四角形の外形を有している。台座３２は、中央突出部３２１と、二つの壁部３２２と、二つの支柱３２３と、を備えている。台座３２は、主として、例えば、絶縁性の樹脂で構成されている。

中央突出部３２１は、上から見て概ね四角形の外形を有している。中央突出部３２１の外周部のうち前後方向において互いに対向する二辺の上端部には、前後方向から見てＶ状の切欠き３２４が左右方向にわたって所定の間隔で複数形成されている。これらの切欠き３２４には、収容カセット３１に収容されている複数の基板５の下端部が一つずつ挿入される。なお、複数の切欠き３２４の間隔は、収容カセット３１の内壁面に形成されている複数の縦溝３１２の間隔と同様である。

二つの壁部３２２は、それぞれ、上から見て概ねコ状の外形を有している。二つの壁部３２２は、中央突出部３２１を挟んで左右方向において互いに対向するように配置されている。一方の壁部３２２と他方の壁部３２２との間には、収容カセット３１が嵌合される。

二つの支柱３２３は、それぞれ、円柱の外形を有している。二つの支柱３２３は、中央突出部３２１及び二つの壁部３２２を挟んで左右方向において互いに対向するように配置されている。二つの支柱３２３の上端部には、第一ネジ４１と螺合されるネジ穴３２５が形成されている。二つの支柱３２３の上端部には、電極プレート３３が取り付けられる。

台座３２の底部には、中央突出部３２１の前側及び後側に位置する領域のそれぞれに、左右方向へ延在する細長い帯状の開口部３２６が形成されている。これらの開口部３２６は、台座３２の上側と下側との間で電着溶液を循環させる役割等を果たす。

＜収容カセット、台座＞
図５は、本発明の実施例における台座に収容カセットが取り付けられた状態を示す（ａ）上面図、（ｂ）正面図、（ｃ）右側面図、（ｄ）斜視図である。なお、図５では、収容カセットに収容される基板は、省略されている。

図５に示すように、収容カセット３１が台座３２に取り付けられた状態において、収容カセット３１は、台座３２の二つの壁部３２２の間に嵌合されている。そして、この状態において、台座３２の中央突出部３２１は、収容カセット３１の底部に形成されている開口部３１１を通して上方へ突出し、収容カセット３１の内部に所定の距離だけ進入している。これにより、台座３２の中央突出部３２１の上端部に形成されている複数の切欠き３２４は、収容カセット３１の内壁面に形成されている複数の縦溝３１２の下端部よりも上方に位置している。

＜電極プレート＞
図６は、本発明の実施例における電極プレートを示す（ａ）上面図、（ｂ）正面図、（ｃ）右側面図、（ｄ）斜視図である。

図６に示すように、電極プレート３３は、上から見て概ね四角形の外形を有している。電極プレート３３は、複数の電極突起３３１と、複数のガイド突起３３２と、二つの第一支柱３３３と、二つの第二支柱３３４と、二つの位置決めピン３３５と、を備えている。電極プレート３３は、主として、例えば、金属で構成されている。電極プレート３３の表面のうち電気的な接点を除く部分には、電着による被膜が形成されないようにするために、絶縁処理（絶縁被膜等）が施されている。但し、この絶縁処理は、必須ではない。

電極プレート３３の中央部には、上から見て概ね四角形の開口部３３６が形成されている。複数の電極突起３３１と複数のガイド突起３３２は、電極プレート３３の開口部３３６を挟んで前後方向において互いに対向する電極プレート３３の二辺のそれぞれに設けられている。電極突起３３１とガイド突起３３２は、左右方向において互いに一つずつ交互に所定の間隔で配置されている。電極突起３３１とガイド突起３３２は、電極プレート３３の下面から、電極プレート３３の開口部３３６の内側下方へ向かって、斜めに延在している。電極突起３３１の延在方向における長さは、ガイド突起３３２の延在方向における長さよりも大きい。これらにより、複数の電極突起３３１と複数のガイド突起３３２は、上から見て全体として鋸歯のような態様を示す。

電極プレート３３の開口部３３６は、収容カセット３１に収容されている複数の基板５の上端部を電極プレート３３の上方へ露呈させる役割や電極プレート３３の上側と下側との間で電着溶液を循環させる役割等を果たす。

互いに隣接する電極突起３３１とガイド突起３３２との間には、収容カセット３１に収容されている複数の基板５の側端部が一つずつ挿入される。なお、互いに隣接する電極突起３３１とガイド突起３３２との間の幅は、そこに挿入される基板５の側端部の厚さよりも僅かに大きい。

電極突起３３１は、基板５と接触する電極端子であり、基板５の表面に形成されている配線パターンと接触する。これにより、複数の基板５は、電極プレート３３を介して外部の電源と電気的に接続される。

ガイド突起３３２は、基板５の移動を規制する規制部材であり、左右方向における基板５の可動範囲を所定の範囲内に制限する。これにより、複数の基板５は、左右方向へ不要に移動し難くなる。

二つの第一支柱３３３は、それぞれ、円柱の外形を有している。二つの第一支柱３３３は、電極プレート３３の開口部３３６を挟んで左右方向において互いに対向するように配置されている。二つの第一支柱３３３の上端部の外周面には、第二ネジ４２と螺合されるネジ溝（不図示）が形成されている。二つの第一支柱３３３の周囲には、押圧ユニット３４が取り付けられる。

二つの第二支柱３３４は、それぞれ、六角柱の外形を有している。二つの第二支柱３３４は、電極プレート３３の開口部３３６を挟んで左右方向において互いに対向するように配置されている。二つの第二支柱３３４の上端部には、第三ネジ４３と螺合されるネジ穴３３７が形成されている。二つの第二支柱３３４の上端部には、アーム３５が取り付けられる。

二つの位置決めピン３３５は、それぞれ、円柱の外形を有している。二つの位置決めピン３３５は、電極プレート３３の開口部３３６を挟んで左右方向において互いに対向するように配置されている。二つの位置決めピン３３５は、押圧ユニット３４の一部に挿入される。なお、位置決めピン３３５の長さは、第一支柱３３３の長さよりも小さい。

電極プレート３３には、上から見て円形の貫通孔３３８が二つ形成されている。なお、二つの貫通孔３３８のうち何れか一方は、上から見て左右方向へ延在する長孔状の貫通孔であっても良い。二つの貫通孔３３８は、電極プレート３３の開口部３３６を挟んで左右方向において互いに対向するように配置されている。二つの貫通孔３３８には、台座３２の支柱３２３の上端部が嵌合される。これにより、電極プレート３３は、台座３２に対して位置決めされる。

また、台座３２の支柱３２３の上端部に形成されているネジ穴３２５に第一ネジ４１が螺合されることにより、電極プレート３３は、上下方向から締め付けられ、台座３２の支柱３２３の上端部に固定される。

＜押圧ユニット＞
図７は、本発明の実施例における押圧ユニットを示す（ａ）上面図、（ｂ）正面図、（ｃ）右側面図、（ｄ）斜視図である。

図７に示すように、押圧ユニット３４は、上から見て概ね八角形の外形を有している。押圧ユニット３４は、上板３４１と、下板３４２と、二つの壁部３４３と、複数の押圧子３４４と、複数のコイルバネ３４５と、を備えている。上板３４１と下板３４２と二つの壁部３４３は、主として、例えば、絶縁性の樹脂で構成され、押圧子３４４は、主として、例えば、金属又は絶縁性の樹脂で構成され、コイルバネ３４５は、主として、例えば、金属で構成されている。

上板３４１と下板３４２は、二つの壁部３４３を挟んで上下方向において互いに対向するように配置されている。二つの壁部３４３は、左右方向の両端側に一つずつ配置されている。上板３４１と下板３４２と二つの壁部３４３は、ネジ等により、互いに固定されている。

上板３４１の中央部及び下板３４２の中央部には、上から見て概ね四角い開口部３４６が形成されている。この開口部３４６は、押圧ユニット３４の上側と下側との間で電着溶液を循環させる役割等を果たす。

上板３４１と下板３４２と壁部３４３には、それらをまとめて上下方向に貫通する円形の第一貫通孔３４７が形成されている。第一貫通孔３４７は、開口部３４６を挟んで左右方向において互いに対向するように二つ形成されている。第一貫通孔３４７には、電極プレート３３の第一支柱３３３が下から挿通され、その上端部が上方へ突出する。そして、上方へ突出した第一支柱３３３の上端部の外周面に形成されているネジ溝に第二ネジ４２が螺合されることにより、押圧ユニット３４は、上下方向から締め付けられ、電極プレート３３の上面に固定される。

下板３４２には、上下方向に貫通する円形の第二貫通孔３４８が形成されている。第二貫通孔３４８は、開口部３４６を挟んで左右方向において互いに対向するように二つ形成されている。なお、二つの第二貫通孔３４８のうち何れか一方は、上から見て左右方向へ延在する長孔状の貫通孔であっても良い。第二貫通孔３４８には、電極プレート３３の位置決めピン３３５が下から挿通される。これにより、押圧ユニット３４は、電極プレート３３に対して位置決めされる。

複数の押圧子３４４は、左右方向へ所定の間隔で二列に並ぶように配置されている。押圧子３４４は、円柱状の基部の一端に円錐状の幅広の先端部が形成されたような外形を有している。押圧子３４４の上端部は、下板３４２に形成されている貫通孔（不図示）に摺動可能な状態で挿通され、下板３４２の上面よりも上方へ突出し、コイルバネ３４５の内側に挿入されている。押圧子３４４の下端部は、下板３４２の下面よりも下方へ突出し、外部へ露呈されている。押圧子３４４は、コイルバネ３４５の弾性力により、下方へ付勢されている。

複数のコイルバネ３４５は、それぞれ、伸縮方向が上下方向となるように上板３４１と下板３４２との間に配置されている。コイルバネ３４５の上端部は、上板３４１の下面に係止されている。コイルバネ３４５の下端部は、押圧子３４４の上端部の外周面に設けられたワッシャー等の突起に係止されている。これらにより、コイルバネ３４５は、上下方向へ圧縮された状態で上板３４１と下板３４２との間に保持されている。なお、コイルバネ３４５は、必須ではなく、押圧子３４４の自重だけでも押圧子３４４の機能が十分に発揮されるのであれば、省略されていても良い。但し、押圧子３４４の動作をより安定させる観点からすれば、コイルバネ３４５は、設けられているのが好ましい。

＜収容カセット、台座、電極プレート、押圧ユニット＞
図８は、本発明の実施例における収容カセット、台座、電極プレート、押圧ユニットが互いに取り付けられた状態を示す（ａ）上面図、（ｂ）正面図、（ｂ’）正面の縦断面図、（ｃ）右側面図、（ｃ’）右側面の縦断面図である。なお、図８では、複数の基板が収容カセットに収容されている。

図８に示すように、収容カセット３１、台座３２、電極プレート３３、押圧ユニット３４が互いに取り付けられた状態において、収容カセット３１は、台座３２の二つの壁部３２２の間に嵌合され、電極プレート３３は、台座３２の支柱３２３の上端部に第一ネジ４１により固定され、押圧ユニット３４は、電極プレート３３の上面に第二ネジ４２により固定されている。

この状態において、収容カセット３１に収容されている複数の基板５のうち互いに隣接する二つの基板５の上端部の間には、図８（ｂ’）に示すように、押圧ユニット３４の押圧子３４４の下端部が挿入されている。これにより、互いに隣接する二つの基板５の上端部は、押圧子３４４の下端部の外周面（円錐状の斜面）と接触し、左右方向において互いに離反する方向へ適度に付勢されている。そして、互いに離反する方向へ付勢されている二つの基板５のうち、左側に位置する一方の基板５は、電極プレート３３の突起電極３３１のうち左側において隣接する突起電極３３１に押し付けられ、それに対し、右側に位置する他方の基板５は、電極プレート３３の突起電極３３１のうち右側において隣接する突起電極３３１に押し付けられている。これにより、基板５と電極プレート３３の突起電極３３１との電気的な接続を安定させることができる。

また、押圧子３４４の下端部の外周面は、円錐状の斜面であるため、互いに隣接する二つの基板５の間に押圧子３４４の下端部を容易に挿入することができる。また、一つの押圧子３４４により、二つの基板５を互いに離反する方向へ同時に付勢することができる。このことは、結果的に、押圧ユニット３４の小型化等に寄与する。これらのことから、押圧子３４４の下端部の外周面は、円錐状の斜面であることが有利である。但し、押圧子３４４の下端部の外周面は、円錐状の斜面には限定されず、例えば、角錐状の斜面や球状の斜面であっても良い。

＜アーム＞
図９は、本発明の実施例におけるアームを示す（ａ）上面図、（ｂ）正面図、（ｃ）右側面図、（ｄ）斜視図である。

図９に示すように、アーム３５は、正面から見て概ね四角い枠の中央に左右方向へ延在する長尺の部材を取り付けたような外形を有している。アーム３５は、左右方向へ延在する、上側延在部３５１と、中央延在部３５２と、下側延在部３５３と、を有している。アーム３５は、主として、例えば、金属で構成されている。アーム３５の表面のうち電気的な接点を除く部分には、電着による被膜が形成されないようにするために、絶縁処理（絶縁被膜等）が施されている。但し、この絶縁処理は、必須ではない。

上側延在部３５１や中央延在部３５２は、作業者が基板ホルダー３を運搬する際の把持部として利用される。また、上側延在部３５１の一部や中央延在部３５２の一部は、アーム３５を外部の電源と電気的に接続するための電極端子として利用される。

アーム３５の下側延在部３５３には、上下方向へ貫通する貫通孔３５４が形成されている。貫通孔３５４は、下側延在部３５３の左右方向における両端部に一つずつ形成されている。貫通孔３５４には、第三ネジ４３が挿通される。貫通孔３５４に挿通された第三ネジ４３が、電極プレート３３の第二支柱３３４の上端部に形成されているネジ穴３３７に螺合されることにより、アーム３５は、上下方向から締め付けられ、電極プレート３３の第二支柱３３４の上端部に固定されると共に、電極プレート３３と電気的に接続される。

＜基板ホルダーの組み立て工程＞
図１０－１～図１０－１４は、本発明の実施例における基板ホルダーを組み立てる工程（工程１～工程１４）を示す斜視図である。本発明の実施例における基板ホルダー３は、例えば、以下の工程１～工程１４により組み立てられる。

＜工程１＞
図１０－１に示すように、複数の基板５が収容されている収容カセット３１を、台座３２の上方に配置する。また、台座３２を挟んで前後方向において互いに対向するように、二つの位置決めプレート３６を配置する。

＜位置決めプレート＞
二つの位置決めプレート３６の互いに対向する先端部のそれぞれには、上から見てＶ状の切欠き３６１が左右方向へわたって所定の間隔で複数形成されている。複数の切欠き３６１の間隔は、台座３２の中央突出部３２１の上端部に形成されている複数の切欠き３２４の間隔と同様である。位置決めプレート３６は、基板ホルダー３に一体的に取り付けられる部品ではなく、基板ホルダー３の付属的な部品であるが、基板ホルダー３に一体的に取り付けられる部品として構成されていても良い。

＜工程２＞
図１０－２に示すように、収容カセット３１を下方へ移動させ、収容カセット３１を台座３２の二つの壁部３２２の間に嵌合させる。これにより、収容カセット３１が台座３２に固定される。また、収容カセット３１が下方へ移動するにつれて、収容カセット３１の底部に形成されている開口部３１１を通して、台座３２の中央突出部３２１が収容カセット３１の内部へ進入し（図５参照）、それに伴って、台座３２の中央突出部３２１の上端部に形成されている複数の切欠き３２４に、収容カセット３１に収容されている複数の基板５の下端部が一つずつ挿入されると共に、複数の基板５の下端部が切欠き３２４の端面により下から支持される。そして、そのまま収容カセット３１が更に下方へ移動することにより、複数の基板５の上端部が収容カセット３１の内部から外部へ相対的に突出する（図１０－２の点線矢印参照）。即ち、収容カセット３１を台座３２に取り付けるだけで、複数の基板５の上端部を収容カセット３１の外部へ突出させることができる。このことは、結果的に、基板ホルダー３の小型化等に寄与する。

＜工程３＞
図１０－３に示すように、二つの位置決めプレート３６を複数の基板５に向かって移動させ、位置決めプレート３６の先端部に形成されている複数の切欠き３６１に、複数の基板５の側端部を一つずつ挿入させる。これにより、複数の基板５が左右方向において位置決めされる。

＜工程４＞
図１０－４に示すように、電極プレート３３と二つの第一ネジ４１を、台座３２の上方に配置する。

＜工程５＞
図１０－５に示すように、電極プレート３３を下方へ移動させ、電極プレート３３の貫通孔３３８に台座３２の支柱３２３の上端部を嵌合させる。これにより、電極プレート３３が台座３２に対して位置決めされる。また、電極プレート３３の電極突起３３１とガイド突起３３２との間に、基板５の上端部が一つずつ挿入される。この時、基板５は、位置決めプレート３６により位置決めされており、また、電極突起３３１とガイド突起３３２は、下方へ傾斜しているため、基板５の上端部は、電極突起３３１とガイド突起３３２との間に挿入され易い。

＜工程６＞
図１０－６に示すように、二つの第一ネジ４１を下方へ移動させ、二つの第一ネジ４１を、台座３２の支柱３２３の上端部に形成されているネジ穴３２５に螺合させる。これにより、電極プレート３３が台座３２の支柱３２３の上端部に固定される。

＜工程７＞
図１０－７に示すように、二つの位置決めプレート３６を互いに離反する方向へ移動させる。これにより、基板５に対する位置決めプレート３６による位置決めが解除される。

＜工程８＞
図１０－８に示すように、押圧ユニット３４と二つの第二ネジ４２を、電極プレート３３の上方に配置する。

＜工程９＞
図１０－９に示すように、押圧ユニット３４を下方へ移動させ、押圧ユニット３４の第一貫通孔３４７に電極プレート３３の第一支柱３３３を挿通させると共に、押圧ユニット３４の第二貫通孔３４８に電極プレート３３の位置決めピン３３５を挿通させたうえで、押圧ユニット３４を電極プレート３３の上面に配置する。これにより、押圧ユニット３４が電極プレート３３に対して位置決めされる。また、押圧ユニット３４の押圧子３４４が互いに隣接する二つの基板５の間に挿入され、基板５が電極プレート３３の電極突起３３１に押し付けられる。

＜工程１０＞
図１０－１０に示すように、二つの第二ネジ４２を下方へ移動させ、二つの第一ネジ４２を、電極プレート３３の第一支柱３３３の上端部の外周面に形成されているネジ溝に螺合させる。これにより、押圧ユニット３４が電極プレート３３の上面に固定される。

＜工程１１＞
図１０－１１に示すように、アーム３５と二つの第三ネジ４３を、押圧ユニット３４の上方に配置する。

＜工程１２＞
図１０－１２に示すように、アーム３５を下方へ移動させ、アーム３５の下側延在部３５３を、電極プレート３３の第二支柱３３４の上面に配置する。

＜工程１３＞
図１０－１３に示すように、二つの第三ネジ４３を下方へ移動させ、二つの第三ネジ４３を、アーム３５の下側延在部３５３に形成されている貫通孔３５４を通して、電極プレート３３の第二支柱３３４の上端部に形成されているネジ穴３３７に螺合させる。これにより、アーム３５が電極プレート３３の第二支柱３３４の上端部に固定される。

＜工程１４＞
図１０－１４に示すように、二つの位置決めプレート３６を所定の位置へ退避させる。これにより、電着を行うことが可能な状態の基板ホルダー３が得られる。

上述の工程１４が終了した後、基板ホルダー３を電着溶液の中に浸漬し、外部の電源からアーム３５に通電することにより、複数の基板５の表面に電着による被膜（金属膜等）が形成される。そのプロセスが終了した後は、基板ホルダー３を分解して収容カセット３１を取り出し、電着による被膜が形成されていない複数の基板５が収容されている新たな収容カセット３１を台座３２に取り付け、基板ホルダー３を再度組み立てるというプロセスを繰り返す。

＜実施例の変形例１＞
図１１は、本発明の実施例の変形例１における収容カセット、台座、電極プレート、押圧ユニットが互いに取り付けられた状態を示す（ａ）上面図、（ｂ）正面図、（ｂ’）正面の縦断面図、（ｃ）右側面図、（ｃ’）右側面の縦断面図である。図１２は、図１１（ｂ’）のＡ部拡大図である。図１１及び図１２に示す変形例１では、押圧ユニットの構成が図１に示す実施例とは異なり、それ以外の構成は、図１～図９に示す実施例と実質的に同様である。具体的には、以下の通りである。

図１１及び図１２に示すように、変形例１では、図１～図９に示す実施例における押圧ユニット３８が、それとは異なる構成の押圧ユニット６に置き換えられている。この押圧ユニット６は、フレーム６１と、コイルバネ６２と、シャフト６３と、シャフト押さえ６４とを、を備えている。フレーム６１は、例えば、樹脂で構成されている。コイルバネ６２、シャフト６３、シャフト押さえ６４は、例えば、金属で構成されている。

フレーム６１は、図１～図９（特に図７）に示す実施例における押圧ユニット３４の下板３４２に相当する部材であり、電極プレート３３の上面に第二ネジ４２により固定されている。具体的には、図１２に示すように、フレーム６１の左右方向の両端には、上下方向へ貫通する第一貫通孔６１１が一つずつ設けられており、この第一貫通孔６１１に下から上へ電極プレート３３の第一支柱３３３が挿通されると共に、第一支柱３３３の上端に第二ネジ４２が螺合されている。これにより、フレーム６１が第二ネジ４２により電極プレート３３の上面に対して締め付けられて固定されている。なお、電極プレート３３の第一支柱３３３の長さは、フレーム６１の固定に適した長さに予め調整されている。

フレーム６１の両端に設けられた第一貫通孔６１１は、上から見て左右方向へ僅かに延在する長孔として形成されている。そして、この第一貫通孔６１１に電極プレート３３の第一支柱３３３が挿通された状態、且つ、第二ネジ４２によるフレーム６１の締め付けが解除された状態において、フレーム６１は、所定の範囲内で左右方向へ自由にスライド可能である。なお、フレーム６１を左右方向へスライド可能にする構成は、この構成に限定されず、その他の構成であっても良い。

フレーム６１の左右方向の中央部には、上下方向へ貫通する複数の第二貫通孔６１２が、互いに一定の間隔で左右方向へ一列に並べて設けられている。特に、ここでは、複数の第二貫通孔６１２の列が、フレーム６１の前側の部分と後側の部分のそれぞれに一つずつ設けられている。即ち、フレーム６１には、複数の第二貫通孔６１２の列が、互いに平行となるように二列設けられている。なお、第二貫通孔６１２は、上から見て円形の貫通孔であるが、上から見て四角形等のその他の形状であっても良い。

複数の第二貫通孔６１２の内部には、コイルバネ６２が、その伸縮方向が上下方向となるように一つずつ配置されている。コイルバネ６２の外面と第二貫通孔６１２の内面は、互いに接触あるいは僅かな隙間を介して互いに離間している。コイルバネ６２の上端と下端は、第二貫通孔６１２の内部から外部へそれぞれ所定の長さだけ突出している。ここでは、コイルバネ６２の下端が第二貫通孔６１２の内部から外部へ突出する長さは、コイルバネ６２の上端が第二貫通孔６１２の内部から外部へ突出する長さよりも大きいが、これらの長さの大小関係は、これに限定されない。

第二貫通孔６１２の内部から外部へ突出したコイルバネ６２の上端と下端には、それぞれ、上側フック部６２１と下側フック部６２２が形成されている。上側フック部６２１と下側フック部６２２は、例えば、バネ線材を円弧状に湾曲させることにより形成されている。上側フック部６２１は、シャフト６３の外周に引っ掛けるようにして固定されている。下側フック部６２２は、収容カセット３１に収容されている基板５の上端に左右方向から接触可能な位置に配置されている。

上側フック部６２１のフック先端と下側フック部６２２のフック先端は、それぞれ、水平面内において、前側又は後側を向いている。この状態は、各々のフック先端が、水平面内において、基板５の主面に対して実質的に平行となる方向を向いている状態であるとも言える。この場合、下側フック部６２２は、左右方向において基板５の主面と平面的に接触（面接触）するため、基板５を電極突起３３１に安定して押し付けることができる。また、この場合、下側フック部６２２の左右方向の幅は、バネ線材の太さと同等になるため、下側フック部６２２を、互いに隣接する二つの基板５の間に容易に挿入することができる。

なお、下側フック部６２２のフック先端は、水平面内において、左側又は右側（基板５の主面に対して実質的に垂直となる方向）を向いていても良いが、この場合、下側フック部６２２は、左右方向において基板５の主面と局所的に接触（点接触）するだけであるため、基板５を電極突起３３１に安定して押し付けることができない虞がある。また、この場合、下側フック部６２２の左右方向の幅は、フック先端とフック後端との間の距離と同等になるため、下側フック部６２２を互いに隣接する二つの基板５の間に挿入することが難しくなる。これを避けるために、互いに隣接する二つの基板５の間隔を広げると、その分だけ基板ホルダーが大型化することになる。但し、必要に応じて、この構成を採用しても良い。

シャフト６３は、細長い円柱状の部材であり、ここでは二つ設けられている。二つのシャフト６３は、それぞれ、フレーム６１の上面に形成された溝の内側に配置されると共に、二つのシャフト押さえ６４により上から押し付けられて固定されている。シャフト押さえ６４は、ネジ等によりフレーム６１の上面に固定されている。二つのシャフト６３は、それぞれ、フレーム６１に設けられた複数の第二貫通孔６１２の上を左右方向へ横切るように配置されている。なお、シャフト６３の形状は、円柱状に限らず、角柱状等のその他の形状であっても良い。

また、変形例１では、付随的な構成として、図１２に示すように、電極プレート３３の全てのガイド突起３３２が、電極突起３３１と同じ長さに形成され、実質的に電極突起３３１として形成されている。以下の説明においては、このガイド突起３３２も電極突起３３１と称する。なお、ガイド突起３３２は、短尺のままでも電極として機能するため、必要に応じて、長さを変えることなく、短尺のまま電極として使用しても良い。

図１１及び図１２では、収容カセット３１に収容されている全ての基板５がコイルバネ６２の下側フック部６２２により左側から右側へ向かって一様に電極プレート３３の電極突起３３１に押し付けられている状態が示されているが、この状態とするためには、例えば、まず、フレーム６１を電極プレート３３の上面における所定の位置に配置したうえで第二ネジ４２を取り付けない状態あるいは緩く取り付けた状態とし、次に、フレーム６１を左側から右側へ所定の距離だけスライドさせることにより、フレーム６１に保持されているコイルバネ６２の下側フック部６２２をその右側に位置する基板５の主面に押し当て、基板５をその右側に位置する電極突起３３１に押し付ける。これにより、図１１及び図１２に示す状態となる。なお、この状態において、コイルバネ６２の下端は、全体として右側から左側に向かって僅かに湾曲しており（不図示）、これによって生じるコイルバネ６２の復元力により、基板５がその右側に位置する電極突起３３１に弾性的に押し付けられている。即ち、変形例１では、コイルバネ６２が、基板５を電極突起３３１に押し付ける押圧子としての役割を果たす。

図１～図９（特に図８）に示す実施例では、基板５が剛性の高い押圧子３４４により電極突起３３１に押し付けられるため、押圧子３４４の位置ずれや寸法誤差、基板５の位置ずれ等が生じた場合には、それらの影響により、基板５を電極突起３３１に安定して押し付けることができない虞、即ち、基板５と電極突起３３１との電気的な接続を安定させることができない虞がある。これに対し、変形例１では、基板５がコイルバネ６２により電極突起３３１に弾性的に押し付けられるため、上述の位置ずれ等の影響が低減され、基板５を電極突起３３１に安定して押し付けること、即ち、基板５と電極突起３３１との電気的な接続を安定させることができる。

＜実施例の変形例２＞
押圧子としてコイルバネを用いたその他の変形例２として、例えば、以下の構成が考えられる。具体的には、図１１示す変形例１におけるフレーム６１を、前後方向の中間位置を境界として、それよりも前側に位置する前側フレームと、それよりも後側に位置する後側フレームとに分割し、前側フレームと後側フレームを、前後方向において互いに離間あるいは互いに摺動可能に接触するように配置したうえで、左右方向へ互いに独立してスライド可能にすることが考えられる。この場合、前側フレームと後側フレームのそれぞれには、第二ネジ４２を用いたフレームの固定構造（長孔等を含む）とシャフト押さえ６３が個別に設けられる。そして、例えば、前側フレームを右方向へスライドさせることにより、前側フレームに保持されているコイルバネ６２で、収容カセット３１に収容されている複数の基板５のうち左側から奇数番目の基板５を、その右側に位置する電極突起３３１に押し付け、また、後側フレームを左方向へスライドさせることにより、後側フレームに保持されているコイルバネ６２で、収容カセット３１に収容されている複数の基板５のうち左側から偶数番目の基板５を、その左側に位置する電極突起３３１に押し付ける。この構成では、フレーム６１が互いに独立した二つのフレームに分割されているため、基板５を電極突起３３１に押し付ける力の強さ等を調整し易くなる。このことは、結果的に、基板５と電極突起３３１との電気的な接続の安定性の向上に寄与する。

＜実施例の変形例３＞
押圧子としてコイルバネを用いたその他の変形例３として、例えば、以下の構成が考えられる。具体的には、図１～図９（特に図７）に示す実施例における押圧ユニット３４の押圧子３４４を、その押圧子３４４の外形に倣った外形を有するコイルバネ、即ち、下端においてはバネ線材が中空円錐状に巻かれ、下端よりも上側の部分においてはバネ線材が円筒状に巻かれたコイルバネ（以下、中空円錐状のコイルバネと称する）に置き換えることが考えられる。この場合、押圧ユニット３４の上板３４１、壁部３４３、コイルバネ３４５は、省略され、その代替として、例えば、下板３４２の上面に、図１１及び図１２に示す変形例１におけるシャフト６３及びシャフト押さえ６４に相当する部材が配置され、そのシャフト６３に相当する部材に、中空円錐状のコイルバネの上端が固定される。そして、中空円錐状のコイルバネの下端（中空円錐状の部分）を、図１～図９（特に図８）に示す実施例と同様に、互いに隣接する二つの基板５の間に挿入する。この構成では、押圧子３４４を用いた場合と同様に、１つの中空円錐状のコイルバネで、その両側に位置する二つの基板５を電極突起３３１に同時に押し付けることができると共に、変形例１と同様に、コイルバネの弾性による効果（位置ずれ等の影響の低減）が得られる。なお、この変形例３において、コイルバネは、下端のみが中空円錐状に形成されたものではなく、全体が中空円錐状に形成されたもの（円筒状の部分が無いもの）であっても良い。但し、コイルバネの弾性による効果をより効果的に得る意味では、コイルバネは、下端のみが中空円錐状に形成されたもの（下端よりも上側の部分が円筒状のもの）であるのが好ましい。

以上の変形例において、コイルバネ６２の上側フック部６２１と下側フック部６２２は、適宜省略することが可能である。下側フック部６２２が省略されている場合には、コイルバネ６２の円筒状の部分により、基板５が電極突起３３１に押し付けられる。

また、コイルバネ６２は、それと同様の機能を有するその他の弾性部材（板バネ等）に適宜置き換えることが可能である。変形例３において、中空円錐状のコイルバネを板バネに置き換える場合には、例えば、板バネの一部を、前後方向から見た縦断面がＶ状となるように屈曲させたうえで、互いに隣接する二つの基板５の間に挿入することが考えられる。

本発明は、以上の実施形態に限定されるものではなく、その他種々の実施形態を取り得る。例えば、上述の基板ホルダー３において、収容カセット３１は、台座３２と一体化（一体成型等）されていても良い。但し、収容カセット３１は、台座３２に対して着脱可能な独立した部材として構成されている方が、収容カセット３１を一単位として複数の基板５をまとめて取り扱うことができるため、作業性向上等の観点からは、好ましい。

１ 基板
２ ラック
２１ 下枠
２２ 可動枠
２３ 可動枠
２４ 把手部
３ 基板ホルダー
３１ 収容カセット
３１１ 開口部
３１２ 縦溝
３１３ 開口部
３１４ 斜面
３２ 台座
３２１ 中央突出部
３２２ 壁部
３２３ 支柱
３２４ 切欠き
３２５ ネジ穴
３２６ 開口部
３３ 電極プレート
３３１ 電極突起
３３２ ガイド突起
３３３ 第一支柱
３３４ 第二支柱
３３５ 位置決めピン
３３６ 開口部
３３７ ネジ穴
３３８ 貫通孔
３４ 押圧ユニット
３４１ 上板
３４２ 下板
３４３ 壁部
３４４ 押圧子
３４５ コイルバネ
３４６ 開口部
３４７ 第一貫通孔
３４８ 第二貫通孔
３５ アーム
３５１ 上側延在部
３５２ 中央延在部
３５３ 下側延在部
３５４ 貫通孔
３６ 位置決めプレート
３６１ 切欠き
４１ 第一ネジ
４２ 第二ネジ
４３ 第三ネジ
５ 基板
６ 押圧ユニット
６１ フレーム
６１１ 第一貫通孔
６１２ 第二貫通孔
６２ コイルバネ
６２１ 上側フック部
６２２ 下側フック部
６３ シャフト
６４ シャフト押さえ

Claims (14)

1. 基板の表面に電着による被膜を形成する際に用いられる基板ホルダーであって、
   前記基板を保持する保持部と、
   前記基板と接触する電極端子を有する電極部と、
   前記基板を前記電極端子に押し付ける押圧子を有する押圧部と、
   を備えた、ことを特徴とする基板ホルダー。
2. 前記押圧子は、前記基板を前記電極端子に押し付ける斜面を有する、ことを特徴とする請求項１に記載の基板ホルダー。
3. 前記斜面は、円錐状の斜面である、ことを特徴とする請求項２に記載の基板ホルダー。
4. 前記押圧部は、互いに隣接する二つの前記基板の間に前記押圧子を挿入することにより、当該二つの前記基板のそれぞれを隣接する前記電極端子に押し付ける、
   ことを特徴とする請求項１に記載の基板ホルダー。
5. 前記保持部は、前記基板を収容する収容部材と、当該収容部材を支持する台座と、を有し、
   前記収容部材は、前記基板の一端を外部へ露呈させる開口部を有し、且つ、前記台座に対して着脱可能であり、
   前記台座は、前記開口部を通して前記収容部材の内部へ進入可能な突出部を有し、
   前記突出部は、前記収容部材が前記台座に取り付けられた際に、前記開口部を通して前記収容部材の内部へ進入し、前記基板の前記一端と当接することにより、前記基板の他端を前記収容部材の内部から外部へ相対的に突出させ、
   前記押圧子は、前記基板の前記他端を前記電極端子に押し付ける、
   ことを特徴とする請求項１に記載の基板ホルダー。
6. 前記押圧子は、弾性部材である、ことを特徴とする請求項１に記載の基板ホルダー。
7. 前記弾性部材は、コイルバネである、ことを特徴とする請求項６に記載の基板ホルダー。
8. 前記コイルバネは、その伸縮方向と直交する方向の外面により、前記基板を前記電極端子に押し付ける、ことを特徴とする請求項７に記載の基板ホルダー。
9. 前記コイルバネは、その伸縮方向の一端部にフック部を有し、当該フック部により、前記基板を前記電極端子に押し付ける、ことを特徴とする請求項８に記載の基板ホルダー。
10. 前記フック部のフック先端は、水平面内において、前記基板の主面に対して平行となる方向を向いている、ことを特徴とする請求項９に記載の基板ホルダー。
11. 前記押圧部は、前記弾性部材を保持したまま所定の方向へ移動可能なフレームを備え、
    前記フレームが前記所定の方向へ移動することにより、前記フレームに保持された前記弾性部材が前記基板を前記電極端子に押し付ける、
    ことを特徴とする請求項６に記載の基板ホルダー。
12. 前記押圧部は、前記弾性部材の一つを保持したまま第一方向へ移動可能な第一フレームと、前記弾性部材のうち他の一つを保持したまま前記第一方向とは反対の第二方向へ移動可能な第二フレームと、を備え、
    前記第一フレームが前記第一方向へ移動することにより、前記第一フレームに保持された前記弾性部材が、前記基板の一つを、前記電極端子の一つに押し付け、
    前記第二フレームが前記第二方向へ移動することにより、前記第二フレームに保持された前記弾性部材が、前記基板の他の一つを、前記電極端子の他の一つに押し付ける、
    ことを特徴とする請求項６に記載の基板ホルダー。
13. 前記コイルバネは、その伸縮方向における一端に、バネ線材が中空円錐状に巻かれた中空円錐部を有し、
    前記押圧部は、互いに隣接する二つの前記基板の間に前記中空円錐部を挿入することにより、当該二つの前記基板のそれぞれを隣接する前記電極端子に押し付ける、
    ことを特徴とする請求項７に記載の基板ホルダー。
14. 前記コイルバネは、その伸縮方向における前記中空円錐部よりも他端側の位置に、バネ線材が円筒状に巻かれた円筒部を有する、ことを特徴とする請求項１３に記載の基板ホルダー。

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