JP2024044734A - 吸着装置 - Google Patents

Abstract

【課題】コストアップや装置全体の大型化を抑制しつつ、消費エネルギを低減化することができる吸着装置の提供。【解決手段】本開示の吸着装置は、対象物に接触可能な吸着体と、吸着体内の気体を吸引するための真空発生源と、当該真空発生源に接続される第１ポートおよび吸着体の気体出入口に接続される第２ポートを有し、第１ポートと第２ポートとの間の圧力差に応じて吸着体から真空発生源側への気体の流通を規制するように閉弁する逆止弁と、真空発生源による吸着体内の気体の吸引が開始されてから逆止弁を一時的に開弁状態に保持する開弁保持機構とを含む。【選択図】図２

Description

本開示は、対象物に接触可能な吸着体と、当該吸着体内の気体を吸引するための真空発生源とを含む吸着装置に関する。

従来、ロボットアームの先端に取り付けられ、瓶等の対象物を負圧により吸着するエンドエフェクタ（吸着装置）が知られている（例えば、特許文献１参照）。このエンドエフェクタは、１つの第１吸着体（吸着パッド）と、当該第１吸着体の周囲に配置される複数（６つ）の第２吸着体（吸着パッド）とを含む。第１吸着体は、落下防止弁および第１負圧系統を介して負圧発生装置に接続され、各第２吸着体は、落下防止弁および第２負圧系統を介して負圧発生装置に接続される。落下防止弁は、第１または第２吸着体が対象物に接触していないか、あるいは、当該第１吸着体等と対象物との間に隙間があるときに、パッド内の空気が吸引されるのに応じて閉弁する。これにより、対象物に対して第１およびは第２吸着体の何れかが適正に接触していないときに、第１または第２負圧系統における負圧の元圧（真空度）の低下を抑制して、対象物の落下を防止することができる。

特開２０２１－１６００６６公報

ここで、上述のような吸着装置では、対象物に隙間なく接触した吸着体内の空気が吸引されたときにも、当該吸着体側から負圧系統へと向かう空気の流れが形成され、それに伴って本来開弁されているべき落下防止弁が誤って閉弁してしまうことがある。このような場合、閉弁した落下防止弁に対応する吸着体内の空気を吸引し得なくなり、当該吸着体により対象物を保持することができなくなる。かかる不具合を抑制するためには、落下防止弁が誤って閉弁しても、吸着体内の空気を継続して吸引することができるように、吸着体の内部と負圧系統とを常時連通させるバイパス通路を当該落下防止弁に設ければよい。ただし、落下防止弁にバイパス通路が設けられた場合、吸着体と対象物との隙間を介して外部からの空気が負圧系統に流入する、いわゆるリークの発生を無くすことができなくなる。そして、吸着装置の吸着力を確保するためには、吸着体におけるリークを補うことができる真空発生源を使用することが必要になり、コストアップや装置全体の大型化、消費エネルギの増加等を招いてしまう。

そこで、本開示は、コストアップや装置全体の大型化を抑制しつつ、消費エネルギを低減化することができる吸着装置の提供を主目的とする。

本開示の吸着装置は、対象物に接触可能な吸着体と、前記吸着体内の気体を吸引するための真空発生源とを含む吸着装置において、前記真空発生源に接続される第１ポートおよび前記吸着体の気体出入口に接続される第２ポートを有し、前記第１ポートと前記第２ポートとの間の圧力差に応じて前記吸着体から前記真空発生源側への気体の流通を規制するように閉弁する逆止弁と、前記真空発生源による前記吸着体内の気体の吸引が開始されてから前記逆止弁を一時的に開弁状態に保持する開弁保持機構とを含むものである。

本開示の吸着装置において、逆止弁は、真空発生源に接続される第１ポートと、吸着体の気体出入口に接続される第２ポートとの間の圧力差に応じて吸着体から真空発生源側への気体の流通を規制するように閉弁する。そして、かかる逆止弁は、真空発生源による吸着体内の気体の吸引が開始されてから開弁保持機構により一時的に開弁状態に保持される。これにより、対象物に接触した吸着体内の気体の吸引が開始されたときに、吸着体から真空発生源側へと向かう気体の流れが形成されたとしても、逆止弁が誤って閉弁してしまうのを良好に抑制することが可能になる。従って、逆止弁が誤って閉弁したときに吸着体内の気体を継続して吸引するためのバイパス通路が不要になり、バイパス通路を介したリークの発生を無くすことができる。この結果、真空発生源の負担を軽減して、コストアップや吸着装置全体の大型化を抑制しつつ、吸着装置の消費エネルギを低減化することが可能になる。

本開示の吸着装置を示す概略構成図である。 本開示の吸着装置を示す拡大断面図である。 本開示の吸着装置の動作を説明するための図表である。 本開示の吸着装置の動作を説明するための図表である。 本開示の吸着装置を示す拡大断面図である。 本開示の吸着装置を示す要部拡大断面図である。 本開示の他の吸着装置を示す拡大断面図である。 本開示の他の吸着装置の動作を説明するための図表である。 本開示の他の吸着装置の動作を説明するための図表である。 本開示の更に他の吸着装置を示す拡大断面図である。 本開示の更に他の吸着装置の動作を説明するための拡大断面図である。 本開示の更に他の吸着装置の動作を説明するための拡大断面図である。

次に、図面を参照しながら、本開示の発明を実施するための形態について説明する。

図１は、本開示の吸着装置１を示す概略構成図である。同図に示す吸着装置１は、対象物Ｗを保持するためのものであり、図示しないロボット装置（ロボットアーム）にエンドエフェクタとして組み込まれる。吸着装置１は、それぞれ当該対象物Ｗに接触可能な複数の吸着体２と、当該複数の吸着体２ごとに設けられた落下防止ユニット３と、各吸着体２内の空気（気体）を吸引するための真空発生装置（真空発生源）１０と、単一の第１切換弁１１と、単一の第２切換弁１２と、制御装置１５とを含む。

吸着装置１の各吸着体２は、外周部が対象物Ｗの表面に密に接触可能になるように略傘状に形成された樹脂パッド（吸着パッド）である。各落下防止ユニット３は、逆止弁４と、当該逆止弁４を開弁状態に保持することができる開弁保持機構５の構成要素の一部とを含むものである。図１に示すように、複数の落下防止ユニット３は、複数の吸着体２が予め定められた態様で整列するように保持部材３０により保持される。真空発生装置１０は、真空ポンプまたは真空ブロワを含むものであってもよく、圧縮機とエジェクタとを含むものであってもよい。

第１および第２切換弁１１，１２は、何れも常閉型の３ポート電磁弁であり、真空発生装置１０と、それぞれ複数の吸着体２および落下防止ユニット３との間に設置される。また、第１および第２切換弁１１，１２は、真空発生装置１０に接続される吸引ポート１１ｖまたは１２ｖ、高圧源としての大気に連通するリリースポート１１ｒまたは１２ｒおよび流入出ポート１１ａまたは１２ａを有する。第１および第２切換弁１１，１２は、電磁部の通電時に吸引ポート１１ｖまたは１２ｖと流入出ポート１１ａまたは１２ａとを連通させる第１状態を形成し、電磁部の非通電時にリリースポート１１ｒまたは１２ｒと流入出ポート１１ａまたは１２ａとを連通させる第２状態を形成する。制御装置１５は、ＣＰＵ，ＲＯＭ，ＲＡＭ等を含むコンピュータであり、真空発生装置１０、第１および第２切換弁１１，１２を制御する。

図２は、吸着装置１を示す拡大断面図である。同図に示すように、落下防止ユニット３は、対応する吸着体２に接続されると共に逆止弁４および開弁保持機構５の構成要素の一部を収容するハウジング６を含む。また、ハウジング６は、略円筒状のハウジング本体６１と、当該ハウジング本体６１の吸着体２側（図中下側）の端部に固定される短尺筒状の連結ピース６２と、ハウジング本体６１の吸着体２側とは反対側（図中上側）の端部を覆うプラグ６３と、ハウジング本体６１内に配置（固定）される略円筒状のインナーハウジング６４とを含む。

ハウジング本体６１には、軸方向に延在する気体通路６０が形成されており、当該気体通路６０は、ホース等の配管を介して第１切換弁１１の流入出ポート１１ａに接続される。連結ピース６２は、吸着体２の気体出入口２ａを含む端部に固定され、当該連結ピース６２の内部には、気体出入口２ａに連通するようにフィルタＦが配置される。プラグ６３には、ホース等の配管を介して第２切換弁１２の流入出ポート１２ａに接続される気体出入口が形成されている。インナーハウジング６４は、径方向に延在してハウジング本体６１の気体通路６０に連通する小径の絞り部（オリフィス）６５と、当該気体通路６０に連通する複数の軸方向通路６６とを有し、連結ピース６２のプラグ６３側（図２における上側）に配置される。

逆止弁４は、本実施形態において、ポペットバルブであり、図２に示すように、例えば樹脂により形成された弁体４０と、第１ポート４１と、第２ポート４２と、ハウジング６のインナーハウジング６４内に軸方向に移動自在に配置される中空の可動部材４４とを含む。弁体４０は、その軸心の周りに延在する円錐面４０ｓを有し、当該円錐面４０ｓが第１ポート４１側に位置するように、インナーハウジング６４内の可動部材４４内に軸方向に移動自在に挿通される。第１ポート４１は、インナーハウジング６４と、弁体４０の吸着体２側とは反対側（図２における上側）の軸部との径方向における間に形成され、当該インナーハウジング６４の絞り部６５を介してハウジング本体６１の気体通路６０に連通する。第２ポート４２は、インナーハウジング６４と弁体４０の吸着体２側の端部との径方向における間に形成され、連結ピース６２内のフィルタＦを介して当該吸着体２の気体出入口２ａに連通する。

弁体４０は、第１ポート４１と第２ポート４２との間における空気の圧力差に応じてインナーハウジング６４を軸方向移動可能である。また、弁体４０の第２ポート４２側への移動は、連結ピース６２またはフィルタＦにより支持されるストッパＳＴにより規制される。可動部材４４は、図２に示すように、弁体４０の円錐面４０ｓと対向する凹円錐面状の弁座４５を有する。これにより、弁体４０が第２ポート４２側から第１ポート４１側に移動して円錐面４０ｓが可動部材４４の弁座４５に密に接触すると、第１ポート４１と第２ポート４２との連通が遮断されることになる。

また、可動部材４４は、連結ピース６２により支持される弾性体としてのスプリング（コイルスプリング）４７によりインナーハウジング６４の第１ポート４１側の一部に突き当たるように付勢される。スプリング４７は、比較的小さいバネ定数を有するものである。更に、可動部材４４は、インナーハウジング６４に形成された複数の軸方向通路６６の第２ポート４２側の端部と対向する環状の凹部４６を有する。かかる可動部材４４は、インナーハウジング６４の複数の軸方向通路６６から凹部４６内に流入する空気（気体）により当該凹部４６の底面に付与される力がスプリング４７の付勢力に打ち勝つと、第１ポート４１から第２ポート４２に向かう方向に移動する。

開弁保持機構５は、図２に示すピストン７、可変容積室８および上述の第２切換弁１２により構成される。ピストン７は、有底筒状に形成されており、ハウジング本体６１内の逆止弁４の第１ポート４１に連通する空間内に軸方向に摺動自在に配置される。すなわち、ピストン７は、開放端がハウジング６のプラグ６３側に位置するように逆止弁４の弁体４０に対して吸着体２の反対側に配置される。また、ピストン７の底部には、突起が形成されており、当該突起は、弁体４０の吸着体２側とは反対側の端部に嵌合される。

更に、ピストン７の内底面とプラグ６３の内底面との間には、比較的小さいバネ定数を有する弾性体としてのスプリング（コイルスプリング）９が配置され、ピストン７は、当該スプリング９により弁体４０に対して付勢される。これにより、ピストン７は、弁体４０と一体になって軸方向に移動可能になる。また、ピストン７がスプリング９により付勢された状態では、弁体４０の第２ポート４２側への移動がストッパＳＴにより規制され、当該弁体４０の円錐面４０ｓと可動部材４４の弁座４５との間には、図２に示すように、十分な間隙が形成される。そして、ピストン７，ハウジング本体６１およびプラグ６３は、第１ポート４１に対して第２ポート４２の反対側に弁体４０およびピストン７の移動に応じて膨縮する可変容積室８を画成する。また、ピストン７の弁体４０側の背面周辺における圧力は、逆止弁４の第１ポート４１内と概ね等圧になり、ピストン７は、当該第１ポート４１における空気の圧力を受ける。

続いて、図３から図６等を参照しながら、上述のように構成される吸着装置１の動作について説明する。

図示しないロボット装置により対象物Ｗを移動させるべく吸着装置１に対象物Ｗを保持させる際には、複数の吸着体２を対象物Ｗに接触させるように当該ロボット装置が制御される。複数の吸着体２の各々が対象物Ｗに接触すると、吸着装置１の制御装置１５は、第２切換弁１２が上記第２状態を形成するように当該第２切換弁１２の電磁部への通電を解除する。更に、制御装置１５は、第１切換弁１１が上記第１状態を形成するように当該第１切換弁１１の電磁部に通電すると共に、真空発生装置１０を作動させる（図３における時刻ｔ１）。

これにより、第１切換弁１１の吸引ポート１１ｖ（真空発生装置１０）と流入出ポート１１ａすなわち気体通路６０とが連通し、吸引ポート１１ｖ、流入出ポート１１ａ、ハウジング本体６１の気体通路６０、インナーハウジング６４の絞り部６５、逆止弁４の第１および第２ポート４１，４２、フィルタＦおよび気体出入口２ａを介して各吸着体２の内部（吸着体２と対象物Ｗとの間の空間）の空気が真空発生装置１０により吸引される。この結果、図３に示すように、各吸着体２内の空気の圧力Ｐｐが低下し、大気圧により対象物Ｗが各吸着体２に押し付けられることで、当該対象物Ｗが複数の吸着体２により保持される。

また、第２切換弁１２の電磁部への通電が解除されることで、当該第２切換弁１２の リリースポート１２ｒ（高圧源）と流入出ポート１２ａすなわち開弁保持機構５の可変容積室８とが連通し、当該可変容積室８内の空気の圧力Ｐｖは、図３に示すように、大気圧に維持される。これに対して、逆止弁４の第１ポート４１周辺やピストン７の弁体４０側の背面周辺の圧力は、少なくとも１つの吸着体２が対象物Ｗに適正に接触していれば、真空発生装置１０により吸着体２内の空気が吸引されることで低下していく（図３参照）。

これにより、可変容積室８側からピストン７に作用する力が第１ポート４１側からピストン７に作用する力に打ち勝ち、ピストン７は、スプリング９により付勢された状態に維持される。従って、第２切換弁１２が第２状態を形成する状態で真空発生装置１０により各吸着体２内の空気が吸引される間には、可変容積室８の容積が実質的に変化（減少）することなく概ね同一に維持されるので、開弁保持機構５によりピストン７および弁体４０の移動を規制して逆止弁４を開弁状態に保持することができる。この結果、対象物Ｗに接触した吸着体２内の空気の吸引が開始されたときに、当該吸着体２から真空発生装置１０側へと向かう空気の流量Ｑが増加したとしても（図３参照）、弁体４０の移動を規制して逆止弁４が誤って閉弁してしまうのを良好に抑制することが可能になる。

図３に示すように、制御装置１５は、真空発生装置１０による各吸着体２内の空気の吸引開始から時間ｔｒｅｆ（所定時間）が経過した段階で（図３における時刻ｔ２）、第２切換弁１２の電磁部への通電を開始させ、当該第２切換弁１２を第２状態から第１状態に切り換える。時間ｔｒｅｆは、吸着体２、逆止弁４、開弁保持機構５、真空発生装置１０等の諸元等に基づいて、真空発生装置１０による吸着体２内の空気の吸引開始後に弁体４０を閉弁側に移動させる空気の流れが形成されなくなるまでの時間として実験・解析を経て予め定められる。これにより、第２切換弁１２の吸引ポート１２ｖ（真空発生装置１０）と流入出ポート１２ａすなわち可変容積室８とが連通し、吸引ポート１２ｖおよび流入出ポート１２ａを介して当該可変容積室８内の空気が真空発生装置１０により吸引されるので、図４に示すように、可変容積室８内の空気の圧力Ｐｖが低下する。第２切換弁１２が第１状態に切り換えられ、かつ各吸着体２が対象物Ｗにしっかりと接触しているときには、第１および第２ポート４１，４２における空気の圧力が十分に低下しているので、可変容積室８内の空気の圧力ＰＶが低下しても、逆止弁４は開弁状態に維持される。

これに対して、第２切換弁１２が第２状態から第１状態に切り換えられ、かつ対象物Ｗと何れかの吸着体２との間に隙間が存在しているとき（何れかの吸着体２が対象物Ｗに接触していないときを含む。以下、同様）には、当該隙間から当該吸着体２内に空気が流入し、絞り部６５により第１ポート４１から気体通路６０へと流出する空気の流量が制限される。このため、絞り部６５の作用（存在）等により、当該吸着体２内の空気の圧力Ｐｐや、逆止弁４の弁体４０の周辺（第１および第２ポート４１，４２周辺）における空気の圧力が比較的高く保たれている（図４参照）。従って、可変容積室８と弁体４０の周辺との圧力差に応じてピストン７および弁体４０を円錐面４０ｓが弁座４５に当接するように移動させ、図５に示すように、閉弁した逆止弁４により吸着体２から真空発生装置１０側への空気の流通を規制することができる。この結果、真空発生装置１０により生成される圧力（真空度）の上昇を抑制し、対象物Ｗの落下を良好に防止することが可能になる。

また、吸着装置１の各吸着体２により保持された対象物Ｗをリリースする際、制御装置１５は、第１および第２切換弁１１，１２の電磁部への通電を解除し、両者を第１状態から第２状態に切り換える。これにより、第１切換弁１１のリリースポート１１ｒ（高圧源）と流入出ポート１１ａすなわち気体通路６０とが連通し、外部の空気（大気圧）が、リリースポート１１ｒ、流入出ポート１１ａ、ハウジング本体６１の気体通路６０、インナーハウジング６４の絞り部６５、逆止弁４の第１および第２ポート４１，４２、フィルタＦおよび気体出入口２ａを介して各吸着体２の内部（吸着体２と対象物Ｗとの間の空間）に供給される。この結果、各吸着体２の内外における圧力差がなくなり、対象物Ｗが各吸着体２からリリースされる。

更に、第１切換弁１１のリリースポート１１ｒおよび流入出ポート１１ａから気体通路６０に空気が供給されると、当該気体通路６０に連通するインナーハウジング６４の複数の軸方向通路６６から、可動部材４４の凹部４６に吸着体２に向かう空気の一部が流入する。そして、可動部材４４は、複数の軸方向通路６６から凹部４６内に流入する空気により当該凹部４６の底面に付与される力がスプリング４７の付勢力に打ち勝つと、第１ポート４１から第２ポート４２に向かう方向に移動し、図６に示すように、軸方向通路６６および凹部４６を介して気体通路６０と第１ポート４１とを連通させる複数の連通路６７を形成する。これにより、逆止弁４の第１ポート４１および第２ポート４２には、絞り部６５に加えて当該複数の連通路６７からも空気が供給されることになる。従って、各吸着体２による対象物Ｗの保持を解除するときに、第２ポート４２すなわち各吸着体２内に速やかに多くの空気を供給して、各吸着体２から対象物Ｗを素早くリリースすることが可能になる。

また、各吸着体２から対象物Ｗをリリースする際には、第２切換弁１２の電磁部への通電が解除されることで、当該第２切換弁１２のリリースポート１２ｒおよび流入出ポート１２ａから開弁保持機構５の可変容積室８内に空気が供給され、当該可変容積室８内の空気の圧力Ｐｖが大気圧まで上昇する。更に、逆止弁４の第１ポート４１周辺やピストン７の弁体４０側の背面周辺の圧力も大気圧まで上昇する。これにより、ピストン７は、スプリング９により付勢された状態に維持され、弁体４０の移動が規制される。また、可動部材４４の第２ポート４２側への移動は、図６に示すように、連結ピース６２の図２における上端面により規制される。更に、可動部材４４が第２ポート４２側で停止した際、弁体４０の円錐面４０ｓと可動部材４４の弁座４５との間には、図２および図６に示すように、十分な間隙が形成される。従って、吸着装置１では、各吸着体２から対象物Ｗをリリースする際に、逆止弁４が誤って閉弁してしまうのを良好に抑制することができる。

上述のように、吸着装置１では、真空発生装置１０による複数の吸着体２内の空気の吸引が開始されてから各吸着体２の逆止弁４を一時的（図３および図４における時刻ｔ１から時刻ｔ２までの時間ｔｒｅｆ）に開弁状態に保持した上で、その後に各逆止弁４を適正に作動させることが可能になる。これにより、対象物Ｗに接触した吸着体２内の空気の吸引が開始されたときに、吸着体２から真空発生装置１０側へと向かう空気の流れが形成されたとしても、逆止弁４が誤って閉弁してしまうのを良好に抑制することが可能になる。従って、逆止弁４が誤って閉弁したときに吸着体２内の空気を継続して吸引するためのバイパス通路が不要になり、バイパス通路を介したリークの発生を無くすことができる。この結果、真空発生装置１０の負担を軽減して、コストアップや吸着装置１全体の大型化を抑制しつつ、吸着装置１の消費エネルギを低減化することが可能になる。

また、吸着装置１では、複数の吸着体２ごとに逆止弁４および開弁保持機構５が設けられる。更に、複数の吸着体２に対して１つの第１切換弁１１が設けられる。また、複数の開弁保持機構５に対して１つの第２切換弁１２が設けられる。これにより、部品点数の増加を抑制して、コストアップや吸着装置１全体の大型化を良好に抑制することが可能になる。

更に、吸着装置１は、逆止弁４と、開弁保持機構５の構成要素の一部とを含む落下防止ユニット３を含む。また、当該落下防止ユニット３は、逆止弁４の弁体４０を内包すると共に、吸着体２に取り付けられるハウジング６を含む。更に、ハウジング６は、第１ポート４１、第２ポート４２、絞り部６５および気体通路６０を有し、かつピストン７と共に可変容積室８を画成する。これにより、逆止弁４および開弁保持機構５の構成要素の一部を一体化させて吸着装置１をコンパクト化することが可能になる。ただし、逆止弁４と、開弁保持機構５の構成要素の一部とは、必ずしもユニット化される必要はない。

図７は、本開示の他の実施形態に係る吸着装置１Ｂを示す概略構成図である。なお、吸着装置１Ｂの構成要素のうち、上述の吸着装置１と同一の要素については同一の符号を付し、重複する説明を省略する。

図７に示す吸着装置１Ｂも対象物Ｗ（図１参照）を保持するためのものであり、図示しないロボット装置（ロボットアーム）にエンドエフェクタとして組み込まれる。吸着装置１Ｂは、図示するように、上記第１切換弁１１と同様に機能する切換弁１１Ｂを含む。また、吸着装置１Ｂでは、上述の第２切換弁１２が省略されており、ハウジング６のプラグ６３Ｂの端部は、完全に閉鎖されている。更に、吸着装置１Ｂにおいて、各落下防止ユニット３Ｂの開弁保持機構５Ｂは、ピストン７および可変容積室８に加えて、気体通路６０と可変容積室８とを連通させるようにハウジング本体６１Ｂに形成された小径の第２の絞り部（オリフィス）６８を含む。

図示しないロボット装置により対象物Ｗを移動させるべく吸着装置１Ｂに対象物Ｗを保持させる際には、複数の吸着体２を対象物Ｗに接触させるように当該ロボット装置が制御される。複数の吸着体２の各々が対象物Ｗに接触すると、吸着装置１Ｂの制御装置１５Ｂは、切換弁１１Ｂが上記第１状態を形成するように当該切換弁１１Ｂの電磁部に通電すると共に、真空発生装置１０を作動させる（図８における時刻ｔ１）。これにより、ハウジング本体６１Ｂの気体通路６０、インナーハウジング６４の絞り部６５、逆止弁４の第１および第２ポート４１，４２等を介して各吸着体２の内部の空気が真空発生装置１０により吸引され、対象物Ｗが複数の吸着体２により保持される。

また、開弁保持機構５Ｂの可変容積室８は、第２の絞り部６８を介して気体通路６０に連通しており、当該可変容積室８内の空気の圧力Ｐｖは、図８に示すように、真空発生装置１０による吸着体２内の空気の吸引開始後、しばらくの間、第２の絞り部６８の作用（存在）等により吸着体２内の空気の圧力Ｐｐよりも高く維持される。これにより、可変容積室８側からピストン７に作用する力が第１ポート４１側からピストン７に作用する力に打ち勝ち、ピストン７は、スプリング９により付勢された状態に維持される。従って、真空発生装置１０による吸着体２内の空気の吸引が開始されてから、開弁保持機構５Ｂにより可変容積室８の容積変化（容積減少）すなわちピストン７および弁体４０の移動を一時的に規制して逆止弁４を開弁状態に保持することができる。この結果、対象物Ｗに接触した吸着体２内の空気の吸引が開始されたときに、当該吸着体２から真空発生装置１０側へと向かう空気の流量Ｑが増加したとしても（図８参照）、弁体４０の移動を規制して逆止弁４が誤って閉弁してしまうのを良好に抑制することが可能になる。

また、真空発生装置１０による吸着体２内の空気の吸引開始からある程度時間が経過すると、真空発生装置１０により可変容積室８内の空気が吸引されて当該可変容積室内８の空気の圧力Ｐｖが低下する。更に、吸着体２が対象物Ｗにしっかりと接触しているときには、可変容積室８内の空気の圧力Ｐｖと、吸着体２の内部すなわち第１および第２ポート４１，４２における空気の圧力（Ｐｐ）とが概ね同一になり、逆止弁４は開弁状態に維持される。これに対して、可変容積室８内の空気の圧力Ｐｖが低下し、かつ対象物Ｗと何れか吸着体２との間に隙間が存在しているときには、当該隙間から当該吸着体２内に空気が流入し、絞り部６５により第１ポート４１から気体通路６０へと流出する空気の流量が制限される。このため、絞り部６５の作用（存在）等により、図９に示すように、当該吸着体２内の空気の圧力Ｐｐや、逆止弁４の弁体４０の周辺（第１および第２ポート４１，４２周辺）における空気の圧力（Ｐｐ）が比較的高く保たれている。従って、可変容積室８と弁体４０の周辺との圧力差に応じてピストン７および弁体４０を円錐面４０ｓが弁座４５に当接するように移動させ、閉弁した逆止弁４により吸着体２から真空発生装置１０側への空気の流通を規制することができる。この結果、真空発生装置１０により生成される圧力（真空度）の上昇を抑制し、対象物Ｗの落下を良好に防止することが可能になる。

上述のように、吸着装置１Ｂにおいても、真空発生装置１０による複数の吸着体２内の空気の吸引が開始されてから各吸着体２の逆止弁４を一時的に開弁状態に保持した上で、その後に各逆止弁４を適正に作動させることが可能になる。これにより、逆止弁４に上述のようなバイパス通路を設ける必要がなくなり、当該バイパス通路を介したリークの発生を無くすことができる。この結果、真空発生装置１０の負担を軽減して、コストアップや吸着装置１Ｂ全体の大型化を抑制しつつ、吸着装置１Ｂの消費エネルギを低減化することが可能になる。

また、上記開弁保持機構５Ｂによれば、可変容積室８を真空発生装置１０および高圧源としての大気の何れか一方に選択的に接続する切換弁（第２切換弁１２）を省略することができるので、吸着装置１Ｂのコストを低減することが可能になる。すなわち、吸着装置１Ｂでは、複数の吸着体２ごとに逆止弁４および開弁保持機構５Ｂを設けると共に、複数の吸着体２に対して１つの切換弁１１Ｂを設ければよい。これにより、部品点数を削減して、コストアップや吸着装置１Ｂ全体の大型化を良好に抑制することが可能になる。

図１０は、本開示の更に他の実施形態に係る吸着装置１Ｃを示す概略構成図である。なお、吸着装置１Ｃの構成要素のうち、上述の吸着装置１等と同一の要素については同一の符号を付し、重複する説明を省略する。

図１０に示す吸着装置１Ｃも対象物Ｗ（図１参照）を保持するためのものであり、図示しないロボット装置（ロボットアーム）にエンドエフェクタとして組み込まれる。吸着装置１Ｃは、複数の吸着体２と、当該複数の吸着体２ごとに設けられた落下防止ユニット３Ｃと、各吸着体２内の空気（気体）を吸引するための真空発生装置（真空発生源）１０と、上記第１切換弁１１および切換弁１１Ｂと同様に機能する切換弁１１Ｃと、真空発生装置１０および切換弁１１Ｃを制御する制御装置１５Ｃとを含む。

吸着装置１Ｃの落下防止ユニット３Ｃは、逆止弁４Ｃと、開弁保持機構５Ｃの構成要素の一部とを含むものである。また、落下防止ユニット３Ｃのハウジング６Ｃは、略円筒状のハウジング本体６１Ｃと、当該ハウジング本体６１Ｃの吸着体２側の端部に固定される短尺筒状の連結ピース６２と、ハウジング本体６１Ｃの吸着体２側とは反対側（図中上側）の端部を覆うプラグ６３とを含む。プラグ６３には、ホース等の配管を介して切換弁１１Ｃの流入出ポート１１ａに接続される気体出入口が形成されている。

吸着装置１Ｃの逆止弁４Ｃは、ポペットバルブであり、図１０に示すように、円錐面４０ｓを有する弁体４０と、第１ポート４１と、第２ポート４２と、弁座４５を有すると共にハウジング６Ｃのハウジング本体６１Ｃに固定される中空の弁座部材４４Ｃとを含む。また、吸着装置１Ｃの開弁保持機構５Ｃは、ピストン７、可変容積室８および第２切換弁１２等により構成されるエア駆動式のアクチュエータの代わりに、電磁アクチュエータ５０を含む。すなわち、吸着装置１Ｃでは、複数の吸着体２ごとに逆止弁４Ｃおよび電磁アクチュエータ５０が設けられる。

図１０に示すように、電磁アクチュエータ５０は、ハウジング６Ｃのハウジング本体６１Ｃ内の弁座部材４４Ｃとプラグ６３との間に配置され、筒状のコア５１と、当該コア５１を包囲するように配置される筒状のコイル５２と、コア５１内に軸方向に移動自在に配置されるプランジャ５３とを含む。コイル５２は、絶縁部材５４を介してハウジング６Ｃのハウジング本体６１Ｃにより保持されると共に、コネクタ５５および制御装置１５Ｃにより開閉制御されるスイッチ５６を介して電源５７に接続されている。

プランジャ５３は、プラグ６３の気体出入口および逆止弁４Ｃの第１ポート４１に連通する気体通路を画成すると共に、逆止弁４Ｃの弁体４０の吸着体２側とは反対側（図中上側）の端部に当接可能である。また、プランジャ５３と弁座部材４４Ｃとの間には、スプリング５８が配置されており、プランジャ５３は、当該スプリング５８によりプラグ６３側すなわち第２ポート４２から第１ポート４１に向かう方向（図中上側）に付勢される。電源５７からコイル５２に電流（電力）が供給されない電磁アクチュエータ５０の取付状態において、プランジャ５３は、図１０に示すように、スプリング５８によりプラグ６３側に付勢されて弁体４０の吸着体２側とは反対側の端部から離間する。これに対して、コイル５２の電流が供給されると、プランジャ５３は、図１１に示すように、スプリング５８の付勢力に抗して吸着体２側すなわち第１ポート４１から第２ポート４２に向かう方向（図中下側）に移動して弁体４０の吸着体２側とは反対側の端部に当接する。

図示しないロボット装置により対象物Ｗを移動させるべく吸着装置１Ｃに対象物Ｗを保持させる際には、複数の吸着体２を対象物Ｗに接触させるように当該ロボット装置が制御される。複数の吸着体２の各々が対象物Ｗに接触すると、吸着装置１Ｃの制御装置１５Ｃは、開弁保持機構５Ｃの電磁アクチュエータ５０のコイル５２に通電し、図１１に示すように、当該電磁アクチュエータ５０のプランジャ５３を弁体４０の吸着体２側とは反対側の端部に当接させる。更に、制御装置１５Ｃは、切換弁１１Ｃが上記第１状態を形成するように当該切換弁１１Ｃの電磁部に通電すると共に、真空発生装置１０を作動させる。

これにより、ハウジング６Ｃのプラグ６３、プランジャ５３の気体通路、逆止弁４の第１および第２ポート４１，４２、フィルタＦ、気体出入口２ａ等を介して各吸着体２の内部の空気が真空発生装置１０により吸引され、対象物Ｗが複数の吸着体２により保持される。この際、プランジャ５３が弁体４０の吸着体２側とは反対側の端部に当接しているので、弁体４０の第２ポート４２から第１ポート４１に向かう方向への移動が規制され、逆止弁４Ｃが開弁状態に保持される。これにより、対象物Ｗに接触した吸着体２内の空気の吸引が開始されたときに、当該吸着体２から真空発生装置１０側へと向かう空気の流量が増加したとしても、弁体４０の移動を規制して逆止弁４Ｃが誤って閉弁してしまうのを良好に抑制することが可能になる。

また、制御装置１５Ｃは、真空発生装置１０による各吸着体２内の空気の吸引開始から時間ｔｒｅｆ（所定時間）が経過した段階で、電磁アクチュエータ５０のコイル５２への通電を解除する。時間ｔｒｅｆは、吸着体２、逆止弁４Ｃ、開弁保持機構５Ｃ、真空発生装置１０等の諸元等に基づいて、真空発生装置１０による吸着体２内の空気の吸引開始後に弁体４０を閉弁側に移動させる空気の流れが形成されなくなるまでの時間として実験・解析を経て予め定められる。これにより、プランジャ５３がスプリング５８によりプラグ６３側に付勢されて弁体４０の吸着体２側とは反対側の端部から離間し、逆止弁４Ｃの閉弁が許容される。

電磁アクチュエータ５０のコイル５２への通電が解除され、かつ各吸着体２が対象物Ｗにしっかりと接触しているときには、第１および第２ポート４１，４２における空気の圧力が十分に低下しているので、逆止弁４Ｃは開弁状態に維持される。これに対して、電磁アクチュエータ５０のコイル５２への通電が解除され、かつ対象物Ｗと何れかの吸着体２との間に隙間が存在しているときには、当該隙間から当該吸着体２内に空気が流入し、第２ポート４２における空気の圧力が高くなる。これにより、弁体４０を円錐面４０ｓが弁座４５に当接するように移動させ、図１２に示すように、閉弁した逆止弁４により吸着体２から真空発生装置１０側への空気の流通を規制することができる。この結果、真空発生装置１０により生成される圧力（真空度）の上昇を抑制し、対象物Ｗの落下を良好に防止することが可能になる。

また、吸着装置１Ｃの各吸着体２により保持された対象物Ｗをリリースする際、制御装置１５Ｃは、電磁アクチュエータ５０のコイル５２への通電を解除したまま、切換弁１１Ｃの電磁部への通電を解除し、当該切換弁１１Ｃを第１状態から第２状態に切り換える。これにより、切換弁１１Ｃのリリースポート１１ｒと流入出ポート１１ａとが連通し、外部の空気（大気圧）が、ハウジング６Ｃのプラグ６３、プランジャ５３の気体通路、逆止弁４の第１および第２ポート４１，４２、フィルタＦ、気体出入口２ａ等を介して各吸着体２の内部（吸着体２と対象物Ｗとの間の空間）に供給される。この結果、各吸着体２の内外における圧力差がなくなり、対象物Ｗが各吸着体２からリリースされる。

上述のように、吸着装置１Ｃでは、電磁アクチュエータ５０に電力を供給して逆止弁４Ｃの弁体４０の第２ポート４２から第１ポート４１に向かう方向への移動を規制した状態で、真空発生装置１０による各吸着体２内の空気の吸引を開始させる。これにより、真空発生装置１０による各吸着体２内の空気の吸引が開始されてから一時的に逆止弁４Ｃを開弁状態に保持することが可能になる。また、真空発生装置１０による各吸着体２内の空気の吸引開始からある程度の時間ｔｒｅｆが経過した段階で、逆止弁４Ｃの閉弁が許容されるように、電磁アクチュエータ５０への電力供給が停止される。この結果、吸着装置１Ｃにおいても、真空発生装置１０による各吸着体２内の空気の吸引が開始されてから逆止弁４Ｃを一時的に開弁状態に保持した上で、その後に逆止弁４Ｃを適正に作動させることが可能になる。

以上説明したように、本開示の吸着装置は、対象物（Ｗ）に接触可能な吸着体（２）と、前記吸着体（２）内の気体を吸引するための真空発生源（１０）とを含む吸着装置（１，１Ｂ，１Ｃ）において、前記真空発生源（１０）に接続される第１ポート（４１）および前記吸着体（２）の気体出入口（２ａ）に接続される第２ポート（４２）を有し、前記第１ポート（４１）と前記第２ポート（４２）との間の圧力差に応じて前記吸着体（２）から前記真空発生源（１０）側への気体の流通を規制するように閉弁する逆止弁（４，４Ｃ）と、前記真空発生源（１０）による前記吸着体（２）内の気体の吸引が開始されてから前記逆止弁（４，４Ｃ）を一時的に開弁状態に保持する開弁保持機構（５，５Ｂ，５Ｃ）とを含むものである。

本開示の吸着装置において、逆止弁は、真空発生源に接続される第１ポートと、吸着体の気体出入口に接続される第２ポートとの間の圧力差に応じて吸着体から真空発生源側への気体の流通を規制するように閉弁する。そして、かかる逆止弁は、真空発生源による吸着体内の気体の吸引が開始されてから開弁保持機構により一時的に開弁状態に保持される。これにより、対象物に接触した吸着体内の気体の吸引が開始されたときに、吸着体から真空発生源側へと向かう気体の流れが形成されたとしても、逆止弁が誤って閉弁してしまうのを良好に抑制することが可能になる。従って、逆止弁が誤って閉弁したときに吸着体内の気体を継続して吸引するためのバイパス通路が不要になり、バイパス通路を介したリークの発生を無くすことができる。この結果、真空発生源の負担を軽減して、コストアップや吸着装置全体の大型化を抑制しつつ、吸着装置の消費エネルギを低減化することが可能になる。

また、前記吸着装置（１）は、絞り部（６５）を介して前記第１ポート（４１）に連通する気体通路（６０）と、前記気体通路（６０）を前記真空発生源（１０）に接続する第１状態と、前記気体通路（６０）を高圧源に接続する第２状態とを選択的に形成する第１切換弁（１１）とを含むものであってもよく、前記開弁保持機構（５）は、前記第１ポート（４１）における気体の圧力を受けるように前記逆止弁（４）の弁体（４０）に連結されると共に、前記第１ポート（４１）に対して前記第２ポート（４２）の反対側に可変容積室（８）を画成するピストン（７）と、前記可変容積室（８）を前記真空発生源（１０）に接続する第１状態と、前記可変容積室（８）を前記高圧源に接続する第２状態とを選択的に形成する第２切換弁（１２）とを含むものであってもよい。

かかる開弁保持機構を含む吸着装置では、第２切換弁が第２状態を形成する状態で第１切換弁を第１状態に切り換えて、真空発生源による吸着体内の気体の吸引を開始させる。これにより、高圧源に連通する可変容積室内の気体の圧力が高く維持されるので、可変容積室の容積変化（容積減少）すなわちピストンおよび弁体の移動を規制して逆止弁を開弁状態に保持することができる。また、真空発生源による吸着体内の気体の吸引開始から所定時間が経過した段階で、第２切換弁が第１状態に切り換えられる。これにより、真空発生源により可変容積室内の気体が吸引され、当該可変容積室内の気体の圧力が低下する。第２切換弁が第１状態に切り換えられ、かつ吸着体が対象物にしっかりと接触しているときには、第１および第２ポートにおける気体の圧力が十分に低下しているので、可変容積室内の気体の圧力が低下しても、逆止弁は開弁状態に維持される。これに対して、第２切換弁が第１状態に切り換えられ、かつ対象物と吸着体との間に隙間が存在しているときには、絞り部の作用（存在）等により逆止弁の弁体の周辺（第１および第２ポート周辺）における気体の圧力が比較的高く保たれている。従って、可変容積室と弁体の周辺との圧力差に応じて吸着体から真空発生源側への気体の流通を規制するように逆止弁を閉弁させることができる。この結果、かかる吸着装置では、真空発生源による吸着体内の気体の吸引が開始されてから逆止弁を一時的に開弁状態に保持した上で、その後に逆止弁を適正に作動させることが可能になる。

更に、前記吸着装置（１）は、前記吸着体（２）を複数含むものであってもよく、複数の前記吸着体（２）ごとに前記逆止弁（４）および前記開弁保持機構（５）が設けられてもよく、複数の前記吸着体（２）に対して１つの前記第１切換弁（１１）が設けられてもよく、複数の前記開弁保持機構（５）に対して１つの前記第２切換弁（１２）が設けられてもよい。

これにより、部品点数の増加を抑制して、コストアップや吸着装置全体の大型化を良好に抑制することが可能になる。

また、前記吸着装置（１Ｂ）は、絞り部（６５）を介して前記第１ポート（４１）に連通する気体通路（６０）と、前記気体通路（６０）を前記真空発生源（１０）に接続する第１状態と、前記気体通路（６０）を高圧源に接続する第２状態とを選択的に形成する切換弁（１１Ｂ）とを含むものであってもよく、前記開弁保持機構（５Ｂ）は、前記第１ポート（４１）における気体の圧力を受けるように前記逆止弁（４）の弁体（４０）に連結されると共に、前記第１ポート（４１）に対して前記第２ポート（４２）の反対側に可変容積室（８）を画成するピストン（７）と、前記気体通路（６０）と前記可変容積室（８）とを連通させる第２の絞り部（６８）とを含むものであってもよい。

かかる開弁保持機構を含む吸着装置では、切換弁を第１状態に切り換えて、真空発生源による吸着体内の気体の吸引を開始させる。また、開弁保持機構の可変容積室は、第２の絞り部を介して気体通路に連通しており、当該可変容積室内の気体の圧力は、真空発生源による吸着体内の気体の吸引の開始後、しばらくの間、第２の絞り部の作用（存在）等により吸着体内の気体の圧力よりも高く維持される。これにより、真空発生源による吸着体内の気体の吸引が開始されてから一時的に可変容積室の容積変化（容積減少）すなわちピストンおよび弁体の移動を規制して逆止弁を開弁状態に保持することが可能になる。また、真空発生源による吸着体内の気体の吸引開始からある程度時間が経過すると、真空発生源により可変容積室内の気体が吸引されて当該可変容積室内の気体の圧力が低下する。更に、吸着体が対象物にしっかりと接触しているときには、可変容積室内の気体の圧力と、第１および第２ポートにおける気体の圧力とが概ね同一になり、逆止弁は開弁状態に維持される。これに対して、可変容積室内の気体の圧力が低下し、かつ対象物と吸着体との間に隙間が存在しているときには、絞り部の作用（存在）等により逆止弁の弁体の周辺（第１および第２ポート周辺）における気体の圧力が比較的高く保たれている。従って、可変容積室と弁体の周辺との圧力差に応じて吸着体から真空発生源側への気体の流通を規制するように逆止弁を閉弁させることができる。この結果、かかる吸着装置においても、真空発生源による吸着体内の気体の吸引が開始されてから逆止弁を一時的に開弁状態に保持した上で、その後に逆止弁を適正に作動させることが可能になる。そして、かかる開弁保持機構によれば、可変容積室を真空発生源および高圧源の何れか一方に選択的に接続する切換弁を省略することができるので、吸着装置のコストを低減することが可能になる。

更に、前記吸着装置（１Ｂ）は、前記吸着体（２）を複数含むものであってもよく、複数の前記吸着体（２）ごとに前記逆止弁（４）および前記開弁保持機構（５Ｂ）が設けられてもよく、複数の前記吸着体（２）に対して１つの前記切換弁（１１Ｂ）が設けられてもよい。

これにより、部品点数を削減して、コストアップや吸着装置全体の大型化を良好に抑制することが可能になる。

また、前記吸着装置（１，１Ｂ）は、前記逆止弁（４）の前記弁体（４０）を内包すると共に前記吸着体（２）に取り付けられるハウジング（６）であって、前記第１ポート（４１）、前記第２ポート（４２）、前記絞り部（６５）および前記気体通路（６０）を有し、かつ前記ピストン（７）と共に前記可変容積室（８）を画成するハウジング（６）を含むものであってもよい。

これにより、逆止弁および開弁保持機構の構成要素の一部を一体化させて吸着装置をコンパクト化することが可能になる。

更に、前記逆止弁は、前記弁体（４０）と、前記弁体（４０）を受ける弁座（４５）とを含むポペットバルブであってもよく、前記逆止弁（４）の前記弁座（４５）は、前記弁体（４０）の移動方向に沿って移動自在であると共に弾性体（４７）により前記第２ポート（４２）から前記第１ポート（４１）に向かう方向に付勢される可動部材（４４）に形成されてもよく、前記可動部材（４４）は、前記気体通路（６０）から前記吸着体（２）に向かう気体の力により前記弾性体（４７）の付勢力に抗して前記第１ポート（４１）から前記第２ポート（４２）に向かう方向に移動し、前記気体通路（６０）と前記第１ポート（４１）とを連通させる連通路（６７）を形成するものであってもよい。

かかる吸着装置では、気体通路が高圧源に接続されると、可動部材が、当該気体通路から吸着体に向かう気体の力により弾性体の付勢力に抗して第１ポートから第２ポートに向かう方向に移動し、当該気体通路と第１ポートとを連通させる連通路を形成する。これにより、第１ポートおよび第２ポートには、絞り部に加えて当該連通路からも気体が供給されることになる。従って、吸着体による対象物の保持を解除するときに、第２ポートすなわち吸着体内に速やかに多くの気体を供給して、当該吸着体から対象物を素早くリリースすることが可能になる。

また、前記開弁保持機構（５Ｃ）は、電力供給に応じて前記逆止弁（４Ｃ）の弁体（４０）の前記第２ポート（４２）から前記第１ポート（４１）に向かう方向への移動を規制するアクチュエータ（５０）を含むものであってもよい。

かかる吸着装置では、アクチュエータに電力を供給して逆止弁の弁体の第２ポートから第１ポートに向かう方向への移動を規制した状態で、真空発生源による吸着体内の気体の吸引を開始させる。これにより、真空発生源による吸着体内の気体の吸引が開始されてから一時的に逆止弁を開弁状態に保持することが可能になる。また、真空発生源による吸着体内の気体の吸引開始からある程度時間が経過した段階で、逆止弁の閉弁が許容されるように、アクチュエータへの電力供給が停止される。この結果、かかる吸着装置においても、真空発生源による吸着体内の気体の吸引が開始されてから逆止弁を一時的に開弁状態に保持した上で、その後に逆止弁を適正に作動させることが可能になる。

更に、前記アクチュエータは、筒状のコア（５１）と、前記コア（５１）を包囲するように配置される筒状のコイル（５２）と、前記逆止弁（４Ｃ）の弁体（４０）の前記吸着体（２）側とは反対側の端部に当接可能になるように前記コア（５１）内に軸方向に移動自在に配置されると共に、弾性体（５８）により前記第２ポート（４２）から前記第１ポート（４１）に向かう方向に付勢されるプランジャ（５３）とを含む電磁アクチュエータ（５０）であってもよい。

また、前記吸着装置（１Ｃ）は、前記吸着体（２）を複数含むものであってもよく、複数の前記吸着体（２）ごとに前記逆止弁（４Ｃ）および前記アクチュエータ（５Ｃ）が設けられてもよい。

そして、本開示の発明は上記実施形態に何ら限定されるものではなく、本開示の外延の範囲内において様々な変更をなし得ることはいうまでもない。更に、上記実施形態は、あくまで発明の概要の欄に記載された発明の具体的な一形態に過ぎず、発明の概要の欄に記載された発明の要素を限定するものではない。

本開示の発明は、吸着装置の製造分野等において利用可能である。

１，１Ｂ，１Ｃ 吸着装置、２ 吸着体、２ａ 気体出入口、３，３Ｂ，３Ｃ 落下防止ユニット、３０ 保持部材、４，４Ｃ 逆止弁、４０ 弁体、４１ 第１ポート、４２ 第２ポート、４４ 可動部材、４４Ｃ 弁座部材、４５ 弁座、４６ 凹部、４７ スプリング、５，５Ｂ，５Ｃ 開弁保持機構、５０ 電磁アクチュエータ、５１ コア、５２ コイル、５３ プランジャ、５８ スプリング（弾性体）、６，６Ｃ ハウジング、６０ 気体通路、６５ 絞り部、６７ 連通路、６８ 第２の絞り部、７ ピストン、８ 可変容積室、９ スプリング（弾性体）、１０ 真空発生装置、１１ 第１切換弁、１１Ｂ，１１Ｃ 切換弁、１２ 第２切換弁、１５，１５Ｂ，１５Ｃ 制御装置、Ｗ 対象物。

Claims (10)

1. 対象物に接触可能な吸着体と、前記吸着体内の気体を吸引するための真空発生源とを含む吸着装置において、
   前記真空発生源に接続される第１ポートおよび前記吸着体の気体出入口に接続される第２ポートを有し、前記第１ポートと前記第２ポートとの間の圧力差に応じて前記吸着体から前記真空発生源側への気体の流通を規制するように閉弁する逆止弁と、
   前記真空発生源による前記吸着体内の気体の吸引が開始されてから前記逆止弁を一時的に開弁状態に保持する開弁保持機構と、
   を備える吸着装置。
2. 請求項１に記載の吸着装置において、
   絞り部を介して前記第１ポートに連通する気体通路と、
   前記気体通路を前記真空発生源に接続する第１状態と、前記気体通路を高圧源に接続する第２状態とを選択的に形成する第１切換弁と、
   を更に備え、
   前記開弁保持機構は、前記第１ポートにおける気体の圧力を受けるように前記逆止弁の弁体に連結されると共に、前記第１ポートに対して前記第２ポートの反対側に可変容積室を画成するピストンと、前記可変容積室を前記真空発生源に接続する第１状態と、前記可変容積室を前記高圧源に接続する第２状態とを選択的に形成する第２切換弁とを含む吸着装置。
3. 請求項２に記載の吸着装置において、
   前記吸着体を複数備え、
   複数の前記吸着体ごとに前記逆止弁および前記開弁保持機構が設けられ、複数の前記吸着体に対して１つの前記第１切換弁が設けられ、複数の前記開弁保持機構に対して１つの前記第２切換弁が設けられる吸着装置。
4. 請求項１に記載の吸着装置において、
   絞り部を介して前記第１ポートに連通する気体通路と、
   前記気体通路を前記真空発生源に接続する第１状態と、前記気体通路を高圧源に接続する第２状態とを選択的に形成する切換弁と、
   を更に備え、
   前記開弁保持機構は、
   前記第１ポートにおける気体の圧力を受けるように前記逆止弁の弁体に連結されると共に、前記第１ポートに対して前記第２ポートの反対側に可変容積室を画成するピストンと、前記気体通路と前記可変容積室とを連通させる第２の絞り部とを含む吸着装置。
5. 請求項４に記載の吸着装置において、
   前記吸着体を複数備え、
   複数の前記吸着体ごとに前記逆止弁および前記開弁保持機構が設けられ、複数の前記吸着体に対して１つの前記切換弁が設けられる吸着装置。
6. 請求項２から５の何れか一項に記載の吸着装置において、
   前記逆止弁の前記弁体を内包すると共に前記吸着体に取り付けられるハウジングであって、前記第１ポート、前記第２ポート、前記絞り部および前記気体通路を有し、かつ前記ピストンと共に前記可変容積室を画成するハウジングを更に備える吸着装置。
7. 請求項２から５の何れか一項に記載の吸着装置において、
   前記逆止弁は、前記弁体と、前記弁体を受ける弁座とを含むポペットバルブであり、
   前記逆止弁の前記弁座は、前記弁体の移動方向に沿って移動自在であると共に弾性体により前記第２ポートから前記第１ポートに向かう方向に付勢される可動部材に形成され、
   前記可動部材は、前記気体通路から前記吸着体に向かう気体の力により前記弾性体の付勢力に抗して前記第１ポートから前記第２ポートに向かう方向に移動し、前記気体通路と前記第１ポートとを連通させる連通路を形成する吸着装置。
8. 請求項１に記載の吸着装置において、
   前記開弁保持機構は、電力供給に応じて前記逆止弁の弁体の前記第２ポートから前記第１ポートに向かう方向への移動を規制するアクチュエータを含む吸着装置。
9. 請求項８に記載の吸着装置において、
   前記アクチュエータは、筒状のコアと、前記コアを包囲するように配置される筒状のコイルと、前記逆止弁の弁体の前記吸着体側とは反対側の端部に当接可能になるように前記コア内に軸方向に移動自在に配置されると共に、弾性体により前記第２ポートから前記第１ポートに向かう方向に付勢されるプランジャとを含む電磁アクチュエータである吸着装置。
10. 請求項８または９に記載の吸着装置において、
    前記吸着体を複数備え、複数の前記吸着体ごとに前記逆止弁および前記アクチュエータが設けられる吸着装置。