JP2024044300A - 基板搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】基板の搬送経路にそれぞれ設定されて基板の有無を検出する二つの検出位置の相対位置関係を正確に求めることができる基板搬送装置を提供する。
【解決手段】基板搬送装置は、基板の搬送経路の第一位置に前記基板が存在するか否かを検出する第一センサと、前記搬送経路において前記第一位置より下流側の第二位置に前記基板が存在するか否かを検出する第二センサと、前記搬送経路に沿って前記基板を搬送させて、前記第一センサおよび前記第二センサの一方に前記基板の前端または後端を検出させた後、前記基板を搬送させて前記第一センサおよび前記第二センサの他方に前記基板の前端または後端を検出させ、二つの検出の間で前記基板を搬送した搬送距離に基づいて、前記第一位置と前記第二位置との第一離間距離を算出する第一算出部と、を備える。
【選択図】図４

Description

本明細書は、搬送経路に沿って基板を搬送する基板搬送装置に関する。

回路パターンが形成された基板に対基板作業を実施して、基板製品を量産する技術が普及している。一般的に、対基板作業を実施する対基板作業機は、基板の搬入、停止位置への位置決め、および搬出を行う基板搬送装置を備える。基板搬送装置の多くは、搬送途中の基板の位置を検出するセンサを備え、センサの検出結果に基づいて基板を所定の停止位置に停止させる。停止位置の位置誤差が大きい場合、基板搬送装置は、基板を再搬送して停止位置を補正する。これにより、対基板作業の実施が可能となる。この種の基板搬送装置に関する一技術例が特許文献１に開示されている。

特許文献１の基板コンベア制御装置は、電動モータの作動により周回させられる基板コンベアの搬送経路に設けられて基板の特定部分（前端、後端）を検出する第一基板センサおよび第二基板センサと、いずれかの基板センサの検出結果に基づいて電動モータの作動量を指令する指令部と、基板センサの検出と電動モータの停止との間の経過時間、または二つの基板センサの検出の間の電動モータの作動量に基づいて基板の停止位置を推定する推定部と、を備える。これによれば、二つの基板センサによって基板を検出することにより、基板の停止位置の推定を安価に行うことができ、推定結果を種々に活用することができる、とされている。

特開２０１２－９９６６８号公報

ところで、特許文献１の技術例では、第一基板センサおよび第二基板センサの検出結果に基づいて、基板の停止位置を推定できる点で好ましい。しかしながら、第一基板センサおよび第二基板センサとして、検出光が基板によって遮光されるか否かを検出する遮光検出方式のセンサが使用される。このため、基板の種類を変更するときの段取り替え作業時などに、センサの位置の変更や検出感度の調整などを行う場合に検出位置が変位する可能性がある。換言すると、第一基板センサが検出を行う第一位置、および第二基板センサが検出を行う第二位置に位置誤差が生じる場合がある。仮に位置誤差が生じていると、基板の停止位置の推定精度が低下する。

それゆえ、本明細書では、基板の搬送経路にそれぞれ設定されて基板の有無を検出する二つの検出位置の相対位置関係を正確に求めることができる基板搬送装置を提供することを解決すべき課題とする。

本明細書は、基板の搬送経路の第一位置に前記基板が存在するか否かを検出する第一センサと、前記搬送経路において前記第一位置より下流側の第二位置に前記基板が存在するか否かを検出する第二センサと、前記搬送経路に沿って前記基板を搬送させて、前記第一センサおよび前記第二センサの一方に前記基板の前端または後端を検出させた後、前記基板を搬送させて前記第一センサおよび前記第二センサの他方に前記基板の前端または後端を検出させ、二つの検出の間で前記基板を搬送した搬送距離に基づいて、前記第一位置と前記第二位置との第一離間距離を算出する第一算出部と、を備える基板搬送装置を開示する。

なお、本明細書では、出願当初の請求項６において「請求項１～４のいずれか一項に記載の基板搬送装置」を「請求項１～５のいずれか一項に記載の基板搬送装置」に変更した技術的思想、出願当初の請求項９において「請求項１に記載の基板搬送装置」を「請求項１～８のいずれか一項に記載の基板搬送装置」に変更した技術的思想、および出願当初の請求項１５において「請求項１～４、９～１２のいずれか一項に記載の基板搬送装置」を「請求項１～１２のいずれか一項に記載の基板搬送装置」に変更した技術的思想を開示している。

本明細書で開示する基板搬送装置によれば、第一算出部は、基板を搬送させて第一センサおよび第二センサに基板の前端または後端を検出させることにより、基板の搬送距離に基づいて第一位置と第二位置との第一離間距離を算出するので、二つの検出位置の相対位置関係に相当する第一離間距離を正確に求めることができる。

実施形態の基板搬送装置を適用する部品装着機の全体構成を模式的に示す平面図である。 基板搬送装置の停止位置付近の正面断面図である。 基板搬送装置の側面図である。 基板搬送装置に設定される第一位置、第二位置、および停止位置を模式的に示す平面図である。 基板搬送装置の制御の構成を示すブロック図である。 基板搬送装置の動作を説明するメイン動作フローの図である。 図６のステップＳ３の第一算出部の動作の詳細を説明するサブ動作フローの図である。 第一算出部の動作を基板の搬送によって模式的に説明する模式図である。 図７のステップＳ１６およびステップＳ１７の変形例を模式的に説明する模式図である。 図６のステップＳ４の第二算出部の動作の詳細を説明するサブ動作フローの図である。 第二算出部の動作を模式的に説明する模式図である。 停止位置調整部が初期設定するタイムチャートの図である。 図１２のタイムチャートに対応する基板の位置を示す模式図である。 図６のステップＳ８の停止位置調整部の動作の詳細を説明するサブ動作フローの図である。 停止位置調整部による停止位置の調整動作を説明する調整タイムチャートの図である。 図１５の調整タイムチャートに対応する基板の位置を示すとともに、停止位置の調整動作を模式的に説明する模式図である。 基板に代えて用いる計測用治具の裏面図である。

１．部品装着機１の全体構成
実施形態の基板搬送装置２を適用する対基板作業機として部品装着機１を例示し、図１を参考にして説明する。部品装着機１は、基板Ｋに部品を装着する装着作業を実施する。図１の紙面左側から右側に向かう水平方向が基板Ｋを搬送するＸ軸方向、紙面下側（前側）から紙面上側（後側）に向かう水平方向がＹ軸方向、鉛直方向がＺ軸方向となる。部品装着機１は、基板搬送装置２、部品供給装置３、部品移載装置４、および図略の制御装置などが基台１０に組み付けられて構成される。

基板搬送装置２は、基板Ｋの搬送経路となる一対のガイドレール２１を有する。基板搬送装置２は、基板搬入装置や外部搬送装置によってガイドレール２１の搬入端（図１の左端）に搬入された基板Ｋをガイドレール２１に沿って搬送し、所定の停止位置ＳＴまで搬送する。基板Ｋの所定の停止位置ＳＴは、搬送経路の搬送方向の中央に設定される（図４参照）。停止位置ＳＴに位置決めされた基板Ｋに対して、部品移載装置４による部品の装着作業が実施される。装着作業が終了した後、基板搬送装置２は、当該の基板Ｋを停止位置ＳＴから搬出端（図１の右端）まで搬送し、機外に搬出する。基板搬送装置２に関しては、後で詳述する。

部品供給装置３は、基台１０の上面のＹ軸方向の前部に配置される。部品供給装置３は、Ｘ軸方向に並んで配列された複数のテープフィーダ３１により構成される。複数のテープフィーダ３１の各々は、多数の部品が一列に収納されたキャリアテープを先端側の供給位置３２に向けて送り出す。キャリアテープは、供給位置３２で部品を採取可能に供給する。

部品移載装置４は、Ｙ軸移動体４１、Ｘ軸移動体４２、装着ヘッド４３、ロータリツール４４、複数の吸着ノズル４５、基板カメラ４６、および部品カメラ４７などで構成される。Ｙ軸移動体４１は、Ｘ軸方向に長い部材で形成され、Ｙ軸駆動機構に駆動されてＹ軸方向に移動する。Ｘ軸移動体４２は、Ｙ軸移動体４１に装架され、Ｘ軸駆動機構に駆動されてＸ軸方向に移動する。装着ヘッド４３は、Ｘ軸移動体４２の前面に取り付けられる。装着ヘッド４３は、Ｘ軸移動体４２とともに水平二方向に駆動され、部品供給装置３の上方および基板Ｋの上方まで移動する。装着ヘッド４３（またはＸ軸移動体４２）の位置を表すＸ－Ｙ座標系を用いて、基板搬送装置２における所定の停止位置ＳＴが設定される。

装着ヘッド４３の下側に、ロータリツール４４が回転可能に設けられる。ロータリツール４４は、図略のＲ軸駆動機構に駆動されて垂直中心軸の回りに自転する。ロータリツール４４は、複数（図１の例では１２本）の吸着ノズル４５を垂直中心軸から等距離に有する。吸着ノズル４５は、図略の昇降駆動機構に駆動されて昇降し、図略のＱ軸駆動機構に駆動されて垂直軸の回りに自転する。吸着ノズル４５は、さらにエア供給機構から負圧エアおよび正圧エアが選択的に供給される。これにより、吸着ノズル４５は、部品供給装置３から部品を吸着する吸着処理、および部品を基板Ｋに装着する装着処理を行う。なお、装着ヘッド４３は、ロータリツール４４が省略されて複数の吸着ノズル４５が一列に並んで配置され、または格子状に配置されてもよい。

基板カメラ４６は、装着ヘッド４３と並んでＸ軸移動体４２に下向きに設けられる。基板カメラ４６は、基板Ｋに付設された位置基準マークを上方から撮像する。取得された画像データは画像処理され、基板Ｋの停止位置が正確に求められる。部品カメラ４７は、基板搬送装置２と部品供給装置３の間の基台１０上に上向きに設けられる。部品カメラ４７は、装着ヘッド４３が部品供給装置３から基板Ｋに移動する途中で、吸着ノズル４５に保持された部品を下方から撮像して認識する。これにより、部品の種類の正誤が判定され、また、吸着ノズル４５に対する部品の位置や向きが検出されて装着処理に反映される。基板カメラ４６および部品カメラ４７として、ＣＣＤ（Charge Coupled Device）やＣＭＯＳ（Complementary Metal Oxide Semiconductor）等の撮像素子を有するデジタル式の撮像装置を例示できる。

図略の制御装置は、基台１０に組み付けられており、その配設位置は特に限定されない。制御装置は、コンピュータ装置により構成される。なお、制御装置は、複数のＣＰＵが機内に分散配置され、かつ通信接続されて構成されてもよい。制御装置は、基板Ｋの種類ごとに作成された装着作業データに基づいて、基板搬送装置２、部品供給装置３、および部品移載装置４を制御し、部品の装着作業を進める。装着作業データは、基板Ｋの種類や部品の種類および装着座標位置などに関する情報、使用するテープフィーダ３１や吸着ノズル４５などに関する情報、ならびに装着作業の詳細な手順などを記述したデータである。

２．基板搬送装置２の装置構成
次に、実施形態の基板搬送装置２の装置構成について、図２～図４を参考にして説明する。基板Ｋの搬送方向（順方向）は、図２では紙面の表側から裏側に向かい、図３では左方から右方に向かう。基板搬送装置２は、前述した一対のガイドレール２１、一対のコンベアベルト２２、パルスモータ２３、クランプ装置２４、第一センサ５１、第二センサ５２、第三センサ５３、および搬送制御部８（図５参照）などで構成される。

図２および図３に示されるように、基台１０の上面から起立し互いに離隔して平行配置された一対の支持板２９が設けられる。一対の支持板２９の各々の上側に、それぞれガイドレール２１が設けられる。一対のガイドレール２１は、基板Ｋの搬送経路を構成する。一対のガイドレール２１は、相互の離間距離が基板Ｋの幅寸法に対応して設定される。この離間距離は、一方の支持板２９が基台１０の上面をスライド移動することで、可変に調整されるようになっている。

一対のガイドレール２１の対向する内側に、搬送方向に延びるベルトガイド２１１が配置される。各ガイドレール２１に沿いつつベルトガイド２１１の上面に案内されるように、無端環状のコンベアベルト２２が設けられる。コンベアベルト２２の上面には、基板Ｋの搬送方向に沿った二辺が載置される。コンベアベルト２２は、基板Ｋの搬送方向の滑りを許容しつつ基板Ｋを保持した状態で搬送経路（ガイドレール２１）に沿って移動する移動部材の一実施例である。

図２に示されるように、コンベアベルト２２は、前後一対の搬送ガイドプーリ２２２、前後一対の戻しプーリ２２３、方向変換プーリ２２４、駆動プーリ２２５、及びテンション付与プーリ２２６に係合している。テンション付与プーリ２２６は、コンベアベルト２２に張力を付与して弛緩を防止する。駆動プーリ２２５は、スプライン軸２２７と一体回転されるように支持される。スプライン軸２２７は、搬送方向に直交して延在し、一対の駆動プーリ２２５の中心にそれぞれ固定される。スプライン軸２２７は、パルスモータ２３からギア機構を介して回転駆動される。パルスモータ２３は、移動部材（コンベアベルト２２）を移動させる搬送駆動部の一実施例である。

パルスモータ２３は、駆動パルスが入力されて制御されることにより、スプライン軸２２７を回転させ、一対の駆動プーリ２２５を介して一対のコンベアベルト２２を輪転させる。これにより、一対のコンベアベルト２２は、同期して輪転し（移動し）、その上面に基板Ｋを保持して搬送する。基板Ｋは、コンベアベルト２２に載置されるだけで係止されない。したがって、基板Ｋは、コンベアベルト２２が移動するときの加速度や減速度が大きい場合に、コンベアベルト２２に対して搬送方向に滑る（相対移動する）ことがある。なお、基板Ｋの滑りは、加速度および減速度以外の要因、例えば、搬送途中の上下動や、外部から搬入端に搬入されたときの勢いなどでも生じ得る。

パルスモータ２３は、正パルス（正極性の駆動パルス）の入力により所定角度だけ正転し、負パルス（負極性の駆動パルス）の入力により所定角度だけ逆転する。パルスモータ２３の所定角度の正転または逆転により、コンベアベルト２２は、所定の単位距離だけ順方向または逆方向に輪転する。パルスモータ２３に入力される正パルスおよび負パルスのパルス数は、パルスカウンタ８４（図５参照）によってカウントされる。正パルスのパルス数から負パルスのパルス数を減算した実効パルス数に単位距離を乗算することにより、コンベアベルト２２の順方向への輪転量、すなわち順方向の移動距離を求めることができる。また、或る期間内の実効パルス数の変化量に基づいて、当該期間内のコンベアベルト２２の移動距離を求めることができる。実効パルス数の変化量が正値の場合、基板Ｋが順方向に搬送されたことを示し、変化量が負値の場合、基板Ｋが逆方向に搬送されたことを示す。

クランプ装置２４は、停止位置ＳＴの下側に配置される、クランプ装置２４は、複数の支持ピン２４１、台座２４２、複数のパイロットバー２４３、および流体圧シリンダ２４４などで構成される。複数の支持ピン２４１は、矩形板状の台座２４２の上面に起立して設けられる。複数の支持ピン２４１は、搬送する基板Ｋの種類に対応して、適宜使用本数および配置が調整される。台座２４２は、複数のパイロットバー２４３により上下動可能に支持および案内される。台座２４２は、流体圧シリンダ２４４によって、昇降駆動される。

クランプ装置２４は、基板Ｋが停止位置ＳＴ付近まで搬送されて停止した後に動作する。詳述すると、流体圧シリンダ２４４は台座２４２を上昇させる。台座２４２とともに上昇する支持ピン２４１は、基板Ｋを上方に押し上げる（図２の二点鎖線参照）。基板Ｋは、ガイドレール２１の上部から内向きに延びる押え部２１８と支持ピン２４１の間の高さＫＫにクランプされて位置決めされる（クランプ動作）。部品移載装置４による部品の装着作業が終了した後、流体圧シリンダ２４４は、台座２４２を下降させて、基板Ｋのクランプ状態を解除する（解除動作）。これにより、基板Ｋは、再びコンベアベルト２２に載置され、搬出端までの搬送および機外への搬出が可能となる。

図３および図４に示されるように、第一センサ５１は、コンベアベルト２２が搬送機能を発揮する搬送経路の上流側の搬入端を目標検出位置とするように配置される。第二センサ５２は、搬送経路の中央に設定された停止位置ＳＴを目標検出位置とするように配置される。第三センサ５３は、搬送経路の下流側の搬出端を目標検出位置とするように配置される。第一センサ５１、第二センサ５２、および第三センサ５３は、それぞれの検出位置に基板Ｋが存在するか否かを検出する。第一センサ５１、第二センサ５２、および第三センサ５３は、互いに同一構成であり、投光部６および受光部７などで構成される。

図２および図４に示されるように、投光部６は一方のガイドレール２１に設けられ、受光部７は他方のガイドレール２１に設けられる。投光部６は、受光部７に向かって概ね水平方向に検出光ＬＤを投光し、受光部７は、検出光ＬＤを受光する。検出光ＬＤは、光束の径寸法が安定し、かつ直進性に優れたものが好ましい。検出光ＬＤが基板Ｋによって遮光されたとき、受光部７は、検出光ＬＤを受光せず、このときに基板Ｋの存在を検出する。受光部７は、基板Ｋを検出している遮光時間帯にオン信号を出力し、基板Ｋを検出していない受光時間帯にオフ信号を出力する。

したがって、オン信号からオフ信号への変化点は、搬送途中の基板Ｋの通過の終了を意味する。一方、オフ信号からオン信号への変化点は、搬送途中の基板Ｋの進入の開始を意味する。以上の説明から分かるように、第一センサ５１、第二センサ５２、および第三センサ５３の出力信号の変化点、ならびに基板Ｋの搬送方向（順方向または逆方向）に基づいて、基板Ｋの前端ＫＦおよび後端ＫＲを検出することが可能である。

第一センサ５１、第二センサ５２、および第三センサ５３は、それぞれ目標検出位置を狙って取り付けられるが、実際には、取り付け位置の位置誤差が生じている場合がある。また、基板Ｋの種類を変更するときの段取り替え作業では、基板Ｋの幅寸法の相違に対応するために一方の支持板２９およびガイドレール２１をスライド移動させたときに、投光部６または受光部７が一緒に移動する。このため、投光部６または受光部７が搬送方向に変位する可能性がある。さらに、段取り替えの前後で相違する基板Ｋの厚さや、基板Ｋの前端ＫＦや後端ＫＲに装着されている部品の有無に適合するように、投光部６の検出光ＬＤの光束を調整したり、受光部７の受光感度を調整したりする場合がある。この場合、センサが変位しなくても検出位置がずれる可能性がある。

つまり、第一センサ５１の検出位置に相当する第一位置Ｐ１は、搬送経路の搬入端に位置誤差を許容して設定される。第二センサ５２の検出位置に相当する第二位置Ｐ２は、搬送経路の停止位置ＳＴに位置誤差を許容して設定される。第三センサ５３の検出位置に相当する第三位置Ｐ３は、搬送経路の搬出端に位置誤差を許容して設定される。以降の説明を分かりやすくするために、図４、図８、図９、図１１、図１３、および図１６において、第二位置Ｐ２と停止位置ＳＴとの位置誤差を誇張して示す。なお、停止位置ＳＴは、基板Ｋの搬送方向の中央ＫＭを停止させる位置である。第一センサ５１および第二センサ５２は、上記と異なる目標検出位置を狙って取り付けられてもよい。この態様では、搬入端に近い上流側の検出位置が第一位置Ｐ１となり、停止位置ＳＴに近い下流側の検出位置が第二位置Ｐ２となる。

従来技術において、搬送制御部８は、上記した位置誤差を考慮せずに、第一位置Ｐ１が搬入端に一致し、第二位置Ｐ２が停止位置ＳＴに一致するものとして基板Ｋの搬送を制御していた。そのため、基板カメラ４６が基板Ｋの実際の停止位置を確認したときに、実際の停止位置が所定の停止位置ＳＴから許容誤差（例えば±１ｍｍ）の範囲内に収まらないケースが発生し、または当該ケースの発生頻度が増加していた。当該ケースでは、クランプ装置２４を一旦解除動作させ、基板Ｋを再搬送して停止位置ＳＴに近付け、クランプ装置２４を再度クランプ動作させて、基板カメラ４６を再度撮像動作させる必要が生じる。このため、部品装着機１の生産効率が大幅に低下するという問題点が生じていた。

３．基板搬送装置２の制御に関する構成
本実施形態では、上記の問題点への対応策として、搬送制御部８に第一算出部８１、第二算出部８２、および停止位置調整部８３を設ける。この対応策は、ソフトウェアの更新によって実施可能であり、ハードウェアの変更が不要である。したがって、この対応策は、新規に製造する部品装着機１だけでなく、ユーザに納品済みの部品装着機１にも容易に適用することができる。以下、基板搬送装置２の制御に関する構成について、図５を参考にして説明する。

搬送制御部８は、ＣＰＵを有してソフトウェアで動作するコンピュータ装置を用いて構成される。搬送制御部８は、第一センサ５１、第二センサ５２、および第三センサ５３から出力信号を受け取る。また、搬送制御部８は、クランプ装置２４のクランプ動作および解除動作を制御する。さらに、搬送制御部８は、パルスモータ２３に入力する駆動パルスの正負の極性および時間間隔（発生頻度）を制御することにより、コンベアベルト２２の移動方向、加速度、移動速度、および減速度を制御する。コンベアベルト２２の移動速度として、第一算出部８１が用いる低速移動速度ＶＬ、および停止位置調整部８３が用いる通常時移動速度ＶＨが使い分けられる。通常時移動速度ＶＨは、パルスモータ２３の定格出力状態に相当する最高移動速度に設定される。または、通常時移動速度ＶＨは、低速移動速度ＶＬと最高移動速度の間に設定される。

低速移動速度ＶＬでは、その前後の加速度および減速度を相対的に小さくすることができるので、通常時移動速度ＶＨで基板Ｋを搬送するよりも前述した基板Ｋの搬送方向の滑りが発生し難い。第一算出部８１は、低速移動速度ＶＬを用いることで、第一離間距離Ｄ１の算出精度を高めることができる（後述）。一方、通常時移動速度ＶＨでは、その前後の加速度および減速度が相対的に大きくなるので、基板Ｋの搬送方向の滑りが発生する可能性がある。それでも、停止位置調整部８３は、通常時移動速度ＶＨを用いることにより、基板Ｋの搬送に要する搬送時間を短縮化して搬送効率を高める。

搬送制御部８は、移載制御部９に直接的に通信接続され、または前記した制御装置や他の部位を介して間接的に通信接続される。移載制御部９は、部品移載装置４の装着作業を制御する。具体的には、移載制御部９は、Ｙ軸移動体４１およびＸ軸移動体４２の移動を制御して、装着ヘッド４３の位置を制御する。また、移載制御部９は、前記したＲ軸駆動機構、昇降駆動機構、Ｑ軸駆動機構、およびエア供給機構の動作を制御する。さらに、移載制御部９は、基板カメラ４６および部品カメラ４７の撮像動作を制御する。

移載制御部９は、基板カメラ４６が取得した画像データを画像処理する画像処理部９１を含む。一般的な画像処理部９１は、画像データ内の基板Ｋの位置基準マークの位置を検出して、基板Ｋの停止位置を検出する。本実施形態において、画像処理部９１は、画像データ内の基板Ｋの前端ＫＦや後端ＫＲの辺縁の位置を検出して基板Ｋの停止位置を検出する機能が付加される。搬送制御部８の第二算出部８２は、部品移載装置４および移載制御部９の一部を利用する（後述）。

第一算出部８１、第二算出部８２、および停止位置調整部８３は、搬送制御部８を構成するコンピュータ装置のソフトウェアを用いて構成される。基板搬送装置２は、基板Ｋを搬入端から停止位置ＳＴまで順方向に搬送する順方向動作、および基板Ｋを搬出端から停止位置ＳＴまで逆方向に搬送する逆方向動作の両方が可能である。以降では、順方向動作で第一センサ５１および第二センサ５２を用いる場合について説明する。逆方向動作については、以降の説明の第一センサ５１および第一位置Ｐ１を第三センサ５３および第三位置Ｐ３に読み替えるとともに、基板Ｋの前端ＫＦと後端ＫＲを読み替え、搬送経路の順方向と逆方向とを入れ替えて解釈することができる。

第一算出部８１は、まず、搬送経路に沿って基板Ｋを搬送させて、第一センサ５１および第二センサ５２の一方に基板Ｋの前端ＫＦまたは後端ＫＲを検出させる。第一算出部８１は、その後、基板Ｋを搬送させて、第一センサ５１および第二センサ５２の他方に基板Ｋの前端ＫＦまたは後端ＫＲを検出させる。第一算出部８１は、その次に、二つの検出の間で基板Ｋを搬送した搬送距離に基づいて、第一位置Ｐ１と第二位置Ｐ２との第一離間距離Ｄ１（図８、図９参照）を算出する。

上記のように、第一センサ５１および第二センサ５２による二つの検出の順序は、どちらのセンサが先でもよい。また、二つの検出の間の基板Ｋの搬送方向は、順方向および逆方向のどちらでもよい。さらに、二つの検出の検出対象は、（１）基板Ｋの前端ＫＦを２回検出、（２）基板Ｋの後端ＫＲを２回検出、（３）基板Ｋの前端ＫＦを検出しその後に後端ＫＲを検出、（４）基板Ｋの後端ＫＲを検出しその後に前端ＫＦを検出、のいずれでもよい。

第一算出部８１は、パルスモータ２３を制御することにより、コンベアベルト２２を移動させて基板Ｋを搬送させ、二つの検出の間のコンベアベルト２２の移動距離に基づいて基板Ｋの搬送距離を求める。詳述すると、本実施形態において、第一算出部８１は、通常時移動速度ＶＨよりも基板Ｋの滑りが発生し難い低速移動速度ＶＬを用いる。第一算出部８１は、二つの検出の間にパルスモータ２３に入力された駆動パルスの実効パルス数の変化量に単位距離を乗算してコンベアベルト２２の移動距離を求める。さらに第一算出部８１は、コンベアベルト２２の移動距離をそのまま基板Ｋの搬送距離とすることができる。このように、通常時移動速度ＶＨよりも基板Ｋの滑りが発生し難い低速移動速度ＶＬを用いることで、基板Ｋの搬送距離を正確にかつ簡単に求めることができる。

第一算出部８１が第一離間距離Ｄ１を算出する具体的な方法は、検出対象が前記（１）～（４）のいずれであるかに応じて変化する。（１）および（２）の場合、第一算出部８１は、基板Ｋの搬送距離をそのまま第一離間距離Ｄ１とすることができる。（３）および（４）の場合、第一算出部８１は、基板Ｋの搬送距離に対して基板Ｋの搬送方向の長さ寸法ＬＫを加算または減算して第一離間距離Ｄ１を算出する。搬送制御部８は、長さ寸法ＬＫの情報を予め取得していてもよいし、基板Ｋを用いて長さ寸法ＬＫを実測してもよい。実測する場合、搬送制御部８は、例えば、低速移動速度ＶＬを用いて基板Ｋを順方向に搬送し、第二センサ５２が前端ＫＦを検出してから後端ＫＲを検出するまでにパルスモータ２３に入力される正パルスのパルス数に単位距離を乗算して長さ寸法ＬＫを算出する。

一方、第二算出部８２は、搬送経路に位置する基板Ｋを検出可能な検出部を制御して、第二センサ５２が基板Ｋの前端ＫＦまたは後端ＫＲを検出したときの基板Ｋの位置を検出させる。さらに、第二算出部８２は、検出結果に基づいて、所定の停止位置ＳＴと第二位置Ｐ２との第二離間距離Ｄ２（図１１参照）を算出する。前記したように第二センサ５２が基板Ｋの前端ＫＦまたは後端ＫＲを検出したとき、前端ＫＦまたは後端ＫＲは、第二位置Ｐ２に停止している。第二算出部８２は、上記の検出部として基板カメラ４６および画像処理部９１で構成される撮像画像処理装置を用いて基板Ｋの位置を検出することにより、間接的に第二位置Ｐ２を検出する。

具体的に説明すると、第二算出部８２は、移載制御部９と連携して制御を行うことにより、基板カメラ４６を所望する位置に移動させ、基板Ｋの撮像動作を行わせて画像データを取得させる。この画像データが画像処理部９１に画像処理されて、基板Ｋの前端ＫＦまたは後端ＫＲの位置、すなわち第二位置Ｐ２が求められる。この画像処理は、部品移載装置４のＸ－Ｙ座標系を用いて行われる。一方、停止位置ＳＴは、同じＸ－Ｙ座標系を用いて設定されている。したがって、第二算出部８２は、第二離間距離Ｄ２を正確に算出することができる。第二離間距離Ｄ２は、正値の場合（第二位置Ｐ２が停止位置ＳＴよりも上流側）、ゼロの場合、および負値の場合（第二位置Ｐ２が停止位置ＳＴよりも下流側）がある。

搬送制御部８は、算出した第一離間距離Ｄ１および第二離間距離Ｄ２に基づいてパルスモータ２３を制御することにより、コンベアベルト２２を移動させて基板Ｋを停止位置ＳＴに停止させる。基板Ｋの停止位置の調整は、停止位置調整部８３によって実施される。停止位置調整部８３は、高い搬送効率を確保するために通常時移動速度ＶＨを用いて基板Ｋを順方向に搬送する制御を行い、原則的に基板Ｋを逆方向に搬送する制御を行わない。

停止位置調整部８３は、基板Ｋを順方向に搬送させ、第一センサ５１が基板Ｋの後端ＫＲを検出してから第二センサ５２が基板Ｋの前端ＫＦを検出するまでに要したコンベアベルト２２の実移動距離Ｍｒｌを求める。具体的には、停止位置調整部８３は、二つの検出の間にパルスモータ２３に入力された正パルスのパルス数に単位距離を乗算して実移動距離Ｍｒｌを求める。停止位置調整部８３は、次に、第一離間距離Ｄ１から基板Ｋの搬送方向の長さ寸法ＬＫを減算した理論移動距離Ｍｔｈを算出する。停止位置調整部８３は、その次に、実移動距離Ｍｒｌと理論移動距離Ｍｔｈとの差分距離△Ｍを求める（図１６参照）。本実施形態において、停止位置調整部８３は、時刻および経過時間を計測するクロック８５を用い、上記と異なる方法で差分距離△Ｍを求める（後述）。

差分距離△Ｍは、基板Ｋの搬送方向の滑り量（相対移動量）に相当するものである。したがって、差分距離△Ｍに基づいて、基板Ｋの滑りの程度を推定することが可能である。例えば、差分距離△Ｍを実移動距離Ｍｒｌで除算することにより、滑り率を求めることができる。

停止位置調整部８３は、差分距離△Ｍに基づいて、第二センサ５２が基板Ｋの前端ＫＦを検出した以降にコンベアベルト２２を移動させる移動距離ＭＲを調整する。移動距離ＭＲの具体的な調整方法は、基板搬送装置２の詳細な構造および動作特性、ならびに基板Ｋとの相性に応じて変更される。例えば、停止位置調整部８３は、上記した滑り率が以降も同程度に発生すると想定して移動距離ＭＲを調整する。

一般的に、部品装着機１は、同種の複数の基板Ｋを対象として装着作業を繰り返す。第一算出部８１および第二算出部８２は、１番目の基板Ｋを対象として動作することにより、第一離間距離Ｄ１および第二離間距離Ｄ２を正確に算出することができる。停止位置調整部８３は、２番目以降の基板Ｋを対象として、算出された第一離間距離Ｄ１および第二離間距離Ｄ２を用いることにより、基板Ｋが実際に停止する停止位置の位置精度を高めることができる。第一算出部８１、第二算出部８２、および停止位置調整部８３については、次の動作の説明の中でさらに述べる。

４．基板搬送装置２の動作
次に、基板搬送装置２の動作について、図６～図１５を参考にして説明する。図６に示されたメイン動作フローは、主に搬送制御部８からの制御によって進められ、部分的に部品装着機１の基板搬送装置２以外の部位および作業者が関与する。図６のステップＳ１で、基板Ｋの種類を現基板種から次基板種に変更する段取り替え作業が行われる。作業者は、次基板種の基板Ｋの幅寸法に合わせて、一方の支持板２９およびガイドレール２１をスライド移動させるとともに、次基板種の基板Ｋに適合するように投光部６および受光部７を調整する。この時点で、第一離間距離Ｄ１および第二離間距離Ｄ２の正確な値が不明となる。一方で、必要に応じてテープフィーダ３１、ロータリツール４４、および吸着ノズル４５が交換されるとともに、制御装置によって次基板種の装着作業データが取得される。

次のステップＳ２で、搬送経路の搬入端に１番目の基板Ｋが搬入される。次のステップＳ３で、第一算出部８１が動作する。ステップＳ３の詳細は、図７のサブ動作フロー、図８の模式図、および図９の変形例の模式図に示されている。図８および図９のステップＳ１２に示されるように、基板Ｋは、基板搬入装置や外部搬送装置によって機内に搬入され、その前端ＫＦがコンベアベルト２２に載置され、その後端ＫＲが搬入端付近の第一位置Ｐ１よりも機外側に位置する。この時点で、搬送制御部８は、基板Ｋの正確な位置を認識していない。

図７のステップＳ１１で、第一算出部８１は、低速移動速度ＶＬを設定してステップＳ１６が終了するまで用いる。次のステップＳ１２で、第一算出部８１は、基板Ｋを順方向ＡＪに搬送させて第一位置Ｐ１を通過させ、停止させる。この動作では、基板Ｋの後端ＫＲが第一位置Ｐ１を通過してその下流側まで移動していればよく、正確な位置制御は必要でない。次のステップＳ１３で、第一算出部８１は、基板Ｋを逆方向ＡＧに搬送させる。次のステップＳ１４で、第一算出部８１は、第一センサ５１により第一位置Ｐ１で基板Ｋの後端ＫＲを検出させる。

次のステップＳ１５で、第一算出部８１は、再び基板Ｋを順方向ＡＪに搬送させる。次のステップＳ１６で、第一算出部８１は、第二センサ５２により第二位置Ｐ２で基板Ｋの前端ＫＦを検出させる。次のステップＳ１７で、第一算出部８１は、ステップＳ１４およびステップＳ１６の二つの検出の間のコンベアベルト２２の移動距離Ｍ１を求める。具体的には、ステップＳ１４からステップＳ１６までに要したパルスモータ２３の正パルスのパルス数に単位距離が乗算されて移動距離Ｍ１が求められる。コンベアベルト２２の移動距離Ｍ１は、基板Ｋの滑りの発生の可能性が低いため、基板Ｋの搬送距離に等しくなるとみなしてよい。図８のステップＳ１７に示されるように、第一算出部８１は、基板Ｋの搬送距離に長さ寸法ＬＫを加算して第一離間距離Ｄ１を算出する。

なお、図９のステップＳ１６に示される変形例において、第一算出部８１は、第二センサ５２により第二位置Ｐ２で基板Ｋの後端ＫＲを検出させる。この態様のステップＳ１７で、第一算出部８１は、ステップＳ１４およびステップＳ１６の二つの検出の間のコンベアベルト２２の移動距離Ｍ２を基板Ｋの搬送距離とし、そのまま第一離間距離Ｄ１とすることができる。第一離間距離Ｄ１が算出された後、動作フローの実行は、図６のステップＳ４に戻される。

ステップＳ４で、第二算出部８２が動作する。ステップＳ４の詳細は、図１０のサブ動作フローおよび図１１の模式図に示されている。第二算出部８２が動作する時点では、図１１に示されるように、ステップＳ１６の終了状態の基板Ｋの位置が維持されている。すなわち、基板Ｋの前端ＫＦは、第二位置Ｐ２に停止している。

図１０のステップＳ２１で、第二算出部８２は、基板カメラ４６を移動させ、その光軸４６１を所定の停止位置ＳＴに一致させる。次のステップＳ２２で、第二算出部８２は、基板カメラ４６に基板Ｋを撮像させ、画像データを取得させる。次のステップＳ２３で、第二算出部８２は、画像処理部９１に画像データの画像処理を行わせて、基板Ｋの前端ＫＦの位置、すなわち第二位置Ｐ２を検出させる。次のステップＳ２４で、第二算出部８２は、停止位置ＳＴと第二位置Ｐ２との第二離間距離Ｄ２を算出する。

なお、基板カメラ４６が撮像を行う位置は、停止位置ＳＴに一致する必要は無く、画像処理によって基板Ｋの前端ＫＦの検出を行える位置であればよい。それでも、第二センサ５２の目標検出位置である停止位置ＳＴで基板カメラ４６が撮像を行うことにより、撮像視野の概ね中央に前端ＫＦが位置するので、第二位置Ｐ２の位置検出精度が高められる。仮に、基板カメラ４６が停止位置ＳＴ以外の位置で撮像を行うと、基板Ｋの前端ＫＦが撮像視野に収まらなかったり、斜め上方から前端ＫＦを撮像することにより画像処理の誤差が大きくなったりする（基板Ｋが反っている場合など）。第二離間距離Ｄ２が算出された後、動作フローの実行は、図６のステップＳ５に戻される。

ステップＳ５で、搬送制御部８は、長さ寸法ＬＫの半分と第二離間距離Ｄ２とを加算した移動距離だけコンベアベルト２２を低速移動速度ＶＬで移動させ、１番目の基板Ｋを停止位置ＳＴに停止させる。次に、部品移載装置４は、１番目の基板Ｋに部品の装着作業を行う。その次に、搬送制御部８は、１番目の基板Ｋを搬出端まで搬送し、機外に搬出する。

次のステップＳ６で、停止位置調整部８３は、２番目以降の基板Ｋの搬送制御に用いるタイムチャートの初期設定を行う。このタイムチャートは、図１２に示されており、算出された第一離間距離Ｄ１および第二離間距離Ｄ２に基づき、通常時移動速度ＶＨを用いつつ基板Ｋの滑りが発生しないことを前提条件として設定される。図１２の横軸は、時間Ｔの経過を示す。また、上段のグラフは第一センサ５１の出力信号、中段のグラフは第二センサ５２の出力信号、下段のグラフはコンベアベルト２２の移動速度をそれぞれ示す。基板Ｋの滑りが発生しない前提条件があるので、コンベアベルト２２の移動速度および移動距離は、基板Ｋの搬送速度および搬送距離に一致する。図１２の時刻Ｔ０、時刻Ｔ１、時刻Ｔ２、および時刻Ｔ６に対応する基板Ｋの位置が図１３に示されている。

図１２に示されるように、２番目以降の基板Ｋが搬入端に搬入された時刻Ｔ０において、第一センサ５１はオン信号を出力し、第二センサ５２はオフ信号を出力する。コンベアベルト２２は、移動し始める時期は不定であるが、通常時移動速度ＶＨで基板Ｋを順方向ＡＪに搬送する。時刻Ｔ１において、第一センサ５１のオン信号がオフ信号に切り替わり、基板Ｋの後端ＫＲが検出される。時刻Ｔ２において、第二センサ５２のオフ信号がオン信号に切り替わり、基板Ｋの前端ＫＦが検出される。コンベアベルト２２の移動速度の時刻Ｔ１から時刻Ｔ２までの間の右上がり斜線のハッチングで示される長方形の領域Ａの面積は、第一離間距離Ｄ１から長さ寸法ＬＫを減算した理論移動距離Ｍｔｈに相当する。この関係が成り立つように、時刻Ｔ１を基準として時刻Ｔ２を設定する。換言すると、理論移動距離Ｍｔｈを通常時移動速度ＶＨで除算して求めた時間の分だけ、時刻Ｔ１に対して時刻Ｔ２を遅らせるように設定する。

コンベアベルト２２の移動速度（基板Ｋの搬送速度）は、時刻Ｔ２よりも遅い時刻Ｔ４まで通常時移動速度ＶＨに維持され、時刻Ｔ４以降に一定の減速度で減速されて、時刻Ｔ６にはゼロとなる。そして、時刻Ｔ６において、基板Ｋが所定の停止位置ＳＴに停止する。時刻Ｔ２から時刻Ｔ６までの間の右下がり斜線のハッチングで示される台形の領域Ｂの面積は、第二センサ５２が基板Ｋの前端ＫＦを検出した以降に基板Ｋを搬送する搬送距離、すなわち、コンベアベルト２２を移動させる移動距離ＭＲに相当する。この移動距離ＭＲは、基板Ｋの長さ寸法ＬＫの半分と第二離間距離Ｄ２とを加算したものである。この関係が成り立つように、一定の減速度を設定し、時刻Ｔ２を基準として時刻Ｔ４および時刻Ｔ６を遅らせるように設定する。なお、減速度が一定でなく、所定の曲線で表される場合でも、時刻Ｔ４および時刻Ｔ６を設定することができる。

次のステップＳ７で、搬送経路の搬入端に２番目の基板Ｋが搬入される。次のステップＳ８で、停止位置調整部８３が動作し、初期設定したタイムチャートを調整（修正）して停止位置を調整する。ステップＳ８の詳細は、図１４のサブ動作フロー、図１５の調整タイムチャート、および図１６の模式図に示されている。調整タイムチャートの横軸は、初期設定された図１２のタイムチャートと同じ時間Ｔの経過を示す。また、タイムチャートの領域Ｂは、調整タイムチャートにおいて横線のハッチングで示される長方形の領域Ｂ１、および右下がり斜線のハッチングで示される台形の領域Ｂ２に分割されている。さらに、調整タイムチャートには、縦線のハッチングで示された平行四辺形の領域Ｃが追加される。

図１４のステップＳ３１で、停止位置調整部８３は、通常時移動速度ＶＨを設定して基板Ｋの搬送に用いる。次のステップＳ３２で、停止位置調整部８３は、クロック８５をリセットしてスタートさせる。次のステップＳ３３で、停止位置調整部８３は、コンベアベルト２２により基板Ｋを順方向ＡＪに搬送させる。次のステップＳ３４で、停止位置調整部８３は、第一センサ５１により第一位置Ｐ１で基板Ｋの後端ＫＲを検出させる。ここまでの動作は、調整タイムチャートの時刻Ｔ０から時刻Ｔ１までに相当し、初期設定されたタイムチャートと相違しない。また、図１６の模式図の時刻Ｔ０および時刻Ｔ１における基板Ｋの位置は、図１３の模式図と相違しない。

次のステップＳ３５で、停止位置調整部８３は、基板Ｋの順方向ＡＪの搬送を継続させ、第二センサ５２により第二位置Ｐ２で基板Ｋの前端ＫＦを検出させる。ここで、基板Ｋの搬送方向の滑りが発生した場合、第二センサ５２が基板Ｋの前端ＫＦを検出する時刻Ｔ３が、初期設定の時刻Ｔ２からずれる。以降では、時刻Ｔ１から時刻Ｔ３までの間に、基板Ｋの上流側（進行方向の逆側）への滑りが発生した場合を例にして説明する。なお、時刻Ｔ１から時刻Ｔ３までの間に、基板Ｋの下流側への滑りが発生した場合には、以降の説明内容を適宜変形して適用することができる。

次のステップＳ３６で、停止位置調整部８３は、クロック８５に計時された差分時間△Ｔ１を取得する。差分時間△Ｔ１は、基板Ｋの上流側への滑りにより、時刻Ｔ３が時刻Ｔ２から遅れた時間を表す。ここで、時刻Ｔ１から時刻Ｔ３までに要したコンベアベルト２２の実移動距離Ｍｒｌは、図１６に示されるように、理論移動距離Ｍｔｈよりも差分距離△Ｍだけ大きくなる。差分距離△Ｍは、図１５において差分時間△１（時刻Ｔ２と時刻Ｔ３の間）に相当するコンベアベルト２２の搬送速度の領域Ｂ１の面積で示される。したがって、ステップＳ３７で、停止位置調整部８３は、差分時間△Ｔ１に通常時移動速度ＶＨを乗算して差分距離△Ｍを算出する。このようなクロック８５を用いる方法によれば、パルスモータ２３の駆動パルスをカウントする方法よりも算出処理を簡素化することができる。

次のステップＳ３８で、停止位置調整部８３は、差分距離△Ｍに基づいて、時刻Ｔ３以降にコンベアベルト２２を移動させる移動距離（ＭＲ１～ＭＲ３）を調整する。調整方法としては、初期設定された減速開始の時刻Ｔ４および停止の時刻Ｔ６を、それぞれ時刻Ｔ５および時刻Ｔ７に遅らせるように調整して、領域Ｃに相当する移動距離を追加する。移動距離（ＭＲ１～ＭＲ３）の具体的な調整方法は、基板搬送装置２の詳細な構造および動作特性、ならびに基板Ｋとの相性に応じて相違する。このため、停止位置調整部８３は、次の方法１）～方法３）を選択的に用いる。なお、調整する移動距離（ＭＲ１～ＭＲ３）の精度を高めるために、実験またはシミュレーションを行うことが好ましい。

方法１）差分距離△Ｍを実移動距離Ｍｒｌで除算した滑り率が時刻Ｔ３以降も同程度に発生すると想定される場合に、初期設定の移動距離ＭＲよりも大きな移動距離ＭＲ１を設定する。つまり、時刻Ｔ４と時刻Ｔ５の差時間ΔＴ２、および時刻Ｔ６と時刻Ｔ７の差時間ΔＴ２を差分時間△Ｔ１よりも大きく設定して、領域Ｃの面積を領域Ｂ１の面積よりも大きくする。

方法２）時刻Ｔ３以降は基板Ｋの滑りが発生しないと想定される場合、初期設定の移動距離ＭＲに等しい移動距離ＭＲ２を設定する。つまり、差時間ΔＴ２を差分時間△Ｔ１と等しく設定して、領域Ｃの面積を領域Ｂ１の面積と等しくする。この方法は、例えば、通常時移動速度ＶＨを用いるときの減速度の絶対値が加速度よりも小さく、基板Ｋは上流側に滑っても下流側に滑らない場合に適用される。

方法３）時刻Ｔ３以降は基板Ｋの下流方向の滑りが発生すると想定される場合に、初期設定の移動距離ＭＲよりも小さな移動距離ＭＲ３を設定する。つまり、差時間ΔＴ２を差分時間△Ｔ１よりも小さく設定して、領域Ｃの面積を領域Ｂ１の面積よりも小さくする。この方法は、例えば、通常時移動速度ＶＨを用いるときの事前の加速度で基板Ｋが上流側へ滑り、事後の減速度で基板Ｋが下流側へ滑る場合に適用される。

次のステップＳ３９で、停止位置調整部８３は、ステップＳ３８で設定した移動距離（ＭＲ１～ＭＲ３）だけコンベアベルト２２を移動させて、基板Ｋを搬送および停止させる。基板Ｋは、停止した後、クランプ装置２４のクランプ動作によって位置決めされる。次のステップＳ４０で、基板カメラ４６および画像処理部９１が動作して、基板Ｋの実際の停止位置を検出する。停止位置調整部８３は、実際の停止位置が所定の停止位置ＳＴから許容誤差の範囲内に収まっているか否か判定する。収まっていない場合のステップＳ４１で、停止位置調整部８３は、基板Ｋを再搬送して、実際の停止位置を補正する。この場合に、停止位置調整部８３は、必要に応じて基板Ｋを逆方向に搬送する制御を行う。ステップＳ４１の終了後、およびステップＳ４０で許容誤差の範囲内に収まっている場合に、動作フローの実行は、図６のステップＳ９に戻される。

ステップＳ９で、部品移載装置４は、２番目の基板Ｋに部品の装着作業を行う。その次に、搬送制御部８は、２番目の基板Ｋを搬出端まで搬送し、機外に搬出する。次のステップＳ１０で、搬送制御部８は、同種の複数の基板Ｋのうち最後の基板Ｋへの装着作業が終了したか否かを判定する。最後でない場合、動作フローの実行はステップＳ７に戻され、３番目以降の基板Ｋへの動作が繰り返される。なお、ステップＳ９における２番目の基板Ｋの停止位置ＳＴからの搬送および搬出と、次回のステップＳ７における３番目の基板Ｋの搬入および停止位置ＳＴへの搬入と、が同時に行われてもよい。ステップＳ１０で最後の基板Ｋである場合に、動作フローは終了する。

従来技術において、第一離間距離Ｄ１および第二離間距離Ｄ２は固定値とされていたが、本実施形態では、基板Ｋの種類を変更する都度、基板Ｋを搬送して第一離間距離Ｄ１および第二離間距離Ｄ２を算出する（計測する）。したがって、本実施形態では、正確な第一離間距離Ｄ１および第二離間距離Ｄ２に基づく搬送制御を行うことができ、ステップＳ４１の実行頻度を従来技術よりも低下させることができる。これにより、基板Ｋの再搬送の回数を削減することができ、加えて、通常時移動速度ＶＨとして最高移動速度を設定することにより、基板Ｋの搬送効率を高めることができる。最終的には、部品装着機１の生産効率を高めることができる。

実施形態の基板搬送装置２によれば、第一算出部８１は、基板Ｋを搬送させて第一センサ５１および第二センサ５２に基板Ｋの前端ＫＦまたは後端ＫＲを検出させることにより、基板Ｋの搬送距離に基づいて第一位置Ｐ１と第二位置Ｐ２との第一離間距離Ｄ１を算出する。したがって、二つの検出位置の相対位置関係に相当する第一離間距離Ｄ１を正確に求めることができる。

５．応用例
実施形態において、コンベアベルト２２が低速移動速度ＶＬで移動しても、想定外の要因により基板Ｋの滑りが発生する懸念がある。このため、応用例では、基板Ｋに代えて、図１７に例示される計測用治具ＺＫが用いられる。計測用治具ＺＫは、基板Ｋと同じ長さ寸法ＬＫ、同じ幅寸法、および同じ厚み寸法をもつ。かつ、計測用治具ＺＫは、滑りを低減する滑り防止部ＺＳを裏面のコンベアベルト２２に接触する部分に有する。滑り防止部ＺＳは、例えば、コンベアベルト２２に対する摩擦係数が大きな摩擦材や、コンベアベルト２２に粘着する粘着材、コンベアベルト２２を係止する係止材などが用いられて形成される。

応用例において、第一算出部８１は、通常時移動速度ＶＨを用いても計測用治具ＺＫが基板Ｋよりも滑り難いので、正確に第一離間距離Ｄ１を算出することができる。第二算出部８２は、基板Ｋを用いる実施形態と同等の精度で第二離間距離Ｄ２を算出することができる。停止位置調整部８３は、同種の複数の基板Ｋのうち１番目の基板Ｋから搬送制御および停止位置の調整を行うことができる。応用例で生じる効果は、実施形態と同様であるので、説明を省略する。

６．実施形態の応用および変形
なお、第一センサ５１、第二センサ５２、および第三センサ５３の検出光ＬＤは基板Ｋの幅方向（水平方向）に投光されているが、検出光ＬＤが基板Ｋの厚さ方向（鉛直方向）に投光されてもよい。また、第一センサ５１、第二センサ５２、および第三センサ５３は、検出光ＬＤが基板Ｋによって反射されることを検出する反射検出方式のセンサであってもよい。さらに、搬送経路の搬出端側の第三センサ５３は省略されてもよい。また、基板Ｋを保持して移動する移動部材は、コンベアベルト２２に限定されず、搬送経路に沿って往復移動するシャトル部材であってもよい。所定の停止位置ＳＴは、基板Ｋの前端ＫＦまたは後端ＫＲが停止する位置とされてもよい。

また、図１４に示されるサブ動作フローにおいて、停止位置調整部８３は、２番目以降の全ての基板Ｋを対象として、個別に差分時間△Ｔ１及び差分距離△Ｍを求める。別法として、停止位置調整部８３は、２番目の基板Ｋを対象として求めた差分時間△Ｔ１および差分距離△Ｍを３番目以降の基板Ｋに適用してもよい。つまり、実施形態では、基板Ｋの個体ごとに相違する差時間△Ｔ２を用いるが、別法では、一定の差時間ΔＴ２を用いることにより停止位置調整部８３の動作を簡素化することができる。また、実施形態の基板搬送装置２は、部品装着機１以外の他種の対基板作業機に応用することができる。実施形態および応用例は、その他にも様々な応用や変形が可能である。

１：部品装着機 ２：基板搬送装置 ２１：ガイドレール ２２：コンベアベルト ２３：パルスモータ ２４：クランプ装置 ３：部品供給装置 ４：部品移載装置 ４６：基板カメラ ５１：第一センサ ５２：第二センサ ５３：第三センサ ６：投光部 ７：受光部 ８：搬送制御部 ８１：第一算出部 ８２：第二算出部 ８３：停止位置調整部 ８４：パルスカウンタ ８５：クロック ９：移載制御部 ９１：画像処理部 Ｋ：基板 ＫＦ：前端 ＫＲ：後端 ＫＭ：中央 ＬＫ：長さ寸法 Ｐ１：第一位置 Ｐ２：第二位置 ＳＴ：停止位置 Ｄ１：第一離間距離 Ｄ２：第二離間距離 Ｍ１、Ｍ２、ＭＲ、ＭＲ１、ＭＲ２、ＭＲ３：移動距離 △Ｍ：差分距離 △Ｔ１：差分時間 ＶＬ：低速移動速度 ＶＨ：通常時移動速度 ＺＫ：計測用治具 ＺＳ：滑り防止部

Claims (15)

1. 基板の搬送経路の第一位置に前記基板が存在するか否かを検出する第一センサと、
   前記搬送経路において前記第一位置より下流側の第二位置に前記基板が存在するか否かを検出する第二センサと、
   前記搬送経路に沿って前記基板を搬送させて、前記第一センサおよび前記第二センサの一方に前記基板の前端または後端を検出させた後、前記基板を搬送させて前記第一センサおよび前記第二センサの他方に前記基板の前端または後端を検出させ、二つの検出の間で前記基板を搬送した搬送距離に基づいて、前記第一位置と前記第二位置との第一離間距離を算出する第一算出部と、
   を備える基板搬送装置。
2. 前記基板搬送装置は、
   前記基板の搬送方向の滑りを許容しつつ前記基板を保持した状態で前記搬送経路に沿って移動する移動部材と、
   前記移動部材を移動させる搬送駆動部と、を備え、
   前記第一算出部は、前記搬送駆動部を制御することにより前記移動部材を移動させて前記基板を搬送させ、前記移動部材の移動距離に基づいて前記基板の前記搬送距離を求める、
   請求項１に記載の基板搬送装置。
3. 前記第一算出部は、前記基板の前記滑りが発生し難い遅い移動速度で前記移動部材を移動させ、前記移動部材の前記移動距離を前記基板の前記搬送距離とする、請求項２に記載の基板搬送装置。
4. 前記第一算出部は、前記基板に代えて、前記滑りを低減する滑り防止部を有して前記基板と同じ寸法の計測用治具を用い、前記移動部材の前記移動距離を前記計測用治具の前記搬送距離とする、請求項２に記載の基板搬送装置。
5. 前記移動部材は、輪転しながら前記搬送経路に沿って移動するコンベアベルトであり、
   前記搬送駆動部は、駆動パルスを用いた制御により前記コンベアベルトを輪転させるパルスモータであり、
   前記第一算出部は、前記駆動パルスのパルス数に基づいて前記コンベアベルトの前記移動距離を求める、
   請求項２～４のいずれか一項に記載の基板搬送装置。
6. 前記第一算出部は、前記基板を順方向に搬送させて前記第一位置を通過させた後に前記基板を逆方向に搬送させ、前記第一センサに前記基板の後端を検出させた後、前記基板を順方向に搬送させて前記第二センサに前記基板の前端または後端を検出させる、
   請求項１～４のいずれか一項に記載の基板搬送装置。
7. 前記第一算出部は、前記第一センサに前記基板の後端を検出させるとともに、前記第二センサに前記基板の前端を検出させ、二つの検出の間の前記基板の前記搬送距離に前記基板の搬送方向の長さ寸法を加算して前記第一離間距離を算出する、請求項６に記載の基板搬送装置。
8. 前記第一算出部は、前記第一センサに前記基板の後端を検出させるとともに、前記第二センサに前記基板の後端を検出させ、二つの検出の間の前記基板の前記搬送距離を前記第一離間距離とする、請求項６に記載の基板搬送装置。
9. 前記搬送経路に位置する前記基板を検出可能な検出部を制御して、前記第二センサが前記基板の前端または後端を検出したときの前記基板の位置を検出させ、検出結果に基づいて、前記基板を停止させる所定の停止位置と前記第二位置との第二離間距離を算出する第二算出部を備える、
   請求項１に記載の基板搬送装置。
10. 前記基板を保持した状態で前記搬送経路に沿って移動する移動部材と、
    前記移動部材を移動させる搬送駆動部と、
    前記第一離間距離および前記第二離間距離に基づいて前記搬送駆動部を制御することにより、前記移動部材を移動させて前記基板を前記停止位置に停止させる搬送制御部と、
    を備える、請求項９に記載の基板搬送装置。
11. 前記移動部材は、保持している前記基板の搬送方向の滑りを許容し、
    前記搬送制御部は、前記基板を順方向に搬送して前記停止位置に停止させるときに、前記第一センサが前記基板の後端を検出してから前記第二センサが前記基板の前端を検出するまでに要した前記移動部材の実移動距離と、前記第一離間距離から前記基板の搬送方向の長さ寸法を減算した理論移動距離との差分距離に基づいて、前記第二センサが前記基板の前端を検出した以降に前記移動部材を移動させる移動距離を調整する、
    請求項１０に記載の基板搬送装置。
12. 前記搬送制御部は、前記第二センサが前記基板の前端を検出した時刻と、前記移動部材が前記理論移動距離だけ移動した時刻との差分時間に、前記移動部材の移動速度を乗算して前記差分距離を求める、
    請求項１１に記載の基板搬送装置。
13. 前記検出部は、前記基板を撮像して取得した画像に所定の画像処理を実施して前記基板の位置を検出する撮像画像処理装置である、請求項９～１２のいずれか一項に記載の基板搬送装置。
14. 同種の複数の前記基板のうち１番目の前記基板を対象として前記第一算出部および前記第二算出部が動作し、２番目以降の前記基板を対象として前記搬送制御部が動作する、請求項１０～１２のいずれか一項に記載の基板搬送装置。
15. 前記第一位置は、前記搬送経路の搬入端に位置誤差を許容して設定され、
    前記第二位置は、前記基板の搬送方向の中央を停止させる前記搬送経路の所定の停止位置に位置誤差を許容して設定される、
    請求項１～４、９～１２のいずれか一項に記載の基板搬送装置。

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