JP2024038798A - 積層信号表示灯切替装置、切替機能付き積層信号表示灯、生産装置および半導体装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】生産設備からの入力データ数よりも多い色数の表示灯を制御できる積層信号表示灯切替装置、切替機能付き積層信号表示灯、生産装置および半導体装置の製造方法を得ることを目的とする。【解決手段】本開示に係る積層信号表示灯切替装置は、生産設備から第１電源を供給されているときに、前記生産設備から送信され、互いに色の異なる複数の表示灯を有する積層信号表示灯の点灯色を指示する色別点灯信号に応じて、前記複数の表示灯のうち第１表示灯以外の何れかの表示灯を点灯させる点灯回路と、前記第１電源を供給されて充電され、前記第１電源の遮断時に、前記複数の表示灯のうち前記第１表示灯のみを点灯させる第２電源と、を備える。【選択図】図１

Description

本開示は、積層信号表示灯切替装置、切替機能付き積層信号表示灯、生産装置および半導体装置の製造方法に関する。

特許文献１には、表示部、メモリ、点灯制御部および点灯制御情報登録部を備えた信号表示灯が開示されている。表示部は、光源を含む１つ以上の表示ユニットを有する。メモリは、複数の制御信号と表示ユニットの点灯状態とを対応付けた点灯制御情報および表示部の構成を表す構成情報を記憶する。点灯制御部は、制御信号を受信すると点灯制御情報に従って制御信号に対応付けられた点灯状態となるように表示ユニットを点灯制御する。点灯制御情報登録部は、構成情報に基づいて点灯制御情報を作成してメモリに登録する。

国際公開２０１４／１８１４２３号公報

特許文献１では、生産設備からの入力データ数と積層信号表示灯の色数とが同一である。このため、生産設備を改造しないと積層信号表示灯の色数を変更できない。

本開示は、上述の課題を解決するためになされたもので、生産設備からの入力データ数よりも多い色数の表示灯を制御できる積層信号表示灯切替装置、切替機能付き積層信号表示灯、生産装置および半導体装置の製造方法を得ることを目的とする。

本開示に係る積層信号表示灯切替装置は、生産設備から第１電源を供給されているときに、前記生産設備から送信され、互いに色の異なる複数の表示灯を有する積層信号表示灯の点灯色を指示する色別点灯信号に応じて、前記複数の表示灯のうち第１表示灯以外の何れかの表示灯を点灯させる点灯回路と、前記第１電源を供給されて充電され、前記第１電源の遮断時に、前記複数の表示灯のうち前記第１表示灯のみを点灯させる第２電源と、を備える。

本開示に係る積層信号表示灯切替装置は、生産設備から第１電源を供給されているときに、生産設備からの色別点灯信号に応じて、複数の表示灯のうち第１表示灯以外の何れかの表示灯を点灯させる。また、積層信号表示灯切替装置は、第１電源の遮断時に、複数の表示灯のうち第１表示灯を第２電源により点灯させる。このため、生産設備からの色別点灯信号の数よりも多い色数の表示灯を制御できる。

実施の形態１に係る生産装置の構成を示す図である。 比較例に係る生産装置の構成を示す図である。 ４色表示灯と５色表示灯における表示色の用途を説明する図である。 実施の形態１に係る積層信号表示灯と生産設備の接続状態を示す図である。 実施の形態１に係る点灯色切替回路の一例を示す図である。 実施の形態１に係る積層信号表示灯切替装置の動作を示すフローチャートである。

本実施の形態に係る積層信号表示灯切替装置、切替機能付き積層信号表示灯、生産装置および半導体装置の製造方法について図面を参照して説明する。同じまたは対応する構成要素には同じ符号を付し、説明の繰り返しを省略する場合がある。

実施の形態１．
図１は、実施の形態１に係る生産装置１０１の構成を示す図である。生産装置１０１は、積層信号表示灯１０と、積層信号表示灯切替装置２０と生産設備５０を備える。以下では、積層信号表示灯１０および積層信号表示灯切替装置２０を纏めて切替機能付き積層信号表示灯１００と呼ぶことがある。

生産設備５０は、例えば工場等に設置される製造装置である。生産設備５０の制御部５２は、配線６２を介して積層信号表示灯１０の点灯色を指示する色別点灯信号８０を積層信号表示灯切替装置２０に送信する。また、生産設備５０は電源線６０を介して、第１電源５４を積層信号表示灯切替装置２０および積層信号表示灯１０に供給する。非常停止スイッチ５６は、生産設備５０を非常停止させ、第１電源５４を遮断するためのスイッチである。

積層信号表示灯切替装置２０は、生産設備５０と積層信号表示灯１０との間に設けられる。積層信号表示灯切替装置２０において、電源線６０と赤色の表示灯１１との間には、充電回路２２、第２電源２４、過放電保護回路２６および点灯接点２８が設けられる。第２電源２４は蓄電池または充電池である。第２電源２４は無停電電源とも呼ばれる。また、配線６２と積層信号表示灯１０との間には、遮断回路３０および点灯色切替回路３２が設けられる。配線６２、遮断回路３０および点灯色切替回路３２は、色別点灯信号８０に応じて表示灯１２～１５を点灯させる点灯回路に該当する。また、電源線６０には電源遮断検出回路３４が接続されている。

積層信号表示灯１０は、互いに色の異なる複数の表示灯１１～１５を有する。積層信号表示灯１０は、表示灯１１～１５の点灯状態により生産設備５０の状態を表示する。複数の表示灯１１～１５は例えば５色表示灯であり、一例として上から順に赤色、黄色、青色、緑色、白色である。なお、表示灯１１～１５の順番は適宜変更しても良い。表示灯１１～１５の色および色数も上述した例に限定されない。

図２は、比較例に係る生産装置８０１の構成を示す図である。生産装置８０１は、生産設備５０と４色の積層信号表示灯８１０を備える。積層信号表示灯８１０は、赤色、黄色、青色、緑色の表示灯１１～１４を有する。生産装置８０１は積層信号表示灯切替装置２０を備えない。生産設備５０の制御部５２と積層信号表示灯８１０は、４本の配線６２ａ～６２ｄで接続されている。制御部５２は例えばシーケンサである。制御部５２は、配線６２ａ～６２ｄの何れかと第１電源５４を接続することで、表示灯１１～１４の何れかを点灯させることができる。なお、本実施の形態における生産設備５０の構成も、比較例と同様である。

図３は、４色表示灯と５色表示灯における表示色の用途を説明する図である。図３の左側には、一般的な仕様に基づく４色表示灯の表示色と用途が示されている。図３の右側には、ＩＥＣ（Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｅｌｅｃｔｒｏｔｅｃｈｎｉｃａｌ Ｃｏｍｍｉｓｓｉｏｎ）規定に基づく５色表示灯の表示色と用途が示されている。

４色表示灯から５色表示灯へ変更する場合、色別点灯信号８０を赤色から黄色に切り替え、黄色を白色に切り替える。これにより、上側から順番に赤色、黄色、青色、緑色、白色とする。４色表示灯では非常停止の用途が規定されていない。これに対し、５色表示灯では赤色を非常停止用途で点灯させる。非常停止は、例えば非常停止スイッチ５６の操作による意図的な停止を意味する。

ここで、比較例に係る生産装置８０１では、生産設備５０からの入力データ数、つまり配線６２の数と、積層信号表示灯８１０の色数とが同一である。このため、図２のような構成では、生産設備５０を改造しないと積層信号表示灯８１０の色数を変更できない。つまり、生産設備５０の制御部５２から出力される色別点灯信号８０の追加が必要である。また、生産設備５０は安全設計仕様により、非常停止スイッチ５６の操作時には第１電源５４を遮断する。比較例に係る積層信号表示灯８１０は、第１電源５４が遮断された状態では点灯することができない。このため、生産設備５０を改造して、電源遮断時にも積層信号表示灯８１０が点灯できるようにする必要がある。さらに、エラー通知を赤色から黄色に切り替え、処理完了通知を黄色から白色に切り替えるために、制御部５２から出力される色別点灯信号８０の設定を変更する必要がある。このような生産設備５０自体の改造には、工数および費用がかかるおそれがある。

図４は、実施の形態１に係る積層信号表示灯１０と生産設備５０の接続状態を示す図である。なお、図４では充電回路２２、過放電保護回路２６、遮断回路３０および電源遮断検出回路３４は省略されている。本実施の形態では以下に示す通り、積層信号表示灯１０と生産設備５０の間に積層信号表示灯切替装置２０を接続することで、積層信号表示灯１０を１色追加できる。

表示灯１１以外の表示灯１２～１５は、それぞれ配線６２ａ～６２ｄで生産設備５０の制御部５２と接続される。制御部５２は、配線６２ａ～６２ｄの何れかと、第１電源５４を接続することで、表示灯１２～１５の何れかを点灯させる。このように本実施の形態の点灯回路は、生産設備５０から第１電源５４を供給されているときに、生産設備５０から送信される色別点灯信号８０に応じて、複数の表示灯１１～１５のうち表示灯１１以外の何れかの表示灯１２～１５を点灯させる。

電源遮断検出回路３４は、第１電源５４から積層信号表示灯１０への電力供給の遮断を検出する。スイッチである点灯接点２８は、第１電源５４が積層信号表示灯１０に供給されているときに、第２電源２４と表示灯１１とを電気的に遮断し、電源遮断検出回路３４が第１電源５４の遮断を検出すると、第２電源２４と表示灯１１とを電気的に接続する。

通常稼働時は点灯接点２８のリレー接点は開放状態である。このとき点灯接点２８では、第２電源２４からの積層信号表示灯１０への電力供給が遮断されている。第１電源５４と接続された第２電源２４は、電源線６０を介して第１電源５４から電力供給されて充電される。

非常停止スイッチ５６が操作されると、点灯接点２８の切替リレーのコイル電圧が消失し、接点閉状態となる。図４では接点閉の状態が示されている。第２電源２４は、点灯接点２８を介して表示灯１１に接続されている。このため、第２電源２４から表示灯１１に電力が供給され、表示灯１１が点灯する。このように第２電源２４は、第１電源５４の遮断時に、複数の表示灯１１～１５のうち表示灯１１のみを点灯させる。従って、非常停止時に赤色の表示灯１１を点灯させることができる。

このように本実施の形態では、生産設備５０と積層信号表示灯１０の間に積層信号表示灯切替装置２０を設けるだけで、容易に積層信号表示灯１０の色数を追加することができる。つまり、生産設備５０と既存商品である積層信号表示灯１０に積層信号表示灯切替装置２０を適用することで、生産設備５０からの入力データ数よりも多い色数の表示灯１１～１５を制御できる。このとき、生産設備５０自体の改造をする必要がなく、制御部５２から出力される色別点灯信号８０は４つのままで良い。従って、積層信号表示灯１０の変更のための工数および費用を抑制できる。

図５は、実施の形態１に係る点灯色切替回路３２の一例を示す図である。点灯色切替回路３２は、色別点灯信号８０が指示する点灯色と、積層信号表示灯１０の点灯色との対応関係を切り替える。本実施の形態において点灯色切替回路３２は、例えば赤色点灯信号を黄色に切り替え、黄色点灯信号を白色に切り替える。点灯色切替回路３２は例えばジャンパスイッチにより、色別点灯信号８０が指示する点灯色と積層信号表示灯１０の点灯色との対応関係を切り替えても良い。

図５には、赤色点灯信号に対応する配線６２ａを黄色の表示灯１３に接続するためのジャンパスイッチが示されている。図示はされていないが、ジャンパスイッチは、配線６２ｂ～６２ｄにも設けられる。これにより、色別点灯信号８０が指示する点灯色と積層信号表示灯の点灯色との対応関係を任意に切り替えることができる。ジャンパスイッチを用いることで、ソフトウェア制御に比べて点灯色切替回路３２の故障を抑制できる。なお、ジャンパスイッチのようなハードウェアによる切り替えに限らず、点灯色切替回路３２はソフトウェアにより、色別点灯信号８０が指示する点灯色と積層信号表示灯１０の点灯色との対応関係を切り替えても良い。

図６は、実施の形態１に係る積層信号表示灯切替装置２０の動作を示すフローチャートである。非常停止スイッチ５６の操作が無いとき、つまり非常停止スイッチ５６が閉の時は（ステップ１のＮｏ）、第１電源５４により充電回路２２を介して第２電源２４が充電される（ステップ１２）。第２電源２４が充電池の場合、通常時は常に充電が行われ、電池交換などのメンテナンスがほとんど不要となる。

遮断回路３０は、第１電源５４から積層信号表示灯１０への電力供給の遮断時に、色別点灯信号８０を遮断する。非常停止スイッチ５６の操作が無いとき、遮断回路３０は色別点灯信号８０をそのまま通過させる（ステップ１３）。点灯色切替回路３２で色別点灯信号８０の切り替えが行われた上で（ステップ１４）、表示灯１２～１５の何れかが点灯する（ステップ１５）。なお、ステップ１４は省略しても良い。つまり、点灯色切替回路３２は設けられなくても良い。

非常停止スイッチ５６の操作があるとき、つまり非常停止スイッチ５６が開の時は（ステップ１のＹＥＳ）、電源遮断検出回路３４が第１電源５４の遮断を検出する（ステップ２）。このとき遮断回路３０は、色別点灯信号８０を遮断する（ステップ３）。生産設備５０が色別点灯信号８０の保持回路を備える場合、第１電源５４が遮断された状態でも表示灯１１以外の表示灯が点灯してしまう可能性がある。遮断回路３０により、非常停止スイッチ５６の操作時の赤色以外の点灯を防止できる。このとき、点灯接点２８は閉状態となる（ステップ３）。これにより、第２電源２４によって赤色の表示灯１１のみが点灯する（ステップ４）。

過放電保護回路２６は第２電源２４の電圧を監視し、過放電状態と判断すると（ステップ５のＹＥＳ）、点灯接点２８を開にする（ステップ６）。これにより、積層信号表示灯１０への電力供給が停止され、赤色の表示灯１１が消灯する。

本実施の形態の変形例として、点灯色切替回路３２は設けられなくても良い。つまり、配線６２ａ～６２ｄが直接、積層信号表示灯１０に接続されても良い。また、生産設備５０に色別点灯信号８０の保持回路が設けられない場合、遮断回路３０は設けられなくても良い。このように、本実施の形態の点灯回路は、配線６２ａ～６２ｄのみから構成されても良い。

本開示の生産設備５０には、半導体装置の製造、食品加工等のための、本開示が適用可能な全ての生産設備が含まれることは言うまでもない。また、生産装置１０１によって生産される製品、生産装置１０１を用いて半導体装置等を製造する方法も、本開示の対象となることは言うまでもない。

なお、本実施の形態で説明した技術的特徴は適宜に組み合わせて用いても良い。

以下、本開示の諸態様を付記としてまとめて記載する。
（付記１）
生産設備から第１電源を供給されているときに、前記生産設備から送信され、互いに色の異なる複数の表示灯を有する積層信号表示灯の点灯色を指示する色別点灯信号に応じて、前記複数の表示灯のうち第１表示灯以外の何れかの表示灯を点灯させる点灯回路と、
前記第１電源を供給されて充電され、前記第１電源の遮断時に、前記複数の表示灯のうち前記第１表示灯のみを点灯させる第２電源と、
を備えることを特徴とする積層信号表示灯切替装置。
（付記２）
前記第１電源から前記積層信号表示灯への電力供給の遮断を検出する電源遮断検出回路と、
前記第１電源が前記積層信号表示灯に供給されているときに、前記第２電源と前記第１表示灯とを電気的に遮断し、前記電源遮断検出回路が前記第１電源の遮断を検出すると、前記第２電源と前記第１表示灯とを電気的に接続するスイッチと、
を備えることを特徴とする付記１に記載の積層信号表示灯切替装置。
（付記３）
前記点灯回路は、前記色別点灯信号が指示する点灯色と、前記積層信号表示灯の点灯色との対応関係を切り替える点灯色切替回路を有することを特徴とする付記１または２に記載の積層信号表示灯切替装置。
（付記４）
前記点灯色切替回路は、ジャンパスイッチにより前記対応関係を切り替えることを特徴とする付記３に記載の積層信号表示灯切替装置。
（付記５）
前記点灯回路は、前記第１電源から前記積層信号表示灯への電力供給の遮断時に、前記色別点灯信号を遮断する遮断回路を有することを特徴とする付記１から４の何れか１項に記載の積層信号表示灯切替装置。
（付記６）
前記第２電源は、前記第１電源を供給されて充電される蓄電池であることを特徴とする付記１から５の何れか１項に記載の積層信号表示灯切替装置。
（付記７）
付記１から６の何れか１項に記載の積層信号表示灯切替装置と、
前記積層信号表示灯と、
を備えることを特徴とする切替機能付き積層信号表示灯。
（付記８）
前記複数の表示灯は、赤色、黄色、青色、緑色、白色の表示灯を含み、
前記第１表示灯は赤色の表示灯であることを特徴とする付記７に記載の切替機能付き積層信号表示灯。
（付記９）
付記７または８に記載の切替機能付き積層信号表示灯と、
前記生産設備と、
を備えることを特徴とする生産装置。
（付記１０）
付記９に記載の生産装置を用いて半導体装置を製造することを特徴とする半導体装置の製造方法。

１０ 積層信号表示灯、１１～１５ 表示灯、２０ 積層信号表示灯切替装置、２２ 充電回路、２４ 第２電源、２６ 過放電保護回路、２８ 点灯接点、３０ 遮断回路、３２ 点灯色切替回路、３４ 電源遮断検出回路、５０ 生産設備、５２ 制御部、５４ 第１電源、５６ 非常停止スイッチ、６０ 電源線、６２、６２ａ～６２ｄ 配線、８０ 色別点灯信号、１００ 切替機能付き積層信号表示灯、１０１ 生産装置、８０１ 生産装置、８１０ 積層信号表示灯

Claims (10)

1. 生産設備から第１電源を供給されているときに、前記生産設備から送信され、互いに色の異なる複数の表示灯を有する積層信号表示灯の点灯色を指示する色別点灯信号に応じて、前記複数の表示灯のうち第１表示灯以外の何れかの表示灯を点灯させる点灯回路と、
   前記第１電源を供給されて充電され、前記第１電源の遮断時に、前記複数の表示灯のうち前記第１表示灯のみを点灯させる第２電源と、
   を備えることを特徴とする積層信号表示灯切替装置。
2. 前記第１電源から前記積層信号表示灯への電力供給の遮断を検出する電源遮断検出回路と、
   前記第１電源が前記積層信号表示灯に供給されているときに、前記第２電源と前記第１表示灯とを電気的に遮断し、前記電源遮断検出回路が前記第１電源の遮断を検出すると、前記第２電源と前記第１表示灯とを電気的に接続するスイッチと、
   を備えることを特徴とする請求項１に記載の積層信号表示灯切替装置。
3. 前記点灯回路は、前記色別点灯信号が指示する点灯色と、前記積層信号表示灯の点灯色との対応関係を切り替える点灯色切替回路を有することを特徴とする請求項１または２に記載の積層信号表示灯切替装置。
4. 前記点灯色切替回路は、ジャンパスイッチにより前記対応関係を切り替えることを特徴とする請求項３に記載の積層信号表示灯切替装置。
5. 前記点灯回路は、前記第１電源から前記積層信号表示灯への電力供給の遮断時に、前記色別点灯信号を遮断する遮断回路を有することを特徴とする請求項１または２に記載の積層信号表示灯切替装置。
6. 前記第２電源は、前記第１電源を供給されて充電される蓄電池であることを特徴とする請求項１または２に記載の積層信号表示灯切替装置。
7. 請求項１または２に記載の積層信号表示灯切替装置と、
   前記積層信号表示灯と、
   を備えることを特徴とする切替機能付き積層信号表示灯。
8. 前記複数の表示灯は、赤色、黄色、青色、緑色、白色の表示灯を含み、
   前記第１表示灯は赤色の表示灯であることを特徴とする請求項７に記載の切替機能付き積層信号表示灯。
9. 請求項７に記載の切替機能付き積層信号表示灯と、
   前記生産設備と、
   を備えることを特徴とする生産装置。
10. 請求項９に記載の生産装置を用いて半導体装置を製造することを特徴とする半導体装置の製造方法。

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