JP2024038543A - 搬送装置および搬送方法 - Google Patents

Abstract

【課題】狭い領域を有する鉛直方向の搬送路に沿って被搬送物を搬送する際に、狭い領域の存在に伴うトラブルの発生を防止できるようにする。【解決手段】支持体１１により支持された被搬送物１２を、鉛直方向１３に沿って、非制限領域と、非制限領域よりも狭い制限領域とにおいて搬送可能な搬送装置である。搬送装置は、第１検出装置と第２検出装置と制御装置３５とを有する。第１検出装置は、支持体１１により支持された被搬送物１２の正規位置からの振れが、非制限領域の範囲内であるか範囲外であるかを検出する。第２検出装置は、支持体１１により支持された被搬送物１２の正規位置からの振れが、非制限領域よりも狭い制限領域の範囲内であるか範囲外であるかを検出する。制御装置３５は、第１検出装置の検出結果と第２検出装置の検出結果とにもとづいて、支持体１１による被搬送物１２の搬送動作を制御する。【選択図】図１

Description

本発明は搬送装置および搬送方法に関する。

搬送装置として、建物の天井に敷設された天井レールに沿って走行する搬送体と、この搬送体に設けられて、この搬送体から鉛直方向下向きに移動可能であるとともに、この搬送体に向けて鉛直方向上向きに移動可能な支持体とを備えたものが知られている（特許文献１）。支持体によって被搬送物を支持することで、被搬送物は、支持体によって鉛直方向に搬送されるとともに、搬送体によって水平方向に搬送される。建物の内部における床上には、被搬送物に所定の処理を行うための処理装置が設けられる。処理装置は、支持体から被搬送物を受け取って載置する載置台を有する。

支持体によって支持された被搬送物は、搬送体が走行することによって処理装置の上方へ搬送され、そこから支持体が鉛直方向下向きに移動することで、処理装置へ送り込まれ、載置台に載置される。載置台に載置された被般送物には、処理装置によって所定の処理が施される。処理後の被搬送物は、支持体によって処理装置から上方へ移動されたうえで、搬送体によって別の場所へ搬送される。

特開２０２１－１８７５６３号公報、特に図１

処理装置として、載置台よりも上側の部分に、処理装置のための操作パネルなどを設置した構造体が設けられたものが知られている。この構造体は、「カバー」と称されている。このような処理装置では、被搬送物を支持した支持体は、処理前の被搬送物を載置台に向けて降ろすときや、処理済の被搬送物を載置台から持ち上げるときには、上記した構造体の内部を通過することになる。

しかしながら、上記した構造体の内部は、それ以外の場所に比べて狭い。このため、被搬送物を支持した支持体が同構造体を通過するときには、被搬送物や支持体が同構造体に接触や衝突するなどのトラブルが発生しないように、特別な配慮が必要である。このような配慮が必要な理由としては、たとえば、支持体および被搬送物の昇降動作中に揺れにより規定位置からの変位が発生したり、支持体による被搬送物の支持姿勢に正規位置からのずれが生じていたり、処理装置の上方において搬送体が停止したときにその停止位置に正規位置からのずれが生じていたりする可能性が存在するためである。

また、上記のように内部の狭い構造体が処理装置に設けられている場合のみならず、搬送物を鉛直方向に沿って搬送させるときには、同様の事態が発生する場合が種々想定される。

そこで本発明は、狭い領域を有する鉛直方向の搬送路に沿って被搬送物を搬送する際に、狭い領域の存在に伴うトラブルの発生を防止できるようにすることを目的とする。

この目的を達成するため本発明の搬送装置は、
支持体により支持された被搬送物を、鉛直方向に沿って、非制限領域と、前記非制限領域よりも狭い制限領域とにおいて搬送可能な搬送装置であって、
前記支持体により支持された被搬送物の正規位置からの振れが、鉛直方向に交差する方向における非制限領域の範囲内であるか非制限領域の範囲外であるかを検出する第１検出装置と、
前記支持体により支持された被搬送物の正規位置からの振れが、鉛直方向に交差する方向における前記非制限領域よりも狭い制限領域の範囲内であるか制限領域の範囲外であるかを検出する第２検出装置と、
第１検出装置の検出結果と第２検出装置の検出結果とにもとづいて、前記支持体による前記被搬送物の搬送動作を制御する制御装置と、
を有することを特徴とする。

したがって本発明の搬送装置によれば、第１検出装置によって、支持体により支持された被搬送物の正規位置からの振れが、鉛直方向に交差する方向における非制限領域の範囲内であるか非制限領域の範囲外であるかを検出することができるとともに、第２検出装置によって、支持体により支持された被搬送物の正規位置からの振れが、鉛直方向に交差する方向における、非制限領域よりも狭い制限領域の範囲内であるか制限領域の範囲外であるかを検出することができる。このため本発明の搬送装置によれば、支持体により被搬送物を支持して鉛直方向に搬送するときに、非制限領域と制限領域とが存在していても、それぞれの領域に適切に対応した搬送制御を行うことができる。

本発明の搬送装置によれば、
制御装置は、
非制限領域では、第１検出装置の検出結果にもとづいて支持体による被搬送物の搬送動作を制御するものであるとともに、
制限領域では第２検出装置の検出結果にもとづいて支持体による被搬送物の搬送動作を制御するものであることが好適である。

この場合は、制御装置によって、非制限領域に適切に対応した被搬送物の搬送動作を行わせることができるとともに、制限領域に適切に対応した被搬送物の搬送動作も行わせることができる。

本発明の搬送装置によれば、
被搬送物のための処理装置であって非制限領域と制限領域とを有した処理装置と、
支持体を保持しながら、処理装置よりも上側の位置において水平方向に走行する搬送体と、
を有し、
支持体は、昇降動作により、処理装置よりも上側の位置と、処理装置における被搬送物の載置位置との間で被搬送物を搬送するものであることが好適である。

この場合は、被搬送物のための処理装置において、非制限領域と制限領域とのそれぞれに適切に対応した搬送制御を行うことができる。

本発明の搬送装置によれば、処理装置は、複数設けられていて、制限領域を有する第１処理装置と、制限領域を有しない第２処理装置とを含むようにすることができる。

この場合には、制限領域を有する第１処理装置では第１検出装置と第２検出装置との両者からの検出結果に基づいた制御を行うことができる。これに対し、制限領域を有しない第２処理装置では第１検出装置の検出結果だけに基いた制御を行うことができるため、簡単な制御で確実な結果を得ることができる。

本発明の搬送装置によれば、制御装置と、搬送体と、支持体との少なくともいずれか一つが、各処理装置における制限領域に関するマップ情報を有することが好適である。

この場合は、各処理装置における制限領域とそれ以外の非制限領域の存在位置を認識しながら、非制限領域と制限領域とのそれぞれに適切に対応した搬送制御を行うことができるため、より確実な搬送制御を行うことができる。

本発明の搬送装置によれば、マップ情報は、支持体の鉛直方向の移動経路に沿った制限領域と非制限領域との少なくともいずれかの設置位置を含むことが好適である。

この場合は、鉛直方向に沿った制限領域や非制限領域の存在位置を確実に認識した高精度の制御を行うことができる。

本発明の搬送装置によれば、支持体の移動経路に沿った前記支持体の位置を検出する位置検出装置を有することが好適である。

この場合は、被搬送物を支持した支持体の位置を検出しながら非制限領域と制限領域とにおける搬送動作を制御することができるため、確実な制御を行うことができる。

本発明の搬送装置によれば、制御装置は、支持体の移動経路に沿った前記支持体の移動速度を制御するものであることが好適である。

本発明によれば、第１検出装置と第２検出装置との検出結果にもとづいて、搬送動作を様々に制御することが可能であるが、なかでも支持体の移動経路に沿った前記支持体の移動速度を制御することで、たとえば制限領域でのみ低速での搬送を行い、非制限領域ではそのような制御を行わないことで、効率の良い搬送を行うことができる。

特に本発明によれば、制御装置は、第２検出装置が、支持体により支持された被搬送物の正規位置からの振れが制限領域の範囲外であることを検出したときに、支持体により支持された被搬送物の正規位置からの振れが制限領域の範囲内であるときよりも、支持体の移動速度を減速させるものであることが好適である。

この場合において、実際の搬送時には、支持体により支持された被搬送物の正規位置からの振れが制限領域の範囲外であっても、たとえばこの振れが支持体や被搬送物の揺れにもとづくものである場合には、揺れが収まった場合にはそれに応じて振れも小さくなるため、支持体を停止させずに低速で移動させることで、大きなトラブルなく制限領域を通過させることも可能であることから、搬送効率を低下させずに搬送を行うことができる。

本発明の搬送装置によれば、
第１検出装置は、被搬送物の正規位置からの振れが非制限領域の範囲内であるときと非制限領域の範囲外であるときとにおいて変化する第１物理量を検出するものであり、
第２検出装置は、被搬送物の正規位置からの振れが制限領域の範囲内であるときと制限領域の範囲外であるときとにおいて変化する第２物理量を検出するものであるとこが好適である。

すなわち、第１検出装置と第２検出装置としては、任意の物理的原理で検出できる検出装置を適宜に採用することができる。

本発明の搬送装置によれば、
搬送体に設けられて、支持体に向けて光線を照射させる光線照射装置と、
支持体および、または被搬送物に設けられて、前記光線照射装置からの光線を反射させる反射部材と、
搬送体に設けられて、前記反射部材からの反射光の光量を検出する光量検出装置とを有し、
前記反射部材は、互いに反射率が異なる第１反射体と第２反射体とを有し、
第１反射体は、被搬送物の正規位置からの振れについての非制限領域に対応したサイズで形成されており、
第２反射体は、被搬送物の正規位置からの振れについての制限領域に対応したサイズで形成されており、
第１検出装置は、前記光量検出装置にて検出された前記反射光の光量の第１の違いにより、被搬送物の正規位置からの振れが非制限領域の範囲内であるか非制限領域の範囲外であるかを検出するものであり、
第２検出装置は、前記光量検出装置にて検出された前記反射光の光量の第２の違いにより、被搬送物の正規位置からの振れが制限領域の範囲内であるか制限領域の範囲外であるかを検出するものであることが好適である。

これにより、第１検出装置と第２検出装置とを具体的に構成することができる。

本発明の搬送装置によれば、
第１反射体は、第２反射体に比べてサイズが大きく、
第２反射体は、第１反射体が設けられている領域の内部に設置されていることが好適である。

これにより、反射部材をコンパクトに構成することが出来る。

本発明の搬送方法は、
支持体により支持された被搬送物を、前記支持体を保持した搬送体によって、処理装置よりも上側の位置において水平方向に搬送させるとともに、前記支持体を搬送体から下降または搬送体に向けて上昇させることによって前記被搬送物を前記搬送体と処理装置との間で昇降させるに際し、
制御装置におけるマップ情報を用いた制御動作によって、前記所定の処理装置における、鉛直方向に沿った、非制限領域よりも狭い制限領域の有無と、前記制限領域の位置とを判定し、
第１検出装置によって、前記支持体により支持されて下降される被搬送物の正規位置からの振れが、鉛直方向に交差する方向における前記非制限領域の範囲内であるか非制限領域の範囲外であるかを検出し、
第２検出装置によって、前記支持体により支持されて下降される被搬送物の正規位置からの振れが、鉛直方向に交差する方向における前記制限領域の範囲内であるか制限領域の範囲外であるかを検出し、
前記制御装置によって、前記非制限領域では、第１検出装置の検出結果にもとづいて前記支持体の昇降動作を制御するとともに、前記制限領域では、第２検出装置の検出結果にもとづいて前記支持体の昇降動作を制御する、
ことを特徴とする。

したがって本発明の搬送方法によれば、第１検出装置によって、支持体により支持された被搬送物の正規位置からの振れが、鉛直方向に交差する方向における非制限領域の範囲内であるか非制限領域の範囲外であるかを検出することができるとともに、第２検出装置によって、支持体により支持された被搬送物の正規位置からの振れが、鉛直方向に交差する方向における、非制限領域よりも狭い制限領域の範囲内であるか制限領域の範囲外であるかを検出することができる。このため本発明の搬送方法によれば、支持体により被搬送物を支持して鉛直方向に搬送するときに、非制限領域と制限領域とが存在していても、それぞれの領域に適切に対応した搬送制御を行うことができる。

本発明によれば、支持体により被搬送物を支持して鉛直方向に搬送するときに、非制限領域と、非制限領域よりも狭い制限領域とが存在していても、それぞれの領域に適切に対応してトラブルの発生を防止した搬送制御を行うことができる。

本発明の実施の形態の搬送装置を示す図である。 非制限領域と制限領域とを概念的に示す図である。 反射部材の一例を示す図である。 第１検出装置および第２検出装置の構成を示す図である。 第１検出装置を示す図である。 第２検出装置を示す図である。 複数の処理装置を備えた搬送装置の例を示す図である。 マップ情報および位置検出装置を示す図である。

本発明の搬送装置は、その実施の形態を示す図１に描かれているように、支持体１１によって支持された被搬送物１２を、鉛直方向１３に沿って搬送するものである。図１には、被搬送物１２に所定の処理を施すための処理装置１４が示されている。処理装置１４は、建物の床面１５に設置されている。

床面１５よりも上方の位置には、天井レール１６が、図１の紙面と垂直な水平方向に敷設されている。そして、天井レール１６に案内されて走行する台車形式の搬送体１７が設けられている。支持体１１は、搬送体１７に設けられて、搬送体１７から処理装置１４に向けて鉛直方向の下向きに移動することが可能であるとともに、処理装置１４から搬送体１７に向けて鉛直方向の上向きに移動することが可能である。搬送体１７には、支持体１１を鉛直方向に移動させるための駆動装置１８が設けられている。支持体１１には、被搬送物１２を解放可能に掴むためのチャック１９が設けられている。図示の例では、チャック１９は、被搬送物１２を掴んだ状態で吊り下げ支持できるようにされている。

処理装置１４は、処理すべき被搬送物１２を載置するための載置台２１を有する。被搬送物１２は、チャック１９によって支持体１１に支持された状態で、支持体１１とともに搬送体１７により水平方向に搬送され、駆動装置１８によって支持体１１が鉛直方向１３に沿った下向きに移動されることで、処理装置１４の載置台２１に載せられる。また駆動装置１８によって支持体１１が鉛直方向１３に沿った上向きに移動されることで、被搬送物１２は、載置台２１から処理装置１４よりも上側の位置へ運ばれる。

被搬送物１２が処理装置１４の載置台２１に載せられたら、支持体１１は、チャック１９による被搬送物１２の掴み状態を解消して、駆動装置１８によって被搬送物１２よりも上方へ移動される。これによって、被搬送物１２は、載置台２１に載せられた状態で、支持体１１に邪魔されることなく、処理装置１４によって所定の処理が施される。

処理装置１４によって被搬送物１２に所定の処理が施されたなら、支持体１１が鉛直方向に沿って再度下方へ移動され、載置台２１に載置された被搬送物１２をチャック１９によって再び掴んで支持する。その後、支持体１１が上昇することで、被搬送物１２は処理装置１４から上向きに離れ、搬送体１６が天井レール１６に沿って走行することで、所定の場所まで搬送される。

なお、載置台２１の上の被搬送物１２をチャックでつかんだ状態のまま、この被搬送物１２に処理が施されることもあり得る。

処理装置１４は、載置台２１よりも上側にカバー２２を有する。カバー２２には、パネル２３が設けられている。パネル２３には、オペレータが操作するためのボタン類や、オペレータへの表示を行うためのディスプレイなどが設けられている。

このように処理装置１４では載置台２１の上にカバー２２が設けられているために、被搬送物１２を支持した支持体１１は、載置台２１に向けて被搬送物１２を降ろすときと、載置台２１から被搬送物１２を持ち上げるときとにおいて、カバー２２の内部を通過することになる。

しかし、カバー２２は、チャック１９を含む支持体１１や被搬送物１２と比べて、十分に大きなものではない。むしろ、カバー２２は、処理装置１４の一部分を構成する部材として、それなりにコンパクトにまとまった形状や寸法で形成されている。このため、支持体１１と、チャック１９で掴まれた被搬送物１２とは、カバー２２の内部を鉛直方向に移動するときには、それ以外の場所を移動するときに比べて、狭い通路に沿って移動せざるを得なくなる。

本発明においては、カバー２２の内部において支持体１１および被搬送物１２が通過する狭い空間を制限領域と称する。また、制限領域以外の、それほど狭くない空間を、非制限領域と称する。

図２は、非制限領域２５と制限領域２６とを概念的に示す平面図である。図２によって、支持体１１、チャック１９、被搬送物１２に対する制限領域２６は狭く、その一方で非制限領域２５は制限領域２６よりも広いことを理解できる。

搬送効率の向上のために、支持体１１は、できるだけ高速で昇降することが求められる。しかし、高速で昇降すると、それに伴う揺れが発生することがある。そして、この揺れによって、チャック１９を含む支持体１１と、被搬送物１２とに、正規の位置からの振れが発生することがある。図２では、支持体１１、チャック１９、被搬送物１２が制限領域２６の範囲内に存在する状態が実線で描かれている。図２では、支持体１１、チャック１９、被搬送物１２が制限領域２６の範囲外の位置２７へはみ出した状態と、支持体１１、チャック１９、被搬送物１２が非制限領域２５の範囲内の位置２８に存在する状態と、支持体１１、チャック１９、被搬送物１２が非制限領域２５の範囲外の位置２９へはみ出した状態とが、あわせて示されている。

なお、チャック１９を含む支持体１１に正規の位置からの振れが発生した場合には、それにともなって被搬送物１２にも振れが発生する。反対に被搬送物１２に正規の位置からの振れが発生した場合には、それにともなって支持体１１とチャック１９とにも振れが発生する。つまり、支持体１１とチャック１９と被搬送物１２とには、一体に振れが発生する。ただし、本発明においては、被搬送物１２は支持体１１のチャック１９によってしっかりと支持されており、このため支持体１１およびチャック１９と、被搬送物１２との間に位置ずれは生じないものとする。

図１には、支持体１１および被搬送物１２における正規の位置からの振れが発生し得る方向が、矢印３０と矢じり３１と矢はず３２とによって例示されている。しかし、支持体１１および被搬送物１２における正規の位置からの振れは、これらの方向に限られず、鉛直方向に交差する水平面内の任意の方向に発生し得る。

詳細な具体例の説明は後述するが、図１に示す搬送装置は、第１検出装置と第２検出装置とを備える。第１検出装置は、支持体１１により支持された被搬送物１２すなわち支持体１１、チャック１９、被搬送物１２の、正規位置からの振れが、図２に示すところの、鉛直方向に交差する方向における非制限領域２５の範囲内であるか、あるいは非制限領域２５の範囲外であるかを検出する。これに対し、第２検出装置は、支持体１１により支持された被搬送物１２すなわち支持体１１、チャック１９、被搬送物１２の、正規位置からの振れが、鉛直方向に交差する方向における制限領域２６の範囲内であるか、あるいは制限領域２６の範囲外であるかを検出する。

本発明において、このような、第１検出装置および第２検出装置は、上述した検出機能を有するものである限り、一般に知られている数多くの検出装置のうちから、当業者が任意に選択して使用できるものである。つまり、第１検出装置は、被搬送物１２などについての正規位置からの振れが非制限領域２５の範囲内であるときと非制限領域２５の範囲外であるときとにおいて変化する第１物理量を検出するものであれば、その検出機能を発揮することができる。第２検出装置は、被搬送物１２などについての正規位置からの振れが制限領域２６の範囲内であるときと制限領域２６の範囲外であるときとにおいて変化する第２物理量を検出するものであれば、その検出機能を発揮することができる。

図１に示す搬送装置は、さらに制御装置３５を有する。制御装置３５は、第１検出装置の検出結果と第２検出装置の検出結果とにもとづいて、支持体１１による被搬送物１２の搬送動作を制御する。搬送動作の制御の具体例としては、制御装置３５によって駆動装置１８を制御することによる、支持体１１の鉛直方向への移動速度の増減制御や、支持体１１の移動の停止および再起動を挙げることができる。ただし、これら以外の形態による搬送動作の制御も可能である。

このように支持体１１による被搬送物１２の搬送動作を制御することで、支持体１１により被搬送物１２を支持して鉛直方向に搬送するときに、非制限領域２５と制限領域２６とが存在していても、それぞれの領域２５、２６に適切に対応した搬送制御を行うことができる。たとえば非制限領域２５の範囲内では、支持体１１を高速で移動させることにより、効率的な搬送を行うことができる。制限領域２６では、非制限領域２５に比べて支持体１１の移動速度を低減させることで、被搬送物１２を慎重に搬送することができる。

たとえば、支持体１１、チャック１９、被搬送物１２が図２に示される制限領域２６の範囲内に収まっている場合には、制限領域２６が存在するにもかかわらず、何ら支障なく搬送を行うことができる。この場合は、たとえば支持体１１により被搬送物１２を鉛直方向に搬送する全範囲にわたって高速で搬送しても、何ら問題なく搬送を行うこともできる。

また、たとえば支持体１１、チャック１９、被搬送物１２が図２に示される制限領域２６の範囲外の位置２７へはみ出した場合であっても、そのはみ出しの程度やその他の条件によっては、支持体１１の移動を停止させなくても減速するだけで何とか制限領域２６を通過できる場合があるので、その場合にうまく対処することができる。たとえば支持体１１、チャック１９、被搬送物１２に生じた振れがこれら支持体１１、チャック１９、被搬送物１２の揺れに基づくものである場合は、揺れの種類や程度によっては次第に収まる場合も多いので、それを見越して、支持体１１の移動速度を低減させて様子を見ることが効率的である。

さらに、たとえば支持体１１、チャック１９、被搬送物１２が図２に示される非制限領域２５の範囲外の位置２９へはみ出した状態のまま変化が無い場合には、制御装置３５からオペレータにその旨の警告を発したり、支持体を停止させたりするなどの制御が可能である。制御装置３５は、第１検出装置の検出結果と第２検出装置の検出結果とにもとづいて、そのほかの適宜の制御を行うこともできる。

このように第１検出装置と第２検出装置とを用いた支持体１１および被搬送物１２の移動を制御する形態としては、種々のものがあり得る。なかでも、特に、非制限領域２５では、第１検出装置の検出結果、すなわち支持体１１により支持された被搬送物１２の正規位置からの振れが、非制限領域２５の範囲内であるか非制限領域２５の範囲外であるかの検出結果にもとづいて、支持体１１による被搬送物１２の搬送動作を制御装置３５が制御することが、制御の効率化を達成するうえで好適である。また、制限領域２６では、第２検出装置の検出結果、すなわち支持体１１により支持された被搬送物１２の正規位置からの振れが、制限領域２６の範囲内であるか非制限領域２５の範囲外であるかの検出結果にもとづいて、支持体１１による被搬送物１２の搬送動作を制御装置３５が制御することが、制御の効率化を達成するうえで好適である。検出結果に即応した制御を行うことができるためである。

上述のように第１検出装置および第２検出装置としては任意の装置を用いることができるが、以下においては、本発明にもとづく新たな第１および第２の検出装置について説明する。これらの新たな検出装置は、光学的な検出手法を利用したものである。

詳細には、図３に示すように、たとえば支持体１１の上面に、第１反射シール３６と第２反射シール３７とが設けられている。第１反射シール３６は、非制限領域２５における支持体１１、チャック１９、被搬送物１２の振れの許容範囲に対応したサイズで形成されている。第２反射シール３７は、制限領域２６における支持体１１、チャック１９、被搬送物１２の振れの許容範囲に対応したサイズで形成されている。図２に示すように、制限領域２６は非制限領域２５よりも狭いため、制限領域２６における支持体１１、チャック１９、被搬送物１２の振れの許容範囲に対応して形成されている第２反射シール３７の方が、非制限領域２５における支持体１１、チャック１９、被搬送物１２の振れの許容範囲に対応して形成されている第１反射シール３６よりも小さなサイズで形成されている。

図３に示すように、第２反射シール３７は、第１反射シール３６が設けられている領域の内部に設けられている。たとえば、第１および第２反射シール３６、３７が対象物へ貼り付ける構造のものである場合には、第１反射シール３６は支持体１１に貼り付けられ、第２反射シール３７は第１反射シール３６の表面にさらに貼り付けられる構成とすることができる。

第１反射シール３６と第２反射シール３７とは、互いの光線の反射率が異なったものであるとともに、支持体１１の表面とも光線の反射率が異なったものであることが好適である。このような第１反射シール３６および第２反射シール３７を用いた第１検出装置および第２検出装置の具体的な構成例は、次のとおりである。

図１に示すように、搬送体１７には投受光装置３８が設けられている。投受光装置３８は、支持体１１における第１および第２反射シール３６、３７が貼り付けられている部分に向けて鉛直方向に沿った下向きにレーザ光３９を投光することができるとともに、投受光装置３８よりも下側から反射してきたレーザ光の光量を検出することができる。このため、支持体１１の振れの大きさにもとづいて、レーザ光３９が、図３に示すように第２反射シール３７を照射したときと、第１反射シール３６を照射したときと、支持体１９の表面を照射したときとで、その反射光量が変化する。その結果、レーザ光３９が第２反射シール３７と第１反射シール３６と支持体１１とのいずれを照射しているのかを検出することができる。これにより、支持体１１、チャック１９、被搬送物１２についての、水平方向における正規位置からの振れの大きさを知ることができる。

図４は、投受光装置３８の詳細構造を示す。投受光装置３８はレーザ光３９を投光するための光線照射装置としての光源４０と、対象すなわち第２反射シール３７、第１反射シール３６、支持体１１からの反射光４１を受光してその光量を検出する光量検出装置としての光量センサ４２とを備える。光源４０は、制御装置３５に制御されることによってレーザ光３９の投光を行う。レーザ光３９は、図３に示すようなスポット形状で照射されることが、正確な検出を行ううえで好適である。光量センサ４２は、検出した光量に相当する信号を制御装置３５へ送る。図４に記載された矢印４３は、支持体１１、チャック１９、被搬送物１２において生じ得る水平方向の振れを表す。

図５は、第１検出装置４５を示す。図５においては、支持体１１、チャック１９、被搬送物１２において生じた振れの大きさに対応して、光源４０からのレーザ光３９が第１反射シール３６に照射され、第１反射シール３６からの反射光４１が光量センサ４２に入射して、その光量が検出される。図示は省略するが、大きな振れが生じた場合には、光源４０からのレーザ光３９が、第１反射シール３６および第２反射シール３７とは反射率が異なる支持体１１の表面に照射され、支持体１１の表面からの反射光が光量センサ４２に入射して、その光量が検出される。第１反射シール３６からの反射光４１と、支持体１１の表面からの反射光とでは、その光量が互いに相違する。これらにおける反射率の違いが存在するためである。制御装置３５は、第１反射シール３６からの光量の反射光４１が光量センサ４２に入射したときには、支持体１１、チャック１９、被搬送物１２において生じた振れが、図２に示される非制限領域２５の範囲内であると判断する。また制御装置３５は、支持体１１の表面からの光量の反射光が光量センサ４２に入射したときには、支持体１１、チャック１９、被搬送物１２において生じた振れが、図２に示される非制限領域２５の範囲外であると判断する。このような検出系によって第１検出装置４５がシステム的に構築される。

図６は、第２検出装置４６を示す。第１検出装置４５の場合と同様に、支持体１１、チャック１９、被搬送物１２において生じた振れの大きさに対応して、光源４０からのレーザ光３９が第２反射シール３７に照射され、第２反射シール３７からの反射光４１が光量センサ４２に入射して、その光量が検出される。大きな振れが生じた場合には、光源４０からのレーザ光３９が、第２反射シール３７とは反射率が異なる第１反射シール３６や支持体１１に照射され、第１反射シール３６や支持体１１からの反射光が光量センサ４２に入射して、その光量が検出される。第２反射シール３７からの反射光の光量は、第１反射シール３６や支持体１１からの反射光の光量と相違する。制御装置３５は、第２反射シール３７からの反射光４１に対応した光量が光量センサ４２に入射して検出されたときには、支持体１１、チャック１９、被搬送物１２において生じた振れが、図２に示される制限領域２６の範囲内であると判断する。また制御装置３５は、第１反射シール３６や支持体１１からの反射光に対応した光量が光量センサ４２に入射して検出されたときには、支持体１１、チャック１９、被搬送物１２において生じた振れが、図２に示される制限領域２６の範囲外であると判断する。このような検出系によって第２検出装置４６がシステム的に構築される。

上記においては、第１反射シール３６と第２反射シール３７とが支持体１１に設けられた例について説明した。しかし、第１反射シール３６と第２反射シール３７とは、他の箇所に、たとえばチャック１９や被搬送物１２に、設置することもできる。あるいはそれぞれ複数の第１反射シール３６と第２反射シール３７とを、支持体１１とチャック１９と被搬送物１２とにおける複数の任意の位置に設置することもできる。つまり、第１反射シール３６と第２反射シール３７とは、チャック１９を含む支持体１１および、または被搬送物１２に設けることができる。

図３では、第１反射シール３６および第２反射シール３７として、矩形状のものが例示されている。これは、図２に示される制限領域２６および非制限領域２５の平面形状に対応したものであり、特に図１に示されるように制限領域２６が処理装置１４のカバー２２に形成される場合に適合したものである。これに対し、制限領域２６および非制限領域２５の平面形状が矩形以外の形状である場合には、第１反射シール３６および第２反射シール３７の形状も、それに応じたものとすることが好適である。また、場合によっては、制限領域２６が、矩形を構成可能な特定の２辺のみによって形成されることなどもあり得る。

上記においては、第１検出装置４５と第２検出装置４６との特に好ましい例について説明した。上記の例によれば、第１反射シール３６と、第１反射シール３６に貼り重ねることができる第２反射シール３７とを用いるとともに投受光装置３８を用いるだけの簡単な構成で、第１検出装置４５と第２検出装置４６とを構築することができる。

しかし、第１検出装置４５と第２検出装置４６とは、他の構成によることも可能である。たとえば、貼り重ね構造ではなく、第２反射シール３７の周囲に枠形状の第１反射シール３６を設けた構成であっても差し支えないし、第１反射シール３６および第２反射シール３７を並べて配置することも可能であり、さらに他の構成を採用することもできる。図示の例では、投受光装置３８の光量センサ４２によって反射光の光量を検出することで所要の検出を行っているが、他の手法を採用することもできる。たとえば画像処理技術やその他の光学的手法を利用することも可能である。あるいは、光学的手法以外の、たとえば電磁気的な変位センサを用いた検出も可能である。つまり、当業者であれば、本発明を実施するにあたり、上述のように、すでに知られている適宜の検出手段を用いることが可能である。

図７に示すように、本発明の搬送装置によれば、床面１５に複数の処理装置１４、１４、・・・が設置されており、搬送体１７は、天井レール１６に沿って、複数の処理装置１４、１４、・・・にわたって走行するように構成されていることが好適である。これによれば、一つの被搬送物１２に複数の処理を施すことが可能であるほかに、複数の被搬送物１２に同時に処理を行うことも可能である。図７に示される例では、カバー２２を有する処理装置１４と、カバーを有しない処理装置４８とが存在している。カバー２２を有する処理装置１４においては、制御装置３５によって上述の制御を行うことが好ましい。これに対しカバーを有しない処理装置４８の場合は、図２に示される非制限領域２５は存在するが制限領域２６は存在しないため、第１検出装置４５の検出結果にもとづく制御のみを行えば足り、第２検出装置４６の検出結果にもとづく制御は行わなくても問題ない。

図８に示すように、制御装置３５が、各処理装置１４や、各処理装置１４における制限領域２６などに関するマップ情報を記憶した記憶媒体５０を有することが好ましい。あるいは、マップ情報を記憶した記憶媒体５０は、図８に示す支持体１１や、図８では記載を省略した搬送体１７に設けることもできる。すなわち、マップ情報を記憶した記憶媒体５０は、制御装置３５と、搬送体１７と、支持体１１との少なくともいずれかに設けられていることが好適である。また、マップ情報を記憶した記憶媒体５０は、制御装置３５と搬送体１７と支持体１１と以外の、別の場所に設けることもできる。このような構成であると、たとえば図７に示されるカバー２２すなわち制限領域２６を備えた処理装置１４と、カバー２２すなわち制限領域２６を備えない処理装置４８との位置を、制御装置３５が認識して、その位置情報に応じた適切な制御を行うことができる。

記憶媒体５０に記憶されたマップ情報には、図１に示される鉛直方向１３の移動経路に沿ったカバー２２すなわち制限領域２６の設置位置を含ませることができる。このような構成であると、制御装置３５によって、鉛直方向１３に沿った制限領域２６と非制限領域２５との存在位置を確実に認識した高精度の制御を行うことができる。

図８および図１に示すように、本発明の搬送装置は、支持体１１の鉛直方向１３の移動経路に沿った支持体１１の位置を検出する位置検出装置５１を有することが好ましい。このような構成であると、被搬送物１２を支持した支持体１１の位置を検出しながら非制限領域２５と制限領域２６とにおける搬送動作を制御装置３５によって制御することができるため、確実な制御を行うことができる。たとえば、支持体１１を鉛直方向に移動させるための駆動装置１８がモータなどである場合には、位置検出装置５１は、このモータに連動されたロータリエンコーダによって構成することができる。

位置検出装置５１が設けられていると、支持体１１および被搬送物１２がカバー２２の設置位置または鉛直方向１３に沿ったその近傍位置に存在するか否か、つまり制限領域２６またはその近傍に存在するか否かを、制御装置３５が判断することができて、これらの位置や領域に適合したより精度の高い制御を行うことができる。

たとえば支持体１１および被搬送物１２が制限領域２６またはその近傍に存在するときに第２検出装置４６によって制限領域２６からのはみ出しが検出された場合には、たとえば昇降を停止したり、減速すなわち昇降速度を低下させて様子を見たりするなどの、それに応じた慎重な動作を行うように制御することができる。反対に支持体１１および被搬送物１２が制限領域２５またはその近傍には存在しないときには、すなわち非制限領域２５に存在しているときには、制限領域２６からのはみ出しがあっても、非制限領域２５の内部に収まっていれば、被搬送物１２を問題なく昇降させることができる。

制限領域２６を通過したことが位置検出装置５１よって検出されたなら、昇降動作を問題なく継続させるか、あるいは増速するなどの制御を行うことができる。

本発明の搬送装置および上記した搬送方法によると、地震発生時における迅速かつ的確な制御を行うこともできる。良く知られているように、地震波には縦波であるＰ波と、横波であるＳ波とが存在する。Ｐ波は振幅がＳ波よりも小さいが伝搬速度は速い。Ｓ波は振幅が大きいが伝搬速度はＰ波よりも遅い。地震発生時にＰ波が観測されたなら、原則として支持体１１の移動を停止させる。これに対し、移動中にＰ波を受けたときの支持体１１および被搬送物１２の揺れがあまり大きくないことが第１検出装置４５および第２検出装置４６によって検出されたなら、Ｓ波が到達するまでの間に、被搬送物１２を、安全に載置台２１まで降ろしきる、あるいは安全に搬送体１７まで上げきるなどの処置を行うことが可能である。

本発明の搬送装置および上記した搬送方法は、処理装置１４、４８の検品に用いることもできる。たとえば第２検出装置４６による検出結果が「制限領域２６の内部」であったにもかかわらず、被搬送物１２や、チャック１９を含む支持体１１が、処理装置１４のカバー２２に衝突した場合には、その衝突したという記録をたとえば制御装置３５における記憶装置に格納しておくことで、カバー２２の施工不良を指し示すことができる。

１１ 支持体
１２ 被搬送物
１７ 搬送体
１９ チャック
２１ 載置台
２２ カバー
２５ 非制限領域
２６ 制限領域
３５ 制御装置
３６ 第１反射シール
３７ 第２反射シール
３８ 投受光装置
４０ 光源
４２ 光量センサ
４５ 第１検出装置
４６ 第２検出装置
５０ 記憶媒体
５１ 位置検出装置

Claims (13)

1. 支持体により支持された被搬送物を、鉛直方向に沿って、非制限領域と、前記非制限領域よりも狭い制限領域とにおいて搬送可能な搬送装置であって、
   前記支持体により支持された被搬送物の正規位置からの振れが、鉛直方向に交差する方向における非制限領域の範囲内であるか非制限領域の範囲外であるかを検出する第１検出装置と、
   前記支持体により支持された被搬送物の正規位置からの振れが、鉛直方向に交差する方向における前記非制限領域よりも狭い制限領域の範囲内であるか制限領域の範囲外であるかを検出する第２検出装置と、
   第１検出装置の検出結果と第２検出装置の検出結果とにもとづいて、前記支持体による前記被搬送物の搬送動作を制御する制御装置と、
   を有することを特徴とする搬送装置。
2. 制御装置は、
   非制限領域では、第１検出装置の検出結果にもとづいて支持体による被搬送物の搬送動作を制御するものであるとともに、
   制限領域では第２検出装置の検出結果にもとづいて支持体による被搬送物の搬送動作を制御するものであることを特徴とする請求項１記載の搬送装置。
3. 被搬送物のための処理装置であって非制限領域と制限領域とを有した処理装置と、
   支持体を保持しながら、処理装置よりも上側の位置において水平方向に走行する搬送体と、
   を有し、
   支持体は、昇降動作により、処理装置よりも上側の位置と、処理装置における被搬送物の載置位置との間で被搬送物を搬送するものであることを特徴とする請求項１記載の搬送装置。
4. 処理装置は、複数設けられていて、制限領域を有する第１処理装置と、制限領域を有しない第２処理装置とを含むことを特徴とする請求項３記載の搬送装置。
5. 制御装置と、搬送体と、支持体との少なくともいずれか一つが、各処理装置における制限領域と非制限領域殿少なくともいずれかに関するマップ情報を有することを特徴とする請求項３記載の搬送装置。
6. マップ情報は、支持体の鉛直方向の移動経路に沿った制限領域の設置位置を含むことを特徴とする請求項５記載の搬送装置。
7. 支持体の移動経路に沿った前記支持体の位置を検出する位置検出装置を有することを特徴とする請求項２記載の搬送装置。
8. 制御装置は、支持体の移動経路に沿った前記支持体の移動速度を制御するものであることを特徴とする請求項１記載の搬送装置。
9. 制御装置は、第２検出装置が、支持体により支持された被搬送物の正規位置からの振れが制限領域の範囲外であることを検出したときに、支持体により支持された被搬送物の正規位置からの振れが制限領域の範囲内であるときよりも、支持体の移動速度を減速させるものであることを特徴とする請求項８記載の搬送装置。
10. 第１検出装置は、被搬送物の正規位置からの振れが非制限領域の範囲内であるときと非制限領域の範囲外であるときとにおいて変化する第１物理量を検出するものであり、
    第２検出装置は、被搬送物の正規位置からの振れが制限領域の範囲内であるときと制限領域の範囲外であるときとにおいて変化する第２物理量を検出するものであることを特徴とする請求項１から９までのいずれか１項記載の搬送装置。
11. 搬送体に設けられて、支持体に向けて光線を照射させる光線照射装置と、
    支持体および、または被搬送物に設けられて、前記光線照射装置からの光線を反射させる反射部材と、
    搬送体に設けられて、前記反射部材からの反射光の光量を検出する光量検出装置とを有し、
    前記反射部材は、互いに反射率が異なる第１反射体と第２反射体とを有し、
    第１反射体は、被搬送物の正規位置からの振れについての非制限領域に対応したサイズで形成されており、
    第２反射体は、被搬送物の正規位置からの振れについての制限領域に対応したサイズで形成されており、
    第１検出装置は、前記光量検出装置にて検出された前記反射光の光量の第１の違いにより、被搬送物の正規位置からの振れが非制限領域の範囲内であるか非制限領域の範囲外であるかを検出するものであり、
    第２検出装置は、前記光量検出装置にて検出された前記反射光の光量の第２の違いにより、被搬送物の正規位置からの振れが制限領域の範囲内であるか制限領域の範囲外であるかを検出するものであることを特徴とする請求項１０記載の搬送装置。
12. 第１反射体は、第２反射体に比べてサイズが大きく、
    第２反射体は、第１反射体が設けられている領域の内部に設置されていることを特徴とする請求項１１記載の搬送装置。
13. 支持体により支持された被搬送物を、前記支持体を保持した搬送体によって、処理装置よりも上側の位置において水平方向に搬送させるとともに、前記支持体を搬送体から下降または搬送体に向けて上昇させることによって前記被搬送物を前記搬送体と処理装置との間で昇降させるに際し、
    制御装置におけるマップ情報を用いた制御動作によって、前記所定の処理装置における、鉛直方向に沿った、非制限領域よりも狭い制限領域の有無と、前記制限領域の位置とを判定し、
    第１検出装置によって、前記支持体により支持されて下降される被搬送物の正規位置からの振れが、鉛直方向に交差する方向における前記非制限領域の範囲内であるか非制限領域の範囲外であるかを検出し、
    第２検出装置によって、前記支持体により支持されて下降される被搬送物の正規位置からの振れが、鉛直方向に交差する方向における前記制限領域の範囲内であるか制限領域の範囲外であるかを検出し、
    前記制御装置によって、前記非制限領域では、第１検出装置の検出結果にもとづいて前記支持体の昇降動作を制御するとともに、前記制限領域では、第２検出装置の検出結果にもとづいて前記支持体の昇降動作を制御する、
    ことを特徴とする搬送方法。

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