JP2024034498A - 実装システム、及び実装方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 実装精度の向上を図ることができる実装システム、及び実装方法を提供する。【解決手段】 実装システム１において、捕捉部２２は、第１対象物Ｃ１を捕捉する。駆動部４は、捕捉部２２を駆動する。駆動制御部５１は、駆動部４を制御する。撮像部３は、捕捉部２２によって捕捉する前の第１対象物Ｃ１、第１対象物Ｃ１が載置されている載置部６７１、及び捕捉部２２によって第１対象物Ｃ１が装着される前の第２対象物Ｃ２の装着部Ｄ１の少なくとも１つを監視対象として撮像する。補正情報作成部５３は、撮像部３の撮像画像に基づいて、監視対象を撮像してから所定時間が経過した後における捕捉部２２の位置と監視対象の位置との差分を予測差分として予測し、予測差分に基づいて駆動部４の制御を補正するための補正情報を作成する。駆動制御部５１は、補正情報に基づいて、駆動部４の制御を補正する。【選択図】図１

Description

本開示は、実装システム、及び実装方法に関する。

特許文献１の部品実装装置は、実装ヘッドと、実装ヘッドを駆動するモータ駆動部とを備える。実装ヘッドは、吸着ノズル、光学系及びカメラモジュールを有する。光学系は、ステレオ光学系である。カメラモジュールは、ステレオ光学系を介して、プリント基板上の部品搭載位置のパターンの３次元的な位置を、吸着ノズルが部品搭載位置の直上にある状態で測定する。そして、モータ駆動部は、カメラモジュールによる測定結果に基づいて、実装ヘッドの位置を修正する。

特開２０１４－２１６６２１号公報

特許文献１のように部品（第１対象物）を基板（第２対象物）に実装する部品実装装置（実装システム）には、実装精度の向上が求められている。

本開示の目的は、実装精度の向上を図ることができる実装システム、及び実装方法を提供することにある。

本開示の一態様に係る実装システムは、第１対象物を第２対象物に実装する。実装システムは、捕捉部と、駆動部と、駆動制御部と、撮像部と、補正情報作成部と、を備える。前記捕捉部は、前記第１対象物を捕捉する。前記駆動部は、前記捕捉部を駆動する。前記駆動制御部は、前記駆動部を制御する。前記撮像部は、前記捕捉部によって捕捉する前の前記第１対象物、前記第１対象物が載置されている載置部、及び前記捕捉部によって前記第１対象物が装着される前の前記第２対象物の装着部の少なくとも１つを監視対象として撮像する。前記補正情報作成部は、前記撮像部の撮像画像に基づいて、前記監視対象を撮像してから所定時間が経過した後における前記捕捉部の位置と前記監視対象の位置との差分を予測差分として予測し、前記予測差分に基づいて前記駆動部の制御を補正するための補正情報を作成する。そして、前記駆動制御部は、前記補正情報に基づいて、前記駆動部の制御を補正する。

本開示の一態様に係る実装方法は、第１対象物を第２対象物に実装する。前記実装方法は、撮像ステップと、補正情報作成ステップと、駆動制御ステップと、を含む。前記撮像ステップは、前記第１対象物を捕捉する捕捉部によって捕捉する前の前記第１対象物、前記第１対象物が載置されている載置部、及び前記捕捉部によって前記第１対象物が装着される前の前記第２対象物の装着部の少なくとも１つを監視対象として撮像する。前記補正情報作成ステップは、前記撮像ステップの撮像画像に基づいて、前記監視対象を撮像してから所定時間が経過した後における前記捕捉部の位置と前記監視対象の位置との差分を予測差分として予測し、前記予測差分に基づいて駆動部の制御を補正するための補正情報を作成する。前記駆動制御ステップは、前記捕捉部を駆動する駆動部を制御する。そして、前記駆動制御ステップは、前記補正情報に基づいて、前記駆動部の制御を補正する。

本開示では、実装精度の向上を図ることができるという効果がある。

図１は、実施形態の実装システムを示す構成図である。 図２は、同上の実装システムの要部を示す斜視図である。 図３は、同上の実装システムを示すブロック図である。 図４は、同上の実装システムの捕捉部及び撮像部の近傍を示す側面図である。 図５Ａ－図５Ｄは、同上の実装システムの動作を示す図である。 図６Ａ－図６Ｃは、同上の実装システムにおける捕捉目標位置と部品位置との関係を示す各図である。 図７Ａ、図７Ｂは、同上の実装システムにおける装着目標位置とランド位置との関係を示す各図である。 図８Ａ、図８Ｂは、同上の実装システムにおける装着目標位置とはんだ位置との関係を示す各図である。 図９は、指令情報を補正していないときの捕捉部の先端の位置の時間変化を示すグラフである。 図１０は、比較技術を用いたときの捕捉部の先端の位置の時間変化を示すグラフである。 図１１は、実施形態の実装システムにおいて予測制御された捕捉部の先端の位置の時間変化を示すグラフである。 図１２は、第４変形例の実装システムにおいて、処理部及び予測部の配置を示すブロック図である。 図１３は、同上の実装システムにおいて、処理部及び予測部の別の配置を示すブロック図である。 図１４は、同上の実装システムにおいて、処理部及び予測部の別の配置を示すブロック図である。 図１５は、同上の実装システムにおいて、処理部及び予測部の別の配置を示すブロック図である。 図１６は、第６変形例の実装システムの撮像部を示す側面図である。 図１７は、実施形態及び第１変形例－第６変形例の実装システムが実行する実装方法を示すフローチャートである。

以下の実施形態は、一般に、実装システム、及び実装方法に関する。より詳細には、第１対象物を第２対象物に実装する実装システム、及び実装方法に関する。

以下、実施形態に係る実装システム、及び実装方法について、図１－図１７を参照して詳細に説明する。ただし、下記の実施形態において説明する各図は模式的な図であり、各構成要素の大きさや厚さそれぞれの比が必ずしも実際の寸法比を反映しているとは限らない。なお、以下の実施形態で説明する構成は本開示の一例にすぎない。本開示は、以下の実施形態に限定されず、本開示の効果を奏することができれば、設計等に応じて種々の変更が可能である。

また、以下の説明では、特に断りのない限り、図１及び図２において、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸を規定する。本実施形態では、Ｘ軸及びＹ軸は水平方向に延び、Ｚ軸は鉛直方向に延びている。

（１）実装システムの概要
以下、本実施形態に係る実装システム１の概要について説明する。

実装システム１は、図１、図５Ａ－図５Ｄに示すように、第１対象物Ｃ１を第２対象物Ｃ２に実装する実装装置（実装機）である。実装システム１は、例えば、工場、研究所、事務所及び教育施設等の施設において、電子機器、自動車、衣料品、食料品、医薬品及び工芸品等の種々の製品の製造のための作業に用いられる。

本実施形態では、実装システム１が、工場での電子機器の製造に用いられる場合について説明する。一般的な電子機器は、例えば、電源回路及び制御回路等の各種の回路ブロックを有している。これらの回路ブロックの製造にあたっては、一例として、はんだ塗布工程、実装工程、及びはんだ付け工程が、この順で行われる。はんだ塗布工程では、基板（プリント配線板を含む）にクリーム状はんだが塗布（又は印刷）される。実装工程では、基板に部品（電子部品を含む）が実装（搭載）される。はんだ付け工程では、例えば、部品が実装された状態の基板を、リフロー炉にて加熱することにより、クリーム状はんだを溶かしてはんだ付けが行われる。実装システム１は、実装工程において、第２対象物Ｃ２である基板Ｃ２０に対して、第１対象物Ｃ１である部品Ｃ１０を実装する作業を行う。すなわち、本実施形態に係る実装システム１では、第２対象物Ｃ２は、基板Ｃ２０であり、第１対象物Ｃ１は、基板Ｃ２０に実装される部品Ｃ１０である。

このように、第２対象物Ｃ２（基板Ｃ２０）への第１対象物Ｃ１（部品Ｃ１０）の実装に用いられる実装システム１は、図１に示すように、実装ヘッド２、撮像部３、駆動部４、制御部５、基台６１、搬送装置６２、複数の部品供給装置６３、及び固定カメラ７を備えている。

搬送装置６２は、基台６１上をＸ軸方向に延びた一対のコンベア機構６２ａを有しており、第２対象物Ｃ２である基板Ｃ２０をＸ軸方向に搬送して所定の実装スペースに位置決めする。

複数の部品供給装置６３は、基台６１に連結される台車６４のフィーダベース６５にＸ軸方向に並んで取り付けられたテープフィーダを有する。各部品供給装置６３は、リール６６より供給されるキャリアテープ６７をピッチ送りし、キャリアテープ６７に保持された第１対象物Ｃ１である部品Ｃ１０を部品供給口６３ａに供給する。リール６６は台車６４に保持されている。キャリアテープ６７の表面には、図６Ａに示すように、複数の凹形状の載置部（ポケット）６７１がキャリアテープ６７の長尺方向に沿って並んで設けられている。載置部６７１の内部（底面）には部品Ｃ１０が載置されている。載置部６７１に載置されている部品Ｃ１０は、後述の捕捉部２２にまだ捕捉されていない捕捉前の部品Ｃ１０である。

固定カメラ７は、基台６１上に取り付けられ、上方を撮像する。

実装ヘッド２は、Ｘ－Ｙ平面に沿って移動可能であり、さらに第２対象物Ｃ２を捕捉するための捕捉部２２を有する。捕捉部２２は、一例としてＺ軸に沿って鉛直方向に移動（上昇及び下降）するストローク動作が可能な吸着ノズルからなる。

実装システム１は、実装工程において、捕捉部２２によって部品供給口６３ａに位置する部品Ｃ１０を載置部６７１（図６Ａ参照）から捕捉し、基板Ｃ２０に部品Ｃ１０を実装する。図８Ａに示すように、基板Ｃ２０の実装面Ｃ２１（表面）には、一対のランドＤ１１が形成され、ランドＤ１１にはクリーム状のはんだＤ１２が塗布されている。そして、捕捉部２２は、一対のランドＤ１１のはんだＤ１２の上に部品Ｃ１０を載置する。なお、一対のランドＤ１１、及び一対のランドＤ１１にそれぞれ塗布されているはんだＤ１２の少なくとも一方が、基板Ｃ２０の装着部Ｄ１に相当する。

このような実装工程における捕捉部２２の位置制御には、高い実装精度が求められる。

そこで、本実施形態の実装システム１は、捕捉部２２と、駆動部４と、駆動制御部５１と、撮像部３と、補正情報作成部５３と、を備える。捕捉部２２は、部品Ｃ１０を捕捉する。駆動部４は、捕捉部２２を駆動する。駆動制御部５１は、駆動部４を制御する。撮像部３は、捕捉部２２によって捕捉する前の部品Ｃ１０（第１対象物Ｃ１）、部品Ｃ１０が載置されている載置部６７１（図６Ａ参照）、及び捕捉部２２によって部品Ｃ１０が装着される前の基板Ｃ２０（第２対象物Ｃ２）の装着部Ｄ１（図７Ａ及び図８Ａ参照）の少なくとも１つを監視対象として撮像する。補正情報作成部５３は、撮像部３の撮像画像に基づいて、監視対象を撮像してから所定時間（図１１の遅延時間Ｔ１に相当）が経過した後における捕捉部２２の位置と監視対象の位置との差分を予測差分Ｗ１（図１１参照）として予測し、予測差分Ｗ１に基づいて駆動部４の制御を補正するための補正情報を作成する。駆動制御部５１は、補正情報に基づいて、駆動部４の制御を補正する。

上述の実装システム１は、実装精度の向上を図ることができる。

（２）詳細
（２．１）前提
本実施形態では一例として、表面実装技術（SMT：Surface Mount Technology）による部品Ｃ１０の実装に、実装システム１が用いられる場合について説明する。つまり、部品Ｃ１０は、表面実装用の部品（SMD：Surface Mount Device）であって、基板Ｃ２０の実装面Ｃ２１（表面）上に配置されることをもって実装される。ただし、この例に限らず、挿入実装技術（IMT：Insertion Mount Technology）による部品Ｃ１０の実装に、実装システム１が用いられてもよい。この場合、部品Ｃ１０は、リード端子を有する挿入実装用の部品であり、基板Ｃ２０の孔にリード端子を挿入することをもって、基板Ｃ２０の実装面Ｃ２１上に実装される。

また、本開示でいう「撮像光軸」は、撮像部３で撮像される画像（撮像部３の撮像画像）についての光軸であって、撮像部３の撮像素子３１（図３参照）及び光学系３２（図３参照）の両方によって定まる光軸である。つまり、撮像素子３１の受光面の中心と、光学系３２を通して撮像素子３１の受光面の中心に結像する撮像領域Ｒ１（図４参照）内の部位と、を結ぶ直線が撮像部３の撮像光軸ＡＸ１（図４参照）となる。

また、本開示において、撮像部３の撮像画像は、静止画（静止画像）及び動画（動画像）を含む。さらに、「動画」は、コマ撮り等により得られる複数の静止画にて構成される撮像画像を含む。撮像部３の撮像画像は、撮像部３から出力されたデータそのものでなくてもよい。例えば、撮像部３の撮像画像は、必要に応じて適宜データの圧縮、他のデータ形式への変換、又は撮像部３の撮像画像から一部を切り出す加工、ピント調整、明度調整、若しくはコントラスト調整等の加工が施されていてもよい。本実施形態では一例として、撮像部３の撮像画像は、フルカラーの動画である。

以下では一例として、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸の３軸を設定し、基板Ｃ２０の実装面Ｃ２１に平行な軸を「Ｘ軸」及び「Ｙ軸」とし、基板Ｃ２０の厚み方向に平行な軸を「Ｚ」軸とする。さらに、Ｚ軸に沿う両方向のうち一方向を上方向とし、他方向を下方向とする。例えば、捕捉部２２が基板Ｃ２０の実装面Ｃ２１に対向しているとき、基板Ｃ２０は、捕捉部２２の下方に位置する。なお、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸は、いずれも仮想的な軸であり、図面中の「Ｘ」、「Ｙ」、「Ｚ」を示す矢印は、説明のために表記しているに過ぎず、いずれも実体を伴わない。また、これらの方向は実装システム１の使用時の方向を限定する趣旨ではない。

また、実装システム１には、冷却水の循環用のパイプ、電力供給用のケーブル及び空圧（正圧及び真空を含む）供給用のパイプ等が接続されるが、本実施形態では、これらの図示を適宜省略する。

（２．２）全体構成
次に、本実施形態に係る実装システム１の要部について、図１－図４、図５Ａ－図５Ｄを参照して説明する。

本実施形態に係る実装システム１は、実装ヘッド２と、撮像部３と、駆動部４と、制御部５と、を備えている。また、本実施形態では、実装システム１は、図３に示すように、実装ヘッド２、撮像部３、駆動部４、及び制御部５に加えて、搬送装置６２、部品供給装置６３、及び固定カメラ７を更に備えている。ただし、搬送装置６２、部品供給装置６３、及び固定カメラ７は、実装システム１に必須の構成ではない。つまり、搬送装置６２、部品供給装置６３、及び固定カメラ７の全部又は一部は、実装システム１の構成要素に含まれなくてもよい。また、図２では、実装ヘッド２、撮像部３、及び駆動部４のみを図示し、その他の実装システム１の構成の図示を適宜省略している。また、図４では、実装ヘッド２の周辺を図示し、その他の実装システム１の構成の図示を適宜省略している。

実装ヘッド２は、少なくとも１つの捕捉部２２を有している。本実施形態では、実装ヘッド２はヘッドユニット２１を有し、ヘッドユニット２１には１つの捕捉部２２が取り付けられている。そして、実装ヘッド２は、捕捉部２２によって部品供給口６３ａの部品Ｃ１０を捕捉し、部品Ｃ１０を捕捉している捕捉部２２を基板Ｃ２０に近づけるように移動させ、部品Ｃ１０を基板Ｃ２０の実装面Ｃ２１に実装する。つまり、実装ヘッド２は、捕捉部２２を、部品供給口６３ａ及び基板Ｃ２０のそれぞれに向けて移動可能に保持する。

撮像部３は、実装ヘッド２のヘッドユニット２１に固定されている。撮像部３は、撮像素子３１と、光学系３２と、を有している。撮像部３は、例えば、動画を撮像するビデオカメラである。撮像部３は、捕捉部２２の少なくとも先端２２０を含む撮像領域Ｒ１を有する。

上述の捕捉部２２及び撮像部３はヘッドユニット２１に取り付けられており、捕捉部２２及び撮像部３は、ヘッドユニット２１（実装ヘッド２）と同期して移動する。

制御部５は、実装システム１の各部を制御する。制御部５は、コンピュータシステムを備えることが好ましい。すなわち、制御部５では、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、又はＭＰＵ（Micro Processing Unit）などのプロセッサがメモリに記憶されているプログラムを読み出して実行することによって、制御部５の一部又は全部の機能が実現される。制御部５は、プログラムに従って動作するプロセッサを主なハードウェア構成として備える。プロセッサは、プログラムを実行することによって機能を実現することができれば、その種類は問わない。プロセッサは、半導体集積回路（ＩＣ）、又はＬＳＩ（Large Scale Integration）を含む一つ又は複数の電子回路で構成される。ここでは、ＩＣやＬＳＩと呼んでいるが、集積の度合いによって呼び方が変わり、システムＬＳＩ、ＶＬＳＩ（Very Large Scale Integration）、若しくはＵＬＳＩ（Ultra Large Scale Integration）と呼ばれるものであってもよい。ＬＳＩの製造後にプログラムされる、フィールド・プログラマブル・ゲート・アレイ（FPGA）、又はＬＳＩ内部の接合関係の再構成又はＬＳＩ内部の回路区画のセットアップができる再構成可能な論理デバイスも同じ目的で使うことができる。複数の電子回路は、一つのチップに集積されてもよいし、複数のチップに設けられてもよい。複数のチップは集約して配置されてもよいし、分散して配置されてもよい。

なお、制御部５は、１台のコンピュータ装置、及び互いに連携した複数台のコンピュータ装置のいずれで実現されていてもよい。また、制御部５は、クラウドコンピューティングシステムとして構築されていてもよい。

制御部５は、例えば、実装ヘッド２、撮像部３、駆動部４、搬送装置６２、部品供給装置６３、及び固定カメラ７の各々と電気的に接続されている。制御部５は、駆動部４に制御信号を出力し、捕捉部２２にて捕捉した部品Ｃ１０を基板Ｃ２０の実装面Ｃ２１に実装するように、駆動部４を制御する。また、制御部５は、撮像部３及び固定カメラ７に制御信号を出力して、撮像部３及び固定カメラ７を制御したり、撮像部３及び固定カメラ７のそれぞれの撮像画像を撮像部３及び固定カメラ７のそれぞれから取得したりする。

駆動部４は、実装ヘッド２のヘッドユニット２１及び捕捉部２２を移動させる装置である。本実施形態では、駆動部４は、ヘッドユニット２１をＸ－Ｙ平面内で水平方向に移動させ、捕捉部２２をＺ軸に沿う鉛直方向に移動させる。ここでいう「Ｘ－Ｙ平面」は、Ｘ軸及びＹ軸を含む平面であって、Ｚ軸と直交する平面である。言い換えると、駆動部４は、ヘッドユニット２１をＸ軸方向及びＹ軸方向に移動させる。本実施形態では、捕捉部２２及び撮像部３がヘッドユニット２１に固定されているため、駆動部４は、捕捉部２２及び撮像部３についてもヘッドユニット２１と共に移動させる。言い換えると、図１において、実装ヘッド２及び撮像部３は、駆動部４によって、搬送装置６２の実装スペースに位置決めされている基板Ｃ２０の上方と部品供給装置６３の部品供給口６３ａの上方との間を移動する。

具体的には、駆動部４は、図２に示すように、水平駆動部４１と、鉛直駆動部４２と、を備えている。

水平駆動部４１は、Ｘ軸駆動部４１１と、Ｙ軸駆動部４１２と、を有している。Ｘ軸駆動部４１１は、ヘッドユニット２１をＸ軸方向に直進移動させる。Ｙ軸駆動部４１２は、ヘッドユニット２１をＹ軸方向に直進移動させる。Ｙ軸駆動部４１２は、ヘッドユニット２１を、Ｘ軸駆動部４１１ごとＹ軸に沿って移動させることで、ヘッドユニット２１をＹ軸方向に直進移動させる。本実施形態では一例として、Ｘ軸駆動部４１１及びＹ軸駆動部４１２の各々は、リニアモータを含み、電力供給を受けてリニアモータで発生する駆動力により、ヘッドユニット２１を移動させる。

鉛直駆動部４２は、捕捉部２２をＺ軸方向に直進移動させる。さらに、鉛直駆動部４２は、捕捉部２２をＺ軸方向に沿った軸線を中心とする回転方向（以下、「θ方向」という）に回転移動させる。すなわち、鉛直駆動部４２は、捕捉部２２をＺ軸方向に直進移動させ、捕捉部２２をθ方向に回転移動させるアクチュエータである。本実施形態では一例として、Ｚ軸方向への捕捉部２２の移動に関しては、鉛直駆動部４２は、リニアモータで発生する駆動力にて駆動する。θ方向への捕捉部２２の移動に関しては、鉛直駆動部４２は、回転型モータで発生する駆動力にて駆動する。ここで、上述したように、ヘッドユニット２１は、水平駆動部４１によりＸ軸方向及びＹ軸方向に直進移動する。結果的に、ヘッドユニット２１に取り付けられている捕捉部２２は、水平駆動部４１及び鉛直駆動部４２によって、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向及びθ方向に移動することが可能になる。

部品供給装置６３は、実装ヘッド２の捕捉部２２にて捕捉される部品Ｃ１０を供給する。部品供給装置６３は、一例として、キャリアテープに収容された部品Ｃ１０を供給するテープフィーダを有している。または、部品供給装置６３は、複数の部品Ｃ１０が載せ置かれたトレイを有していてもよい。実装ヘッド２は、このような部品供給装置６３から、部品Ｃ１０を捕捉部２２にて捕捉する。

搬送装置６２は、基板Ｃ２０を搬送する装置である。搬送装置６２は、例えば、ベルトコンベヤ等で実現される。搬送装置６２は、基板Ｃ２０を、例えば、Ｘ軸に沿って搬送する。搬送装置６２は、少なくとも実装ヘッド２の下方、つまりＺ軸方向において捕捉部２２と対向する実装スペースに、基板Ｃ２０を搬送する。そして、搬送装置６２は、実装ヘッド２による基板Ｃ２０への部品Ｃ１０の実装が完了するまでは、実装スペースに基板Ｃ２０を停止させる。

図５Ａ－図５Ｄは、実装工程で行われる生産動作の概略を示す。

まず、図５Ａでは、部品Ｃ１０を捕捉していない捕捉部２２が部品供給口６３ａの上方に位置している。そして、捕捉部２２は、矢印Ｍ１で示される鉛直方向に下降して、部品供給口６３ａに位置する部品Ｃ１０を捕捉（保持）する捕捉動作を行う。この捕捉動作では、捕捉部２２は、図６Ａに示すキャリアテープ６７の凹形状の載置部６７１に載置されている部品Ｃ１０を捕捉する。そして、図５Ｂに示すように、実装ヘッド２は、基板Ｃ２０に近付くように、矢印Ｍ２で示される水平方向に移動する。すなわち、部品Ｃ１０を捕捉している捕捉部２２は、基板Ｃ２０に近付くように移動する。そして、図５Ｃに示すように、実装ヘッド２は、捕捉部２２が基板Ｃ２０の上方にまで移動すると停止する。そして、図５Ｄに示すように、捕捉部２２が矢印Ｍ３で示される鉛直方向に下降して、基板Ｃ２０の実装面Ｃ２１に部品Ｃ１０を装着する装着動作を行う。この装着動作では、捕捉部２２は、図８Ａに示す一対のランドＤ１１のそれぞれのはんだＤ１２の上に部品Ｃ１０を載置する。なお、図５Ｂにおいて、実装ヘッド２が水平方向に移動しているときに、捕捉部２２が下降を開始してもよい。また、部品Ｃ１０を捕捉していない捕捉部２２が部品供給口６３ａの上方に向かって水平移動しているときに（図５Ａ以前の状態）、捕捉部２２が下降を開始してもよい。

実装システム１は、上記構成に加えて、バックアップ装置、照明装置、及び通信部などを備えていてもよい。

バックアップ装置は、搬送装置６２によって実装スペースに搬送された基板Ｃ２０をバックアップする。つまり、搬送装置６２によって実装スペースに搬送された基板Ｃ２０は、バックアップ装置にて、実装スペースに保持される。

照明装置は、撮像部３の撮像領域Ｒ１（図４参照）を照明する。照明装置は、少なくとも撮像部３が撮像するタイミング（撮像タイミング）で点灯すればよく、例えば、撮像部３の撮像タイミングに合わせて発光する。本実施形態では、撮像部３の撮像画像は、フルカラーの動画であるので、照明装置は、白色光等の可視光領域の波長域の光を出力する。本実施形態では一例として、照明装置は、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）等の光源を複数有している。照明装置は、これら複数の光源を発光させることで、撮像部３の撮像領域Ｒ１を照らす。照明装置は、例えば、リング照明又は同軸落射照明等の適宜の照明方式にて実現される。照明装置は、例えば、撮像部３と共に実装ヘッド２に固定されている。

通信部は、直接的、又はネットワーク若しくは中継器等を介して間接的に、上位システムと通信するように構成されている。これにより、実装システム１は、上位システムとの間でデータを授受することが可能である。

（２．３）実装ヘッド
実装ヘッド２のより詳細な構成について、図２－図４を参照して説明する。

本実施形態では、実装ヘッド２は、外殻としてのヘッドユニット２１を備え、ヘッドユニット２１の下面には捕捉部２２が取り付けられ、ヘッドユニット２１の内部には鉛直駆動部４２が収納されている。本実施形態に係る実装システム１では、１つのヘッドユニット２１に、捕捉部２２及び鉛直駆動部４２が１つずつ取り付けられている。これにより、実装ヘッド２では、１つの部品Ｃ１０を捕捉可能である。

捕捉部２２は、例えば、吸着ノズルである。捕捉部２２は、制御部５にて制御され、部品Ｃ１０を捕捉（保持）する捕捉状態と、部品Ｃ１０を解放（捕捉を解除）する解放状態と、を切替可能である。ただし、捕捉部２２は、吸着ノズルに限らず、例えば、ロボットハンドのように部品Ｃ１０を挟む（摘む）ことによって捕捉（保持）する構成でもよい。

捕捉部２２による部品Ｃ１０の捕捉に関しては、実装ヘッド２は、動力としての空圧（真空）の供給を受けて動作する。つまり、実装ヘッド２は、捕捉部２２に繋がる空圧（真空）の供給路上のバルブを開閉することによって、捕捉部２２の捕捉状態と、解放状態と、を切り替える。

ヘッドユニット２１は、一例として、金属製であって直方体状に形成されている。捕捉部２２及び鉛直駆動部４２がヘッドユニット２１に組み付けられることによって、ヘッドユニット２１は捕捉部２２及び鉛直駆動部４２を保持する。本実施形態では、捕捉部２２は、Ｚ軸方向及びθ方向への移動が可能な状態で、鉛直駆動部４２を介してヘッドユニット２１に間接的に保持される。実装ヘッド２は、ヘッドユニット２１が水平駆動部４１にてＸ－Ｙ平面内で移動させられることによって、Ｘ－Ｙ平面内を移動する。

上述した構成によれば、実装ヘッド２は、部品Ｃ１０を捕捉していない捕捉部２２を部品供給口６３ａに近付けるように移動させ、部品供給装置６３において部品Ｃ１０を捕捉（保持）する捕捉動作を行うことが可能となる。また、実装ヘッド２は、実装システム１は、捕捉部２２にて部品Ｃ１０を捕捉した状態で、捕捉部２２を基板Ｃ２０に近づけるように移動させ、部品Ｃ１０を基板Ｃ２０の実装面Ｃ２１に装着する装着動作を行うことが可能となる。

（２．４）撮像部
撮像部３のより詳細な構成について、図２－図４を参照して説明する。

本実施形態では、撮像部３は、図４に示すように実装ヘッド２とともに移動する１つのカメラ３ａで構成されており、図３に示すように、撮像素子３１と、光学系３２と、を有している。光学系３２は、撮像素子３１に対して、撮像領域Ｒ１を撮像した撮像画像を結像する。

撮像素子３１は、例えば、ＣＣＤ（Charge Coupled Devices）又はＣＭＯＳ（Complementary Metal-Oxide Semiconductor）のようなイメージセンサである。撮像素子３１は、受光面に結像した画像を電気信号に変換して出力する。

光学系３２は、１つ以上のレンズ及びミラー等を含んでいる。本実施形態では一例として、光学系３２は、複数のレンズの組み合わせ（レンズ群）にて実現される。光学系３２は、撮像領域Ｒ１からの光を撮像素子３１の受光面に結像させる。なお、光学系３２は、上記の構成に限定されない。

撮像部３は、少なくとも捕捉部２２の先端（下端）２２０（図４参照）を撮像領域Ｒ１に含むように、捕捉部２２との相対的な位置を決められている。したがって、撮像部３の撮像画像には、少なくとも捕捉部２２の先端２２０が写る。

また、部品Ｃ１０を捕捉していない捕捉部２２が部品供給口６３ａの上方に向かって移動すると、捕捉部２２が部品供給口６３ａ到達する以前に、撮像領域Ｒ１には部品供給口６３ａが含まれる。すなわち、捕捉部２２が部品供給口６３ａ到達する以前に、撮像部３は、捕捉部２２の先端２２０と部品供給口６３ａとを撮像領域Ｒ１に含めて撮像することができる。つまり、撮像部３は、部品供給口６３ａにおいてキャリアテープ６７に保持された部品Ｃ１０、及び部品Ｃ１０が載置されている載置部６７１を、捕捉部２２の先端２２０とともに撮像領域Ｒ１に含めて撮像することができる。

また、部品Ｃ１０を捕捉している捕捉部２２が基板Ｃ２０の上方に向かって移動すると、捕捉部２２が基板Ｃ２０に到達する以前に、撮像領域Ｒ１には基板Ｃ２０が含まれる。すなわち、捕捉部２２が基板Ｃ２０に到達する以前に、撮像部３は、捕捉部２２の先端２２０と基板Ｃ２０とを撮像領域Ｒ１に含めて撮像することができる。つまり、撮像部３は、基板Ｃ２０の実装面Ｃ２１のランドＤ１１及びはんだＤ１２を、捕捉部２２の先端２２０とともに撮像領域Ｒ１に含めて撮像することができる。

上述のように、撮像部３は、捕捉部２２によって捕捉する前の部品Ｃ１０、部品Ｃ１０が載置されている載置部６７１、及び捕捉部２２によって部品Ｃ１０が装着される前の基板Ｃ２０の装着部Ｄ１（ランドＤ１１、はんだＤ１２）の少なくとも１つを監視対象として撮像することができる。

具体的には、図１に示すように、撮像部３は、ヘッドユニット２１の下方において、Ｚ軸方向から見た平面視において捕捉部２２の側方に配置されることになる。このように、撮像部３は捕捉部２２とともにヘッドユニット２１に取り付けられており、撮像部３は、捕捉部２２とともにＸ－Ｙ平面を移動する。なお、撮像部３は捕捉部２２に対して相対的に移動するよう構成されていてもよい。例えば、ヘッドユニット２１は、撮像部３を移動させるための軸を備えていてもよい。

さらに、撮像部３は、Ｚ軸（鉛直方向）に対して交差する撮像光軸ＡＸ１を有している。言い換えると、撮像光軸ＡＸ１は、鉛直方向に対して斜めに延びている。つまり、撮像部３は、撮像部３の撮像方向が鉛直方向に交差するように、ヘッドユニット２１に固定されており、捕捉部２２を斜め上方から撮像する。

したがって、実装システム１は、実装に要する時間を短縮して、生産性を向上させることができる。なお、水平方向はＸ－Ｙ平面に沿った方向であり、鉛直方向は水平方向に直交する方向（Ｚ軸に沿う方向）である。

（２．５）固定カメラ
固定カメラ７のより詳細な構成について、図１を参照して説明する。

固定カメラ７は、実装スペースに位置決めされている基板Ｃ２０の上方と部品供給装置６３の部品供給口６３ａの上方との間を移動している実装ヘッド２を下方から撮像する。したがって、固定カメラ７の撮像画像には、捕捉部２２に捕捉されている部品Ｃ１０が写っている。すなわち、固定カメラ７の撮像画像には、捕捉部２２と部品Ｃ１０との相互の位置関係の情報、言い換えると捕捉部２２に対する部品Ｃ１０のずれの情報が含まれている。

なお、固定カメラ７は、部品供給口６３ａから基板Ｃ２０に移動している実装ヘッド２を下方から撮像することが好ましい。この場合、固定カメラ７は、常時撮像するのではなく、部品Ｃ１０を捕捉している捕捉部２２が固定カメラ７の上方を通過するタイミングで撮像する。

また、固定カメラ７は、部品供給口６３ａの下方に設置されてもよい。

また、実装システム１は、固定カメラ７の撮像領域を照明する照明装置を更に備えることが好ましい。

（２．６）制御部
制御部５は、駆動制御部５１、画像取得部５２、及び補正情報作成部５３を備える。

（２．６．１）画像取得部
画像取得部５２は、撮像部３から撮像画像のデータを取得する（受け取る）通信インタフェースの機能を有する。

撮像部３と画像取得部５２との間の通信は、無線通信及び有線通信のいずれでもよい。無線通信は、例えばWi-Fi（登録商標）、又は免許を必要としない小電力無線（特定小電力無線）等の規格に準拠した無線通信である。有線通信は、例えばツイストペアケーブル、専用通信線、又はＬＡＮ（Local Area Network）ケーブルなどを介した有線通信である。

（２．６．２）補正情報作成部
補正情報作成部５３は、予測差分Ｗ１（図１１参照）を予測する。予測差分Ｗ１は、撮像部３が監視対象を撮像してから所定時間が経過した後における捕捉部２２の位置と監視対象の位置との差分を示す。当該所定時間は、遅延時間Ｔ１（図１１参照）であることが好ましい。遅延時間Ｔ１は、撮像部３が撮像してから撮像画像に基づいて駆動部４が制御されるまでにかかる時間である。ここで、監視対象は、捕捉部２２によって捕捉する前の部品Ｃ１０、部品Ｃ１０が載置されている載置部６７１、及び捕捉部２２によって部品Ｃ１０が装着される前の基板Ｃ２０の装着部Ｄ１（ランドＤ１１、はんだＤ１２）の少なくとも１つである。そして、補正情報作成部５３は、予測差分Ｗ１に基づいて、駆動部４の制御を補正するための補正情報を作成する。

すなわち、補正情報作成部５３は、捕捉部２２の位置と監視対象の位置との差分の予測結果（予測差分Ｗ１）に基づいて、駆動部４の制御を補正するための補正情報を作成する。なお、補正情報作成部５３による補正情報の作成処理の詳細については、後述する。

（２．６．３）駆動制御部
駆動制御部５１は、駆動部４に制御信号を出力することで、駆動部４を制御する。

具体的に、駆動制御部５１は、駆動部４の水平駆動部４１に水平制御信号を出力し、水平駆動部４１を制御することで、実装ヘッド２（ヘッドユニット２１）及び撮像部３をＸ－Ｙ平面内で移動させる。水平制御信号は、水平方向の速度、加速度、及び移動距離の少なくとも１つを指令する指令情報（水平指令情報）を含む。

また、駆動制御部５１は、鉛直駆動部４２に鉛直制御信号を出力し、鉛直駆動部４２を制御することで、捕捉部２２をＺ軸に沿って移動させる。また、駆動制御部５１は、鉛直駆動部４２に回転制御信号を出力し、鉛直駆動部４２を制御することで、捕捉部２２をθ方向に回転させる。鉛直制御信号は、鉛直方向の速度、加速度、及び移動距離の少なくとも１つを指令する指令情報（鉛直指令情報）を含む。回転制御信号は、回転方向の速度、加速度、及び回転角度の少なくとも１つを指令する指令情報（回転指令情報）を含む。

具体的に、駆動制御部５１は、実装ヘッド２のヘッドユニット２１をＸ軸方向及びＹ軸方向（水平方向）に移動させ、捕捉部２２をＺ軸方向（鉛直方向）及びθ方向（回転方向）に移動させる。そして、駆動制御部５１は、捕捉部２２がＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、θの各座標で決まる目標位置（捕捉目標位置又は実装目標位置）に到着すると、捕捉部２２の移動を停止させる。捕捉部２２は、目標位置に到達すると、部品Ｃ１０を捕捉する捕捉動作又は部品Ｃ１０を装着する装着動作を行う。つまり、載置部６７１に載置されている部品Ｃ１０を捕捉部２２が捕捉するときの捕捉部２２の位置を捕捉目標位置とする。また、基板Ｃ２０に部品Ｃ１０を実装するときの捕捉部２２の位置を装着目標位置とする。

このように、捕捉部２２は、基板Ｃ２０の上方と部品供給装置６３の部品供給口６３ａの上方との間を移動し、捕捉動作及び装着動作を行う。なお、駆動制御部５１は、ヘッドユニット２１の水平方向の移動と捕捉部２２の鉛直方向及び回転方向の移動とを同時に行ってもよいし、ヘッドユニット２１の水平方向の移動が完了した後に、捕捉部２２の鉛直方向及び回転方向の移動を行ってもよい。

そして、駆動制御部５１は、捕捉部２２を目標位置に移動させている間において、補正情報作成部５３が作成した補正情報に基づいて、指令情報（水平指令情報、鉛直指令情報、回転指令情報）を補正する。この結果、捕捉部２２による実装精度（捕捉動作における捕捉精度、及び装着動作における装着精度）が向上する。すなわち、駆動制御部５１は、予測差分Ｗ１に基づく制御である予測制御を行うことで、捕捉部２２による実装精度を向上させることができる。

（２．７）予測制御
以下、本実施形態の予測制御について説明する。

（２．７．１）前提
実装システム１では、部品供給口６３ａに対するキャリアテープ６７の位置ずれ、載置部６７１に対する部品Ｃ１０の位置ずれ、基板Ｃ２０の装着部Ｄ１（ランドＤ１１、はんだＤ１２）の位置ずれなどが生じることがある。このような位置ずれが生じていると、駆動制御部５１による捕捉精度及び装着精度が低下してしまう。

例えば、図６Ａ－図６Ｃは、部品供給口６３ａにおいてキャリアテープ６７の載置部６７１に載置されている部品Ｃ１０を示す。

図６Ａでは、部品供給口６３ａに対するキャリアテープ６７の位置ずれがなく、かつ、載置部６７１に対する部品Ｃ１０の位置ずれもない。すなわち、捕捉部２２の捕捉目標位置Ｐ１１と部品Ｃ１０の中心位置Ｐ１２とが一致している。したがって、図６Ａでは、捕捉部２２の捕捉動作において捕捉目標位置Ｐ１１を用いることで、高い捕捉精度を実現できる。

一方、図６Ｂでは、キャリアテープ６７の位置ずれによって、捕捉部２２の捕捉目標位置Ｐ１１と部品Ｃ１０の中心位置Ｐ１２とのずれが大きくなっている。また、図６Ｃでは、載置部６７１に対する部品Ｃ１０の位置ずれが大きくなっている。したがって、図６Ｂ及び図６Ｃでは、捕捉部２２の捕捉動作において捕捉目標位置Ｐ１１を用いると、捕捉精度が低くなってしまう。

また、図７Ａ、図７Ｂは、基板Ｃ２０の実装面Ｃ２１における一対のランドＤ１１を示す。

図７Ａでは、ランドＤ１１の位置ずれがない。すなわち、捕捉部２２の装着目標位置Ｐ２１と一対のランドＤ１１の中心位置Ｐ２２とが一致している。したがって、図７Ａでは、捕捉部２２の装着動作において装着目標位置Ｐ２１を用いることで、高い捕捉精度を実現できる。

一方、図７Ｂでは、図７Ａに比べてランドＤ１１の位置ずれが大きく、捕捉部２２の装着目標位置Ｐ２１と一対のランドＤ１１の中心位置Ｐ２２とのずれが大きくなっている。したがって、図７Ｂでは、捕捉部２２の装着動作において装着目標位置Ｐ２１を用いると、装着精度が低くなってしまう。

また、図８Ａ、図８Ｂは、基板Ｃ２０の実装面Ｃ２１における一対のランドＤ１１、及び各ランドＤ１１に塗布されたはんだＤ１２を示す。

図８Ａでは、ランドＤ１１に対するはんだＤ１２の位置ずれがない。すなわち、捕捉部２２の装着目標位置Ｐ３１と一対のはんだＤ１２の中心位置Ｐ３２とが一致している。したがって、図８Ａでは、捕捉部２２の装着動作において装着目標位置Ｐ３１を用いることで、高い捕捉精度を実現できる。

一方、図８Ｂでは、図８Ａに比べてランドＤ１１に対するはんだＤ１２の位置ずれが大きく、捕捉部２２の装着目標位置Ｐ３１と一対のはんだＤ１２の中心位置Ｐ３２とのずれが大きくなっている。したがって、図８Ｂでは、捕捉部２２の装着動作において装着目標位置Ｐ３１を用いると、装着精度が低くなってしまう。

また、捕捉部２２の変形及び振動によって、捕捉部２２の先端２２０（図４参照）の位置がずれてしまうことがある。この捕捉部２２の先端２２０の位置ずれも、実装精度を低下させる要因になる。

このような監視対象（捕捉前の部品Ｃ１０、載置部６７１、及び装着部Ｄ１（ランドＤ１１、はんだＤ１２））の位置ずれ、及び捕捉部２２の先端２２０の位置ずれによる実装精度の低下を抑制するためには、撮像部３が監視対象を撮像した撮像画像に基づいて、捕捉部２２の位置と監視対象の位置との間の差分（検出差分）を検出し、検出差分に基づいて捕捉部２２の位置制御を行うフィードバック制御を行うことが考えられる。具体的に、フィードバック制御は、撮像画像に基づいて検出した検出差分から補正情報を作成し、補正情報を用いて指令情報を補正する。なお、このフィードバック制御を比較技術とする。

しかしながら、この比較技術では、捕捉部２２を撮像してから、撮像画像に基づいて駆動部４が実際に制御されるまでには、遅延時間が生じる。この遅延時間は、撮像画像のデータを生成するための時間、撮像画像を用いた演算処理によって補正情報を作成するための時間、補正情報を用いて指令情報を補正するための時間、及び指令情報を含む制御信号を駆動部４へ出力するための時間、などを含む。すなわち、遅延時間は、撮像部３の撮像タイミングから、補正情報が駆動部４の実際の動作に反映されるまでに要する時間である。

以下では、捕捉部２２によって捕捉する前の部品Ｃ１０（捕捉前の部品Ｃ１０）を監視対象として説明する。この場合、検出差分は、捕捉前の部品Ｃ１０と捕捉部２２の位置との差分になる。検出差分を求めるにあたって、捕捉部２２の位置は捕捉部２２の先端２２０の位置であることが好ましい。すなわち、検出差分は、捕捉前の部品Ｃ１０と捕捉部２２の先端２２０の位置との差分になる。

まず、位置ずれしていない捕捉前の部品Ｃ１０の位置を、図９に示す基準位置Ｐ０とする。そして、捕捉前の部品Ｃ１０が所定方向にＷ１００だけ位置ずれした位置Ｐ１に存在し、捕捉部２２の先端２２０が変形、振動、又は捕捉部２２をヘッドユニット２１に取り付けた際の誤差によって所定方向に－Ｗ２００だけ位置ずれしているとする。言い換えると、捕捉前の部品Ｃ１０が正方向にＷ１００だけ位置ずれし、捕捉部２２の先端２２０が負方向（正方向の逆方向）にＷ２００だけ位置ずれしている。この場合、指令情報を補正しなければ、捕捉部２２の先端２２０の位置は、図９の特性ＰＢのように、実際の捕捉前の部品Ｃ１０の位置Ｐ１から［Ｗ１００＋Ｗ２００］ずれた位置Ｐ２に向かって振動しながら収束する。

そこで、比較技術を用いて指令情報を補正すると、捕捉部２２の先端２２０の位置は、図１０の特性ＰＣのように変化する。例えば、開始タイミングｔ１０においてフィードバック制御が開始され、撮像タイミングｔ１１で撮像した撮像画像に基づく指令情報の補正は、撮像タイミングｔ１１から遅延時間Ｔ１０が経過した補正タイミングｔ１２で行われる。この場合、撮像タイミングｔ１１で撮像した撮像画像に基づく検出差分Ｗｓ１１は、実際に指令情報の補正が行われる補正タイミングｔ１２の検出差分Ｗｓ１２よりも大きい。したがって、撮像タイミングｔ１１で撮像した撮像画像に基づいて補正タイミングｔ１２に補正を行っても、過剰に補正するので、捕捉部２２の先端２２０の位置は、図１０の特性ＰＣに示すように、オーバシュートなどによって大きく振動しながら位置Ｐ１に向かって収束しており、整定性が低下している。

理想的には、上述の遅延時間が発生しなければ、撮像画像に基づくフィードバック制御をリアルタイムで行うことが可能になる。フィードバック制御を理想的なリアルタイムで行うことができれば、捕捉部２２の先端２２０の位置は、図１０の特性ＰＤに示すように、特性ＰＣよりも小さな振幅、短い減衰時間で位置Ｐ１に向かって収束する。しかしながら、現実には遅延時間が発生してしまい、遅延時間をなくすことは困難である。

（２．７．２）予測制御の具体例
実装システム１の制御部５は、駆動制御部５１、画像取得部５２、及び補正情報作成部５３を備えている。

目標位置に向けて捕捉部２２が移動している間において、撮像部３は捕捉部２２を周期的（例えば１ｍｓｅｃ周期）に撮像しており、画像取得部５２は、周期的に撮像された撮像画像のデータを撮像部３から取得する。

補正情報作成部５３は、処理部５３１、及び予測部５３２を有する。以下、処理部５３１、及び予測部５３２の各動作について、図１１を用いて説明する。

処理部５３１は、撮像タイミングｔ１において撮像部３が撮像した撮像画像に基づいて、撮像タイミングｔ１における検出差分Ｗｓ１を検出する。本実施形態の検出差分Ｗｓ１は、捕捉部２２の先端２２０の位置と監視対象である捕捉前の部品Ｃ１０の位置との間の差分である。撮像画像の撮像領域Ｒ１には捕捉部２２の先端２２０が含まれており、処理部５３１は、捕捉部２２の先端２２０の位置と監視対象である捕捉前の部品Ｃ１０の位置との間の差分を、検出差分Ｗｓ１として検出できる。

予測部５３２は、検出差分Ｗｓ１に基づいて、補正タイミングｔ３における予測差分Ｗ１を予測する。予測差分Ｗ１は、補正タイミングｔ３における検出差分の予測結果である。すなわち、予測差分Ｗ１は、補正タイミングｔ３に発生すると予測される、捕捉部２２の先端２２０の位置と捕捉前の部品Ｃ１０の位置との間の差分である。補正タイミングｔ３は、撮像画像の撮像タイミングｔ１から遅延時間Ｔ１が経過した以降のタイミングである。補正タイミングｔ３は、撮像画像の撮像タイミングｔ１から遅延時間Ｔ１が経過したタイミングである遅延タイミングｔ２と同じでもよいし、遅延タイミングｔ２より後のタイミングであってもよい。

そして、予測部５３２は、予測差分Ｗ１に基づいて、駆動部４の制御を補正するための補正情報を作成する。補正情報は、補正タイミングｔ３における補正値ΔＷ３（捕捉部２２の先端２２０の位置の補正量に相当）を指示するための情報である。言い換えると、補正情報は、遅延時間Ｔ１を考慮して、捕捉部２２の位置と監視対象の位置との差分が小さくなるように駆動部４の制御を補正するための情報である。具体的には、補正情報は、目標位置（捕捉目標位置又は実装目標位置）を補正するための情報であることが好ましい。

駆動制御部５１は、補正情報に基づいて、駆動部４の制御を補正する。具体的に、駆動制御部５１は、捕捉部２２の位置と監視対象の位置との差分が小さくなるように駆動部４の制御を補正する。補正情報を用いて指令情報を補正すると、捕捉部２２の先端２２０の位置は、図１１の特性ＰＡのように変化する。例えば、撮像タイミングｔ１で撮像した撮像画像に基づく指令情報の補正は、補正タイミングｔ３（撮像画像の撮像タイミングｔ１から遅延時間Ｔ１が経過した以降のタイミング）で行われる。この場合、撮像タイミングｔ１で撮像した撮像画像に基づく予測差分Ｗ１は、実際に指令情報の補正が行われる補正タイミングｔ３に発生すると予測される検出差分である。

この結果、駆動制御部５１は、図１１の特性ＰＡに示すように、補正情報を用いることで、捕捉部２２の先端２２０の位置を、位置Ｐ１に向かって精度よく制御できる。すなわち、実装システム１は、実装精度の向上を図ることができる。

また、補正情報には、捕捉部２２の変形及び振動などによる捕捉位置及び装着位置のずれを補正するための情報を含んでいてもよい。駆動制御部５１は、このような補正情報を用いることで、捕捉部２２の先端２２０の位置変動を、オーバシュートを抑えながら短時間で収束させて、整定性を向上させることができる。なお、本開示において「整定」は、捕捉部２２に実際に発生する振動の振幅をより小さくすること、及び捕捉部２２に発生する振動の減衰時間をよりも短くすること、の少なくとも一方を含む。

予測部５３２は、補正情報で指示する補正値ΔＷ３として、予測差分Ｗ１の１００％を補正する補正量を示す値を用いてもよいし、予測差分Ｗ１の一部を補正する補正量を示す値を用いてもよい。補正値ΔＷ３として、予測差分Ｗ１の１００％を補正する補正量を用いた場合、目標位置（捕捉目標位置又は実装目標位置）の補正によって、捕捉部２２が実際の捕捉位置及び装着位置に早く到達しやすくなる。補正値ΔＷ３として、予測差分Ｗ１の一部を補正する補正量を用いた場合、オーバシュートの発生を抑制することができる。

また、予測部５３２は、補正値ΔＷ３として、水平方向（Ｘ軸方向及びＹ軸方向）の補正量を示す値を用いることが好ましい。あるいは、予測部５３２は、補正値ΔＷ３として、水平方向及び鉛直方向（Ｚ軸方向）の補正量を示す値を用いてもよい。

撮像部３は捕捉部２２を周期的に撮像しており、処理部５３１は、検出差分Ｗｓ１を周期的に検出し、予測部５３２は、予測差分Ｗ１を周期的に予測し、補正情報を周期的に作成する。そして、駆動制御部５１は、補正情報を用いた予測制御を周期的に行う。

なお、撮像部３は周期的に撮像している。そこで、予測部５３２は、撮像タイミングｔ１の検出差分Ｗｓ１だけでなく、撮像タイミングｔ１以前の検出差分（例えば、図１１の２回の撮像タイミングｔａ、ｔｂのそれぞれで撮像した撮像画像に基づく検出差分Ｗｓａ，Ｗｓｂ）も併せて用いて、撮像タイミングｔ１以降の特性ＰＢを予測することで、補正タイミングｔ３における予測差分Ｗ１を予測することが好ましい。この場合、実装システム１は、予測差分Ｗ１を精度よく予測することができる。

例えば、処理部５３１は、撮像タイミングｔ１の撮像画像に基づいて撮像タイミングｔ１における検出差分Ｗｓ１を検出し、撮像タイミングｔａの撮像画像に基づいて撮像タイミングｔａにおける検出差分Ｗｓａを検出し、撮像タイミングｔｂの撮像画像に基づいて撮像タイミングｔｂにおける検出差分Ｗｓｂを検出する。そして、予測部５３２は、撮像タイミングｔ１、ｔａ、ｔｂの各検出差分Ｗｓ１、Ｗｓａ、Ｗｓｂに基づいて、撮像タイミングｔ１までの検出差分の時間変化を検出し、撮像タイミングｔ１までの検出差分の時間変化に基づいて補正タイミングｔ３における予測差分Ｗ１を予測する。

上述のように、予測部５３２は、周期的に補正情報を作成する。そして、駆動制御部５１は、目標位置に向けて捕捉部２２が移動している間に取得した補正情報に基づいて、駆動部４の制御を補正する。具体的に、駆動制御部５１は、補正情報に基づいて、指令情報（水平指令情報、鉛直指令情報、回転指令情報）を補正する。補正情報は、駆動部４へ出力する制御信号（水平制御信号、鉛直制御信号、回転制御信号）を補正するための情報である。

具体的に、制御信号は、指令情報として、速度（最高速度）、加速度、移動距離、及び回転角度の少なくとも１つの指令値を含む。この場合、補正情報は、制御信号に含まれる指令情報の指令値を補正するための情報である。

実装システム１は、上述のように予測差分Ｗ１に基づく補正情報を生成し、補正情報に基づいて制御信号を補正する予測制御を行う。実装システム１は、予測制御を行った結果、捕捉部２２による実装精度を向上させることができる。

なお、上述の説明では、監視対象を捕捉部２２によって捕捉する前の部品Ｃ１０としており、実装システム１は、捕捉動作時の捕捉精度を向上させることができる。また、部品Ｃ１０が載置されている載置部６７１（図６Ａ－図６Ｃ参照）を監視対象としても、実装システム１は、捕捉動作時の捕捉精度を向上させることができる。

さらには、捕捉部２２によって部品Ｃ１０が装着される前の基板Ｃ２０の装着部Ｄ１（図７Ａ及び図８Ａ参照）を監視対象としてもよい。この場合、実装システム１は、捕捉動作時の捕捉精度と同様に、捕捉部２２による装着動作時の装着精度を向上させることができる。

（３）第１変形例
第１変形例では、補正情報作成部５３の変形例について説明する。第１変形例の補正情報作成部５３は、少なくとも撮像画像、及び駆動制御部５１による駆動部４の制御内容を表す指令情報に基づいて、予測差分Ｗ１を予測することが好ましい。指令情報は、水平指令情報、鉛直指令情報、及び回転指令情報を含む。

例えば、補正情報作成部５３は、図１１における撮像タイミングｔ１、ｔａ、ｔｂのそれぞれにおける撮像画像に加えて、撮像タイミングｔ１、ｔａ、ｔｂのそれぞれにおける指令情報も併せて用いて、補正タイミングｔ３における予測差分Ｗ１を予測する。この場合、予測部５３２は、撮像タイミングｔ１、ｔａ、ｔｂのそれぞれにおける検出差分Ｗｓ１、Ｗｓａ、Ｗｓｂに加えて、駆動部４への入力も反映させて予測差分Ｗ１を予測する。この結果、補正情報作成部５３は、予測精度の向上を図ることができる。

（４）第２変形例
第２変形例では、補正情報作成部５３の変形例について説明する。第２変形例の補正情報作成部５３は、少なくとも撮像画像、指令情報、及び捕捉部２２の位置情報に基づいて、予測差分Ｗ１を予測することが好ましい。本変形例では、実装システム１は、捕捉部２２の位置（Ｘ座標、Ｙ座標、Ｚ座標、θ座標）を検出するエンコーダなどを備えており、制御部５は、エンコーダなどから捕捉部２２の位置情報を取得する。

例えば、補正情報作成部５３は、図１１における撮像タイミングｔ１、ｔａ、ｔｂのそれぞれにおける撮像画像に加えて、撮像タイミングｔ１、ｔａ、ｔｂのそれぞれにおける指令情報、及び撮像タイミングｔ１、ｔａ、ｔｂのそれぞれにおける捕捉部２２の位置情報も併せて用いて、補正タイミングｔ３における予測差分Ｗ１を予測する。この場合、予測部５３２は、撮像タイミングｔ１、ｔａ、ｔｂのそれぞれにおける検出差分Ｗｓ１、Ｗｓａ、Ｗｓｂに加えて、駆動部４の入力及び出力も反映させて予測差分Ｗ１を予測する。この結果、補正情報作成部５３は、予測精度の向上を図ることができる。

（５）第３変形例
第３変形例では、補正情報作成部５３の変形例について説明する。第３変形例の補正情報作成部５３は、撮像画像、及び捕捉部２２の位置情報に基づいて、予測差分Ｗ１を予測することが好ましい。

例えば、補正情報作成部５３は、図１１における撮像タイミングｔ１、ｔａ、ｔｂのそれぞれにおける撮像画像に加えて、撮像タイミングｔ１、ｔａ、ｔｂのそれぞれにおける捕捉部２２の位置情報も併せて用いて、補正タイミングｔ３における予測差分Ｗ１を予測する。この場合、予測部５３２は、撮像タイミングｔ１、ｔａ、ｔｂのそれぞれにおける検出差分Ｗｓ１、Ｗｓａ、Ｗｓｂに加えて、駆動部４の出力も反映させて予測差分Ｗ１を予測する。この結果、補正情報作成部５３は、予測精度の向上を図ることができる。

（６）第４変形例
本変形例では、補正情報作成部５３の処理部５３１及び予測部５３２の配置について、図１２－図１５を用いて説明する。

まず、本変形例では、図１２－図１５に示すように、駆動部４を制御する駆動制御部５１は、水平駆動制御部５１１及び鉛直駆動制御部５１２を備える。水平駆動制御部５１１は、水平駆動部４１（Ｘ軸駆動部４１１、Ｙ軸駆動部４１２）を制御して、ヘッドユニット２１をＸ軸及びＹ軸に沿って移動させる。鉛直駆動制御部５１２は、鉛直駆動部４２を制御して、捕捉部２２をＺ軸方向に直進移動させ、捕捉部２２をθ方向に回転移動させる。

そして、実装ヘッド２では、捕捉部２２、鉛直駆動部４２、鉛直駆動制御部５１２、及び撮像部３がヘッドユニット２１に取り付けられている。すなわち、捕捉部２２、鉛直駆動部４２、鉛直駆動制御部５１２、及び撮像部３は、ヘッドユニット２１とともに移動する。撮像部３は、撮像素子３１、光学系３２、及び画像取得部５２を備えている。

実装システム１は、水平駆動部４１によって駆動される実装ヘッド２とは別体に、水平駆動制御部５１１、搬送装置６２、部品供給装置６３、固定カメラ７、及びＦＡパソコン（Factory Automation Personal Computer）８を更に備えている。水平駆動制御部５１１は、リニアモータを駆動するモータドライバなどを有している。ＦＡパソコン８は、上位システムの一例であり、駆動制御部５１（水平駆動制御部５１１及び鉛直駆動制御部５１２）は、ＦＡパソコン８との間でデータを授受する。

図１２－図１５は、処理部５３１及び予測部５３２の配置が互いに異なる実装システム１として、実装システム１Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄをそれぞれ示す。

図１２に示す実装システム１Ａでは、処理部５３１は撮像部３に設けられ、予測部５３２は水平駆動制御部５１１に設けられている。

図１２では、撮像部３が、画像取得部５２及び処理部５３１を備えている。したがって、実装システム１Ａは、検出差分を検出するのに要する時間を短縮できる。

また、予測部５３２は水平駆動制御部５１１に設けられている。水平駆動制御部５１１は、リニアモータを駆動するモータドライバなどを有しており、演算処理を比較的高速に行うことができる。この場合、予測部５３２をヘッドユニット２１に取り付けていないので、実装ヘッド２の構成を簡略化できる。

図１３に示す実装システム１Ｂでは、処理部５３１及び予測部５３２は撮像部３に設けられている。実装システム１Ｂは、図１２の実装システム１Ａとほぼ同様の処理速度を実現しながら、実装システム１Ａに比べて水平駆動制御部５１１の構成を簡略化できる。

図１４に示す実装システム１Ｃでは、処理部５３１は撮像部３に設けられ、予測部５３２はＦＡパソコン８に設けられている。また、図１５に示す実装システム１Ｄでは、処理部５３１及び予測部５３２はＦＡパソコン８に設けられている。実装システム１Ｄでは、ＦＡパソコン８が処理部５３１を備えているため、撮像部３の画像取得部５２からＦＡパソコン８の処理部５３１に撮像画像データを伝送する必要があり、予測差分Ｗ１を求めるのに要する時間が長くなる。しかしながら、実装システム１Ｃ、１Ｄでは、実装ヘッド２及び水平駆動制御部５１１の構成を実装システム１Ａ、１Ｂに比べて簡略化できる。

（７）第５変形例
撮像部３は、捕捉部２２の先端２２０を撮像領域Ｒ１に含んでいなくてもよい。この場合、制御部５は、先端２２０の位置、及び先端２２０が捕捉している部品Ｃ１０の位置として、撮像画像に基づく実際位置ではなく、ヘッドユニット２１の位置及び捕捉部２２の位置などに基づいて求めた仮想位置を用いる。制御部５は、部品Ｃ１０の捕捉動作では先端２２０の仮想位置を用い、部品Ｃ１０の装着動作では先端２２０及び部品Ｃ１０の各仮想位置を用いる。

ここで仮想位置とは、捕捉部２２が実装動作（捕捉動作あるいは装着動作）をする際のＸ―Ｙ平面における捕捉部２２の位置を撮像部３の撮像視野を表す座標系で示したものである。仮想位置は、生産開始前あるいは生産中に捕捉部２２を実装高さ（捕捉部２２が捕捉動作あるいは装着動作をする際の捕捉部２２の先端の高さ）に下降させた際のＸ―Ｙ平面における捕捉部２２の位置に基づいて取得されてもよい。なお、捕捉動作と装着動作において異なる仮想位置を用いてもよいし、同じ仮想位置を用いてもよい。

（８）第６変形例
図１６は、撮像部３の変形例を示す。

図１６の撮像部３は２つのカメラ３ｂ、３ｃを備える。カメラ３ｂ、３ｃは、Ｙ軸方向に沿って並んで配置された、所謂ステレオカメラである。したがって、撮像部３の撮像画像に基づいて、対象物までの距離及び方向を精度よく解析できる。

（９）実装方法
上述の実施形態、及び第１変形例－第５変形例の実装システム１（１Ａ－１Ｄ）が実行する実装方法をまとめると、図１７のフローチャートで表される。

この実装方法は、部品Ｃ１０を基板Ｃ２０に実装する実装方法であって、撮像ステップＳ１、補正情報作成ステップＳ２、及び駆動制御ステップＳ３を含む。

撮像ステップＳ１では、撮像部３が、監視対象を撮像する。監視対象は、捕捉部２２によって捕捉する前の部品Ｃ１０、部品Ｃ１０が載置されている載置部６７１、及び捕捉部２２によって部品Ｃ１０が装着される前の基板Ｃ２０の装着部Ｄ１の少なくとも１つである。

補正情報作成ステップＳ２では、補正情報作成部５３が、撮像ステップＳ１の撮像画像に基づいて、監視対象を撮像してから遅延時間Ｔ１が経過した後における捕捉部２２の位置と監視対象の位置との差分を予測差分Ｗ１として予測する。そして、補正情報作成部５３は、予測差分Ｗ１に基づいて駆動部４の制御を補正するための補正情報を作成する。

駆動制御ステップＳ３では、駆動制御部５１が、捕捉部２２を駆動する駆動部４を制御する。そして、駆動制御ステップＳ３では、駆動制御部５１は、補正情報に基づいて、駆動部４の制御を補正する。

（１０）その他の変形例
撮像部３は、実装ヘッド２のヘッドユニット２１に固定されていなくてもよく、撮像部３は、ヘッドユニット２１と同期（連動）して移動する撮像用移動体に固定されていてもよい。すなわち、撮像部３は、実装ヘッド２と同一方向、同一距離、同一速度で移動する。

また、捕捉部２２と部品Ｃ１０などの第１対象物Ｃ１との相対的な位置は、Ｚ軸に沿った上下方向に対向する構成に限定されない。すなわち、捕捉部２２と第１対象物Ｃ１との相対的な位置は、水平方向に対向する構成などの他の構成であってもよい。

上述の実施形態、及び各変形例で説明した構成は、適宜組み合わせて適用可能である。

（１１）まとめ
実施形態に係る第１の態様の実装システム（１、１Ａ－１Ｄ）は、第１対象物（Ｃ１）を第２対象物（Ｃ２）に実装する。実装システム（１、１Ａ－１Ｄ）は、捕捉部（２２）と、駆動部（４）と、駆動制御部（５１）と、撮像部（３）と、補正情報作成部（５３）と、を備える。捕捉部（２２）は、第１対象物（Ｃ１）を捕捉する。駆動部（４）は、捕捉部（２２）を駆動する。駆動制御部（５１）は、駆動部（４）を制御する。撮像部（３）は、捕捉部（２２）によって捕捉する前の第１対象物（Ｃ１）、第１対象物（Ｃ１）が載置されている載置部（６７１）、及び捕捉部（２２）によって第１対象物（Ｃ１）が装着される前の第２対象物（Ｃ２）の装着部（Ｄ１）の少なくとも１つを監視対象として撮像する。補正情報作成部（５３）は、撮像部（３）の撮像画像に基づいて、監視対象を撮像してから所定時間（Ｔ１）が経過した後における捕捉部（２２）の位置と監視対象の位置との差分を予測差分（Ｗ１）として予測し、予測差分（Ｗ１）に基づいて駆動部（４）の制御を補正するための補正情報を作成する。駆動制御部（５１）は、補正情報に基づいて、駆動部（４）の制御を補正する。

上述の実装システム（１、１Ａ－１Ｄ）は、実装精度の向上を図ることができる。

実施形態に係る第２の態様の実装システム（１、１Ａ－１Ｄ）では、第１の態様において、所定時間は、撮像部（３）が撮像してから撮像画像に基づいて駆動部（４）が制御されるまでにかかる遅延時間（Ｔ１）であることが好ましい。駆動制御部（５１）は、差分が小さくなるように駆動部（４）の制御を補正することが好ましい。前記差分は、捕捉部（２２）の位置と監視対象の位置との差分である。

上述の実装システム（１、１Ａ－１Ｄ）は、捕捉部（２２）の位置と監視対象の位置との差分を小さくすることで、実装精度の向上を図ることができる。

実施形態に係る第３の態様の実装システム（１、１Ａ－１Ｄ）では、第２の態様において、載置部（６７１）に載置されている第１対象物（Ｃ１）を捕捉部（２２）が捕捉するときの捕捉部（２２）の位置、及び第２対象物（Ｃ２）に第１対象物（Ｃ１）を実装するときの捕捉部（２２）の位置の少なくとも一方を目標位置とすることが好ましい。補正情報作成部（５３）は、目標位置を補正するための情報を、補正情報として作成する。そして、目標位置に向けて捕捉部（２２）が移動している間において、撮像部（３）は、監視対象を撮像し、駆動制御部（５１）は、補正情報に基づいて駆動部（４）の制御を補正する。

上述の実装システム（１、１Ａ－１Ｄ）は、目標位置を補正することで、実装精度の向上を図ることができる。

実施形態に係る第４の態様の実装システム（１、１Ａ－１Ｄ）では、第１乃至第３の態様のいずれか１つにおいて、撮像部（３）は、監視対象を複数回撮像して、撮像画像を複数生成する。補正情報作成部（５３）は、少なくとも複数の撮像画像に基づいて、予測差分（Ｗ１）を予測する、ことが好ましい。

上述の実装システム（１、１Ａ－１Ｄ）は、予測精度の向上を図ることができる。

実施形態に係る第５の態様の実装システム（１、１Ａ－１Ｄ）では、第１乃至第３の態様のいずれか１つにおいて、補正情報作成部（５３）は、少なくとも撮像画像、及び駆動制御部（５１）による駆動部（４）の制御内容を表す指令情報に基づいて、予測差分（Ｗ１）を予測する、ことが好ましい。

上述の実装システム（１、１Ａ－１Ｄ）は、予測精度の向上を図ることができる。

実施形態に係る第６の態様の実装システム（１、１Ａ－１Ｄ）では、第１乃至第３の態様のいずれか１つにおいて、補正情報作成部（５３）は、少なくとも撮像画像、駆動制御部（５１）による駆動部（４）の制御内容を表す指令情報、及び捕捉部（２２）の位置情報に基づいて、予測差分（Ｗ１）を予測する、ことが好ましい。

上述の実装システム（１、１Ａ－１Ｄ）は、予測精度の向上を図ることができる。

実施形態に係る第７の態様の実装システム（１、１Ａ－１Ｄ）では、第１乃至第３の態様のいずれか１つにおいて、補正情報作成部（５３）は、少なくとも撮像画像、及び捕捉部（２２）の位置情報に基づいて、予測差分（Ｗ１）を予測する、ことが好ましい。

上述の実装システム（１、１Ａ－１Ｄ）は、予測精度の向上を図ることができる。

実施形態に係る第８の態様の実装方法は、第１対象物（Ｃ１）を第２対象物（Ｃ２）に実装する。実装方法は、撮像ステップ（Ｓ１）と、補正情報作成ステップ（Ｓ２）と、駆動制御ステップ（Ｓ３）と、を含む。撮像ステップ（Ｓ１）は、監視対象を撮像する。監視対象は、捕捉部（２２）によって捕捉する前の第１対象物（Ｃ１）、第１対象物（Ｃ１）が載置されている載置部（６７１）、及び捕捉部（２２）によって第１対象物（Ｃ１）が装着される前の第２対象物（Ｃ２）の装着部（Ｄ１）の少なくとも１つである。補正情報作成ステップ（Ｓ２）は、撮像ステップ（Ｓ１）の撮像画像に基づいて、監視対象を撮像してから所定時間（Ｔ１）が経過した後における捕捉部（２２）の位置と監視対象の位置との差分を予測差分（Ｗ１）として予測する。そして、補正情報作成ステップ（Ｓ２）は、予測差分（Ｗ１）に基づいて駆動部（４）の制御を補正するための補正情報を作成する。駆動制御ステップ（Ｓ３）は、捕捉部（２２）を駆動する駆動部（４）を制御する。そして、駆動制御ステップ（Ｓ３）は、補正情報に基づいて、駆動部（４）の制御を補正する。

上述の実装方法は、実装精度の向上を図ることができる。

なお、第２－第７の態様に係る構成については、実装システム（１、１Ａ－１Ｄ）に必須の構成ではなく、適宜省略可能である。

１、１Ａ－１Ｄ 実装システム
２２ 捕捉部
３ 撮像部
４ 駆動部
５１ 駆動制御部
５３ 補正情報作成部
６７１ 載置部
Ｄ１ 装着部
Ｔ１ 遅延時間（所定時間）
Ｗ１ 予測差分
Ｃ１ 第１対象物
Ｃ２ 第２対象物
Ｓ１ 撮像ステップ
Ｓ２ 補正情報作成ステップ
Ｓ３ 駆動制御ステップ

Claims (8)

1. 第１対象物を第２対象物に実装する実装システムであって、
   前記第１対象物を捕捉する捕捉部と、
   前記捕捉部を駆動する駆動部と、
   前記駆動部を制御する駆動制御部と、
   前記捕捉部によって捕捉する前の前記第１対象物、前記第１対象物が載置されている載置部、及び前記捕捉部によって前記第１対象物が装着される前の前記第２対象物の装着部の少なくとも１つを監視対象として撮像する撮像部と、
   前記撮像部の撮像画像に基づいて、前記監視対象を撮像してから所定時間が経過した後における前記捕捉部の位置と前記監視対象の位置との差分を予測差分として予測し、前記予測差分に基づいて前記駆動部の制御を補正するための補正情報を作成する補正情報作成部と、を備え、
   前記駆動制御部は、前記補正情報に基づいて、前記駆動部の制御を補正する
   実装システム。
2. 前記所定時間は、前記撮像部が撮像してから前記撮像画像に基づいて駆動部が制御されるまでにかかる遅延時間であり、
   前記駆動制御部は、前記差分が小さくなるように前記駆動部の制御を補正する
   請求項１の実装システム。
3. 前記載置部に載置されている前記第１対象物を前記捕捉部が捕捉するときの前記捕捉部の位置、及び前記第２対象物に前記第１対象物を実装するときの前記捕捉部の位置の少なくとも一方を目標位置とし、
   前記補正情報作成部は、前記目標位置を補正するための情報を、前記補正情報として作成し、
   前記目標位置に向けて前記捕捉部が移動している間において、前記撮像部は、前記監視対象を撮像し、前記駆動制御部は、前記補正情報に基づいて前記駆動部の制御を補正する、
   請求項２の実装システム。
4. 前記撮像部は、前記監視対象を複数回撮像して、前記撮像画像を複数生成し、
   前記補正情報作成部は、少なくとも前記複数の撮像画像に基づいて、前記予測差分を予測する、
   請求項１乃至３のいずれか１つの実装システム。
5. 前記補正情報作成部は、少なくとも前記撮像画像、及び前記駆動制御部による前記駆動部の制御内容を表す指令情報に基づいて、前記予測差分を予測する、
   請求項１乃至３のいずれか１つの実装システム。
6. 前記補正情報作成部は、少なくとも前記撮像画像、前記駆動制御部による前記駆動部の制御内容を表す指令情報、及び前記捕捉部の位置情報に基づいて、前記予測差分を予測する、
   請求項１乃至３のいずれか１つの実装システム。
7. 前記補正情報作成部は、少なくとも前記撮像画像、及び前記捕捉部の位置情報に基づいて、前記予測差分を予測する、
   請求項１乃至３のいずれか１つの実装システム。
8. 第１対象物を第２対象物に実装する実装方法であって、
   前記第１対象物を捕捉する捕捉部によって捕捉する前の前記第１対象物、前記第１対象物が載置されている載置部、及び前記捕捉部によって前記第１対象物が装着される前の前記第２対象物の装着部の少なくとも１つを監視対象として撮像する撮像ステップと、
   前記撮像ステップの撮像画像に基づいて、前記監視対象を撮像してから所定時間が経過した後における前記捕捉部の位置と前記監視対象の位置との差分を予測差分として予測し、前記予測差分に基づいて駆動部の制御を補正するための補正情報を作成する補正情報作成ステップと、
   前記捕捉部を駆動する駆動部を制御する駆動制御ステップと、を含み、
   前記駆動制御ステップは、前記補正情報に基づいて、前記駆動部の制御を補正する
   実装方法。

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