JP2024002874A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2024002874A5 JP2024002874A5 JP2022173236A JP2022173236A JP2024002874A5 JP 2024002874 A5 JP2024002874 A5 JP 2024002874A5 JP 2022173236 A JP2022173236 A JP 2022173236A JP 2022173236 A JP2022173236 A JP 2022173236A JP 2024002874 A5 JP2024002874 A5 JP 2024002874A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exposure
- optical system
- mirror
- image
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 25
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 1
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2022173236A JP2024002874A (ja) | 2022-06-24 | 2022-10-28 | 露光装置用露光ヘッドおよび露光装置 |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2022102070A JP7169480B1 (ja) | 2022-06-24 | 2022-06-24 | 露光装置用露光ヘッドおよび露光装置 |
| JP2022173236A JP2024002874A (ja) | 2022-06-24 | 2022-10-28 | 露光装置用露光ヘッドおよび露光装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2022102070A Division JP7169480B1 (ja) | 2022-06-24 | 2022-06-24 | 露光装置用露光ヘッドおよび露光装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2024002874A JP2024002874A (ja) | 2024-01-11 |
| JP2024002874A5 true JP2024002874A5 (enExample) | 2025-05-23 |
Family
ID=83995288
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2022102070A Active JP7169480B1 (ja) | 2022-06-24 | 2022-06-24 | 露光装置用露光ヘッドおよび露光装置 |
| JP2022173236A Pending JP2024002874A (ja) | 2022-06-24 | 2022-10-28 | 露光装置用露光ヘッドおよび露光装置 |
Family Applications Before (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2022102070A Active JP7169480B1 (ja) | 2022-06-24 | 2022-06-24 | 露光装置用露光ヘッドおよび露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (2) | JP7169480B1 (enExample) |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3285214B2 (ja) * | 1991-03-22 | 2002-05-27 | 株式会社日立製作所 | レーザ加工用光学装置 |
| JP2009087995A (ja) * | 2007-09-27 | 2009-04-23 | Hitachi Via Mechanics Ltd | マスクレス露光装置 |
| JP5881314B2 (ja) | 2011-05-30 | 2016-03-09 | 株式会社オーク製作所 | 露光装置 |
| JP5881313B2 (ja) | 2011-05-30 | 2016-03-09 | 株式会社オーク製作所 | 露光装置 |
| JP2014092707A (ja) * | 2012-11-05 | 2014-05-19 | Orc Manufacturing Co Ltd | 露光装置 |
| JP6590638B2 (ja) * | 2015-10-29 | 2019-10-16 | 株式会社オーク製作所 | 露光装置用露光ヘッドおよび露光装置用投影光学系 |
| JP2021096300A (ja) * | 2019-12-13 | 2021-06-24 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 露光装置 |
-
2022
- 2022-06-24 JP JP2022102070A patent/JP7169480B1/ja active Active
- 2022-10-28 JP JP2022173236A patent/JP2024002874A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI585459B (zh) | 影像投影機及光學組件 | |
| US8215776B2 (en) | Line illumination apparatus using laser arrays | |
| KR101766565B1 (ko) | 스페클을 줄이기 위한 방법 | |
| JP6248381B2 (ja) | 光学系、偏光分離合波素子および表示装置 | |
| JP2011507293A5 (enExample) | ||
| JPS588B2 (ja) | ヒカリビ−ムソウサソウチ | |
| CN112969899B (zh) | 全息干涉法的系统和方法 | |
| KR100828367B1 (ko) | 레이저 디스플레이장치 | |
| JP2687983B2 (ja) | 少なくとも1つの画素用の光学的位置定め装置 | |
| US4823202A (en) | Optical beam-splitting arrangements on image side of a lens | |
| JPS63142316A (ja) | 半導体レ−ザアレイ光源装置及び同光源装置を使用したレ−ザスキヤナ | |
| US11409199B2 (en) | Pattern drawing device | |
| JPH0331310B2 (enExample) | ||
| JP2024002874A5 (enExample) | ||
| JP2009237321A (ja) | 画像露光装置 | |
| JPH10164322A (ja) | 走査露光装置 | |
| JP2006184726A5 (enExample) | ||
| US5867299A (en) | Cascade scanning optical system | |
| JPH05232605A (ja) | 立体画像記録方法および立体画像記録装置 | |
| JP2002287060A (ja) | 光学走査装置及びそのビーム位置調整方法 | |
| JP2002031772A5 (enExample) | ||
| JPS5938721A (ja) | 走査方法及び走査装置 | |
| RU2294002C2 (ru) | Проекционная система | |
| KR100828365B1 (ko) | 레이저 디스플레이장치 | |
| JPH0364729A (ja) | 走査線ピッチムラを補正した光走査装置 |