JP2024002874A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2024002874A5
JP2024002874A5 JP2022173236A JP2022173236A JP2024002874A5 JP 2024002874 A5 JP2024002874 A5 JP 2024002874A5 JP 2022173236 A JP2022173236 A JP 2022173236A JP 2022173236 A JP2022173236 A JP 2022173236A JP 2024002874 A5 JP2024002874 A5 JP 2024002874A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
exposure
optical system
mirror
image
light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2022173236A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2024002874A (ja
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP2022102070A external-priority patent/JP7169480B1/ja
Application filed filed Critical
Priority to JP2022173236A priority Critical patent/JP2024002874A/ja
Publication of JP2024002874A publication Critical patent/JP2024002874A/ja
Publication of JP2024002874A5 publication Critical patent/JP2024002874A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

JP2022173236A 2022-06-24 2022-10-28 露光装置用露光ヘッドおよび露光装置 Pending JP2024002874A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2022173236A JP2024002874A (ja) 2022-06-24 2022-10-28 露光装置用露光ヘッドおよび露光装置

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2022102070A JP7169480B1 (ja) 2022-06-24 2022-06-24 露光装置用露光ヘッドおよび露光装置
JP2022173236A JP2024002874A (ja) 2022-06-24 2022-10-28 露光装置用露光ヘッドおよび露光装置

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2022102070A Division JP7169480B1 (ja) 2022-06-24 2022-06-24 露光装置用露光ヘッドおよび露光装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2024002874A JP2024002874A (ja) 2024-01-11
JP2024002874A5 true JP2024002874A5 (enExample) 2025-05-23

Family

ID=83995288

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2022102070A Active JP7169480B1 (ja) 2022-06-24 2022-06-24 露光装置用露光ヘッドおよび露光装置
JP2022173236A Pending JP2024002874A (ja) 2022-06-24 2022-10-28 露光装置用露光ヘッドおよび露光装置

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2022102070A Active JP7169480B1 (ja) 2022-06-24 2022-06-24 露光装置用露光ヘッドおよび露光装置

Country Status (1)

Country Link
JP (2) JP7169480B1 (enExample)

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3285214B2 (ja) * 1991-03-22 2002-05-27 株式会社日立製作所 レーザ加工用光学装置
JP2009087995A (ja) * 2007-09-27 2009-04-23 Hitachi Via Mechanics Ltd マスクレス露光装置
JP5881314B2 (ja) 2011-05-30 2016-03-09 株式会社オーク製作所 露光装置
JP5881313B2 (ja) 2011-05-30 2016-03-09 株式会社オーク製作所 露光装置
JP2014092707A (ja) * 2012-11-05 2014-05-19 Orc Manufacturing Co Ltd 露光装置
JP6590638B2 (ja) * 2015-10-29 2019-10-16 株式会社オーク製作所 露光装置用露光ヘッドおよび露光装置用投影光学系
JP2021096300A (ja) * 2019-12-13 2021-06-24 株式会社ブイ・テクノロジー 露光装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI585459B (zh) 影像投影機及光學組件
US8215776B2 (en) Line illumination apparatus using laser arrays
KR101766565B1 (ko) 스페클을 줄이기 위한 방법
JP6248381B2 (ja) 光学系、偏光分離合波素子および表示装置
JP2011507293A5 (enExample)
JPS588B2 (ja) ヒカリビ−ムソウサソウチ
CN112969899B (zh) 全息干涉法的系统和方法
KR100828367B1 (ko) 레이저 디스플레이장치
JP2687983B2 (ja) 少なくとも1つの画素用の光学的位置定め装置
US4823202A (en) Optical beam-splitting arrangements on image side of a lens
JPS63142316A (ja) 半導体レ−ザアレイ光源装置及び同光源装置を使用したレ−ザスキヤナ
US11409199B2 (en) Pattern drawing device
JPH0331310B2 (enExample)
JP2024002874A5 (enExample)
JP2009237321A (ja) 画像露光装置
JPH10164322A (ja) 走査露光装置
JP2006184726A5 (enExample)
US5867299A (en) Cascade scanning optical system
JPH05232605A (ja) 立体画像記録方法および立体画像記録装置
JP2002287060A (ja) 光学走査装置及びそのビーム位置調整方法
JP2002031772A5 (enExample)
JPS5938721A (ja) 走査方法及び走査装置
RU2294002C2 (ru) Проекционная система
KR100828365B1 (ko) 레이저 디스플레이장치
JPH0364729A (ja) 走査線ピッチムラを補正した光走査装置