JP2024002696A - 酸素除去装置および酸素除去方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 水素と酸素の混合気体を空気で希釈したガスから水素ガスを得るために、大がかりなプラントを要することなく、比較的シンプルなプラントで酸素を除去する。【解決手段】 投入ラインを介して圧縮機１０に水素と酸素の混合ガスを空気で希釈した希水素ガスを原料ガスとして供給し、圧縮された原料ガスを熱交換器３０を経て蒸留分離器２０に供給する。蒸留分離器２０では、分離される排液分を減圧させることで冷媒として供給されており、蒸留分離器２０にて軽質ガス分と排液分とに分離する。取り出した軽質ガス分を製品ガスとして払出ラインから払い出し、熱交換器３０に供給した後、排ガスとして排ガスラインから排出する。排液分を減圧させた冷媒と、取り出した軽質ガス分は、共に熱交換器３０に供給されて圧縮された原料ガスも冷却する。【選択図】 図１

Description

本発明は、酸素除去装置および酸素除去方法に関し、特に、水素と酸素の混合ガスから水素を取り出すために酸素を除去する酸素除去装置および酸素除去方法に関する。

水素を含む混合ガス中の水素を濃縮する装置として、特許文献１に開示されたものが知られている。
同文献１に開示された装置は、水素と支燃性ガスとを含む混合ガス中の水素を濃縮する。同公報においては、上記混合ガスは窒素を添加した窒素添加混合ガスであり、冷却分離器１７がマイナス２００℃以下の低温冷媒で同窒素添加混合ガスを冷却し、前記支燃性ガスを液化することにより水素から分離する。また、液化しない水素を採取経路１８から採取する。

特開２０１９－１３７５９７号公報

上述した従来の装置では、水素ガスを得るために、マイナス２００℃以下の低温冷媒を必要とする。また、水素と酸素の混合気体を窒素で希釈するため、大量の窒素ガスも必要となる。このため、これら２種の装置が別途必要なため、全体としては大がかりなプラントとなり、コスト高となる。
本発明は、水素と酸素の混合気体を空気で希釈したガスから水素ガスを得るために、大がかりなプラントを要することなく、比較的シンプルなプラントで酸素を除去する。

本発明は、圧縮機と、蒸留分離器と、熱交換器とを備え、投入ラインを介して前記圧縮機に水素と酸素の混合ガスを空気で希釈した希水素ガスを原料ガスとして供給し、圧縮された原料ガスを前記熱交換器を経て前記蒸留分離器に供給し、前記蒸留分離器にて軽質ガス分と排液分とに分離し、取り出した前記軽質ガス分を製品ガスとして払出ラインから払い出し、前記排液分を減圧させることで冷媒として前記熱交換器に供給した後、排ガスとして排ガスラインから排出する構成としてある。

上記構成にかかる本発明によれば、投入ラインを介して前記圧縮機に水素と酸素の混合ガスを空気で希釈した希水素ガスを原料ガスとして供給し、圧縮された原料ガスを前記熱交換器を経て前記蒸留分離器に供給する。
前記蒸留分離器では、分離される排液分を減圧させることで冷媒として供給されており、前記蒸留分離器にて軽質ガス分と排液分とに分離する。取り出した前記軽質ガス分を製品ガスとして払出ラインから払い出し、前記熱交換器に供給した後、排ガスとして排ガスラインから排出する。前記排液分を減圧させた冷媒と、取り出した前記軽質ガス分は、共に前記熱交換器に供給されて圧縮された前記原料ガスも冷却する。
このように本発明によれば、主に自己熱を利用することで軽質ガス分を製品ガスとすることができる。

また、本発明の他の態様によれば、前記熱交換器は、少なくとも０度以下の冷媒を外部から供給しない構成としてある。
上述したように、上記構成においては、分離される排液分を減圧させることで冷媒として利用するため、従来例のようなマイナス２００度の外部冷媒などを一切必要としていない。
このように本態様によれば、少なくとも０度以下の外部冷媒や大量の窒素ガスを必要としないので、プラントを小型化することに貢献する。

さらに、本発明の他の態様によれば、前記蒸留分離器にて分離される排液分を気化させる減圧弁を備える構成としてある。
前記蒸留分離器にて分離される排液分は減圧弁を介して低圧化された後、気化する過程で周囲から多大な気化熱を吸収することになるため、この吸熱を自己熱として冷媒とすることが可能となる。
このように本態様によれば、減圧弁で排液分を気化させるという簡易な構成で、必要な冷媒を賄うことができ本プラントを小型のものとすることができる。

また、本発明の他の態様によれば、前記熱交換器は、前記冷媒が供給される第１の熱交換器を備え、前記蒸留分離器にて分離される前記軽質ガス分を前記第１の熱交換器に供給した後、部分凝縮した後、気液分離器にて気液分離され、気体成分を前記製品ガスとし、液体成分を前記蒸留分離器の上部部位に還流させる構成としてある。

このように構成した本態様においては、前記熱交換器の第１の熱交換器に前記冷媒が供給されており、前記蒸留分離器にて分離される前記軽質ガス分を前記第１の熱交換器に供給すると、一部が凝縮することで気体成分と液体成分になり、気液分離器にて気液分離する。そして、気体成分は水素が富化され酸素が除去されたガスであるため前記製品ガスとなる。一方、液体成分は前記蒸留分離器の上部部位に還流され、再度、蒸留分離の工程を経る。
本発明によれば、軽質ガスの中で水素が富化され酸素が除去されたガスを分離させて製品ガスとし、製品ガス以外の成分を液化させ、少なくとも一部を気化させて冷媒として使用した後、最終的には排ガスとして排出することができる。前記製品ガスを効率よく分離し、かつ、十分な量の自己冷媒が得られる。

さらに、本発明の他の態様によれば、前記熱交換器は、前記第１の熱交換器の下流の気液分離にて得られる前記製品ガスと前記蒸留分離器から得られる前記排液分を気化させた排ガスとを冷媒として供給される第２の熱交換器を備え、前記圧縮機にて圧縮された前記原料ガスを前記第２の熱交換器で冷却して前記蒸留分離器に供給する構成としてある。

このように構成した本態様においては、前記熱交換器は、前記第１の熱交換器に加えて第２の熱交換器を備えており、第２の熱交換器には第１の熱交換器の下流の気液分離にて得られる前記製品ガスと前記蒸留分離器から得られる前記排液分を気化させた排ガスとが冷媒として供給され、前記圧縮機にて圧縮された前記原料ガスを冷却して前記蒸留分離器に供給する。
圧縮されることで前記原料ガスは加圧され、昇温するが、熱交換器の第２の熱交換器にて冷却される。このため、前記蒸留分離器に供給されたときに、当該蒸留分離器において、蒸留分離を行うことができるようになる。

また、本発明の他の態様によれば、前記熱交換器は、前記圧縮機にて圧縮された前記原料ガスを常温の冷却水で冷却する構成としてある。
このように構成した本態様においては、前記原料ガスを前記圧縮機にて圧縮することで、前記原料ガスは昇温する。この段階の高温の原料ガスを常温の冷却水で冷却すれば安価にかつ効率よく冷却することができる。
本発明によれば、安価な水による冷却が可能であり、プラントの小型化、低コスト化に貢献することができる。

さらに、本発明の他の態様によれば、前記熱交換器は、前記第１の熱交換器の下流の気液分離にて得られる前記製品ガスと前記蒸留分離器から得られる前記排液分を気化させた排ガスとを冷媒として供給される第３の熱交換器を備え、前記冷却水にて冷却された前記原料ガスを前記第３の熱交換器で冷却する構成としてある。

このように構成した本態様においては、前記圧縮機にて圧縮して昇温した前記原料ガスは最初に常温の冷却水で冷却され、この段階で常温に近い状態まで冷却できる。この状態の原料ガスは、第３の熱交換器にて、前記前記第1の熱交換器の下流の気液分離にて得られる前記製品ガスと前記蒸留分離器から得られる前記排液分を気化させた排ガスとを冷媒として冷却される。これらの冷媒は、既に冷媒として使用された後のものであるが、冷却水で冷却された程度の原料ガスを冷却するには十分である。また、前記蒸留分離器から得られる前記排ガスはこの段階で加熱されることになるため、排ガスが有するエネルギー量の増加による好影響を期待できるようになる。
このように、原料ガスを冷却水及び第３の熱交換器によって段階的に冷却でき、また、排ガスや製品ガスが有する冷媒としての能力を十分に活かすことができ、プラント全体を効率化して熱損失を減らすことが可能となる。

また、本発明の他の態様によれば、前記排ガスの圧力降下で駆動されるエキスパンダーを備え、前記圧縮機は、駆動源を有するとともに、前記エキスパンダーにて駆動補助される構成としてある。
このように構成した本態様においては、前記排ガスの圧力降下を利用してエキスパンダーを駆動させることができる。一方、前記圧縮機は駆動源によって駆動されると共に、このエキスパンダーが圧縮機の駆動を補助する。
本発明によれば、排ガスを減圧して得られるエネルギーも駆動源として再利用することができ、プラント全体を効率化することができる。また、排ガスは何段階か冷媒として利用されており、冷媒として機能しつつ、加熱されることで減圧時に放出されるエネルギーを高められるので、より一層の効率化を図ることができる。

さらに、本発明の他の態様によれば、前記圧縮機にて圧縮された前記原料ガスから微量不純物を除去する微量不純物除去装置を備える構成としてある。
このように構成した本態様においては、微量不純物除去装置が前記圧縮機にて圧縮された前記原料ガスから微量不純物を除去する。
本発明によれば、前記原料ガスから微量不純物を除去し、製品ガスの品質を向上させることができる。

本発明は、形ある装置としても成立する他、その処理工程で実施される方法の発明としても成立する。
すなわち、本発明は、圧縮機と、蒸留分離器と、熱交換器とを備えた酸素除去装置における酸素除去方法であって、投入ラインを介して前記圧縮機に水素と酸素の混合ガスを空気で希釈した希水素ガスを原料ガスとして供給する工程と、圧縮された原料ガスを前記熱交換器を経て前記蒸留分離器に供給する工程と、前記蒸留分離器にて軽質ガス分と排液分とに分離し、取り出した前記軽質ガス分を製品ガスとして払出ラインから払い出し、前記排液分を減圧させることで冷媒として前記熱交換器に供給した後、排ガスとして排ガスラインから排出する工程とを実施する。

本発明は、副製品として高純度の酸素が必要でない場合に、水素を空気で希釈した希水素ガスから効率的に酸素を除去できることが特徴であり、また、効果である。また、安全性の観点では、常に爆発が起こりえない流体組成条件を維持しながら分離できる点に特徴がある。

さらに、従来技術との比較においては、ａ）極めて簡略化された装置構成で実現できると共に、ｂ）エネルギー原単位が向上するという２つの点で優位性がある。いずれも、高純度酸素を製造しない場合に特化しているために可能となっている。さらに、同様の理由から、得られる水素・窒素混合ガス中の水素濃度を高くしやすい点も本発明の特徴の１つと言える。

酸素除去装置の概略構成を示す図である。 酸素除去装置の詳細な構成を示す図である。

以下、図面にもとづいて本発明の実施形態を説明する。
図１は、本発明の一実施形態にかかる酸素除去装置の概略構成をブロック図により示している。
同図において、本酸素除去装置は、圧縮機１０と、蒸留分離器２０と、熱交換器３０と、動力供給機４０とを備えている。
投入ラインＬ１１に、水素と酸素の混合ガスを空気で希釈した希水素ガスが原料ガスとして供給され、本酸素除去装置を経て、払出ラインＬ１２からは製品ガスが取り出され、排ガスラインＬ１３は酸素などを含む排ガスが排出される。原料ガスは、微量の水素と酸素の混合ガスを空気で希釈した希水素ガス（水素 4 vol%程度）である。これは、水分解反応で生成した気体（主成分は水素66 mol%、酸素33 mol%）を水素起因の爆発限界外の組成となるように大量の空気で希釈したものが想定されている。

まず、概略の処理の流れを説明する。投入ラインＬ１１からラインＫ１を介して圧縮機１０に水素と酸素の混合ガスを空気で希釈した希水素ガスを原料ガスとして供給すると、圧縮機１０は原料ガスを圧縮し、昇圧させる。この圧縮機１０は、動力供給機４０にて駆動される。

圧縮された原料ガスはラインＫ２を経て熱交換器３０に供給される。原料ガスは熱交換器３０で熱を吸収され、ラインＫ３を経て微量不純物除去装置５０にて微量の不純物を除去される。微量不純物除去装置５０では、水分等が除去される。分離方法としては吸着などの既往の空気分離装置と同様の方法が想定されている。
このように、圧縮機１０にて圧縮された原料ガスから微量不純物を除去する微量不純物除去装置５０を備えている。

昇圧された原料ガスを冷却するときの冷却媒体は、冷却水等の安価な外部用役と、蒸留分離器２０から流出した低温の製品ガス（ラインＫ８から供給）と排液混相流体（ラインＫ１０から供給）、及び、微量不純物除去装置５０から流出した排ガス（ラインＫ１３から供給）である。ただし、個別案件の設計思想に応じて、これらの内いずれかを冷却媒体として適用しない場合もある。

また、微量不純物除去装置５０を経て不純物を除去された原料ガスを冷却するための冷媒は、蒸留分離器２０から得られた低温の製品ガス（ラインＫ８から供給）と排液混相流体（ラインＫ１０から供給）である。なお、この冷却において、原料ガスが凝縮されるか否か、また、凝縮される場合にどの程度凝縮されるかは個別案件の設計思想に応じて変わり得る。

冷却後の原料ガス／原料流体は、ラインＫ５を介して蒸留分離器２０に供給される。そして、蒸留操作により軽質ガスと排液分に分離される。排液分はラインＫ９を介して減圧弁６０に供給され、減圧されてラインＫ１０に排出される時点で部分蒸発・低温化されて熱交換器３０に冷媒として供給される。一方、軽質ガスはラインＫ６を介して熱交換器３０に送られて、主にラインＫ１０で供給される排液混相流体の冷媒によって冷却され、部分凝縮する。部分凝縮した流体はラインＫ７を介して再び蒸留分離器２０に供給され、蒸留分離器２０内にて気液分離されて低温の製品ガスがラインＫ８より排出される。

このように、蒸留分離器では、原料ガスを軽質ガス分と排液分とに分離している。また、排液分を減圧させることで冷媒として熱交換器に供給している。さらに、蒸留分離器２０にて分離される排液分を気化させる減圧弁を備えている。
蒸留分離の結果としてラインＫ８にて得られる製品ガスは酸素を微量しか含まず、水素と窒素が主成分となる。一方、ラインＫ９の排液分（及びラインＫ１０の排液混相流体）は水素をほとんど含まず、窒素と酸素が主成分となる。

低温の製品ガスはラインＫ８を介して熱交換器３０に供給される。製品ガスは、熱交換器３０内では冷媒として利用される反面、当該熱交換器３０にて加熱されて最終的に払出ラインＬ１２であるラインＫ１１より製品ガスとなって外部へ払い出される。
このように、取り出した軽質ガス分を製品ガスとして払出ラインから払い出している。

一方、ラインＫ１０から熱交換器３０に供給される排液混相流体は、冷却冷媒として機能する反面、当該熱交換器３０にて加熱されて気化し、ラインＫ１２を介して微量不純物除去装置５０に供給される。そして、微量不純物除去装置５０での再生操作（吸着材に吸着された微量成分の脱着）に用いられた後、熱交換器３０で加熱され、さらに、動力供給機４０での減圧を経て、排ガスラインＬ１３を介して外部へ払い出される。
このように、排液分は、減圧された後、冷媒として利用され、その後、排ガスとして排ガスラインから排出される。
なお、排ガスを熱交換器３０で加熱したり動力供給機４０で減圧を行うか否かは個別案件の設計思想に依る。

図２は、酸素除去装置の詳細な構成を示す図である。
同図に示す酸素分離装置は、図１に示す酸素除去装置をより具体的に示した一例であり、個別案件の設計思想に応じて変わり得る。すなわち、より詳細な構成である具体的な熱交換組合せ等は、個別案件の設計思想、例えば、投資額や、目標エネルギー原単位等に依存して様々に変わり得る。

圧縮機１０が原料ガスを圧縮して昇圧させると、ラインＫ２に供給される原料ガスは高温になっている。この高温の原料ガスを熱交換器３０内の最初の水冷式の冷却装置３４にて冷却する。供給される冷却水は、常温のもので構わない。本酸素除去装置で外部から供給する冷媒はこのような常温の冷却水で十分であり、これ以外の冷媒を使用することなく自己熱によって冷媒を供給することができる。

このように、熱交換器３０は、圧縮機１０にて圧縮された原料ガスを常温の冷却水で冷却している。簡易な構成を実現する冷媒として冷却水を利用するので、熱交換器３０には、少なくとも０度以下の冷媒を外部から供給しないといえる。
本酸素除去装置の熱交換器３０には、３器の熱交換器が備えられている。

第１の熱交換器３１は、ラインＫ１０から冷媒を供給され、ラインＫ６から供給される軽質ガスとの間で熱交換を行う。排液分が減圧弁６０にて減圧されてラインＫ１０に排出される排液混相流体が最も温度の低い冷媒となっているため、第１の熱交換器３１は軽質ガスを最も冷却することができる。これにより、軽質ガスは部分凝縮し、ラインＫ７を介して気液分離器２３に入り、気体成分が低温製品ガスとなり、液体成分が蒸留分離塔２１の上部部位に還流される。
このように、熱交換器３０は、冷媒が供給される第１の熱交換器３１を備えており、蒸留分離器２０にて分離される軽質ガス分をこの第１の熱交換器３１に供給した後、気液分離器２３にて気液分離し、気体成分を製品ガスとし、液体成分を蒸留分離器２０における蒸留分離塔２１の上部部位に還流させている。

第２の熱交換器３２は、冷媒の供給源としてラインＫ１０Ａを介して排液混相流体が供給され、さらにラインＫ８を介して低温の製品ガスが供給されている。また、熱交換の対象としてラインＫ４を介して原料ガスが供給されている。原料ガスは微量不純物吸着装置５１にて不純物を除去された後であり、蒸留分離器２０に供給される直前である。このため、冷却をする優先度としては軽質ガスを部分凝縮するのに続くものといえる。従って、蒸留分離器２０から得られる排液分を減圧弁６０にて減圧して最も温度が低くなった冷媒を最初に第１の熱交換器３１に提供した後、この第２の熱交換器３２に供給し、蒸留分離器２０に供給される直前の原料ガスを冷却するようにしている。また、第１の熱交換器３１で冷却された後に気液分離された低温の製品ガスも第２の熱交換器３２の冷媒とすることで、原料ガスを最大限に冷却できるような構成としている。
このように、熱交換器３０は、第１の熱交換器３１から得られる製品ガスと前記蒸留分離器２０から得られる排液分を減圧した排ガスとを冷媒として供給される第２の熱交換器３２を備え、圧縮機１０にて圧縮された原料ガスを第２の熱交換器３２で冷却して蒸留分離器２０に供給している。

第３の熱交換器３３は、第２の熱交換器３２で冷媒として使用された排液混相流体がラインＫ１０Ｂを介して供給され、また、製品ガスがラインＫ８Ａを介して供給されており、熱交換の対象として圧縮機１０にて圧縮された後、冷却水で冷却された原料ガスがラインＫ２Ａを介して供給されている。排液混相流体も製品ガスも第２の熱交換器３２で冷媒として使用されており、徐々に温度は高くなってきており、最後に、この第３の熱交換器３３において、常温の冷却水で冷却されただけの原料ガスを冷却するのに使用されている。圧縮機１０にて圧縮されて冷却水で冷却されただけの原料ガスの冷却の優先度は低いため、熱交換器３０において、最終段の第３の熱交換器３３で利用することで、無駄なく冷媒として利用することができている。

このように、熱交換器３０では、第１の熱交換器３１から得られる製品ガスと蒸留分離器２０から得られる排液分を減圧した排液混相流体/排ガスとが冷媒として供給され、冷却水にて冷却された原料ガスがこの第３の熱交換器３３で冷却されている。
本酸素除去装置においては、原料ガスを圧縮して昇圧させる圧縮機１０は、動力供給機４０にて駆動される。この動力供給機４０は、モーターやスチームタービン等により電力や高圧スチームの外部動力源４１を備えている。
また、エキスパンダー４２を設置して、当該酸素除去装置の排ガスラインＬ１３（ラインＫ１５）から排出される前に、ラインＫ１４より供給された排ガスからの動力回収も併設している。
このようにエキスパンダー４２の併設を行えばエネルギー原単位の良化させることができるが、装置コストや運転性の観点を鑑みると、実際には個別の状況に応じて併設有無が変わり得る。

このように排ガスの圧力降下で駆動されるエキスパンダー４２を備えており、圧縮機１０は、駆動源である外部動力源４１を有するとともに、エキスパンダー４２にて駆動補助されている。

なお、本発明は上記実施例に限られるものでないことは言うまでもない。当業者であれば言うまでもないことであるが、
・上記実施例の中で開示した相互に置換可能な部材および構成等を適宜その組み合わせを変更して適用すること
・上記実施例の中で開示されていないが、公知技術であって上記実施例の中で開示した部材および構成等と相互に置換可能な部材および構成等を適宜置換し、またその組み合わせを変更して適用すること
・上記実施例の中で開示されていないが、公知技術等に基づいて当業者が上記実施例の中で開示した部材および構成等の代用として想定し得る部材および構成等と適宜置換し、またその組み合わせを変更して適用すること
は本発明の一実施例として開示されるものである。

１０…圧縮機、
２０…蒸留分離器、
２１…蒸留分離塔、
２３…気液分離器、
３０…熱交換器、
３１…第１の熱交換器、
３２…第２の熱交換器、
３３…第３の熱交換器、
４０…動力供給機、
４１…外部動力源、
４２…エキスパンダー、
５０…微量不純物除去装置、
５１…微量不純物吸着装置、
６０…減圧弁、
Ｌ１１…投入ライン、
Ｌ１２…払出ライン、
Ｌ１３…排ガスライン。

Claims (10)

1. 圧縮機と、蒸留分離器と、熱交換器とを備え、
   投入ラインを介して前記圧縮機に水素と酸素の混合ガスを空気で希釈した希水素ガスを原料ガスとして供給し、
   前記圧縮機で圧縮された原料ガスを前記熱交換器を経て前記蒸留分離器に供給し、
   前記蒸留分離器にて酸素が除去された軽質ガス分と酸素の濃度が高められた排液分とに分離し、
   取り出した前記軽質ガス分を製品ガスとして払出ラインから払い出し、
   前記排液分を減圧させ、冷媒として前記熱交換器に供給して排ガスを得て、前記排ガスを排ガスラインから排出することを特徴とする酸素除去装置。
2. 前記熱交換器は、少なくとも０度以下の冷媒を外部から供給しないことを特徴とする請求項１に記載の酸素除去装置。
3. 前記蒸留分離器にて分離される排液分を減圧させ少なくとも一部を気化させる減圧弁を備えることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の酸素除去装置。
4. 前記熱交換器は、前記冷媒が供給される第１の熱交換器を備え、
   前記蒸留分離器にて分離される前記軽質ガス分を前記第１の熱交換器に供給して部分凝縮後、気液分離器にて気液分離し、気体成分を前記製品ガスとし、液体成分を前記蒸留分離器の上部部位に還流させることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の酸素除去装置。
5. 前記熱交換器は、前記第１の熱交換器の下流の気液分離にて得られる前記製品ガスと前記蒸留分離器から得られる排液分を減圧した前記排ガスとを冷媒として供給される第２の熱交換器を備え、
   前記圧縮機にて圧縮された前記原料ガスを前記第２の熱交換器で冷却して前記蒸留分離器に供給することを特徴とする請求項４に記載の酸素除去装置。
6. 前記熱交換器は、前記圧縮機にて圧縮された前記原料ガスを常温の冷却水で冷却することを特徴とする請求項１または請求項２に記載の酸素除去装置。
7. 前記熱交換器は、前記第１の熱交換器の下流の気液分離にて得られる前記製品ガスと前記蒸留分離器から得られる前記排ガスとを冷媒として供給される第３の熱交換器を備え、
   前記冷却水にて冷却された前記原料ガスを前記第３の熱交換器で冷却することを特徴とする請求項６に記載の酸素除去装置。
8. 前記排ガスの圧力降下で駆動されるエキスパンダーを備え、
   前記圧縮機は、駆動源を有するとともに、前記エキスパンダーにて駆動補助されることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の酸素除去装置。
9. 前記圧縮機にて圧縮された前記原料ガスから微量不純物を除去する微量不純物除去装置を備えることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の酸素除去装置。
10. 圧縮機と、蒸留分離器と、熱交換器とを備えた酸素除去装置における酸素除去方法であって、
    投入ラインを介して前記圧縮機に水素と酸素の混合ガスを空気で希釈した希水素ガスを原料ガスとして供給する工程と、
    圧縮された原料ガスを前記熱交換器を経て前記蒸留分離器に供給する工程と、
    前記蒸留分離器にて酸素が除去された軽質ガス分と酸素の濃度が高められた排液分とに分離し、取り出した前記軽質ガス分を製品ガスとして払出ラインから払い出し、前記排液分を減圧させることで冷媒として前記熱交換器に供給した後、排ガスとして排ガスラインから排出する工程とを実施する
    ことを特徴とする酸素除去方法。

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