JP2023550800A - 全有機体炭素のインライン測定による水浄化システム及びその操作方法 - Google Patents

Abstract

本願は、全有機体炭素(TOC)含有量のインライン測定を備えた水浄化システムおよび方法に関する。

Description

本出願は、全有機体炭素（ＴＯＣ）含有量のインライン測定を備える水浄化システムおよび方法に関する。

背景
製薬、ライフサイエンス、半導体分野などの用途では、例えば、望ましくない副反応を引き起こし、および／または分析または製造プロセスの再現性に悪影響を及ぼす可能性のある汚染物質が含まれている可能性があるため天然水または蛇口から来る水（「水道水」）が十分に純粋ではない場合がある。したがって、対象となる用途に応じて、水中に含まれる汚染物質を部分的にまたは可能な限り除去することにより、水の純度を向上させなければならない。しばしば「超高純度」として、またはＡＳＴＭ Ｄ１１９３－０６に従って「タイプＩ」水として表示される最高純度の水は、例えば、少なくとも１８．０ＭΩ・ｃｍの比抵抗率および最大５ｐｐｂの全有機体炭素（ＴＯＣ）によって特徴付けられる。

超純水またはタイプＩ水を製造することを可能にする水浄化システムは、そのようなものとして知られている。水道水から水を浄化するように設計された一体型水浄化システムは、例えば、ろ過、逆浸透、電気脱イオン、紫外線照射処理、イオン交換ステップなどの様々な水浄化ステップを含む。一般に、このような浄化システムは、水道水が第１の純度グレード（例えば、ＡＳＴＭ Ｄ１１９３－０６で定義されているタイプ２またはそれ以下）に浄化される第１浄化ステージ、および、第１浄化ステージからの予備浄化水が、より高い純度（例えば、ＡＳＴＭ Ｄ１１９３－０６により定義されるタイプ１）にさらに浄化され、次いで、システムから分配され、使用することができる、第２浄化ステージを含む。

超高純度レベルまで水を浄化することは、汚染物質の許容レベルが非常に低いため、課題である。したがって、水浄化システムおよび分配セクション内の汚染物質の蓄積を回避するために、例えば、システムから水が分配されない場合、浄化水は、例えば、第１および第２浄化ステージを通じた連続的な再循環によって、システム全体に継続的に再循環される必要がある。
分配された水が所望の純度に対応することを確実にするために、ユーザは、浄化水の多数の特性を継続的にまたは少なくとも定期的に監視することができる浄化システムに関心を有している。これらの特性のいくつかは比較的簡単に測定できるものの、全有機体炭素（ＴＯＣ）含有量を確実に判定することはかなり難しいことが証明されている。

ＵＳ５，６７７，１９０Ａは、紫外線照射への曝露中の液体サンプルの電気的特性を測定するための測定セルおよび回路を開示している。ＣＯ_２への酸化による水中のＴＯＣの測定のための一つの実施態様では、紫外線照射は低圧水銀ランプによって生成される。測定セル内の水サンプルは、導電率が増加しなくなるまで照射され、それは水中に元々存在していたすべての有機成分が酸化されたことを意味する。次いで照射前後の導電率の差を全有機体炭素含有量に計算する。この方法は非常に正確ではあるが、かなり時間がかかり、ＴＯＣ含有量の判定に特化した追加の機器もまた必要とする。

ＵＳ５，２７２，０９１Ａは、水浄化システムから排出される水の有機体炭素含有量を予測するための方法を開示しており、ここで、水は過去の水源、例えば、水浄化システムに含まれる紫外線光源から導かれる。次いで、浄化モード比抵抗率と組み合わせた基準モード比抵抗率変化を用いて、浄化水に対する値が得られ、これを水浄化システムから排出される水の炭素含有量と関連付けて、水浄化システムから排出される水の炭素含有量を予測することができる。

ＥＰ０４９８８８８Ａ１は、超純水中の全有機体の量を測定する方法で、イオン交換処理の適用により比抵抗値が既知の一定値に設定された超純水に紫外線を照射し、上記一定の比抵抗値から異なる地点で継続的に測定された超純水の比抵抗値を差し引いて減少分を算出し、ＣＯ_２の発生量と減少の相関関係に基づいて全有機体炭素含有量を求める方法を開示している。

ＵＳ５，２７２，０９１ＡおよびＥＰ０４９８８８８Ａ１に開示されている方法は、水浄化システムにすでに存在する機器を使用してＴＯＣ含有量を判定する経済的かつ簡単な方途を提案するが、ＴＯＣ含有量は紫外線照射源の直後（すなわち下流）であるが第２の浄化ステップの前（すなわち、その上流）に判定されるので、このようにして得られる値は、水浄化システムから分配される水の実際のＴＯＣ含有量に必ずしも対応しない可能性があるため、まだ改善の余地がある。さらに、第１浄化ステージが完全にパフォーマンスを発揮しなくなったが、そのようなパフォーマンスの欠如が第２浄化ステージによって補完される場合には、これらの方法は、ＴＯＣの所望レベルよりも高い誤った警報につながる可能性がある。

したがって、産業界には水浄化システムから超純水を分配する時点での全有機体炭素(TOC)含有量を判定することを可能にする改良された浄化システムおよび方法で、好ましくは、水浄化システムにおける追加の、おそらく技術的に複雑でおよび/または高価である構成要素の設置を必要としない、そのような浄化システムおよび方法へのニーズがある。好ましくは、このような浄化システムおよび方法は、維持の要求の増加にもつながるべきではない。

概要
本発明者らは、驚くべきことに、上記の目的が、本願の水浄化システムおよび方法によって個々にまたは任意の組み合わせで達成され得ることを見出した。

したがって、本出願は、
水浄化システム（１００）であって、以下、
（ａ）順に紫外線照射処理ステップ（１０５）およびポリッシャー（１０７）を含み、好ましくは本質的にそれらからなる浄化ステージ（１０４）；および
（ｂ）前記紫外線照射処理ステップ（１０５）の下流かつポリッシャー（１０７）の上流に位置する全有機体炭素含有量を測定するためのデバイス（１０６）、
（ｃ）測定ループ
を含み、
前記測定ループは前記浄化ステージ（１０４）および全有機体炭素を測定するためのデバイス（１０６）を含む、
前記水浄化システムを提供する。

したがって、本出願はまた、水浄化システム（１００）の操作プロセスであって、
水浄化システム（１００）が以下、
（ａ）順に紫外線照射処理ステップ（１０５）およびポリッシャー（１０７）を含み、好ましくは本質的にそれらからなる浄化ステージ（１０４）；および
（ｂ）前記紫外線照射処理ステップ（１０５）の下流、かつポリッシャー（１０７）の上流に位置する全有機体炭素含有量を判定するためのデバイス（１０６）、
(c)測定ループ、
を含み、
前記測定ループは、前記水浄化ステージ（１０４）および全有機体炭素を測定するためのデバイス（１０６）を含み、
ここでプロセスは、以下のステップ
（１）水を浄化ステージ（１０４）の中を通すこと、それにより浄化水を獲得すること；および
（２）浄化水を測定ループの中を通すことおよびデバイス（１０６）を使用することで浄化水に含まれる全有機体炭素の含有量を判定すること、
を含む、
前記操作プロセスも提供する。

図面の簡単な説明
図１は、接続ラインＣ１と二方弁または三方弁（１１１）とを備える本水浄化システムの例示的な概略図を示す。 図２は、接続ラインＣ１と２つの弁（１１１ａ）と（１１１ｂ）とを併せて備える本水浄化システムの例示的な概略図を示す。

図３は、接続ラインＣ２を備える本水浄化システムの例示的な概略図を示す。 図４は、好ましい水分配セクション（１０９）と、全有機体炭素含有量を判定するためのデバイス（１０８）、弁（１１０）、およびリサイクルライン（Ｒ）の一部の概略例示を示す。 図５ａは、分配モードにおける接続ラインＣ１と二方弁または三方弁（１１１）とを備える本水浄化システムを通る水の流れの例示的な概略図を示す。 図５ｂは、測定モードにおける接続ラインＣ１と二方弁または三方弁（１１１）とを備える本水浄化システムを通る水の流れの例示的な概略図を示す。 図５ｃは、リサイクル（ｒｅ－ｃｙｃｌｉｎｇ）モードにおける接続ラインＣ１と二方弁または三方弁（１１１）とを備える本水浄化システムを通る水の流れの例示的な概略図を示す。

図６ａは、分配モードの接続ラインＣ２を備える本水浄化システムを通る水の流れの例示的な概略図を示す。 図６ｂは、測定モードの接続ラインＣ２を備える本水浄化システムを通る水の流れの例示的な概略図を示す。 図６ｃは、リサイクルモードの接続ラインＣ２を備える本水浄化システムを通る水の流れの例示的な概略図を示す。 図７は、実施例１の第１浄化ステージから来る水（連続線を参照）および分配水（破線を参照）の全有機体炭素含有量（ＴＯＣ）を示す。 図８は、実施例２の比抵抗率曲線およびＴＯＣ曲線を示す。

図９は、実施例４についての比抵抗率曲線およびＴＯＣ曲線を示す。

図5a、5b、5c、6a、6b、および6cにおいて点線および記号は、それぞれの図で表される特定のモードで使用されていないそれぞれの描かれた水浄化システムの構成要素を示す。
本願全体を通して、図を含め同一の構成要素等は、対応する参照符号で示される。
図中、矢印は、本願の水浄化システムを通る水の流れの一般的な方向を示すために使用される。

詳細な説明
本明細書で使用される場合、用語「上流」は、水浄化システム内の水の流れと反対の方向を意味する、すなわち給水口に向かう方向を意味するために使用される。別の言い方をすれば、上流に行くことは、分配セクションから給水口への方向を意味する。
本明細書で使用される場合、用語「下流」は、浄化システム内の水の一般的な流れを伴う方向を意味する、すなわち水出口に向かう方向を意味するために使用される。別の言い方をすれば、下流に行くことは、給水口から水分配セクションへの方向を意味する。
本明細書において、水浄化ステージとの文脈において、用語「本質的に～からなる」、「本質的に～からなる(三人称単数主語、consists of)」、および「本質的に～からなっている」は、それぞれのステージが水浄化のためのさらなる手段(水中に含まれる汚染物質を除去するための手段など)を備えないことを表示するために使用されるが、それにもかかわらず、例えば、温度センサ、フローセンサ、圧力センサ、導電率測定デバイス、フロー制御、弁からなる非限定的な群から選択される1つ以上の補助デバイスを備えてもよい。

本明細書で使用される場合、「水浄化フロー」、「測定ループ」、および「リサイクルフロー」という用語は、本件の水浄化システムを通過する水のための継続的に液体的に接続された流路を表示するために使用される。
本明細書で使用される場合、用語「ＵＶ」および「紫外線」は、一般に、および別段限定されない場合、少なくとも１００ｎｍおよび最大４００ｎｍの波長を有する電磁放射を表示するために使用される。

一般的に言えば、本出願は、超高純度、すなわちタイプIの水を製造するための水浄化システムに関する。特に、本願は、(a)浄化ステージ、(b)全有機体炭素(TOC)含有量を測定するデバイス、および(c)測定ループを含む水浄化システムに関する。
(a)の下に表示される浄化ステージは、明確さの理由から本出願全体を通して一般に「第２浄化ステージ」と称されるが、順に紫外線照射処理ステップとポリッシャーとを含み、好ましくは本質的にそれらからなる。
全有機体炭素含有量を測定するデバイスは、第２浄化ステージ内の紫外線照射処理ステップの下流かつポリッシャーの上流の地点に位置する。このような全有機体炭素含有量を測定するためのデバイスは、好ましくは導電率を測定するためのデバイスであり、これは要するに、この出願全体を通して「導電率セル」とされることもある。このような導電率セルは、一般に温度センサと関連している。

測定ループは、紫外線照射処理ステップおよびポリッシャー（すなわち第２浄化ステージ）と、紫外線照射処理ステップとポリッシャーとの間に位置する全有機体炭素含有量を測定するためのデバイスとを含み、好ましくは本質的にそれらからなる。
好ましい水浄化システムは、順番に給水口、水浄化フロー、およびリサイクルライン（Ｒ）を含み、好ましくは本質的にそれらからなる。
給水口は、例えば電磁弁を備え、外部の源からの水を水浄化システムに導入する役割を果たす。このような外部の源からの水は、一般に、タイプＩの水よりも純度が低く、例えば、公共用水システム（「水道水」）または例えば脱イオン水またはタイプＩＩ水を配給するシステムから来てもよい。本出願の目的のために、給水口は、本水浄化システムにおける最上流点を表すと考えられることに留意されたい。

水浄化フローは、順番にポンプ、第１(または先行)浄化ステージ、第２浄化ステージ、および分配セクションを含み、好ましくは本質的にそれらからなり、これらはすべて本明細書で定義される通りである。
第１浄化ステージは、水を第１の水純度グレードまで、好ましくは上記の給水口を介して現在の水浄化システムに導入された水(「給水」)の水純度グレードよりも高い、第１の水純度グレードまで浄化する。
第１浄化ステージに含まれる浄化媒体（purification media）は、特に限定されるものではない。例えば本水浄化システムに供給される給水の純度に応じて、選択されてよい。好ましくは、第１浄化ステージは、カチオンイオン交換体、アニオンイオン交換体、および活性炭からなる群から選択される1つ以上の浄化媒体を含む。したがって、第１浄化ステージは、好ましくは、イオン性汚染物質および/または有機汚染物質のレベルを低下させる。
第１浄化ステージから出る水は、第１浄化ステージが完全に機能している場合であれば、２５℃で最大１８．２ＭΩ・ｃｍの比抵抗率と、非常に低い有機汚染物質のレベルを有するはずである。

好ましくは、第２の浄化は、第１の水純度グレードよりも高い第２の水純度グレードに水を浄化する。
好ましくは、第２浄化ステージは、順番に紫外線照射処理ステップおよびポリッシャーを含み、好ましくは本質的にそれらからなる。
第１および第２浄化ステージ、ならびに特に第２浄化ステージのために、ポリッシャーは、好ましくは使い捨てデバイス、例えば上記で定義したそれぞれの浄化媒体を含む使い捨てカートリッジ、である。

好ましくは、前記紫外線照射処理デバイスは、好ましくは少なくとも１５０ｎｍの波長を有する放射線を放出する紫外線照射源を含み、かかる紫外線照射源は好ましくは低圧水銀灯、冷陰極水銀灯、エキシマランプからなる群から選択される。
そのような紫外線照射処理デバイスにおいては、紫外線照射は有機汚染物質を少なくとも部分的に酸化し、イオン、特に炭酸イオン(CO₃ ^2-)または炭酸水素イオン(HCO₃)の生成につながる。そのようなイオンの存在および特に濃度は、次いで、関連する温度補償を有する導電率セルを用いてそれぞれの温度センサによって検出される水の温度で判定されうる。水中の有機汚染物質の酸化によって生成される追加のイオンによる導電率の増加をもって、水中の有機汚染物質の濃度/レベルは、専用のアルゴリズムを使用して計算可能である。このアルゴリズムは特に限定されない。全有機体炭素含有量の判定に関するさらなる詳細は、参照により本明細書に組み込まれる国際公開第２０１８／１５３８２２Ａ１号に見出されるが、しかしながら、そのような判定および計算は当該技術分野において周知であり、一般に詳細に説明する必要はないことに留意されたい。

紫外線照射を使用する以外に、水中に含まれる有機汚染物質は、熱酸化、化学酸化(例えば、過酸化水素などの過酸化物を添加することによる)、紫外線過硫酸酸化、およびこれらの任意の組み合わせからなる非限定的なリストから選択される任意の方法によって酸化され得ることに留意されたい。なお、本説明は、本水浄化システムおよび方法を説明する際に紫外線照射を用いているが、そのような説明は他の方法にも同様に適用されることに留意されたい。それにもかかわらず、本水浄化システムおよび方法に対しては、紫外線照射による酸化が好ましい。
好ましくは、ポリッシャーは、活性炭、カチオンイオン交換体、およびアニオンイオン交換体からなる群から選択されるいずれか１以上の浄化媒体を含む。
好ましくは、ポリッシャーの下流かつ分配セクションの上流において、浄化水は、関連する温度センサを有する導電率セルを再び通過して、その導電率と、その結果としてその総イオン濃度と、したがってその純度と意図された目的への適合性とを判定する。したがって、この導電率セルは、存在する場合には、ユーザが現在の水浄化システムの良好な全体的な機能を評価することも可能にする。

分配セクションは、本水浄化システムによって製造された超純水を１以上の水出口から引き出すことを可能にする。１以上の水出口は、水浄化システムの残りの部分から直接に位置してもよいし、たとえばさらに数メートル程離れて位置してもよい。１以上の出口が存在する場合、それらは順番にまたは並列に配置されてもよいが、並列に配置されることが好ましい。好ましくは、各水出口は、浄化水の分配速度（ｄｉｓｐｅｎｓｉｎｇ ｒａｔｅ）および体積を制御することを可能にする分配弁を含む。分配弁は、通常閉流路を備えるタイプの電磁弁であってよい。さらに、各出口は、例えば、本水浄化システムがリサイクルモードにあるときなどの、前記水出口から浄化水が分配されない場合であっても、分配セクションを通って水を循環させることを可能にする「バイパス」を好ましくは含む。このような「バイパス」は、例えば本水浄化システムがリサイクルモードにある場合、リサイクルライン（Ｒ）の一部とみなされてもよく、または、組み合わされた水浄化フローとリサイクルフロー／リサイクルライン（Ｒ）の一部とみなされてもよい。例示的な水出口は、例えば、ＥＰ１８１４００７Ａ１に開示されている。

好ましくは、ユースポイント（ｔｈｅ ｐｏｉｎｔ ｏｆ ｕｓｅ）、すなわち分配セクション中に含まれる浄化水出口の上流において、分配セクションは、０．２２μｍメンブレンまたは他の任意の適切な浄化手段を好ましくは含むフィルターエレメント（ｆｉｌｔｅｒ ｅｌｅｍｅｎｔ）を含む。このようなフィルターエレメントは、好ましくは、細菌、発熱物質、内分泌かく乱物質、および/または揮発性有機体化合物などだが、いくつかの非限定的な例に過ぎない、微量汚染物質を取り除くように適合される。
リサイクルライン(R)は、分配セクションの下流の位置から給水口の下流かつポンプの上流の位置に水浄化フローを液体的に接続する。
水浄化フローおよび/またはリサイクルライン（Ｒ）は、第１浄化ステージをバイパスできるように適合されており、それによって測定ループが確立される。

このようなバイパスは、ポンプの下流かつ第１浄化ステージの上流に位置する分岐点から、第１浄化ステージの下流かつ第２浄化ステージの上流へ、とりわけ紫外線照射処理ステージの上流の位置へと水浄化フローを液体的に接続する接続ラインＣ１を含む本水浄化システムによって達成されてよい。
よって、本水浄化システムは、分岐点で水浄化フロー中に位置する二方弁又は三方弁を好ましくは含む。この弁は、水浄化フローに沿って、または接続ラインＣ１に沿って水の流れを制御することを可能にし、それによって第１浄化ステージをバイパスすることを可能にする。

代替的に、本水浄化システムは、分岐点の下流かつ第１浄化ステージの上流の水浄化フロー内に位置する第１弁と、接続ラインＣ１に位置する第２弁との、２つの弁を併せて好ましくは含む。よって、第１弁を閉じそして第２弁を開くことにより、水の流れは、ポンプから接続ラインＣ１を通って第２浄化ステージの紫外線照射処理ステップへと直接達する。逆に、第１弁を開きそして第２弁を閉じることにより、水の流れは、第１浄化ステージへ、そしてそこを通過し、次いで第２浄化ステージへと達する。前記第１弁は、例えば、二方弁であってよい。前記第２弁は、例えば、二方弁または逆止弁であってもよい。

任意選択で、組み合わせて使用される２つの弁に加えて、逆止弁をポンプの下流かつ分岐点の上流の位置で水浄化フローに配置してもよい。逆止弁は水のバックフローを遮断、すなわち、水がポンプおよび給水口の方向へと流れることを回避する。
代替的に、かかるバイパスは第１浄化ステージの下流かつ第２浄化ステージの上流へ、とりわけ紫外線照射処理ステージの上流の位置で水浄化フローへとリサイクルライン（Ｒ）を液体的に接続する接続ラインＣ２を含む本水浄化システムによって達成可能である。好ましくは接続ラインＣ２は循環ポンプを含む。

本出願はまた、水浄化システムを操作するためのプロセスにも関し、この水浄化システムは、（ａ）浄化ステージで、明確化のために本出願全体を通じて一般に「第２浄化ステージ」と呼ばれるもの、（ｂ）全有機体炭素含有量を判定するためのデバイスであって、紫外線照射処理ステップの下流かつポリッシャーの上流に位置する本明細書に記載されるデバイス、（ｃ）本明細書で定義される測定ループ、を含み、ここでプロセスは、（１）水を浄化ステージに通過させ、それにより浄化水を得ること、および（２）浄化水を測定ループに通し、デバイスを用いて浄化水に含まれる全有機体炭素の含有量を判定するステップを含む。

好ましくは、本願は、水浄化システムを操作するプロセスに関し、前記水浄化システムは、（ａ’）給水口；（ｂ’）本明細書で定義される水浄化フロー；および（ｃ’）本明細書で定義されるリサイクルフロー（Ｒ）を含み、、以下のステップ
（１’）給水口を介して水を提供すること；
（２’）水浄化フローに水を通過させ、浄化水を得ること；
（３’）ステップ（２’）で得られた浄化水を分配すること；および
（４’）第１浄化ステージをバイパスして浄化水を測定ループに通すことによって全有機体化合物のレベルを判定し、全有機体炭素含有量を判定するためのデバイスによって全有機体炭素含有量を判定すること、
のステップを含む。

前記のステップ（２’）で得られた浄化水を分配するステップ（３’）に続いて、本水浄化システムは分配モードからステップ（４’）の分配後または測定モードまで、たとえば、分配弁を閉じ、リサイクルライン（Ｒ）の弁を開くことにより、（例えば作業者による手動で）変更され、または好ましくは自動的に切り替えられる。
好ましくは、本プロセスのステップ（４’）において、第１浄化ステージは分岐点の下流かつ第１浄化ステージの上流で水浄化フローを遮断し、水が接続ラインＣ１を介して第２浄化ステージへと直接通過させることを可能にすることによりバイパスされ、水浄化システムは分岐点に二方弁又は三方弁を好ましくは含み、または、第１弁が分岐点の下流かつ第１浄化ステージの上流の水浄化フローにおいて位置し、第２弁は接続ラインＣ１に位置する。

あるいは、本プロセスのステップ（４’）において、第１浄化ステージは好ましくは、本明細書で定義されるような接続ラインＣ２で、接続ラインＣ２中に水を強制的に通すことによりバイパスされる。
好ましくは、本プロセスは、ステップ（４’）に続いて、水浄化フローとリサイクルライン（Ｒ）を順次通過させることによって浄化水をリサイクルすることをさらに含む。本明細書において用語「リサイクル」は、水浄化フローとリサイクルライン（Ｒ）を繰り返し通過させることを表示するように使用される。このようなリサイクルにより、特に浄化水が分配されていない場合に、浄化水の潜在的な汚染物質のレベルを可能な限り低く抑えることが可能となる。

本システムおよび方法は、ユースポイントにおける浄化水の、すなわち分配された水の、全有機体炭素含有量を判定することを可能にするが、同時に本水浄化システムおよび水浄化フローの一部に既に含まれている機器／デバイス／構成要素を利用することができる。これは、結果として、従来技術の水浄化システムと比較して本水浄化システムの単純化された設計も可能にし、ここで、全炭素含有量は、紫外線照射処理デバイスの下流にあるが、ポリッシャーの上流の水浄化フローにおいて判定される。

以下に、現在の水浄化システムとその水浄化システムを運用するための各プロセスについて例示的な概略図を参照してさらに詳細に説明する。本水浄化システムのそれぞれの構成要素について上で与えられた定義および説明は、図中に示された対応するエレメントにも適用されることに留意されたい。

本出願の好ましい水浄化システム（１００）の概略例示を図１に示す。システム（１００）は、好ましくは本質的に、順番に、給水口（１０１）、ポンプ（１０２）、第１浄化ステージ（１０３）、第２浄化ステージ（１０５）、導電率測定のための任意のデバイス（１０８）（「導電率セル」）、および分配セクション（１０９）からなる。また、システム（１００）は、リサイクルライン（Ｒ）を含む。

浄化されるために、水は、給水口（１０１）を介して水浄化システム（１００）に供給される。次いで、それは、水浄化フロー中へと通過し、水浄化フローは、ポンプ（１０２）、第１浄化ステージ（１０３）、浄化された超純水を獲得する第２浄化ステージ（１０４）、および、そこから浄化水を分配してもよい分配セクション（１０９）を含む。任意選択で、第２浄化ステージ（１０４）の下流かつ分配セクション（１０９）の上流に、水浄化フローが導電率セル（１０８）を含んでもよい。

第２浄化ステージ（１０４）は、順番に紫外線処理ステージ（１０５）、およびポリッシャー（１０７）を含み、好ましくは本質的にそれらからなる。紫外線処理ステージ（（１０５）とポリッシャー（１０７）の間、すなわち紫外線処理ステージ（（１０５）の下流かつポリッシャー（１０７）の上流において、本水浄化システム（１００）は、全有機体炭素含有量を判定するためのデバイス（１０６）を含む。

デバイス（１０６）は、導電率測定セル（１０６ａ）と温度センサ（１０６ｂ）とを含む。
導電率セル（１０８）が存在する場合は、ポリッシャーの下流かつ分配セクションの上流に位置する導電率測定セル（１０８ａ）および温度センサ（１０８ｂ）を含み、
分配セクション（１０９）は、水分配弁（１０９ｂ）を備え、分配される浄化水の流れを開閉可能にする。好ましくは、分配セクション（１０９）は、任意選択で、上記で定義したようなろ過するエレメント（１０９ａ）を開示する。
水浄化システム（１００）はまた、リサイクルライン（Ｒ）を含み、これを通して、分配セクション（１０９）から給水口（１０１）とポンプ（１０２）の間の位置、すなわち給水口（１０１）の下流かつポンプ（１０２）の上流まで水を上流へ循環させることができる。リサイクルライン（Ｒ）および水浄化フローを介して浄化水をリサイクルすることは、浄化水が分配されない場合に、水浄化システム（１００）内の既に浄化された水の高純度を維持する役割を果たす。

分配弁（１０９ｂ）と弁（１１０）の組み合わせで、浄化水の流れを制御することが可能となる。リサイクルライン（Ｒ）内の弁（１１０）を閉じたまま、分配セクション（１０９）に含まれる分配弁（１０９ｂ）を開くことは、分配セクション（１０９）から浄化水を分配することを可能にする。一方で、分配弁（１０９ｂ）を閉じて弁（１１０）を開けることで、水がリサイクルライン（Ｒ）中へと通過することが可能となる。次いで、水はリサイクルライン（Ｒ）を通過し、給水口（１０１）とポンプ（１０２）との間の場所、すなわち給水口（１０１）の下流かつポンプ（１０２）の上流に戻る。次いでそこから水は水浄化フローを通過できる。

さらにまた、図１に示すように本水浄化システム（１００）は、二方弁又は三方弁（１１１）および、第１浄化ステージ（１０３）の下流かつ第２浄化ステージ（１０４）の上流の位置で水浄化フローに二方弁又は三方弁（１１１）とを液体的に接続する接続ラインＣ１を含む。二方弁または三方弁（１１１）は、水浄化フローに沿って、すなわち第１浄化ステージ（１０３）へと、または接続ラインＣ１中を通じて、それによって第１浄化ステージ（１０３）をバイパスして、水の流れを導くことを可能にする。

図２は、本明細書で定義される別の好ましい水浄化システム（１００）の概略的な例示を示しているが、図１の水浄化システム（１００）の二方弁または三方弁（１１１）が、水浄化フローに沿ってすなわち第１浄化ステージ（１０３）へとまたはその中を通って、もしくは接続線Ｃ１に沿ってのいずれかにより第１浄化ステージ（１０３）をバイパスし、水の流れを導くために連動して働く２つの弁（１１１ａ、１１１ｂ）のシステムに置き換えられている点で、図１の一つと異なる。これにより、弁（１１１ａ）を開くことおよび弁（１１１ｂ）を閉じることは、水の流れを第１浄化ステージ（１０３）へと導く。一方、弁（１１１ａ）を閉じることおよび弁（１１１ｂ）を開くことは、接続ラインＣ１に沿った水の流れを直接第２浄化ステージ（１０４）に導くことで、第１浄化ステージ（１０３）をバイパスする。弁（１１１ａ）は、例えば、二方弁であってもよい。弁（１１１ｂ）は、例えば、二方弁または逆止弁（ｃｈｅｃｋ ｖａｌｖｅ）であってよい。

図３は、本明細書で定義される別の水浄化システム（１００）の概略例示を示しており、これは、図１の水浄化システム（１００）と比較して、接続ラインＣ２を含み、接続ラインＣ２は、二方弁または三方弁（１１１）および接続ラインＣ１の代わりに循環ポンプ（１１２）を含む。
任意選択で、図３に描かれる水浄化システム（１００）は、接続ラインＣ２とリサイクルライン（Ｒ）の分岐点と、リサイクルライン（Ｒ）が給水口（１０１）の下流かつポンプ（１０２）の上流の水浄化フローに帰還する点との間に弁を含んでよい。
好ましくは、接続ラインＣ２は、弁（１１０）と、給水口（１０１）およびポンプ（１０２）の間の位置との間の点でリサイクルライン（Ｒ）に接続されるか、または代替的に、図３に描かれる水浄化システム（１００）が、接続ラインＣ２とリサイクルライン（Ｒ）の分岐点と、リサイクルライン（Ｒ）が給水口（１０１）の下流かつポンプ（１０２）の上流で水浄化フローに帰還する地点との間の弁を備える場合、接続ラインＣ２は、弁（１１０）とそのような任意選択の弁との間の点でリサイクルライン（Ｒ）に接続される。
循環ポンプ（１１２）を始動させることと、ポンプ（１０２）を停止させることとは、測定モードで行われるように、リサイクルライン（Ｒ）から接続ラインＣ２中へと水流を逸れさせ、次に、第１浄化ステージ（１０３）の下流かつ第２浄化ステージ（１０４）の上流の場所で水浄化フローへと供給させ、それによって第１浄化ステージをバイパスするであろう。

図４は、好ましい水分配セクション（１０９）を、任意選択の導電率セル（１０８）、弁（１１０）、およびリサイクルラインの一部（Ｒ）と共に概略例示に示すものである。このような好ましい分配システム（１０９）は、分配フローおよびリサイクルフローを好ましくは含む。分配フローは、順番に分配される水の体積の測定が可能なように適合された流量計（１０９ｃ）、ライン（１０９ｆ）、分配弁（１０９ｂ）、および上記で論じたように分配される水から汚染物質を除去することを可能にするようなろ過エレメント（ｆｉｌｔｒａｔｉｏｎ ｅｌｅｍｅｎｔ）（１０９ａ）、を好ましくは含み、より好ましくはそれらからなる。リサイクルフローは、接続ライン（１０９ｅ）および／またはライン（１０９ｆ）を介して分配フローに好ましくは接続される。リサイクルフローは、順に弁（１１０）の上流のリサイクルライン（Ｒ）に接続された逆止弁（１０９ｄ）および出口（１０９ｈ）を好ましくは含み、より好ましくはそれらからなる。さらに、分配セクション（１０９）の分配フローは、流量計（１０９ｃ）の下流かつライン（１０９ｆ）の上流側の位置から、ライン（１０９ｆ）の下流かつ逆止弁（１０９ｄ）の上流の位置にて分配セクション（１０９）のリサイクルフローへと接続される。

本水浄化システムが分配モードにあるとき、浄化水は、ポリッシャー（１０７）を出て任意選択の導電率セル（１０８）を通過することに続いて、分配セクション入口（１０９ｇ）を通って分配セクション（１０９）に入り、流量計（１０９ｃ）およびライン（１０９ｆ）を通過し、分配弁（１０９ｂ）およびろ過エレメント（１０９ａ）を介して分配される。
本水浄化システムが測定およびリサイクルモードにあるとき、浄化水は、ポリッシャー（１０７）を出て任意選択の導電率セル（１０８）を通過することに続いて、分配セクション入口（１０９ｇ）を通って分配セクション（１０９）に入り、接続ライン（１０９ｅ）および／またはライン（１０９ｆ）、逆止弁（１０９ｄ）、および出口（１０９ｈ）を介してリサイクルライン（Ｒ）へとリサイクルされる。したがって、リサイクルフローは、分配セクション（１０９）の以下の部分を順番に含んでもよく：分配セクション入口（１０９ｇ）、そして、接続ライン（１０９ｅ）および／またはライン（１０９ｆ）、逆止弁（１０９ｄ）、および出口（１０９ｈ）を介してリサイクルされる。

図５ａ、５ｂおよび５ｃは、図１の水浄化システム（１００）における水流の概略例示を、それぞれ分配、測定、およびリサイクルモードにおいて示す。なお、図５ａ、５ｂおよび図５ｃでは分配セクション（１０９）、特に、本明細書中に記述したリサイクルフローの一部を形成する分配セクション（１０９）の部分は詳細に示されていないことに留意されたい。
図５ａは、分配モードにおける図１の水浄化システム（１００）の水流の概略例示を示す。給水は、給水口（１０１）を介して水浄化システム（１００）に供給され、そこから水が順次、第１浄化ステージ（１０３）、紫外線照射処理ステージ（１０５）、全有機体炭素含有量を判定するためのデバイス（１０６）、ポリッシャー（１０７）、任意選択の導電率セル（１０８）を通じ、次いで分配セクション（１０９）中へと通過し、そこから浄化水が分配される。

分配が終了すると、図１の水浄化システム（１００）は、図５ｂに示されている測定モードに、弁（１１０）を開けることおよび分配弁（１０９ｂ）を閉じることにより、（手動または自動で）切り替わり、水は、ポンプ（１０２）、二方弁または三方弁（１１１）、接続ラインＣ１（これにより第１浄化ステージ（１０３）をバイパスする）、紫外線照射処理ステージ（１０５）、全有機体含有量を判定するためのデバイス（１０６）、ポリッシャー（１０７）、任意選択のさらなる導電率セル（１０８）、を通って流れ、および次いで、リサイクルライン（Ｒ）を介して、すなわち弁（１１０）が開いて弁（１０９ｂ）が閉じられている状態で、ポンプ（１０２）の上流かつ給水口（１０１）の下流の位置までリサイクルされる。

測定モードでは、浄化水の全有機体炭素含有量を判定するデバイス（１０６）により全有機体炭素含有量が判定される。
全有機体炭素含有量の判定に続いて、図１の水浄化システム（１００）は、好ましくは（手動または自動で）、図５ｃに示されるリサイクルモードへと切り替えられ、ここで、水浄化システム（１００）において、水は図５ａに示す分配モードの場合と本質的に同じ流れに従うが、しかし、分配セクション（１０９）を介して分配される代わりに、このときの浄化水は、リサイクルライン（Ｒ）を介して水浄化フローの開始点、すなわち給水口（１０１）の下流かつポンプ（１０２）の上流にリサイクルされる。
図２の水浄化システムの場合、分配、測定、およびリサイクルモードの水流は、図１の浄化システム（１００）のそれと本質的に類似しており、唯一の違いは、測定モードのためには水流が、二方弁または三方弁（１１１）を使用することによってではなく、弁（１１１ａ）を閉じることおよび弁（１１１ｂ）を開くことによって第１浄化ステージをバイパスするように制御されることであることに留意されたい。

同様に、図６ａ、６ｂおよび６ｃは、それぞれ、分配、測定、およびリサイクルモードにおける図３の水浄化システム（１００）中の水流の概略例示図を示す。なお、図６ａ、６ｂおよび図６ｃでは、分配セクション（１０９）、特に上述したリサイクルフローの一部を形成する分配セクション（１０９）の部分は、詳細には示されていないことに留意されたい。
図６ａは、分配モードにおける図３の水浄化システム（１００）の水流の概略例示を示す。給水は、給水口（１０１）を介して水浄化システム（１００）に供給され、そこから水が順次浄化ステージ（１０３）、紫外線照射処理ステージ（１０５）、全有機体炭素含有量を判定するためのデバイス（１０６）、ポリッシャー（１０７）、任意の導電率セル（１０８）、次いで分配セクション（１０９）に入り、そこから浄化水が分配される。

一旦分配が終了すると、図３の水浄化システム（１００）は、弁（１１０）を開くことおよび分配弁（１０９ｂ）を閉じることによって図６ｂに示すように測定モードに（手動または自動で）切り替わり、ここで水は分配セクション（１０９）を通って、（開いた）弁（１１０）およびリサイクルライン（Ｒ）を通って、循環ポンプ（１１２）を含む接続ラインＣ２を（これにより、第１浄化ステージ（１０３）をバイパスして）、紫外線照射処理ステージ（１０５）を、全有機体炭素含有量を判定するためのデバイス（１０６）を通って、そして任意選択の導電率セル（１０８）を通って分配セクション（１０９）へと流れる。
測定モードでは、デバイス（１０６）を用いて全有機体炭素含有量を測定し、浄化水の全有機体炭素含有量を判定する。

全有機体炭素含有量の判定に続いて、図３の水浄化システム（１００）は、図６ｃに表示されるリサイクルモードへと（手動または自動で）好ましくは切り替えられ、ここで、水浄化システム（１００）において、水は図６ａに示される分配モードと本質的に同じ流れに従うが、しかし、分配セクション（１０９）を介して分配される代わりに、このときの浄化水は、リサイクルライン（Ｒ）を介して水浄化フローの始点、すなわち給水口（１０１）の下流かつポンプ（１０２）の上流にリサイクルされる。

例
以下の実施例は、現在の水浄化システムの仕組みと利点、およびその操作プロセスを非限定的な方途で説明することを意図している。

例１．
いずれもＭｅｒｃｈ ＫＧａＡ（ドイツ・ダルムシュタット）から入手可能な、第１浄化ステージにＱ－Ｇａｒｄ（登録商標）Ｔ１浄化カートリッジ、第２浄化ステージにＱｕａｎｔｕｍ（登録商標）ＴＥＸ研磨カートリッジを備えた、図１または図２に概略的に示す水浄化システムを、週末にアイドル状態においた後、逆浸透浄化ステージの給水を使用して再開した。図７に示されるように、再開直後に、第１浄化ステージから出てくる浄化水中に、全有機体炭素レベルの急上昇（「ＴＯＣステップＡ」と記された連続線を参照）が、デバイス（１０６）によって登録されたが、分配水についてのそれぞれの対照測定は、依然として仕様内に十分に全有機体炭素含有量を有することを示した（「ＴＯＣユースポイント」と記された破線を参照）。
これらの結果は、第１浄化ステージの後に判定された全有機体炭素含有量のみに依存すると、誤警報、すなわち、実際には応答しているにもかかわらず、分配水が純度要件に応答しないとの指示につながる可能性があることを示す。

例２．
例１の水浄化システムに、新たに浄化カートリッジを設置して、第１と第２浄化ステージが共に使い果たされるまで、分配モードと測定モードで交互に運転した。デバイス（１０６）における水浄化フローの全有機体含有量を判定するためのデバイス（１０６）によって測定された抵抗率についてのそれぞれの曲線を、すなわち第１浄化ステージを通過した後、「Ａ－Ｒ」と表示し、ユースポイントにおける浄化水について、すなわち分配セクションにおいて、「Ｂ－Ｒ」と表示し、図８に示す。浄化フローの全有機体炭素含有量については「Ａ－Ｔ」と表示し、ユースポイントでの浄化水については「Ｂ－Ｔ」と表示する。
図８のグラフは、デバイス（１０６）での水浄化フローの全有機体炭素含有量が、一般に、ユースポイントにおける実際のものよりも高い値を示し、さらに、水浄化システム全体、すなわち曲線Ｂ－ＲおよびＢ－Ｔによって示されるように、第１および第２浄化ステージが共に、Ａ－ＲとＡ－Ｔの曲線に示されるように、第１浄化ステージの性能が低下し始めた後も、必要な純度の浄化水を配給することができたことを明確に示す。第１浄化ステージが完全に使い果たされたしばらくの間、第２浄化ステージ単独で目的の純度の浄化水を製造することができたことさえ見てとれる。
本水浄化システムは、第１浄化ステージの性能を別途判定することができるので、ユーザは、第１浄化ステージの交換を準備するのに適切な時期に警告され、やがて第２浄化ステージの交換を準備するためにまた警告される。これは、ユーザが、所望の純度の浄化水を製造できないリスクを冒すことなく、浄化ステージで使用される浄化カートリッジの耐用年数をさらに延ばすことを効果的に可能にする。

例３．
例１の水浄化システムについて、全有機体炭素含有量を、デバイス（１０６）を分配モードで用いて「中間ＴＯＣ含有量」を獲得し、測定モードで用いて「ユースポイントでのＴＯＣ」を獲得して、判定した。比較値は、２つの基準校正ＴＯＣモニターを使用して得られ、これらの最初のものは第１浄化ステージのすぐ下流で水を引き出し、したがって「中間ＴＯＣ含有量」を反映し、これらの２番目のものはポリッシャーの下流で水を引き出し、したがって「ユースポイントでのＴＯＣ」を反映する。各種条件でのこの比較結果は下記表１に示され、ここで「ユースポイントでのＴＯＣ」および「比較ユースポイントでのＴＯＣ」の値は、以下
－例３．１および３．２、浄化カートリッジを交換し、２０リットルの水で洗浄した直後、
－例３．３、３．４、および３．５、本水浄化システムを測定モードで３分間運転した後の通常操作時、および
－例３．６および３．７、本水浄化システムを測定モードで１０分間運転した後の通常操作時
について得られた。
上記データは、本水浄化システムが浄化フロー中の、特にユースポイントでの全有機体炭素含有量の信頼できる値を獲得することを明確に示している。

例４．
例２が、ただし、第１浄化ステージにはＩＰＡＫ Ｍｅｔａ（登録商標）研磨モジュール、第２浄化ステージにＩＰＡＫ Ｑｕａｎｔａ（登録商標）研磨カートリッジ、どちらもＭｅｒｃｋ ＫＧａＡ（ドイツ、ダルムシュタット）から入手可能なそれを使用して繰り返された。
それぞれの結果を図９に示し、「Ａ－Ｒ」はデバイス（１０６）により測定された抵抗率を指示し、「Ａ－Ｔ」は関連する全有機体炭素含有量を表示し、「Ｂ－Ｒ」はユースポイントで測定された抵抗率を表示し、「Ｂ－Ｔ」は関連する全有機体炭素含有量を表示する。図９の曲線は、例２の知見を裏付ける。
全体として、本発明者らは、非常に驚くべきことに、一般に、本水浄化システムおよびそれを操作するプロセスは、前述の水浄化システムおよび方法よりもはるかに優れてユースポイントにおける全有機体炭素含有量、すなわち分配された水を反映する、全有機体炭素含有量の値を与えることを見出した。

さらに、本水浄化システムおよびそのような利益を運用するためのプロセスは、本明細書で定義されるような水浄化システムの特定の制限から、すなわち、第１および第２浄化ステージが一般に「対称的」であること、すなわち本質的に同じサイズのものであり、一般に同等であり、すなわち本質的に同じ、処理量を有することから利益を受ける。したがって、本水浄化システムおよびその操作プロセスは、第１浄化ステージの使い果たし、すなわち第１浄化ステージが汚染物質を所望の程度まで排除（ｐｕｒｇｅ）しなくなったときと、第２浄化ステージの使い果たし、すなわち第２浄化ステージが汚染物質を所望の程度まで排除しなくなったときとを具体的に区別することを可能にする。第１浄化ステージが使い果たされた場合、第２浄化ステージは依然として水を所望の純度に浄化することができ、それによって所望の純度の浄化水を分配することを可能にする。したがって、本水浄化システムおよびその操作のためのプロセスはまた、浄化ステージがいつ交換される必要があるかをより良くそしてより正確に判定することを可能にする。これにより、運用コストが削減されるだけでなく、浄化カートリッジなどの不必要に交換された浄化ステージハードウェアからの廃棄物が削減される。
したがって、本水浄化システムおよびそのような動作のためのプロセスは、従来技術の少なくとも２つの欠点を克服することを可能にする。

また、本水浄化システムは、第１浄化ステージと第２浄化ステージの個々の有効性を評価および判定する際に、驚くべき汎用性と能力をも示している。
例えば、第１浄化ステージの有効性は、まず本水浄化システムを分配モード（例えば図５ａおよび６ａ参照）で稼働させた後、次いで測定モードに切り替える（例えば図５ｂおよび６ｂ参照）ことにより判定することができる。導電率、およびそれによって全有機体炭素含有量を最初に分配モードで、次いで測定モードで判定すると、第１浄化ステージがまだ正しく機能し、使い果たされていないかどうかがユーザに示されるであろう。つまり、分配モードと測定モードの値が顕著に異ならない場合、第１浄化ステージは正常に機能している。一方、分配モードと測定モードの値が顕著に異なる場合、特に分配モードの値が測定モードの値よりも顕著に高い場合、第１浄化ステージは正常に機能しておらず、その結果、交換が必要になる。

さらに、ポンプの下流かつ第１浄化ステージの上流に位置する分岐点から第１浄化ステージの下流かつ第２浄化ステージの上流の位置まで、水浄化フローを液体的に接続する接続ライン（例えば、図１および図２のＣ１ラインで表される）を含む本水浄化は、給水口を通って水浄化フロー中へと到達する給水の純度を判定することを可能にする。これは、最初に給水口からポンプおよびラインＣ１を介して第２浄化ステージに直接水を通過させることによって行われてよく、そこで第１の導電率およびその結果として第１の全有機体含有量が判定される。その後、水浄化システムが次いで測定モードに切り替えられ、第２の導電率、その結果、第２の全有機体含有量が判定される。１番目と２番目の値を比較すると、給水口を通って到達する給水の水質がわかるであろう。

以上をまとめると、本水浄化システムは、分配浄化水の全有機体炭素含有量を良好な精度と信頼性で判定することを可能にすると同時に、水浄化ストリーム（stream）に既に存在する機能を利用して二重使用することにより、簡素化され、維持が容易になり、全体的な水浄化システムを製造することができる。

Claims (15)

1. 水浄化システム（１００）であって、以下、
   （ａ）順に紫外線照射処理ステップ（１０５）およびポリッシャー（１０７）を含み、好ましくは本質的にそれらからなる、浄化ステージ（１０４）；および
   （ｂ）前記紫外線照射処理ステップ（１０５）の下流かつポリッシャー（１０７）の上流に位置する、全有機体炭素含有量を測定するためのデバイス（１０６）、
   （ｃ）測定ループ、
   を含み、
   前記測定ループは、前記浄化ステージ（１０４）および全有機体炭素を測定するためのデバイス（１０６）を含む、
   前記水浄化システム。
2. 請求項1に記載の水浄化システム（１００）であって順に以下
   （ａ’）給水口（１０１）と；
   （ｂ’）水浄化フローであって、順に以下
   （ｂ１’）ポンプ（１０２）と；
   （ｂ２’）水を第１の水純度グレードに浄化する第１浄化ステージ（１０３）と；
   （ｂ３’）前記第１の水純度グレードよりも高い第２の水純度グレードに水を浄化する、前記紫外線照射処理ステップ（１０５）および前記ポリッシャー（１０７）を順に含み、好ましくは、それらからなる第２浄化ステージ（１０４）と；および
   （ｂ４’）分配セクション（１０８）と；
   を含む前記水浄化フローと；および
   （ｃ’）前記分配セクション（１０８）の下流の位置から前記給水口（１０１）の下流かつポンプ（１０２）の上流の位置へ前記水浄化フローを液体的に接続するリサイクルライン（Ｒ）と；
   を含み、
   ここで、水浄化フローおよび／またはリサイクルライン（Ｒ）は、第１浄化ステージ（１０３）をバイパスすることを可能にするように適合されており、それによって測定ループを確立する、
   前記水浄化システム（１００）。
3. 水浄化システム（１００）が、ポンプの下流かつ第１浄化ステージの上流に位置する分岐点から、第１浄化ステージの下流かつ第２浄化ステージの上流の位置へ水浄化フローを液体的に接続する接続ラインＣ１を含み、該接続ラインを通って水の流れは第１浄化ステージをバイパスすることができる、請求項２に記載の水浄化システム（１００）。
4. 水浄化システム（１００）が、分岐点で二方弁または三方弁を含み；もしくは
   水浄化システム（１００）が、分岐点の下流かつ第１浄化ステージの上流に水浄化フロー内に位置する第１弁、および接続ラインＣ１に位置する第２弁を含む、
   請求項３に記載の水浄化システム（１００）。
5. 水浄化システム（１００）が、リサイクルライン（Ｒ）を水浄化フローに第１浄化ステージの下流かつ第２浄化ステージの上流の位置にて液体的に接続する接続ラインＣ２を含み、およびここで接続ラインＣ２は循環ポンプを好ましくは含む、請求項１または２に記載の水浄化システム（１００）。
6. 第１浄化ステージが、カチオンイオン交換体、アニオンイオン交換体、および活性炭からなる群から選択される１以上の浄化媒体を含む、請求項１～５のいずれか一項に記載の水浄化システム。
7. 紫外線照射処理デバイスが、好ましくは少なくとも１５０ｎｍの範囲の波長を有する放射線を放出する紫外線照射源を含み、かかる紫外線照射源が好ましくは低圧水銀灯、冷陰極水銀灯、およびエキシマランプからなる群から選択される、請求項１～６のいずれか一項に記載の水浄化システム。
8. ポリッシャーが、活性炭、カチオンイオン交換体、およびアニオンイオン交換体からなる群より選択されるいずれか１以上を含む、請求項１～７のいずれか一項に記載の水浄化システム。
9. 水浄化システム（１００）の操作プロセスであって、該水浄化システム（１００）が、以下
   （ａ）順に紫外線照射処理ステップ（１０５）およびポリッシャー（１０７）を含み、好ましくは本質的にそれらからなる、浄化ステージ（１０４）；および
   （ｂ）前記紫外線照射処理ステップ（１０５）の下流かつポリッシャー（１０７）の上流に位置する全有機体炭素含有量を判定するためのデバイス（１０６）、
   （ｃ）測定ループ、
   を含み、
   前記測定ループは、前記浄化ステージ（１０４）および全有機体炭素を判定するためのデバイス（１０６）を含み、
   ここでプロセスは、以下のステップ
   （１）水を浄化ステージ（１０４）の中を通すこと、それにより浄化水を獲得すること；および
   （２）浄化水を測定ループの中を通すことおよびデバイス（１０６）を使用することで浄化水に含まれる全有機体炭素含有量を判定すること
   を含む、
   前記操作プロセス。
10. 請求項９に記載の水浄化システム（１００）を操作するためのプロセスであって、該水浄化システム（１００）が、
    （ａ’）給水口（１０１）と；
    （ｂ’）水浄化フローであって、順に以下
    （ｂ１’）ポンプ（１０２）と；
    （ｂ２’）水を第１の水純度グレードに浄化する第１浄化ステージ（１０３）と；
    （ｂ３’）前記第１の水質グレードよりも高い第２の水質グレードに水を浄化する、紫外線照射処理ステップ（１０５）およびポリッシャー（１０７）を順に含み、好ましくはそれらからなる、第２浄化ステージ（１０４）と；および
    （ｂ４’）分配セクション（１０９）と；
    を含む前記水浄化フローと；および
    （ｃ’）前記分配セクション（１０９）の下流の位置から前記給水口（１０１）の下流かつポンプ（１０２）の上流の位置へ前記水浄化フローを液体的に接続するリサイクルライン（Ｒ）と；
    を含み、
    前記プロセスが、以下のステップ
    （１’）給水口（１０１）を介して水を提供すること；
    （２’）水浄化フローに水を通過させ、浄化水を得ること；
    （３’）ステップ（２’）で得られた浄化水を分配すること；および
    （４’）第１浄化ステージ（１０３）をバイパスして浄化水を測定ループに通すことによって全有機体化合物のレベルを判定し、全有機体炭素を測定するデバイス（１０６）によって全有機体炭素の含有量を判定すること、を含む、
    前記プロセス。
11. 請求項１０に記載の水浄化システム（１００）を操作するためのプロセスであって、該水浄化システム（１００）が、水浄化フローをポンプ（１０２）の下流かつ第１浄化ステージ（１０３）の上流に位置する分岐点から第１浄化ステージ（１０３）の下流かつ第２浄化ステージ（１０４）の上流の位置へ液体的に接続する接続ラインＣ１を含み、該接続ラインＣ１を通って水の流れは第１浄化ステージ（１０３）をバイパスすることができ、
    ステップ（４’）において第１浄化ステージ（１０３）は、分岐点の下流かつ第１浄化ステージ（１０３）の上流で水浄化フローを遮断し、水が接続ラインＣ１を介して第２浄化ステージ（１０４）へと通過することを可能にすることによってバイパスされる、
    前記プロセス。
12. 請求項１１に記載の水浄化システム（１００）を操作するプロセスであって、該水浄化システム（１００）が分岐点にて
    （ｉ）二方弁または三方弁（１１１）、
    または
    （ｉｉ）水浄化フローにおいて分岐点の下流かつ第１浄化ステージ（１０３）の上流に位置する第１弁（１１１ａ）、および接続ラインＣ１に位置する第２弁（１１１ｂ）、
    を含む、前記プロセス。
13. 請求項１０に記載の水浄化システム（１００）を操作するプロセスであって、該水浄化システム（１００）が、リサイクルライン（Ｒ）を第１浄化ステージ（１０３）の下流かつ第２浄化ステージ（１０４）の上流の位置で水浄化フローへと液体的に接続する接続ラインＣ２を含み、および
    接続ラインＣ２が循環ポンプ（１１２）を好ましくは含み、
    ステップ（４’）において、第１浄化ステージ（１０３）が、接続ラインＣ２中に水を強制的に通すことによりバイパスされる、
    前記プロセス。
14. 請求項９～１３のいずれか一項に記載の水浄化システム（１００）を操作するプロセスであって、存在する場合には請求項６に定義される第１浄化ステージ（１０３）、請求項７に定義される第２浄化ステージ（１０４）、および請求項８に定義されるポリッシャー（１０７）、からなる群より選択される１以上を含む、前記プロセス。
15. 請求項９～１３のいずれか一項に記載の水浄化システム（１００）を操作するプロセスであって、ステップ（４’）に続いて浄化水を前記水浄化フローおよび前記リサイクルライン(R)に順次通すことにより浄化水をリサイクルするステップを含む、前記プロセス。