JP2023547280A - Slot die coating equipment and method for substrate printing - Google Patents

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チャン、サンボク
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Abstract

本発明の一実施例に係る基板印刷のためのスロットダイ(slot die)コーティング装置は、基板が提供されるステージ;前記ステージ上で前記ステージの長手方向に移動可能に提供される垂直方向ガントリー;前記垂直方向ガントリーの上部において前記垂直方向ガントリーを横切って、回転方向に回転可能に提供される水平方向ガントリー;前記水平方向ガントリーに提供され、印刷材料を吐き出して前記基板上にフィルムをコーティングするスロットダイ;前記スロットダイを前記水平方向ガントリーの一側に連結するように提供され、前記スロットダイの水平方向及び垂直方向の移動を制御する第1移動部材;前記水平方向ガントリーに提供され、前記コーティングされたフィルム上に紫外線(UV)を照射する光源;前記光源を前記水平方向ガントリーの他側に連結するように提供され、前記光源の水平方向及び垂直方向の移動を制御する第2移動部材;前記スロットダイの上部に提供され、前記スロットダイ内部の圧力を調節するバルブ;前記スロットダイと連結され、前記スロットダイから吐き出される前記印刷材料の吐出量を制御するポンプ;及び、前記ポンプと連結されて提供され、前記印刷材料を充填するキャニスターを含み、前記フィルムのコーティングは、前記基板に対するモデル分析によって前記スロットダイの動きに関連した駆動軸を指定し、前記指定された駆動軸に対するパラメータ値を生成し、該生成されたパラメータ値に基づいて前記コーティングの印刷経路を設定することを特徴とする。【選択図】図2A slot die coating apparatus for printing a substrate according to an embodiment of the present invention includes: a stage on which a substrate is provided; a vertical gantry movable in the longitudinal direction of the stage on the stage; a horizontal gantry rotatably provided in a rotational direction across the vertical gantry at the top of the vertical gantry; a slot provided in the horizontal gantry for discharging printing material to coat a film on the substrate; a die; a first moving member provided to connect the slot die to one side of the horizontal gantry and controlling horizontal and vertical movement of the slot die; a first moving member provided to the horizontal gantry and the coating; a second moving member connected to the other side of the horizontal gantry to control the movement of the light source in the horizontal and vertical directions; A valve provided on the top of the slot die to adjust the pressure inside the slot die; A pump connected to the slot die to control the amount of printing material discharged from the slot die; and a valve connected to the pump. a canister filled with the printing material, the coating of the film specifying a drive axis associated with the movement of the slot die by model analysis for the substrate, and parameter values for the specified drive axis. and setting the printing path of the coating based on the generated parameter value. [Selection diagram] Figure 2

Description

本発明は、基板印刷のためのスロットダイコーティング装置及び方法に関し、より具体的には、スロットダイコーティング時に基板モデル分析を用いてコーティング印刷パターンの幅の変化に基づく任意の形状コーティング印刷及び屈曲面を有する基板に対するコーティング印刷によって様々な形状のディスプレイを製造可能な基板印刷のためのスロットダイコーティング装置及び方法に関する。 The present invention relates to a slot die coating apparatus and method for substrate printing, and more specifically to arbitrary shape coating printing and curved surfaces based on changes in the width of the coating printing pattern using substrate model analysis during slot die coating. The present invention relates to a slot die coating apparatus and method for printing a substrate, which allows displays of various shapes to be manufactured by printing coatings on a substrate having a substrate.

大型TVをはじめとするコンピュータモニタ、各種携帯機器及び各種医療機器をはじめとする電子産業におけるディスプレイ市場は、日々需要が高まっている。ディスプレイ製造工程の一つである紫外線硬化型接着剤として使用される光学樹脂(OCR:optically clear resin)の塗布工程は、基板上にOCRを塗布する工程によって均一なコーティング厚を得ることがディスプレイの品質において非常に重要である。 Demand is increasing day by day in the display market in the electronic industry, which includes computer monitors including large TVs, various portable devices, and various medical devices. The coating process of optically clear resin (OCR), which is used as an ultraviolet curable adhesive, is one of the display manufacturing processes.The process of coating optically clear resin (OCR), which is used as an ultraviolet curable adhesive, is one of the display manufacturing processes. Very important in quality.

OCRをコーティングする工程は、コーティング液を計量する方法によって、スピンコーティング(spin coating)、カーテンコーティング(curtain coating)、スライドコーティング(slide coating)及びスロットコーティング(slot coating)などが存在する。それらのコーティング工程のうち、スロットコーティングは、ノズルが基板上を直線で移動しながらコーティング液を吹き付けて膜を形成させる方式であり、スピンコーティング方式に比べてコーティング液の使用量が減少するという長所から、大型基板のコーティングに広く用いられる。したがって、ディスプレイの大型化傾向によって、上述したOCRコーティング工程としてスロットコーティング方式が最も多用されている。 The OCR coating process includes spin coating, curtain coating, slide coating, slot coating, etc., depending on the method of measuring the coating liquid. Among these coating processes, slot coating is a method in which a nozzle moves in a straight line over the substrate and sprays the coating liquid to form a film, and has the advantage of reducing the amount of coating liquid used compared to the spin coating method. Therefore, it is widely used for coating large substrates. Therefore, as displays tend to become larger, the slot coating method is most commonly used as the OCR coating process.

一方、大韓民国登録特許公報第10-2007653号は、コーティング幅の調節が可能なスロットダイ装置に関して開示しているが、依然として、様々な分野で要求される様々な形状のディスプレイ生産に対する機敏な対処は十分でない現状にある。このため、スロットダイ(slot die)を用いるスロットコーティング方式(以下、「スロットダイコーティング方式」という。)においてコーティング均一度を一定に維持できる上に、コーティング幅の変化及びコーティング面の屈曲変化に対する現場の様々な要求も満たし得るスロットダイコーティング装置及び方法が必要な実情である。 On the other hand, although the Republic of Korea Patent Publication No. 10-2007653 discloses a slot die device that can adjust the coating width, it is still difficult to respond quickly to the production of displays of various shapes required in various fields. The current situation is that it is not enough. For this reason, in the slot coating method using a slot die (hereinafter referred to as the "slot die coating method"), coating uniformity can be maintained constant, and it is possible to maintain constant coating uniformity when changing the coating width and bending of the coating surface. There is a need for a slot die coating apparatus and method that can meet the various requirements of the present invention.

本発明は、上述したような従来技術の問題点を解決するためのものであり、スロットダイコーティング方式で基板モデル分析を用いてコーティング均一度を一定に維持できる上に、コーティング幅の変化及びコーティング面の屈曲変化を有する基板に対するコーティング印刷が可能な基板印刷のためのスロットダイコーティング装置及び方法を提供することである。 The present invention is intended to solve the problems of the prior art as described above, and in addition to being able to maintain constant coating uniformity using substrate model analysis in the slot die coating method, it also allows for changes in coating width and coating An object of the present invention is to provide a slot die coating apparatus and method for printing a substrate, which enables coating printing on a substrate having a curved surface.

本発明の第1特徴による基板印刷のためのスロットダイコーティング装置は、基板が提供されるステージ;前記ステージ上で前記ステージの長手方向に移動可能に提供される垂直方向ガントリー;前記垂直方向ガントリーの上部において前記垂直方向ガントリーを横切って、回転方向に回転可能に提供される水平方向ガントリー;前記水平方向ガントリーに提供され、印刷材料を吐き出して前記基板上にフィルムをコーティングするスロットダイ;前記水平方向ガントリーに提供され、前記コーティングされたフィルム上に紫外線(UV)を照射する光源;前記スロットダイの上部に提供され、前記スロットダイ内部の圧力を調節するバルブ;前記スロットダイと連結され、前記スロットダイから吐き出される前記印刷材料の吐出量を制御するポンプ;及び、前記ポンプと連結されて提供され、前記印刷材料を充填するキャニスターを含み、前記フィルムのコーティングは、前記基板に対するモデル分析によって前記スロットダイの動きに関連した駆動軸を指定し、前記指定された駆動軸に対するパラメータ値を生成し、該生成されたパラメータ値に基づいて前記コーティングの印刷経路を設定することを特徴とする。 A slot die coating apparatus for substrate printing according to a first aspect of the present invention includes: a stage on which a substrate is provided; a vertical gantry provided on the stage so as to be movable in the longitudinal direction of the stage; a horizontal gantry rotatably provided in a rotational direction across the vertical gantry at the top; a slot die provided on the horizontal gantry for discharging printing material to coat a film on the substrate; A light source provided on a gantry to irradiate ultraviolet (UV) light onto the coated film; A valve provided above the slot die to adjust the pressure inside the slot die; a pump for controlling the amount of the printing material discharged from the die; and a canister connected to the pump and filled with the printing material, the film coating being applied to the slot according to a model analysis for the substrate. The present invention is characterized in that a drive axis related to movement of the die is specified, a parameter value for the specified drive axis is generated, and a printing path of the coating is set based on the generated parameter value.

本発明の第2特徴による基板印刷のためのスロットダイコーティング装置は、基板が提供されるステージ;前記ステージ上で前記ステージの長手方向に移動可能に提供される垂直方向ガントリー;前記垂直方向ガントリーの上部において前記垂直方向ガントリーを横切って、回転方向に回転可能に提供される水平方向ガントリー;前記水平方向ガントリーに提供され、印刷材料を吐き出して前記基板上にフィルムをコーティングするスロットダイ;前記スロットダイを前記水平方向ガントリーの一側に連結するように提供され、前記スロットダイの水平方向及び垂直方向の移動を制御する第1移動部材;前記水平方向ガントリーに提供され、前記コーティングされたフィルム上に紫外線(UV)を照射する光源;前記光源を前記水平方向ガントリーの他側に連結するように提供され、前記光源の水平方向及び垂直方向の移動を制御する第2移動部材;前記スロットダイの上部に提供され、前記スロットダイ内部の圧力を調節するバルブ;前記スロットダイと連結され、前記スロットダイから吐き出される前記印刷材料の吐出量を制御するポンプ;及び、前記ポンプと連結されて提供され、前記印刷材料を充填するキャニスターを含み、前記フィルムのコーティングは、前記基板に対するモデル分析によって前記スロットダイの動きに関連した駆動軸を指定し、前記指定された駆動軸に対するパラメータ値を生成し、該生成されたパラメータ値に基づいて前記コーティングの印刷経路を設定することを特徴とする。 A slot die coating apparatus for substrate printing according to a second aspect of the present invention includes: a stage on which a substrate is provided; a vertical gantry provided on the stage so as to be movable in the longitudinal direction of the stage; a horizontal gantry rotatably provided in a rotational direction across the vertical gantry at the top; a slot die provided on the horizontal gantry for discharging printing material to coat a film on the substrate; a first moving member coupled to one side of the horizontal gantry to control horizontal and vertical movement of the slot die; a light source that irradiates ultraviolet (UV) light; a second moving member that is provided to connect the light source to the other side of the horizontal gantry and controls movement of the light source in the horizontal and vertical directions; an upper part of the slot die; a valve connected to the slot die to control the pressure inside the slot die; a pump connected to the slot die to control the amount of printing material discharged from the slot die; and a valve connected to the pump; comprising a canister filled with the printing material, the coating of the film specifying a drive axis associated with the movement of the slot die by model analysis for the substrate, generating parameter values for the specified drive axis; The printing path of the coating is set based on the generated parameter values.

本発明の第3特徴による基板印刷のためのスロットダイコーティング方法は、印刷材料を充填する段階;スロットダイを用いて基板上に前記印刷材料をコーティング印刷してフィルムを形成する段階;前記コーティングされたフィルムに紫外線(UV)露光を行う段階;前記コーティングされたフィルムの厚さを測定する段階;前記コーティングされたフィルムを用いて前記基板と他の基板とを貼り合わせる段階;及び、前記貼り合わされた基板の前記コーティングされたフィルムに対する検査を行う段階を含み、前記フィルムを形成する段階は、前記基板に対するモデル分析を行う段階;前記モデル分析によってスロットダイコーティング装置のスロットダイの動きに関連した駆動軸を指定する段階;前記指定された駆動軸に対するパラメータ値を生成する段階;前記生成されたパラメータ値に基づいて前記コーティング印刷の経路を設定する段階;及び、前記コーティング印刷を行う段階を含むことを特徴とする。 A slot die coating method for substrate printing according to a third aspect of the present invention includes the steps of: filling a printing material; coating and printing the printing material on a substrate using a slot die to form a film; exposing the coated film to ultraviolet (UV) light; measuring the thickness of the coated film; bonding the substrate to another substrate using the coated film; and forming the film includes performing a model analysis on the substrate; and performing a model analysis on the coated film of a slot die coating apparatus; The method may include specifying an axis; generating parameter values for the specified drive axis; setting a path for printing the coating based on the generated parameter values; and performing the coating printing. It is characterized by

本発明の実施例に係る基板印刷のためのスロットダイコーティング装置及び方法は、次のような効果を提供する。 The slot die coating apparatus and method for substrate printing according to the embodiments of the present invention provide the following effects.

1.印刷対象基板のモデル分析を基づく駆動軸指定及び指定された駆動軸の移動に対するパラメータ値を算出し、これに基づいてコーティング印刷経路を決定することにより、スロットダイコーティング装置の精密な制御が可能であり、よって、コーティング印刷の正確度を高めることができる。 1. By specifying the drive axis based on model analysis of the substrate to be printed, calculating parameter values for the movement of the specified drive axis, and determining the coating printing path based on this, precise control of slot die coating equipment is possible. Therefore, the accuracy of coating printing can be increased.

2.コーティング幅の変化及びコーティング面の屈曲変化を反映したコーティング印刷によって、広範囲の分野における様々な形状を有するディスプレイ製造が可能になる。これにより、OCRコーティング工程の応用分野が拡大され、既存のOCAの代わりにOCRを使用することが可能になり、ディスプレイ製造コストを低減できる。 2. Coating printing that reflects changes in coating width and curvature changes in the coated surface enables the production of displays with a variety of shapes in a wide range of fields. This expands the application field of the OCR coating process, allows OCR to be used instead of existing OCA, and reduces display manufacturing costs.

3.印刷パターン幅の変更時に吐出量とコーティング量をマッチングするための制御が含まれることにより、コーティング均一度を一定に維持させることができる。 3. By including control for matching the ejection amount and coating amount when changing the print pattern width, coating uniformity can be maintained constant.

4.印刷対象基板のモデル分析を基づく駆動軸指定及び指定された駆動軸の移動に対するパラメータ値を算出し、それに基づいて紫外線(UV)露光を行うので、印刷対象基板の屈曲加工性に優れ、露光工程における不良率を下げることができる。 4. The drive axis is specified based on a model analysis of the substrate to be printed, and the parameter values for the movement of the specified drive axis are calculated, and ultraviolet (UV) exposure is performed based on this, so the bending process of the substrate to be printed is excellent and the exposure process is easy. It is possible to reduce the defective rate in

5.上述した印刷対象基板のモデル分析ベースのコーティング印刷経路決定方法により、ディスプレイ製造時にコーティング幅の変化及びコーティング面の屈曲変化に対する迅速な対応が可能であり、前記基板モデル分析によって生成されたパラメータ値をユーザが入力によって直接変更できるので、工程時間が短縮し、工程便宜が増大し得る。 5. The coating printing path determination method based on the model analysis of the substrate to be printed described above enables quick response to changes in coating width and bending of the coating surface during display manufacturing. Since the user can make changes directly through input, process time can be shortened and process convenience can be increased.

本発明の一実施例に係るスロットダイコーティング装置の斜視図である。1 is a perspective view of a slot die coating apparatus according to an embodiment of the present invention.

本発明の一実施例に係るスロットダイコーティング装置の側面図である。FIG. 1 is a side view of a slot die coating apparatus according to an embodiment of the present invention.

本発明の一実施例に係るスロットダイコーティング方法のフローチャートである。3 is a flowchart of a slot die coating method according to an embodiment of the present invention.

本発明の一実施例に係る基板にフィルムを形成する具体的な方法を説明するためのフローチャートである。1 is a flowchart illustrating a specific method of forming a film on a substrate according to an embodiment of the present invention.

本発明の一実施例に係るユーザ入力によって駆動軸に対するパラメータ値を変更する過程を説明するためのフローチャートである。5 is a flowchart illustrating a process of changing parameter values for a drive shaft based on user input according to an embodiment of the present invention.

本発明の一実施例に係る基板にフィルム形成時にコーティング印刷形状及び基板屈曲に関連した次元によって指定される駆動軸を示す図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a drive axis specified by a dimension related to a coating print shape and substrate bending during film formation on a substrate according to an embodiment of the present invention.

本発明の一実施例に係るコーティング印刷形状及び基板屈曲に関連した次元による基板の例示的な様子をそれぞれ示す図である。3A and 3B illustrate exemplary views of a substrate according to dimensions related to coating printing geometry and substrate curvature, respectively, according to an embodiment of the present invention; FIG.

本発明の一実施例に係るユーザ入力を用いたパラメータ値変更が印刷経路変更に反映される様子を説明するための図である。FIG. 6 is a diagram for explaining how a parameter value change using user input is reflected in a print route change according to an embodiment of the present invention.

本発明の一実施例に係るユーザインターフェースにおいて図7Aの印刷経路変更のためにパラメータ値を変更する様子を示す図である。7A is a diagram illustrating how parameter values are changed in order to change the print path in FIG. 7A in a user interface according to an embodiment of the present invention. FIG.

本発明の一実施例に係るコーティングされたフィルムに紫外線露光を行う具体的な方法を説明するためのフローチャートである。3 is a flowchart illustrating a specific method of exposing a coated film to ultraviolet light according to an embodiment of the present invention.

本発明の一実施例に係るコーティングされたフィルムに紫外線露光時に基板屈曲に関連した次元によって指定される駆動軸を示す図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a drive axis dictated by a dimension related to substrate bending during UV exposure of a coated film according to an embodiment of the present invention.

以下、本発明について実施例及び図面を参照して具体的に説明する。ただし、以下の説明は、本発明を特定の実施形態に対して限定しようとするものではなく、本発明を説明するとき、関連の公知技術に関する具体的な説明が本発明の要旨を曖昧にし得ると判断される場合にはその詳細な説明を省略する。 Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to examples and drawings. However, the following description is not intended to limit the present invention to specific embodiments, and when describing the present invention, specific descriptions of related known techniques may obscure the gist of the present invention. If it is determined that this is the case, detailed explanation thereof will be omitted.

図1は、本発明の一実施例に係るスロットダイコーティング装置の斜視図であり、図2は、本発明の一実施例に係るスロットダイコーティング装置の側面図である。 FIG. 1 is a perspective view of a slot die coating apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a side view of a slot die coating apparatus according to an embodiment of the present invention.

図1及び図2を参照すると、本発明の一実施例に係る基板印刷のためのスロットダイ(slot die)コーティング装置100は、基板(図示せず)が提供されるステージ10;前記ステージ10上で前記ステージ10の長手方向(X軸方向)2に移動可能に提供される垂直方向ガントリー51;前記垂直方向ガントリー51の上部において前記垂直方向ガントリー51を横切って、回転方向(θ軸方向)8に回転可能に提供される水平方向ガントリー52;前記水平方向ガントリー52に提供され、印刷材料を吐き出して前記基板上にフィルムをコーティングするスロットダイ110;前記スロットダイ110を前記水平方向ガントリー52の一側に連結するように提供され、前記スロットダイ110の水平方向(Y軸方向)4及び垂直方向(Z軸方向)6の移動を制御する第1移動部材53;前記水平方向ガントリー52に提供され、前記コーティングされたフィルム上に紫外線(UV)を照射する光源120;前記光源120を前記水平方向ガントリー52の他側に連結するように提供され、前記光源120の水平方向(Y軸方向)4及び垂直方向(Z軸方向)6の移動を制御する第2移動部材54;前記スロットダイ110の上部に提供され、前記スロットダイ110の内部の圧力を調節するバルブ140;前記スロットダイ110と連結され、前記スロットダイ110から吐き出される前記印刷材料の吐出量を制御するポンプ130;及び、前記ポンプ130と連結されて提供され、前記印刷材料を充填するキャニスター150を含み、前記フィルムのコーティングは、前記基板に対するモデル分析によって前記スロットダイ110の動きに関連した駆動軸を指定し、前記指定された駆動軸に対するパラメータ値を生成し、該生成されたパラメータ値に基づいて前記コーティングの印刷経路を設定することを特徴とする。 Referring to FIGS. 1 and 2, a slot die coating apparatus 100 for printing a substrate according to an embodiment of the present invention includes a stage 10 on which a substrate (not shown) is provided; A vertical gantry 51 is provided to be movable in the longitudinal direction (X-axis direction) 2 of the stage 10; a horizontal gantry 52 rotatably provided on the horizontal gantry 52; a slot die 110 provided on the horizontal gantry 52 for discharging printing material to coat a film on the substrate; a first moving member 53 that is connected to the side and controls the movement of the slot die 110 in the horizontal direction (Y-axis direction) 4 and the vertical direction (Z-axis direction) 6; , a light source 120 that irradiates ultraviolet (UV) light onto the coated film; the light source 120 is connected to the other side of the horizontal gantry 52, and the light source 120 is connected to the horizontal direction (Y-axis direction) 4; and a second moving member 54 for controlling movement in the vertical direction (Z-axis direction) 6; a valve 140 provided on the top of the slot die 110 and regulating the pressure inside the slot die 110; connected to the slot die 110; a pump 130 for controlling the amount of the printing material discharged from the slot die 110; and a canister 150 connected to the pump 130 and filled with the printing material; specifying a drive axis related to the movement of the slot die 110 through model analysis for the substrate, generating parameter values for the specified drive axis, and setting a printing path for the coating based on the generated parameter values; It is characterized by

以下では、説明の便宜のために、ステージ10の長手方向はX軸方向2と、水平方向(すなわち、ステージ10の幅方向)はY軸方向4と、垂直方向(すなわち、ステージ10の高さ方向)はZ軸方向6と、水平方向、すなわち、Y軸方向4を中心軸にした回転方向はθ軸方向8と記載する。 In the following, for convenience of explanation, the longitudinal direction of the stage 10 is the X-axis direction 2, the horizontal direction (i.e., the width direction of the stage 10) is the Y-axis direction 4, and the vertical direction (i.e., the height of the stage 10) is the X-axis direction 2. The rotation direction with the horizontal direction, that is, the Y-axis direction 4 as the central axis, is described as the θ-axis direction 8.

本発明の一実施例に係る基板印刷のためのスロットダイコーティング装置100は、Y軸方向4にステージ10と一定間隔離隔してステージ10の両側にZ軸方向6にそれぞれ垂直に延長して提供される垂直方向ガントリー51と、前記垂直方向ガントリー51の上部において前記垂直方向ガントリー51を横切って、回転方向(θ軸方向)8に回転可能に提供される水平方向ガントリー52とを含む。このような垂直方向ガントリー51及び水平方向ガントリー52は、一般的なスロットダイコーティング装置に用いられるガントリー(gantry)構造と実質的に同一又は類似の形態で構成されてよい。 A slot die coating apparatus 100 for printing a substrate according to an embodiment of the present invention is provided at a constant distance from a stage 10 in a Y-axis direction 4 and extending vertically in a Z-axis direction 6 on both sides of the stage 10. A horizontal gantry 52 is provided above the vertical gantry 51 and is rotatable in a rotational direction (θ-axis direction) 8 across the vertical gantry 51. The vertical gantry 51 and the horizontal gantry 52 may have substantially the same or similar structure to a gantry structure used in a typical slot die coating apparatus.

垂直方向ガントリー51はX軸方向2に移動可能であり、水平方向ガントリー52はθ軸方向8の回転移動が可能である。また、水平方向ガントリー52は、Y軸方向4及びZ軸方向6の移動が可能な任意の所定セクション(例えば、第1移動部材53及び第2移動部材54)を含んでよい。 The vertical gantry 51 is movable in the X-axis direction 2, and the horizontal gantry 52 is rotatable in the θ-axis direction 8. Further, the horizontal gantry 52 may include any predetermined sections (for example, a first moving member 53 and a second moving member 54) that are movable in the Y-axis direction 4 and the Z-axis direction 6.

より具体的には、本発明の一実施例において、図2を参照すると、水平方向ガントリー52は、Y軸方向4及びZ軸方向6の移動が個別に又は同時になされ得る第1移動部材53及び第2移動部材54を含んでもよい。この場合、第1移動部材53及び第2移動部材54は、X軸方向2を基準にして水平方向ガントリー52の一側及び他側にそれぞれ提供されてよい。このような第1移動部材53及び第2移動部材54はそれぞれ、例えば、公知のリニアモーションガイドなどの通常の駆動軸部品によって具現されてよい。 More specifically, in one embodiment of the present invention, referring to FIG. 2, the horizontal gantry 52 includes a first moving member 53 and a first moving member 53, which can be moved in the Y-axis direction 4 and the Z-axis direction 6 individually or simultaneously. A second moving member 54 may also be included. In this case, the first moving member 53 and the second moving member 54 may be provided on one side and the other side of the horizontal gantry 52, respectively, with respect to the X-axis direction 2. The first moving member 53 and the second moving member 54 may each be implemented by a conventional drive shaft component such as a known linear motion guide.

スロットダイ110は下部にスロットノズルを具備し、印刷材料を加圧によって均一に吐き出して基板上にフィルムをコーティングして形成できる。本発明の一実施例において、印刷材料は、紫外線硬化型接着剤として用いられる光学樹脂(OCR:optically clear resin)であってよく、それ以外に、他の接着剤やフィルム原液のような高粘性の液体又は流動体であってもよいという点が、本発明の分野における技術者に十分に理解されるであろう。 The slot die 110 has a slot nozzle at the bottom, and can uniformly eject printing material under pressure to coat a film on a substrate. In one embodiment of the present invention, the printing material may be an optically clear resin (OCR) used as an ultraviolet curable adhesive, as well as other adhesives or high viscosity materials such as film stock solution. It will be well understood by those skilled in the art that the present invention may be a liquid or fluid.

光源120は、紫外線を放出可能な任意の光源であってよい。例えば、光源120として、低圧水銀蒸気ランプ、中圧水銀蒸気ランプ、高圧水銀蒸気ランプ、超高圧水銀蒸気ランプ、カーボンアークランプ、金属ハライドランプ、キセノンランプなどが用いられてよい。また、光源120として、ArFエキシマレーザー、KrFエキシマレーザー、エキシマランプ、シンクロトロン線などが用いられてよい。 Light source 120 may be any light source capable of emitting ultraviolet light. For example, as the light source 120, a low pressure mercury vapor lamp, a medium pressure mercury vapor lamp, a high pressure mercury vapor lamp, an ultrahigh pressure mercury vapor lamp, a carbon arc lamp, a metal halide lamp, a xenon lamp, etc. may be used. Further, as the light source 120, an ArF excimer laser, a KrF excimer laser, an excimer lamp, a synchrotron beam, or the like may be used.

ポンプ130は、スロットダイ110の印刷材料吐出量を制御する機能を果たし、バルブ140は、スロットダイ110の内部圧力を調節する機能を果たす。キャニスター150は、印刷材料を充填する機能を果たし、さらには、印刷材料の撹拌、脱泡及びエージングする機能も共に果たすことができる。 The pump 130 functions to control the amount of printing material discharged from the slot die 110, and the valve 140 functions to adjust the internal pressure of the slot die 110. The canister 150 serves the function of filling the printing material, and may also serve the functions of stirring, defoaming, and aging the printing material.

本発明の一実施例において、スロットダイ110及び光源120は水平方向ガントリー52に提供されてよく、より詳細には、水平方向ガントリー52においてY軸方向4及びZ軸方向6の移動が可能な任意の所定セクション(例えば、第1移動部材53及び第2移動部材54)によって水平方向ガントリー52と連結されるように提供されてよい。 In one embodiment of the present invention, the slot die 110 and the light source 120 may be provided on a horizontal gantry 52, and more particularly, on any horizontal gantry 52 capable of movement in the Y-axis direction 4 and the Z-axis direction 6. The horizontal gantry 52 may be connected to the horizontal gantry 52 by predetermined sections (eg, the first moving member 53 and the second moving member 54).

この場合、第1移動部材53及び第2移動部材54は同時に又は個別に制御されてよく、これにより、スロットダイ110及び光源120のY軸方向4及びZ軸方向6の移動は同時に又は独立して行われ得る。 In this case, the first moving member 53 and the second moving member 54 may be controlled simultaneously or separately, so that the slot die 110 and the light source 120 can be moved in the Y-axis direction 4 and the Z-axis direction 6 simultaneously or independently. It can be done.

本発明の一実施例において、ポンプ130及びバルブ140はそれぞれ、スロットダイ110と連結されるように提供され、キャニスター150は前記ポンプ130と連結されるように提供される。キャニスター150からポンプ130への印刷材料の供給はチューブを通してなされるのが一般であるが、これに限定されず、印刷材料の供給機能を有し得るいかなる手段も可能である。 In one embodiment of the present invention, a pump 130 and a valve 140 are each provided to be connected to the slot die 110, and a canister 150 is provided to be connected to the pump 130. The printing material is generally supplied from the canister 150 to the pump 130 through a tube, but is not limited thereto, and any means capable of supplying the printing material can be used.

再び図1及び図2を参照すると、本発明の一実施例において、図2に示す文字(すなわち、X、Y、Z、及びθ)は、上述したスロットダイコーティング装置の構成要素を制御する駆動軸を示す。 Referring again to FIGS. 1 and 2, in one embodiment of the present invention, the letters shown in FIG. 2 (i.e., Indicates the axis.

より具体的には、本発明の一実施例において、Y軸は、スロットダイ110の第1ダイ110aのY軸方向4の移動に関連した駆動軸であり、Y軸は、スロットダイ110の第2ダイ110bのY軸方向4の移動に関連した駆動軸に該当する。前記Y、Y駆動軸の制御によって前記第1及び第2ダイ110a,110bをY軸方向4に移動させ、スロットダイ110のノズルの吐出スロットの吐出幅を拡張又は縮小させることができる。以下では、説明の便宜のために、前記Y軸及びY軸を総称してスロットダイ軸(S軸)という。 More specifically, in one embodiment of the present invention, the Y1 axis is a drive axis related to the movement of the first die 110a of the slot die 110 in the Y axis direction 4, and the Y2 axis is a drive axis related to the movement of the first die 110a of the slot die 110. This corresponds to the drive shaft related to the movement of the second die 110b in the Y-axis direction 4. By controlling the Y 1 and Y 2 drive axes, the first and second dies 110a and 110b can be moved in the Y-axis direction 4, and the ejection width of the ejection slot of the nozzle of the slot die 110 can be expanded or reduced. Hereinafter, for convenience of explanation, the Y1 axis and the Y2 axis will be collectively referred to as the slot die axis (S axis).

上述したように、本発明の一実施例において、X軸は、垂直方向ガントリー51のX軸方向2の移動に関連した駆動軸であり、θ軸は、水平方向ガントリー52のθ軸方向8の回転移動に関連した駆動軸に該当する。水平方向ガントリー52は、Y軸方向4及びZ軸方向6の移動が個別になされ得る第1移動部材53及び第2移動部材54を含んでよく、Y軸及びZ軸はそれぞれ、スロットダイ110をY軸方向4及びZ軸方向6に移動させるための第1移動部材53のY軸方向4及びZ軸方向6の移動に関連した駆動軸であり、Y軸及びZ軸はそれぞれ、光源120をY軸方向4及びZ軸方向6に移動させるための第2移動部材54のY軸方向4及びZ軸方向6の移動に関連した駆動軸に該当する。 As mentioned above, in one embodiment of the present invention, the X-axis is the drive axis associated with the movement of the vertical gantry 51 in the This corresponds to a drive shaft related to rotational movement. The horizontal gantry 52 may include a first moving member 53 and a second moving member 54 that can be individually moved in the Y-axis direction 4 and the Z-axis direction 6, and the Y3 axis and the Z1 axis are respectively moved by a slot die. 110 in the Y-axis direction 4 and the Z-axis direction 6, and the Y4 axis and the Z2 axis are respectively , corresponds to a drive axis related to the movement of the second moving member 54 in the Y-axis direction 4 and the Z-axis direction 6 for moving the light source 120 in the Y-axis direction 4 and the Z-axis direction 6.

本発明の一実施例において、図2に示すP軸はポンプ130の流量を調節するので、前記P軸と共にスロットダイ110の内部圧力を調節するバルブ140をさらに制御し、印刷材料の吐出量を調節することが可能である。 In one embodiment of the present invention, the P-axis shown in FIG. 2 regulates the flow rate of the pump 130, so that together with the P-axis, the valve 140 that regulates the internal pressure of the slot die 110 is further controlled to control the output amount of printing material. It is possible to adjust.

図3は、本発明の一実施例に係るスロットダイコーティング方法のフローチャートであり、図4Aは、本発明の一実施例に係る基板にフィルムを形成する具体的な方法を説明するためのフローチャートであり、図4Bは、本発明の一実施例に係るユーザ入力によって駆動軸に対するパラメータ値を変更する過程を説明するためのフローチャートである。 FIG. 3 is a flowchart of a slot die coating method according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4A is a flowchart for explaining a specific method of forming a film on a substrate according to an embodiment of the present invention. FIG. 4B is a flowchart illustrating a process of changing parameter values for a drive shaft based on user input according to an embodiment of the present invention.

図3及び図4Aを参照すると、本発明の一実施例に係る基板印刷のためのスロットダイコーティング方法300は、印刷材料を充填する段階310;スロットダイを用いて基板上に前記印刷材料をコーティング印刷してフィルムを形成する段階320;前記コーティングされたフィルムに紫外線(UV)露光を行う段階330;前記コーティングされたフィルムの厚さを測定する段階340;前記コーティングされたフィルムを用いて前記基板と他の基板とを貼り合わせる段階350;及び、前記貼り合わされた基板の前記コーティングされたフィルムに対する検査を行う段階360を含み、前記フィルムを形成する段階320は、前記基板に対するモデル分析を行う段階410;前記モデル分析によってスロットダイコーティング装置100のスロットダイ110の動きに関連した駆動軸を指定する段階420;前記指定された駆動軸に対するパラメータ値を生成する段階430;前記生成されたパラメータ値に基づいて前記コーティング印刷の経路を設定する段階440;及び、前記コーティング印刷を行う段階450を含むことを特徴とする。 Referring to FIGS. 3 and 4A, a slot die coating method 300 for substrate printing according to an embodiment of the present invention includes a step 310 of filling a printing material; coating the printing material on a substrate using a slot die; printing to form a film 320; exposing the coated film to ultraviolet (UV) light 330; measuring 340 the thickness of the coated film; using the coated film to coat the substrate. and a step 360 of inspecting the coated film on the bonded substrate, and the step 320 of forming the film includes performing a model analysis on the substrate. 410; specifying a drive axis related to the movement of the slot die 110 of the slot die coating apparatus 100 by the model analysis; step 420; generating a parameter value for the specified drive axis; step 430; The method may include a step 440 of setting a path for the coating printing based on the method; and a step 450 of performing the coating printing.

上述した本発明の一実施例に係る基板印刷のためのスロットダイコーティング方法300の印刷材料を充填する段階310は、前記印刷材料の撹拌、脱泡及びエージングする段階をさらに含んでよい。 Filling the printing material 310 of the slot die coating method 300 for substrate printing according to the embodiment of the present invention described above may further include stirring, defoaming, and aging the printing material.

本発明の一実施例において、スロットダイコーティング方法300の段階430で生成されたパラメータ値は、ユーザが入力によって当該値を直接変更することが可能である。より詳細には、図4Bを参照すると、前記生成されたパラメータ値に基づいてコーティング印刷の経路を設定する段階440は、前記生成されたパラメータ値が確定状態であるか否かを判断する段階440a;及び、確定されたパラメータ値に基づいて前記コーティング印刷の経路を設定する段階440cを含み、前記生成されたパラメータ値が未確定状態であれば、前記生成されたパラメータ値をユーザが入力によって直接変更する段階440bをさらに含んでよい。 In one embodiment of the present invention, the parameter values generated in step 430 of the slot die coating method 300 can be directly changed by a user input. More specifically, referring to FIG. 4B, the step 440 of setting a coating printing path based on the generated parameter values includes a step 440a of determining whether the generated parameter values are in a fixed state. and setting the coating printing path based on the determined parameter values, and if the generated parameter values are in an undetermined state, the generated parameter values are directly input by the user. The method may further include modifying step 440b.

コーティング印刷の経路は、印刷対象基板のモデルに対する分析に基づくので、既に生成されたパラメータ及び/又は既コーティング印刷経路を修正しなければならない場合に、印刷対象基板のモデルを再び分析する過程が必要であるが、本発明の一実施例に係るスロットダイコーティング方法300では、解析されたコーティング経路の座標値を抽出し、ユーザが任意に修正して適用することが可能である。これにより、スロットダイコーティング装置100の精密な制御が可能であり、工程時間の短縮及び工程便宜性の増大が可能になる。 Since the coating printing path is based on an analysis of the model of the substrate to be printed, if the already generated parameters and/or the coating printing path have to be modified, a process of re-analyzing the model of the substrate to be printed is necessary. However, in the slot die coating method 300 according to an embodiment of the present invention, the coordinate values of the analyzed coating path can be extracted, and the user can arbitrarily modify and apply the coordinate values. Accordingly, the slot die coating apparatus 100 can be precisely controlled, reducing process time and increasing process convenience.

図5は、本発明の一実施例に係る基板へのフィルム形成時にコーティング印刷形状及び基板屈曲に関連した次元によって指定される駆動軸を示す図であり、図6は、本発明の一実施例に係るコーティング印刷形状及び基板屈曲に関連した次元による基板の例示的な様子をそれぞれ示す図である。 FIG. 5 is a diagram illustrating a drive axis specified by a dimension related to a coating print shape and substrate bending during film formation on a substrate according to an embodiment of the present invention, and FIG. FIG. 3 illustrates an exemplary appearance of a substrate according to dimensions related to coating printing geometry and substrate curvature, respectively.

図5を参照すると、本発明の一実施例において、基板に対するモデル分析は、コーティング印刷パターンの幅の変化に基づく形状及び基板の屈曲変化に基づく次元(D:dimension)によって区分してなされてよい。より具体的には、コーティング印刷パターンの幅の変化に基づく形状の区分は、長方型、ポリゴン型(polygon type)/曲線型(curve type)であってよく、基板屈曲の変化に基づく次元は、後述する2D及び2.5Dであってよい。上述したような具体的な形状及び次元に加え、他の形状及び次元も、本発明の様々な実施例に含まれてよいという点が、本発明の分野における技術者に十分に理解されるであろう。 Referring to FIG. 5, in one embodiment of the present invention, model analysis for the substrate may be performed by dividing the shape based on the width change of the coating print pattern and the dimension (D) based on the bending change of the substrate. . More specifically, the shape division based on the change in width of the coating printed pattern may be rectangular type, polygon type/curve type, and the dimension based on the change in substrate curvature may be rectangular type, polygon type/curve type. , 2D and 2.5D, which will be described later. It will be appreciated by those skilled in the art that, in addition to the specific shapes and dimensions described above, other shapes and dimensions may be included in the various embodiments of the invention. Probably.

本発明の一実施例に係る上述した基板モデルの様々な形状及び次元の例示的な様子を図6に示す。図6の(a)は、長方型、ポリゴン型及び曲線型を含むコーティング印刷パターンの幅の変化に基づく形状を上方から視た概略平面図であり、図6の(b)は、基板の屈曲変化に基づく次元を側方から視た概略側面図である。 An exemplary view of various shapes and dimensions of the above-described substrate model according to an embodiment of the present invention is shown in FIG. FIG. 6(a) is a schematic plan view of the shape of the coating print pattern, including a rectangular shape, a polygonal shape, and a curved shape, as seen from above based on the width change, and FIG. 6(b) is a schematic plan view of the shape of the substrate. FIG. 3 is a schematic side view of a dimension based on a bending change, viewed from the side.

再び図4Aと共に図5を参照すると、本発明の一実施例において、基板モデル分析によってスロットダイ動きに関連した駆動軸を指定する段階420において、前記指定された駆動軸は、前記基板に対するモデルの区分によって、(a)長方型の場合に、前記ステージの長手方向軸及びポンプ軸(すなわち、X軸及びP軸)、(b)ポリゴン型及び曲線型の場合に、前記ステージの長手方向軸、スロットダイ軸、垂直方向軸及びポンプ軸(すなわち、X軸、S軸、Z軸、P軸)、(c)2Dの場合に、前記ステージの長手方向軸及び垂直方向軸(すなわち、X軸、Z軸)、(d)2.5Dの場合に、前記ステージの長手方向軸、垂直方向軸及び前記回転方向の軸(すなわち、X軸、Z軸、θ軸)に該当することを特徴とする。 Referring again to FIG. 5 in conjunction with FIG. 4A, in one embodiment of the present invention, in the step 420 of specifying a drive axis associated with slot die movement through substrate model analysis, the specified drive axis is a By classification: (a) in the case of rectangular types, the longitudinal axes of the stage and the pump axes (i.e. , slot die axes, vertical axes and pump axes (i.e., X-axis, S-axis, Z-axis, P-axis); , Z axis), and (d) 2.5D, corresponding to the longitudinal axis, vertical axis, and axis of the rotational direction (i.e., X axis, Z axis, θ axis) of the stage. do.

また、本発明の一実施例において、(b)ポリゴン型及び曲線型の場合は、コーティング印刷時に、上述したような指定された駆動軸の制御に加え、バルブ140を制御する段階をさらに含んでよい。 In one embodiment of the present invention, in the case of (b) polygon type and curved type, the step of controlling the valve 140 is further included in addition to controlling the designated drive shaft as described above during coating printing. good.

より詳細には、(a)長方型の場合(指定された駆動軸:X軸及びP軸)に、印刷対象基板モデルは、コーティング進行方向(X軸方向)を基準にパターンの幅の変化がない長方形の印刷パターン類型に該当する。X軸方向と関連して、スロットダイコーティング装置100の垂直方向ガントリー51は等速で動作し、P軸方向と関連して、ポンプ130も等速で動作し、一定の流量の印刷材料をスロットダイ110に供給するように設定される。ここで、X軸は、2個の垂直方向ガントリー51のそれぞれと関連して別個に駆動される駆動軸であってよいという点(例えば、X軸及びX軸)が、本発明の分野における技術者にとって十分に理解でき、このような点は、以下の説明においても同様に適用される。 More specifically, (a) In the case of a rectangular type (specified drive axes: It corresponds to the rectangular printing pattern type. In relation to the X-axis direction, the vertical gantry 51 of the slot die coating apparatus 100 operates at a constant speed, and in relation to the P-axis direction, the pump 130 also operates at a constant speed to transfer a constant flow rate of printing material to the slot. It is configured to feed die 110. Here, it is a field of the present invention that the X axis may be a separately driven drive axis (e.g., an XL axis and an It will be well understood by those skilled in the art, and these points apply equally to the following description.

(b)ポリゴン型及び曲線型の場合(指定された駆動軸:X軸、S軸、Z軸及びP軸)に、印刷対象基板モデルは、コーティング進行方向(X軸方向)を基準にパターンの幅が変化する任意形状の印刷パターン類型に該当する。コーティング進行方向を基準にコーティング量の変化によって印刷幅を変化させ、印刷対象基板モデルの分析時に、X軸、S軸(すなわち、Y軸及びY軸)、Z軸及びP軸の動作速度が制御され、バルブ140の開閉も能動的に制御される。この場合、上述したように設定されたパラメータ(或いは、印刷条件)やコーティング印刷の経路は、ユーザが入力によって任意に修正可能である。 (b) In the case of polygon type and curved type (specified drive axes: This corresponds to a type of printing pattern with an arbitrary shape whose width changes. The printing width is changed by changing the coating amount based on the coating progress direction, and the operating speed of the X-axis, S-axis (i.e., Y1 - axis and Y2- axis), Z-axis, and P-axis is is controlled, and the opening and closing of the valve 140 is also actively controlled. In this case, the parameters (or printing conditions) and coating printing route set as described above can be arbitrarily modified by the user's input.

より具体的には、本発明の例示的な一実施例に係るコーティング進行方向(X軸方向)を基準にコーティング幅が狭くなる場合及びコーティング幅が広くなる場合のそれぞれに対して指定された駆動軸及びバルブの制御に関して説明する。 More specifically, the drive specified for each case when the coating width becomes narrower and when the coating width becomes wider based on the coating progress direction (X-axis direction) according to an exemplary embodiment of the present invention. The shaft and valve control will be explained.

コーティング幅が狭くなる場合は、S軸(すなわち、Y軸及びY軸)と関連して、スロットダイ110のノズルの吐出幅を縮小させる。X軸と関連して、吐出幅が縮小しながらスロットダイ110の内部体積の縮小による吐出圧力が増加するが、このような圧力増加を補償するために、垂直方向ガントリー51のX軸方向の動作速度を加速させ、必要な場合にはさらに、バルブ140を開き状態に制御し、スロットダイ110のノズル内部の圧力を減少させる。また、Z軸と関連して、スロットダイ110が基板から遠ざかる方向に移動(すなわち、スロットダイ110と基板との間隔が増加)して増加した吐出量によってスロットダイ110のノズル部分が濡れ状態(wetting)になることを防ぐ。参考として、ノズル濡れ現象が発生してノズルが濡れているかノズルに溶液が付くと、吐出液滴(droplet)の直進性に影響を与えたり吐き出されないようにし、正常なコーティングができないことがある。また、P軸と関連して、印刷材料の流量が減少するように流量を制御するポンプ140のP軸の動作速度を減少させる。 When the coating width becomes narrower, the ejection width of the nozzle of the slot die 110 is reduced in relation to the S axis (ie, the Y1 axis and the Y2 axis). In relation to the X-axis, the discharge pressure increases due to the reduction in the internal volume of the slot die 110 while the discharge width decreases. In order to compensate for this pressure increase, the movement of the vertical gantry 51 in the X-axis direction The speed is accelerated, and if necessary, the valve 140 is controlled to be open to reduce the pressure inside the nozzle of the slot die 110. Further, in relation to the Z-axis, the slot die 110 moves in a direction away from the substrate (that is, the distance between the slot die 110 and the substrate increases), and the increased discharge amount causes the nozzle portion of the slot die 110 to become wet ( Wetting). For reference, if a nozzle wetting phenomenon occurs and the nozzle is wet or has solution attached to the nozzle, it may affect the straightness of the ejected droplet or prevent it from being ejected, which may prevent normal coating. . Also, in conjunction with the P-axis, the operating speed of the P-axis of the pump 140 that controls the flow rate is reduced such that the flow rate of the printing material is reduced.

コーティング幅が増える場合は、S軸(すなわち、Y軸及びY軸)と関連して、スロットダイ110のノズルの吐出幅を拡張する。X軸と関連して、吐出幅が拡張されながらスロットダイ110の内部体積の膨脹による吐出圧力が減少し、気泡が発生するが、これを補償するために、垂直方向ガントリー51のX軸方向の動作速度を減少させ、必要な場合にはさらに、バルブ140を閉じ状態に制御し、スロットダイ110のノズル内部の圧力を増加させる。また、Z軸と関連して、スロットダイ110が基板に近づく方向に移動(すなわち、スロットダイ110と基板との間隔が減少)して減った吐出量によってスロットダイ110のノズル部分にメニスカス破壊(meniscus break)が起こることを防ぐ。参考として、メニスカスは、スロットダイノズルと基板との間に凝集する印刷材料の形状であり、一般に、印刷材料の供給される流量、ノズルの移動速度、ノズルと基板との間隔に影響を受け、コーティング品質はメニスカスによって影響を受ける。また、P軸と関連して、印刷材料の流量が増加するように流量を制御するポンプ140のP軸の動作速度を増加させる。 When the coating width is increased, the ejection width of the nozzle of the slot die 110 is expanded in relation to the S axis (ie, the Y1 axis and the Y2 axis). In relation to the X-axis, the discharge pressure decreases due to the expansion of the internal volume of the slot die 110 while the discharge width is expanded, and air bubbles are generated. The operating speed is reduced, and if necessary, the valve 140 is also controlled in a closed state to increase the pressure inside the nozzle of the slot die 110. In addition, in relation to the Z-axis, the slot die 110 moves in the direction closer to the substrate (that is, the distance between the slot die 110 and the substrate decreases), and the reduced ejection amount causes meniscus fracture ( prevent meniscus break from occurring. For reference, the meniscus is the shape of the printing material that aggregates between the slot die nozzle and the substrate, and is generally influenced by the supplied flow rate of the printing material, the moving speed of the nozzle, the distance between the nozzle and the substrate, Coating quality is affected by the meniscus. Also, in conjunction with the P-axis, the operating speed of the P-axis of the pump 140 that controls the flow rate is increased so that the flow rate of the printing material is increased.

ここで、Z軸は、水平方向ガントリー52に提供される第1移動部材53及び第2移動部材54に関連したそれぞれの駆動軸であってもよいという点(例えば、Z軸及びZ軸)が、本発明の分野における技術者にとって十分に理解でき、また、上述したX軸と同様に、2個の垂直方向ガントリー51のそれぞれと関連して別個に駆動される駆動軸であってもよいという点(例えば、Z軸及びZ軸、このような場合、スロットダイ110は水平状態ではなく傾いた状態になる。)が、本発明の分野における技術者にとって十分に理解でき、このような点は、以下の説明においても同様に適用される。 Here, the Z-axis may be the respective drive axes associated with the first moving member 53 and the second moving member 54 provided on the horizontal gantry 52 (e.g., the Z 1- axis and the Z 2- axis). ) will be well understood by a person skilled in the art of the present invention, and may also be a separately driven drive shaft associated with each of the two vertical gantries 51, similar to the X-axis described above. It is well understood by those skilled in the art of the present invention that it is advantageous (for example, the Z L axis and the Z R axis, in which case the slot die 110 is not in a horizontal position but in an inclined position). These points also apply to the following description.

(c)2Dの場合に(指定された駆動軸:X軸、Z軸)、印刷対象基板モデルは、平板基板に印刷する類型に該当し、コーティング印刷開始時にスロットダイ110のノズルから吐き出される印刷材料のビーズ(bead)の形成のために基板に接近する動作と、コーティング印刷後にスクイズ(squeeze)のためにスロットダイ110のノズルが復帰する動作(すなわち、ノズルが基板から離隔する動作)では、Z軸の駆動が必要であり、コーティング印刷動作の進行中にはノズルと基板は等間隔を保ち得るようにZ軸の駆動が必要でない。 (c) In the case of 2D (specified drive axes: The movement of the nozzle of the slot die 110 toward the substrate for formation of a bead of material and the movement of the nozzle of the slot die 110 back for squeezing after printing the coating (i.e., movement of the nozzle away from the substrate) Z-axis drive is required, and no Z-axis drive is required so that the nozzle and substrate can remain equally spaced during the coating printing operation.

(d)2.5Dの場合に(指定された駆動軸:X軸、Z軸、θ軸)、印刷対象基板モデルは、屈曲又は曲率半径を有する基板(すなわち、curved substrate)に印刷する類型に該当する。コーティング印刷時にスロットダイ110のノズルは、基板に対する接触点又は接触線を基準にノズルが基板と直交状態を維持できるようにθ軸角度を変化させる。この場合、θ軸の角度の変化によって、設定された印刷速度が影響を受けないように、X軸駆動はθ軸駆動と同期方式で駆動され、Z軸駆動もθ軸回転角度が変化してもスロットダイ110のノズルと基板間の間隔設定値が維持されるようにθ軸駆動と同期方式で駆動される。より具体的には、θ軸がスロットダイ110が印刷進行方向に回転する場合に、X軸及びZ軸の動作速度はθ軸と同期方式で減少し、印刷進行方向と反対方向に回転する場合に、X軸及びZ軸の動作速度はθ軸と同期方式で増加する。 (d) In the case of 2.5D (specified drive axes: Applicable. During coating printing, the nozzle of the slot die 110 changes the θ-axis angle so that the nozzle maintains a state perpendicular to the substrate based on the contact point or line of contact with the substrate. In this case, the X-axis drive is driven in synchronization with the θ-axis drive, and the θ-axis rotation angle of the Z-axis drive is also changed so that the set printing speed is not affected by changes in the θ-axis angle. The slot die 110 is also driven in synchronization with the θ-axis drive so that the set distance between the nozzle of the slot die 110 and the substrate is maintained. More specifically, when the θ-axis rotates in the direction in which the slot die 110 rotates in the printing direction, the operating speeds of the X-axis and Z-axis decrease in synchronization with the θ-axis, and when the slot die 110 rotates in the opposite direction to the printing direction. In addition, the operating speeds of the X-axis and Z-axis increase in a synchronous manner with the θ-axis.

図7Aは、本発明の一実施例に係るユーザ入力を用いたパラメータ値変更が印刷経路変更に反映される様子を説明するための図であり、図7Bは、本発明の一実施例に係るユーザインターフェースにおいて図7Aの印刷経路変更のためにパラメータ値を変更する様子を示す図である。 FIG. 7A is a diagram for explaining how a parameter value change using a user input is reflected in a print route change according to an embodiment of the present invention, and FIG. FIG. 7B is a diagram illustrating how parameter values are changed in order to change the print path in FIG. 7A on the user interface.

図7A及び図7Bを共に参照すると、本発明の一実施例において、図7Bの表に示す数値は、図7Aに参照された文字(K1~K6)と表示された地点でのX軸、S軸(Y,Y)、P軸の駆動に関連した例示的なパラメータに該当する。 Referring to FIGS. 7A and 7B together, in one embodiment of the present invention, the numerical values shown in the table of FIG. 7B are on the X-axis, S This corresponds to exemplary parameters related to driving the axes (Y 1 , Y 2 ) and the P axis.

図7Aの上段に示す基板に対するK2~K5地点について説明すると、本発明の例示的な一実施例において、K2地点では、スロットダイ110の第1ダイ及び第2ダイに関連した駆動軸Y軸、Y軸の位置が0mmであり、K3地点にスロットダイ110が移動しながら(すなわち、印刷が進行しながら)スロットダイ110の第2ダイに関連した駆動軸であるY軸の位置が30mmに変化する。上述したように、コーティング幅の減少による吐出圧力増加の補償のためにX軸速度を増加させることが確認できる。K4地点からK5地点へのコーティング印刷の進行は、Y軸の位置が30mmから0mmへと変化し、上述したようにコーティング幅の増加による吐出圧力減少の補償のためにX軸速度は減少させる。 Regarding points K2 to K5 for the substrate shown in the upper row of FIG. 7A, in an exemplary embodiment of the present invention, at point K2, the drive axis Y1 axis associated with the first die and the second die of the slot die 110 is , the position of the Y2 axis is 0 mm, and while the slot die 110 is moving to the K3 point (that is, while printing is progressing), the position of the Y2 axis, which is the drive axis related to the second die of the slot die 110, is Changes to 30mm. As mentioned above, it can be seen that the X-axis speed is increased to compensate for the increase in discharge pressure due to the decrease in coating width. As coating printing progresses from point K4 to point K5, the position of the Y -2 axis changes from 30 mm to 0 mm, and the X-axis speed decreases to compensate for the decrease in discharge pressure due to the increase in coating width as described above. .

本発明の一実施例において、ユーザは、生成されたパラメータ値を入力によって任意に直接変更可能であり、図7Bのように、K3及びK4地点のY軸の位置を30mmから60mmに変更する場合に、図7Aの下段に示す形状のようにコーティング印刷が可能である。 In one embodiment of the present invention, the user can directly change the generated parameter values by inputting the values, and as shown in FIG . In this case, it is possible to print a coating as shown in the lower part of FIG. 7A.

このような方法により、ユーザは、より簡便に、より深いノッチゾーン(notch zone)を有するポリゴン形状に対するコーティング印刷が可能になる。上の図7A及び図7Bではユーザの任意のパラメータ値の変更によってポリゴン形状のコーティング印刷経路が変更される例示的な一実施例を示したが、その他にも、ユーザの任意のパラメータ値の入力によって様々な形状或いは次元の基板に対するコーティング印刷経路も変更可能であるという点が、本発明の分野における技術者にとって十分に理解できよう。 Such a method allows a user to more easily print a coating on a polygon shape having a deeper notch zone. Although FIGS. 7A and 7B above show an exemplary embodiment in which the polygon-shaped coating printing path is changed by changing an arbitrary parameter value by the user, it is also possible to input an arbitrary parameter value by the user. It will be appreciated by those skilled in the art that the coating printing path for substrates of various shapes or dimensions can also be varied by the method.

図8は、本発明の一実施例に係るコーティングされたフィルムに紫外線露光を行う具体的な方法を説明するためのフローチャートである。 FIG. 8 is a flowchart illustrating a specific method of exposing a coated film to UV light according to an embodiment of the present invention.

図8を図3と共に参照すると、本発明の一実施例に係る基板印刷のためのスロットダイ(slot die)コーティング方法300は、印刷材料を充填する段階310;スロットダイを用いて基板上に前記印刷材料をコーティング印刷してフィルムを形成する段階320;前記コーティングされたフィルムに紫外線(UV)露光を行う段階330;前記コーティングされたフィルムの厚さを測定する段階340;前記コーティングされたフィルムを用いて前記基板と他の基板とを貼り合わせる段階350;及び、前記貼り合わされた基板の前記コーティングされたフィルムに対する検査を行う段階360を含み、前記コーティングされたフィルムに紫外線(UV)露光を行う段階330は、前記基板に対するモデル分析を行う段階810;前記モデル分析によってスロットダイコーティング装置100の光源120の動きに関連した駆動軸を指定する段階820;前記指定された駆動軸に対するパラメータ値を生成する段階830;前記生成されたパラメータ値に基づいて前記露光の経路を設定する段階840;及び、前記露光を行う段階850を含むことを特徴とする。 Referring to FIG. 8 in conjunction with FIG. 3, a slot die coating method 300 for substrate printing according to an embodiment of the present invention includes a step 310 of filling a printing material; printing a coating of a printing material to form a film 320; exposing the coated film to ultraviolet (UV) light 330; measuring 340 the thickness of the coated film; bonding the substrate to another substrate using a method 350; and inspecting the coated film of the bonded substrate 360, and exposing the coated film to ultraviolet (UV) light. Step 330 includes performing 810 a model analysis on the substrate; specifying 820 a drive axis related to the movement of the light source 120 of the slot die coating apparatus 100 through the model analysis; generating parameter values for the specified drive axis. The method may include step 830 of determining the exposure path based on the generated parameter value; step 840 of setting the exposure path based on the generated parameter value; and step 850 of performing the exposure.

図9は、本発明の一実施例に係るコーティングされたフィルムに紫外線露光時に基板屈曲に関連した次元によって指定される駆動軸を示す図である。 FIG. 9 is a diagram illustrating a drive axis dictated by a dimension related to substrate bending during UV exposure of a coated film according to an embodiment of the present invention.

図9を参照すると、本発明の一実施例において、露光工程のための基板に対するモデル分析は、基板の屈曲変化に基づく次元によって区分してなされてよい。より具体的には、基板屈曲変化に基づく次元は、2D及び2.5Dであってよい。上述したような具体的な次元に加えて他の可能な次元も本発明の様々な実施例に含まてよいという点が、本発明の分野における技術者に十分に理解されるであろう。 Referring to FIG. 9, in one embodiment of the present invention, a model analysis of a substrate for an exposure process may be performed by dividing the model into dimensions based on bending changes of the substrate. More specifically, the dimensions based on substrate bending changes may be 2D and 2.5D. It will be appreciated by those skilled in the art that in addition to the specific dimensions described above, other possible dimensions may be included in various embodiments of the invention.

本発明の一実施例において、基板モデル分析によってスロットダイ動きに関連した駆動軸を指定する820において、前記指定された駆動軸は、前記基板に対するモデルの区分によって、(a)2Dの場合に、水平方向軸及び垂直方向軸(すなわち、X軸、Z軸)に該当してよく、(b)2.5Dの場合、水平方向軸、垂直方向軸及び前記回転方向の軸(すなわち、X軸、Z軸、θ軸)に該当してよい。 In one embodiment of the invention, in specifying 820 a drive axis associated with slot die movement by substrate model analysis, the specified drive axis is determined by partitioning the model for the substrate: (a) in the 2D case; (b) In the case of 2.5D, the horizontal axis, the vertical axis and the rotational axis (i.e. the X axis, Z-axis, θ-axis).

本発明の一実施例において、上述したように、水平方向ガントリー52がY軸方向4及びZ軸方向6の移動が個別になされ得る第1移動部材53及び第2移動部材54を含む場合に、光源120は第2移動部材54に提供されてよく、この場合、前記Z軸はZ軸に該当する。 In one embodiment of the present invention, as described above, when the horizontal gantry 52 includes a first moving member 53 and a second moving member 54 that can be individually moved in the Y-axis direction 4 and the Z-axis direction 6, The light source 120 may be provided to the second moving member 54, in which case the Z axis corresponds to the Z2 axis.

以上、述べたように、本発明の実施例に係る基板印刷のためのスロットダイコーティング装置及び方法は、印刷対象基板のモデル分析を基づく駆動軸指定、及び指定された駆動軸の移動に対するパラメータ値を算出し、それに基づいてコーティング印刷経路を決定することにより、スロットダイコーティング装置の精密な制御が可能であるため、コーティング印刷の正確度を高めることができ、ディスプレイ製造時にコーティング幅の変化及びコーティング面の屈曲変化に対する迅速な対応が可能であり、前記基板モデル分析によって生成されたパラメータ値をユーザが入力によって直接変更することが可能なため、工程時間が短縮し、工程便宜が増大し得るという効果を提供する。 As described above, the slot die coating apparatus and method for substrate printing according to the embodiments of the present invention are capable of specifying drive axes based on model analysis of the substrate to be printed, and parameter values for movement of the specified drive axes. By calculating the coating printing path and determining the coating printing path based on it, the slot die coating equipment can be precisely controlled, thereby increasing the accuracy of coating printing, and controlling coating width changes and coating during display manufacturing. It is possible to quickly respond to changes in surface curvature, and the parameter values generated by the substrate model analysis can be directly changed by input by the user, reducing process time and increasing process convenience. Provide effect.

(付記)
(付記1)
基板印刷のためのスロットダイ(slot die)コーティング装置であって、
基板が提供されるステージ;
前記ステージ上で前記ステージの長手方向に移動可能に提供される垂直方向ガントリー;
前記垂直方向ガントリーの上部において前記垂直方向ガントリーを横切って、回転方向に回転可能に提供される水平方向ガントリー;
前記水平方向ガントリーに提供され、印刷材料を吐き出して前記基板上にフィルムをコーティングするスロットダイ;
前記水平方向ガントリーに提供され、前記コーティングされたフィルム上に紫外線(UV)を照射する光源;
前記スロットダイの上部に提供され、前記スロットダイ内部の圧力を調節するバルブ;
前記スロットダイと連結され、前記スロットダイから吐き出される前記印刷材料の吐出量を制御するポンプ;及び
前記ポンプと連結されて提供され、前記印刷材料を充填するキャニスターを含み、
前記フィルムのコーティングは、前記基板に対するモデル分析によって前記スロットダイの動きに関連した駆動軸を指定し、前記指定された駆動軸に対するパラメータ値を生成し、該生成されたパラメータ値に基づいて前記コーティングの印刷経路を設定することを特徴とするスロットダイコーティング装置。
(Additional note)
(Additional note 1)
A slot die coating apparatus for substrate printing, comprising:
A stage where the substrate is provided;
a vertical gantry movable on the stage in the longitudinal direction of the stage;
a horizontal gantry rotatably provided in a rotational direction across the vertical gantry at the top of the vertical gantry;
a slot die provided on the horizontal gantry for discharging printing material to coat a film on the substrate;
a light source provided on the horizontal gantry and irradiating ultraviolet (UV) light onto the coated film;
a valve provided on the top of the slot die to adjust the pressure inside the slot die;
a pump connected to the slot die and controlling the discharge amount of the printing material discharged from the slot die; and a canister connected to the pump and filled with the printing material,
The coating of the film specifies a drive axis related to the movement of the slot die through model analysis on the substrate, generates parameter values for the specified drive axis, and coats the film based on the generated parameter values. A slot die coating device characterized by setting a printing path.

(付記2)
基板印刷のためのスロットダイ(slot die)コーティング装置であって、
基板が提供されるステージ;
前記ステージ上で前記ステージの長手方向に移動可能に提供される垂直方向ガントリー;
前記垂直方向ガントリーの上部において前記垂直方向ガントリーを横切って、回転方向に回転可能に提供される水平方向ガントリー;
前記水平方向ガントリーに提供され、印刷材料を吐き出して前記基板上にフィルムをコーティングするスロットダイ;
前記スロットダイを前記水平方向ガントリーの一側に連結するように提供され、前記スロットダイの水平方向及び垂直方向の移動を制御する第1移動部材;
前記水平方向ガントリーに提供され、前記コーティングされたフィルム上に紫外線(UV)を照射する光源;
前記光源を前記水平方向ガントリーの他側に連結するように提供され、前記光源の水平方向及び垂直方向の移動を制御する第2移動部材;
前記スロットダイの上部に提供され、前記スロットダイ内部の圧力を調節するバルブ;
前記スロットダイと連結され、前記スロットダイから吐き出される前記印刷材料の吐出量を制御するポンプ;及び
前記ポンプと連結されて提供され、前記印刷材料を充填するキャニスターを含み、
前記フィルムのコーティングは、前記基板に対するモデル分析によって前記スロットダイの動きに関連した駆動軸を指定し、前記指定された駆動軸に対するパラメータ値を生成し、該生成されたパラメータ値に基づいて前記コーティングの印刷経路を設定することを特徴とするスロットダイコーティング装置。
(Additional note 2)
A slot die coating apparatus for substrate printing, comprising:
A stage where the substrate is provided;
a vertical gantry movable on the stage in the longitudinal direction of the stage;
a horizontal gantry rotatably provided in a rotational direction across the vertical gantry at an upper portion of the vertical gantry;
a slot die provided on the horizontal gantry for discharging printing material to coat a film on the substrate;
a first moving member that is provided to connect the slot die to one side of the horizontal gantry and controls horizontal and vertical movement of the slot die;
a light source provided on the horizontal gantry and irradiating ultraviolet (UV) light onto the coated film;
a second moving member that is provided to connect the light source to the other side of the horizontal gantry and controls horizontal and vertical movement of the light source;
a valve provided on the top of the slot die to adjust the pressure inside the slot die;
a pump connected to the slot die and controlling the discharge amount of the printing material discharged from the slot die; and a canister connected to the pump and filled with the printing material,
The coating of the film specifies a drive axis related to the movement of the slot die through model analysis on the substrate, generates parameter values for the specified drive axis, and coats the film based on the generated parameter values. A slot die coating device characterized by setting a printing path.

(付記3)
前記基板に対するモデルは、コーティング印刷パターンの幅の変化に基づく形状及び前記基板の屈曲変化に基づく次元によって区分されることを特徴とする、付記1又は2に記載のスロットダイコーティング装置。
(Additional note 3)
3. The slot die coating apparatus according to appendix 1 or 2, wherein the model for the substrate is classified by a shape based on a change in width of the coating print pattern and a dimension based on a change in bending of the substrate.

(付記4)
前記形状は、長方型、ポリゴン型及び曲線型に区分され、前記次元は、2D及び2.5Dに区分されることを特徴とする、付記3に記載のスロットダイコーティング装置。
(Additional note 4)
The slot die coating apparatus according to appendix 3, wherein the shape is classified into a rectangular shape, a polygon shape, and a curved shape, and the dimension is classified into 2D and 2.5D.

(付記5)
前記指定された駆動軸は、前記基板に対するモデルの区分によって、(a)長方型の場合に、前記ステージの長手方向軸及びポンプ軸、(b)ポリゴン型及び曲線型の場合に、前記ステージの長手方向軸、スロットダイ軸、垂直方向軸及びポンプ軸、(c)2Dの場合に、前記ステージの長手方向軸及び垂直方向軸、(d)2.5Dの場合に、前記ステージの長手方向軸、垂直方向軸及び前記回転方向の軸に該当することを特徴とする、付記4に記載のスロットダイコーティング装置。
(Appendix 5)
The designated drive axes are determined by the classification of the model with respect to the substrate: (a) the longitudinal axis and pump axis of the stage in the case of a rectangular type; (b) the axis of the stage in the case of a polygonal type and a curved type. (c) in the case of 2D, the longitudinal axis and vertical axis of the stage; (d) in the case of 2.5D, the longitudinal axis of the stage; The slot die coating apparatus according to appendix 4, characterized in that the slot die coating apparatus corresponds to an axis, a vertical axis, and an axis in the rotational direction.

(付記6)
前記ポリゴン型及び曲線型の場合に、コーティング印刷時にさらに前記バルブを制御することを特徴とする、付記5に記載のスロットダイコーティング装置。
(Appendix 6)
In the case of the polygon type and curved type, the slot die coating apparatus according to appendix 5 is characterized in that the valve is further controlled during coating printing.

(付記7)
前記生成されたパラメータ値は、ユーザが入力によって直接変更可能であることを特徴とする、付記1又は2に記載のスロットダイコーティング装置。
(Appendix 7)
The slot die coating apparatus according to appendix 1 or 2, wherein the generated parameter values can be directly changed by a user's input.

(付記8)
前記コーティングされたフィルムに対する紫外線(UV)調査は、前記基板に対するモデル分析によって前記光源の動きに関連した駆動軸を指定し、前記指定された駆動軸に対するパラメータ値を生成し、該生成されたパラメータ値に基づいて露光経路を設定することを特徴とする、付記1又は2に記載のスロットダイコーティング装置。
(Appendix 8)
Ultraviolet (UV) investigation on the coated film specifies a drive axis related to the movement of the light source by model analysis on the substrate, generates parameter values for the specified drive axis, and generates parameter values for the specified drive axis. The slot die coating apparatus according to appendix 1 or 2, characterized in that the exposure path is set based on the value.

(付記9)
前記基板に対するモデルは、前記基板の屈曲変化に基づく次元によって区分されることを特徴とする、付記8に記載のスロットダイコーティング装置。
(Appendix 9)
9. The slot die coating apparatus according to appendix 8, wherein the model for the substrate is classified by dimensions based on bending changes of the substrate.

(付記10)
前記次元は、2D及び2.5Dに区分され、
前記指定された駆動軸は、前記基板に対するモデルの区分によって、(a)2Dの場合に、水平方向軸及び垂直方向軸、(b)2.5Dの場合に、水平方向軸、垂直方向軸及び前記回転方向の軸に該当することを特徴とする、付記9に記載のスロットダイコーティング装置。
(Appendix 10)
The dimensions are divided into 2D and 2.5D,
The specified drive axes are determined by the model classification for the substrate: (a) in the case of 2D, a horizontal axis and a vertical axis; (b) in the case of 2.5D, a horizontal axis, a vertical axis, and The slot die coating apparatus according to appendix 9, which corresponds to the axis of the rotation direction.

(付記11)
基板印刷のためのスロットダイ(slot die)コーティング方法であって、
印刷材料を充填する段階;
スロットダイを用いて基板上に前記印刷材料をコーティング印刷してフィルムを形成する段階;
前記コーティングされたフィルムに紫外線(UV)露光を行う段階;
前記コーティングされたフィルムの厚さを測定する段階;
前記コーティングされたフィルムを用いて前記基板と他の基板とを貼り合わせる段階;及び、
前記貼り合わされた基板の前記コーティングされたフィルムに対する検査を行う段階を含み、
前記フィルムを形成する段階は、前記基板に対するモデル分析を行う段階;前記モデル分析によってスロットダイコーティング装置のスロットダイの動きに関連した駆動軸を指定する段階;前記指定された駆動軸に対するパラメータ値を生成する段階;前記生成されたパラメータ値に基づいて前記コーティング印刷の経路を設定する段階;及び、前記コーティング印刷を行う段階を含むことを特徴とする、スロットダイコーティング方法。
(Appendix 11)
A slot die coating method for substrate printing, the method comprising:
filling the printing material;
coating and printing the printing material on a substrate using a slot die to form a film;
exposing the coated film to ultraviolet (UV) light;
measuring the thickness of the coated film;
bonding the substrate to another substrate using the coated film; and
performing an inspection on the coated film of the bonded substrate;
Forming the film includes performing a model analysis on the substrate; specifying a drive axis related to the movement of the slot die of the slot die coating apparatus by the model analysis; and determining parameter values for the specified drive axis. A slot die coating method, comprising the steps of: generating; setting a path for the coating printing based on the generated parameter values; and performing the coating printing.

(付記12)
前記基板に対するモデルは、コーティング印刷パターンの幅の変化に基づく形状及び前記基板の屈曲変化に基づく次元によって区分されることを特徴とする、付記11に記載のスロットダイコーティング方法。
(Appendix 12)
12. The slot die coating method according to claim 11, wherein the model for the substrate is classified according to a shape based on a change in width of the coating print pattern and a dimension based on a change in bending of the substrate.

(付記13)
前記形状は、長方型、ポリゴン型及び曲線型に区分され、前記次元は、2D及び2.5Dに区分されることを特徴とする、付記12に記載のスロットダイコーティング方法。
(Appendix 13)
The slot die coating method according to appendix 12, wherein the shape is classified into a rectangular shape, a polygon shape, and a curved shape, and the dimension is classified into 2D and 2.5D.

(付記14)
前記指定された駆動軸は、前記基板に対するモデルの区分によって、(a)長方型の場合に、前記基板が提供されるステージの長手方向軸及びポンプ軸、(b)ポリゴン型及び曲線型の場合に、前記ステージの長手方向軸、スロットダイ軸、垂直方向軸及びポンプ軸、(c)2Dの場合に、前記ステージの長手方向軸及び垂直方向軸、(d)2.5Dの場合に、前記ステージの長手方向軸、垂直方向軸及び回転方向の軸に該当することを特徴とする、付記13に記載のスロットダイコーティング方法。
(Appendix 14)
The designated drive axes are determined by the segmentation of the model for the substrate: (a) in the case of a rectangular type, the longitudinal axis and pump axis of the stage on which the substrate is provided; (b) in the case of a rectangular type, and (b) in the case of a polygonal type and a curved type. (c) the longitudinal axis and vertical axis of the stage if 2D; (d) the longitudinal axis and vertical axis of the stage if 2.5D; The slot die coating method according to appendix 13, wherein the slot die coating method corresponds to a longitudinal axis, a vertical axis, and a rotational axis of the stage.

(付記15)
前記ポリゴン型及び曲線型の場合に、コーティング印刷時にスロットダイコーティング装置のバルブを制御する段階をさらに含むことを特徴とする、付記14に記載のスロットダイコーティング方法。
(Appendix 15)
15. The slot die coating method according to claim 14, further comprising controlling a valve of a slot die coating apparatus during coating printing in the case of the polygon type and the curved type.

(付記16)
前記生成されたパラメータ値に基づいてコーティング印刷の経路を設定する段階は、
前記生成されたパラメータ値が確定状態であるか否かを判断する段階;及び、確定されたパラメータ値に基づいてコーティング印刷の経路を設定する段階を含み、
前記生成されたパラメータ値が未確定状態である場合に、前記生成されたパラメータ値をユーザが入力によって直接変更する段階をさらに含むことを特徴とする、付記11に記載のスロットダイコーティング方法。
(Appendix 16)
Setting a coating printing path based on the generated parameter values includes:
determining whether the generated parameter values are in a determined state; and setting a coating printing path based on the determined parameter values;
12. The slot die coating method according to claim 11, further comprising the step of directly changing the generated parameter value by a user's input when the generated parameter value is in an undetermined state.

(付記17)
前記印刷材料を充填する段階は、前記印刷材料の撹拌、脱泡及びエージングする段階をさらに含む、付記11に記載のスロットダイコーティング方法。
(Appendix 17)
The slot die coating method according to appendix 11, wherein the step of filling the printing material further includes stirring, defoaming, and aging the printing material.

(付記18)
前記コーティングされたフィルムに紫外線(UV)露光を行う段階は、前記基板に対するモデル分析を行う段階;前記モデル分析によってスロットダイコーティング装置の光源の動きに関連した駆動軸を指定する段階;前記指定された駆動軸に対するパラメータ値を生成する段階;前記生成されたパラメータ値に基づいて前記露光の経路を設定する段階;及び、前記露光を行う段階を含むことを特徴とする、付記11に記載のスロットダイコーティング方法。
(Appendix 18)
The step of exposing the coated film to ultraviolet (UV) light includes the step of performing a model analysis on the substrate; specifying a drive axis related to the movement of a light source of a slot die coating apparatus by the model analysis; The slot according to appendix 11, characterized in that the slot includes the steps of: generating a parameter value for the generated drive shaft; setting the exposure path based on the generated parameter value; and performing the exposure. Die coating method.

(付記19)
前記基板に対するモデルは、前記基板の屈曲変化に基づく次元によって区分されることを特徴とする、付記18に記載のスロットダイコーティング方法。
(Appendix 19)
19. The slot die coating method according to appendix 18, wherein the model for the substrate is classified according to dimensions based on bending changes of the substrate.

(付記20)
前記次元は、2D及び2.5Dに区分され、
前記指定された駆動軸は、前記基板に対するモデルの区分によって、(a)2Dの場合に、水平方向軸及び垂直方向軸、(b)2.5Dの場合に、水平方向軸、垂直方向軸及び回転方向の軸に該当することを特徴とする、付記19に記載のスロットダイコーティング方法。
(Additional note 20)
The dimensions are divided into 2D and 2.5D,
The designated drive axes are determined by the model classification for the substrate: (a) horizontal axis and vertical axis in the case of 2D; (b) horizontal axis, vertical axis and The slot die coating method according to appendix 19, characterized in that the method corresponds to an axis in a rotational direction.

様々な変形例が、本発明の範囲を逸脱することなく、本明細書に記述及び例示された構成及び方法によって作られてよく、上記の詳細な説明に含まれるか添付の図面に示されている全ての事項は例示的なものであり、本発明を限定するためのものではない。したがって、本発明の範囲は、上述した例示的な実施例によって限定されず、以下の特許請求の範囲及びその均等物によってのみ定められるべきである。 Various modifications may be made to the structures and methods described and illustrated herein without departing from the scope of the invention, and may be included in the above detailed description or illustrated in the accompanying drawings. All matters herein are illustrative and not intended to limit the invention. Therefore, the scope of the invention should not be limited by the exemplary embodiments described above, but should be defined only by the following claims and their equivalents.

Claims (20)

基板印刷のためのスロットダイ(slot die)コーティング装置であって、
基板が提供されるステージ;
前記ステージ上で前記ステージの長手方向に移動可能に提供される垂直方向ガントリー;
前記垂直方向ガントリーの上部において前記垂直方向ガントリーを横切って、回転方向に回転可能に提供される水平方向ガントリー;
前記水平方向ガントリーに提供され、印刷材料を吐き出して前記基板上にフィルムをコーティングするスロットダイ;
前記水平方向ガントリーに提供され、前記コーティングされたフィルム上に紫外線(UV)を照射する光源;
前記スロットダイの上部に提供され、前記スロットダイ内部の圧力を調節するバルブ;
前記スロットダイと連結され、前記スロットダイから吐き出される前記印刷材料の吐出量を制御するポンプ;及び
前記ポンプと連結されて提供され、前記印刷材料を充填するキャニスターを含み、
前記フィルムのコーティングは、前記基板に対するモデル分析によって前記スロットダイの動きに関連した駆動軸を指定し、前記指定された駆動軸に対するパラメータ値を生成し、該生成されたパラメータ値に基づいて前記コーティングの印刷経路を設定することを特徴とするスロットダイコーティング装置。
A slot die coating apparatus for substrate printing, comprising:
A stage where the substrate is provided;
a vertical gantry movable on the stage in the longitudinal direction of the stage;
a horizontal gantry rotatably provided in a rotational direction across the vertical gantry at the top of the vertical gantry;
a slot die provided on the horizontal gantry for discharging printing material to coat a film on the substrate;
a light source provided on the horizontal gantry and irradiating ultraviolet (UV) light onto the coated film;
a valve provided on the top of the slot die to adjust the pressure inside the slot die;
a pump connected to the slot die and controlling the discharge amount of the printing material discharged from the slot die; and a canister connected to the pump and filled with the printing material,
The coating of the film specifies a drive axis related to the movement of the slot die through model analysis on the substrate, generates parameter values for the specified drive axis, and coats the film based on the generated parameter values. A slot die coating device characterized by setting a printing path.
基板印刷のためのスロットダイ(slot die)コーティング装置であって、
基板が提供されるステージ;
前記ステージ上で前記ステージの長手方向に移動可能に提供される垂直方向ガントリー;
前記垂直方向ガントリーの上部において前記垂直方向ガントリーを横切って、回転方向に回転可能に提供される水平方向ガントリー;
前記水平方向ガントリーに提供され、印刷材料を吐き出して前記基板上にフィルムをコーティングするスロットダイ;
前記スロットダイを前記水平方向ガントリーの一側に連結するように提供され、前記スロットダイの水平方向及び垂直方向の移動を制御する第1移動部材;
前記水平方向ガントリーに提供され、前記コーティングされたフィルム上に紫外線(UV)を照射する光源;
前記光源を前記水平方向ガントリーの他側に連結するように提供され、前記光源の水平方向及び垂直方向の移動を制御する第2移動部材;
前記スロットダイの上部に提供され、前記スロットダイ内部の圧力を調節するバルブ;
前記スロットダイと連結され、前記スロットダイから吐き出される前記印刷材料の吐出量を制御するポンプ;及び
前記ポンプと連結されて提供され、前記印刷材料を充填するキャニスターを含み、
前記フィルムのコーティングは、前記基板に対するモデル分析によって前記スロットダイの動きに関連した駆動軸を指定し、前記指定された駆動軸に対するパラメータ値を生成し、該生成されたパラメータ値に基づいて前記コーティングの印刷経路を設定することを特徴とするスロットダイコーティング装置。
A slot die coating apparatus for substrate printing, comprising:
A stage where the substrate is provided;
a vertical gantry movable on the stage in the longitudinal direction of the stage;
a horizontal gantry rotatably provided in a rotational direction across the vertical gantry at the top of the vertical gantry;
a slot die provided on the horizontal gantry for discharging printing material to coat a film on the substrate;
a first moving member that is provided to connect the slot die to one side of the horizontal gantry and controls horizontal and vertical movement of the slot die;
a light source provided on the horizontal gantry and irradiating ultraviolet (UV) light onto the coated film;
a second moving member that is provided to connect the light source to the other side of the horizontal gantry and controls horizontal and vertical movement of the light source;
a valve provided on the top of the slot die to adjust the pressure inside the slot die;
a pump connected to the slot die and controlling the discharge amount of the printing material discharged from the slot die; and a canister connected to the pump and filled with the printing material,
The coating of the film specifies a drive axis related to the movement of the slot die through model analysis on the substrate, generates parameter values for the specified drive axis, and coats the film based on the generated parameter values. A slot die coating device characterized by setting a printing path.
前記基板に対するモデルは、コーティング印刷パターンの幅の変化に基づく形状及び前記基板の屈曲変化に基づく次元によって区分されることを特徴とする、請求項1又は2に記載のスロットダイコーティング装置。 3. The slot die coating apparatus according to claim 1, wherein the model for the substrate is classified by a shape based on a change in width of the coating print pattern and a dimension based on a change in bending of the substrate. 前記形状は、長方型、ポリゴン型及び曲線型に区分され、前記次元は、2D及び2.5Dに区分されることを特徴とする、請求項3に記載のスロットダイコーティング装置。 The slot die coating apparatus according to claim 3, wherein the shape is classified into a rectangular shape, a polygon shape, and a curved shape, and the dimensions are classified into 2D and 2.5D. 前記指定された駆動軸は、前記基板に対するモデルの区分によって、(a)長方型の場合に、前記ステージの長手方向軸及びポンプ軸、(b)ポリゴン型及び曲線型の場合に、前記ステージの長手方向軸、スロットダイ軸、垂直方向軸及びポンプ軸、(c)2Dの場合に、前記ステージの長手方向軸及び垂直方向軸、(d)2.5Dの場合に、前記ステージの長手方向軸、垂直方向軸及び前記回転方向の軸に該当することを特徴とする、請求項4に記載のスロットダイコーティング装置。 The designated drive axes are determined by the classification of the model with respect to the substrate: (a) the longitudinal axis and pump axis of the stage in the case of a rectangular type; (b) the axis of the stage in the case of a polygonal type and a curved type. (c) in the case of 2D, the longitudinal axis and vertical axis of the stage; (d) in the case of 2.5D, the longitudinal axis of the stage; The slot die coating apparatus according to claim 4, characterized in that the slot die coating apparatus corresponds to an axis, a vertical axis, and an axis in the rotational direction. 前記ポリゴン型及び曲線型の場合に、コーティング印刷時にさらに前記バルブを制御することを特徴とする、請求項5に記載のスロットダイコーティング装置。 The slot die coating apparatus according to claim 5, further comprising controlling the valve during coating printing in the case of the polygon type and the curved type. 前記生成されたパラメータ値は、ユーザが入力によって直接変更可能であることを特徴とする、請求項1又は2に記載のスロットダイコーティング装置。 The slot die coating apparatus according to claim 1 or 2, wherein the generated parameter values can be directly changed by a user's input. 前記コーティングされたフィルムに対する紫外線(UV)調査は、前記基板に対するモデル分析によって前記光源の動きに関連した駆動軸を指定し、前記指定された駆動軸に対するパラメータ値を生成し、該生成されたパラメータ値に基づいて露光経路を設定することを特徴とする、請求項1又は2に記載のスロットダイコーティング装置。 Ultraviolet (UV) investigation on the coated film specifies a drive axis related to the movement of the light source by model analysis on the substrate, generates parameter values for the specified drive axis, and generates parameter values for the specified drive axis. 3. The slot die coating apparatus according to claim 1, wherein the exposure path is set based on the value. 前記基板に対するモデルは、前記基板の屈曲変化に基づく次元によって区分されることを特徴とする、請求項8に記載のスロットダイコーティング装置。 The slot die coating apparatus of claim 8, wherein the model for the substrate is divided by dimensions based on bending changes of the substrate. 前記次元は、2D及び2.5Dに区分され、
前記指定された駆動軸は、前記基板に対するモデルの区分によって、(a)2Dの場合に、水平方向軸及び垂直方向軸、(b)2.5Dの場合に、水平方向軸、垂直方向軸及び前記回転方向の軸に該当することを特徴とする、請求項9に記載のスロットダイコーティング装置。
The dimensions are divided into 2D and 2.5D,
The specified drive axes are determined by the model classification for the substrate: (a) in the case of 2D, a horizontal axis and a vertical axis; (b) in the case of 2.5D, a horizontal axis, a vertical axis, and The slot die coating apparatus according to claim 9, wherein the slot die coating apparatus corresponds to the axis of the rotation direction.
基板印刷のためのスロットダイ(slot die)コーティング方法であって、
印刷材料を充填する段階;
スロットダイを用いて基板上に前記印刷材料をコーティング印刷してフィルムを形成する段階;
前記コーティングされたフィルムに紫外線(UV)露光を行う段階;
前記コーティングされたフィルムの厚さを測定する段階;
前記コーティングされたフィルムを用いて前記基板と他の基板とを貼り合わせる段階;及び、
前記貼り合わされた基板の前記コーティングされたフィルムに対する検査を行う段階を含み、
前記フィルムを形成する段階は、前記基板に対するモデル分析を行う段階;前記モデル分析によってスロットダイコーティング装置のスロットダイの動きに関連した駆動軸を指定する段階;前記指定された駆動軸に対するパラメータ値を生成する段階;前記生成されたパラメータ値に基づいて前記コーティング印刷の経路を設定する段階;及び、前記コーティング印刷を行う段階を含むことを特徴とする、スロットダイコーティング方法。
A slot die coating method for substrate printing, the method comprising:
filling the printing material;
coating and printing the printing material on a substrate using a slot die to form a film;
exposing the coated film to ultraviolet (UV) light;
measuring the thickness of the coated film;
bonding the substrate to another substrate using the coated film; and
performing an inspection on the coated film of the bonded substrate;
Forming the film includes performing a model analysis on the substrate; specifying a drive axis related to the movement of the slot die of the slot die coating apparatus by the model analysis; and determining parameter values for the specified drive axis. A slot die coating method, comprising the steps of: generating; setting a path for the coating printing based on the generated parameter values; and performing the coating printing.
前記基板に対するモデルは、コーティング印刷パターンの幅の変化に基づく形状及び前記基板の屈曲変化に基づく次元によって区分されることを特徴とする、請求項11に記載のスロットダイコーティング方法。 12. The slot die coating method of claim 11, wherein the model for the substrate is classified according to a shape based on a change in width of the coating print pattern and a dimension based on a change in bending of the substrate. 前記形状は、長方型、ポリゴン型及び曲線型に区分され、前記次元は、2D及び2.5Dに区分されることを特徴とする、請求項12に記載のスロットダイコーティング方法。 The slot die coating method according to claim 12, wherein the shape is classified into a rectangular shape, a polygon shape, and a curved shape, and the dimensions are classified into 2D and 2.5D. 前記指定された駆動軸は、前記基板に対するモデルの区分によって、(a)長方型の場合に、前記基板が提供されるステージの長手方向軸及びポンプ軸、(b)ポリゴン型及び曲線型の場合に、前記ステージの長手方向軸、スロットダイ軸、垂直方向軸及びポンプ軸、(c)2Dの場合に、前記ステージの長手方向軸及び垂直方向軸、(d)2.5Dの場合に、前記ステージの長手方向軸、垂直方向軸及び回転方向の軸に該当することを特徴とする、請求項13に記載のスロットダイコーティング方法。 The designated drive axes are determined by the segmentation of the model for the substrate: (a) in the case of a rectangular type, the longitudinal axis and pump axis of the stage on which the substrate is provided; (b) in the case of a rectangular type, and (b) in the case of a polygonal type and a curved type. (c) the longitudinal axis and vertical axis of the stage if 2D; (d) the longitudinal axis and vertical axis of the stage if 2.5D; The slot die coating method according to claim 13, characterized in that the stage corresponds to a longitudinal axis, a vertical axis, and a rotational axis. 前記ポリゴン型及び曲線型の場合に、コーティング印刷時にスロットダイコーティング装置のバルブを制御する段階をさらに含むことを特徴とする、請求項14に記載のスロットダイコーティング方法。 The slot die coating method according to claim 14, further comprising controlling a valve of a slot die coating apparatus during coating printing in the case of the polygon type and the curve type. 前記生成されたパラメータ値に基づいてコーティング印刷の経路を設定する段階は、
前記生成されたパラメータ値が確定状態であるか否かを判断する段階;及び、確定されたパラメータ値に基づいてコーティング印刷の経路を設定する段階を含み、
前記生成されたパラメータ値が未確定状態である場合に、前記生成されたパラメータ値をユーザが入力によって直接変更する段階をさらに含むことを特徴とする、請求項11に記載のスロットダイコーティング方法。
Setting a coating printing path based on the generated parameter values includes:
determining whether the generated parameter values are in a determined state; and setting a coating printing path based on the determined parameter values;
The slot die coating method of claim 11, further comprising the step of directly changing the generated parameter value by a user's input when the generated parameter value is in an undetermined state.
前記印刷材料を充填する段階は、前記印刷材料の撹拌、脱泡及びエージングする段階をさらに含む、請求項11に記載のスロットダイコーティング方法。 12. The slot die coating method of claim 11, wherein the step of filling the printing material further includes stirring, defoaming, and aging the printing material. 前記コーティングされたフィルムに紫外線(UV)露光を行う段階は、前記基板に対するモデル分析を行う段階;前記モデル分析によってスロットダイコーティング装置の光源の動きに関連した駆動軸を指定する段階;前記指定された駆動軸に対するパラメータ値を生成する段階;前記生成されたパラメータ値に基づいて前記露光の経路を設定する段階;及び、前記露光を行う段階を含むことを特徴とする、請求項11に記載のスロットダイコーティング方法。 The step of exposing the coated film to ultraviolet (UV) light includes the step of performing a model analysis on the substrate; specifying a drive axis related to the movement of a light source of a slot die coating apparatus by the model analysis; 12. The method according to claim 11, further comprising the steps of: generating parameter values for the generated drive shaft; setting the exposure path based on the generated parameter values; and performing the exposure. Slot die coating method. 前記基板に対するモデルは、前記基板の屈曲変化に基づく次元によって区分されることを特徴とする、請求項18に記載のスロットダイコーティング方法。 The slot die coating method of claim 18, wherein the model for the substrate is divided into dimensions based on bending changes of the substrate. 前記次元は、2D及び2.5Dに区分され、
前記指定された駆動軸は、前記基板に対するモデルの区分によって、(a)2Dの場合に、水平方向軸及び垂直方向軸、(b)2.5Dの場合に、水平方向軸、垂直方向軸及び回転方向の軸に該当することを特徴とする、請求項19に記載のスロットダイコーティング方法。
The dimensions are divided into 2D and 2.5D,
The specified drive axes are determined by the model classification for the substrate: (a) in the case of 2D, a horizontal axis and a vertical axis; (b) in the case of 2.5D, a horizontal axis, a vertical axis, and The slot die coating method according to claim 19, characterized in that the slot die coating method corresponds to an axis in a rotation direction.
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