JP2023526958A - 流体配送モジュール用のシール挿入ツール及び流体配送モジュールへのシールの取り付け方法 - Google Patents

Abstract

流体の流れを制御するための装置は、半導体製造用のプロセス流体を供給するための重要なコンポーネントである。流体の流れを制御するためのこれらの装置は、流れを制御するための装置内にしっかりとパッケージ化された様々な流体フローコンポーネントを必要とする。装置の整備には、現場に設置された装置の狭い場所にシールを取り付けることを可能にする特殊な装置と方法が必要となる。シール挿入ツールを使用することで、シールの設置を容易にし、流れを制御するための装置への流体フローコンポーネントの効率的な組み立てを可能にすることができる。【選択図】図５

Description

（関連出願の相互参照）
本出願は、２０２０年５月１９日に出願された米国仮出願６３／０２６，７８０に基づく優先権を主張するものであり、その全体が参照により本明細書に組み込まれるものとする。

流れ制御は、半導体チップ製造における重要な技術の１つである。流体の流れを制御するための装置は、半導体製造及び他の産業プロセス用のプロセス流体を既知の流量で配送するために重要である。このようなデバイスは、さまざまな用途で流体の流れを測定し、正確に制御するために使用される。この制御は、装置が最小限のシール漏れで迅速かつ確実に組み立てられるコンポーネントを備えていることに依存する。

チップ製造の技術が向上するにつれて、コンポーネントのサイズが縮小し、流れを制御するための装置のパッケージ要件が厳しくなっている。流れを制御するための装置のメンテナンスと修理には、狭い場所にシールとコンポーネントを取り付けることがますます必要になる。メンテナンスの迅速性と容易性を改善するために、改善された方法と機器が望まれる。

本技術は、流体配送モジュール内の流れを制御するための装置内のコンポーネント取り付け位置にシールを取り付ける際に使用するためのシール挿入ツールを対象とする。流れを制御するための装置は、有効に機能させるため漏れがないように組み立てなければならない多数のコンポーネントを有する。このような装置は、半導体チップ製造、ソーラーパネル製造などの広範囲のプロセスで使用することができる。

１つの実施形態において、本発明は、流体源からプロセスチャンバまで延びる流体供給ラインの流体配送モジュールに環状シールを取り付ける方法である。第１に、シール挿入ツールが流体配送モジュールの第１の基板ブロックと結合される。シール挿入ツールには、環状シールが装填されている。シール挿入ツールは、環状シールが第１の基板ブロックの第１の面上に配置された第１の流体ポートの上に配置、位置合わせされて結合される。第２に、シール挿入ツールが作動して、シール挿入ツールが環状シールを下げ、第１の流体ポートの第１の流体開口部を取り囲む第１の流体ポートの第１の環状溝に環状シールの下部を押し込む。この第１及び第２のステップは、流体配送モジュールが流体供給ライン内の原位置にある間に実行される。さらに別の実施において、本発明は、流体配送モジュール内の環状シールを交換する方法である。第１に、流体配送モジュールの第１の基板ブロックから、流体配送モジュールの１つ以上のアンカーとそれぞれ係合する１つ以上のコンポーネントファスナを解放することによって、アクティブフローコンポーネントが第１の基板ブロックから切り離され、それによって、第１の基板ブロックの第１の面上の第１の流体ポートが露出する。第２に、期限切れのシールが取り除かれる。第３に、流体配送モジュールの１つ以上のアンカーと係合する１つ以上のツールファスナを作動させることによって、シール挿入ツールが第１の基板ブロックに連結される。第４に、シール挿入ツールを作動させて、第１の流体ポートと位置合わせされた環状シールが、第１の流体ポートの第１の流体開口部を取り囲む第１の流体ポートの第１の環状溝に押し込まれる。

別の実装では、本発明は、支持構造、支持構造に取り付けられた第１の基板ブロック、及び支持構造に取り付けられた複数のフローコンポーネントを具備する流体配送モジュールに環状シールを取り付ける方法である。第１に、シール挿入ツールに第１の基板ブロックへの環状シールが装填され、この環状シールは、第１の基板ブロックの第１の面上に位置する第１の流体ポートの上に位置合わせされる。第２に、シール挿入ツールが、第１流体ポートの第１流体開口部を取り囲む第１流体ポートの第１環状溝に環状シールの下部を押し込むように、シール挿入ツールを作動させる。第１及び第２のステップは、第１の基板ブロックが流体配送モジュールの支持構造に取り付けられた状態である間に実行される。

さらに別の実施形態では、本発明は、半導体または集積回路を製造する方法である。第１に、流体源からプロセスチャンバまで延びる流体供給ラインを完成させるために、流体配送モジュールの環状シールを上記の方法に従って設置又は交換する。第２に、流体が流体源からプロセスチャンバに流され、プロセスチャンバ内の１つ以上の半導体または集積回路ウェハと接触する。

別の実施では、本発明はシール挿入ツールである。このシール挿入ツールは、本体、本体を流体配送モジュールに結合するための一対のファスナ、本体にスライド可能に取り付けられたエンドエフェクタ、環状シールを受け入れて保持するように構成されたエンドエフェクタ、及びエンドエフェクタに動作可能に結合されたアクチュエータを有し、ユーザがアクチュエータを作動させることで、エンドエフェクタを上昇状態から下降状態に変化させるように構成されている。

本技術の適用可能性のあるさらなる領域は、以下に提供される詳細な説明から明らかになるであろう。詳細な説明及び具体例は、好ましい実施形態を示しているが、説明のみを目的としており、発明の技術的範囲を限定することを意図していないことを理解されたい。

開示された本発明は、詳細な説明及び添付の図面からより完全に理解されるであろう。

流れを制御するための１つ以上の装置を利用する半導体デバイスを製造するためのシステムの概略図である。

図１のプロセスで利用することができる流れを制御するための複数の装置を具備する流体配送モジュールの斜視図である。

１つの流体フローコンポーネントが取り除かれていることを示す図２のモジュールの斜視図である。

一対の基板ブロックに取り付けられたコンポーネントの斜視図である。

図４Ａのコンポーネント及び基板ブロックのうちの１つの、線４Ｂ－４Ｂに沿って切り取った断面図である。

図４Ａのコンポーネントの底面図である。

図４Ａの基板ブロックの上面図である。

流れを制御する装置の基板ブロックにシールを取り付けるためのシール挿入ツールの斜視図である。

図５のシール挿入ツールの正面図である。

線６Ｂ－６Ｂに沿って切り取った、図５のシール挿入ツールの断面図である。

線６Ｃ－６Ｃに沿って切り取った、図５のシール挿入ツールの断面図である。

図５のシール挿入ツールの分解図である。

図５のシール挿入ツールの底面図である。

シールの取り付け方法を示すフローチャートである。

流体配送モジュールの一部の基板ブロックの上に配置されたシール挿入ツール及びシールの斜視図である。

流体配送モジュールの一部の基板ブロックと接触して配置されたシール挿入ツールのエンドエフェクタの斜視図である。

流体配送モジュールの一部の基板ブロックに結合されたシール挿入ツールの斜視図である。

流体配送モジュールの一部の基板ブロックのシールキャビティに押し込まれたシールの斜視図である。

流体配送モジュールの一部の基板ブロックから取り外されたシール挿入ツールの斜視図である。

線１１Ａ－１１Ａに沿って切り取った、図１０Ａの、シール挿入ツール、シール、及び流体配送モジュールの一部の断面図である。

線１１Ｂ－１１Ｂに沿って切り取った、図１０Ｂの、シール挿入ツール、シール、及び流体配送モジュールの一部の断面図である。

線１１Ｃ－１１Ｃに沿って切り取った、図１０Ｃの、シール挿入ツール、シール、及び流体配送モジュールの一部の断面図である。

線１１Ｄ－１１Ｄに沿って切り取った、図１０Ｄの、シール挿入ツール、シール、及び流体配送モジュールの一部の断面図である。

グリッパが取り外されたエンドエフェクタを示す、図５のシール挿入ツールの一部の斜視図である。

グリッパが取り付けられたエンドエフェクタを示す、図１２Ａのシール挿入ツールの一部の斜視図である。

代替的エンドエフェクタを示す、シール挿入ツールの代替的実施形態の一部の斜視図である。

線１３Ｂ－１３Ｂに沿って切り取った、図１３Ａのシール挿入ツールの一部の断面図である。

シール挿入ツール用のトルク制限アタッチメントの斜視図である。

図１４Ａのトルク制限アタッチメントの分解図である。

図１３Ａのシール挿入ツールの上に配置されたトルク制限アタッチメントの斜視図である。

図１３Ａのシール挿入ツールで組み立てられたトルク制限アタッチメントの斜視図である。

すべての図面は概略図であり、必ずしも縮尺どおりではない。本明細書で特に断りのない限り、同じ要素であっても、特定の図では番号が付けられていて、他の図では番号が付けられていないこともある。

本発明の原理による例示的な実施形態の説明は、添付の図面と関連させて読まれることを意図するものであり、図面は、明細書による説明全体の一部と見なすものとする。ここに開示された本発明の実施形態の説明において、方向又は向きへの言及は単に説明上の便宜を図るものであり、本発明の範囲を限定することを意図するものではない。「下方」、「上方」、「水平」、「垂直」、「上に」、「下に」、「上」、「下」、「左」、「右」、「上端」、「底部」などの相対的な用語及びその派生語（たとえば、「水平に」、「下向きに」、「上向きに」など）は、記載されている、又は説明中の図面に示されている向きを指すと解釈すべきである。これらの相対的な用語は、説明の便宜上のものであり、明示的に示されていない限り、装置が特定の向きで構築又は操作されることを必要とすることを意味するものではない。「取り付けられた」、「添付された」、「接続された」、「結合された」、「相互接続された」などの用語は、構造物が介在する構造物を介して直接的又は間接的に互いに固定又は取り付けられている関係を示し、特に明記されていない限り、可動状態の付属品又は関係或いは固定されている付属品又は関係の両方を意味する。さらに、本発明の特徴及び利点は、好ましい実施形態を参照することによって説明される。したがって、本発明は、単独で、又は他の特徴と組み合わせることで存在するかもしれないいくつかの可能な非限定的な特徴の組み合わせを示す好ましい実施形態に明示的に限定されるべきではなく、本発明の範囲は、添付の特許請求の範囲によって定義されるものとする。

本発明は、流量制御装置を形成するために流体フローコンポーネントを取り付ける際に使用するためのシールリテーナに関する。半導体製造は、流体の流れの高性能な制御を要求する業界の１つである。半導体製造技術が進歩するにつれて、消費者は、必要とするスペースを縮小した流れ制御デバイスの必要性を認識するようになった。このように、流量制御装置のパッケージングがこれまで以上に高密度になるにつれて、流量制御装置のサービスとメンテナンスはますます困難になってきている。本発明により、流量制御装置内の流量制御コンポーネントの効率的な組み立てが容易になる。

図１は、例示的な処理システム１０００の概略図を示す。処理システム１０００は、処理チャンバ１３００に流体結合された流れ「添付された」を制御するための複数の装置１００を利用することができる。流れを制御するための複数の装置１００は、１つ以上の異なるプロセス流体を処理チャンバ１３００に供給するために使用される。流体は、複数の流体供給源又は流体源から提供される。集合的に、流れを制御するための複数の装置１００は、流体配送モジュール１４００に属する。任意選択で、処理システム１００で２つ以上の流体配送モジュール１４００を利用することができる。流れを制御するための複数の装置１００は、出口マニホルド４００によって処理チャンバ１３００に接続される。半導体及び集積回路のような物品は、処理チャンバ１３００内で処理することができる。

弁１１００は、流れを制御するための装置１００のそれぞれを処理チャンバ１３００から分離し、流れを制御するための装置１００のそれぞれを選択的に処理チャンバ１３００に接続又は分離することを可能にし、多種多様な異なる処理ステップの実行を容易にする。処理チャンバ１３００は、流れを制御するための複数の装置１００によって供給されるプロセス流体を適用するためのアプリケータを含むことができ、流れを制御するための複数の装置１００によって供給される流体の選択的又は広範な分配を可能にする。任意選択的に、処理チャンバ１３００は、真空チャンバであってもよいし、流れを制御するための複数の装置１００によって供給される流体に物品を浸漬するためのタンク又は槽であってもよい。流体供給ラインは、それぞれの流体供給のそれぞれから処理チャンバ１３００までの流路によって形成される。

さらに、処理システム１０００は、プロセス流体の排出を可能にし、或いは１つ以上の流れを制御するための装置１００のパージを容易にすることで、この流れを制御するための装置１００内でプロセス流体同士の切り替えを可能にするために、弁１１００によって処理チャンバ１３００から隔離された、ドレイン１２００をさらに備えることができる。任意選択的に、ドレイン１２００は、真空源であってもよいし、処理チャンバ１３００から液体を除去するように構成された液体ドレインであってもよい。必要に応じて、流れを制御するための装置１００は、マスフローコントローラ、フロースプリッタ、又は処理システム内のプロセス流体の流れを制御する他のどのようなデバイスであってもよい。さらに、弁１１００は、必要に応じて、流れを制御するための装置１００に組み込むことができる。

処理システム１０００で実行できる処理には、湿式洗浄、フォトリソグラフィ、イオン注入、乾式エッチング、原子層エッチング、湿式エッチング、プラズマ灰化、高速熱アニール、炉アニール、熱酸化、化学気相堆積、原子層堆積、物理蒸着、分子線エピタキシー、レーザーリフトオフ、電気化学蒸着、化学機械研磨、ウェーハテスト、電気メッキ、又は流体を利用するその他の処理が含まれる。

図２及び３は、例示的な流体配送モジュール１４００の概略図を示す。この実施形態では、流体配送モジュール１４００は、複数の入口１０１及び複数の出口１０２を有する流れを制御するための複数の装置１００を有する。いくつかの実施形態では、複数の入口１０１は、複数の出口１０２に１対１で対応してはいない。つまり、複数の入口１０１が単一の出口１０２に結合されてもよく、単一の入口１０１が複数の出口１０２に分割されてもよい。これは、プロセスチャンバ１３００に異なる流体を供給する前に、それらの流体の混合又は組み合わせを成し遂げるために行うことができる。

図から分かるように、一般に、流れを制御するための装置１００のそれぞれを一列に配置し、複数の装置１００を平行な列にならべている。これは、必ずしもそうでなければならないわけではなく、任意のパッケージ構成を使用できる。流体配送モジュール１４００は、基板パネル１４０２を有する。基板パネル１４０２は、流体配送モジュール１４００の支持構造として機能するが、単に組み立てを容易にするために使われてもよい。支持構造の他の構成も考えることができる。複数の基板ブロック１０４は、基板パネル１４０２上に載置され、以下でより詳細に説明するように、対応する流体ポートを有する１つ以上の流体フローコンポーネント２００に流れを導くための流体ポートを内部に含む。流体フローコンポーネント２００は能動コンポーネントと見なすことができるが、基板ブロック１０４は受動コンポーネントと見なすことができる。流体フローコンポーネント２００は、バルブ、フローコントローラ、圧力トランスデューサ、フロー測定センサ、圧力調整器、フローリストリクタ、又はアクチュエータ、その他の既知のいずれかの流れ制御コンポーネントのうちの１つ以上とすることができる。流体フローコンポーネント２００を基板ブロック１０４に結合するために、複数のアンカーが使用される。アンカーは、基板ブロック１０４内のねじ込みインサート又はねじ山、基板パネル１４０２内のねじ込みインサート又はねじ山、ナット、又は流体フローコンポーネント２００の確実な締結を可能にする他の固定機能とすることができる。

図２を図３と比較することによって分かるように、流体フローコンポーネント２００は、図３の流体配送モジュール１４００では取り除かれている。流体フローコンポーネント２００が取り除かれているので、２つの基板ブロック１０４の部分が露出している。コンポーネント取り付け位置１０６は、２つの基板ブロック１０４の部分によって形成されている。コンポーネント取り付け位置１０６は、コンポーネント取り付け位置１０６に取り付けられたコンポーネント２００の寸法に応じて、サイズを変えることができる。したがって、異なるコンポーネント取り付け位置１０６では、同じ基板ブロック１０４の異なる部分を含むことができる。各コンポーネント２００は、流体配送モジュール１４００内にコンポーネント取り付け位置１０６を有する。

図４Ａ～Ｄを参照すると、流体配送モジュール１４００の一部が示されている。具体的には、コンポーネント取り付け位置１０６を形成する１対の基板ブロック１０４に取り付けられた、流体フローコンポーネント２００が示されている。流体フローコンポーネント２００は、コンポーネントファスナ２５０を介して基板ブロック１０４に取り付けられる。コンポーネントファスナ２５０は、位置合わせ及び締結のために使用することができ、流体フローコンポーネント２００を基板ブロック１０４に締結することができる任意の適切なタイプのファスナと交換することができる。コンポーネントファスナ２５０は、ボルト、ねじ、ピン、その他の既知の締結装置などのファスナとすることができる。しかし、他の実施形態では、コンポーネントファスナ２５０は、位置合わせ機構とは別にしてもよい。例えば、流体フローコンポーネント２００を基板ブロック１０４に位置合わせするために、ダウエルピンその他のピンを使用することができる。次に、別個のコンポーネントファスナを使用して、流体フローコンポーネント２００を基板ブロック１０４に締結することができる。図４Ａ～Ｄからわかるように、コンポーネントファスナ２５０は、基板ブロック１０４を通って延びる。

図には示されていないが、図４Ａ～Ｄでは、基板パネル１４０２はアンカーを有する。アンカーは、ねじが切られているか、又はコンポーネントファスナ２５０を受けるねじ付きインサートを有する基板パネル１４０２の部分を含む。したがって、コンポーネントファスナ２５０は、流体フローコンポーネント２００内のファスナ通路２０８、基板ブロック１０４内のファスナ通路１０８を通って延び、基板パネル１４０２内のアンカーに差し込まれる。コンポーネントファスナ２２５０は、大まかな位置合わせを意図しているが、精密な位置合わせは他の形状によって行われる。したがって、ファスナ通路１０８、２０８は、コンポーネントファスナ２５０に正確に合致する必要はない。代替の実施形態では、コンポーネントファスナ２５０は、ファスナ通路１０８内のねじ穴又はインサートを介して基板ブロック１０４に直接取り付けることができる。これらの実施形態では、基板ブロック１０４は、付加的なファスナを介して基板パネル１４０２に別々に取り付けることができる。他の実施形態では、コンポーネントファスナ２５０は、基板パネル１４０２の下にある支持体その他のコンポーネントに取り付けることができる。

図４Ｂに最もよく示されるように、環状シール３００は、流体流れ構成要素２００と基板ブロック１０４との間に配置される。環状シール３００は、円筒状の外側面３０４、外側直立リング壁３０６、内側直立リング壁３０８、及び内側直立リング壁３０８と外側直立リング壁３０６とを接続するフランジ３１０を有する環状構成を有するシールである。外側直立リング壁３０６は上部面３１２を有する。シール３００はまた、上部３１６と下部３１８に分割され、上部３１６はシールの上半分であり、下部３１８はシールの下部である。シール３００はまた、中心を通って流体の通過を可能にする流路３０２を有する。シール３００は、流体フローコンポーネント２００の流体ポート２１０と基板ブロック１０４の流体ポート１１０との間の気密シールをもたらす。基板ブロック１０４の流体ポート１１０のそれぞれは、環状溝１１６を備える。流体フローコンポーネント２００の流体ポート２１０のそれぞれは、環状溝２１６を備える。基板ブロック１０４の流体ポート１１０のそれぞれは、環状溝１１６を備える。

図４Ｃに最もよく示されるように、流体フローコンポーネント２００は、２つの流体ポート２１０を備える底面２１４を備え、一方の流体ポート２１０は入口であり、他方は出口である。流体流路２１２は、一方の流体ポート２１０の流体開口部から他方の流体ポート２１０の流体開口部まで延びる。同様に、図４Ｄにより、基板ブロック１０４はそれぞれ、２つの流体ポート１１０を備える第１の面１１４を備えることが分かる。流体流路１１２は、一方の流体ポート１１０の流体開口部から他方の流体ポート１１０の流体開口部まで延びる。図４Ｂに戻ると、シール３００が流体フローコンポーネント２００と基板ブロック１０４との間に設置されたとき、第１の面１１４と底面２１４との間に間隔ｄがあることが分かる。したがって、シール３００は、流体フローコンポーネント２００と基板ブロック１０４との間で圧縮される。シール３００は、流体フローコンポーネント２００の環状溝２１６及び基板ブロック１０４の環状溝１１６に収まる。組み立て時、第１の面１１４及び底面２１４は、コンポーネントファスナ２５０によって互いに引き寄せられ、第１の面１１４と底面２１４との間の間隔ｄを減少させる。

基板ブロック１０４はそれぞれ、第１の流体ポート１１０と第２の流体ポート１１０とを分割する中央面Ｃ－Ｃを備える。中央面Ｃ－Ｃは、基板ブロック１０４の２つの対向する側面の間の中間点で離間され、第１の面１１４を横切る。第１の面１１４は、部品を取り付けることができる基板ブロック１０４のフットプリントを形成する。しかしながら、流体配送モジュール１４００の構成により、基板ブロック１０４はそれぞれ、２つの異なるコンポーネントを搭載する。中央面Ｃ－Ｃは、基板ブロック１０４のフットプリントをフットプリントの第１の半分１２０とフットプリントの第２の半分１２２とに分割する。流体フローコンポーネント２００は、常にフットプリントの第１及び第２の半分１２０、１２２の一方又は他方に取り付けられ、中央面Ｃ－Ｃをまたぐことはない。

図５～８を参照すると、シール挿入ツール５００が示されている。シール挿入ツール５００は、シール３００を基板ブロック１０４の環状溝１１６に押し込むために使用される。図５で最もよくわかるように、シール挿入ツール５００は、アクチュエータ５０２、エンドエフェクタ５６０、上部本体５１０、下部本体５１２、及び一対のツールファスナ５５０を有する。アクチュエータ５０２は、アレンレンチ、ソケットレンチ、スパナレンチ、又はアクチュエータ５０２を作動させることができる他のツール、のようなツールによって係合することができる、ソケットヘッドキャップスクリューその他のコンポーネントとすることができる。以下に詳細に説明する通り、エンドエフェクタ５６０はシールを保持し、上下に移動してシール３００を環状溝１１６に押し込む。ツールファスナ５５０は、基板ブロック１０４のファスナ通路１０８に嵌合し、コンポーネントファスナ２５０が係合するアンカーと同じアンカーに係合する。ツールファスナ５５０は、ねじ山が付けられていることが好ましいが、シール挿入ツール５００を基板ブロック１０４に固定するために必要などのような方法で機能させてもよい。

図６Ａ～Ｃを参照すると、シール挿入ツール５００の正面図及び２つの断面が示されている。シール挿入ツール５００のアクチュエータ５０２は、駆動軸５３０に取り付け固定される。駆動軸５３０は、アクチュエータ５０２を受け入れる穴５３２を有し、駆動軸５３０をねじ接続によってアクチュエータ５０２に固定する。或いは、アクチュエータ５０２は、駆動軸５３０に接着、溶接、プレス、その他の方法で固定してもよい。いくつかの実施形態では、アクチュエータ５０２は、駆動軸５３０と一体的に形成することもできる。駆動軸５３０はボールねじが好ましいが、アクメ又は台形ねじを有する親ねじ、従来のねじ、又は回転時に直線運動が可能な他の軸であってもよい。駆動軸５３０は、近位端５３１から遠位端５３３まで延び、アクチュエータ５０２用の穴５３２は、近位端５３１に位置している。

駆動軸５３０は、ねじ付きカラー５４０にねじ込み式で係合する。ねじ付きカラー５４０は、この実施ではボールナットであるが、台形ねじ又はアクメねじを有するリードナット、又は三角形プロファイルねじ用の従来のナットであってもよい。あるいは、ねじ付きカラー５４０は、駆動軸５３０とねじ付きカラー５４０の一方が駆動軸５３０とねじ付きカラー５４０の他方に対して回転するとき、駆動軸５３０とねじ付きカラー５４０との間で相対運動を生じさせて、駆動軸５３０と係合することができるどのようなデバイスであってもよい。

入力停止ブロック５２０は、アクチュエータ５０２と駆動軸５３０との間を占有する。入力停止ブロック５２０は、ねじ付きカラー５４０を底面にすることによって、駆動軸５３０の移動を制限するのに役立つ。これにより、取り付け中にシール３００が過度に圧縮されることが防止され、駆動軸５３０からの過剰な力によりアクチュエータの最大保持力を超えてしまうことで基板パネル１４０２内のアンカーが破壊してしまうリスクが最小限に抑えられる。入力停止ブロック５２０は、上部本体５１０のボア５１１にも乗り、アクチュエータ５０２にトルクが加えられたときに駆動軸５３０にかかる曲げ力を低減する。最後に、入力停止ブロック５２０は、シール３００の取り付け前に駆動軸５３０が適切に引き込まれたことを示すために使用できるインジケータ溝５２２を有する。

駆動軸５３０の遠位端５３３において、スナップリング５３４は、駆動軸５３０の環状溝内に嵌合する。スナップリング５３４は、サークリップ、e－クリップ、又はスプリングクリップとしても知られ、環状溝にはめ込まれ、駆動軸５３０の過度の後退を防ぐ。アクチュエータ５０２を回して駆動軸５３０を上方に引っ込めると、スナップリング５３４がねじ付きカラー５４０と係合し、アクチュエータ５０２のさらなる回転を防止する。これにより、駆動軸５３０がねじ付きカラー５４０から過度に引き込まれないことがうまく保証され、シール挿入ツール５００の望んでいない分解が防止される。

駆動軸５３０の遠位端５３３は、摩擦低減コンポーネント５３６と係合する。この場合、摩擦低減コンポーネント５３６はボールベアリングであるが、スラストワッシャその他の摩擦低減コンポーネントであってもよい。摩擦低減コンポーネント５３６は、エンドエフェクタ５６０と係合する。エンドエフェクタ５６０は、プランジャ５７０及びグリッパ５８５を有する。プランジャ５７０は、摩擦低減コンポーネント５３６が入るくぼみ５７１を有する。

プランジャ５７０はまた、プランジャシャフト５７２及びプランジャヘッド５７３を有する。プランジャシャフト５７２は、下部本体５１２に形成されたボア５１６内をスライドする。プランジャヘッド５７３は、端面５７４、作業面５７５、環状壁５７６、くぼみ５７７、及び床５７８を有する。端面５７４は、図６Ａ～Ｃに示すように、プランジャヘッド５７３の最下面である。作業面５７５は、端面５７４の上部内側にある平面である。作業面５７５は、環状壁５７６及び床５７８によって境界付けられたくぼみ５７７を取り囲んでいる。シール３００がエンドエフェクタ５６０内に装填されると、シール３００の外側の直立リング壁３０６の上面３１２が作業面５７５に当接するが、内側の直立リング壁３０８の上面３１４は床５７８から離れている。このようにして、内側直立リング壁３０８は、設置時に変形しない。

グリッパ５８５は、カラー５８６及び複数のグリップフィンガ５８７を有する。カラー５８６は、プランジャシャフト５８６上をスライドするような寸法になっている。グリップフィンガ５８７は、カラー５８６と共に動くようにプランジャシャフト５８６に取り付けられている。縦軸Ａ－Ａは、アクチュエータ５０２、駆動軸５３０、摩擦低減コンポーネント５３６、及びプランジャ５７０を通って延びる。プランジャ５７０及びグリッパ５８５は、シールの設置中に縦軸Ａ－Ａに沿って移動するように強いられる。使用中、グリッパ５８５はシール３００を保持する。グリッパ５８５は、シール挿入ツール５００が基板ブロック１０４上に設置されている間、シール３００が保持されるように、シール３００を捕まえておくように設計されている。以下に詳述するように、グリップフィンガ５８７はそれぞれ、シール３００の円筒状外面３０４及び直立リング外壁３０６と係合する弓形部分及び平坦部分を有する内面５８８を有する。

エンドエフェクタ５６０の回転は、下部本体５１２に形成されたスロット５１５内に設置された回転防止機構５３８によって防止される。回転防止機構５３８は、スロット５１５内で上下にスライドすることができるが、エンドエフェクタ５６０は回転できない。回転防止機構５３８は、プランジャ５７０のプランジャシャフト５７２と係合して回転を防止する。代替的に、回転防止機構５３８は、プランジャ５７０のねじ穴に取り付けられたボルトであってもよい。他の実施形態では、それは、プレス、溶接、接着、又は別の方法で適所に設置されたピンその他のものであってもよい。

回転防止機構５３８とスロット５１５の組み合わせは、エンドエフェクタ５６０の望んでいない取り外しを防止するのにも役立つ。エンドエフェクタ５６０は、駆動軸５３０に対して軸方向の制約を受けない。それどころか、エンドエフェクタ５６０は軸方向に自由に浮動する。駆動軸５３０が後退し、エンドエフェクタ５６０に上向きの力が存在しない場合、摩擦低減コンポーネント５３６と駆動軸５３０との間に空間が生じる場合がある。しかしながら、エンドエフェクタ５６０に力が加えられ、駆動軸５３０が前進して摩擦低減コンポーネント５３６と接触するとすぐに、摩擦低減コンポーネント５３６は駆動軸５３０からエンドエフェクタ５６０に力を伝達する。

図７を参照すると、シール挿入ツール５００の分解図が示されている。説明中のコンポーネントが表示されている。この図で最もよくわかるように、上部本体５１０を下部本体５１２に取り付けるために、付加的なファスナ５１７のセットが使用される。ねじ付きカラー５４０は上部本体５１０と下部本体５１２との間に挟まれているため、ねじ付きカラー５４０はファスナ５１７によって捕捉される。上部本体５１０はまた、ツールが上部本体５１０を通って挿入されてファスナ５５０に到達することできるようにする、複数の通路５１４を有する。ファスナ５５０も、通路５１４の機能によって捕捉されるが、軸方向に自由に後退する。これにより、基板ブロック１０４上へのシール挿入ツール５００の設置がうまい具合に容易になる。

図８を参照すると、シール挿入ツール５００の底面図が示されている。シール挿入ツール５００は、点線で示されるフットプリント５９０を有する。これは、シール挿入ツール５００が基板ブロック１０４上に設置されたときに基板ブロック１０４上で占有する領域である。フットプリント５９０は、基板ブロック１０４のフットプリントの半分未満である。したがって、シール挿入ツール５００は、フットプリントの第１及び第２の半分１２０、１２２のいずれか１つの中に収まり、中央面Ｃ－Ｃを横切らない。フットプリント５９０は、シール挿入ツール５００が流体配送モジュール１４００内の流体フローコンポーネント２００と干渉しないことを保証するために、フットプリントの第１及び第２の半分１２０、１２２のそれぞれよりも小さい。

図９を参照すると、シール挿入ツール５００を使用する方法がより詳細に記載されている。第１に、ユーザは、エンドエフェクタ５６０にシール３００を挿入する。これは、カラー５８６がプランジャ５７０のプランジャヘッド５７３に当接する下降位置にまで、グリッパ５８５を押すことによって行われる。次に、シール３００は、外側直立リング壁３０８の上面３１２がプランジャ５７０の作業面５７５と接触するように、エンドエフェクタ５６０内に押し込まれる。グリッパ５８５は、グリップフィンガ５８７が外側直立リング壁３０８と係合し、シール３００をしっかりと保持した状態で、下降位置に留まる。シールを取り付ける前又は取り付けた後のいずれかで、駆動軸５３０が完全に後退するようにアクチュエータ５０２を回転させ、インジケータ溝５２２が上部本体５１０の上面の上に露出させる。これにより、基板ブロック１０４上へのシール挿入ツール５００の取り付け時に、シールのための十分なクリアランスがあることが保証される。

第２に、シール挿入ツール５００は、ファスナ５５０を、ファスナ通路１０８を通して挿入することができるように、基板ブロック１０４と位置合わせされる。第３に、シール挿入ツール５００が基板ブロック１０４に押し付けられる。グリップフィンガ５８７は、基板ブロック１０４の第１の面に接触するシール挿入ツール５００の第１の部分である。ツールファスナ５５０は、ファスナ通路１０８内にあるが、下にあるアンカーに固定されていない。

第４に、ツールファスナ５５０がアンカーに取り付けられて、シール挿入ツール５００を基板ブロック１０４に固定する。ツールファスナ５５０の設置により、シール挿入ツール５００の底部が基板ブロック１０４の第１の面１１４に接触する。またこのことにより、グリッパ５８５のカラー５８６がプランジャ５７０のプランジャヘッド５７３から離れた上昇位置にグリッパ５８５を押す。下降位置から上昇位置に移行するとき、グリップフィンガ５８７はシール３００を通り過ぎてスライドし、グリップフィンガ５８７の内面５８８がシール３００の円筒形外面３０４と係合する。グリップフィンガ５８７は外側に撓み、プランジャ５７０が基板ブロック１０４の第１の面１１４に対して下方に移動するときにシール３００への圧力を維持する。

第５に、アクチュエータ５０２は、回転によって作動し、環状シール３００の下部３１８を流体ポート１１０の環状溝１１６へと下降させる。アクチュエータ５０２は、アクチュエータ５０２及びエンドエフェクタ５６０が後退している最初の上昇状態から、アクチュエータ５０２及びエンドエフェクタ５６０が伸長している下降状態に移行する。エンドエフェクタ５６０が下降状態に移行すると、シール３００は、作業面５７５と直立リング壁３０６の上面３１２とが係合することで環状溝１１６に押し込まれる。このプロセスでは、グリップフィンガ５８７の内面５８８がプランジャヘッド５７３と係合し、カム作用を介してさらに係合し、アクチュエータ５０２が作動してシール３００を環状溝１１６に挿入するときにシールを解放できるようにする。第６に、アクチュエータ５０２が緩められ、ツールファスナ５５０が取り外される。最後に、シール挿入ツール５００は、基板取り付けブロック１０４から取り外される。

図１０Ａ～１１Ｄは、シール挿入ツール５００の使用方法をさらに詳細に示している。図１０Ａ及び１１Ａにおいて、シール挿入ツール５００は、シール３００がエンドエフェクタ５６０に挿入された状態で、基板ブロック１０４の上方にある。ツールファスナ５５０は、シール挿入ツールの設置準備のために、基板ブロックのファスナ通路１０８に挿入される。ツールファスナ５５０の締結前に、シールが環状溝１１６に押し込まれないように、アクチュエータ５０２が後退していることに留意することも重要である。これは、図示のように露出している入力停止ブロック５２０のインジケータ溝５２２によってユーザに示される。図示の通り、グリップフィンガ５８７の内面５８８は、シール３００の直立リング壁３０６の縁部と係合する。グリッパ５８５は、カラー５８６がプランジャヘッド５７３に接触した状態で下降位置にある。

図１０Ｂ及び１１Ｂには、基板ブロック１０４の上に配置されたシール挿入ツール５００が示されている。グリップフィンガ５８７は、基板ブロックの第１の面１１４と接触する。グリッパ５８５は、カラー５８６がプランジャヘッド５７３に接触した状態で下降位置に留まっている。グリップフィンガ５８７の内面５８８は、シール３００の直立リング壁３０６の縁部と係合する。

図１０Ｃ及び１１Ｃを参照には、基板ブロック１０４の第１の面１１４に取り付けられたシール挿入ツール５００が示されている。挿入ツール５００を基板ブロック１０４に固定するツールファスナ５５０が設置されている。グリップフィンガ５８７は、基板ブロックの第１の面１１４と接触したままである。ツールファスナ５５０が基板ブロック１０４の第１の面１１４の反対方向にシール挿入ツール５００を引っ張っているので、グリッパ５８５は、部分的に上昇した位置にある。カラー５８６はもはやプランジャヘッド５７３に触れていない。シール挿入ツール５００が基板ブロック１０４に取り付けられたときにグリッパ５８５が静止したままであるため、カラー５８６はプランジャシャフト５７２を上方に動かすことで、プランジャ５７０を基板ブロック１０４に向かって下向きに移動させる。グリップフィンガ５８７の内面５８８は、シール３００の円筒形外面３０４と係合する。

図１０Ｄ及び１１Ｄにおいて、シール挿入ツール５００のアクチュエータ５０２が完全に作動して、シール３００を基板ブロック１０４内の所定の位置に押し込む。具体的には、エンドエフェクタ５６０を上昇状態から下降状態に移動する。下降した状態では、入力停止ブロック５２０のインジケータ溝５２２はもはや見えない。シール３００の下部３１８は環状溝１１６に押し込まれ、グリッパ５８５は上昇状態に完全に移行する。上昇状態では、グリップフィンガ５８７はもはやシール３００と係合しない。その代わりに、グリップフィンガ５８７の内面５８８は、図示のようにプランジャヘッド５７３と係合する。これにより、シール３００がプランジャ５７０と共に引っ込められることを回避し、シール３００が所定の位置に留まることが保証される。図１０Ｅは、アクチュエータ５０２が引き込まれ、ツールファスナ５００がそれぞれのアンカーから取り外された後のシールリテーナ５００を示している。シール３００は基板ブロック１０４内に留まり、設置準備完了となる。

シール挿入ツール５００を用いてシール３００を取り付ける前に、有効期限が切れたシール３００を取り除き、環状溝１１６及び第１の面１１４を注意深く洗浄することが重要である。言うまでもなく、これは、整備が必要な流体流れ構成要素２００を取り外した後に行われる。例えば、典型的なサービス手順では、流体フローコンポーネント２００を取り外し、期限切れのシール３００を取り外し、基板ブロック１０４を完全に洗浄して新しいシール３００の取り付けの準備をし、上述のようにシール３００を取り付け、そして、流体フローコンポーネント２００を再び取り付ける。

図１２Ａ及び１２Ｂは、シール挿入ツール５００の一部をより詳細に示す図である。見ればわかるように、図１２Ａは、グリッパ５８５のないプランジャ５７０を示す。図１２Ｂは、シール３００と共に、所定の位置にあるグリッパ５８５を示す。

図１３Ａ及び１３Ｂは、シール挿入ツール６００の代替的実施形態を示す。シール挿入ツール６００は、プランジャヘッド６７３及びプランジャシャフト６７２を有するエンドエフェクタ６６０を有する。ただし、このシール挿入ツール６００では、シール挿入ツール５００のグリッパを無くしている。シール挿入ツール６００のエンドエフェクタ６６０は、プランジャヘッド６７３の最下面を形成する端面６７４を有する。エンドエフェクタ６６０はまた、外側直立リング壁３０６と係合する作業面６７５、くぼみ６７７、床６７８、及び環状壁６７６を有する。くぼみ６７７、床６７８、及び環状壁６７６は、エンドエフェクタ６６０と内側直立リング壁３０８との間の接触を回避するような働きを行う。内側直立リング壁３０８の上面３１４は、床６７８から離され、シール３００の望んでいない変形を防止する。

シール挿入ツール６００は、シール挿入ツール５００と実質的に同一の機能を有するが、設置時にシール３００を把持しない。その代わりに、ユーザは、基板ブロック１０４にシール３００を設置し、次に、シール挿入ツール６００を取り付ける。そして、アクチュエータ５０２を作動させて、シール３００を着座させる。

図１４Ａ～Ｄを参照すると、シール挿入ツール用のトルク制限装置の実施形態が示されている。本実施形態では、前に開示されたシール挿入ツール５００、６００の１つをトルクモジュール１０００と組み合わせるので、別個のトルクドライバが不要となる。図１４Ａ～Ｄでは、シール挿入ツール６００が示されているが、いずれの実施形態もトルクモジュール１０００と共に利用することができる。トルクモジュール１０００は、シール挿入ツール５００の上部と係合することができ、アドオンコンポーネントとしての役割を果たすことができる。図示のように、トルクモジュール１０００は、ユーザが操作するためのハンドル１００２と、つまみねじ１００３と、ツールファスナ５５０と係合するシャフト１００５とを有する。

図１４Ｃ及び１４Ｄを参照すると、トルクモジュール１０００は、シール挿入ツール６００に直接取り付けられる。トルクモジュール１０００は、上部本体１０１０内に収容されたトルクリミッタ１００４及び下部本体１０１１を有する。トルクリミッタ１００４は、摩擦クラッチベースのデバイス又は任意の他の既知のトルク制限デバイスとすることができる。トルクモジュール１０００は、ボルト、磁石、接着剤、スナップインターフェース、その他の既知の方法によって取り付けることができる。

現時点での本発明を実施する好ましいモードを含む特定の例に関して本発明を説明してきたが、当業者であれば、上述のシステム及び技術の多数の変形及び置換があることを理解するであろう。他の実施形態を活用することができ、本発明の範囲から逸脱することなく構造的及び機能的な変更を行うことができることを理解すべきである。したがって、本発明の精神及び範囲は、添付の特許請求の範囲に記載されているように広く解釈されるべきである。

Claims (40)

1. 流体源からプロセスチャンバまで延びる流体供給ラインの流体配送モジュールに環状シールを取り付ける方法であって、前記方法は、
   ａ）環状シールが装填されたシール挿入ツールを前記流体配送モジュールの第１の基板ブロックに結合させ、前記環状シールを、前記第１の基板ブロックの第１の面上に位置する第１の流体ポートの上に位置合わせさせるステップと、
   ｂ）前記シール挿入ツールを作動させ、前記シール挿入ツールが前記環状シールを下降させ前記環状シールの下部を前記第１の流体ポートの第１の流体開口部を取り囲む前記第１の流体ポートの第１の環状溝に押し込むステップと、
   を具備し、
   ステップａ）及びステップｂ）は、前記流体配送モジュールが前記流体供給ライン内の原位置にある間に実行されることを特徴とする方法。
2. ステップａ）に先立ち、前記流体配送モジュールが前記流体供給ライン内の原位置にある間に、前記方法はさらに、
   第１のアクティブフローコンポーネントを前記流体配送モジュールの前記第１の基板ブロックから切り離し、前記第１の基板ブロックの第１の面上の前記第１の流体ポートを露出させるステップであって、前記第１の基板ブロックは前記第１の流体ポートの前記第１の流体開口部から前記第１の基板ブロック上の第２の流体ポートの第２の流体開口部へと延びることを特徴とする、ステップと、
   期限切れのシールを取り除くステップと、
   を具備することを特徴とする請求項１に記載の方法。
3. 前記アクティブフローコンポーネントは、底面及び前記底面上に第１のコンポーネントを有するコンポーネントブロックを具備し、前記アクティブフローコンポーネントは前記流体配送モジュールの前記第１の基板ブロックと結合し、前記底面の面積部は前記第１の基板ブロックの前記第１の面にのしかかって向かい合い、前記シール挿入ツールは、前記コンポーネントブロックの前記底面の面積部内に収まるフットプリントを有することを特徴とする請求項２に記載の方法。
4. ｄ）前記環状シールを前記第１の環状溝に残したまま、前記第１の流体ポートを露出させるために前記第１の基板ブロックから前記シール挿入ツールを切り離すステップと、
   ｅ）前記環状シールの上部を前記第１のアクティブフローコンポーネントのコンポーネントブロックの底面に位置するコンポーネント流体ポートのコンポーネント環状溝に押し込み、前記環状シールにより前記第１の流体ポートの前記第１の流体開口部で前記コンポーネント流体ポートのコンポーネント流体開口部を機密シールするように、前記第１のアクティブフローコンポーネントを前記第１の基板ブロックに結合するステップと、
   をさらに具備することを特徴とする請求項２に記載の方法。
5. 前記流体配送モジュールは複数のアンカーを具備し、ステップａ）の期間、前記シール挿入ツールは前記第１の基板ブロックと結合しており、前記アンカーは、ステップｅ）において、前記第１のアクティブフローコンポーネントを前記第１の基板ブロックに結合させるために使うアンカーと同じアンカーであることを特徴とする請求項４に記載の方法。
6. ステップａ）に従って前記シール挿入ツールが前記流体配送モジュールの前記第１の基板ブロックに結合されるとき、前記シール挿入ツールのフットプリントが前記第１の基板ブロックのフットプリント内に収まることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の方法。
7. 第２の流体開口部を有する第２の流体ポート及び前記第１の流体開口部と前記第２の流体開口部との間に延びる第１の流体通路を具備する前記第１の基板ブロックと、
   前記第１の基板ブロックに結合され前記第２の流体ポートに流体結合された第２のアクティブフローコンポーネントを具備する前記流体配送モジュールと、
   をさらに具備し、
   ステップａ）及びステップｂ）を実施中、前記第２のアクティブフローコンポーネントは、前記第２の流体ポートに流体結合されたままであることを特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の方法。
8. 前記第２の流体ポートは前記第１の面上にあることを特徴とする請求項７に記載の方法。
9. 前記シール挿入ツールの本体内のファスナ通路を通って延びる一対のツールファスナを具備する前記シール挿入ツールをさらに具備し、
   ステップａ）は、前記第１の基板ブロック又は前記第１の基板ブロックが取り付けられた前記流体配送モジュールの支持構造のいずれかに配置された、対応するアンカーの対と係合するように、前記一対のツールファスナを作動させるステップを具備することを特徴とする請求項１乃至請求項８のいずれか１項に記載の方法。
10. 前記一対のツールファスナはねじ込みツールファスナであり、前記一対のアンカーはねじ込みアンカーであり、ステップａ）は、前記一対のねじ込みツールファスナを回転させ、前記第１の基板ブロックが取り付けられた前記流体配送モジュールの前記支持構造内に配置された前記一対のねじ込みアンカーを係合させるステップを具備し、前記一対のねじ込みツールファスナは、前記第１の基板ブロックのファスナ通路を通って延びることを特徴とする請求項９に記載の方法。
11. ステップａ）及びステップｂ）の期間、流体配送モジュールの第１の基板ブロック及び付加的コンポーネントが、流体配送モジュールの支持構造に取り付けられたままであることを特徴とする請求項１乃至請求項１０のいずれか１項に記載の方法。
12. ステップｂ）は、
    ｂ－１）前記シール挿入ツールのアクチュエータを回転させ、それによって、環状シールが装填されている前記シール挿入ツールのエンドエフェクタを上昇状態から下降状態へと移動させるステップをさらに具備することを特徴とする請求項１乃至請求項１１のいずれか１項に記載の方法。
13. 前記上昇状態において、前記環状シールは前記エンドエフェクタによって係合されて保持され、前記下降状態において、前記エンドエフェクタは前記環状シールを前記第１の環状溝に押し込み、前記環状シールを解放することを特徴とする請求項１２に記載の方法。
14. 前記下降状態において、前記エンドエフェクタのプランジャの端面が前記第１の基板ブロックの前記第１の面に接触することを特徴とする請求項１３に記載の方法。
15. 前記エンドエフェクタは、プランジャシャフトと前記プランジャシャフトの遠位端に配置されたプランジャヘッドとを有するプランジャにスライド可能に取り付けられたグリッパを具備し、前記グリッパは前記プランジャシャフトの周りにスライド可能に取り付けられた複数のグリップフィンガを具備することを特徴とする請求項１２又は請求項１３に記載の方法。
16. ステップａ）に先立ち、前記環状シールを前記複数のグリップフィンガの間に挿入することによって前記環状シールを前記エンドエフェクタに装填し、前記グリップフィンガが前記環状シールに半径方向内向きの力を加えて前記環状シールを前記エンドエフェクタに係合させて保持し、前記グリッパが前記エンドエフェクタに対して下降位置になるようにするステップをさらに具備し、
    前記シール挿入ツールが前記第１の基板ブロックに結合されているとき、前記グリップフィンガは前記第１の基板ブロックの前記第１の面に接触するか又はその上にあり、
    ステップｂ）は、前記シール挿入ツールの前記アクチュエータを回転させ、それによって前記エンドエフェクタの前記プランジャを下降させ、前記プランジャ前記グリッパに対してスライドし、前記環状シールの下部を前記第１の環状溝に押し込むステップを具備することを特徴とする請求項１５に記載の方法。
17. ステップｂ）の期間、前記グリップフィンガは、前記グリップフィンガの内面と前記環状シール又は前記プランジャのうちの少なくとも１つとの間のカム作用によって、半径方向外側に撓められることを特徴とする請求項１６に記載の方法。
18. 前記環状シールは、外側の直立リング壁、内側の直立リング壁、及び前記内側の直立リング壁の前記外側の直立リング壁との間に延びるフランジを具備し、前記シール挿入ツールは、ステップｂ）の実行中に、前記内側の直立リング壁に垂直方向の圧縮力を及ぼさないことを特徴とする請求項１乃至請求項１７のいずれか１項に記載の方法。
19. ステップｂ）の実行中に、前記シール挿入ツールは前記内側の直立リング壁に接触しないことを特徴とする、請求項１８に記載の方法。
20. 流体配送モジュール内の環状シールを交換する方法であって、前記方法は、
    ａ）前記流体配送モジュールの１つ以上のアンカーとそれぞれ係合する１つ以上のコンポーネントファスナを解放することによって、前記流体配送モジュールの第１の基板ブロックから第１のアクティブフローコンポーネントを切り離し、それにより前記第１の基板ブロックの第１の面上に第１の流体ポートを露出させるステップと、
    ｂ）期限切れのシールを取り除くステップと、
    ｃ）１つ以上のツールファスナを作動させて前記流体配送モジュールの前記１つ以上のアンカーと係合させることにより、シール挿入ツールを前記第１の基板ブロックに結合するステップと、
    ｄ）前記第１の流体ポートと位置合わせされた環状シールが、前記第１の流体ポートの第１の流体開口部を取り囲む前記第１の流体ポートの第１の環状溝に押し込まれるように、シール挿入ツールを作動させるステップと、
    を具備する方法。
21. ｅ）前記環状シールを前記第１の環状溝に残したまま、前記第１の流体ポートを露出させるために前記第１の基板ブロックから前記シール挿入ツールを切り離すステップと、
    ｆ）前記１つ以上のコンポーネントファスナを作動させて前記１つ以上のアンカーと係合させることにより、前記第１のアクティブフローコンポーネントを前記第１の基板ブロックに結合させ、それにより前記環状シールの上部を、前記第１のアクティブフローコンポーネントのコンポーネントブロックの底面上に配置されたコンポーネント流体ポートのコンポーネント環状溝に押し込み、前記環状シールで、前記コンポーネント流体ポートのコンポーネント流体開口部に対して前記第１の流体ポートの前記第１の流体開口部を気密シールするステップと、
    をさらに具備することを特徴とする請求項２０に記載の方法。
22. ステップａ）からステップｆ）までを実行中、前記流体配送モジュールは、流体源からプロセスチャンバまで延びる流体供給ライン内の原位置にとどまっていることを特徴とする請求項２１に記載の方法。
23. ステップａ）からステップｄ）までを実行中、前記流体配送モジュールは、流体源からプロセスチャンバまで延びる流体供給ライン内の原位置にとどまっていることを特徴とする請求項２０又は請求項２１に記載の方法。
24. ステップａ）に先立ち、前記流体配送モジュールは、前記第１の基板ブロック、前記第１のアクティブフローコンポーネント、及び複数の他の流体フローコンポーネントが取り付けられ互いに流体的に連通する支持構造をさらに具備し、ステップａ）が完了しても、前記第１の基板ブロックは支持構造に取り付けられた状態を維持することを特徴とする請求項２０乃至請求項２３のいずれか１項に記載の方法。
25. 前記第１の基板ブロックは、前記第１の基板ブロックの前記第１の面上にある第２の流体ポートであって、第２の流体開口部を有する前記第２の流体ポートと、前記第１の流体開口部と前記第２の流体開口部との間に延びる第１の流体通路とを具備し、前記第１の流体ポート及び前記第２の流体ポートは、前記第１の面を横断し、前記第１の基板ブロックのフットプリントをフットプリントの第１の半分とフットプリントの第２の半分とに分割する中央面の両側に位置し、前記シール挿入ツールのフットプリントは、フットプリントの第１の半分内にあることを特徴とする請求項２０乃至請求項２４のいずれか１項に記載の方法。
26. 前記流体配送モジュールは、前記第１の基板ブロックに結合され、前記第２の流体ポートに流体的に結合された第２のアクティブフローコンポーネントを具備し、ステップａ）及びステップｄ）を実行中、前記第２のアクティブフローコンポーネントは前記第２の流体ポートに流体的に結合された状態を維持することを特徴とする請求項２５に記載の方法。
27. 支持構造、前記支持構造に取り付けられた第１の基板ブロック、及び前記支持構造に取り付けられた複数のフローコンポーネントを具備する流体配送モジュールに環状シールを取り付ける方法であって、前記方法は、
    ａ）環状シールが装填されたシール挿入ツールを前記第１の基板ブロックに結合するステップであって、前記環状シールは、前記第１の基板ブロックの第１の面上に配置された第１の流体ポートの上に位置合わせされて配置さるステップと、
    ｂ）前記シール挿入ツールを作動させて、前記シール挿入ツールが前記第１の流体ポートの第１の流体開口部を取り囲む、前記第１の流体ポートの第１の環状溝に、前記環状シールの下部を押し込むステップと、
    を具備し、
    ステップａ）及びステップｂ）は、前記第１の基板ブロックが前記流体配送モジュールの前記支持構造に取り付けられた状態を維持している間に実行されることを特徴とする方法。
28. 半導体又は集積回路を製造する方法であって、
    請求項１乃至請求項２７のいずれか１項に記載の方法により流体配送モジュールの環状シールを設置又は交換して、流体源からプロセスチャンバまで延びる流体供給ラインを完成させるステップと、
    前記流体源から前記プロセスチャンバに流体を流して、前記プロセスチャンバ内の１つ以上の半導体又は集積回路ウェハと接触させるステップと、
    を具備することを特徴とする方法。
29. 本体と、
    前記本体を流体配送モジュールに結合するための一対のファスナと、
    前記本体にスライド可能に取り付けられたエンドエフェクタであって、前記エンドエフェクタは、環状シールを受け入れて保持するように構成されたエンドエフェクタと、
    前記エンドエフェクタに動作可能に結合され、ユーザがアクチュエータを作動させることで、前記エンドエフェクタを上昇状態から下降状態に変化させるよう構成されている、アクチュエータと、
    を具備するシール挿入ツール。
30. 前記アクチュエータは、
    ユーザ係合コンポーネントと、
    前記ユーザ係合コンポーネントの回転により対応するねじ付き駆動軸の回転を引き起こすように、前記ユーザ係合コンポーネントに回転不能に結合されたねじ付き駆動軸と、
    前記本体に取り付けられ固定されているねじ付きカラーであって、前記ねじ付き駆動軸の回転によってねじ付き駆動軸が前記本体及び前記ねじ付きカラーに対して軸方向に移動するように、前記ねじ付き駆動軸が前記ねじ付きカラーとねじ係合している、ねじ付きカラーと、
    をさらに具備することを特徴とする請求項２９に記載のシール挿入ツール。
31. 前記ねじ付きカラーがボールナットを具備し、前記ねじ付き駆動軸がボールねじを具備することを特徴とする請求項３０に記載のシール挿入ツール。
32. 前記エンドエフェクタはプランジャシャフトとプランジャヘッドとを具備し、前記プランジャシャフトは軸方向に位置合わせされ、前記ねじ付き駆動軸と動作可能に協働して、前記ねじ付き駆動軸の移動により前記エンドエフェクタを前記上昇状態 から前記下降状態に動かすことを特徴とする請求項３０又は請求項３１に記載のシール挿入ツール。
33. 前記ねじ付き駆動軸の遠位端と前記プランジャシャフトの近位端との間に配置された摩擦低減コンポーネントをさらに具備することを特徴とする請求項３２に記載のシール挿入ツール。
34. 前記摩擦低減コンポーネントはボールベアリングを具備することを特徴とする請求項３３に記載のシール挿入ツール。
35. 前記プランジャシャフトの前記近位端は、前記ボールベアリングが入るくぼみを具備することを特徴とする請求項３４に記載のシール挿入ツール。
36. 前記エンドエフェクタは前記本体に対して相対的回転ができないことを特徴とする請求項２９乃至請求項３５のいずれか１項に記載のシール挿入ツール。
37. 前記エンドエフェクタは、床を有する中央くぼみを取り囲む環状壁を有するプランジャヘッドを具備し、前記環状壁は作業面で終わり、作業面と床は互いに軸方向にずれていることを特徴とする請求項２９乃至請求項３５のいずれか１項に記載のシール挿入ツール。
38. 前記エンドエフェクタに装填された環状シールをさらに具備し、前記環状シールは、外側直立リング壁、内側直立リング壁、及び前記内側直立リング壁と前記外側直立リング壁との間に延びるフランジを具備し、外側直立リング壁の上面は前記作業面と接触し、前記内側直立リング壁の上部は中央のくぼみに突出し、前記床と前記内側直立リング壁の上面との間にギャップが存在することを特徴とする請求項３７に記載のシール挿入ツール。
39. 前記エンドエフェクタは、プランジャシャフトと、前記プランジャシャフトの遠位端に配置されたプランジャヘッドとを有するプランジャにスライド可能に取り付けられたグリッパを具備し、前記グリッパは、前記プランジャシャフトの周りにスライド可能に取り付けられたカラーに取り付けられた半径方向に撓むことができる複数のグリップフィンガを具備することを特徴とする請求項２９乃至請求項３８のいずれか１項に記載のシール挿入ツール。
40. 前記アクチュエータが作動することにより、前記エンドエフェクタの前記プランジャが下降し、前記グリッパに対してスライドすることを特徴とする請求項３９に記載のシール挿入ツール。

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