JP2023521863A - 太陽電池用金属電極、その製造方法及びマスク - Google Patents
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Abstract
Description
所望の電極形状に従って高分子薄膜をレーザーでエッチングし、マスクを製造するステップと、
マスクを基板上に固定して、物理蒸着(PVD)方法によってマスク上に金属膜をめっきし、基板上に所望の形状の金属電極又は電極シード層を成長させるステップとを含む太陽電池用金属電極の製造方法を提供する。
(1)高分子薄膜の材質はポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリオレフィン薄膜(PO)、ポリイミド(PI)、ポリ塩化ビニル(PVC)のうちの1種又は複数種であること、及び/又は
(2)高分子薄膜は粘着性を有すること、のうちの1つ又は複数の特徴を有してもよい。
1、作製コストは低い。本発明に使用されるマスクでは、レーザー製造プロセス及びPVDプロセスのコストは低い。
2、製造された電極の導電率は高い。使用される金属の導電率は銀ペーストの導電率よりも高い。
3、遮光面積はより小さい。レーザーで製造されたスリットは、1~20μm、さらに1~10μmと細くされてもよく、従来の印刷プロセス(30μm~80μm)によるものよりも細く、遮光面積がより小さく、効率がより高く、そして、正確で制御可能である。
本実施例は、以下のステップ(1)~(5)を含むHIT太陽電池のフィンガー電極の製造方法を提供する。
(1)レーザーによって高分子薄膜マスクを製造し、具体的には、厚さが30μmであるPET又はPIプラスチップ薄膜において間隔が2mm、幅が20μmであるスリットをレーザーによってカットし、図1に示すPET又はPI薄膜マスク10を得る。スリットの形状は必要に応じて決定される。
(2)図2に示すように、マスク10を透明導電膜が製造されたHIT太陽電池セル20の上に両面テープで固定し、ただし、両面テープはステップ(1)の前記スリットを避けなければならない。
(3)物理蒸着(PVD)方法によって膜をめっきして、金属電極を製造し、具体的には、まず、マグネトロンスパッタリング方法によって厚さが20nmであるニッケルをめっきした後、蒸発方法によって厚さが8μmであるアルミニウムをめっきする。
(4)PET又はPI薄膜を剥離すると、間隔が2mm、線幅が20μm、高さが8μmである電極グリッド線を得る。
(5)電池セルの他方の面にステップ(1)~(4)を繰り返して、他方の面の電極グリッド線を得る。
(1)コストの比較
従来技術におけるプロセス:フィンガーの銀ペーストの使用量が92~125mgであり、銀ペーストの単価が4800~5500CNY/kgであり、コストが約0.5CNY/枚であり;
本発明の技術:厚さが30μmであるPET膜のコストは、0.1CNY/枚(厚さが30μmであるPI膜のコストが0.12CNY/枚であり、注:PIは高温に強く、変形が小さく、繰り返して使用可能であり、5回で計算する)であり、Alは、使用量(損耗も含める)が2.8gであり、1.7CNY/kgであり、0.05CNY/枚であり、接着剤とレーザーとの合計は0.03CNY/枚であり、全体の合計は0.18CNY/枚(又はPI膜の場合は0.20CNY/枚)である。
(2)遮光面積の比較
従来技術におけるプロセス:フィンガーが40μmであり、間隔が1.7mmであり、遮光率が2.35%であり;
本発明の技術:フィンガーが20μmであり、間隔が2.0mmであり、遮光率が1.0%である。
本実施例は、以下のステップ(1)~(5)を含むHIT太陽電池用電極の製造方法を提供する。
(1)レーザーによって高分子薄膜マスクを製造し、具体的には、厚さが35μmであって、自体に粘性を持つPOプラスチップ薄膜において、図3に示すパターンを持つ、電極に所望のスリットをレーザーによってカットし、図3に示すようなPO薄膜マスク30を得る。
(2)図4に示すように、マスク30を透明導電膜が製造されたHIT太陽電池セル40上に粘着する。
(3)物理蒸着(PVD)方法によって膜をめっきして、金属電極を製造し、具体的には、まず、マグネトロンスパッタリング方法によって厚さが20nmであるニッケルをめっきした後、蒸発方法によって厚さが8μmであるアルミニウムをめっきする。
(4)PO薄膜を剥離すると、間隔が2mm、線幅が20μm、高さが8μmであるフィンガー、及び、33mmごとに幅が300um、高さが8umであるバスバー1本を得る。
(5)電池セルの他方の面にステップ(1)~(4)を繰り返して、他方の面の電極グリッド線を得る。
本実施例の電極は、銀ペーストをスクリーン印刷するプロセスよりも遥かに低価であり、また、20μmのフィンガー、300μmのバスバーは、全て従来技術によるグリッド線よりも狭く、これにより、太陽光への遮断を減らして、太陽電池の転化効率を向上させる。
(1)コストの比較
従来技術におけるプロセス:フィンガーの銀ペーストの使用量が165~180mgであり、銀ペーストの単価が4800~5500CNY/kgであり、コストが約0.85CNY/枚であり;
本発明技術:厚さが35μmであるPO膜のコストは、0.18CNY/枚であり、Alは、使用量(損耗も含める)が2.8gであり、1.7CNY/kgであり、0.05CNY/枚であり、レーザーは0.01CNY/枚であり、全体の合計は0.26CNY/枚である。
(2)遮光面積の比較
従来技術におけるプロセス(5BB):フィンガーが40μmであり、間隔が1.7mmであり、バスバーが0.7mmであり、間隔が33mmであり、遮光率が4.5%であり;
本発明の技術:フィンガーが20μmであり、間隔が2.0mmであり、バスバーが0.3mmであり、間隔が33mmであり、遮光率が1.9%である。
本実施例は、以下のステップ(1)~(5)を含む薄膜太陽電池(テルル化カドミウム太陽電池、銅・インジウム・ガリウム・セレン太陽電池、ペロブスカイト太陽電池)用電極の製造方法を提供する。
(1)レーザーによって高分子薄膜マスクを製造し、具体的には、厚さが65μmであって、自体に粘性を持つPVCプラスチップ薄膜において、間隔が4mmであり、幅が80μmであり、図5に示すパターンのスリットをレーザーによってカットし、図5に示すPVC薄膜マスク50を得る。
(2)図6に示すように、マスク50を厚さが100μmであるPET薄膜60上に粘着する。
(3)物理蒸着(PVD)方法によって膜をめっきして、金属電極を製造し、具体的には、まず、マグネトロンスパッタリング方法によって厚さが20nmであるニッケルをめっきした後、蒸発方法によって厚さが2μmである銅をめっきし、次に、マグネトロンスパッタリング方法によって厚さが20nmであるニッケルをめっきする。
(4)PVC薄膜を剥離すると、PET膜上に成長させた間隔が4mm、線幅が80μm、高さが2μmである電極を得る。
(5)ステップ(4)で得られたPET薄膜60上に成長させた電極70を、電極70の一方側が太陽電池に面するように、透明導電膜層がめっきされた薄膜太陽電池80上に貼り付ける。そうすると、図7に示すように、電極の製造を完了する。後続のラミネートなどのプロセスによって、電極は電池の表面に貼り付けられる。
a.電極をPET薄膜に成長させた後、逆様にして電池の表面に貼り付けることによって、電極プロセスの不良によるモジュール全体の廃棄を削減することができ、特に薄膜太陽電池用電極の製造に適している。結晶シリコン太陽電池の長さと幅の両方が166mmであるサイズに対して、薄膜太陽電池は、サイズが600mm、幅が1200mmであり、又はそれよりも大きい基板上に電極を製造する必要があり、サイズが大きいほど、製造の歩留まりが低い。
b.コストは銀ペーストをスクリーン印刷するプロセスのコストよりも低い。
まず、電極シード層を作製し、次に、非真空プロセスによって電極を製造する。
本実施例は、まず、電極シード層を作製し、次に、非真空プロセスによって電極を製造する方法を提供し、当該方法はステップ(1)~(6)を含む。
(1)レーザーによって高分子薄膜マスクを製造し、具体的には、厚さが65μmであって、自体に粘性を持つPVCプラスチップ薄膜において、間隔が2mmであり、幅が30μmであり、図8に示すパターンのスリットをレーザーによってカットし、図8に示すPVC薄膜マスク90を得る。
(2)図9に示すように、マスク90を厚さが100μmであるPO薄膜100上に粘着する。
(3)物理蒸着(PVD)方法によって膜をめっきし、金属電極シード層を製造し、具体的には、マグネトロンスパッタリング方法によって厚さが200nmである銅をめっきする。
(4)PVC薄膜を剥離すると、PO膜上に成長させた間隔が2mm、線幅が30μm、高さが200nmである電極シード層を得る。
(5)電気めっきプロセスによってステップ(4)で得られた電極シード層上に膜を3μm高さまでめっきし続ける。
(6)ステップ(5)で得られたPO薄膜100上に成長させた電極110を、電極110の一方側が太陽電池に面するように、透明導電膜層がめっきされた薄膜太陽電池又はHIT電池120上に貼り付ける。そうすると電極を製造する。図10に示すように、後続のラミネートなどのプロセスによって、電極は電池の表面に貼り付けられる。
a.非真空電気めっきプロセスは低温プロセスであり、電極の成長を効率的に実施できる。
b.コストは銀ペーストをスクリーン印刷するプロセスのコストよりも低い。
Claims (15)
- 所望の電極形状に従って高分子薄膜をレーザーでエッチングし、マスクを製造するステップと、
マスクを基板上に固定して、物理蒸着方法によってマスク上に金属膜をめっきし、基板上に所望の形状の金属電極又は電極シード層を成長させるステップと、を含む太陽電池用金属電極の製造方法。 - 前記高分子薄膜の厚さが1μm~500μmである請求項1に記載の製造方法。
- マスクを製造する工程は、超高速レーザーを用いて高分子薄膜に所望の電極形状のスリットを製造することを含む請求項1に記載の製造方法。
- 前記スリットの幅が1μm~1000μmであり、
具体的には、結晶シリコン太陽電池のフィンガー又は通常のグリッド線を製造する場合、スリットの幅が好ましくは1μm~100μmであり、さらに好ましくは1μm~20μmであり、結晶シリコン太陽電池のバスバーを製造する場合、スリットの幅が好ましくは100μm~500μmである請求項3に記載の製造方法。 - 前記基板は太陽電池セル又は他の膜板である請求項1に記載の製造方法。
- マスクを基板上に固定する方法は、両面テープ、接着剤、固定スロット、スライドステージのうちの1種又は複数種の組み合わせを採用する方式を含む請求項1に記載の製造方法。
- 使用される金属は単一の金属、合金、複数の金属の重ね合わせ、金属と合金の重ね合わせ、又は合金と合金の重ね合わせを含み、
選択的に、物理蒸着方法により金属を堆積する前に、一層の非金属膜を緩衝層として予め堆積するステップをさらに含む請求項1に記載の製造方法。 - 太陽電池セル上に所望の形状の金属電極を成長させた後、マスクを除去するステップをさらに含む、請求項1前記の製造方法。
- 請求項1~8のいずれか1項に記載の製造方法によって金属電極を製造する工程を含む太陽電池の製造方法。
- 所望の電極形状に従って高分子薄膜をレーザーでエッチングすることにより製造されるマスク。
- 高分子薄膜に電極形状のスリットを有するものであり、前記高分子薄膜は、
(1)高分子薄膜の材質はポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリオレフィン薄膜(PO)、ポリイミド(PI)、ポリ塩化ビニル(PVC)のうちの1種又は複数種であること、及び/又は
(2)高分子薄膜は粘着性を有すること、のうちの1つ又は複数の特徴を有するマスク。 - 前記スリットの幅が1μm~1000μmである請求項11に記載のマスク。
- 前記スリットの幅が1μm~100μmであり、好ましくは1μm~20μmであり、
結晶シリコン太陽電池のフィンガー又は通常のグリッド線を製造するためのものである請求項12に記載のマスク。 - 前記スリットの幅が100μm~500μmであり、
結晶シリコン太陽電池のバスバーを製造するためのものである請求項12に記載のマスク。 - 前記高分子薄膜の厚さが1μm~500μmである請求項10又は11に記載のマスク。
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