JP2023521805A - K2oを含有するディスプレイ用ガラス - Google Patents
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Abstract
ガラス組成物は、約60モル%から約80モル%のSiO2、0モル%から約11モル%のAl2O3、約4.0モル%から約12モル%のB2O3、約0.5モル%から約20モル%のK2O、0モル%から約18.5モル%のMgO、および0モル%から約1モル%のSnO2を含む。このガラス組成物は、組成に基づいて調節できる範囲のCTEを有し、ディスプレイ用途に使用することができる。
Description
本出願は、その内容が依拠され、ここに全て引用される、2020年4月13日に出願された米国仮特許出願第63/009102号の米国法典第35編第119条の下での優先権の恩恵を主張するものである。
本開示は、広くガラス組成物に関する。より詳しくは、開示された主題は、アルカリ金属を含み、ディスプレイ用途に使用するのに適したガラス組成物に関する。
ガラスなどの光学的な透明な材料から製造された平らなまたは湾曲した基板が、フラットパネルディスプレイ、光起電装置、および他の適切な用途に使用されている。光学的透明度の要件に加え、ガラス組成物は、製造工程および用途に応じて異なる難題に応える必要がある。
例えば、アクティブマトリクス液晶表示装置(AMLCD)などの液晶ディスプレイの製造は複雑であり、基板ガラスの性質は重要である。AMLCDの製造に使用されるガラス基板では、その物理的寸法を厳しく管理する必要がある。ダウンドローシート延伸過程および特に、フュージョン法は、ラップ仕上げや研磨などの、費用のかかる成形後仕上げ操作を必要とせずに基板として使用できるガラスシートを製造することができる。しかしながら、フュージョン法では、ガラス特性にかなり厳しい制限が課せられ、このために、比較的高い液相粘度が要求される。
液晶ディスプレイの分野では、薄膜トランジスタ(TFT)は、多結晶シリコン(p-Si)またはアモルファスシリコン(a-Si)に基づくことがある。アモルファスシリコンは、より低い加工温度などの利点を提示する。時には、多結晶シリコンが、電子をより効果的に輸送する能力のために、使用されるのが好ましい。多結晶シリコン系トランジスタは、アモルファスシリコン系トランジスタよりも移動度が高いと特徴付けられる。このために、より小型でより高速のトランジスタを製造することができ、最終的に、より明るく、より高速のディスプレイが製造される。p-Si系トランジスタに関する問題の1つに、その製造には、a-Si系トランジスタの製造に使用される加工温度よりも高い加工温度が必要とされることがある。これらの温度は、a-Si系トランジスタの製造に用いられる350℃のピーク温度と比べ、450℃から600℃に及ぶ。
ディスプレイ用途に使用されるガラス組成物は、熱的性質と機械的性質が良好であり、寸法安定性が加工要件と性能要件を満たす必要がある。それに加え、薄膜トランジスタ中に金属イオンが拡散すると、トランジスタが損傷を受けることがある。そのような拡散は、最小にするか、またはなくす必要がある。
本開示は、カリウムなどのアルカリ金属を含むガラス組成物、その製造方法、およびその使用方法を提供する。本開示は、そのようなガラス組成物から作られたガラス基板、そのようなガラス組成物またはそのようなガラス組成を有するガラス基板を備えた表示装置も提供する。
いくつかの実施の形態によれば、ガラス組成物は、
約60モル%から約80モル%のSiO2、
0モル%から約11モル%のAl2O3、
約4.0モル%から約12モル%のB2O3、
約0.5モル%から約20モル%のK2O、
0モル%から約18.5モル%のMgO、および
0モル%から約1モル%のSnO2、
から実質的になる。
約60モル%から約80モル%のSiO2、
0モル%から約11モル%のAl2O3、
約4.0モル%から約12モル%のB2O3、
約0.5モル%から約20モル%のK2O、
0モル%から約18.5モル%のMgO、および
0モル%から約1モル%のSnO2、
から実質的になる。
この組成物において、成分は、上記6種類の酸化物から選択される。いくつかの実施の形態において、K2Oは、添加される唯一のアルカリ金属酸化物であり、Li2OおよびNa2Oなどの他のアルカリ金属酸化物を含まない、または実質的に含まない。MgOは、添加される唯一のアルカリ土類金属酸化物であり、CaO、SrO、またはBaOを含まない、または実質的に含まない。
前記ガラス組成物において、SiO2は、任意の適切な範囲で存在する。適切な範囲の例としては、以下に限られないが、約60モル%から約75モル%、約65モル%から約80モル%、または約65モル%から約75モル%が挙げられる。いくつかの実施の形態において、SiO2の含有量は、75モル%以下、例えば、約60モル%から約75モル%の範囲にある。
いくつかの実施の形態において、Al2O3の含有量は、11モル%以下である。Al2O3の適切な範囲の例としては、以下に限られないが、約0.1モル%から約10.5モル%、約0.1モル%から約2モル%、約2モル%から約10.5モル%、約4モル%から約10.5モル%、または任意の他の適切な範囲が挙げられる。
いくつかの実施の形態において、アルカリ金属酸化物は、任意の適切な範囲の含有量を有するK2Oである。K2Oの適切な範囲の例としては、以下に限られないが、約0.5モル%から約15モル%、約1モル%から約15モル%、約3.5モル%から約15モル%、約3モル%から約15モル%、または約3モル%から約10モル%が挙げられる。
MgOの適切な範囲の例としては、以下に限られないが、0モル%から約15モル%、0モル%から約10モル%、0モル%から約6モル%、0.1モル%から約15モル%、約0.1モル%から約10モル%、0.1モル%から約0.6モル%、または約10モル%から約18.5モル%が挙げられる。いくつかの実施の形態において、MgOの含有量は、6モル%以下であり、例えば、0モル%から約2モル%の範囲にある。いくつかの実施の形態において、MgOの含有量は、10モル%以上であり、例えば、約10モル%から約18.5モル%、または約16モル%から約18.5モル%の範囲にある。
B2O3の適切な範囲の例としては、以下に限られないが、約4.9モル%から約11.5モル%、約6モル%から約11モル%、または約8モル%から約11モル%の範囲が挙げられる。
前記組成物は、SnO2などのいずれの他の適切な成分を含んでもよい。SnO2の適切な範囲の例としては、以下に限られないが、約0.01モル%から約0.5モル%、または約0.05モル%から約0.15モル%が挙げられる。
本開示は、ここに記載された成分および含有量範囲の異なる組合せを有する任意の適切な組成物を提供する。
いくつかの実施の形態において、K2O/Al2O3のモル比は、約0.4から約360、例えば、約0.4から約2、約1から約10、約1から約100、約100から約200、または約200から約360の範囲にある。いくつかの実施の形態において、比K2O/Al2O3は、約1から約10、例えば、約0.4から約2の範囲にある。
いくつかの実施の形態において、MgO/Al2O3のモル比は、0から約10の範囲、例えば、0から約4、または0から約1の範囲にある。SiO2/B2O3のモル比(k)は、約6から約15の範囲にあるかもしれない。
いくつかの実施の形態において、([K2O]-[Al2O3])/[B2O3]と定義されるR’値は、約-0.7から約0.7の範囲にあり、([K2O]+0.5*[MgO]-[Al2O3])/[B2O3]と定義されるR”値は、約-0.3から約1.3の範囲にある。[K2O]、[MgO]、[Al2O3]、および[B2O3]は、それぞれ、K2O、MgO、Al2O3、およびB2O3のモル含有量を表す。
いくつかの実施の形態において、前記ガラス組成物は、20℃から300℃の温度で、約40×10-7/℃から約85×10-7/℃の範囲の低い熱膨張係数(CTE)を有する。このCTEは、組成に基づいて、異なる用途に調節することができる。例えば、CTEは、約40×10-7/℃から約80×10-7/℃、または約40×10-7/℃から約70×10-7/℃、約40×10-7/℃から約60×10-7/℃、約30×10-7/℃から約40×10-7/℃、または約30×10-7/℃から約50×10-7/℃の範囲にある。
いくつかの実施の形態において、例示のガラス組成物は、
約60モル%から約75モル%のSiO2、
約4モル%から約10.5モル%のAl2O3、
約5モル%から約11モル%のB2O3、
約3.5モル%から約15モル%のK2O、
0モル%から約6モル%のMgO、および
0モル%から約1モル%のSnO2、
から実質的になり、
K2O/Al2O3のモル比は、約0.4から約2の範囲にあり、MgO/Al2O3のモル比は、0から約4の範囲にある。
約60モル%から約75モル%のSiO2、
約4モル%から約10.5モル%のAl2O3、
約5モル%から約11モル%のB2O3、
約3.5モル%から約15モル%のK2O、
0モル%から約6モル%のMgO、および
0モル%から約1モル%のSnO2、
から実質的になり、
K2O/Al2O3のモル比は、約0.4から約2の範囲にあり、MgO/Al2O3のモル比は、0から約4の範囲にある。
いくつかの実施の形態において、SiO2/B2O3のモル比(k)は、約6から約15の範囲にあるかもしれず、([K2O]-[Al2O3])/[B2O3]と定義されるR’値は、約-0.7から約0.7の範囲にあり、([K2O]+0.5*[MgO]-[Al2O3])/[B2O3]と定義されるR”値は、約-0.3から約1.3の範囲にある。[K2O]、[MgO]、[Al2O3]、および[B2O3]は、それぞれ、K2O、MgO、Al2O3、およびB2O3のモル含有量を表す。
別の態様において、本開示は、ここに記載されたガラス組成物の製造方法と使用方法、そのようなガラス組成物を含むガラス物品(または部品)、およびそのガラス組成物またはガラス組成を有するガラス物品を含む表示装置も提供する。
ガラス物品の例としては、以下に限られないが、パネル、基板、カバー、バックプレーン、およびディスプレイ用途のための電子デバイスに使用される任意の他の構成部材が挙げられる。例えば、いくつかの実施の形態において、前記ガラス組成物またはガラス基板は、電子デバイスにおけるカバーまたはバックプレーンである。いくつかの実施の形態において、薄膜トランジスタが、ガラス組成物上に、またはそれと接触して構築される。電子デバイスの例としては、以下に限られないが、液晶ディスプレイ(LCD)、発光ダイオード(LED)ディスプレイ、コンピュータ用モニタ、現金自動預払機(ATM)、タッチスクリーン、および光起電装置が挙げられる。
本開示は、添付図面と共に読まれたときに、以下の詳細な説明から最もよく理解される。一般的な慣行にしたがって、これらの図面は、いくつかの実施の形態の説明のためだけであることを強調しておく。
いくつかの実施の形態による例示のガラス組成物のアルカリ酸化物(例えば、K2O)の含有量と液相温度との間の例示の関係を示すグラフ
いくつかの実施の形態による例示のガラス組成物のアルカリ酸化物(例えば、K2O)の含有量と液相粘度との間の関係を示すグラフ
例示の実施の形態のこの説明は、添付図面に関連して読まれることが意図されており、これらの図面は、記載された説明全体の一部と考えられるべきである。説明において、「下側」、「上側」、「水平」、「垂直」、「上方」、「下方」、「上」、「下」、「上部」、および「底部」、並びにその派生語(例えば、「水平に」、「下方へ」、「上方へ」等)などの相対的な用語は、論議中の、記載されている、または図面に示されている向きを称すると解釈すべきである。これらの相対的な用語は、説明の便宜上であり、その装置が特定の向きに構築される、または作動されることを必要としない。「接続された」および「相互接続された」などの取付け、連結などに関する用語は、特に明記のない限り、複数の構造が、直接的に、または介在する構造を通じて間接的にのいずれかで、互いに固定されている、または取り付けられている関係、並びに可動式または固定式両方の取付けまたは関係を称する。
以後の説明の目的のために、下記に記載された実施の形態は、代わりのバリエーションおよび実施の形態を想定するものであることを理解すべきである。ここに記載された特定の物品、組成物、および/または過程は、例示であり、限定と考えるべきではないことも理解すべきである。
本開示において、名詞は、複数の対象を含み、特定の数値のへの言及は、文脈上明白に他の意味に解釈すべき場合を除いて、少なくともその特定値を含む。値が「約」という先行詞を用いて近似として表されている場合、特定値は、別の実施の形態を形成することが理解されよう。ここに用いられているように、「約X」(この場合、Xは数値である)は、列挙された値の±10%(包括的)を称することが好ましい。例えば、「約8」という句は、7.2から8.8の値(包括的)を称することが好ましい。存在する場合、全ての範囲は、包括的かつ組合せ可能である。例えば、「1から5」の範囲が列挙されている場合、列挙された範囲は、「1から4」、「1から3」、「1~2」、「1~2と4~5」、「1~3と5」、「2~5」などの範囲を含むと解釈されるべきである。それに加え、選択肢のリストが積極的に与えられている場合、そのような列挙は、選択肢のいずれが、例えば、請求項における消極的な限定によって、排除されることがあるのを意味すると解釈できる。例えば、「1から5」の範囲が列挙されている場合、その列挙された範囲は、1、2、3、4、または5のいずれかが消極的に排除される状況を含むと解釈されることがある;それゆえ、「1から5」の引用は、「1と3~5であるが、2ではない」、または単純に、「2は含まれない」と解釈されることがある。ここに積極的に列挙された任意の部品、要素、属性、または工程は、そのような部品、要素、属性、または工程が、選択肢として列挙されているか否か、またはそれらが孤立して列挙されているか否かにかかわらず、請求項において明白に排除されることがあることが意図されている。
ここに用いられているような、「実質的」、「実質的に」という用語、およびそのバリエーションは、記載された特徴が、ある値または記載と等しいか、またはほぼ等しいことを留意する意図がある。さらに、「実質的に類似」とは、2つの値が等しいか、またはほぼ等しいことを示す意図がある。いくつかの実施の形態において、「実質的に類似」とは、互いの約5%以内、または互いの約2%以内など、互いの約10%以内の値を示すことがある。
本開示は、カリウムなどのアルカリ金属の酸化物を含むガラス組成物、その製造方法、およびその使用法補を提供する。本開示は、そのようなガラス組成物を含むガラス基板または物品、およびそのようなガラス組成物またはそのようなガラス組成を有するガラス基板を含む表示装置も提供する。そのようなガラス組成物は、低含有量のAl2O3、およびK2Oなどのアルカリ金属酸化物を含む、ここに記載されたような成分を含む。いくつかの実施の形態において、K2Oは、その組成物中の唯一のアルカリ金属酸化物である。ここに記載されたように、本出願の発明者等は、意外なことに、アルカリ金属酸化物および低含有量のAl2O3を含むそのようなガラス組成物は、低い液相温度、高い液相粘度、低く、調節可能な熱膨張係数、および良好な機械的性質を提供することを見出した。発明者等は、意外なことに、前記ガラス組成物が電子デバイスに使用される場合、その組成物からのK+などのアルカリ金属イオンのような金属イオンの拡散が生じないことも見出した。Kと同等以上のイオン半径を有するアルカリ金属の拡散により生じるどのような起こりうる汚染も、最小にできるか、またはなくすことができる。
文脈上明白に他の意味を示す場合を除いて、ここに用いられている「ガラス物品」または「ガラス」という用語は、ガラスから全体がまたは部分的に製造されたどの物品も包含すると理解される。ガラス物品は、モノリス基板、またはガラスとガラス、ガラスと非ガラス材料、ガラスと結晶質材料、およびガラスとガラスセラミック(非晶相と結晶相を含む)の積層体を含む。
ガラスパネルなどのガラス物品は、平らであっても湾曲していてもよく、透明または実質的に透明である。ここに用いられているように、「透明」という用語は、その物品が、約1mmの厚さで、スペクトルの可視領域(400~700nm)において約85%超の透過率を有することを示す意図がある。例えば、例示の透明ガラスパネルは、全ての範囲とその間の部分的範囲を含む、約90%超、約95%超、または約99%超の透過率など、可視光範囲における約85%超の透過率を有することがある。様々な実施の形態によれば、そのガラス物品は、全ての範囲とその間の部分的範囲を含む、約45%未満、約40%未満、約35%未満、約30%未満、約25%未満、または約20%未満など、可視領域における約50%未満の透過率を有することがある。特定の実施の形態において、例示のガラスパネルは、全ての範囲とその間の部分的範囲を含む、約55%超、約60%超、約65%超、約70%超、約75%超、約80%超、約85%超、約90%超、約95%超、または約99%超の透過率など、紫外(UV)領域(100~400nm)における約50%超の透過率を有することがある。
例示のガラスとしては、以下に限られないが、アルミノケイ酸塩、アルカリアルミノケイ酸塩、ホウケイ酸塩、アルカリホウケイ酸塩、アルミノホウケイ酸塩、アルカリアルミノホウケイ酸塩、および他の適切なガラスが挙げられる。いくつかの実施の形態において、前記ガラス物品は、その物品の複数の部分の間の熱膨張係数の不一致を利用して、圧縮応力領域および引張応力を示す中央領域を作ることによって、機械的に強化されることがある。いくつかの実施の形態において、そのガラス物品は、ガラスを、ガラス転移温度より高い温度に加熱し、次いで、急冷することによって、熱的に強化されることがある。いくつかの他の実施の形態において、そのガラス物品は、イオン交換により化学的に強化されることがある。
いくつかの実施の形態において、ここに記載されたガラス組成物は、アルカリ土類アルミノケイ酸塩ガラス組成物であり、これは、SiO2、Al2O3、1種類のアルカリ土類酸化物、および唯一のアルカリ金属酸化物としてのK2Oの組合せを含む。いくつかの実施の形態において、MgOは、そのガラス組成物中の選ばれた1種類のアルカリ土類酸化物である。ここに記載されたガラス組成物は、非晶質構造を有する。この組成物を使用して、結晶または多結晶構造も作ることができる。
ここに用いられている「軟化点」という用語は、ガラス組成物の粘度が1×107.6ポアズである温度を称する。軟化点は、平行板粘度法を使用して測定される。
ここに用いられている「徐冷点」という用語は、ガラス組成物の粘度が1×1013.18ポアズである温度を称する。
ここに用いられている「歪み点」および「T歪み」という用語は、ガラス組成物の粘度が1014.68ポアズである温度を称する。
ガラスの液相温度(T液相)は、それより高いと結晶相がガラスと平衡状態で共存できない温度(℃)である。液相粘度は、液相温度でのガラスの粘度である。
ここに用いられている「CTE」という用語は、ほぼ室温(RT)から約300℃の温度範囲に亘るガラス組成物の熱膨張係数を称する。
破壊靱性は、当該技術分野で公知の方法を使用して、例えば、ASTM C1421-10、「Standard Test Methods for Determination of Fracture Toughness of Advanced Ceramics at Ambient Temperature」にしたがって、シェブロンノッチ付き小型角棒、ノッチ付き梁などを使用して、測定することができる。
本開示の目的のために、有限固体における表面亀裂のモードI亀裂開口に関して、破壊靱性を破損応力に関連付ける以下の方程式における欠陥形状を説明する値の減少によって、丸い亀裂先端を定量化することができる:
KIC=σf√{(Ωπα)の平方根} 方程式(1)
式中、
KICは、材料定数である破壊靱性であり、
σfは、破損応力の測定値であり、
Ωは、欠陥形状、自由表面効果、および荷重形態を説明し、
αは、傷深さである。
KIC=σf√{(Ωπα)の平方根} 方程式(1)
式中、
KICは、材料定数である破壊靱性であり、
σfは、破損応力の測定値であり、
Ωは、欠陥形状、自由表面効果、および荷重形態を説明し、
αは、傷深さである。
試料の平均荷重および破損応力を特徴付けた。また、その組成が先に与えられたガラスの破損データおよび公知の破壊靱性(mがメートルの単位である、シェブロンノッチ試験で測定して、約0.7MPa・m0.5)から計算した、先の方程式(1)からの式√{(Ωπα)の平方根}の値も含まれる。先に述べたように、その式は、方程式(1)において、そのガラスの試料の各々の破損応力の測定値σf(MPaの単位)に対するガラスの破壊靱性KIC(MPa・m0.5の単位)の比に対応する。√{(Ωπα)の平方根}(m0.5の単位)の値は、傷深さ(α)と傷「形状」(Ω)の両方を考慮するので、その値は、表面傷の付いたガラスシートの応力破損をもたらす強さ制限表面傷の伝搬特徴に影響を与える傷形態係数に対するここに開示されている処理の影響を直接反映する。
ここに記載されたガラス組成物の実施の形態において、構成成分(例えば、SiO2、Al2O3など)の濃度は、特に明記のない限り、酸化物基準のモルパーセント(モル%)で規定されている。
「含まない(free)」および「実質的に含まない(substantially free)」という用語は、ガラス組成物中の特定の構成成分の濃度および/または不在を記載するために使用される場合、その構成成分がガラス組成物に意図的に添加されていないことを意味する。しかしながら、そのガラス組成物は、0.01モル%未満の量の汚染物質またはトランプ(tramp)として微量の構成成分を含有することがある。
本開示は、カリウムなどのアルカリ金属を含むガラス組成物、その製造方法、およびその使用方法を提供する。本開示は、そのようなガラス組成物から作られたガラス基板、そのようなガラス組成物またはそのようなガラス組成を有するガラス基板を備えた表示装置も提供する。
本開示は、ディスプレイ用ガラス用途を対象とした新規のガラス組成物を提供する。一般に広く受け入れられている見識に基づいて、Li2O、Na2O、K2O、Rb2O、およびCs2Oなどのアルカリ金属は、薄膜トランジスタ(TFT)堆積を含む高温の下流工程中に電子機器にアルカリが潜在的に拡散するために、ディスプレイ用ガラス組成物においては禁じられている。発明者等は、K2Oなどのイオン半径が大きいアルカリ金属の酸化物は、拡散が生じず、ディスプレイ用ガラス組成物に使用できることを最近見出した。拡散は、ガラス基板から、そのガラス基板上の第1の層として堆積されて重なったSiO2またはSiNxバリア層中には生じない。
いくつかの実施の形態によれば、ガラス組成物は、
約60モル%から約80モル%のSiO2、
0モル%から約11モル%のAl2O3、
約4.0モル%から約12モル%のB2O3、
約0.5モル%から約20モル%のK2O、
0モル%から約18.5モル%のMgO、および
0モル%から約1モル%のSnO2、
から実質的になる。
約60モル%から約80モル%のSiO2、
0モル%から約11モル%のAl2O3、
約4.0モル%から約12モル%のB2O3、
約0.5モル%から約20モル%のK2O、
0モル%から約18.5モル%のMgO、および
0モル%から約1モル%のSnO2、
から実質的になる。
この組成物において、成分は、上記6種類の酸化物から選択される。いくつかの実施の形態において、これらの6種類の酸化物のみがその成分である。K2Oは、添加される唯一のアルカリ金属酸化物であり、Li2OおよびNa2Oなどの他のアルカリ金属酸化物を含まない、または実質的に含まない。MgOは、添加される唯一のアルカリ土類金属酸化物であり、CaO、SrO、またはBaOを含まない、または実質的に含まない。
ここに記載されたガラス組成物の実施の形態において、SiO2は、組成物の最大成分であり、それゆえ、ガラス網状組織の主成分である。
前記ガラス組成物において、SiO2は、任意の適切な範囲で存在する。適切な範囲の例としては、以下に限られないが、約60モル%から約75モル%、約65モル%から約80モル%、または約65モル%から約75モル%が挙げられる。いくつかの実施の形態において、SiO2の含有量は、75モル%以下、例えば、約60モル%から約75モル%の範囲にある。
ここに記載されたガラス組成物は、比較的少ない含有量で、必要に応じて、Al2O3をさらに含む。いくつかの実施の形態において、Al2O3の含有量は、11モル%以下である。Al2O3の適切な範囲の例としては、以下に限られないが、約0.1モル%から約10.5モル%、約0.1モル%から約2モル%、約2モル%から約10.5モル%、約4モル%から約10.5モル%、または任意の他の適切な範囲が挙げられる。
ここに記載された実施の形態におけるガラス組成物は、アルカリ金属酸化物も含む。アルカリ金属酸化物がK2Oであることが好ましくは、これは、添加される唯一のアルカリ金属酸化物である。K2Oは、どの適切な範囲の含有量を有してもよい。K2Oの適切な範囲の例としては、以下に限られないが、約0.5モル%から約15モル%、約1モル%から約15モル%、約3.5モル%から約15モル%、約3モル%から約15モル%、または約3モル%から約10モル%が挙げられる。
Al2O3は、存在する場合、SiO2と同様の様式で働くことがあり、そのガラス組成物から形成されたガラス溶融物において四面体配位にある場合、ガラス組成物の粘度を増加させることがある。しかしながら、米国特許第10112865号明細書に記載されているように、ガラス組成物中にAl2O3が存在すると、ガラス組成物中のアルカリ成分の移動度が増すであろうと考えられ、ガラス組成物中のAl2O3の量を注意深く考える必要がある。
2019年6月3日に出願された米国仮特許出願第62/856170号、および2019年8月14日に出願された米国仮特許出願第62/886687号の各明細書において、発明者等は、意外なことに、高含有量のAl2O3は、ガラス組成物中に存在するアルカリ酸化物と共に、アルカリ成分が拡散する、またはガラスから浸出する傾向を減少させる、もしくはそのガラス組成物から作られた基板内またはその上に薄膜トランジスタが形成される加工条件下で組成物中にアルカリ成分を維持することを見出した。
本開示の発明者等は、さらに意外なことに、ガラス組成物中に存在するとここに開示されたような、K2Oおよび他の成分と共に、ゼロパーセントまたは低含有量のAl2O3も、アルカリ成分が拡散する、またはガラスから浸出する傾向を減少させる、もしくはそのガラス組成物から作られた基板内またはその上に薄膜トランジスタが形成される加工条件下で組成物中にアルカリ成分を維持することを見出した。それに加え、K2Oなどのアルカリ酸化物を有するガラス組成物は、比較的低いが、調節可能な熱膨張を有する。関連する熱膨張係数(CTE)は、成分の比率に基づいて、調整または調節することができる。
Kのイオン半径は、NaやLiと比べて、比較的大きいために、ガラス中のアルカリ金属の拡散性が減少するので、K2Oは、主要なアルカリ酸化物成分として使用される。重なっているバリア層中へのガラスからのアルカリ金属の低い拡散性は、ディスプレイ用のバックプレーンを形成するためにそのガラス組成物が使用される場合、非常に重要である。何故ならば、ガラス上に堆積された薄膜トランジスタ中にガラスからのアルカリ金属が拡散すると、そのトランジスタが損傷を受けるからである。
いくつかの実施の形態において、K2Oは、融剤であり、液相温度を低下させ、ガラスをより製造しやすくするために使用される。K2Oは、低いCTEから、中程度のCTE、高いCTEのガラス組成物を含むように、熱膨張係数(CTE)の範囲を増加させる。
ここに記載された実施の形態におけるガラス組成物は、B2O3もさらに含む。B2O3は、SiO2およびAl2O3のように、ガラス網状組織の形成に寄与する。いくつかの実施の形態において、B2O3は、ガラス組成物の粘度を低下させるためにガラス組成物に添加されることがある。ここに記載された実施の形態において、B2O3は、ある量でガラス組成物中に存在する。B2O3の適切な範囲の例としては、以下に限られないが、約4.9モル%から約11.5モル%、約6モル%から約11モル%、または約8モル%から約11モル%の範囲が挙げられる。
本開示に提供される組成物は、必要に応じて、MgOなどのアルカリ土類金属酸化物を含むことがある。いくつかの実施の形態において、MgOは、添加される唯一のアルカリ土類金属酸化物である。MgOの適切な範囲の例としては、以下に限られないが、0モル%から約15モル%、0モル%から約10モル%、0モル%から約6モル%、約0.1モル%から約10モル%、0.1モル%から約0.6モル%、または約10モル%から約18.5モル%が挙げられる。いくつかの実施の形態において、MgOの含有量は、6モル%以下であり、例えば、0モル%から約2モル%の範囲にある。いくつかの実施の形態において、MgOの含有量は、10モル%以上であり、例えば、約10モル%から約18.5モル%、または約16モル%から約18.5モル%の範囲にある。MgOは、高い電界強度を有し、ガラス組成物の弾性率を増加させるために使用される。
前記組成物は、SnO2などのいずれの他の適切な成分を含んでもよい。SnO2の適切な範囲の例としては、以下に限られないが、約0.01モル%から約0.5モル%、または約0.05モル%から約0.15モル%が挙げられる。
本開示は、ここに記載された成分の異なる組合せおよび含有量範囲を有する任意の適切な組成物を提供する。
いくつかの実施の形態において、K2O/Al2O3のモル比は、約0.4から約360、例えば、約0.4から約2、約1から約10、約1から約100、約100から約200、または約200から約360の範囲にある。いくつかの実施の形態において、比K2O/Al2O3は、約1から約10、例えば、約0.4から約2の範囲にある。
いくつかの実施の形態において、MgO/Al2O3のモル比は、0から約10の範囲、例えば、0から約4、または0から約1の範囲にある。SiO2/B2O3のモル比(k)は、約6から約15の範囲にあるかもしれない。
いくつかの実施の形態において、([K2O]-[Al2O3])/[B2O3]と定義されるR’値は、約-0.7から約0.7の範囲にあり、([K2O]+0.5*[MgO]-[Al2O3])/[B2O3]と定義されるR”値は、約-0.3から約1.3の範囲にある。[K2O]、[MgO]、[Al2O3]、および[B2O3]は、それぞれ、K2O、MgO、Al2O3、およびB2O3のモル含有量を表す。R’およびR”値の範囲は、平面三角形から正方晶へのB2O3の転化のためにAl2O3の荷電平衡後に残るアルカリ陽イオンとアルカリ土類陽イオンの比を示す。R’比とR”比が高いほど、IV配位ホウ素としてガラス中に存在するホウ素が多くなり、これにより、ガラス組成物のヤング率が増加する。
前記ガラス組成物は、低から中程度のヤング率、屈折率、密度、歪み点、徐冷点、および軟化点を含む性質を有し得る。これらの性質は、ディスプレイ用途に関連し、それにとって重要である。
いくつかの実施の形態において、前記ガラス組成物は、20℃から300℃の温度で、約40×10-7/℃から約85×10-7/℃の範囲の熱膨張係数(CTE)を有する。このCTEは、組成に基づいて、異なる用途に調節することができる。例えば、CTEは、約40×10-7/℃から約80×10-7/℃、または約40×10-7/℃から約70×10-7/℃、約40×10-7/℃から約60×10-7/℃、約30×10-7/℃から約40×10-7/℃、または約30×10-7/℃から約50×10-7/℃の範囲にある。CTEのこの範囲は、CTE範囲の下端でのTFT、並びにCTE範囲の上端でのTiなどの金属およびアルミナを含む、幅広い材料にCTEを一致させる上で都合よい。これらのガラスが、冷却中のCTEの不一致により圧縮応力を作るために積層構造に使用される場合、そのようなCTEの変動を利用することができる。
本開示は、ここに記載された成分の異なる組合せおよび含有量範囲を有する任意の適切な組成物を提供する。
いくつかの実施の形態において、例示のガラス組成物は、
約60モル%から約75モル%のSiO2、
約4モル%から約10.5モル%のAl2O3、
約5モル%から約11モル%のB2O3、
約3.5モル%から約15モル%のK2O、
0モル%から約6モル%のMgO、および
0モル%から約1モル%のSnO2、
から実質的になり、
K2O/Al2O3のモル比は、約0.4から約2の範囲にあり、MgO/Al2O3のモル比は、0から約4の範囲にある。
約60モル%から約75モル%のSiO2、
約4モル%から約10.5モル%のAl2O3、
約5モル%から約11モル%のB2O3、
約3.5モル%から約15モル%のK2O、
0モル%から約6モル%のMgO、および
0モル%から約1モル%のSnO2、
から実質的になり、
K2O/Al2O3のモル比は、約0.4から約2の範囲にあり、MgO/Al2O3のモル比は、0から約4の範囲にある。
いくつかの実施の形態において、SiO2/B2O3のモル比(k)は、約6から約15の範囲にあるかもしれない。前記組成物は、約-0.7から約0.7の範囲にある、([K2O]-[Al2O3])/[B2O3]と定義されるR’値、および約-0.3から約1.3の範囲にある、([K2O]+0.5*[MgO]-[Al2O3])/[B2O3]と定義されるR”値を有する。[K2O]、[MgO]、[Al2O3]、および[B2O3]は、それぞれ、K2O、MgO、Al2O3、およびB2O3のモル含有量を表す。
前記ガラス組成物は、加工上の優位性と性能優位性の両方を提供する。例えば、そのガラス組成物は、低い液相温度(Tliq)および高い液相粘度を有する。液相温度は、1,300℃以下、例えば、約900℃から約1,300℃、約950℃から約1,300℃、約1,000℃から約1,200℃、約900℃から約1,185℃、約1,000℃から約1,185℃、約900℃から約1,150℃、または約1,000℃から約1,150℃の範囲にあることがある。いくつかの実施の形態において、液相温度は950℃未満である。
前記ガラス組成物は、100キロポアズ以上、例えば、約200キロポアズから約400キロポアズ、約200キロポアズから約600キロポアズ、または約200キロポアズから約800キロポアズの範囲にある液相粘度を有する。いくつかの実施の形態において、液相粘度は、約100キロポアズから約800キロポアズ、例えば、約100キロポアズから約550キロポアズ、または約200キロポアズから約450キロポアズの範囲にあることがある。
ここに開示されたガラス組成物は、約1.4から約1.6、例えば、約1.47から約1.50の範囲の、589.3nmでの屈折率を有する。応力光学係数は、約3.2nm/MPa/cm、例えば、いくつかの実施の形態において、3.253nm/MPa/cmである。このガラス組成物の密度は、約2.2g/cm3から約2.4g/cm3、例えば、約2.249g/cm3から約2.393g/cm3の範囲にある。
ここに開示されたガラス組成物は、約520℃から約700℃、例えば、約522℃から約651℃の範囲の歪み点を有することがある。徐冷点は、約550℃から約750℃、例えば、約580℃から約705℃の範囲にあることがある。このガラス組成物は、約800℃から約1,050℃、例えば、約835℃から約1,025℃の範囲の軟化点を有することがある。
ここに開示されたガラス組成物は、良好な靱性も提供する。ガラスの破壊靱性KIC(MPa・m0.5の単位)は、約0.5MPa・m0.5から約1MPa・m0.5、例えば、約0.5MPa・m0.5から約0.75MPa・m0.5の範囲にあることがある。
前記ガラス組成物は、0.2から約0.3、例えば、0.20から約0.23の範囲にあるポアソン比、約50GPaから約80GPa、例えば、約53GPaから約73GPaの範囲にあるヤング率、および約20GPaから約40GPa、例えば、約20GPaから約30GPaの範囲にある剛性率を有することがある。
別の態様において、本開示は、ここに記載されたガラス組成物を製造する方法と使用する方法、そのようなガラス組成物から作られたガラス物品(または部品)、およびそのガラス組成物またはガラス組成を有するガラス物品を含む表示装置も提供する。
ガラス物品の例としては、以下に限られないが、パネル、基板、カバー、バックプレーン、およびディスプレイ用途のための電子デバイスに使用される任意の他の構成部材が挙げられる。いくつかの実施の形態において、基板またはパネルなどのガラス物品は、光学的に透明である。ガラス物品の例としては、以下に限られないが、平らなまたは湾曲したガラスパネルが挙げられる。
例えば、いくつかの実施の形態において、前記ガラス組成物またはガラス基板は、電子デバイスにおけるカバーまたはバックプレーンである。いくつかの実施の形態において、薄膜トランジスタが、ガラス組成物上に、またはそれと接触して構築される。薄膜トランジスタは、非晶質シリコン系または多結晶シリコン系であってよい。いくつかの実施の形態において、本開示において提供されるガラス組成物は、その中または上に非晶質シリコン系トランジスタが配置される、基板または層として使用される。電子デバイスの例としては、以下に限られないが、液晶ディスプレイ(LCD)、発光ダイオード(LED)ディスプレイ、コンピュータ用モニタ、現金自動預払機(ATM)、タッチスクリーン、および光起電装置が挙げられる。
以下の実施例は、開示された主題による方法および結果を示すために下記に述べられている。これらの実施例は、ここに開示された主題の全ての実施の形態を含めることを意図しておらず、そうではなく、代表的な方法および結果を示すことを意図している。これらの実施例は、当業者に明白な、本開示の同等物および変更例を排除する意図はない。
数(例えば、量、温度など)に関連する精度を確実にするために努力を払ってきたが、ある程度の誤差および偏差を考慮すべきである。特に明記のない限り、温度は、℃で表されているか、周囲温度であり、圧力は、大気圧であるか、または大気圧に近い。組成自体は、酸化物基準のモルパーセントで与えられており、100%に正規化されている。反応条件、例えば、成分濃度、温度、圧力および記載された過程から得られる生成物の純度と収率を最適にするために使用できる他の反応範囲と条件のバリエーションおよび組合せが数多くある。そのような工程条件を最適化するには、妥当な日常的実験しか必要ない。
表に述べられたガラス特性は、ガラスの技術分野で慣習的な技術にしたがって決定した。それゆえ、温度範囲25~300℃に亘る線熱膨張係数(CTE)は、×10-7/℃で表され、徐冷点は、℃で表されている。CTEは、ASTM基準E228にしたがって決定した。徐冷点および歪み点は、特に明記のない限り、ASTM基準C598にしたがってビーム曲げ粘度測定技術により決定した。g/cm3で表される密度は、アルキメデス法(ASTM C693)により測定した。℃で表される溶融温度(ガラス溶融物が200ポアズの粘度を示す温度と定義される)は、回転円筒式粘度測定法(ASTM C965-81)により測定された高温粘度データにフィッティングされたフルチャーの式を利用して計算した。
℃で表されるガラスの液相温度は、ASTM C829-81の標準勾配ボート液相線法を使用して測定した。これは、白金ボート内に粉砕ガラス粒子を入れ、そのボートを、勾配温度の領域を有する炉に入れ、24時間に亘り適切な温度領域内でボートを加熱し、顕微鏡検査によりガラスの内部に結晶が現れる最高温度を決定する各工程を含む。より詳しくは、ガラス試料は、ワンピースでPtボートから取り出され、Ptと空気の界面に対して、および試料の内部に形成された結晶の位置と性質を特定するために、偏光顕微鏡法を使用して検査される。炉の勾配は非常によく知られているので、温度対位置は、5~10℃以内で、うまく推測することができる。試料の内部で結晶が観察される温度は、ガラスの液相線(対応する試験期間について)を表すものと解釈される。より遅く成長する相を観察するために、試験は、時々、より長い期間(例えば、72時間)で行われる。ポアズで表される液相粘度は、液相温度およびフルチャーの式の係数から決定した。
GPaで表されるヤング率値および剛性率値、並びにポアソン比は、ASTM E1875-00e1に述べられた一般型の共鳴超音波スペクトロスコピー技術を使用して決定した。
応力光学係数(SOC)値は、「Standard Test Method for Measurement of Glass Stress-Optical Coefficient」と題するASTM基準C770-16の手順C(ガラスディスク法)に述べられたように測定することができる。
表の例示のガラスは、シリカ源として市販の砂を使用して調製し、90質量%が標準米国100メッシュ篩を通過するように粉砕した。アルミナがアルミナ源であり、ペリクレースが、MgOの供給源であり、酸化スズ(IV)がSnO2の供給源であった。原材料を完全に混合し、坩堝内で二重に溶融した。原材料は、混合し、次いで、炭化ケイ素製グローバーで加熱された炉内に吊り下げられた白金製容器中に装填し、数時間に亘り、1600℃と1650℃の間の温度で、溶融し、撹拌し、白金製容器の底にある開口を通じて送達することができる。混合および二重溶融手法により、均一性を確実にした。結果として得られたガラスのパテを徐冷点で、またはその近くで徐冷し、次いで、様々な実験方法を行って、物理的、粘性および液相属性を決定した。
これらの方法は特有ではなく、前記ガラス組成物は、当業者に周知の標準方法を使用して調製することができる。そのような方法は、連続溶融過程に使用される溶融装置が、ガス、電力、またはその組合せにより加熱される、連続溶融過程に行われるであろうような、連続溶融過程を含む。
例示のガラスを製造するのに適した原材料としては、SiO2の供給源としての市販の砂;Al2O3の供給源としてのアルミナ、水酸化アルミニウム、アルミナの水和形態、並びに様々なアルミノケイ酸塩、硝酸塩およびハロゲン化物;B2O3の供給源としてのホウ酸、無水ホウ酸および酸化ホウ素;MgOの供給源としてのペリクレース、マグネシア、炭酸マグネシウム、水酸化マグネシウム、並びにマグネシウムのケイ酸塩、アルミノケイ酸塩、硝酸塩およびハロゲン化物の様々な形態が挙げられる。化学的清澄剤が望ましい場合、スズをSnO2として、別の主要ガラス成分との混合酸化物(例えば、CaSnO3)として、もしくはSnO、シュウ酸スズ、スズハロゲン化物、または当該技術分野に公知のスズの他の化合物として酸化状態で、添加することができる。
前記例示のガラス組成物は、清澄剤としてSnO2を含有するが、TFT基板用途のための十分な品質のガラスを得るために、他の化学的清澄剤も利用しても差し支えない。
例示のガラスに意図的に含ませられる元素に加え、周期表のほぼ全ての安定元素が、原材料中の低レベルの汚染、製造過程における耐火物および貴金属の高温腐食、または最終的なガラスの属性を微調整するために低レベルでの意図的な導入のいずれかにより、ある程度のレベルでガラス中に存在する。
水素は、ヒドロキシル陰イオンのOH-の形態で必然的に存在し、その存在は、標準的な赤外線分光法技術により確認できる。溶存ヒドロキシルイオンは、例示のガラスの徐冷点に著しくかつ非直線的な影響を与え、それゆえ、所望の徐冷点を得るために、埋め合わせをするように主要酸化物成分の濃度を調節する必要があるであろう。ヒドロキシルイオン濃度は、原材料の選択または溶融システムの選択により、ある程度制御することができる。例えば、ホウ酸は、ヒドロキシルの主要供給源であり、ホウ酸を酸化ホウ素と置換することは、最終的なガラスのヒドロキシル濃度を制御するための有用な手段であり得る。同じ論法が、ヒドロキシルイオン、水和物、もしくは物理吸着または化学吸着された水分子を含む化合物を含む他の潜在的な材料に適用される。溶融過程にバーナーが使用される場合、ひいては、天然ガスおよび関連する炭化水素の燃焼による燃焼生成物によってもヒドロキシルイオンが導入され得、それゆえ、埋め合わせをするように、溶融に使用されるエネルギーを、バーナーから電極に変えることが望ましいであろう。あるいは、代わりに、溶存ヒドロキシルイオンの有害な影響を埋め合わせるように主要酸化物成分を調節する反復プロセスを用いてもよい。
硫黄は、多くの場合、天然ガス中に存在し、同様に、多くの炭酸塩、硝酸塩、ハロゲン化物、および酸化物の原材料中のトランプ成分である。硫黄は、SO2の形態で、ガス状含有物の厄介な供給源であり得る。SO2が豊富な欠陥を形成する傾向は、原材料中の硫黄レベルを制御することにより、また比較的還元された多価陽イオンを低レベルでガラス基質中に含ませることによって、かなりの程度まで管理することができる。理論で束縛する意図はないが、SO2が豊富なガス状含有物は、主に、ガラス中に溶解した硫酸イオン(SO4=)の還元によって、生じるようである。
原材料中の硫黄レベルを低レベルに慎重に制御することは、ガラス中の溶存硫黄(おそらく硫酸イオンとして)を減少させる有用な手段である。特に、硫黄は、好ましくは、バッチ材料中200質量ppm未満、より好ましくは、バッチ材料中100質量ppm未満である。
還元された多価元素は、例示のガラスがSO2膨れを形成する傾向を制御するためにも使用できる。理論で束縛する意図はないが、これらの元素は、硫酸イオンを還元するための起電力を抑制する潜在的な電子供与体として働く。硫酸イオンの還元は、
SO4=→SO2+O2+2e-
などの半反応で記載することができ、式中、e-は電子を示す。この半反応の「平衡定数」は、
Keq=[SO2][O2][e-]2/[SO4 =]
であり、式中、角括弧は化学的活性を示す。理想的には、SO2、O2および2e-から硫酸イオンを形成するように反応を仕向けたいであろう。硝酸塩、過酸化物、または他の酸素の豊富な原材料を添加することは、役に立つであろうが、溶融の初期段階における硫酸イオンの還元に反対に作用するであろう。このことは、そもそもそれらを添加する恩恵を弱めるであろう。SO2は、ほとんどのガラス中に非常に低い溶解度を有し、それゆえ、ガラス溶融過程に添加することは実現困難である。電子は、多価元素の還元によって「添加される」であろう。例えば、第一鉄イオン(Fe2+)の適切な電子供与半反応は、
2Fe2+→2Fe3++2e-
と表される。
SO4=→SO2+O2+2e-
などの半反応で記載することができ、式中、e-は電子を示す。この半反応の「平衡定数」は、
Keq=[SO2][O2][e-]2/[SO4 =]
であり、式中、角括弧は化学的活性を示す。理想的には、SO2、O2および2e-から硫酸イオンを形成するように反応を仕向けたいであろう。硝酸塩、過酸化物、または他の酸素の豊富な原材料を添加することは、役に立つであろうが、溶融の初期段階における硫酸イオンの還元に反対に作用するであろう。このことは、そもそもそれらを添加する恩恵を弱めるであろう。SO2は、ほとんどのガラス中に非常に低い溶解度を有し、それゆえ、ガラス溶融過程に添加することは実現困難である。電子は、多価元素の還元によって「添加される」であろう。例えば、第一鉄イオン(Fe2+)の適切な電子供与半反応は、
2Fe2+→2Fe3++2e-
と表される。
電子のこの「活性」は、硫酸イオンの還元反応を左に仕向け、ガラス中のSO4=を安定化させることができる。適切な還元された多価元素としては、以下に限られないが、Fe2+、Mn2+、Sn2+、Sb3+、As3+、V3+、Ti3+、および当業者になじみのある他の元素が挙げられる。各々の場合、ガラスの色に対する有害な影響を避けるようにそのような成分の濃度を最小にすること、またはAsおよびSbの場合には、エンドユーザの過程における廃棄物管理が複雑になるほど十分に高いレベルでそのような成分を添加することを避けることが重要であろう。
例示のガラスの主要酸化物成分、および上述した微量のまたはトランプ成分に加え、ハロゲン化物が、原材料の選択により導入される汚染物質として、またはガラス中のガス状含有物をなくすために使用される意図的な成分としてのいずれかで、様々なレベルで存在することがある。ハロゲン化物は、清澄剤として、約0.4モル%以下のレベルで含まれることがあるが、可能であれば、排ガス取扱い設備の腐食を避けるために、より少ない量で使用することが一般に望ましい。いくつかの実施の形態において、個々のロゲン化物元素の濃度は、各個別のハロゲン化物について、約200質量ppm未満である、または全てのハロゲン化物元素の合計について、約800質量ppm未満である。
表1~4には、21の実験試料の組成および性質が纏められている。表1は、実験例1~5(「Ex.1~5」)の組成を示している。表2は、実験例6~10(「Ex.6~10」)の組成を示している。表3は、実験例11~15(「Ex.11~15」)の組成を示している。表4は、実験例16~21(「Ex.16~21」)の組成を示している。実施例1~21には、「A」から「X」の順序で記号も振られている。軟化点、徐冷点、ヤング率、剛性率、およびポアソン比を含む、実施例1~21の特性データも、表1~4に列挙されている。
表4において、「COV」は、破壊靱性データに関する変動係数である。
図1は、ここに開示された組成物の液相温度に対するK2Oの含有量の影響を示す一般的な傾向を示している。図2は、ここに開示されたガラス組成物の一般的な傾向として、K2Oの含有量と液相粘度との間の関係を示している。図1~2において、実験試料1~3(「S1」、「S2」、「S3」)を、商標名EAGLE XG(商標)(「EXG」)でCorning Inc.から市販され、K2Oを含有していない、比較製品と比べる。「EAGLE XG」は、匹敵する他の成分を含まないであろうが、ここでは、説明のためだけに示されている。製品EXGは、1140℃の液相温度および228,527ポアズの液相粘度を有する。
前記ガラス組成物は、100キロポアズ以上液相粘度を有する。例えば、液相粘度は、約200キロポアズから約400キロポアズ、約200キロポアズから約600キロポアズ、約100キロポアズから約550キロポアズ、または約200キロポアズから約450キロポアズの範囲に調節することができる。液相粘度のそのような増加および液相温度のそのような低下は、著しい加工上の優位性をもたらし、製造費を低下させる。
表1~4を参照すると、ガラス組成物は、調節可能な範囲にある熱膨張係数(CTE)を有する。例示のガラスは、そのガラスを、AMLCD基板用途などのディスプレイ用途、より詳しくは、低温ポリシリコンおよび酸化物薄膜トランジスタ用途に適したものとする徐冷点およびヤング率の値などの良好な性質を有する。このガラスは、市販のAMLCD基板から得られる耐久性に似た、酸および塩基媒体中の耐久性を有し、それゆえ、AMLCD用途に適している。例示のガラスは、ダウンドロー技術を使用して成形することができ、特に、フュージョン法に適合している。
さらに、使用されるアルカリ金属酸化物の著しいレベルにもかかわらず、ガラス組成物が電子デバイスに使用された場合、その組成物から、アルカリ金属イオンなどの金属イオンが、浸出したり、拡散したりしない。
主題が、例示の実施の形態に関して説明されきたが、それらに限定されない。そうではなく、付随の特許請求の範囲は、当業者によって想起されるような、他の変種および実施の形態を含むと広く解釈されるべきである。
以下、本発明の好ましい実施形態を項分け記載する。
実施形態1
約60モル%から約80モル%のSiO2、
0モル%から約11モル%のAl2O3、
約4.0モル%から約12モル%のB2O3、
約0.5モル%から約20モル%のK2O、
0モル%から約18.5モル%のMgO、および
0モル%から約1モル%のSnO2、
から実質的になるガラス組成物。
約60モル%から約80モル%のSiO2、
0モル%から約11モル%のAl2O3、
約4.0モル%から約12モル%のB2O3、
約0.5モル%から約20モル%のK2O、
0モル%から約18.5モル%のMgO、および
0モル%から約1モル%のSnO2、
から実質的になるガラス組成物。
実施形態2
Al2O3の含有量が、約0.1モル%から約10.5モル%、0モル%から約2モル%、約2モル%から約10.5モル%、または約4モル%から約10.5モル%の範囲にある、実施形態1に記載のガラス組成物。
Al2O3の含有量が、約0.1モル%から約10.5モル%、0モル%から約2モル%、約2モル%から約10.5モル%、または約4モル%から約10.5モル%の範囲にある、実施形態1に記載のガラス組成物。
実施形態3
K2Oの含有量が、約0.5モル%から約15モル%、約1モル%から約15モル%、約3.5モル%から約15モル%、約3モル%から約15モル%、または約3モル%から約10モル%の範囲にある、実施形態1に記載のガラス組成物。
K2Oの含有量が、約0.5モル%から約15モル%、約1モル%から約15モル%、約3.5モル%から約15モル%、約3モル%から約15モル%、または約3モル%から約10モル%の範囲にある、実施形態1に記載のガラス組成物。
実施形態4
SiO2の含有量が、約60モル%から約75モル%、約65モル%から約80モル%、または約65モル%から約75モル%の範囲にある、実施形態1に記載のガラス組成物。
SiO2の含有量が、約60モル%から約75モル%、約65モル%から約80モル%、または約65モル%から約75モル%の範囲にある、実施形態1に記載のガラス組成物。
実施形態5
MgOの含有量が、0モル%から約15モル%、0モル%から約10モル%、0モル%から約6モル%、約0.1モル%から約10モル%、0.1モル%から約0.6モル%、または約10モル%から約18.5モル%の範囲にある、実施形態1に記載のガラス組成物。
MgOの含有量が、0モル%から約15モル%、0モル%から約10モル%、0モル%から約6モル%、約0.1モル%から約10モル%、0.1モル%から約0.6モル%、または約10モル%から約18.5モル%の範囲にある、実施形態1に記載のガラス組成物。
実施形態6
B2O3の含有量が、約4.9モル%から約11.5モル%、約6モル%から約11モル%、または約8モル%から約11モル%の範囲にある、実施形態1に記載のガラス組成物。
B2O3の含有量が、約4.9モル%から約11.5モル%、約6モル%から約11モル%、または約8モル%から約11モル%の範囲にある、実施形態1に記載のガラス組成物。
実施形態7
SnO2の含有量が、約0.01モル%から約0.5モル%、または約0.05モル%から約0.15モル%の範囲にある、実施形態1に記載のガラス組成物。
SnO2の含有量が、約0.01モル%から約0.5モル%、または約0.05モル%から約0.15モル%の範囲にある、実施形態1に記載のガラス組成物。
実施形態8
K2O/Al2O3のモル比が、約0.4から約360の範囲にある、実施形態1に記載のガラス組成物。
K2O/Al2O3のモル比が、約0.4から約360の範囲にある、実施形態1に記載のガラス組成物。
実施形態9
MgO/Al2O3のモル比が、0から約10の範囲にある、実施形態1に記載のガラス組成物。
MgO/Al2O3のモル比が、0から約10の範囲にある、実施形態1に記載のガラス組成物。
実施形態10
MgO/Al2O3のモル比が、0から約4の範囲にある、実施形態1に記載のガラス組成物。
MgO/Al2O3のモル比が、0から約4の範囲にある、実施形態1に記載のガラス組成物。
実施形態11
SiO2/B2O3のモル比が、約6から約15の範囲にある、実施形態1に記載のガラス組成物。
SiO2/B2O3のモル比が、約6から約15の範囲にある、実施形態1に記載のガラス組成物。
実施形態12
([K2O]-[Al2O3])/[B2O3]と定義されるR’値が、約-0.7から約0.7の範囲にあり、([K2O]+0.5*[MgO]-[Al2O3])/[B2O3]と定義されるR”値が、約-0.3から約1.3の範囲にあり、式中、[K2O]、[MgO]、[Al2O3]、および[B2O3]は、それぞれ、K2O、MgO、Al2O3、およびB2O3のモル含有量を表す、実施形態1に記載のガラス組成物。
([K2O]-[Al2O3])/[B2O3]と定義されるR’値が、約-0.7から約0.7の範囲にあり、([K2O]+0.5*[MgO]-[Al2O3])/[B2O3]と定義されるR”値が、約-0.3から約1.3の範囲にあり、式中、[K2O]、[MgO]、[Al2O3]、および[B2O3]は、それぞれ、K2O、MgO、Al2O3、およびB2O3のモル含有量を表す、実施形態1に記載のガラス組成物。
実施形態13
前記ガラス組成物が、20℃から300℃の温度で、約40×10-7/℃から約85×10-7/℃の範囲の熱膨張係数を有する、実施形態1に記載のガラス組成物。
前記ガラス組成物が、20℃から300℃の温度で、約40×10-7/℃から約85×10-7/℃の範囲の熱膨張係数を有する、実施形態1に記載のガラス組成物。
実施形態14
約60モル%から約75モル%のSiO2、
約4モル%から約10.5モル%のAl2O3、
約5モル%から約11モル%のB2O3、
約3.5モル%から約15モル%のK2O、
0モル%から約6モル%のMgO、および
0モル%から約1モル%のSnO2、
から実質的になり、
K2O/Al2O3のモル比は、約0.4から約2の範囲にあり、MgO/Al2O3のモル比は、0から約4の範囲にある、ガラス組成物。
約60モル%から約75モル%のSiO2、
約4モル%から約10.5モル%のAl2O3、
約5モル%から約11モル%のB2O3、
約3.5モル%から約15モル%のK2O、
0モル%から約6モル%のMgO、および
0モル%から約1モル%のSnO2、
から実質的になり、
K2O/Al2O3のモル比は、約0.4から約2の範囲にあり、MgO/Al2O3のモル比は、0から約4の範囲にある、ガラス組成物。
実施形態15
SiO2/B2O3のモル比(k)が、約6から約15の範囲にある、実施形態14に記載のガラス組成物。
SiO2/B2O3のモル比(k)が、約6から約15の範囲にある、実施形態14に記載のガラス組成物。
実施形態16
([K2O]-[Al2O3])/[B2O3]と定義されるR’値が、約-0.7から約0.7の範囲にあり、([K2O]+0.5*[MgO]-[Al2O3])/[B2O3]と定義されるR”値が、約-0.3から約1.3の範囲にあり、式中、[K2O]、[MgO]、[Al2O3]、および[B2O3]は、それぞれ、K2O、MgO、Al2O3、およびB2O3のモル含有量を表す、実施形態14に記載のガラス組成物。
([K2O]-[Al2O3])/[B2O3]と定義されるR’値が、約-0.7から約0.7の範囲にあり、([K2O]+0.5*[MgO]-[Al2O3])/[B2O3]と定義されるR”値が、約-0.3から約1.3の範囲にあり、式中、[K2O]、[MgO]、[Al2O3]、および[B2O3]は、それぞれ、K2O、MgO、Al2O3、およびB2O3のモル含有量を表す、実施形態14に記載のガラス組成物。
実施形態17
実施形態1に記載のガラス組成物から作られたガラス物品。
実施形態1に記載のガラス組成物から作られたガラス物品。
実施形態18
実施形態1に記載のガラス組成物、または実施形態1に記載のガラス組成物から作られたガラス基板を含む表示装置。
実施形態1に記載のガラス組成物、または実施形態1に記載のガラス組成物から作られたガラス基板を含む表示装置。
実施形態19
前記ガラス組成物または前記ガラス基板が、ディスプレイ用途のための電子デバイスにおけるカバーまたはバックプレーンである、実施形態18に記載の表示装置。
前記ガラス組成物または前記ガラス基板が、ディスプレイ用途のための電子デバイスにおけるカバーまたはバックプレーンである、実施形態18に記載の表示装置。
実施形態20
実施形態14に記載のガラス組成物、または実施形態14に記載のガラス組成物から作られたガラス物品を含む表示装置。
実施形態14に記載のガラス組成物、または実施形態14に記載のガラス組成物から作られたガラス物品を含む表示装置。
Claims (15)
- 約60モル%から約80モル%のSiO2、
0モル%から約11モル%のAl2O3、
約4.0モル%から約12モル%のB2O3、
約0.5モル%から約20モル%のK2O、
0モル%から約18.5モル%のMgO、および
0モル%から約1モル%のSnO2、
から実質的になるガラス組成物。 - Al2O3の含有量が、約4モル%から約10.5モル%の範囲にある、請求項1記載のガラス組成物。
- K2Oの含有量が、約3モル%から約10モル%の範囲にある、請求項1記載のガラス組成物。
- SiO2の含有量が、約65モル%から約75モル%の範囲にある、請求項1記載のガラス組成物。
- MgOの含有量が、約10モル%から約18.5モル%の範囲にある、請求項1記載のガラス組成物。
- B2O3の含有量が、約8モル%から約11モル%の範囲にある、請求項1記載のガラス組成物。
- SnO2の含有量が、約0.05モル%から約0.15モル%の範囲にある、請求項1記載のガラス組成物。
- K2O/Al2O3のモル比が、約0.4から約360の範囲にある、請求項1記載のガラス組成物。
- MgO/Al2O3のモル比が、0から約4の範囲にある、請求項1記載のガラス組成物。
- SiO2/B2O3のモル比が、約6から約15の範囲にある、請求項1記載のガラス組成物。
- ([K2O]-[Al2O3])/[B2O3]と定義されるR’値が、約-0.7から約0.7の範囲にあり、([K2O]+0.5*[MgO]-[Al2O3])/[B2O3]と定義されるR”値が、約-0.3から約1.3の範囲にあり、式中、[K2O]、[MgO]、[Al2O3]、および[B2O3]は、それぞれ、K2O、MgO、Al2O3、およびB2O3のモル含有量を表す、請求項1記載のガラス組成物。
- 約60モル%から約75モル%のSiO2、
約4モル%から約10.5モル%のAl2O3、
約5モル%から約11モル%のB2O3、
約3.5モル%から約15モル%のK2O、
0モル%から約6モル%のMgO、および
0モル%から約1モル%のSnO2、
から実質的になり、
K2O/Al2O3のモル比は、約0.4から約2の範囲にあり、MgO/Al2O3のモル比は、0から約4の範囲にある、ガラス組成物。 - SiO2/B2O3のモル比(k)が、約6から約15の範囲にある、請求項12記載のガラス組成物。
- ([K2O]-[Al2O3])/[B2O3]と定義されるR’値が、約-0.7から約0.7の範囲にあり、([K2O]+0.5*[MgO]-[Al2O3])/[B2O3]と定義されるR”値が、約-0.3から約1.3の範囲にあり、式中、[K2O]、[MgO]、[Al2O3]、および[B2O3]は、それぞれ、K2O、MgO、Al2O3、およびB2O3のモル含有量を表す、請求項12記載のガラス組成物。
- 請求項1から14いずれか1項記載のガラス組成物から作られたガラス物品。
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