JP2023505812A - ロータリエンコーダ - Google Patents
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Abstract
スケール特徴を含む少なくとも１つのトラックが提供される平面ディスクを備えるエンコーダ装置のためのロータリスケール装置を提供する。ロータリスケール装置では、平面ディスクが円筒シャフトを受け入れるためのその中心を通る穴を備え、ロータリスケール部材は、平面ディスクと実質的に平面に設けられ、穴の縁の周りに間隔を置いて、穴に挿入された円筒シャフトと係合し、円筒シャフト上に平面ディスクを半径方向に配置する少なくとも３つの片持ち式ばね部材を備える。
Description
本発明は、ロータリエンコーダに関し、特に、ロータリスケール、及び、ロータリスケールとロータリスケールを読み取るための読み取りヘッドとを備えるエンコーダ装置に関する。
計測スケールは、互いに相対的に移動することができる機械の部品の位置測定において使用される。計測スケールは、典型的には、読み取りヘッドによって読み取られる一連の特徴を有し、読み取りヘッドは、スケールに沿って又はスケールの周りで、その位置の測定を提供することができる。計測スケールは、機械の一部に取り付けることができ、機械の別の部分に取り付けられた適切な読み取りヘッドにより読み取られる。計測スケールの種類には、磁気スケール（スケール特徴が特定の磁気特性を有する特徴によって提供される）、静電容量スケール（特徴が特定の静電容量特性を有する特徴によって提供される）、誘導スケール（特徴が特定の誘導特性を有する特徴によって提供される）、及び、光学スケール（特徴が特定の光学特性を有する特徴によって提供される）が含まれる。光学スケールは、透過性又は反射性である可能性がある。光学スケール構成の例は、特許文献１、及び、特許文献２にも開示されている。
回転変位を測定するために、そのようなスケールは、読み取りヘッドに対してシャフト又は他の回転部分と共に使用して回転する部材上に設けられる。特に、スケール特徴を有し、シャフトと共に使用して回転する部材は、ディスクとすることができる。特に、ガラス又は金属ディスクは高性能エンコーダで一般的に使用され、典型的には、スケール特徴はガラス又は金属材料の内部又は上部に直接形成される。発明者らは、そのようなガラス又は金属ディスクスケールの改良を提供すること、特に低プロファイル、高性能（例えば、高解像度／低誤差）のディスクスケールを提供することに関心を持っている。
従って、本発明は、改良されたロータリエンコーダ、特に改良されたディスクエンコーダに関する。
本発明の第１の態様によれば、その相対位置を判定するための読み取りヘッドによる読み取りのための少なくとも１つのスケール特徴のトラックを備えるエンコーダ装置のためのロータリスケール装置が提供され、ロータリスケール装置は、円筒シャフトを受け入れるための貫通孔を備える平面ディスクを備え、ロータリスケール部材は、平面ディスクと実質的に平面に設けられ、貫通孔の縁の周りに間隔を置いて配置され、貫通孔を通って挿入された円筒シャフトと係合し、貫通孔を通って挿入された円筒シャフトに係合して、及び、円筒シャフトに接触して平面ディスクを半径方向に配置する（例えば、中央に配置する）少なくとも３つの片持ち式ばね部材を備える。
このような構成は、特に効果的でコンパクトな自己位置特定ロータリエンコーダ装置を提供することが見出されている。例えば、ディスクスケール、特に金属又はガラスディスクのための有効な（例えば、非常に反復可能な）平面内自己位置特定の解決手段を提供することは困難であることが見出されている。片持ち式ばね部材の使用は、非片持ち式ばね構成を使用する他の構成よりも特に有利であることがわかっている。本発明の構成により提供される改善されたロータリエンコーダ装置の自己位置特定性能の向上によれば（例えば、予想可能に、例えば、繰り返し可能に、より良い点は、例えば、シャフトに対してディスク／スケールのマーキングを自己中心にするために、シャフトに対して自身を位置特定することである）、エンコーダ装置の改善されたセットアップを提供し、それによってエンコーダの計測性能を向上させることが可能である。
そのようないわゆる「自己位置特定」（例えば、「自己中心化」）ロータリエンコーダ（例えば、特許文献３及び特許文献４に記載されているものなど）を制作ための試みはすでに行われているが、本発明者は、特に薄い／平面／コンパクトなロータリエンコーダに対して既存の解決策が不十分であり、スケール部材の自己位置特定性能の予測性に対する高い要求があることを見出した。
両端で支持される屈曲部（例えば、材料中のスロットによって提供される屈曲部）と比較して、片持ち式ばね部材によって提供されるばね力は、その幅によって影響を受けにくい。従って、ばね／屈曲部の幅を変化させる可能性のある製造公差により、（両端で支持された屈曲部の代わりに）片持ち式ばね部材の使用は、面内ばね部材を有するディスクスケールのためのより予測可能な自己位置特定能力を提供することができることが見出されている。確かに、このような差異は、より高い精度の位置エンコーダに対する今日のますます増大する需要とともに、有意である可能性がある。例えば、発明者らは、１０μｍ（ミクロン）未満、及び、いくつかの事例では５μｍ（ミクロン）未満の離心率で、シャフト上にスケールを自己中心化することができるという要求に直面しており、特許請求の範囲に記載の構成は、発明者らがそのような要求を満たすのを助けるのに役立ってきた。
このような構成はまた、エンコーダディスクの自己位置特定性能の再現性を高めるのに役立つ。これは重要な場合があり、なぜならガラス又は金属スケールディスクのスケール特徴が通常、製造装置のシャフト上にガラス又は金属ディスクを取り付け、次にシャフト上のディスクでマークを形成することにより形成され、ガラス又は金属ディスクがシャフトにより回転され、スケール特徴がディスクの表面の周りに形成されることができるからである。ディスクを製造元サイトのシャフトから取り外してから顧客サイトのシャフトに取り付けるときは、製造元サイトのシャフトと同じ相対的な半径方向の位置で、顧客のシャフトに対してディスクを配置することが重要である。顧客と製造元サイトのシャフトが完全に同じ直径である可能性が低いことを考慮すると、同じサイズでないシャフトの場合でも、シャフト上のディスクを半径方向に配置する屈曲部が繰り返し動作することを確認することが望ましい。顧客と製造元サイトシャフトの直径のわずかな差でさえ、製造元サイトシャフトと比較して顧客サイトシャフトにディスクが置かれている場所に重大な悪影響を及ぼし、エンコーダの性能に影響を及ぼす可能性があることが分かっている。
理解されるように、片持ち式ばね部材は、特に（ディスクスケールに関して）半径方向の寸法において、弾性的に変形可能である。従って、好ましくは、使用中（すなわち、シャフトに取り付けられたとき）に、片持ち式ばね部材はそれぞれ、その弾性限界内で半径方向に変位することができ、その代わりに、それらはそれぞれ、シャフト上のディスクを半径方向に位置特定するために一緒に働く力を提供する。
好ましくは、各ばね部材は、所与の半径方向の屈曲に対して実質的に同一のばね力を提供する。片持ち式ばね部材は、形状及びサイズにおいて公称的に／実質的に同一であってもよい。これにより、片持ち式ばね部材の設計及び製造が簡素化され、名目上／実質的に等しく、バランスの取れた自己位置特定力が提供される。また、これは、異なるサイズのシャフト間でのディスクの半径方向の自己位置の再現性が重要である場合に、特に好ましい可能性がある。
理解されるように、各片持ち式ばね部材は、その長さが穴の縁の周りで概して円周方向に延びるように構成することができる。好ましくは、少なくとも１つの片持ち式ばね部材は、別の片持ち式ばね部材と反対方向に延在する。例えば、好ましくは、少なくとも１つの片持ち式ばね部材は、穴の縁の周りで概ね時計方向に延在し、少なくとも１つの他の片持ち式ばね部材は、穴の縁の周りで概ね反時計方向に延在する。このような構成は、取り付け時にディスクとシャフトの間の不利な力を回避するのに役立ち、ディスクの安定性に影響を与える可能性があることが分かっている。例えば、片持ち式ばね部材の長さが温度とともに変化する場合、シャフトに取り付けられると、各片持ち式ばね部材はシャフト／ディスクに旋回力を及ぼすことができる。そのような旋回力の効果は、他の部材と反対方向に延在する少なくとも１つの片持ち式ばね部材を配置することによって低減／無効にすることができる。これは、最大限の精度及び安定性が要求される用途に特に望ましい場合がある。
回転スケール部材は、平面ディスクと平面内に設けられ、穴の縁の周りに間隔を置いて配置された少なくとも３対の片持ち式ばね部材を含むことができる。平面ディスクは、片持ち式ばねと単一ばねのペアの組み合わせを有することができる。ただし、全ての片持ち式ばね部材をペアで提供することは、自己位置特定ばね力のバランスを確保するために有利な場合がある。
前の２つの段落に沿って、回転スケール部材は、少なくとも３対の片持ち式ばね部材を含むことができ、対の片持ち式ばね部材は、互いに反対方向に延在する。換言すれば、回転スケール部材は、少なくとも３対の片持ち式ばね部材を含むことができ、対の各ばね部材は、それらの自由端が互いに近位であり、それらの固定（又は「根元」）端が互いに遠位であるように構成することができる。このような場合、片持ち式ばね部材の各ペア内で、各片持ち式ばね部材の長さの任意の変化（例えば、温度変化に起因する）は、シャフトに対するディスクの回転／ねじれと反対の影響を及ぼす。各片持ち式ばね部材の構成が実質的に同一である好ましい実施形態において、各片持ち式ばね部材の長さの変化によって及ぼされる旋回力は実質的に等しく反対でなければならず、従って、１対の片持ち式ばね部材によって及ぼされる正味の旋回力を実質的にゼロとすることができる。
好ましくは、片持ち式ばね（又は１対の片持ち式ばね）は、穴の周りに等角に配置される。特に好ましい実施形態では、１対の片持ち式ばねが穴の周りに等角に配置された３対の片持ち式ばねが提供される。
穴の中心に向かう側と中心から離れる側との間で測定される片持ち式ばね部材の幅は、その自由端に向かって徐々に狭くなることが好ましい場合がある。好ましくは、穴の中心に向かう片持ち式ばね部材の少なくとも側面は、実質的に直線である。発明者らは、片持ち式ばね部材の長さに沿って等しい応力分布を確保するために、理論的に理想的な片持ち式ばね部材の形状が放物線状であることを発見した。しかしながら、本発明者らはまた、放物線形状の片持ち式ばね部材を提供することには、不利な点があることを発見した。例えば、シャフトと屈曲部との間の接触点が移動するにつれて、屈曲部によって加わる力の変化率が屈曲部とともに変化する可能性があることなどである。使用中のシャフトに面する／係合する真っ直ぐなエッジのばね部材を使用すると、この影響が減少し、これにより理論的に理想的な放物線形状よりも安定し、実用的に優れた解決方法を提供できる。
平面ディスクに適したディスク材料には、金属又はガラスが含まれる。好ましい実施形態では、平面ディスクは、鋼、特にステンレス鋼ディスクを含むが、理解されるように、アルミニウム又はチタンなどの他の金属も使用することができる。
片持ち式ばね部材及び平面ディスクは、単一の材料シートから形成（特に切断）することができる。シート材料の使用、及びシート材料からの特徴の形成（例えば、切断）は、片持ち式ばね部材の根元がディスクと平面上にあることを確実にするのに役立ち、又、ディスクに及ぼされる力が平面に保たれ、それによりディスクを歪める可能性のあるディスク上のモーメントを低減／回避することを確実にする。このような構成は、非常にコンパクトなロータリエンコーダを容易にするのにも役立つ。
好ましくは、スケール特徴のトラックは、スケール特徴の完全な環状トラックを含む（例えば、部分的な弧を含むだけではなく）。好ましくは、スケール特徴の少なくとも１つのトラックは、平面ディスクの平面上に提供される。トラック内のスケール特徴は、インクリメンタル特徴又は絶対的特徴である可能性がある。ディスクスケールは、複数のトラックを含むことができる。
ディスクスケールは、シャフトのための穴と平面ディスクの外縁との間に配置された少なくとも１つの追加の穴を含むことができる。このような追加の穴は、ディスクスケールをシャフトに固定することを容易にするのに役立つように、例えば、シャフトが設けられる本体にディスクスケールの固定を容易にするように、提供されてもよい。例えば、ボルトを穴に通してディスクを本体に固定することができ、及び／又は、接着剤を穴に配置してディスクを本体に固定することができる。
好ましくは、平面ディスクの厚さは、５ｍｍ以下、例えば２．５ｍｍ以下、例えば１．５ｍｍ以下である。理解されるように、ディスクが自立する（すなわち、自重で崩壊しない）ために、及び／又は、効果的なばね部材を保証するために、ディスクは十分な厚さを有する必要がある。そのような適切な最小の厚さは、平面ディスクの直径及び平面ディスクの材料を含む様々な要因に依存するであろう。典型的には、本発明者らは、０．５ｍｍ以上、例えば０．６ｍｍ以上、特に０．７ｍｍ以上のディスクを有することが好ましいことを見出した。好ましくは、平面ディスクは、実質的に均一な厚さを有する。
本発明の別の態様によれば、第１及び第２の相対的回転可能部分を備える装置が提供され、回転スケール装置は、それに伴う回転のために、第１及び第２の相対的回転可能部分の一方に取り付けられ、回転スケール装置のスケール特徴を読み取るために、第１及び第２の相対的回転可能部分の他方に取り付けられた少なくとも１つの読み取りヘッドを備える。
ここで、本発明の実施形態は、以下の図面を参照して、一例としてのみ説明される。
図１～３を参照すると、本発明の一例の実施形態によるディスクスケール部材４を備えるエンコーダ装置２が示されている。ディスクスケール部材４は、図４に単独で示されている。
図１～３では、ディスクスケール部材４は、機械の円筒シャフト６に取り付けられて示されている。ディスクスケール部材４は構成が平面である。特に、ディスクスケール部材４は、本実施形態では、厚さ約１ｍｍのステンレス鋼の薄い材料シートから形成されている。文脈上、本実施形態におけるディスクスケール部材４の直径は、約５５ｍｍである。理解されるように、本発明は、そのようなサイズのディスクに限定されず、そのような寸法は、単にディスクの例として与えられている。また、ディスクはアルミニウムなどの他の金属材料から作ることも可能である。
ディスクスケール部材４は、その平面の１つにスケールトラック８を有し、ディスクスケール部材の周りに完全に環状に延在している。スケールトラック８は、読み取りヘッド１０（円筒シャフト６に対して固定されたコンポーネント１２に取り付けられている）が、スケールディスク４及び読み取りヘッド１０の相対的な位置／動きを判定するために読み取ることができる一連の特徴を備える。説明した実施形態では、エンコーダ装置は光学式エンコーダ装置であるが、必ずしもそうである必要はない。例えば、エンコーダ装置は、磁気エンコーダ装置、誘導エンコーダ装置、又は静電容量エンコーダ装置であってもよい。また、説明した実施形態では、エンコーダ装置は反射型光学エンコーダ装置である（読み取りヘッドからの光がスケールにより反射されて読み取りヘッドに戻り、読み取りヘッドの照明とスケール検出部がスケールの同じ側にある。）。しかしながら、必ずしもそうである必要はなく、エンコーダ装置は透過型光学エンコーダであってもよい。
本実施形態では、エンコーダ装置２はインクリメンタルエンコーダ装置である。従って、本実施形態では、スケールディスク４はインクリメンタルスケールディスクであり、スケールトラック８は、スケールディスク４と読み取りヘッド１０の相対的な位置／動きのカウントを提供するために読み取りヘッド１０が読み取ることができる一連の周期的に配置された特徴を備える。インクリメンタルエンコーダ装置の分野で一般的であるように、スケールディスクは、読み取りヘッドが読み取りヘッドを通過することによって読み取ることができる１つ又は複数の基準マークを含むことができ、それにより読み取りヘッドは、ディスクスケール部材上の基準位置を識別することができる。もちろん、エンコーダ装置は、インクリメンタルエンコーダ装置の代わりに、絶対エンコーダ装置であってもよい。従って、スケールディスク４は、絶対スケールディスクであってもよく、スケールディスク４上のスケールトラック（複数可）は、スケールディスク及び読み取りヘッドの絶対位置が起動時にディスクスケール部材及び読み取りヘッドの相対運動を必要とせずに決定されるように、一連の固有の絶対位置を定義する特徴を備えることができる。
図４に最もよく示されるように、スケールディスク４は、その中央を通る穴１４を備え、スケールディスク４が円筒シャフト６に取り付けられたときに円筒シャフト６がそれを通って延びることができる。本発明によれば、ディスクスケール部材４は、平面ディスクと平面に設けられ、穴１４の縁の周りに間隔を置いて配置され、円筒シャフト６が穴を通って挿入されたときに、円筒シャフト６と係合し、円筒シャフト６上にスケールディスク４を半径方向に配置するいくつかの片持ち式ばね部材１６を備える。
図４に示されるように、ディスクスケール部材４は、３対の片持ち式ばね部材１６ａ、１６ｂ、１６ｃを備える。片持ち式ばね部材１６ａ、１６ｂ、１６ｃの各対は、平面スケールディスク４と平面内に設けられ、穴１４の縁の周りに間隔を置いて配置される。また、片持ち式ばね部材１６ａ、１６ｂ、１６ｃの各対は、片持ち式ばね部材１６の自由端１８が互いに近位であり、それらの固定端２０が互いに遠位であるように構成される（例えば、図５を参照）。言い換えれば、各対１６ａ、１６ｂ、１６ｃの片持ち式ばね部材１６は、互いに離れるのではなく、互いに向かい合う。
図４及び図５に示されるように、各片持ち式ばね部材１６は、その自由端１８に向かって狭くなるように先細りになっている。従って、片持ち式ばね部材の幅ｗ１は、その固定端２０において、その自由端１８における幅ｗ２よりも大きい。理解されるように、片持ち式ばね部材の正確な所望の寸法は、材料、ディスクのサイズ、及び所望のばね力を含むいくつかの要因に依存する。発明者らは、対の各屈曲部の良好な所望のばね力が約２０ニュートンであることを発見し、これは、十分な自己位置特定能力を提供することと、シャフトを過度に把持しないこととの間の良好なバランスを提供する。
説明した実施形態では、片持ち式ばね部材１６のシャフト係合側／縁は直線である。このような構成は、製造及び性能の観点から特に有利であることが見出されている。特に、本発明者らは、力分布の理由でも、片持ち式ばね部材の理想的な形状は放物線状である可能性があるが、そのような形状の屈曲部の製造は困難であり、片持ち式ばね部材とシャフトとの間の接触点が変化するにつれて力の変化率が著しく変化する可能性があることを特定した。従って、本発明者らは、片持ち式ばね部材に直縁接触面を提供することは、良好な力分布の間の最適な妥協であると同時に、片持ち式ばね部材の自由端に近い接触を可能にすると同時に、単純であり、従って製造に費用対効果があることを見出した。また、記載された実施形態では、片持ち式ばね部材１６の幅は直線的に減少する。
説明した実施形態では、各片持ち式ばね部材１６は、スケールディスク４と同じ材料部品／シート内に、スロット２２（片持ち式ばね部材１６の後方にある）及びギャップ２４（片持ち式ばね部材１６の自由端１８の間にある）を作成することによって形成される。スロット２２及びギャップ２４は、片持ち式ばね部材１６がその長さに沿ってスロット２２に屈曲することを可能にする。そのようなスロット２２及びギャップ２４は、例えば、スケールディスク４をエッチング及び／又は機械加工することによって形成することができる。任意選択で、スケールディスク４は、その片持ち式ばね部材１６と共に、成形、鋳造、及び／又は、付加的なプロセスによって形成される。
スケールディスク４が、片持ち式ばね部材１６ａ、１６ｂ、１６ｃの対の間の空間よりわずかに大きいシャフト６に圧入されるとき、シャフト６は、穴１４の中央に面する、片持ち式ばね部材１６のそれぞれの側面に係合し、それらのそれぞれをスロット２２内にわずかに曲げさせる。片持ち式ばね部材１６の材料の弾性は、シャフト６に反応力を引き起こす。好ましくは、各片持ち式ばね部材１６によって提供される反力は、スケールディスク４がシャフト６上に自己位置特定されるように、名目上同じである。そのような名目上同一の反力は、それらが記載された実施形態にあるように、片持ち式ばね部材１６が形状及びサイズにおいて名目上同一であるように構成することによって達成することができる。
必要に応じて、スケールディスク４をさらにシャフトに固定することができる。例えば、記載された実施形態では、スケールディスク４は、スケールディスク４をシャフト６に固定するために、ボルト２８などの機械的締結具２８を通すことができる３つの穴２６を備える。任意選択で、接着剤を穴２６領域に塗布して、スケールディスク４をシャフト６に固定することができる（機械的留め具２８の有無にかかわらず）。示される実施形態では、ファスナ用の穴２６は、スロット２２に接続される。そうすることは、穴２６及びスロット２２が１つの連続したプロセスで形成することができるので、製造プロセスがはるかに単純かつ効率的となることを意味する。しかしながら、理解されるように、これは必ずしもそうである必要はなく、従って、穴２６及びスロット２２は、切り離され／分離されてもよい。また、示される実施形態では、アライメント機能（この場合は穴）３０が提供される。このようなアライメント穴３０を使用して、ディスク４がシャフト６に取り付けられたときにディスク４が正しく配向されることを確実にすることができる。例えば、シャフト６は、突出ピン及びアライメント穴３０が位置合わせされたときのみ、ディスク４がシャフト６に対して平面に座ることができるように、突出ピン（図示せず）を備えることができる。
理解されるように、ファスナ用のそのような穴２６は任意選択であり、３つ未満のそのような穴（例えば、図６に示されるような）があるか、又は任意選択で、ファスナ用の任意のそのような穴なしでディスクスケール部材を提供することができる。
説明した実施形態では、スケールディスクの穴１４は、不規則な形状である。特に、穴の中心に面する各片持ち式ばねの側面は直線であるが、対の片持ち式ばねの間の穴の形状は湾曲している。シャフトと係合するための直線縁を有する片持ち式ばねを提供することが有利であることが見出されているが、片持ち式ばねの対の間の穴の形状はそれほど重要ではなく、それを通って延びる円筒シャフトと係合しないように十分な形状及びサイズである必要がある（片持ち式ばねの自己位置特定効果に影響を与えないように）。
説明した実施形態では、３対の片持ち式ばね１６ａ、１６ｂ、１６ｃが提供される。ただし、これが最適な解決策であることが分かっている一方で、他の構成も可能である。例えば、４対の片持ち式ばねを提供することができる。任意選択で、多数の（例えば、３つ又は４つの）個別の片持ち式ばねは、片持ち式ばねをペアにして提供する代わりに、穴の側面の周りに提供することができる。
示されるように、説明された実施形態では、好ましくは、片持ち式ばね（又は一対の片持ち式ばね）は、穴の周りに等角に配置される。必ずしもそうである必要はないが、片持ち式ばねによって提供される力をバランスさせて自己位置特定効果を持たせようとする場合、そのような配置は最も簡単な場合がある。
スケールディスク４が、片持ち式ばね部材１６ａ、１６ｂ、１６ｃの対の間の空間よりわずかに大きいシャフト６に圧入されるとき、シャフト６は、穴１４の中央に面する、片持ち式ばね部材１６のそれぞれの側面に係合し、それらのそれぞれをスロット２２内にわずかに曲げさせる。片持ち式ばね部材１６の材料の弾性は、シャフト６に反応力を引き起こす。好ましくは、各片持ち式ばね部材１６によって提供される反力は、スケールディスク４がシャフト６上で自己中心になるように、名目上同じである。そのような名目上同一の反力は、それらが記載された実施形態にあるように、片持ち式ばね部材１６が形状及びサイズにおいて名目上同一であるように構成することによって達成することができる。
示されるように、説明された実施形態では、好ましくは、片持ち式ばね（又は一対の片持ち式ばね）は、穴の周りに等角に配置される。必ずしもそうである必要はないが、片持ち式ばねによって提供される力をバランスさせて自己中心効果を持たせようとする場合、そのような配置は最も簡単な場合がある。
Claims (11)
- 読み取りヘッドによって読み取るための少なくとも１つのスケール特徴のトラックを備えるエンコーダ装置のためのロータリスケール装置であって、前記ロータリスケール装置は、円筒シャフトを受け入れるための貫通穴を有する平面ディスクを備え、前記平面ディスクは、前記平面ディスクと実質的に平面に設けられ、前記貫通穴の縁の周りに間隔を置いて配置され、前記貫通穴に挿入された円筒シャフトと係合し、前記円筒シャフト上に前記平面ディスクを半径方向に配置する、少なくとも３つの一体型片持ち式ばね部材を備える、前記ロータリスケール装置。
- 前記片持ち式ばね部材の少なくとも１つは、もう１つの前記片持ち式ばね部材と反対方向に延在する、請求項１に記載のロータリスケール装置。
- ロータリスケール部材は、前記平面ディスクと平面に提供され、前記貫通穴の縁の周りに間隔を置いて配置された少なくとも３対の片持ち式ばね部材を含み、前記片持ち式ばね部材の１対は、互いに反対方向に延在する、請求項１又は２に記載のロータリスケール装置。
- 前記片持ち式ばねの幅は、前記貫通穴の中心に向かう側と離れる側との間で測定され、前記片持ち式ばねの自由端に向かって徐々に狭くなる、請求項１～３のいずれか１項に記載のロータリスケール装置。
- 前記貫通穴の中心に面する片持ち式ばね部材の少なくとも側面が実質的に直線である、請求項１～４のいずれか１項に記載のロータリスケール装置。
- 前記平面ディスクが金属ディスクを備える、請求項１～５のいずれか１項に記載のロータリスケール装置。
- 前記片持ち式ばね部材及び平面ディスクが、単一の材料シートから形成される、請求項１～６のいずれか１項に記載のロータリスケール装置。
- スケール特徴を含む前記少なくとも１つのトラックが、前記平面ディスクの表面上に設けられる、請求項１～７のいずれか１項に記載のロータリスケール装置。
- 前記シャフトの前記貫通穴と前記平面ディスクの外縁との間に位置する少なくとも１つの追加の穴を備える、請求項１～８のいずれか１項に記載のロータリスケール装置。
- 前記平面ディスクの厚さが、０．５ｍｍ以上５ｍｍ以下である、請求項１～９のいずれか１項に記載のロータリスケール装置。
- 第１及び第２の相対的回転可能部分を備える装置であって、請求項１～１０に記載のロータリスケール装置が、それに伴う回転のために、前記第１及び第２の相対的回転可能部分の一方に取り付けられ、前記ロータリスケール部材上の前記スケール特徴を読み取るために、前記第１及び第２の相対的回転可能部分の他方に取り付けられた少なくとも１つの読み取りヘッドを備える装置。
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