JP2023177287A - ショットキーバリアダイオード - Google Patents
ショットキーバリアダイオード Download PDFInfo
- Publication number
- JP2023177287A JP2023177287A JP2023085945A JP2023085945A JP2023177287A JP 2023177287 A JP2023177287 A JP 2023177287A JP 2023085945 A JP2023085945 A JP 2023085945A JP 2023085945 A JP2023085945 A JP 2023085945A JP 2023177287 A JP2023177287 A JP 2023177287A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- insulating film
- semiconductor layer
- type semiconductor
- schottky barrier
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 title claims abstract description 44
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 77
- AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N digallium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Ga+3].[Ga+3] AJNVQOSZGJRYEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 14
- 229910001195 gallium oxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 10
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 8
- 238000002161 passivation Methods 0.000 abstract description 5
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 abstract description 4
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 abstract description 4
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 9
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 229910005191 Ga 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 5
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 4
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 3
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 230000000116 mitigating effect Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021642 ultra pure water Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 description 1
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Abstract
【課題】酸化ガリウム系半導体からなる半導体層を備えたショットキーバリアダイオードであって、SiO2からなるパッシベーション膜により、表面リークが効果的に抑制され、かつ絶縁耐圧が効果的に向上したショットキーバリアダイオードを提供する。【解決手段】一実施の形態として、酸化ガリウム系半導体からなるn型半導体層10と、n型半導体層10の上面101の一部を覆う、SiO2からなる絶縁膜11と、n型半導体層10の上面101に接続され、n型半導体層10とショットキー接合を形成し、少なくとも一部の縁が絶縁膜11上にあるアノード電極14と、を備え、絶縁膜11が、n型半導体層10に接触する第1の層12と、第1の層12上の第2の層13を含み、第1の層12の屈折率が、第2の層13の屈折率よりも低い、ショットキーバリアダイオード1を提供する。【選択図】図1
Description
本発明は、ショットキーバリアダイオードに関する。
従来、Ga2O3系単結晶からなる半導体層を有するショットキーバリアダイオードであって、アノード電極の端部への電界集中を緩和するためのフィールドプレート構造を有するものが知られている(特許文献1を参照)。
特許文献1に記載のショットキーバリアダイオードにおいては、半導体層上にSiO2等の絶縁材料からなる絶縁層が設けられ、アノード電極が、絶縁層の開口部内で半導体層とショットキー接触し、かつ絶縁層の開口部周辺の領域に乗り上げたフィールドプレートを有する。
特許文献1に記載のショットキーバリアダイオードにおける絶縁層のような、半導体層上に設けられた絶縁膜は、半導体層の上面を流れる表面リーク電流を抑制するパッシベーション膜としても機能する。しかしながら、本発明の発明者らは、鋭意研究の結果、特に半導体層が酸化ガリウム系半導体からなる場合において、SiO2膜を半導体層上の絶縁膜として用いた場合、絶縁膜の密度を高くすると成膜時の半導体層へのダメージにより表面リークが多くなり、一方で、絶縁膜の密度を低くすると膜質が悪くなるため絶縁耐圧が低くなるという問題があることを見出した。
本発明の目的は、酸化ガリウム系半導体からなる半導体層を備えたショットキーバリアダイオードであって、SiO2からなるパッシベーション膜により、表面リークが効果的に抑制され、かつ絶縁耐圧が効果的に向上したショットキーバリアダイオードを提供することにある。
本発明の一態様は、上記目的を達成するために、下記[1]~[3]のショットキーバリアダイオードを提供する。
[1]酸化ガリウム系半導体からなるn型半導体層と、前記n型半導体層の上面の一部を覆う、SiO2からなる絶縁膜と、前記n型半導体層の前記上面に接続され、前記n型半導体層とショットキー接合を形成し、少なくとも一部の縁が前記絶縁膜上にあるアノード電極と、を備え、前記絶縁膜が、前記n型半導体層に接触する第1の層と、前記第1の層上の第2の層を含み、前記第1の層の屈折率が、前記第2の層の屈折率よりも低い、ショットキーバリアダイオード。
[2]前記第1の層の屈折率が1.44以下であり、前記第2の層の屈折率が1.46以上である、上記[1]に記載のショットキーバリアダイオード。
[3]前記絶縁膜の前記第1の層及び前記第2の層の前記アノード電極側の側面が、斜め上方を向くように傾斜している、上記[1]又は[2]に記載のショットキーバリアダイオード。
[2]前記第1の層の屈折率が1.44以下であり、前記第2の層の屈折率が1.46以上である、上記[1]に記載のショットキーバリアダイオード。
[3]前記絶縁膜の前記第1の層及び前記第2の層の前記アノード電極側の側面が、斜め上方を向くように傾斜している、上記[1]又は[2]に記載のショットキーバリアダイオード。
本発明によれば、酸化ガリウム系半導体からなる半導体層を備えたショットキーバリアダイオードであって、SiO2からなるパッシベーション膜により、表面リークが効果的に抑制され、かつ絶縁耐圧が効果的に向上したショットキーバリアダイオードを提供することができる。
(ショットキーバリアダイオードの構成)
図1(a)は、実施の形態に係るショットキーバリアダイオード1の垂直断面図である。ショットキーバリアダイオード1は、酸化ガリウム系半導体からなる半導体層を備えた縦型のショットキーバリアダイオードである。
図1(a)は、実施の形態に係るショットキーバリアダイオード1の垂直断面図である。ショットキーバリアダイオード1は、酸化ガリウム系半導体からなる半導体層を備えた縦型のショットキーバリアダイオードである。
ショットキーバリアダイオード1は、酸化ガリウム系半導体からなるn型半導体層10と、n型半導体層10の上面101の一部を覆う、SiO2からなる絶縁膜11と、n型半導体層10の上面101に接続され、n型半導体層10とショットキー接合を形成し、少なくとも一部の縁が絶縁膜11上にあるアノード電極14と、を備える。絶縁膜11は、n型半導体層10に接触する第1の層12と、第1の層12上の第2の層13を含み、第1の層12の屈折率が、第2の層13の屈折率よりも低い。また、n型半導体層10の上面101と反対側の面である下面102にはカソード電極15が接続される。
ショットキーバリアダイオード1においては、アノード電極14とカソード電極15との間に順方向電圧を印加することにより、n型半導体層10から見たアノード電極14とn型半導体層10との界面のエネルギー障壁が低下し、アノード電極14からカソード電極15へ電流が流れる。一方、アノード電極14とカソード電極15との間に逆方向電圧を印加したときは、ショットキー障壁により、電流は流れない。
n型半導体層10は、β型の結晶構造を有する酸化ガリウム系半導体の単結晶からなる。ここで、酸化ガリウム系半導体とは、Ga2O3、又は、Al、Inなどの元素が添加されたGa2O3をいう。例えば、酸化ガリウム系半導体は、(GaxAlyIn(1-x-y))2O3(0<x≦1、0≦y≦1、0<x+y≦1)で表される組成を有する。Ga2O3にAlを添加した場合にはバンドギャップが広がり、Inを添加した場合にはバンドギャップが狭くなる。
n型半導体層10は、Si、Snなどのドナー不純物を含む。n型半導体層10のドナー濃度は、例えば、1×1015cm-3以上、1×1017cm-3以下である。n型半導体層10の厚さは、例えば、2μm以上、100μm以下である。n型半導体層10は、例えば、液相成長法により育成された単結晶から切り出された基板からなる。
n型半導体層10は、複数の半導体層の積層体であってもよく、例えば、基板と、その上にエピタキシャル成長したエピタキシャル層から構成されてもよい。
ショットキーバリアダイオード1においては、上述のように、アノード電極14の少なくとも一部の縁が絶縁膜11上に載っている。このアノード電極14の縁の絶縁膜11上に載っている部分141はフィールドプレートと呼ばれ、フィールドプレートを備えた構造はフィールドプレート構造と呼ばれる。このようなフィールドプレート構造を設けることにより、アノード電極14の端部付近への電界集中を緩和し、ショットキーバリアダイオード1の絶縁耐圧を向上させることができる。
フィールドプレート構造により効果的に絶縁耐圧を向上させるためには、アノード電極14の縁が全周に渡って絶縁膜11上に載っていることが好ましい。例えば、絶縁膜11の平面形状がn型半導体層10とアノード電極14の接合部を囲む環状である場合は、絶縁膜11上に載っている部分141の平面形状も環状になる。
絶縁膜11は、低温で比較的良好な成膜が可能なプラズマCVDを用いて形成される。絶縁膜11を構成する、屈折率の異なる第1の層12と第2の層13は、プラズマ出力を制御することにより作り分けることができる。絶縁膜11は、n型半導体層10の上面101の全面に成膜された後、上面101のアノード電極14が接続される領域を露出させるためにパターニング加工される。
一般的に、フィールドプレートを載せる絶縁膜は、その密度が高いほど、ショットキーバリアダイオードの絶縁耐圧を大きく向上させることができる。プラズマCVDのプラズマ出力を大きくすることにより、絶縁膜の密度を高めることができるが、成膜時の半導体層の上面へのダメージが大きくなる。ダメージが大きくなると、半導体層の上面の界面準位密度が高くなるため、半導体層と絶縁膜との界面を流れるリーク電流(以下、界面リーク電流と呼ぶ)が増加する。一方で、プラズマCVDのプラズマ出力を小さくすることにより、半導体層の上面へのダメージを抑え、界面リーク電流の増加を抑えることができるが、絶縁膜の密度が低くなるため、ショットキーバリアダイオードの絶縁耐圧を効果的に向上させることができない。
本発明の実施の形態に係るショットキーバリアダイオード1においては、上述のように、絶縁膜11がn型半導体層10に接触する第1の層12と第1の層12上の第2の層13を含み、第1の層12の屈折率が第2の層13の屈折率よりも低い。ここで、絶縁膜11の密度と屈折率には相関があり、密度が高いほど屈折率が高くなる。
このため、第1の層12は、第2の層13よりもプラズマ出力が小さい条件で形成される。n型半導体層10と接触する第1の層12をプラズマ出力が小さい条件で形成することにより、n型半導体層10へのダメージを抑え、界面リーク電流を抑えることができる。
一方、第1の層12よりも屈折率が高い第2の層13は、第1の層12よりも密度が高い。絶縁膜11が密度の高い第2の層13を含むことにより、ショットキーバリアダイオード1の絶縁耐圧を高めることができる。密度の高い第2の層13は、プラズマCVDのプラズマ出力の大きい条件で成膜されるが、第2の層13の下には第1の層12が存在するため、第2の層13の成膜時のn型半導体層10へのダメージを抑えることができる。
すなわち、第1の層12と第2の層13を含む絶縁膜11を用いることにより、ショットキーバリアダイオード1の絶縁耐圧の向上と界面リーク電流の抑制を両立させることができる。
第1の層12の成膜時のn型半導体層10へのダメージを効果的に抑えるためには、第1の層12の屈折率は1.44以下であることが好ましい。また、第2の層13の成膜時のn型半導体層10へのダメージを効果的に抑えるためには、第1の層12の厚さは450nm以上であることが好ましい。
ショットキーバリアダイオード1の絶縁耐圧を効果的に向上させるためには、第2の層13の屈折率は1.46以上であることが好ましく、また、第2の層13の厚さは20nm以上であることが好ましい。また、応力の発生を抑えるためには、第2の層13の厚さは2000nm以下であることが好ましい。さらに、原因は明らかになっていないが、第2の層13の厚さが100nmを超えると界面リーク電流が大きくなる傾向があることが確認されている。このため、第2の層13の厚さは100nm以下であることが特に好ましい。
図1(b)は、絶縁膜11の内側の側面が傾斜している場合のショットキーバリアダイオード1の垂直断面図である。図1(b)に示されるショットキーバリアダイオード1においては、絶縁膜11の第1の層12及び第2の層13の内側、すなわちアノード電極14側の側面121及び側面131が、斜め上方を向くように傾斜している。
側面121及び側面131が斜め上方を向いている場合、側面121及び側面131が垂直である場合や斜め下方を向いている場合と比較して、より効果的に電界の集中を緩和することができる。
第1の層12及び第2の層13をパターニング加工する際のウェットエッチングのエッチングレートを制御することにより、斜め上方を向くように側面121及び側面131を傾斜させることができる。ここで、密度の異なる第1の層12及び第2の層13を同一の条件でエッチングすると、エッチングレートが異なるため、側面121と側面131の両方を、斜め上方を向くように傾斜させることが困難である。このため、第1の層12のエッチングと第2の層13のエッチングを異なる条件で分けて行うことが求められる。
また、第2の層13をエッチングした後、第2の層13よりも大きいマスクを用いて第1の層12をエッチングすることにより、図1(b)に示されるように、側面121の位置を側面131の位置よりも内側にずらし、段差を設けることができる。これにより、さらに効果的に電界の集中を緩和することができる。
なお、第1の層12及び第2の層13をパターニング加工する際のウェットエッチングのエッチングレートなどを制御することにより、側面121及び側面131の傾斜角度を制御することもできる。電界集中の緩和効果を高めるためには、側面121及び側面131の傾斜角度は、n型半導体層10の上面101に垂直な方向から10°以上であることが好ましい。
(ショットキーバリアダイオードの評価)
図2(a)、(b)は、ショットキーバリアダイオード1の絶縁膜11の効果を調べるためのMOSダイオード2a、2bの垂直断面図である。
図2(a)、(b)は、ショットキーバリアダイオード1の絶縁膜11の効果を調べるためのMOSダイオード2a、2bの垂直断面図である。
図2(a)に示されるMOSダイオード2aは、β-Ga2O3からなるn型半導体層20と、n型半導体層20の上面201上に形成された絶縁膜21と、絶縁膜21上に形成された電極23と、n型半導体層20の下面202上に形成された電極24とを備える。図2(b)に示されるMOSダイオード2bは、絶縁膜21よりも屈折率が高い、すなわち密度が高い絶縁膜22が絶縁膜21の上に形成されている点において、MOSダイオード2aと異なる。絶縁膜21と絶縁膜22はSiO2からなり、それぞれショットキーバリアダイオード1の第1の層12と第2の層13に対応する。
図3(a)は、絶縁膜21の厚さが300nmであるMOSダイオード2aに順方向の電界を印加したときの電流密度の変化を示すグラフである。図3(b)は、絶縁膜21の厚さが300nm、絶縁膜22の厚さが50nmであるMOSダイオード2bに順方向の電界を印加したときの電流密度の変化を示すグラフである。図3(a)と図3(b)には、それぞれ同じ条件で2回実施された測定の結果が示されている。
図3(a)と図3(b)は、第2の層13に対応する絶縁膜22を用いることにより、電界を印加したときに流れる電流が小さくなることを示している。このことは、絶縁膜21に絶縁膜22を積層することにより、絶縁膜全体として、絶縁膜としての膜質が向上することを示している。
図4(a)は、絶縁膜21の厚さが300nm、絶縁膜22の厚さが50nmであるMOSダイオード2bに逆方向の電圧を印加したときの電流密度の変化を示すグラフである。図4(b)は、絶縁膜21の厚さが450nm、絶縁膜22の厚さが50nmであるMOSダイオード2bに逆方向の電圧を印加したときの電流密度の変化を示すグラフである。図4(a)には、同じ条件で2回実施された測定の結果が示されており、図4(b)には、同じ条件で3回実施された測定の結果が示されている。
図4(a)と図4(b)は、第1の層12に対応する絶縁膜21の厚さを増すことにより、逆方向電圧を印加したときに流れる電流が小さくなることを示している。このことは、絶縁膜21の厚さが増すことにより、プラズマCVDのプラズマ出力の大きい条件で絶縁膜22を成膜するときのn型半導体層20の上面201へのダメージが抑える効果が大きくなることを示している。また、図4(a)と図4(b)から、少なくとも第1の層12に対応する絶縁膜21の厚さが450nm以上であればこの効果が大きくなることがわかる。
(ショットキーバリアダイオードの製造方法)
以下に、ショットキーバリアダイオード1の製造方法の例を示す。
以下に、ショットキーバリアダイオード1の製造方法の例を示す。
まず、酸化ガリウム系半導体基板をn型半導体層10として用意し、プロセス開始前洗浄として、有機溶剤を用いた超音波洗浄、フッ酸洗浄、及びSPM酸洗浄などを実施する。
次に、上面101の上に、絶縁膜11の第1の層12及び第2の層13となるSiO2膜をCVD法で成膜する。そして、まず、第2の層13となる上層のSiO2膜上に、フォトリソグラフィによりレジストをパターニングした後、そのレジストをマスクとして用いてBHFをエッチャントとするウェットエッチングを施し、側面131が傾斜した第2の層13を形成する。その後、第1の層12となる下層のSiO2膜上に、フォトリソグラフィによりレジストをパターニングした後、そのレジストをマスクとして用いてBHFをエッチャントとするウェットエッチングを施し、側面121が傾斜した第1の層12を形成する。
次に、前処理としてSPM洗浄と超純水洗浄を実施した後、アノード電極14となるNiやPtからなる金属膜をn型半導体層10の上面101に蒸着させる。そして、金属膜をパターニングしてアノード電極14を形成する。
次に、n型半導体層10の下面102をTi/Ni/Au積層構造などを有する金属膜で覆い、カソード電極15を形成する。
(実施の形態の効果)
上記実施の形態によれば、酸化ガリウム系半導体からなる半導体層を備えたショットキーバリアダイオードであって、SiO2からなるパッシベーション膜により、表面リークが効果的に抑制され、かつ絶縁耐圧が効果的に向上したショットキーバリアダイオードを提供することができる。
上記実施の形態によれば、酸化ガリウム系半導体からなる半導体層を備えたショットキーバリアダイオードであって、SiO2からなるパッシベーション膜により、表面リークが効果的に抑制され、かつ絶縁耐圧が効果的に向上したショットキーバリアダイオードを提供することができる。
以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明は、上記実施の形態に限定されず、発明の主旨を逸脱しない範囲内において種々変形実施が可能である。また、発明の主旨を逸脱しない範囲内において上記実施の形態の構成要素を任意に組み合わせることができる。また、上記に記載した実施の形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。また、実施の形態の中で説明した特徴の組合せの全てが発明の課題を解決するための手段に必須であるとは限らない点に留意すべきである。
1…ショットキーダイオード、 10…n型半導体層、 101…上面、 11…絶縁膜、 12…第1の層、 121…側面、 13…第2の層、 131…側面、 14…アノード電極、 141…部分、 15…カソード電極、 16…ガードリング
Claims (3)
- 酸化ガリウム系半導体からなるn型半導体層と、
前記n型半導体層の上面の一部を覆う、SiO2からなる絶縁膜と、
前記n型半導体層の前記上面に接続され、前記n型半導体層とショットキー接合を形成し、少なくとも一部の縁が前記絶縁膜上にあるアノード電極と、
を備え、
前記絶縁膜が、前記n型半導体層に接触する第1の層と、前記第1の層上の第2の層を含み、
前記第1の層の屈折率が、前記第2の層の屈折率よりも低い、
ショットキーバリアダイオード。 - 前記第1の層の屈折率が1.44以下であり、
前記第2の層の屈折率が1.46以上である、
請求項1に記載のショットキーバリアダイオード。 - 前記絶縁膜の前記第1の層及び前記第2の層の前記アノード電極側の側面が、斜め上方を向くように傾斜している、
請求項1又は2に記載のショットキーバリアダイオード。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202310632946.9A CN117153891A (zh) | 2022-06-01 | 2023-05-31 | 肖特基势垒二极管 |
US18/327,538 US20230395732A1 (en) | 2022-06-01 | 2023-06-01 | Schottky barrier diode |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022089615 | 2022-06-01 | ||
JP2022089615A JP2023037564A (ja) | 2022-06-01 | 2022-06-01 | ショットキーバリアダイオード |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2023177287A true JP2023177287A (ja) | 2023-12-13 |
Family
ID=85509312
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022089615A Pending JP2023037564A (ja) | 2022-06-01 | 2022-06-01 | ショットキーバリアダイオード |
JP2023085945A Pending JP2023177287A (ja) | 2022-06-01 | 2023-05-25 | ショットキーバリアダイオード |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022089615A Pending JP2023037564A (ja) | 2022-06-01 | 2022-06-01 | ショットキーバリアダイオード |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP2023037564A (ja) |
-
2022
- 2022-06-01 JP JP2022089615A patent/JP2023037564A/ja active Pending
-
2023
- 2023-05-25 JP JP2023085945A patent/JP2023177287A/ja active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2023037564A (ja) | 2023-03-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2018150451A1 (ja) | 電力用半導体装置 | |
US9093284B2 (en) | Aluminum gallium nitride etch stop layer for gallium nitride based devices | |
KR20120005372A (ko) | 조합형 필드 플레이트 및 보호 링을 갖는 쇼트키 다이오드 | |
JP2009088327A (ja) | 窒化ガリウム半導体装置およびその製造方法 | |
CN107978642B (zh) | 一种GaN基异质结二极管及其制备方法 | |
JP2009060049A (ja) | 窒化物系化合物半導体装置 | |
US20090230433A1 (en) | Nitride semiconductor device | |
WO2019009021A1 (ja) | ショットキーバリアダイオード | |
TW202042393A (zh) | 半導體裝置及其製造方法 | |
CN114899227A (zh) | 一种增强型氮化镓基晶体管及其制备方法 | |
TW201635522A (zh) | 半導體單元 | |
TWI797493B (zh) | 肖特基能障二極體 | |
TWI750875B (zh) | 肖特基能障二極體 | |
US20210184054A1 (en) | Semiconductor device and its manufacturing method | |
US11322593B2 (en) | Silicon carbide semiconductor device and method of manufacturing silicon carbide semiconductor device | |
CN111129166B (zh) | 氧化镓基半导体结构及其制备方法 | |
CN114975614A (zh) | 高电子迁移率晶体管及其制作方法 | |
JP2019096774A (ja) | 窒化物半導体素子の製造方法 | |
JP2023177287A (ja) | ショットキーバリアダイオード | |
KR100619603B1 (ko) | 이중산화막을 갖는 고내압 탄화규소 쇼트키 다이오드 소자및 그 제조방법 | |
US20230395732A1 (en) | Schottky barrier diode | |
JP2009004566A (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
JP2009054659A (ja) | 窒化ガリウム半導体装置の製造方法 | |
CN117153891A (zh) | 肖特基势垒二极管 | |
JP2023037565A (ja) | ショットキーバリアダイオード |