JP2023148940A - Photosensitive film for sand blasting - Google Patents

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Yuko Nakamura
宗利 入澤
Munetoshi Irisawa
邦人 梶谷
Kunito Kajitani
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Abstract

To provide a photosensitive film for sand blasting which enables a support to be easily peeled from a photosensitive resin layer, and enables only a cover film to be peeled from the photosensitive resin layer without making peeling between the support and the peeling layer progress when the cover film is peeled.SOLUTION: A photosensitive film for sand blasting has a support, a peeling layer, a photosensitive resin layer and a cover film in this order, wherein the photosensitive resin layer contains (A) an alkali-soluble resin, (B) a photopolymerization initiator, (C) urethane (meth)acrylate, and (D) a fluorine-based surface active agent.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、サンドブラスト用感光性フィルムに関する。 The present invention relates to a photosensitive film for sandblasting.

従来、ガラス、石材、金属、プラスチック、セラミック等を切削し、レリーフ形成するに際しては、サンドブラスト処理による加工が行われている。サンドブラスト処理とは、被処理体上にマスク材としてフォトリソグラフィー法等によりパターニングされた感光性樹脂層を設けた後、研磨剤を吹き付けて非マスク部を選択的に切削する処理である。 Conventionally, when glass, stone, metal, plastic, ceramic, etc. are cut to form a relief, processing by sandblasting is performed. Sandblasting is a process in which a photosensitive resin layer patterned by photolithography or the like is provided as a mask material on the object to be processed, and then an abrasive is sprayed to selectively cut non-mask parts.

このサンドブラスト処理用のマスク材となる感光性樹脂層を設けるために用いられるサンドブラスト用感光性フィルムは、支持体、感光性樹脂層、カバーフィルムをこの順に有していることが一般的である。また、感光性樹脂層としては、アルカリ可溶性樹脂、ウレタン(メタ)アクリレート、および光重合開始剤を含有し、該アルカリ可溶性樹脂としては、セルロース誘導体またはカルボキシ基含有アクリル樹脂などが知られている(例えば、特許文献1~3参照)。 A photosensitive film for sandblasting used to provide a photosensitive resin layer serving as a mask material for sandblasting generally has a support, a photosensitive resin layer, and a cover film in this order. In addition, the photosensitive resin layer contains an alkali-soluble resin, urethane (meth)acrylate, and a photopolymerization initiator, and known examples of the alkali-soluble resin include cellulose derivatives and carboxy group-containing acrylic resins ( For example, see Patent Documents 1 to 3).

このような感光性樹脂層には、塗工時の消泡性とレベリング性の向上、および感光性樹脂層の帯電防止性向上のために、界面活性剤を配合させることが一般的に実施されている。特許文献4では、サンドブラスト処理用のマスク材となる感光性樹脂層に、フッ素系界面活性剤を添加する具体例が記載されている。 A surfactant is generally added to such a photosensitive resin layer in order to improve defoaming and leveling properties during coating, and to improve the antistatic properties of the photosensitive resin layer. ing. Patent Document 4 describes a specific example in which a fluorine-based surfactant is added to a photosensitive resin layer that serves as a mask material for sandblasting.

一方でサンドブラスト処理用の感光性樹脂層の耐サンドブラスト性を高くするためには、硬化後の被膜の弾性を高くする必要があり、そのためには、ウレタン(メタ)アクリレートの配合量をできるだけ多くする必要があった。しかしながら、ウレタン(メタ)アクリレートの配合量を多くすると、硬化前の段階で感光性樹脂層の粘着力が増してしまうため、支持体を感光性樹脂層から剥離することができず、感光性樹脂層を被処理体に転写することが困難であった。そこで、耐サンドブラスト性を犠牲にして、ウレタン(メタ)アクリレートの配合量を低くする必要があった。 On the other hand, in order to increase the sandblasting resistance of the photosensitive resin layer for sandblasting, it is necessary to increase the elasticity of the cured film, and to achieve this, the amount of urethane (meth)acrylate blended should be as large as possible. There was a need. However, when the amount of urethane (meth)acrylate compounded is increased, the adhesive strength of the photosensitive resin layer increases before curing, making it impossible to peel the support from the photosensitive resin layer. It was difficult to transfer the layer to the object to be processed. Therefore, it was necessary to lower the blending amount of urethane (meth)acrylate at the expense of sandblasting resistance.

この問題を解決するため、支持体と感光性樹脂層の間に、例えばポリビニルアルコールまたは部分けん化ポリ酢酸ビニルや、それにエチレングリコール、プロピレングリコール、ポリエチレングリコール等を添加した水溶性樹脂層を剥離層として設けること(例えば、特許文献5、6)や、感光性樹脂層と支持体の間に感光性樹脂層が含むアルカリ可溶性樹脂と類似のアルカリ可溶性樹脂を含む剥離層を設けること(例えば、特許文献7)が一般的に実施されている。これによって、支持体を感光性樹脂層から剥離することが可能となる。 To solve this problem, a water-soluble resin layer made of polyvinyl alcohol, partially saponified polyvinyl acetate, ethylene glycol, propylene glycol, polyethylene glycol, etc. is added as a release layer between the support and the photosensitive resin layer. (for example, Patent Documents 5 and 6), or providing a peeling layer containing an alkali-soluble resin similar to the alkali-soluble resin contained in the photosensitive resin layer between the photosensitive resin layer and the support (for example, Patent Documents 5 and 6). 7) is generally practiced. This allows the support to be peeled off from the photosensitive resin layer.

しかしながら、上記した水溶性樹脂層を剥離層として用いた場合、剥離層上に感光性樹脂層を塗工する際にはじきが発生しやすいという問題があるほか、剥離層が含有する水溶性樹脂の種類によっては、支持体を剥離する際に剥離層を60℃以上の温度で暖めないと感光性樹脂層から支持体が剥離できず、加熱の工程が1工程増えてしまう欠点があった。また、感光性樹脂層と剥離層が類似のアルカリ可溶性樹脂を含む場合、支持体を剥離する際の加熱は不要であり、はじきの発生は抑制できるものの、感光性樹脂層とカバーフィルムの粘着力は維持されるため、カバーフィルムの剥離時に支持体と剥離層の間で剥離が起こり、サンドブラスト用感光性フィルムを使用できなくなるリスクが高まるという問題がある。 However, when the above-mentioned water-soluble resin layer is used as a release layer, there is a problem that repellency is likely to occur when coating the photosensitive resin layer on the release layer, and the water-soluble resin contained in the release layer Depending on the type, the support cannot be peeled off from the photosensitive resin layer unless the release layer is heated to a temperature of 60° C. or higher when the support is peeled off, resulting in an additional heating step. In addition, when the photosensitive resin layer and the release layer contain similar alkali-soluble resins, heating is not necessary when removing the support, and although the occurrence of repelling can be suppressed, the adhesive strength between the photosensitive resin layer and the cover film is is maintained, therefore, there is a problem that peeling occurs between the support and the release layer when the cover film is peeled off, increasing the risk that the photosensitive film for sandblasting will no longer be usable.

特開平8-54734号公報Japanese Patent Application Publication No. 8-54734 特開平10-239840号公報Japanese Patent Application Publication No. 10-239840 特開平10-69851号公報Japanese Patent Application Publication No. 10-69851 特開2006-065000号公報Japanese Patent Application Publication No. 2006-065000 特開昭59-137948号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 59-137948 特開平6-161098号公報Japanese Patent Application Publication No. 6-161098 特開2012-27357号公報Japanese Patent Application Publication No. 2012-27357

本発明の課題は、支持体を感光性樹脂層から容易に剥離することが可能であり、かつ、カバーフィルムの剥離時に支持体と剥離層の間で剥離が進むことなくカバーフィルムのみを感光性樹脂層上から剥離できるサンドブラスト用感光性フィルムを提供することである。 The problem of the present invention is to make it possible to easily peel off the support from the photosensitive resin layer, and to make only the cover film photosensitive without further peeling between the support and the release layer when the cover film is peeled off. An object of the present invention is to provide a photosensitive film for sandblasting that can be peeled off from a resin layer.

本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意検討した結果、支持体、剥離層、感光性樹脂層、およびカバーフィルムをこの順に有するサンドブラスト用感光性フィルムにおいて、該感光性樹脂層が(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)光重合開始剤、(C)ウレタン(メタ)アクリレート、および(D)フッ素系界面活性剤を含むことを特徴とするサンドブラスト用感光性フィルムによって上記課題を解決した。 As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventors have found that in a photosensitive film for sandblasting, which has a support, a release layer, a photosensitive resin layer, and a cover film in this order, the photosensitive resin layer ( The above problems were solved by a photosensitive film for sandblasting, which is characterized by containing A) an alkali-soluble resin, (B) a photopolymerization initiator, (C) urethane (meth)acrylate, and (D) a fluorine-based surfactant. .

支持体を感光性樹脂層から容易に剥離することが可能であり、かつ、カバーフィルムの剥離時に支持体と剥離層の間で剥離が進むことなくカバーフィルムのみを感光性樹脂層上から剥離できるサンドブラスト用感光性フィルムを提供することができる。 The support can be easily peeled off from the photosensitive resin layer, and only the cover film can be peeled off from the photosensitive resin layer without further peeling between the support and the release layer when the cover film is peeled off. A photosensitive film for sandblasting can be provided.

本発明のサンドブラスト用感光性フィルムの概略断面図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a schematic sectional drawing of the photosensitive film for sandblasting of this invention.

以下、本発明のサンドブラスト用感光性フィルムについて詳細に説明する。 Hereinafter, the photosensitive film for sandblasting of the present invention will be explained in detail.

本発明のサンドブラスト用感光性フィルムは、図1に示すように、支持体1、剥離層2、感光性樹脂層3、およびカバーフィルム4が積層した構造となっている。使用方法は、まずカバーフィルム4を剥離し、次に、被処理体上に感光性樹脂層3が接触するようにしてラミネータ等を利用して貼り付ける。次に、支持体1側からレリーフ画像にあったマスクフィルムを介して露光した後に支持体1を剥離層2と支持体1の界面から剥離する。もしくは、解像性を要求する場合は、光の屈折を少なくするため、支持体1を剥離したのち、剥離層2側からレリーフ画像にあったマスクフィルムを介して露光する。感光性樹脂層3の露光部分は硬化される。この際、剥離層2は非感光性であるため、硬化は起こらない。次に、剥離層2および非露光部をアルカリ現像液によって洗い流し、その後水洗を実施する。次に、サンドブラスト処理を施し、被処理体を加工する。 As shown in FIG. 1, the photosensitive film for sandblasting of the present invention has a structure in which a support 1, a release layer 2, a photosensitive resin layer 3, and a cover film 4 are laminated. To use it, first, the cover film 4 is peeled off, and then the photosensitive resin layer 3 is attached onto the object to be processed using a laminator or the like so that it comes into contact with the object. Next, the support 1 is exposed from the side of the support 1 through a mask film that corresponds to the relief image, and then the support 1 is peeled off from the interface between the release layer 2 and the support 1. Alternatively, when high resolution is required, in order to reduce light refraction, after peeling off the support 1, exposure is performed from the peeling layer 2 side through a mask film that matches the relief image. The exposed portions of the photosensitive resin layer 3 are cured. At this time, since the release layer 2 is non-photosensitive, curing does not occur. Next, the release layer 2 and the unexposed areas are washed away with an alkaline developer, and then washed with water. Next, the object to be processed is processed by sandblasting.

支持体としては、活性光線を透過させる透明フィルムが好ましい。該透明フィルムのヘーズ値は10%以下であることが好ましい。厚みについては、薄い方が光の屈折が少ないので好ましく、厚い方が塗工安定性に優れるため、10~100μmが好ましい。このような透明フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート等のフィルムが挙げられる。 As the support, a transparent film that transmits actinic rays is preferable. The transparent film preferably has a haze value of 10% or less. Regarding the thickness, a thinner one is preferable because it causes less light refraction, and a thicker one is preferable because the coating stability is excellent, so it is preferably 10 to 100 μm. Examples of such transparent films include films of polyethylene terephthalate, polycarbonate, and the like.

カバーフィルムとしては、未硬化または硬化した感光性樹脂層を剥離できればよく、離型性の高い樹脂が用いられる。例えば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム等のフィルムが挙げられる。また、これらのフィルムにシリコーン等の離型剤が塗工されたフィルムが挙げられる。
The cover film only needs to be able to peel off the uncured or cured photosensitive resin layer, and a resin with high mold releasability is used. Examples include films such as polyethylene film and polypropylene film. Furthermore, films obtained by coating these films with a release agent such as silicone may be mentioned.

感光性樹脂層は、少なくとも(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)光重合開始剤、(C)ウレタン(メタ)アクリレート化合物、および(D)フッ素系界面活性剤を含有する。なお、本明細書において、これらの成分は、成分(A)、成分(B)、成分(C)、成分(D)と表記する、あるいは単に(A)、(B)、(C)、(D)等と表記することがある。 The photosensitive resin layer contains at least (A) an alkali-soluble resin, (B) a photopolymerization initiator, (C) a urethane (meth)acrylate compound, and (D) a fluorine-based surfactant. In addition, in this specification, these components are expressed as component (A), component (B), component (C), component (D), or simply (A), (B), (C), ( D) etc.

(A)アルカリ可溶性樹脂としては、以下に記載するアルカリ可溶性セルロース誘導体、カルボキシ基含有アクリル樹脂等が挙げられる。 Examples of the alkali-soluble resin (A) include the alkali-soluble cellulose derivatives and carboxyl group-containing acrylic resins described below.

アルカリ可溶性セルロース誘導体としては、セルロースアセテートフタレート、ヒドロキシプロピルメチルセルロースフタレート、ヒドロキシプロピルメチルセルロースアセテートフタレート、ヒドロキシプロピルメチルセルロースアセテートサクシネート等が挙げられる。 Examples of the alkali-soluble cellulose derivatives include cellulose acetate phthalate, hydroxypropylmethylcellulose phthalate, hydroxypropylmethylcellulose acetate phthalate, hydroxypropylmethylcellulose acetate succinate, and the like.

カルボキシ基含有アクリル樹脂としては、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリレート類に、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸等のエチレン性不飽和カルボン酸類を共重合させたアクリル系重合体が挙げられる。また、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸等のジカルボン酸や、それらの無水物やハーフエステル、スチレン、(メタ)アクリロニトリル、(メタ)アクリルアミド等のその他の共重合可能なエチレン性不飽和基を有する単量体を共重合させた重合体も含まれる。 Examples of carboxy group-containing acrylic resins include acrylic resins made by copolymerizing (meth)acrylates such as methyl (meth)acrylate and ethyl (meth)acrylate with ethylenically unsaturated carboxylic acids such as acrylic acid, methacrylic acid, and crotonic acid. Examples include polymers. It also contains dicarboxylic acids such as maleic acid, fumaric acid, and itaconic acid, their anhydrides and half esters, and other copolymerizable ethylenically unsaturated groups such as styrene, (meth)acrylonitrile, and (meth)acrylamide. Also included are polymers obtained by copolymerizing monomers.

上記(メタ)アクリレートとしては、例えば、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n-プロピル(メタ)アクリレート、イソプロピル(メタ)アクリレート、n-ブチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、n-ヘキシル(メタ)アクリレート、2-エチルヘキシル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、グリシジル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、2-(ジメチルアミノ)エチル(メタ)アクリレート、2-(ジエチルアミノ)エチル(メタ)アクリレート、2,2,2-トリフルオロエチル(メタ)アクリレート、2,2,3,3-テトラフルオロプロピル(メタ)アクリレート等が挙げられる。 Examples of the (meth)acrylate include methyl (meth)acrylate, ethyl (meth)acrylate, n-propyl (meth)acrylate, isopropyl (meth)acrylate, n-butyl (meth)acrylate, isobutyl (meth)acrylate, n-hexyl (meth)acrylate, 2-ethylhexyl (meth)acrylate, cyclohexyl (meth)acrylate, benzyl (meth)acrylate, 2-hydroxyethyl (meth)acrylate, 2-hydroxypropyl (meth)acrylate, glycidyl (meth)acrylate Acrylate, lauryl (meth)acrylate, tetrahydrofurfuryl (meth)acrylate, 2-(dimethylamino)ethyl (meth)acrylate, 2-(diethylamino)ethyl (meth)acrylate, 2,2,2-trifluoroethyl (meth)acrylate, ) acrylate, 2,2,3,3-tetrafluoropropyl (meth)acrylate, and the like.

上記エチレン性不飽和カルボン酸として、アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸等のモノカルボン酸が好適に用いられ、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸等のジカルボン酸や、それらの無水物やハーフエステルを用いることもできる。これらの中でも、アクリル酸、メタクリル酸が特に好ましい。 As the ethylenically unsaturated carboxylic acid, monocarboxylic acids such as acrylic acid, methacrylic acid, and crotonic acid are preferably used, and dicarboxylic acids such as maleic acid, fumaric acid, and itaconic acid, and their anhydrides and half esters are preferably used. It can also be used. Among these, acrylic acid and methacrylic acid are particularly preferred.

上記その他の共重合可能なエチレン性不飽和基を有する単量体としては、例えば、スチレン、α-メチルスチレン、p-メチルスチレン、p-エチルスチレン、p-メトキシスチレン、p-エトキシスチレン、p-クロロスチレン、p-ブロモスチレン、(メタ)アクリロニトリル、(メタ)アクリルアミド、ジアセトンアクリルアミド、ビニルトルエン、酢酸ビニル、ビニル-n-ブチルエーテル等が挙げられる。 Examples of the other copolymerizable monomers having an ethylenically unsaturated group include styrene, α-methylstyrene, p-methylstyrene, p-ethylstyrene, p-methoxystyrene, p-ethoxystyrene, p- -chlorostyrene, p-bromostyrene, (meth)acrylonitrile, (meth)acrylamide, diacetone acrylamide, vinyltoluene, vinyl acetate, vinyl-n-butyl ether and the like.

(A)アルカリ可溶性樹脂の酸価は、30~500mgKOH/gであることが好ましく、100~300mgKOH/gであることがより好ましい。この酸価が、30mgKOH/g未満ではアルカリ現像の時間が長くなる傾向があり、一方、500mgKOH/gを超えると、耐サンドブラスト性が低下する場合がある。 The acid value of the alkali-soluble resin (A) is preferably 30 to 500 mgKOH/g, more preferably 100 to 300 mgKOH/g. If this acid value is less than 30 mgKOH/g, the time for alkaline development tends to be longer, while if it exceeds 500 mgKOH/g, sandblasting resistance may decrease.

また、(A)アルカリ可溶性樹脂の質量平均分子量は、10,000~200,000であることが好ましく、10,000~150,000であることがより好ましい。質量平均分子量が、10,000未満では本発明における感光性樹脂層を形成することが困難になる場合があり、一方、200,000を超えるとアルカリ現像液に対する溶解性が悪化する傾向がある。 Furthermore, the weight average molecular weight of the alkali-soluble resin (A) is preferably 10,000 to 200,000, more preferably 10,000 to 150,000. If the mass average molecular weight is less than 10,000, it may be difficult to form a photosensitive resin layer in the present invention, while if it exceeds 200,000, the solubility in an alkaline developer tends to deteriorate.

本発明における感光性樹脂層は(B)光重合開始剤を含有する。(B)光重合開始剤としては、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルホリノフェニル)ブタン-1-オン、2-メチル-1-[4-(メチルチオ)フェニル]-2-モルフォリノプロパン-1-オン等の芳香族ケトン;2-エチルアントラキノン、フェナントレンキノン、2-tert-ブチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,2-ベンズアントラキノン、2,3-ベンズアントラキノン、2-フェニルアントラキノン、2,3-ジフェニルアントラキノン、1-クロロアントラキノン、2-メチルアントラキノン、1,4-ナフトキノン、9,10-フェナントラキノン、2-メチル-1,4-ナフトキノン、2,3-ジメチルアントラキノン等のキノン類;ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエーテル化合物;ベンゾイン、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾイン化合物;ベンジルジメチルケタール、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2-ヒドロキシ-2-メチル-1-フェニルプロパン-1-オン、1-[4-(2-ヒドロキシエトキシ)フェニル]-2-ヒドロキシ-2-メチルプロパン-1-オン、2-ヒドロキシ-1-{4-[4-(2-ヒドロキシ-2-メチル-プロピオニル)ベンジル]フェニル}-2-メチルプロパン-1-オン、2-(ジメチルアミノ)-2-[(4-メチルフェニル)メチル]-1-[4-(4-モルホリニル)フェニル]-1-ブタノン等のアルキルフェノン類;2,4,6-トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、ビス(2,4,6-トリメチルベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド等のアシルフォスフィンオキサイド類;1,2-オクタンジオン,1-[4-(フェニルチオ)フェニル-,2-(o-ベンゾイルオキシム)]、エタノン,1-[9-エチル-6-(2-メチルベンゾイル)-9H-カルバゾール-3-イル]-,1-(o-アセチルオキシム)等のオキシムエステル類;2-(o-クロロフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体、2-(o-クロロフェニル)-4,5-ビス(メトキシフェニル)イミダゾール二量体、2-(o-フルオロフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体、2-(o-メトキシフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体、2-(p-メトキシフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体等の2,4,5-トリアリールイミダゾール二量体;9-フェニルアクリジン、1,7-ビス(9,9′-アクリジニル)ヘプタン等のアクリジン誘導体;N-フェニルグリシン、N-フェニルグリシン誘導体;クマリン系化合物;ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、ベンゾイル安息香酸メチル、4-フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、アクリル化ベンゾフェノン、4-ベンゾイル-4′-メチルジフェニルサルファイド、3,3′,4,4′-テトラ(t-ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、4,4′-ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4′-ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン等のベンゾフェノン系化合物が挙げられる。上記2,4,5-トリアリールイミダゾール二量体における2つの2,4,5-トリアリールイミダゾールのアリール基の置換基は、同一であって対称な化合物を与えてもよいし、相違して非対称な化合物を与えてもよい。また、ジエチルチオキサントンとジメチルアミノ安息香酸の組み合わせのように、チオキサントン系化合物と3級アミン化合物とを組み合わせてもよい。これらは単独で、または2種類以上を組み合わせて使用される。 The photosensitive resin layer in the present invention contains (B) a photopolymerization initiator. (B) As the photopolymerization initiator, 2-benzyl-2-dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl)butan-1-one, 2-methyl-1-[4-(methylthio)phenyl]-2- Aromatic ketones such as morpholinopropan-1-one; 2-ethylanthraquinone, phenanthrenequinone, 2-tert-butylanthraquinone, octamethylanthraquinone, 1,2-benzanthraquinone, 2,3-benzanthraquinone, 2-phenylanthraquinone , 2,3-diphenylanthraquinone, 1-chloroanthraquinone, 2-methylanthraquinone, 1,4-naphthoquinone, 9,10-phenanthraquinone, 2-methyl-1,4-naphthoquinone, 2,3-dimethylanthraquinone, etc. quinones; benzoin ether compounds such as benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, and benzoin phenyl ether; benzoin compounds such as benzoin, methylbenzoin, and ethylbenzoin; benzyl dimethyl ketal, 1-hydroxycyclohexylphenyl ketone, 2-hydroxy-2- Methyl-1-phenylpropan-1-one, 1-[4-(2-hydroxyethoxy)phenyl]-2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 2-hydroxy-1-{4-[4- (2-hydroxy-2-methyl-propionyl)benzyl]phenyl}-2-methylpropan-1-one, 2-(dimethylamino)-2-[(4-methylphenyl)methyl]-1-[4-( Alkylphenones such as 4-morpholinyl)phenyl]-1-butanone; acylphosphine oxides such as 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide and bis(2,4,6-trimethylbenzoyl)phenylphosphine oxide Class; 1,2-octanedione, 1-[4-(phenylthio)phenyl-, 2-(o-benzoyloxime)], ethanone, 1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)-9H- 2-(o-chlorophenyl)-4,5-diphenylimidazole dimer, 2-(o-chlorophenyl)-4, 5-bis(methoxyphenyl)imidazole dimer, 2-(o-fluorophenyl)-4,5-diphenylimidazole dimer, 2-(o-methoxyphenyl)-4,5-diphenylimidazole dimer, 2,4,5-triarylimidazole dimers such as 2-(p-methoxyphenyl)-4,5-diphenylimidazole dimer; 9-phenylacridine, 1,7-bis(9,9'-acridinyl) ) Acridine derivatives such as heptane; N-phenylglycine, N-phenylglycine derivatives; Coumarin compounds; benzophenone, benzoylbenzoic acid, methyl benzoylbenzoate, 4-phenylbenzophenone, hydroxybenzophenone, acrylated benzophenone, 4-benzoyl-4 '-Methyldiphenyl sulfide, 3,3',4,4'-tetra(t-butylperoxycarbonyl)benzophenone, 4,4'-bis(dimethylamino)benzophenone, 4,4'-bis(diethylamino)benzophenone, etc. Examples include benzophenone compounds. The substituents on the aryl groups of the two 2,4,5-triarylimidazole in the above 2,4,5-triarylimidazole dimer may be the same and give a symmetrical compound, or they may be different. Asymmetric compounds may also be provided. Furthermore, a thioxanthone compound and a tertiary amine compound may be combined, such as a combination of diethylthioxanthone and dimethylaminobenzoic acid. These may be used alone or in combination of two or more.

本発明における感光性樹脂層は(C)ウレタン(メタ)アクリレート化合物を含有する。(C)ウレタン(メタ)アクリレート化合物とは、多価ヒドロキシ基を有する化合物と多価イソシアネート化合物とが反応した末端イソシアネート基を有する化合物と、ヒドロキシ基を有する(メタ)アクリレート化合物との反応生成物をいう。前記多価ヒドロキシ基を有する化合物としては、末端にヒドロキシ基を有するポリエステル類、ポリエーテル類等が挙げられるが、ポリエステル類としては、ラクトン類が開環重合したポリエステル類、ポリカーボネート類、エチレングリコール、プロピレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、ジプロピレングリコール等のアルキレングリコールと、マレイン酸、フマル酸、グルタル酸、アジピン酸等のジカルボン酸との縮合反応で得られたポリエステル類が挙げられる。前記ラクトン類としては、具体的にはδ-バレロラクトン、ε-カプロラクトン、β-プロピオラクトン、α-メチル-β-プロピオラクトン、β-メチル-β-プロピオラクトン、α,α-ジメチル-β-プロピオラクトン、β,β-ジメチル-β-プロピオラクトン等が挙げられる。また、前記ポリカーボネート類としては、具体的にはビスフェノールA、ヒドロキノン、ジヒドロキシシクロヘキサノン等のジオールと、ジフェニルカーボネート、ホスゲン、無水コハク酸等のカルボニル化合物との反応生成物が挙げられる。また、前記ポリエーテル類としては、具体的にはポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリテトラメチレングリコール、ポリペンタメチレングリコール等を挙げることができる。 The photosensitive resin layer in the present invention contains (C) a urethane (meth)acrylate compound. (C) Urethane (meth)acrylate compound is a reaction product of a compound having a terminal isocyanate group and a (meth)acrylate compound having a hydroxy group, which is the reaction between a compound having a polyvalent hydroxy group and a polyvalent isocyanate compound. means. Examples of the compound having a polyvalent hydroxyl group include polyesters and polyethers having a hydroxyl group at the end; examples of the polyester include polyesters obtained by ring-opening polymerization of lactones, polycarbonates, ethylene glycol, Examples include polyesters obtained by condensation reactions of alkylene glycols such as propylene glycol, diethylene glycol, triethylene glycol, and dipropylene glycol with dicarboxylic acids such as maleic acid, fumaric acid, glutaric acid, and adipic acid. Specifically, the lactones include δ-valerolactone, ε-caprolactone, β-propiolactone, α-methyl-β-propiolactone, β-methyl-β-propiolactone, α,α-dimethyl -β-propiolactone, β,β-dimethyl-β-propiolactone, and the like. Specific examples of the polycarbonates include reaction products of diols such as bisphenol A, hydroquinone, and dihydroxycyclohexanone and carbonyl compounds such as diphenyl carbonate, phosgene, and succinic anhydride. Further, specific examples of the polyethers include polyethylene glycol, polypropylene glycol, polytetramethylene glycol, polypentamethylene glycol, and the like.

上記多価ヒドロキシ基を有する化合物と反応する多価イソシアネート化合物としては、具体的にはジメチレンジイソシアネート、トリメチレンジイソシアネート、テトラメチレンジイソシアネート、ペンタメチレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、ヘプタメチレンジイソシアネート、2,2-ジメチルペンタン-1,5-ジイソシアネート、オクタメチレンジイソシアネート、2,5-ジメチルヘキサン-1,6-ジイソシアネート、2,2,4-トリメチルペンタン-1,5-ジイソシアネート、ノナメチレンジイソシアネート、2,2,4-トリメチルヘキサンジイソシアネート、デカメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート等の脂肪族または脂環式のジイソシアネート化合物を挙げることができ、その化合物の単独または2種類以上の混合物が使用できる。 Specific examples of the polyvalent isocyanate compound that reacts with the compound having a polyvalent hydroxy group include dimethylene diisocyanate, trimethylene diisocyanate, tetramethylene diisocyanate, pentamethylene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, heptamethylene diisocyanate, 2,2- Dimethylpentane-1,5-diisocyanate, octamethylene diisocyanate, 2,5-dimethylhexane-1,6-diisocyanate, 2,2,4-trimethylpentane-1,5-diisocyanate, nonamethylene diisocyanate, 2,2,4 - Aliphatic or alicyclic diisocyanate compounds such as trimethylhexane diisocyanate, decamethylene diisocyanate, and isophorone diisocyanate can be mentioned, and these compounds can be used alone or in a mixture of two or more types.

さらに、ヒドロキシ基を有する(メタ)アクリレート化合物としては、具体的には2-ヒドロキシエチルアクリレート、2-ヒドロキシエチルメタクリレート、3-ヒドロキシプロピルアクリレート、3-ヒドロキシプロピルメタクリレート、またそれら1molに対してε-カプロラクトンを1~10mol付加した化合物、を挙げることができ、その単独または2種類以上が混合して使用できる。 Further, as (meth)acrylate compounds having a hydroxy group, specifically, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, 3-hydroxypropyl acrylate, 3-hydroxypropyl methacrylate, and ε- Compounds containing 1 to 10 mol of caprolactone can be mentioned, and these compounds can be used alone or in combination of two or more.

成分(C)は、カルボキシ基を含有していてもよい。カルボキシ基を含有することで、アルカリ現像液に対する溶解性が向上する傾向にある。カルボキシ基を含有する成分(C)は、最初に、ジイソシアネート化合物と、カルボキシ基を有するジオール化合物とを両末端にイソシアネート基が残るように反応させ次いでこの反応物の末端イソシアネート基に、ヒドロキシ基を有する(メタ)アクリレート化合物を反応させることによって得ることができる。 Component (C) may contain a carboxy group. Containing a carboxyl group tends to improve solubility in an alkaline developer. Component (C) containing a carboxyl group is obtained by first reacting a diisocyanate compound and a diol compound having a carboxyl group so that isocyanate groups remain at both ends, and then adding a hydroxy group to the terminal isocyanate group of the reaction product. It can be obtained by reacting (meth)acrylate compounds that have.

本発明における感光性樹脂層は(D)フッ素系界面活性剤を含有する。(D)フッ素系界面活性剤としては、パーフルオロアルキル基を有するアルコールのポリアルキレンオキサイド(ポリエチレンオキサイド、ポリプロピレンオキサイド等)付加物、パーフルオロポリエーテルのポリアルキレンオキサイド(ポリエチレンオキサイド、ポリプロピレンオキサイド等)付加物等が含まれる。なお、フッ素系界面活性剤は、分子構造の一部(例えば、末端基)に、ヒドロキシル基、アルコキシ基、アルキル基、アミノ基、チオール基等を有してもよい。 The photosensitive resin layer in the present invention contains (D) a fluorosurfactant. (D) Fluorine-based surfactants include polyalkylene oxide (polyethylene oxide, polypropylene oxide, etc.) adducts of alcohols having perfluoroalkyl groups, and polyalkylene oxide (polyethylene oxide, polypropylene oxide, etc.) adducts of perfluoropolyethers. This includes things such as things. Note that the fluorine-based surfactant may have a hydroxyl group, an alkoxy group, an alkyl group, an amino group, a thiol group, etc. in a part of its molecular structure (for example, a terminal group).

フッ素系界面活性剤としては、市販品を使用してもよい。市販品としては、例えば、メガファック(登録商標)F114、F142D、F172、F173、F183、F251、F253、F281、F444、F445、F470、F475、F477、F478、F479、F486、F-553、F-555、F556、F559、F562、RS-75、TF-2066、TF-2067、TF-2068、ペンタデカエチレングリコールモノ1H,1H,2H,2H-パーフルオロオクチルエーテル(以上、DIC(株)製)、フロラードFC-430、FC-431(以上、スリーエムジャパン(株)製)、サーフロン(登録商標)S-382(AGC(株)製)、EFTOP EF-122A、122B、122C、EF-121、EF-126、EF-127、MF-100(以上、三菱マテリアル電子化成(株)製)、PF-636、PF-6320、PF-656、PF-6520(以上、OMNOVA Solutions Inc.製)、ユニダイン(登録商標)DS-401、DS-403、DS-451(以上、ダイキン工業(株)製)、フタージェント(登録商標)250、251、222F、208G(以上、(株)ネオス製)等が挙げられる。 As the fluorine-based surfactant, commercially available products may be used. Commercially available products include, for example, Megafac (registered trademark) F114, F142D, F172, F173, F183, F251, F253, F281, F444, F445, F470, F475, F477, F478, F479, F486, F-553, F -555, F556, F559, F562, RS-75, TF-2066, TF-2067, TF-2068, pentadecaethylene glycol mono 1H, 1H, 2H, 2H-perfluorooctyl ether (manufactured by DIC Corporation) ), Florado FC-430, FC-431 (manufactured by 3M Japan Ltd.), Surflon (registered trademark) S-382 (manufactured by AGC Ltd.), EFTOP EF-122A, 122B, 122C, EF-121, EF-126, EF-127, MF-100 (manufactured by Mitsubishi Materials Electronic Chemicals Co., Ltd.), PF-636, PF-6320, PF-656, PF-6520 (manufactured by OMNOVA Solutions Inc.), Unidyne (Registered trademark) DS-401, DS-403, DS-451 (manufactured by Daikin Industries, Ltd.), Ftergent (registered trademark) 250, 251, 222F, 208G (manufactured by Neos Corporation), etc. Can be mentioned.

感光性樹脂層には、必要に応じて、上記成分(A)~(D)以外の成分を含有させてもよい。このような成分としては、光重合性単量体、溶剤、熱重合禁止剤、可塑剤、着色剤(染料、顔料)、光発色剤、光減色材、熱発色防止剤、充填剤、消泡剤、難燃剤、密着性付与剤、レベリング剤、剥離促進剤、酸化防止剤、香料、熱硬化剤、撥水剤および撥油剤等が挙げられ、各々上記成分(A)~(C)の合計量に対して0.01~20質量%程度含有することができる。これらの成分は1種を単独で、または2種類以上を組み合わせて用いることができる。 The photosensitive resin layer may contain components other than the above components (A) to (D), if necessary. Such components include photopolymerizable monomers, solvents, thermal polymerization inhibitors, plasticizers, colorants (dyes, pigments), photocoloring agents, photoreducing agents, thermal coloration inhibitors, fillers, and antifoaming agents. agents, flame retardants, adhesion-imparting agents, leveling agents, peel accelerators, antioxidants, fragrances, thermosetting agents, water repellents, oil repellents, etc., each of which is the sum of the above components (A) to (C). It can be contained in an amount of about 0.01 to 20% by mass based on the amount. These components can be used alone or in combination of two or more.

上記光重合性単量体とは、成分(C)ウレタン(メタ)アクリレート以外の、分子内に少なくとも1個の重合可能なエチレン性不飽和基を有する化合物である。例えば、多価アルコールにα,β-不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物;ビスフェノールA系(メタ)アクリレート化合物;グリシジル基含有化合物にα,β-不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物;ノニルフェノキシポリエチレンオキシアクリレート;γ-クロロ-β-ヒドロキシプロピル-β′-(メタ)アクリロイルオキシエチル-o-フタレート、β-ヒドロキシアルキル-β′-(メタ)アクリロイルオキシアルキル-o-フタレート等のフタル酸系化合物;(メタ)アクリル酸アルキルエステル、EO変性および/またはPO変性ノニルフェニル(メタ)アクリレート等が挙げられる。ここで、EOおよびPOは、エチレンオキサイドおよびプロピレンオキサイドを示し、エチレンオキサイドのブロック構造および/またはプロピレンオキサイドのブロック構造を有するノニルフェニル(メタ)アクリレートである。これらの光重合性単量体は単独で、または2種類以上を組み合わせて用いることができる。 The photopolymerizable monomer is a compound having at least one polymerizable ethylenically unsaturated group in the molecule, other than component (C) urethane (meth)acrylate. For example, a compound obtained by reacting a polyhydric alcohol with an α,β-unsaturated carboxylic acid; a bisphenol A-based (meth)acrylate compound; a compound obtained by reacting a glycidyl group-containing compound with an α,β-unsaturated carboxylic acid. Compound; Nonylphenoxypolyethyleneoxyacrylate; γ-chloro-β-hydroxypropyl-β'-(meth)acryloyloxyethyl-o-phthalate, β-hydroxyalkyl-β'-(meth)acryloyloxyalkyl-o-phthalate, etc. Examples include phthalic acid compounds; (meth)acrylic acid alkyl esters, EO-modified and/or PO-modified nonylphenyl (meth)acrylates, and the like. Here, EO and PO represent ethylene oxide and propylene oxide, and are nonylphenyl (meth)acrylates having an ethylene oxide block structure and/or a propylene oxide block structure. These photopolymerizable monomers can be used alone or in combination of two or more types.

本発明において剥離層は、感光性樹脂層と同じ化合物の(A)アルカリ可溶性樹脂を含有することが好ましい。加えて、前記剥離層は、前記した感光性樹脂層を塗設する際に生じるはじきの低減のために(C)ウレタン(メタ)アクリレートを含有していてもよい。また、必要により可塑剤、分散剤、熱安定剤、光安定剤、帯電防止剤、酸化防止剤、界面活性剤、滑剤、溶剤等を含んでいてもよい。 In the present invention, the release layer preferably contains (A) an alkali-soluble resin of the same compound as the photosensitive resin layer. In addition, the release layer may contain (C) urethane (meth)acrylate in order to reduce repellency that occurs when applying the photosensitive resin layer described above. Further, if necessary, a plasticizer, a dispersant, a heat stabilizer, a light stabilizer, an antistatic agent, an antioxidant, a surfactant, a lubricant, a solvent, etc. may be included.

剥離層の厚みは、0.5~15μmであることが好ましく、1~10μmであることがより好ましい。剥離層の厚みが大きすぎると、解像性の低下、コスト高となる傾向がある。逆に薄すぎると、剥離性の低下が発生する傾向にある。また、前記した感光性樹脂層の厚みは、10~150μmであることが好ましく、30~120μmであることがより好ましい。感光性樹脂層の厚みが大きすぎると、解像性の低下、コスト高、エッジフュージョン等の問題が発生しやすくなる。逆に薄すぎると、耐サンドブラスト性が低下する傾向にある。 The thickness of the release layer is preferably 0.5 to 15 μm, more preferably 1 to 10 μm. If the thickness of the release layer is too large, resolution tends to decrease and costs tend to increase. On the other hand, if it is too thin, releasability tends to decrease. Further, the thickness of the photosensitive resin layer described above is preferably 10 to 150 μm, more preferably 30 to 120 μm. If the thickness of the photosensitive resin layer is too large, problems such as decreased resolution, increased cost, and edge fusion are likely to occur. On the other hand, if it is too thin, the sandblasting resistance tends to decrease.

本発明の剥離層の塗布方法としては、例えば、ドクターブレードコーティング法、マイヤーバーコーティング法、ロールコーティング法、スクリーンコーティング法、スピナーコーティング法、インクジェットコーティング法、スプレーコーティング法、ディップコーティング法、グラビアコーティング法、カーテンコーティング法、およびダイコーティング法が挙げられる。剥離層の塗布液の乾燥条件に特に制限はないが、乾燥温度は、55℃~130℃であることが好ましく、乾燥時間は、30秒~30分であることが好ましい。 Examples of methods for applying the release layer of the present invention include doctor blade coating method, Meyer bar coating method, roll coating method, screen coating method, spinner coating method, inkjet coating method, spray coating method, dip coating method, and gravure coating method. , curtain coating method, and die coating method. There are no particular restrictions on the drying conditions for the coating solution for the release layer, but the drying temperature is preferably 55° C. to 130° C., and the drying time is preferably 30 seconds to 30 minutes.

また、前記した光重合性単量体としては、分子内に3個以上の重合可能なエチレン性不飽和基を有する化合物を使用してもよい。分子内に3個以上の重合可能なエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物としては、例えば、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリ(メタ)アクリレート等が挙げられ、これらを単独で、あるいは2種以上で用いることができる。 Further, as the photopolymerizable monomer described above, a compound having three or more polymerizable ethylenically unsaturated groups in the molecule may be used. Examples of photopolymerizable compounds having three or more polymerizable ethylenically unsaturated groups in the molecule include trimethylolpropane tri(meth)acrylate, ditrimethylolpropane tetra(meth)acrylate, and pentaerythritol tri(meth)acrylate. acrylate, pentaerythritol tetra(meth)acrylate, dipentaerythritol penta(meth)acrylate, dipentaerythritol hexa(meth)acrylate, trimethylolpropane triglycidyl ether tri(meth)acrylate, etc., and these may be used alone or Two or more types can be used.

本発明における感光性樹脂層において、(A)の含有量は、(A)、(B)、(C)、および(D)の総量に対して20~50質量%であることが好ましく、25~35質量%であることがより好ましい。(A)の含有量が20質量%未満では、皮膜性が悪くなる場合や、現像性が低下する場合がある。(A)の含有量が50質量%を超えると、レジストパターンの解像性が低下する場合がある。 In the photosensitive resin layer of the present invention, the content of (A) is preferably 20 to 50% by mass based on the total amount of (A), (B), (C), and (D), and 25% by mass. More preferably, it is 35% by mass. If the content of (A) is less than 20% by mass, film properties may deteriorate or developability may deteriorate. If the content of (A) exceeds 50% by mass, the resolution of the resist pattern may decrease.

(B)の含有量は、(A)、(B)、(C)、および(D)の総量に対して0.1~10質量%であることが好ましく、0.2~5質量%であることがより好ましい。(B)の含有量が0.1質量%未満では、光重合性が不十分となる場合がある。一方、10質量%を超えると、露光の際に感光性樹脂層の表面で吸収が増大して、感光性樹脂層内部の光架橋が不十分となる場合がある。 The content of (B) is preferably 0.1 to 10% by mass, and 0.2 to 5% by mass based on the total amount of (A), (B), (C), and (D). It is more preferable that there be. If the content of (B) is less than 0.1% by mass, photopolymerizability may become insufficient. On the other hand, if it exceeds 10% by mass, absorption may increase on the surface of the photosensitive resin layer during exposure, resulting in insufficient photocrosslinking within the photosensitive resin layer.

(C)の含有量は、(A)、(B)、(C)、および(D)の総量に対して40~75質量%であることが好ましく、55~70質量%であることがより好ましい。(C)の含有量が40質量%未満では、架橋性の低下、また、光感度が不十分となる場合がある。一方、75質量%を超えると、感光性樹脂層3の膜表面の粘着性が増加する場合がある。 The content of (C) is preferably 40 to 75% by mass, more preferably 55 to 70% by mass based on the total amount of (A), (B), (C), and (D). preferable. If the content of (C) is less than 40% by mass, crosslinking properties may decrease and photosensitivity may become insufficient. On the other hand, if it exceeds 75% by mass, the tackiness of the film surface of the photosensitive resin layer 3 may increase.

(D)の含有量は、(A)、(B)、(C)、および(D)の総量に対して0.03~0.15質量%であることが好ましく、0.04~0.1質量%であることがより好ましい。(D)の含有量が0.03質量%未満では、感光性樹脂層3のカバーフィルム4への粘着力が十分に下がらず、サンドブラスト用感光性フィルムからカバーフィルム4を剥離する際に、支持体1と剥離層2の間で剥離が進行しやすく、サンドブラスト用感光性フィルムが使用できなくなる場合がある。一方、0.15質量%を超えると、塗工による感光性樹脂層の形成において、はじきによる塗膜面の荒れや、サンドブラスト用感光性フィルム使用時に感光性樹脂層と被処理体との密着の阻害を引き起こす場合がある。 The content of (D) is preferably 0.03 to 0.15% by mass, and 0.04 to 0.04% by mass based on the total amount of (A), (B), (C), and (D). More preferably, it is 1% by mass. If the content of (D) is less than 0.03% by mass, the adhesion of the photosensitive resin layer 3 to the cover film 4 will not decrease sufficiently, and when peeling the cover film 4 from the photosensitive film for sandblasting, the support Peeling tends to progress between the body 1 and the peeling layer 2, and the photosensitive film for sandblasting may become unusable. On the other hand, if it exceeds 0.15% by mass, the coating surface may become rough due to repellency during the formation of the photosensitive resin layer by coating, and the adhesion between the photosensitive resin layer and the object to be processed may deteriorate when using the photosensitive film for sandblasting. May cause inhibition.

以下実施例によって本発明をさらに詳しく説明するが、本発明はこの実施例に限定されるものではない。 The present invention will be explained in more detail below with reference to Examples, but the present invention is not limited to these Examples.

(実施例1~10、比較例1~4)
表1に示す各成分を混合し、剥離層用の塗工液を得た。なお、表1における各成分配合量の単位は、質量部を表す。得られた塗工液を、ワイヤーバーを用いて、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(25μm厚、ヘーズ値3.7%)上に塗工し、80℃で4分間乾燥し、溶剤成分を飛ばし、PETフィルムの片面上に剥離層1~4(乾燥膜厚:4μm)を得た。
(Examples 1 to 10, Comparative Examples 1 to 4)
The components shown in Table 1 were mixed to obtain a coating solution for a release layer. In addition, the unit of the amount of each component in Table 1 represents parts by mass. The resulting coating solution was applied onto a polyethylene terephthalate (PET) film (25 μm thick, haze value 3.7%) using a wire bar, and dried at 80° C. for 4 minutes to remove the solvent component. Release layers 1 to 4 (dry film thickness: 4 μm) were obtained on one side of the PET film.

次に、表2に示す各成分を混合し、感光性樹脂層用の塗工液1~13を得た。なお、表2における各成分配合量の単位は、質量部を表す。次に、表3に示した剥離層用塗工液と感光性樹脂層用塗工液の組み合わせで、アプリケーターを用いて、剥離層上に感光性樹脂層用の塗工液を塗工し、80℃で8分間乾燥し、溶剤成分を飛ばし、剥離層上に感光性樹脂層1~13(乾燥膜厚:70μm)を得た。乾燥後、該感光性樹脂層の上にカバーフィルムとしてポリエチレンフィルム(30μm厚)を積層して、実施例1~10および比較例1~4のサンドブラスト用感光性フィルムを得た。 Next, the components shown in Table 2 were mixed to obtain coating solutions 1 to 13 for photosensitive resin layers. Note that the unit of the amount of each component in Table 2 represents parts by mass. Next, using an applicator, apply the coating solution for the photosensitive resin layer onto the release layer using the combination of the coating solution for the release layer and the coating solution for the photosensitive resin layer shown in Table 3, It was dried at 80° C. for 8 minutes to remove the solvent component, and photosensitive resin layers 1 to 13 (dry film thickness: 70 μm) were obtained on the release layer. After drying, a polyethylene film (30 μm thick) was laminated as a cover film on the photosensitive resin layer to obtain the photosensitive films for sandblasting of Examples 1 to 10 and Comparative Examples 1 to 4.

表1および表2において、各成分は以下の通りである。
(A-1);セルロースアセテートフタレート(質量平均分子量61000、酸価200mgKOH/g)
(A-2);ヒドロキシプロピルメチルセルロースフタレート(信越化学工業(株)製、質量平均分子量45000、酸価120mgKOH/g)
(A-3);メチルメタクリレート/n-ブチルアクリレート/メタクリル酸を質量比58/15/27で共重合させた共重合樹脂(質量平均分子量30000、酸価176mgKOH/g)
(B-1)2-(o-クロロフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体
(B-2)4,4′-ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン
(C-1)紫光(登録商標)UV-3000B(三菱ケミカル(株)製ウレタンアクリレート)
(C-2)DURA-167(共栄社化学(株)製カルボキシ基含有ウレタンアクリレート)(固形分比率53%)
(D-1);界面活性剤“メガファック”F-556(DIC(株)製))
(D-2);界面活性剤“メガファック”F-559(DIC(株)製))
(D-3);界面活性剤“メガファック”F-251(DIC(株)製))
In Tables 1 and 2, each component is as follows.
(A-1); Cellulose acetate phthalate (mass average molecular weight 61000, acid value 200mgKOH/g)
(A-2); Hydroxypropyl methyl cellulose phthalate (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., mass average molecular weight 45,000, acid value 120 mgKOH/g)
(A-3); Copolymer resin made by copolymerizing methyl methacrylate/n-butyl acrylate/methacrylic acid at a mass ratio of 58/15/27 (mass average molecular weight 30,000, acid value 176 mgKOH/g)
(B-1) 2-(o-chlorophenyl)-4,5-diphenylimidazole dimer (B-2) 4,4'-bis(diethylamino)benzophenone (C-1) Shiko (registered trademark) UV-3000B (Urethane acrylate manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation)
(C-2) DURA-167 (carboxy group-containing urethane acrylate manufactured by Kyoeisha Chemical Co., Ltd.) (solid content ratio 53%)
(D-1); Surfactant "Megafac" F-556 (manufactured by DIC Corporation)
(D-2); Surfactant "Megafac" F-559 (manufactured by DIC Corporation)
(D-3); Surfactant "Megafac" F-251 (manufactured by DIC Corporation)

次に、実施例1~10および比較例1~4のサンドブラスト用感光性フィルムのカバーフィルムにOPP粘着テープ(日東電工CSシステム(株)製、商品名「EA-3925」)を貼り付け、カバーフィルムの剥離を試みた。結果、実施例1、実施例3~10、および比較例4は容易にカバーフィルムのみを剥離することができたが、比較例1~3はカバーフィルムが感光性樹脂層から剥離される前に、支持体であるPETフィルムと剥離層の間で剥離が進行し、感光性フィルムを以降の工程に使用できなくなった。実施例2については、カバーフィルムへの感光性樹脂層への粘着力が他の実施例に比べて高く、10回に2回の割合で、カバーフィルムの剥離時にOPP粘着テープを貼り付けた周辺の感光性樹脂層と剥離層が支持体から浮き上がる部分が生じたものの、それ以外の部分については問題なくカバーフィルムを剥離することができた。結果を表4に示す。なお、評価基準は、問題なくカバーフィルムを剥離できるものを〇、一部剥離層の浮きが見られる場合があるが実用上問題ないものを△、実用上問題あるものを×として評価した。 Next, OPP adhesive tape (manufactured by Nitto Denko CS System Co., Ltd., trade name "EA-3925") was attached to the cover film of the photosensitive film for sandblasting of Examples 1 to 10 and Comparative Examples 1 to 4, and the cover film was I tried to peel off the film. As a result, in Examples 1, 3 to 10, and Comparative Example 4, only the cover film could be easily peeled off, but in Comparative Examples 1 to 3, the cover film was not peeled off from the photosensitive resin layer. Peeling progressed between the PET film as a support and the release layer, and the photosensitive film could no longer be used in subsequent steps. In Example 2, the adhesion of the photosensitive resin layer to the cover film was higher than in other Examples, and in 2 out of 10 cases, the adhesive strength of the photosensitive resin layer to the cover film was higher than that of the area around which the OPP adhesive tape was attached when the cover film was peeled off. Although there were some parts where the photosensitive resin layer and release layer were lifted off the support, the cover film could be peeled off from other parts without any problems. The results are shown in Table 4. The evaluation criteria were as follows: ◯ if the cover film could be peeled off without any problem, △ if the peeling layer was partially lifted but there was no practical problem, and × if there was a practical problem.

カバーフィルムを剥離した実施例1~10、比較例4のサンドブラスト用感光性フィルムの感光性樹脂層面を3mm厚のガラス板に貼り合せ、ラミネータを用いて温度100℃、圧力0.2MPaで積層した。続いて、ガラス板に貼り合せたサンドブラスト用感光性フィルムに対して直径300μm、および直径250μmの円形パターンを16点有するフォトマスクを介して高圧水銀灯(85mJ/cm)で露光した。次に、室温でサンドブラスト用感光性フィルムのPETフィルムを剥離した。実施例1~10、および比較例4は、手で容易に剥離することが可能であった。0.2%炭酸ナトリウム水溶液にてアルカリ現像を実施し、剥離層および非露光部の感光性樹脂層を除去した。この時、実施例2~5、7~10については、硬化した感光性樹脂層の、直径250μm、直径300μmの円形パターンが16点すべてガラス板上に残存していた。一方で実施例1および実施例6は、直径300μmの円形パターンは16点すべてガラス板上に残存していたものの、直接250μmの円形パターンは半数が現像でガラス上から剥離しており、また比較例4については、直径250μm、直径300μmの円形パターンともに、現像後ガラス板上に残っている円形パターンが確認できなかった。結果を表4に示す。なお、評価基準は、円形パターンが全て残存したものを〇、半数以上が残存したものを△、半数以上が剥離したものを×として評価した。 The photosensitive resin layer surfaces of the sandblasting photosensitive films of Examples 1 to 10 and Comparative Example 4 from which the cover films had been peeled were bonded to a 3 mm thick glass plate, and laminated using a laminator at a temperature of 100° C. and a pressure of 0.2 MPa. . Subsequently, the photosensitive film for sandblasting bonded to the glass plate was exposed to light using a high-pressure mercury lamp (85 mJ/cm 2 ) through a photomask having 16 circular patterns each having a diameter of 300 μm and a diameter of 250 μm. Next, the PET film of the photosensitive film for sandblasting was peeled off at room temperature. Examples 1 to 10 and Comparative Example 4 could be easily peeled off by hand. Alkaline development was performed using a 0.2% aqueous sodium carbonate solution to remove the release layer and the photosensitive resin layer in the non-exposed areas. At this time, in Examples 2 to 5 and 7 to 10, all 16 circular patterns of the cured photosensitive resin layer with a diameter of 250 μm and a diameter of 300 μm remained on the glass plate. On the other hand, in Examples 1 and 6, all 16 circular patterns with a diameter of 300 μm remained on the glass plate, but half of the circular patterns with a diameter of 250 μm were directly peeled off from the glass during development. Regarding Example 4, no circular pattern remaining on the glass plate after development was observed for both circular patterns with a diameter of 250 μm and a diameter of 300 μm. The results are shown in Table 4. The evaluation criteria were as follows: ○ when all the circular patterns remained, △ when more than half of the circular patterns remained, and × when more than half of the patterns were peeled off.

本発明の感光性フィルムは、広くサンドブラスト用の感光性フィルムに適用できる。 The photosensitive film of the present invention can be widely applied to photosensitive films for sandblasting.

1 支持体
2 剥離層
3 感光性樹脂層
4 カバーフィルム
1 Support 2 Release layer 3 Photosensitive resin layer 4 Cover film

Claims (1)

支持体、剥離層、感光性樹脂層、カバーフィルムをこの順に有するサンドブラスト用感光性フィルムにおいて、該感光性樹脂層が(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)光重合開始剤、(C)ウレタン(メタ)アクリレート、および(D)フッ素系界面活性剤を含むことを特徴とするサンドブラスト用感光性フィルム。 In a photosensitive film for sandblasting that has a support, a release layer, a photosensitive resin layer, and a cover film in this order, the photosensitive resin layer contains (A) an alkali-soluble resin, (B) a photopolymerization initiator, and (C) urethane ( A photosensitive film for sandblasting, comprising meth)acrylate and (D) a fluorosurfactant.
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