JP2023148126A - ペロブスカイト薄膜系太陽電池の製造方法およびペロブスカイト薄膜系太陽電池 - Google Patents
ペロブスカイト薄膜系太陽電池の製造方法およびペロブスカイト薄膜系太陽電池 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2023148126A JP2023148126A JP2022055997A JP2022055997A JP2023148126A JP 2023148126 A JP2023148126 A JP 2023148126A JP 2022055997 A JP2022055997 A JP 2022055997A JP 2022055997 A JP2022055997 A JP 2022055997A JP 2023148126 A JP2023148126 A JP 2023148126A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- perovskite thin
- solar cell
- transport layer
- carrier transport
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 116
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 51
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 80
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract description 42
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims abstract description 18
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract description 12
- 239000003595 mist Substances 0.000 claims abstract description 9
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 21
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 17
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 12
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 11
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 238000007607 die coating method Methods 0.000 claims description 6
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 5
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N ether Substances CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 125000001033 ether group Chemical group 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 5
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 136
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 73
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 14
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 11
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 description 10
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 10
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 10
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 230000008569 process Effects 0.000 description 10
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 9
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 8
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 7
- XMWRBQBLMFGWIX-UHFFFAOYSA-N C60 fullerene Chemical compound C12=C3C(C4=C56)=C7C8=C5C5=C9C%10=C6C6=C4C1=C1C4=C6C6=C%10C%10=C9C9=C%11C5=C8C5=C8C7=C3C3=C7C2=C1C1=C2C4=C6C4=C%10C6=C9C9=C%11C5=C5C8=C3C3=C7C1=C1C2=C4C6=C2C9=C5C3=C12 XMWRBQBLMFGWIX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 6
- 229910003472 fullerene Inorganic materials 0.000 description 6
- -1 polyethylene naphthalate Polymers 0.000 description 6
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 6
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- 150000004820 halides Chemical class 0.000 description 5
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 5
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 5
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- MCEWYIDBDVPMES-UHFFFAOYSA-N [60]pcbm Chemical compound C123C(C4=C5C6=C7C8=C9C%10=C%11C%12=C%13C%14=C%15C%16=C%17C%18=C(C=%19C=%20C%18=C%18C%16=C%13C%13=C%11C9=C9C7=C(C=%20C9=C%13%18)C(C7=%19)=C96)C6=C%11C%17=C%15C%13=C%15C%14=C%12C%12=C%10C%10=C85)=C9C7=C6C2=C%11C%13=C2C%15=C%12C%10=C4C23C1(CCCC(=O)OC)C1=CC=CC=C1 MCEWYIDBDVPMES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 4
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 4
- 229910000480 nickel oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000010791 quenching Methods 0.000 description 4
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 4
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- BAVYZALUXZFZLV-UHFFFAOYSA-O Methylammonium ion Chemical compound [NH3+]C BAVYZALUXZFZLV-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 3
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- FZHSXDYFFIMBIB-UHFFFAOYSA-L diiodolead;methanamine Chemical compound NC.I[Pb]I FZHSXDYFFIMBIB-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 3
- XMBWDFGMSWQBCA-UHFFFAOYSA-N hydrogen iodide Chemical compound I XMBWDFGMSWQBCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 3
- LLWRXQXPJMPHLR-UHFFFAOYSA-N methylazanium;iodide Chemical compound [I-].[NH3+]C LLWRXQXPJMPHLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 3
- KWVPRPSXBZNOHS-UHFFFAOYSA-N 2,4,6-Trimethylaniline Chemical compound CC1=CC(C)=C(N)C(C)=C1 KWVPRPSXBZNOHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- STTGYIUESPWXOW-UHFFFAOYSA-N 2,9-dimethyl-4,7-diphenyl-1,10-phenanthroline Chemical compound C=12C=CC3=C(C=4C=CC=CC=4)C=C(C)N=C3C2=NC(C)=CC=1C1=CC=CC=C1 STTGYIUESPWXOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XIOYECJFQJFYLM-UHFFFAOYSA-N 2-(3,6-dimethoxycarbazol-9-yl)ethylphosphonic acid Chemical compound COC=1C=CC=2N(C3=CC=C(C=C3C=2C=1)OC)CCP(O)(O)=O XIOYECJFQJFYLM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KIMPAVBWSFLENS-UHFFFAOYSA-N 2-carbazol-9-ylethylphosphonic acid Chemical compound C1=CC=CC=2C3=CC=CC=C3N(C1=2)CCP(O)(O)=O KIMPAVBWSFLENS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XDXWNHPWWKGTKO-UHFFFAOYSA-N 207739-72-8 Chemical compound C1=CC(OC)=CC=C1N(C=1C=C2C3(C4=CC(=CC=C4C2=CC=1)N(C=1C=CC(OC)=CC=1)C=1C=CC(OC)=CC=1)C1=CC(=CC=C1C1=CC=C(C=C13)N(C=1C=CC(OC)=CC=1)C=1C=CC(OC)=CC=1)N(C=1C=CC(OC)=CC=1)C=1C=CC(OC)=CC=1)C1=CC=C(OC)C=C1 XDXWNHPWWKGTKO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-M Bromide Chemical compound [Br-] CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- ZNLXWYZMMYDGCE-UHFFFAOYSA-N CC=1C=CC=2N(C3=CC=C(C=C3C=2C=1)C)CCCCP(O)(O)=O Chemical compound CC=1C=CC=2N(C3=CC=C(C=C3C=2C=1)C)CCCCP(O)(O)=O ZNLXWYZMMYDGCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229920001167 Poly(triaryl amine) Polymers 0.000 description 2
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 2
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 229940006460 bromide ion Drugs 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- LBJNMUFDOHXDFG-UHFFFAOYSA-N copper;hydrate Chemical compound O.[Cu].[Cu] LBJNMUFDOHXDFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004678 hydrides Chemical class 0.000 description 2
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 2
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N oxonickel Chemical compound [Ni]=O GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 2
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 2
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 2
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000012447 hatching Effects 0.000 description 1
- XMBWDFGMSWQBCA-UHFFFAOYSA-M iodide Chemical compound [I-] XMBWDFGMSWQBCA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229940006461 iodide ion Drugs 0.000 description 1
- 150000004694 iodide salts Chemical group 0.000 description 1
- PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M lithium fluoride Chemical compound [Li+].[F-] PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 230000000171 quenching effect Effects 0.000 description 1
- 239000013545 self-assembled monolayer Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
Description
本発明は、ペロブスカイト薄膜系太陽電池の製造方法およびペロブスカイト薄膜系太陽電池に関する。
太陽電池として、光電変換部に結晶シリコン基板を用いた結晶シリコン系太陽電池、光電変換部にアモルファスシリコン薄膜等の無機系薄膜を用いた薄膜系太陽電池が知られている。また、薄膜系太陽電池として、光電変換部に有機系薄膜(詳細には、有機/無機ハイブリット系薄膜)であるペロブスカイト薄膜を用いたペロブスカイト薄膜系太陽電池が知られている。特許文献1には、ペロブスカイト薄膜系太陽電池が開示されている。
ペロブスカイト薄膜系太陽電池は、ガラスまたは樹脂等の基材上に順に形成された、第1電極層(陽極電極または陰極電極)と、第1キャリア輸送層(正孔輸送膜または電子輸送膜)と、ペロブスカイト薄膜と、第2キャリア輸送層(電子輸送膜または正孔輸送膜)と、第2電極層(陰極電極または陽極電極)とを備える。
ペロブスカイト薄膜の形成方法としては、スピンコート法(塗布法)を用いて、ペロブスカイト薄膜の材料を溶解または分散させた溶液を塗布しながら、ペロブスカイト化合物にとっての貧溶媒(溶解度が小さい溶媒)を滴下して、ペロブスカイト薄膜の製膜、乾燥および結晶化を行う方法が知られている(特許文献1参照)。
ペロブスカイト薄膜系太陽電池では、大面積化が望まれている。しかし、上述したスピンコート法(塗布法)および貧溶媒の滴下を用いたペロブスカイト薄膜の製膜、乾燥および結晶化では、大面積(例えば、15cm×15cm以上)のペロブスカイト薄膜の形成が困難である。
大面積化の観点では、
・ブレードコート法、ダイコート法、またはスプレーコート法等の塗布法を用いて、ペロブスカイト薄膜の材料を溶解または分散させた溶液を塗布して、材料膜を製膜した後、
・窒素ガス等によるガスクエンチ法を用いて、材料膜を乾燥、結晶化する、
ペロブスカイト薄膜の形成方法が知られている。
・ブレードコート法、ダイコート法、またはスプレーコート法等の塗布法を用いて、ペロブスカイト薄膜の材料を溶解または分散させた溶液を塗布して、材料膜を製膜した後、
・窒素ガス等によるガスクエンチ法を用いて、材料膜を乾燥、結晶化する、
ペロブスカイト薄膜の形成方法が知られている。
しかし、本願発明者(ら)の知見によれば、ブレードコート法、ダイコート法、またはスプレーコート法等の塗布法を用いた製膜、および、ガスクエンチ法を用いた乾燥および結晶化の方法では、スピンコート法および貧溶媒の滴下を用いた製膜、乾燥および結晶化の方法と比較して、ペロブスカイト薄膜系太陽電池の性能が低下してしまう。
本発明は、ペロブスカイト薄膜系太陽電池の大面積化と性能向上との両立を図るペロブスカイト薄膜系太陽電池の製造方法およびペロブスカイト薄膜系太陽電池を提供することを目的とする。
本願発明者(ら)は、
・ブレードコート法、ダイコート法、またはスプレーコート法等の塗布法を用いて、ペロブスカイト薄膜の材料を溶解または分散させた溶液を塗布して、材料膜を製膜した後、
・ガス状またはミスト状の貧溶媒を、材料膜に吹き付けて、材料膜を乾燥、結晶化する、
ことにより、ペロブスカイト薄膜系太陽電池の大面積化と性能向上との両立を図ることができることを見出した。
・ブレードコート法、ダイコート法、またはスプレーコート法等の塗布法を用いて、ペロブスカイト薄膜の材料を溶解または分散させた溶液を塗布して、材料膜を製膜した後、
・ガス状またはミスト状の貧溶媒を、材料膜に吹き付けて、材料膜を乾燥、結晶化する、
ことにより、ペロブスカイト薄膜系太陽電池の大面積化と性能向上との両立を図ることができることを見出した。
また、本願発明者(ら)は、ガス状またはミスト状の貧溶媒の吹き付けを用いた乾燥(結晶化)では、ガスクエンチ法を用いた乾燥(結晶化)と比較して、ペロブスカイト薄膜における結晶粒径が大きい(例えば、800nm以上2000nm以下)ことを見出した。
ここで、ウエット法を用いた一般的な製膜では、結晶粒径は乾燥時間に依存し、乾燥時間が短いほど、結晶粒径が小さくなる傾向がある。この点に関し、ガス状またはミスト状の貧溶媒の吹き付けを用いた乾燥(結晶化)では、ガスクエンチ法を用いた乾燥(結晶化)と比較して、乾燥時間が短い。これより、本願発明者(ら)は、ペロブスカイト薄膜の製膜では、ウエット法を用いた一般的な製膜と比較して、乾燥時間と結晶粒径との関係が逆であることも見出した。
ここで、ウエット法を用いた一般的な製膜では、結晶粒径は乾燥時間に依存し、乾燥時間が短いほど、結晶粒径が小さくなる傾向がある。この点に関し、ガス状またはミスト状の貧溶媒の吹き付けを用いた乾燥(結晶化)では、ガスクエンチ法を用いた乾燥(結晶化)と比較して、乾燥時間が短い。これより、本願発明者(ら)は、ペロブスカイト薄膜の製膜では、ウエット法を用いた一般的な製膜と比較して、乾燥時間と結晶粒径との関係が逆であることも見出した。
そこで、本発明に係るペロブスカイト薄膜系太陽電池の製造方法は、基材上に、第1電極層と、第1キャリア輸送層と、ペロブスカイト薄膜と、第2キャリア輸送層と、第2電極層とをこの順番に形成する。前記ペロブスカイト薄膜の形成工程では、前記第1キャリア輸送層上に、大面積化に適した塗布法を用いて前記ペロブスカイト薄膜の材料膜を塗布した後、前記ペロブスカイト薄膜の材料膜に、ガス状またはミスト状の貧溶媒を吹き付けて、前記ペロブスカイト薄膜の材料膜を乾燥および結晶化する。
また、本発明に係るペロブスカイト薄膜系太陽電池は、基材上に、第1電極層と、第1キャリア輸送層と、ペロブスカイト薄膜と、第2キャリア輸送層と、第2電極層とをこの順番に備える。前記ペロブスカイト薄膜におけるペロブスカイト結晶粒径は、800nm以上2000nm以下である。
本発明によれば、ペロブスカイト薄膜系太陽電池の大面積化と性能向上との両立を図ることができる。
以下、添付の図面を参照して本発明の実施形態の一例について説明する。なお、各図面において同一または相当の部分に対しては同一の符号を附すこととする。また、便宜上、ハッチングや部材符号等を省略する場合もあるが、かかる場合、他の図面を参照するものとする。
(太陽電池)
図1は、本実施形態に係る太陽電池の一例を示す断面図であり、図2は、本実施形態に係る太陽電池の他の一例を示す断面図である。図1および図2に示す太陽電池1は、光電変換薄膜としてペロブスカイト薄膜を用いたペロブスカイト薄膜系の太陽電池である。太陽電池1は、基材10と、第1電極層21と、第1キャリア輸送層31と、ペロブスカイト薄膜40と、第2キャリア輸送層32と、第2電極層22とを備える。
図1は、本実施形態に係る太陽電池の一例を示す断面図であり、図2は、本実施形態に係る太陽電池の他の一例を示す断面図である。図1および図2に示す太陽電池1は、光電変換薄膜としてペロブスカイト薄膜を用いたペロブスカイト薄膜系の太陽電池である。太陽電池1は、基材10と、第1電極層21と、第1キャリア輸送層31と、ペロブスカイト薄膜40と、第2キャリア輸送層32と、第2電極層22とを備える。
なお、図1に示す太陽電池1と図2に示す太陽電池1とでは、極性が異なる。具体的には、図1に示す太陽電池1では、第1キャリア輸送層31および第2キャリア輸送層32がそれぞれ正孔輸送層(Hole Transfer Layer:HTL)および電子輸送層(Electron Transport Layer:ETL)であり、第1電極層21および第2電極層22がそれぞれ陽極および陰極である。一方、図2に示す太陽電池1では、第1キャリア輸送層31および第2キャリア輸送層32がそれぞれ電子輸送層(ETL)および正孔輸送層(HTL)であり、第1電極層21および第2電極層22がそれぞれ陰極および陽極である。
また、図1および図2に示す太陽電池1は、基材10側、すなわち第1電極層21側が受光面であってもよいし、基材10と反対側、すなわち第2電極層22側が受光面であってもよい。或いは、基材10側および基材10と反対側の両側、すなわち第1電極層21側および第2電極層22側の両側が受光面として機能してもよい。
基材10は、絶縁性かつ光透過性を有する透明基板であってもよいし、更にフレキシブル性を有する透明フィルムであってもよい。透明基板としては、ガラスまたは樹脂等の材料で構成された基板が挙げられる。透明フィルムとしては、ポリイミド、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレンテレフタレート等の材料で構成された樹脂フィルムが挙げられる。
第1電極層21は、基材10上に形成されており、陽極(図1)または陰極(図2)として機能する。第1電極層21は、導電性かつ光透過性を有する透明導電膜(Transparent Conductive Oxides:TCO)からなる。第1電極層21の材料としては、透明導電性金属酸化物、例えば、酸化インジウム、酸化スズ、酸化亜鉛、酸化チタンおよびそれらの複合酸化物等が用いられる。これらの中でも、酸化インジウムを主成分とするインジウム系複合酸化物が好ましい。高い導電率と透明性の観点からは、インジウム酸化物が特に好ましい。更に、信頼性またはより高い導電率を確保するため、インジウム酸化物にドーパントを添加すると好ましい。ドーパントとしては、例えば、Sn、W、Zn、Ti、Ce、Zr、Mo、Al、Ga、Ge、As、Si、またはS等が挙げられる。例えば、インジウム酸化物にスズが添加されたITO(Indium Tin Oxide)が広く知られている。
なお、基材10側、すなわち第1電極層21側が受光面である場合、第1電極層21は、グリッド状またはスリット状の金属電極層を含んでいてもよい。或いは、基材10と反対側、すなわち第2電極層22側が受光面である場合、第1電極層21は、例えば基材10側に、面状の金属電極層を含んでいてもよい。金属電極層の材料としては、Ag、Au、Cu等が挙げられる。
第1キャリア輸送層31は、第1電極層21上に形成されており、正孔輸送層(HTL)(図1)または電子輸送層(ETL)(図2)として機能する。第1キャリア輸送層31は、光透過性を有する半導体材料からなる。
具体的には、図1では、第1キャリア輸送層31は、ペロブスカイト薄膜40で光電変換されて生成されたキャリアのうちの正孔(第1キャリア)を第1電極層21に輸送する正孔輸送層(HTL)として機能する。正孔輸送層(HTL)としての第1キャリア輸送層31の主材料としては、酸化ニッケル(NiO)、酸化銅(Cu2O)、PTAA(Poly(bis(4-phenyl)(2,4,6-trimethylphenyl)amine))、または、Spiro-MeOTAD等が挙げられる。
一方、図2では、第1キャリア輸送層31は、ペロブスカイト薄膜40で光電変換されて生成されたキャリアのうちの電子(第1キャリア)を第1電極層21に輸送する電子輸送層(ETL)として機能する。電子輸送層(ETL)としての第1キャリア輸送層31の主材料としては、酸化チタン(TiO2)、酸化亜鉛(ZnO)、酸化スズ(SnO2)、または、フラーレン等が挙げられる。
フラーレンとしては、例えばC60、C70、これらの水素化物、酸化物、金属錯体、アルキル基等を付加した誘導体、例えば、PCBM([6,6]-Phenyl-C61-Butyric Acid Methyl Ester)などが挙げられる。第2キャリア輸送層32をリチウムLiを内包させたフラーレンを含む材料から形成することにより、電子の輸送効率を向上することができる。
また、第1キャリア輸送層31は、例えば2PACz([2-(9H-Carbazol-9-yl)ethyl]phosphonic Acid)、MeO-2PACz([2-(3,6-Dimethoxy-9H-carbazol-9-yl)ethyl]phosphonic Acid)、Me-4PACz([4-(3,6-Dimethyl-9H-carbazol-9-yl)butyl]phosphonic Acid)等により形成される自己組織化単分子膜(SAM:Self-Assembled Monolayers)であってもよい。また、第1キャリア輸送層31は、多層構造を有してもよい。
ペロブスカイト薄膜40は、第1キャリア輸送層31上に形成されており、光電変換層として機能する。ペロブスカイト薄膜40の主材料としては、有機原子A、金属原子B、およびハロゲン原子Xを含む下記式で表される化合物が挙げられる。
ABX3
Aとしては、1価の有機アンモニウムイオンおよびアミジニウム系イオンのうちの少なくとも1種を含む有機原子が挙げられる。Bとしては、2価の金属イオンを含む金属原子が挙げられる。Xとしては、ヨウ化物イオンI、臭化物イオンBr、塩化物イオンCl、およびフッ化物イオンFのうちの少なくとも1種を含むハロゲン原子が挙げられる。
ABX3
Aとしては、1価の有機アンモニウムイオンおよびアミジニウム系イオンのうちの少なくとも1種を含む有機原子が挙げられる。Bとしては、2価の金属イオンを含む金属原子が挙げられる。Xとしては、ヨウ化物イオンI、臭化物イオンBr、塩化物イオンCl、およびフッ化物イオンFのうちの少なくとも1種を含むハロゲン原子が挙げられる。
これらの中でも、有機原子AとしてはメチルアンモニウムMA(CH3NH3)が好ましく、金属原子Bとしては鉛Pbが好ましく、ハロゲン原子Xとしてはヨウ化物I、臭化物イオンBrおよび塩化物イオンClのうちの少なくとも1つが好ましい。すなわち、ペロブスカイト薄膜40の主材料としては、メチルアンモニウムハロゲン化鉛MAPbX3(CH3NH3PbX3)、例えばMAPbI3、MAPbBr3、MAPbCl3等が挙げられる。なお、ハロゲン原子Xとしては複数種類を含んでもよい。例えばヨウ化物Iと他のハロゲン原子Xとを含む場合、ペロブスカイト薄膜40の主材料としては、メチルアンモニウムヨウ化鉛MAPbIyX(3-y)(CH3NH3PbIyX(3-y))、例えばMAPbIyBr(3-y)、MAPbIyCl(3-y)等が挙げられる(yは任意の正の整数)。
メチルアンモニウムハロゲン化鉛MAPbX3(CH3NH3PbX3)薄膜は、ハロゲン化鉛PbX2材料およびハロゲン化メチルアンモニウムMAX材料を製膜し、これらの材料の薄膜を反応温度で反応させることにより形成される。また、メチルアンモニウムヨウ化鉛MAPbIyX(3-y)(CH3NH3PbIyX(3-y))薄膜は、例えばハロゲン化鉛PbX2材料およびヨウ化メチルアンモニウムMAI材料を製膜し、これらの材料の薄膜を反応温度で反応させることにより形成される。更に具体的な一例によれば、メチルアンモニウムヨウ化鉛MAPbI3(CH3NH3PbI3)薄膜は、ヨウ化鉛PbI2材料およびヨウ化メチルアンモニウムMAI材料を製膜し、これらの材料の薄膜を反応温度で反応させることにより形成される。ペロブスカイト薄膜40の形成方法の詳細は後述する。
ペロブスカイト薄膜40におけるペロブスカイト結晶粒径は、800nm以上2000nm以下、好ましくは1000nm以上1500nm以下である。ペロブスカイト結晶粒径が800nm以上であると、性能、例えば光電変換効率、が向上する。一方、ペロブスカイト結晶粒径が2000nm以下であると、結晶が隙間なく並びやすくなるという利点を有する。
第2キャリア輸送層32は、ペロブスカイト薄膜40上に形成されており、電子輸送層(ETL)(図1)または正孔輸送層(HTL)(図2)として機能する。第2キャリア輸送層32は、光透過性を有する半導体材料からなる。
具体的には、図1では、第2キャリア輸送層32は、ペロブスカイト薄膜40で光電変換されて生成されたキャリアのうちの電子(第2キャリア)を第2電極層22に輸送する電子輸送層(ETL)として機能する。電子輸送層(ETL)としての第2キャリア輸送層32の主材料としては、酸化チタン(TiO2)、酸化亜鉛(ZnO)、酸化スズ(SnO2)、または、フラーレン等が挙げられる。
上述したように、フラーレンとしては、例えばC60、C70、これらの水素化物、酸化物、金属錯体、アルキル基等を付加した誘導体、例えば、PCBM([6,6]-Phenyl-C61-Butyric Acid Methyl Ester)などが挙げられる。第2キャリア輸送層32をリチウムLiを内包させたフラーレンを含む材料から形成することにより、電子の輸送効率を向上することができる。
なお、第2キャリア輸送層32が電子輸送層(ETL)の場合、第2キャリア輸送層32と第2電極層22との間、または、第2キャリア輸送層32とペロブスカイト薄膜40との間に、正孔阻止層が設けられていてもよい。正孔阻止層の材料としては、例えば、バソクプロイン(BCP)、被着層へのダメージが比較的小さい原子層堆積(ALD:Atomic Layer Deposition)により形成されたSnO等が挙げられる。
また、第2キャリア輸送層32が電子輸送層(ETL)の場合、第2キャリア輸送層32と第2電極層22との間、または、第2キャリア輸送層32とペロブスカイト薄膜40との間に、電子抽出層が設けられていてもよい。電子抽出層の材料としては、例えば、リチウム(Li)、フッ化リチウム(LiF)等が挙げられる。
一方、図2では、第2キャリア輸送層32は、ペロブスカイト薄膜40で光電変換されて生成されたキャリアのうちの正孔(第2キャリア)を第2電極層22に輸送する正孔輸送層(HTL)として機能する。正孔輸送層(HTL)としての第2キャリア輸送層32の主材料としては、酸化ニッケル(NiO)、酸化銅(Cu2O)、PTAA(Poly(bis(4-phenyl)(2,4,6-trimethylphenyl)amine))、または、Spiro-MeOTAD等が挙げられる。
第2電極層22は、第2キャリア輸送層32上に形成されており、陰極(図1)または陽極(図2)として機能する。基材10側、すなわち第1電極層21側が受光面である場合、第2電極層22は、例えば基材10側に、面状の金属電極層を含んでいてもよい。或いは、基材10と反対側、すなわち第2電極層22側が受光面である場合、第2電極層22は、導電性かつ光透過性を有する透明導電膜(Transparent Conductive Oxide:TCO)を含んでいてもよく、更には、グリッド状またはスリット状の金属電極層を含んでいてもよい。
透明導電膜TCOの材料としては、透明導電性金属酸化物、例えば、酸化インジウム、酸化スズ、酸化亜鉛、酸化チタンおよびそれらの複合酸化物等が用いられる。これらの中でも、酸化インジウムを主成分とするインジウム系複合酸化物が好ましい。高い導電率と透明性の観点からは、インジウム酸化物が特に好ましい。更に、信頼性またはより高い導電率を確保するため、インジウム酸化物にドーパントを添加すると好ましい。ドーパントとしては、例えば、Sn、W、Zn、Ti、Ce、Zr、Mo、Al、Ga、Ge、As、Si、またはS等が挙げられる。例えば、インジウム酸化物にスズが添加されたITO(Indium Tin Oxide)が広く知られている。
金属電極層の材料としては、Ag、Au、Cu等が挙げられる。
金属電極層の材料としては、Ag、Au、Cu等が挙げられる。
このような構成により、太陽電池1は、基材10側、すなわち第1電極層21側、または基材10と反対側、すなわち第2電極層22側から入射する光に応じた電流を生成し、第1電極層21および第2電極層22に出力する。
(太陽電池の製造方法)
次に、図3A~図3Dを参照して、本実施形態の太陽電池の製造方法について説明する。図3Aは、本実施形態に係る太陽電池の製造方法における第1電極層形成工程および第1キャリア輸送層形成工程を示す図であり、図3Aおよび図3Cは、本実施形態に係る太陽電池の製造方法におけるペロブスカイト薄膜形成工程を示す図であり、図3Dは、本実施形態に係る太陽電池の製造方法における第2キャリア輸送層形成工程および第2電極層形成工程を示す図である。
次に、図3A~図3Dを参照して、本実施形態の太陽電池の製造方法について説明する。図3Aは、本実施形態に係る太陽電池の製造方法における第1電極層形成工程および第1キャリア輸送層形成工程を示す図であり、図3Aおよび図3Cは、本実施形態に係る太陽電池の製造方法におけるペロブスカイト薄膜形成工程を示す図であり、図3Dは、本実施形態に係る太陽電池の製造方法における第2キャリア輸送層形成工程および第2電極層形成工程を示す図である。
まず、図3Aに示すように、基材10上に、第1電極層21として例えば透明導電膜を形成する(第1電極層形成工程)。透明導電膜の形成方法としては、特に限定されないが、真空チャンバを用いたCVD法(化学気相堆積法)、PVD法(物理気相堆積法)またはスパッタリング法等が用いられる。
その後、透明導電膜の表面の洗浄(例えば、PW/IPA(イソプロピルアルコール))、乾燥(例えば、150度、1時間)、およびオゾン処理が行われてもよい。
その後、透明導電膜の表面の洗浄(例えば、PW/IPA(イソプロピルアルコール))、乾燥(例えば、150度、1時間)、およびオゾン処理が行われてもよい。
次に、第1電極層21上に、第1キャリア輸送層31を形成する(第1キャリア輸送層形成工程)。第1キャリア輸送層31の形成方法としては、特に限定されないが、例えばCVD法、PVD法またはスパッタリング法等のドライプロセス、或いは塗布法、印刷法等のウエットプロセスが挙げられる。これらの中でも、緻密な膜の製膜の観点から、スパッタリング法が好ましい。
次に、第1キャリア輸送層31上に、ペロブスカイト薄膜40を形成する(ペロブスカイト薄膜形成工程)。ペロブスカイト薄膜40の形成方法としては、大面積化に適した塗布法を用いた製膜と、ガス状またはミスト状の貧溶媒の吹き付けを用いた乾燥および結晶化との組み合わせが挙げられる(ウエットプロセス)。
具体的には、図3Bに示すように、ハロゲン化金属材料(例えば、上述したハロゲン化鉛PbX2材料、ハロゲン化鉛PbX2材料、ヨウ化鉛PbI2材料)およびハロゲン化有機物材料(例えば、上述したハロゲン化メチルアンモニウムMAX材料、ヨウ化メチルアンモニウムMAI材料、ヨウ化メチルアンモニウムMAI材料)を溶解または分散させた溶液40Yを、ブレードコート法、ダイコート法、またはスプレーコート等の大面積化に適した塗布法を用いて塗布して、図3Cに示すようにペロブスカイト薄膜材料膜40Zを製膜する。
その後、図3Cに示すように、ペロブスカイト化合物にとっての貧溶媒(溶解度が小さい溶媒)であって、ガス状またはミスト状の貧溶媒を、ペロブスカイト薄膜材料膜40Zに吹き付けて、ペロブスカイト薄膜材料膜40Zを乾燥、結晶化する。このとき、ハロゲン化金属材料およびハロゲン化有機物材料を適切な反応温度で反応させる。これにより、ペロブスカイト薄膜40が得られる。
貧溶媒としては、エーテル、酢酸エチル、または1-プロパノール等が挙げられる。
次に、図3Dに示すように、ペロブスカイト薄膜40上に、第2キャリア輸送層32を形成する(第2キャリア輸送層形成工程)。第2キャリア輸送層32の形成方法としては、特に限定されないが、例えばCVD法、PVD法またはスパッタリング法、あるいは蒸着法等のドライプロセス、或いは塗布法、印刷法等のウエットプロセスが挙げられる。
次に、第2キャリア輸送層32上に、第2電極層22を形成する。第2電極層22の形成方法としては、特に限定されないが、例えば真空チャンバを用いたCVD法、PVD法またはスパッタリング法、あるいは蒸着法等のドライプロセス、或いは印刷法または塗布法等のウエットプロセスが挙げられる。これらの中でも、スパッタリング法が好ましい。
以上により、図1または図2に示す本実施形態のペロブスカイト薄膜系の太陽電池1が得られる。
以上により、図1または図2に示す本実施形態のペロブスカイト薄膜系の太陽電池1が得られる。
以上説明したように、本実施形態の太陽電池の製造方法によれば、ペロブスカイト薄膜形成工程では、
・第1キャリア輸送層31上に、大面積化に適したブレードコート法、ダイコート法、スプレーコート等の塗布法を用いてペロブスカイト薄膜材料膜40Zを塗布した後、
・ペロブスカイト薄膜材料膜40Zに、ガス状またはミスト状の貧溶媒を吹き付けて、ペロブスカイト薄膜の材料膜40Zを乾燥および結晶化する。
これにより、大面積のペロブスカイト薄膜40の形成が可能となり、ペロブスカイト薄膜系太陽電池1の大面積化が可能である。また、ガス状またはミスト状の貧溶媒の吹き付けにより、ペロブスカイト薄膜の材料膜40Zの結晶化を促進し、ペロブスカイト薄膜40における結晶粒径を大きくすることができ(例えば、800nm以上2000nm以下)、ペロブスカイト薄膜系太陽電池1の性能を向上することができる。
・第1キャリア輸送層31上に、大面積化に適したブレードコート法、ダイコート法、スプレーコート等の塗布法を用いてペロブスカイト薄膜材料膜40Zを塗布した後、
・ペロブスカイト薄膜材料膜40Zに、ガス状またはミスト状の貧溶媒を吹き付けて、ペロブスカイト薄膜の材料膜40Zを乾燥および結晶化する。
これにより、大面積のペロブスカイト薄膜40の形成が可能となり、ペロブスカイト薄膜系太陽電池1の大面積化が可能である。また、ガス状またはミスト状の貧溶媒の吹き付けにより、ペロブスカイト薄膜の材料膜40Zの結晶化を促進し、ペロブスカイト薄膜40における結晶粒径を大きくすることができ(例えば、800nm以上2000nm以下)、ペロブスカイト薄膜系太陽電池1の性能を向上することができる。
ペロブスカイト薄膜における結晶粒径を大きくする方法としては、ペロブスカイト薄膜の材料膜に添加剤を加える方法が考えられる。しかし、この方法では、添加剤により、ペロブスカイト薄膜の組成が変更されるため、添加剤とペロブスカイト薄膜の組成との最適解を見つける労力が非常に大きくなる。これに対して、本実施形態によれば、ペロブスカイト薄膜の組成が変更されることがない。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されることなく、種々の変更および変形が可能である。例えば、上述した実施形態では、結晶シリコン系太陽電池またはアモルファスシリコン薄膜系太陽電池と、ペロブスカイト薄膜系太陽電池とを組み合わせたいわゆるタンデム型太陽電池におけるペロブスカイト薄膜系太陽電池の製造にも適用可能である。
1 ペロブスカイト薄膜系太陽電池
10 基材
21 第1電極層(陽極または陰極)
22 第2電極層(陰極または陽極)
31 第1キャリア輸送層(正孔輸送層または電子輸送層)
32 第2キャリア輸送層(電子輸送層または正孔輸送層)
40 ペロブスカイト薄膜
40Z ペロブスカイト薄膜の材料膜
10 基材
21 第1電極層(陽極または陰極)
22 第2電極層(陰極または陽極)
31 第1キャリア輸送層(正孔輸送層または電子輸送層)
32 第2キャリア輸送層(電子輸送層または正孔輸送層)
40 ペロブスカイト薄膜
40Z ペロブスカイト薄膜の材料膜
Claims (4)
- 基材上に、第1電極層と、第1キャリア輸送層と、ペロブスカイト薄膜と、第2キャリア輸送層と、第2電極層とをこの順番に形成するペロブスカイト薄膜系太陽電池の製造方法であって、
前記ペロブスカイト薄膜の形成工程では、
前記第1キャリア輸送層上に、大面積化に適した塗布法を用いて前記ペロブスカイト薄膜の材料膜を塗布した後、
前記ペロブスカイト薄膜の材料膜に、ガス状またはミスト状の貧溶媒を吹き付けて、前記ペロブスカイト薄膜の材料膜を乾燥および結晶化する、
ペロブスカイト薄膜系太陽電池の製造方法。 - 前記大面積化に適した塗布法は、ブレードコート法、ダイコート法、またはスプレーコート法である、請求項1に記載のペロブスカイト薄膜系太陽電池の製造方法。
- 前記貧溶媒は、エーテル、酢酸エチル、または1-プロパノールである、請求項1に記載のペロブスカイト薄膜系太陽電池の製造方法。
- 基材上に、第1電極層と、第1キャリア輸送層と、ペロブスカイト薄膜と、第2キャリア輸送層と、第2電極層とをこの順番に備えるペロブスカイト薄膜系太陽電池であって、
前記ペロブスカイト薄膜におけるペロブスカイト結晶粒径は、800nm以上2000nm以下である、
ペロブスカイト薄膜系太陽電池。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022055997A JP2023148126A (ja) | 2022-03-30 | 2022-03-30 | ペロブスカイト薄膜系太陽電池の製造方法およびペロブスカイト薄膜系太陽電池 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2022055997A JP2023148126A (ja) | 2022-03-30 | 2022-03-30 | ペロブスカイト薄膜系太陽電池の製造方法およびペロブスカイト薄膜系太陽電池 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2023148126A true JP2023148126A (ja) | 2023-10-13 |
Family
ID=88288539
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022055997A Pending JP2023148126A (ja) | 2022-03-30 | 2022-03-30 | ペロブスカイト薄膜系太陽電池の製造方法およびペロブスカイト薄膜系太陽電池 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2023148126A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN117729822A (zh) * | 2024-02-07 | 2024-03-19 | 西安电子科技大学 | 基于气相离子掺杂的大面积钙钛矿太阳电池及其制备方法 |
-
2022
- 2022-03-30 JP JP2022055997A patent/JP2023148126A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN117729822A (zh) * | 2024-02-07 | 2024-03-19 | 西安电子科技大学 | 基于气相离子掺杂的大面积钙钛矿太阳电池及其制备方法 |
CN117729822B (zh) * | 2024-02-07 | 2024-05-14 | 西安电子科技大学 | 基于气相离子掺杂的大面积钙钛矿太阳电池及其制备方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2942826B1 (en) | Doped perovskites and their use as active and/or charge transport layers in optoelectronic devices | |
AU2014317208B2 (en) | Amorphous material and the use thereof | |
JP6554300B2 (ja) | 光電変換装置の製造方法 | |
US9653696B2 (en) | Tin perovskite/silicon thin-film tandem solar cell | |
KR102541127B1 (ko) | 텐덤 태양전지 및 그 제조 방법 | |
US20230082682A1 (en) | Methods for Perovskite Device Processing by Vapor Transport Deposition | |
KR20190089394A (ko) | 태양 전지 | |
AU2020293389A1 (en) | Doped mixed cation perovskite materials and devices exploiting same | |
JP2023148126A (ja) | ペロブスカイト薄膜系太陽電池の製造方法およびペロブスカイト薄膜系太陽電池 | |
KR102658357B1 (ko) | 에너지 전환효율이 향상된 페로브스카이트 태양전지 | |
CN108461640B (zh) | 晶态有机电致发光二极管及其应用 | |
Liu et al. | Low-temperature bromide modification of SnO 2 for highly efficient perovskite solar cells | |
US20160329159A1 (en) | Method Of Growing III-V Semiconductor Films For Tandem Solar Cells | |
WO2022138429A1 (ja) | ペロブスカイト薄膜系太陽電池の製造方法 | |
KR20180108517A (ko) | 페로브스카이트 태양전지의 전자전달물질, 페로브스카이트 태양전지 및 페로브스카이트 태양전지의 제조방법 | |
WO2022172869A1 (ja) | ペロブスカイト薄膜系太陽電池の製造方法 | |
WO2023190182A1 (ja) | ペロブスカイト薄膜系太陽電池の製造方法およびペロブスカイト薄膜系太陽電池 | |
WO2023048117A1 (ja) | 太陽電池 | |
JP2023147362A (ja) | 太陽電池モジュール製造方法 | |
JP2023046212A (ja) | 太陽電池及び太陽電池製造方法 | |
WO2023190006A1 (ja) | ペロブスカイト薄膜太陽電池の製造方法 | |
WO2023157884A1 (ja) | 光吸収層及び光吸収層の形成方法、並びに光電変換素子 | |
WO2023190570A1 (ja) | 太陽電池サブモジュール及び太陽電池サブモジュール製造方法 | |
Singh et al. | Performance enhancement by introducing different chlorinated salts in the SnO 2 electron transfer layer of perovskite solar cells | |
TW202243272A (zh) | 太陽能電池及其製造方法 |