JP2023143636A - 光半導体素子封止用シートおよび表示体 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の光半導体素子封止用シートは、着色層および非着色層を含む封止用樹脂層を少なくとも備える。なお、本明細書において、光半導体素子封止用シートとは、基板上に配置された1以上の光半導体素子を封止用樹脂層により封止するためのシートをいうものとする。また、本明細書において、「光半導体素子を封止する」とは、光半導体素子の少なくとも一部を封止用樹脂層内に埋め込むこと、または、上記封止用樹脂層により追従し被覆することをいう。上記封止用樹脂層は、光半導体素子の少なくとも一部を埋め込む、または、上記封止用樹脂層により追従し被覆することが可能な柔軟性を有する。
上記封止用樹脂層において、上記非着色層の硬さをA、上記着色層の硬さをBとしたとき、A>Bを満たす。すなわち、上記封止用樹脂層は、A>Bを満たす硬さAの非着色層および硬さBの着色層を少なくとも備える。硬さAの非着色層を「非着色層A」、硬さBの着色層を「着色層B」と称する場合がある。上記封止樹脂層は、非着色層Aおよび着色層B以外の層を有していてもよい。また、上記封止樹脂層を構成する層の総数は、非着色層Aおよび非着色層Bを含む2以上であり、3以上であってもよい。上記層の総数は、光半導体素子封止用シートおよび光半導体装置の厚さを薄くする観点から、例えば10以下であり、5以下または4以下であってもよい。
上記封止用樹脂層における着色層は、表示体において基板上に設けられた金属配線などによる光の反射を防止することを目的とする層である。上記着色層は着色剤を少なくとも含む。上記着色層は、樹脂で構成される樹脂層であることが好ましい。上記着色剤は、上記着色層に溶解または分散可能なものであれば、染料でも顔料でもよい。少量の添加でも低いヘイズが達成でき、顔料のように沈降性がなく均一に分布させやすいことから、染料が好ましい。また、少量の添加でも色発現性が高いことから、顔料も好ましい。着色剤として顔料を使用する場合は、導電性が低いか、ないものが好ましい。上記着色剤は、一種のみを使用してもよいし、二種以上を使用してもよい。
上記非着色層は、上記着色層とは異なる層であり、表示体において基板上に設けられた金属配線などによる光の反射を防止することを目的としない層である。上記非着色層は、無色層であってもよく、わずかに着色していてもよい。また、上記非着色層は、例えば光を拡散する機能を発揮することを目的とする拡散機能層であってもよく、光を拡散する機能を発揮することを目的としない非拡散機能層であってもよい。上記非着色層は、透明であってもよく、非透明であってもよい。上記非着色層は樹脂で構成される樹脂層であることが好ましい。
上記着色層および上記非着色層が上記樹脂層である場合、上記樹脂層を構成する樹脂としては、公知乃至慣用の樹脂が挙げられ、例えば、アクリル系樹脂、ウレタンアクリレート系樹脂、ウレタン系樹脂、ゴム系樹脂、エポキシ系樹脂、エポキシアクリレート系樹脂、オキセタン系樹脂、シリコーン樹脂、シリコーンアクリル系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリエーテル系樹脂(ポリビニルエーテル等)、ポリアミド系樹脂、フッ素系樹脂、酢酸ビニル/塩化ビニルコポリマー、変性ポリオレフィンなどが挙げられる。上記樹脂は、一種のみを使用してもよいし、二種以上を使用してもよい。上記封止用樹脂層の各層を構成する樹脂は、互いに同一であってもよいし異なっていてもよい。
本発明の光半導体素子封止用シートにおいて、上記封止用樹脂層は、基材部の少なくとも一方の面に備えられていてもよい。本発明の光半導体素子封止用シートが上記基材部を備える場合、上記封止用樹脂層の、非着色層Aの着色層Bとは反対側が基材部と接触する側となる。上記基材部は、上記光半導体素子封止用シートにおいて封止用樹脂層の光半導体素子側とは反対側に備えると、封止用樹脂層表面をフラットにすることができ、これより光の乱反射を起こりにくくし、消灯時および発光時の両方において表示体の見栄えが向上する。また、上記基材部に後述のアンチグレア層や反射防止層を形成することで表示体にアンチグレア性や反射防止性を付与することができる。また、上記光半導体素子封止用シートにおいて封止用樹脂層の支持体となり、上記基材部を備えることにより光半導体素子封止用シートの取り扱い性に優れる。なお、基材部は必ずしも設けられなくてもよい。
上記光半導体素子封止用シートは、アンチグレア性および/または反射防止性を有する層を備えていてもよい。このような構成を有することにより、光半導体素子を封止した際において光沢や光の反射を抑制し、見栄えをより良くすることができる。上記アンチグレア性を有する層としてはアンチグレア処理層が挙げられる。上記反射防止性を有する層としては反射防止処理層が挙げられる。アンチグレア処理および反射防止処理は、それぞれ、公知乃至慣用の方法で実施することができる。上記アンチグレア性を有する層および上記反射防止性を有する層は、同一層であってもよいし、互いに異なる層であってもよい。上記アンチグレア性および/または反射防止性を有する層は、一層のみ有していてもよいし、二層以上を有していてもよい。
上記封止用樹脂層は、はく離ライナー上のはく離処理面に形成されていてもよい。上記封止用樹脂層が上記はく離ライナーに形成されている場合、上記はく離ライナーは上記封止用樹脂層の、着色層Bの非着色層Aとは反対側がはく離ライナーと接触する側となる。上記基材部を有しない場合は上記封止用樹脂層の両面がはく離ライナーと接触する側であってもよい。はく離ライナーは上記光半導体素子封止用シートの保護材として用いられ、光半導体素子を封止する際に剥がされる。なお、はく離ライナーは必ずしも設けられなくてもよい。
本発明の光半導体素子封止用シートの製造方法の一実施形態について説明する。例えば、図1に示す光半導体素子封止用シート1は、例えば、それぞれ2枚のはく離ライナーの剥離処理面に挟持された、拡散機能層21、着色層22、および非着色層23を個別に作製する。拡散機能層21に貼り合わせられた一方のはく離ライナーははく離ライナー3である。
本発明の光半導体素子封止用シートを用いて表示体等の光半導体装置を作製することができる。本発明の光半導体素子封止用シートを用いて製造される表示体は、基板と、上記基板上に配置された光半導体素子と、上記光半導体素子を封止する本発明の光半導体素子封止用シートまたは当該シートが硬化した硬化物と、を備える。上記硬化物は、本発明の光半導体素子封止用シートが放射線硬化性樹脂層を備える場合において上記放射線硬化性樹脂層が放射線照射により硬化した硬化物である。
上記光半導体装置は、例えば、本発明の光半導体素子封止用シートを、光半導体素子が配置された基板に貼り合わせ、封止用樹脂層により光半導体素子を封止することで製造することができる。
上記光半導体素子封止用シートを用いて光半導体装置を製造する方法において、上記光半導体素子封止用シートを、光半導体素子が配置された基板に貼り合わせ、封止用樹脂層により光半導体素子を封止する封止工程を有する。上記封止工程では、具体的には、まず、上記光半導体素子封止用シートからはく離ライナーを剥離して封止用樹脂層を露出させる。そして、基板と、上記基板上に配置された光半導体素子(好ましくは複数の光半導体素子)とを備える積層体(光学部材など)の、光半導体素子が配置された基板面に、上記光半導体素子封止用シートの露出面である封止用樹脂層面を貼り合わせ、上記積層体が複数の光半導体素子を備える場合はさらに複数の光半導体素子間の隙間を上記封止用樹脂層が充填するように配置し、複数の光半導体素子を一括して封止する。具体的には、図1に示す光半導体素子封止用シート1からはく離ライナー3を剥離して露出した拡散機能層21を、基板5の光半導体素子6が配置された面に対向するように配置し、光半導体素子封止用シート1を基板5の光半導体素子6が配置された面に貼り合わせ、光半導体素子6を封止用樹脂層2に埋め込む。
上記封止用樹脂層が放射線硬化性樹脂層を備える場合、上記製造方法は、さらに、上記基板と、上記基板上に配置された光半導体素子と、上記光半導体素子を封止する上記光半導体素子封止用シートと、を備える積層体に放射線を照射して上記放射線硬化性樹脂層を硬化させて硬化物層を形成する放射線照射工程を備えていてもよい。上記放射線としては上述のように、電子線、紫外線、α線、β線、γ線、X線などが挙げられる。中でも、紫外線が好ましい。放射線照射時の温度は、例えば室温から100℃の範囲内であり、照射時間は例えば1分~1時間である。
上記製造方法は、さらに、上記基板と、上記基板上に配置された光半導体素子と、上記光半導体素子を封止する上記光半導体素子封止用シートと、を備える積層体をダイシングするダイシング工程を備えていてもよい。上記積層体は、上記放射線照射工程を経た積層体について行ってもよい。上記積層体が、上記放射線照射により放射線硬化性樹脂層が硬化した硬化物層を備える場合、上記ダイシング工程では、光半導体素子封止用シートの硬化物層および基板の側端部をダイシングして除去する。これにより、充分に硬化し粘着性が低く低減された硬化物層の面を側面に露出させることができる。上記ダイシングは、公知乃至慣用の方法により行うことができ、例えば、ダイシングブレードを用いた方法や、レーザー照射により行うことができる。
上記製造方法は、さらに、上記ダイシング工程で得られた複数の光半導体装置を平面方向に接触するように並べるタイリング工程を備えていてもよい。上記タイリング工程では、上記ダイシング工程で得られた複数の積層体を平面方向に接触するように並べてタイリングする。このようにして、1つの大きな表示体を製造することができる。
(アクリル系プレポリマー溶液Aの調製)
温度計、撹拌機、還流冷却管、および窒素ガス導入管を備えたセパラブルフラスコに、モノマー成分として、アクリル酸2-エチルへキシル(2-EHA)78質量部、N-ビニル-2-ピロリドン(NVP)18質量部、2-ヒドロキシエチルアクリレート(HEA)5質量部、光重合開始剤(商品名「omnirad 184」、IGM Resins Italia Srl社製)0.035質量部、および光重合開始剤(商品名「omnirad 651」、IGM Resins Italia Srl社製)0.035質量部を投入した後、窒素ガスを流し、撹拌しながら約1時間窒素置換を行った。その後、5mW/cm2で紫外線を照射し重合を行い、反応率が5~15%になるように調整して、アクリル系プレポリマー溶液Aを得た。
(アクリル系オリゴマー溶液の調製)
トルエン100質量部、ジシクロペンタニルメタクリレート(DCPMA)(商品名「FA-513M」、日立化成工業株式会社製)60質量部、メチルメタクリレート(MMA)40質量部、および連鎖移動剤としてα-チオグリセロール3.5質量部を4つ口フラスコに投入した。そして、70℃にて窒素雰囲気下で1時間撹拌した後、熱重合開始剤としてAIBNを0.2質量部投入し、70℃で2時間反応させ、続いて80℃で2時間反応させた。その後、反応液を130℃の温度雰囲気下に投入し、トルエン、連鎖移動剤、および未反応モノマーを乾燥除去することにより、固形状のアクリル系オリゴマーを得た。このアクリル系オリゴマーのTgは144℃であり、Mwは4300であった。上記アクリルオリゴマー50質量部に、アクリル酸2-エチルへキシル(2-EHA)50質量部を加え、溶解させ、アクリル系オリゴマー溶液を得た。
(粘着剤組成物Aの調製)
製造例1で調製したアクリル系プレポリマー溶液A(プレポリマー全量を100質量部とする)に、2-ヒドロキシエチルアクリレート(HEA)17.6質量部、製造例2で調製したアクリル系オリゴマー溶液11.8質量部、2官能モノマー(商品名「NKエステル A-HD-N」、新中村化学工業株式会社製)0.088質量部、シランカップリング剤(商品名「KBM-403」、信越化学工業株式会社製、3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン)0.353質量部を加えて、粘着剤組成物Aを得た。
(粘着剤組成物Bの調製)
製造例1で調製したアクリル系プレポリマー溶液A(プレポリマー全量を100質量部とする)に、2-ヒドロキシエチルアクリレート(HEA)17.6質量部、製造例2で調製したアクリル系オリゴマー溶液11.8質量部、2官能モノマー(商品名「NKエステル A-HD-N」、新中村化学工業株式会社製)0.294質量部、シランカップリング剤(商品名「KBM-403」、信越化学工業株式会社製、3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン)0.353質量部を加えて、粘着剤組成物Bを得た。
(アクリル系プレポリマー溶液Bの調製)
温度計、撹拌機、還流冷却管、および窒素ガス導入管を備えたセパラブルフラスコに、モノマー成分として、ブチルアクリレート(BA)67質量部、シクロヘキシルアクリレート(CHA)14質量部、4-ヒドロキシブチルアクリレート(4-HBA)19質量部、光重合開始剤(商品名「omnirad 184」、IGM Resins Italia Srl社製)0.09質量部、および光重合開始剤(商品名「omnirad 651」、IGM Resins Italia Srl社製)0.09質量部を投入した後、窒素ガスを流し、撹拌しながら約1時間窒素置換を行った。その後、5mW/cm2で紫外線を照射し重合を行い、反応率が5~15%になるように調整して、アクリル系プレポリマー溶液Bを得た。
(粘着剤組成物Cの調製)
製造例5で調製したアクリル系プレポリマー溶液B(プレポリマー全量を100質量部とする)に、2-ヒドロキシエチルアクリレート(HEA)9質量部、4-ヒドロキシブチルアクリレート(4-HBA)8質量部、多官能モノマーとしてジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(商品名「KAYARAD DPHA」、新中村化学工業株式会社製)0.1質量部、シランカップリング剤(商品名「KBM-403」、信越化学工業株式会社製、3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン)0.4質量部を加えて、粘着剤組成物Cを得た。
(粘着剤組成物Dの調製)
製造例5で調製したアクリル系プレポリマー溶液B(プレポリマー全量を100質量部とする)に、2-ヒドロキシエチルアクリレート(HEA)9質量部、4-ヒドロキシブチルアクリレート(4-HBA)8質量部、多官能モノマーとしてジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(商品名「KAYARAD DPHA」、新中村化学工業株式会社製)0.02質量部、シランカップリング剤(3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、信越化学工業株式会社製、商品名「KBM-403」)0.35質量部、および光重合開始剤(商品名「omnirad 651」、IGM Resins Italia Srl社製)0.3質量部を加えて、粘着剤組成物Dを得た。
(非光拡散粘着剤層1~8の作製)
粘着剤組成物A~Dおよび添加剤を表1に示す質量比で混合した。この混合物を、はく離ライナー(商品名「MRE38」、三菱ケミカル株式会社製、ポリエチレンテレフタレートフィルムの片面に剥離処理が施されたもの、厚さ38μm)の剥離処理面上に塗布して樹脂組成物層を形成してから、当該樹脂組成物層上にもはく離ライナー(商品名「MRF38」、三菱ケミカル株式会社製)の剥離処理面を貼り合わせた。次に、ブラックライトにより、表1記載の照度の紫外線を、積算光量が3600mJ/cm2となるまで照射して重合を行い、粘着性を有する非拡散機能層(非光拡散粘着剤層)1~8を作製した。
(反射防止層1~2の作製)
粘着剤組成物Dおよび添加剤を表1の質量比で混合した。この混合物を、はく離ライナー(商品名「MRE38」、三菱ケミカル株式会社製、ポリエチレンテレフタレートフィルムの片面に剥離処理が施されたもの、厚さ38μm)の剥離処理面上に塗布して樹脂組成物層を形成してから、当該樹脂組成物層上にもはく離ライナー(商品名「MRF38」、三菱ケミカル株式会社製)の剥離処理面を貼り合わせた。次に、ブラックライトにより、表1記載の照度の紫外線を、積算光量が3600mJ/cm2となるまで照射して重合を行い、着色層(反射防止層)1~2を作製した。なお9256BLACKとは黒色顔料の20%分散液(商品名「9256BLACK」、株式会社トクシキ製)である。
(光拡散粘着剤層1の作製)
粘着剤組成物Dおよび添加剤を表1の質量比で混合した。この混合物を、はく離ライナー(商品名「MRE38」、三菱ケミカル株式会社製、ポリエチレンテレフタレートフィルムの片面に剥離処理が施されたもの、厚さ38μm)の剥離処理面上に塗布して樹脂組成物層を形成してから、当該樹脂組成物層上にもはく離ライナー(商品名「MRF38」、三菱ケミカル株式会社製)の剥離処理面を貼り合わせた。次に、ブラックライトにより、表1記載の照度の紫外線を、積算光量が3600mJ/cm2となるまで照射して重合を行い、粘着性を有する拡散機能層(光拡散粘着剤層)1を作製した。なおトスパール145とは商品名「トスパール145」(モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン社製、屈折率:1.42、平均粒径:4.5μmのシリコーン樹脂)である。またPOB-Aとは商品名「ライトアクリレートPOB-A」(共栄社化学株式会社製)である。
(防眩処理層付き基材フィルムの作製)
防眩処理層形成材料に含まれる樹脂として、紫外線硬化型多官能アクリレート樹脂(商品名「UA-53H」、新中村化学工業株式会社製)40質量部、およびペンタエリスリトールトリアクリレートを主成分とする多官能アクリレート(商品名「ビスコート#300」大阪有機化学工業株式会社製)60質量部を準備した。上記樹脂の樹脂合計固形分100質量部あたり、防眩処理層形成粒子としてアクリルとスチレンの共重合粒子(商品名「テクポリマーSSX-103DXE」、積水化成品工業株式会社製)を7.0質量部、シリコーン樹脂(商品名「TOSPEARL130」、モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン社製)を3質量部、チキソトロピー付与剤として合成スメクタイト(商品名「スメクトンSAN」、クニミネ工業株式会社製)を2.5質量部、光重合開始剤(商品名「OMNIRAD907」、BASF社製)を3質量部、およびレベリング剤(商品名「GRANDIC PC4100」、DIC株式会社製)を0.15質量部混合した。この混合物を固形分濃度が40質量%となるように、トルエン/シクロペンタノン混合溶媒(質量比80/20)で希釈して、防眩処理層形成材料(塗工液)を調製した。
(光半導体素子封止用シートの作製)
製造例8で得られた非光拡散粘着剤層1からはく離ライナー(商品名「MRE38」)を剥離し、粘着面を露出させた。上記光拡散粘着剤層1の露出面を製造例11で作製した防眩処理層付き基材フィルムの易接着処理面に貼り合わせ、基材フィルム上に非光拡散粘着剤層1を形成した。
次に、非光拡散粘着剤層1表面からはく離ライナー(商品名「MRF38」)を剥離し、粘着面を露出させた。製造例9で得られた反射防止層1からはく離ライナー(商品名「MRE38」)を剥離して露出させた粘着面を、非光拡散粘着剤層1の露出面に貼り合わせ、非光拡散粘着剤層1上に反射防止層1を形成した。
次に、反射防止層1表面からはく離ライナー(商品名「MRF38」)を剥離し、粘着面を露出させた。製造例10で得られた光拡散粘着剤層1からはく離ライナー(商品名「MRE38」)を剥離して露出させた粘着面を、反射防止層1の露出面に貼り合わせ、反射防止層1上に光拡散粘着剤層1を形成した。
そして、室温(23℃)においてハンドローラーで気泡が入らないように貼り合わせ、遮光下で二日間放置した。このようにして、[はく離ライナー/光拡散粘着剤層1(50μm)/反射防止層1(50μm)/非光拡散粘着剤層1(100μm)/基材フィルム]からなる光半導体素子封止用シートを得た。
非光拡散粘着剤層1に代えて非光拡散粘着剤層2を使用したこと以外は実施例1と同様にして、[はく離ライナー/光拡散粘着剤層1(50μm)/反射防止層1(50μm)/非光拡散粘着剤層2(100μm)/基材フィルム]からなる光半導体素子封止用シートを得た。
非光拡散粘着剤層1に代えて非光拡散粘着剤層3を使用したこと以外は実施例1と同様にして、[はく離ライナー/光拡散粘着剤層1(50μm)/反射防止層1(50μm)/非光拡散粘着剤層3(100μm)/基材フィルム]からなる光半導体素子封止用シートを得た。
非光拡散粘着剤層1に代えて非光拡散粘着剤層4を使用したこと以外は実施例1と同様にして、[はく離ライナー/光拡散粘着剤層1(50μm)/反射防止層1(50μm)/非光拡散粘着剤層4(100μm)/基材フィルム]からなる光半導体素子封止用シートを得た。
非光拡散粘着剤層1に代えて非光拡散粘着剤層5を使用したこと以外は実施例1と同様にして、[はく離ライナー/光拡散粘着剤層1(50μm)/反射防止層1(50μm)/非光拡散粘着剤層5(100μm)/基材フィルム]からなる光半導体素子封止用シートを得た。
非光拡散粘着剤層1に代えて非光拡散粘着剤層6を使用したこと以外は実施例1と同様にして、[はく離ライナー/光拡散粘着剤層1(50μm)/反射防止層1(50μm)/非光拡散粘着剤層6(100μm)/基材フィルム]からなる光半導体素子封止用シートを得た。
製造例8で得られた非光拡散粘着剤層7からはく離ライナー(商品名「MRE38」)を剥離し、粘着面を露出させた。上記光拡散粘着剤層7の露出面を製造例11で作製した防眩処理層付き基材フィルムの易接着処理面に貼り合わせ、基材フィルム上に非光拡散粘着剤層7を形成した。
次に、非光拡散粘着剤層7表面からはく離ライナー(商品名「MRF38」)を剥離し、粘着面を露出させた。製造例9で得られた反射防止層2からはく離ライナー(商品名「MRE38」)を剥離して露出させた粘着面を、非光拡散粘着剤層7の露出面に貼り合わせ、非光拡散粘着剤層7上に反射防止層2を形成した。
そして、室温(23℃)においてハンドローラーで気泡が入らないように貼り合わせ、遮光下で二日間放置した。このようにして、[はく離ライナー/反射防止層2(50μm)/非光拡散粘着剤層7(100μm)/基材フィルム]からなる光半導体素子封止用シートを得た。
非光拡散粘着剤層1に代えて非光拡散粘着剤層8を使用したこと以外は実施例1と同様にして、[はく離ライナー/光拡散粘着剤層1(50μm)/反射防止層1(50μm)/非光拡散粘着剤層8(100μm)/基材フィルム]からなる光半導体素子封止用シートを得た。
製造例9で得られた反射防止層1からはく離ライナー(商品名「MRE38」)を剥離し、粘着面を露出させた。上記反射防止層1の露出面を製造例11で作製した防眩処理層付き基材フィルムの易接着処理面に貼り合わせ、基材フィルム上に反射防止層1を形成した。
次に、反射防止層1表面からはく離ライナー(商品名「MRF38」)を剥離し、粘着面を露出させた。製造例8で得られた非光拡散粘着剤層8からはく離ライナー(商品名「MRE38」)を剥離して露出させた粘着面を、反射防止層1の露出面に貼り合わせ、反射防止層1上に非光拡散粘着剤層8を形成した。
そして、室温(23℃)においてハンドローラーで気泡が入らないように貼り合わせ、遮光下で二日間放置した。このようにして、[はく離ライナー/非光拡散粘着剤層8(150μm)/反射防止層1(50μm)/基材フィルム]からなる光半導体素子封止用シートを得た。
製造例8で得られた非光拡散粘着剤層8からはく離ライナー(商品名「MRE38」)を剥離し、粘着面を露出させた。上記非光拡散粘着剤層8の露出面を製造例11で作製した防眩処理層付き基材フィルムの易接着処理面に貼り合わせ、基材フィルム上に非光拡散粘着剤層8を形成した。
そして、室温(23℃)においてハンドローラーで気泡が入らないように貼り合わせ、遮光下で二日間放置した。このようにして、[はく離ライナー/非光拡散粘着剤層8(200μm)/基材フィルム]からなる光半導体素子封止用シートを得た。
各製造例で作製した各層、ならびに、実施例および比較例で得られた光半導体素子封止用シートについて、以下の評価を行った。結果を表2に示す。
各製造例で作製した光拡散粘着剤層、反射防止層(反射防止性を有する粘着剤層)、および非光拡散粘着剤層について、40mm×40mmに切り出し、片側から粘着剤層を丸め、長さ40mmの紐状の巻回試験片を作製した。上記試験片について、万能試験機(商品名「オートグラフAG-IS」、株式会社島津製作所製)を用いて、初期チャック間距離20mmとし、引張倍率300%(引張後チャック間距離80mm)、引張速度300mm/秒で引っ張り、引っ張った状態で300秒保持した後の残存応力を測定した。
(評価サンプルの作製)
光半導体素子封止用シートからはく離ライナーを剥離し、露出した粘着面を高さ120μmに凸加工した8インチウエハに貼りつけた。貼付には日東精機株式会社製装置「MSV300」を用いて差圧貼りした。差圧貼りの条件は、真空度:20Pa、貼付圧力:0.1MPa、ウエハ表面温度:60℃とした。
マイクロスコープ(商品名「VHX-7000」、株式会社キーエンス製)および高性能低倍率ズームレンズ(商品名「VH-Z00R」、株式会社キーエンス製)を用い、50倍率、リング照明(明るさ最大)で防眩処理層付き基材フィルム側から凹凸ウエハの凸部に焦点を合わせて、複数の凸部および凹部を含む範囲の画像を取得した。画像解析には「ImageJ」を用いた。取得した画像において、凸部3つを選択してヒストグラムを出し、凸部最大明るさを記録し、n3の平均値を凸部最大明るさとした。また、取得した画像において、凹部3つを選択してヒストグラムを出し、n3の平均値を凹部平均明るさとした。
反射防止および輝度の両方が「○」の場合を「○」、反射防止および輝度の少なくとも一方が「×」の場合を「×」として評価した。
光半導体素子封止用シートの基材フィルム面が表を向くように、上記(2)明るさの評価で作製した評価サンプルを平らな面に静置させた。分光測色計(商品名「CM-26dG」、コニカミノルタ株式会社製)の測定部全面が光半導体素子封止用シートの基材フィルム面に設置されるようにし、L*(SCI)、a*(SCI)、およびb*(SCI)の測定を行った。なお、測色計の測定域が測定サンプルの中央に来るように設置し、下記条件で測定した。また、上記分光測色計で測定を行う前には、ゼロ点校正、白色校正、GROSS校正をメーカーマニュアルに従い実施した。なお、凹凸ウエハのみで測定した場合、L*(SCI)は66.8、a*(SCI)は0.6、b*(SCI)は-6.1であった。
<測定条件>
測定方法:色&光沢
ジオメトリー: di:8°、de:8°
正反射光処理:SCI+SCE
観察光源:D65
観察条件:10°視野
測定径:MAV(8mm)
UV条件:100%Full
自動平均測定:3回
ゼロ校正スキップ:有効
[付記1]基板上に配置された1以上の光半導体素子を封止するためのシートであって、
前記シートは、着色層および非着色層を含む封止用樹脂層を備え、
前記非着色層の硬さAおよび前記着色層の硬さBはA>Bを満たす、光半導体素子封止用シート。
[付記2]前記硬さは、残存応力、弾性率、ヤング率、およびナノインデンテーション法により測定される硬さからなる群より選択される1以上である、付記1に記載の光半導体素子封止用シート。
[付記3]前記硬さは残存応力であり、前記着色層の残存応力B1に対する前記非着色層の残存応力A1の比[残存応力A1/残存応力B1]は1.2以上である、付記1に記載の光半導体素子封止用シート。
[付記4]前記封止用樹脂層は、前記着色層の前記非着色層とは反対側に、硬さCを有する非着色層をさらに備える、付記1~3のいずれか1つに記載の光半導体素子封止用シート。
[付記5]前記非着色層の硬さCおよび前記着色層の硬さBはC>Bを満たす、付記4に記載の光半導体素子封止用シート。
[付記6]前記封止用樹脂層は拡散機能層を含む付記1~5のいずれか1つに記載の光半導体素子封止用シート。
[付記7]基板と、前記基板上に配置された光半導体素子と、前記光半導体素子を封止する、付記1~6のいずれか1つに記載の光半導体素子封止用シートまたはその硬化物と、を備える表示体。
[付記8]自発光型表示装置を備える付記7に記載の表示体。
[付記9]画像表示装置である付記7または8に記載の表示体。
2 封止用樹脂層
21 拡散機能層(非着色層C)
22 着色層(着色層B)
23 非着色層(非着色層A)
3 はく離ライナー
4 基材部
41 基材フィルム
42 機能層
5 基板
6 光半導体素子
7 封止樹脂層
71 拡散機能層
72 着色層
73 非着色層
10 光半導体装置
Claims (8)
- 基板上に配置された1以上の光半導体素子を封止するためのシートであって、
前記シートは、着色層および非着色層を含む封止用樹脂層を備え、
前記非着色層の硬さAおよび前記着色層の硬さBはA>Bを満たす、光半導体素子封止用シート。 - 前記硬さは、残存応力、弾性率、ヤング率、およびナノインデンテーション法により測定される硬さからなる群より選択される1以上である、請求項1に記載の光半導体素子封止用シート。
- 前記硬さは残存応力であり、前記着色層の残存応力B1に対する前記非着色層の残存応力A1の比[残存応力A1/残存応力B1]は1.2以上である、請求項1に記載の光半導体素子封止用シート。
- 前記封止用樹脂層は、前記着色層の前記非着色層とは反対側に、硬さCを有する非着色層をさらに備える、請求項1~3のいずれか1項に記載の光半導体素子封止用シート。
- 前記封止用樹脂層は拡散機能層を含む請求項1~3のいずれか1項に記載の光半導体素子封止用シート。
- 基板と、前記基板上に配置された光半導体素子と、前記光半導体素子を封止する、請求項1~3のいずれか1項に記載の光半導体素子封止用シートまたはその硬化物と、を備える表示体。
- 自発光型表示装置を備える請求項6に記載の表示体。
- 画像表示装置である請求項6に記載の表示体。
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