JP2023130556A - ウエハの回転保持装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ウエハのサイズ変更に対して柔軟に対応することができ、作業性の向上と設備費用の低減を図り、コスト低減を可能にするウエハの回転保持装置を提供する。【解決手段】装置本体１１に取り付けられ、ウエハを水平回転させる駆動力を供給するウエハ回転駆動手段１４と、規定の位置の略中心Ｏを挟んで対向する位置にそれぞれ交換可能に配置される少なくとも１対のアタッチメントユニット１３と、ウエハ回転駆動手段１４の動力とアタッチメントユニット１３との間の動力伝達を着脱自在に連結するカップリング手段２１と、を有し、１対のアタッチメントユニット１３は、規定の位置の略中心Ｏから放射方向に延びる位置にそれぞれ配置されてウエハの外形部分を回転可能に支持する複数個の回転コマ２４と、駆動用モータ２０からの回転駆動力を少なくとも一つ以上の回転コマ２４に伝達する動力伝達機構２３Ａ、２３Ｂと、を備える。【選択図】図２

Description

本発明は、ウエハの回転保持装置に関するものであり、特に、ウエハのサイズ変更に対して柔軟に対応することができるウエハの回転保持装置に関するものである。

従来、半導体デバイス製造工程において、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という）を研削した後に、その研削面を洗浄して、ウエハの研削面等に付着したコンタミネーション（異物、通称「コンタミ」という）を除去するための処理が行われている（例えば、特許文献１参照）。また、今日のウエハは、外形（外径）の大きさが４インチ、６インチ、８インチのもの等、異なる外形の大きさをしたウエハが出現し使用されている。

また、特許文献１に示されるウエハの洗浄処理では、ウエハが配設される規定の箇所の周囲に、ウエハの外周縁に当接してウエハを水平に保持し、かつ、ウエハを水平回転させる複数個の回転コマを設け、回転コマと一体にウエハを上下面を解放した状態にして回転させ、回転しているウエハの上下両面に流体ミストを吹きかけて、ウエハの上下両面を同時に洗浄するようにしている。複数個の回転コマは、駆動モータに連結された回転軸に各々一体回転可能に取り付けられていて、各回転コマの取付位置が固定された構造になっている。

また、特許文献１に示されるウエハの洗浄装置は、外形の大きさが異なるサイズのウエハを洗浄するときには、製造ラインを一度止めて、回転コマの位置等を使用するウエハのサイズに合わせて、回転コマの位置を、ウエハが配置される規定の位置の略中心から放射方向にずらす、あるいは洗浄装置そのものをウエハのサイズに対応した装置と交換するなどの作業を行うことによって対応している。

特開２０１５－１０３７０４号公報

しかしながら、特許文献１に記載の洗浄装置のように、回転コマの取付位置が固定された構造になっている場合では、ウエハのサイズが変わるときには、上下のブラシユニットや、回転コマ及び回転軸など、色々な構成品の位置変え、及び交換などが必要となる。そのため、それら構成品の交換並びに調整の作業に多くの時間(通常一週間程度)を費やし、作業性が悪いという問題があった。

また、ウエハのサイズに対応した複数の装置を用意しておく場合では、設備費用が高価になり、コストアップになるという問題点があった。

そこで、ウエハのサイズ変更に対して柔軟に対応することができ、作業性の向上と設備費用の低減を図り、コスト低減を可能にするウエハの回転保持装置を実現するために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。

本発明は上記目的を達成するために提案されたものであり、請求項１に記載の発明は、ウエハの外形部分を基準にして、前記ウエハを規定の位置に回転可能に保持するウエハの回転保持装置であって、装置本体と、前記装置本体に取り付けられ、前記ウエハを水平回転させる駆動力を供給するウエハ回転駆動手段と、前記規定の位置の略中心を挟んで対向する位置にそれぞれ交換可能に配置される少なくとも１対のアタッチメントユニットと、前記ウエハ回転駆動手段と前記アタッチメントユニットとの間を交換着脱自在に連結するカップリング手段と、を有し、前記１対のアタッチメントユニットは、前記規定の位置の略中心から放射方向に延びる位置にそれぞれ配置されて前記ウエハの前記外形部分を回転可能に支持する複数個の回転コマと、前記ウエハ回転駆動手段からの回転駆動力を少なくとも一つ以上の前記回転コマに伝達する動力伝達機構と、を備える、ウエハの回転保持装置を提供する。

この構成によれば、ウエハのサイズに応じたアタッチメントユニットを用意しておく。そして、ウエハのサイズ変更を行うときには、ウエハのサイズに応じたアタッチメントユニットをウエハ回転駆動手段にカップリング手段を介して交換着脱自在に連結して取り付ける。すると、アタッチメントユニットの交換だけでウエハのサイズに対応した回転保持装置に変更することができる。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の構成において、前記カップリング手段は、凹部を有する第１回転体と、前記凹部に着脱可能に嵌入係合される凸部を有して前記第１回転体と一体に回転する第２回転体と、を備え、前記第１回転体と前記第２回転体との連結を介して前記ウエハ回転駆動手段の回転を前記動力伝達機構側に伝達する、ウエハの回転保持装置を提供する。

この構成によれば、カップリング手段における第１回転体の凹部と第２回転体の凸部とを互いに嵌入係合させると、第１回転体と第２回転体との連結を介して、装置本体側におけるウエハ回転駆動手段の駆動力をアタッチメントユニット側の動力伝達機構に伝達させて、ウエハ回転駆動手段の駆動力で回転コマを回転させることができるとともに、回転コマとウエハとの間に発生する摩擦力で回転コマと一体にウエハを水平回転させることができる。

請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の構成において、前記ウエハ回転駆動手段は、前記１対のアタッチメントユニットの中、少なくとも一方の前記アタッチメントの向きを軸回り方向に調整可能な向き調整手段をさらに備える、ウエハの回転保持装置を提供する。

この構成によれば、規定の位置の略中心を挟んで正対する位置に配置される１対のアタッチメントユニットの向きが互いにずれているとき、少なくとも一方のアタッチメントユニットの向きを軸回り方向に調整すると、１対のアタッチメントユニットの向きのずれを簡単に調整することができる。

請求項４に記載の発明は、請求項１から３までのいずれか１項に記載の構成において、前記ウエハ回転駆動手段は、前記１対のアタッチメントユニットの中、少なくとも一方の前記アタッチメントの高さ位置を上下方向に調整可能な高さ調整手段をさらに備える、ウエハの回転保持装置を提供する。

この構成によれば、規定の位置の略中心を挟んで正対する位置に配置される１対のアタッチメントユニットの高さ位置が互いにずれているとき、少なくとも一方のアタッチメントユニットの高さ位置を上下方向に調整すると、１対のアタッチメントユニットの高さ位置のずれを簡単に調整することができる。

請求項５に記載の発明は、請求項１から４までのいずれか１項に記載の構成において、前記ウエハ回転駆動手段は、前記１対のアタッチメントユニットの中、前記ウエハが前記規定の位置に搬入・排出される側に配置されている前記アタッチメントユニットを、前記ウエハの搬入・搬出時の妨げにならない下側の位置へ移動退避可能な昇降手段を設けた、ウエハの回転保持装置を提供する。

この構成によれば、ウエハを規定の位置に搬入・搬出するとき、アタッチメントユニットを、ウエハの搬入・搬出時の妨げにならない下側の位置へ移動退避させておくので、ウエハの搬入・搬出を安全、かつ迅速に行うことができる。

請求項６に記載の発明は、請求項１から５までのいずれか１項に記載の構成において、前記１対のアタッチメントユニットの前記複数個の回転コマの中、少なくとも１つの前記回転コマの位置を、前記ウエハの径に合わせて移動調整可能な位置調整手段をさらに備える、ウエハの回転保持装置を提供する。

この構成によれば、１対のアタッチメントユニットを取り付けた状態で、回転コマと規定の位置に配置されているウエハの外径との間にずれがあるとき、位置調整手段により回転コマの位置を規定の位置の略中心から放射方向に調整すると、簡単に回転コマの位置をウエハの外径と一致させることができる。これにより、作業性が向上する。

請求項７に記載の発明は、請求項１から６までのいずれか１項に記載の構成において、前記１対のアタッチメントユニットの前記複数個の回転コマの中、少なくとも１つの前記回転コマは前記動力伝達機構と切り離された遊動の前記回転コマであり、更に前記遊動の回転コマの回転を検出する回転検知センサーを備える、ウエハの回転保持装置を提供する。

請求項８に記載の発明は、請求項１から６までのいずれか１項に記載の構成において、前記１対のアタッチメントユニットの正対する向きと高さ位置の調整を行う調整治具を更に備えている、ウエハの回転保持装置を提供する。

この構成に寄れば、調整治具を使用すると、１対のアタッチメントユニットの向きと高さ位置が簡単に定まり、この状態で１対のアタッチメントユニットを固定すると、１対のアタッチメントユニットをそれぞれ正しい向き及び高さにして設置することができる。

請求項９に記載の発明は、請求項１から８までのいずれか１項に記載の構成において、前記ウエハ回転駆動手段は、前記ウエハ回転駆動手段の軸の回りにそれぞれ配置された、前記ウエハ回転駆動手段の回転時に前記ウエハ回転駆動手段の内部に前記ウエハの処理水が浸入するのを封止する回転用ラビリンスと前記ウエハ回転駆動手段の揺動時に前記ウエハ回転駆動手段の内部に前記ウエハの前記処理水が浸入するのを封止する揺動用ラビリンスとをさらに備える、ウエハの回転保持装置を提供する。

この構成によれば、軸受や歯車などの潤滑油に異物が浸入しないように、または潤滑が漏れないように、モータの回転を伝達する主回転軸の回りをシールする部品であるラビリンスを、回転用ラビリンスと揺動用ラビリンスとの二つの部品に分けてそれぞれ主回転軸の回りに配置しているので、ラビリンスを小型化して、装置全体の小型化に寄与する。

本発明によれば、ウエハのサイズに対応した複数のアタッチメントユニットを用意しておき、ウエハのサイズ変更を行うとき、ウエハのサイズに応じたアタッチメントユニットをカップリング手段を介してウエハ回転駆動手段に取り付けると、アタッチメントユニットの交換だけで、ウエハのサイズに応じた回転保持装置として簡単に変更をすることができる。これにより、作業性の向上などが期待できる。

本発明の実施の形態に係る実施例として示すウエハの回転保持装置を示し、（Ａ）はその回転保持装置の平面図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ－Ｂ線に相当する箇所において、正対する回転コマの間にウエハの外形が載置されている状態を示す側面図、（Ｃ）は同上回転保持装置で使用している回転コマの側面図である。 同上回転保持装置を、ウエハが搬入されて来る前の状態で示している斜視図である。 同上回転保持装置を、１対のアタッチメントユニットを取り外した状態で上方より見た分解斜視図である。 同上回転保持装置を、１対のアタッチメントユニットを取り付ける前の状態で下方より見た斜視図である。 同上回転保持装置における１対のアタッチメントを示し、（Ａ）は第１アタッチメントユニットを下面側から見た斜視図、（Ｂ）は第２アタッチメントユニットを下面側から見た斜視図である。 同上ウエハの回転保持装置における芯合わせ機構を説明する図で、（Ａ）は芯合わせ前の状態を示した斜視図、（Ｂ）は第１の芯合わせ用治具を取り付けた状態を示した斜視図、（Ｃ）は第２芯合わせ用治具を取り付けた状態を示した斜視図、（Ｄ）は高さ調整機構を示した斜視図、（Ｅ）は回転方向調整機構を示した斜視図である。 同上ウエハの回転保持装置における回転検知センサーの周辺構造を示す斜視図で、（Ａ）は回転検知センサーを取り付けた状態で示す斜視図、（Ｂ）は回転検知センサーを分解した状態で示す斜視図である。 同上回転保持装置におけるラビリンス構造を説明する側面図である。

本発明は、ウエハのサイズ変更に対して柔軟に対応することができ、作業性の向上と設備費用の低減を図り、コスト低減を可能にするウエハの回転保持装置を提供するという目的を達成するために、ウエハの外形部分を基準にして、前記ウエハを規定の位置に回転可能に保持するウエハの回転保持装置であって、装置本体と、前記装置本体に取り付けられ、前記ウエハを水平回転させる駆動力を供給するウエハ回転駆動手段と、前記規定の位置の略中心を挟んで対向する位置にそれぞれ交換可能に配置される少なくとも１対のアタッチメントユニットと、前記ウエハ回転駆動手段と前記アタッチメントユニットとの間を交換着脱自在に連結するカップリング手段と、を有し、前記１対のアタッチメントユニットは、前記規定の位置の略中心から放射方向に延びる位置にそれぞれ配置されて前記ウエハの前記外形部分を回転可能に支持する複数個の回転コマと、前記ウエハ回転駆動手段からの回転駆動力を少なくとも一つ以上の前記回転コマに伝達する動力伝達機構と、を備える、構成としたことにより実現した。

以下、本発明の実施形態に係る一実施例を添付図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の実施例において、構成要素の数、数値、量、範囲等に言及する場合、特に明示した場合及び原理的に明らかに特定の数に限定される場合を除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも構わない。

また、構成要素等の形状、位置関係に言及するときは、特に明示した場合及び原理的に明らかにそうでないと考えられる場合等を除き、実質的にその形状等に近似又は類似するもの等を含む。

また、図面は、特徴を分かり易くするために特徴的な部分を拡大する等して誇張する場合があり、構成要素の寸法比率等が実際と同じであるとは限らない。また、断面図では、構成要素の断面構造を分かり易くするために、一部の構成要素のハッチングを省略することがある。

また、以下の説明において、上下や左右等の方向を示す表現は、絶対的なものではなく、本発明のウエハの回転保持装置の各部が描かれている姿勢である場合に適切であるが、その姿勢が変化した場合には姿勢の変化に応じて変更して解釈されるべきものである。また、実施例の説明の全体を通じて同じ要素には同じ符号を付している。

図１乃至図４は本発明に係るウエハの回転保持装置１０（以下、単に「回転保持装置１０」という）の全体構成を示すものである。そして、図１の（Ａ）は回転保持装置１０の平面図、（Ｂ）は（Ａ）のＢ－Ｂ線に相当する箇所において、正対する回転コマ２４間にウエハＷの外形が載置されている状態を示す側面図、（Ｃ）は回転保持装置１０で使用している回転コマ２４の側面図である。図２は回転保持装置１０をウエハＷが搬入されて来る前の状態で示している斜視図、図３は回転保持装置１０を、１対のアタッチメントユニット１３を取り外した状態で上方より見た斜視図、図４は回転保持装置１０を、１対のアタッチメントユニット１３を取り付けていない状態で下方より見た斜視図である。なお、ウエハＷは、例えば直径が４インチ、６インチ、８インチのもので、回転保持装置１０では、後述する１対のアタッチメントユニット１３を交換することにより異なる直径をしたウエハＷの使用を可能にする。

図１乃至図４において、回転保持装置１０は、被処理体としてのウエハＷをロボット（図示せず）により搬入及び搬出する半導体製造装置における搬入・搬出部に設けられている。回転保持装置１０は、搬入・搬出部に固定して設置される装置本体１１を有している。装置本体１１には、ウエハ回転保持手段１４が取り付けられている。

ウエハ回転保持手段１４は、図２及び図４に示すように。ウエハＷが配置される図１の（Ａ）に示す装置本体１１上における規定の位置の中心Ｏを挟んで正対する位置にそれぞれ配設される、第１ウエハ回転保持手段１４Ａと第２ウエハ回転保持手段１４Ｂとでなる。なお、第１ウエハ回転保持手段１４Ａと第２ウエハ回転保持手段１４Ｂは、位置を特定する必要が無い限り、第１ウエハ回転保持手段１４Ａと第２ウエハ回転保持手段１４Ｂとに区別することなく、１対のウエハ回転保持手段１４として説明する。したがって、以下の説明において１対のウエハ回転保持手段１４として説明した場合は、第１ウエハ回転保持手段１４Ａと第２ウエハ回転保持手段１４Ｂの両方を説明していると理解してもらいたい。

１対のウエハ回転保持手段１４は、それぞれ円筒状をした支柱１５を有している。各支柱１５は、装置本体１１を上下に貫通して、装置本体１１に垂直に保持されている。また、第１ウエハ回転保持手段１４Ａ側の支柱１５は、フランジ１５Ａと向き調整手段としての固定ボルト２９を介して装置本体１１に取り付けてある。なお、第１ウエハ回転保持手段１４Ａ側の支柱１５は、固定ボルト２９の締め付けを緩めることにより、支柱１５の軸回り回転させ、後述するユニット取付部材１７の向きを調整することができるようになっている。第２ウエハ回転保持手段１４Ｂ側の支柱１５の位置は、昇降手段としてのラック機構１６を介して装置本体１１に対して垂直方向、すなわち上下移動可能に取り付けられている。装置本体１１の上側において、第１ウエハ回転保持手段１４Ａの支柱１５の上端と第２ウエハ回転保持手段１４Ｂの上端には、それぞれユニット取付部材１７が支柱１５に固定されて設けられている。また、ユニット取付部材１７の上部は水平に折り曲げられて、それぞれ１対のユニット取付座脚１７Ａと１対のユニット取付座脚１７Ｂが形成されている。なお、第１ウエハ回転保持手段１４Ａ側の１対のユニット取付座脚１７Ａと第２ウエハ回転保持手段１４Ｂ側の１対のユニット取付座脚１７Ｂの位置は、上記規定の位置の中心Ｏを挟んで略対称な位置に設けられている。また、各ユニット取付座脚１７Ａと各ユニット取付座脚１７Ｂには、上下に貫通している固定用のねじ孔１８が設けられている。

１対のウエハ回転保持手段１４の支柱１５内には、それぞれ支柱１５を貫通して回転軸１９が回転可能に配置されている。各回転軸１９の下端側にはウエハ回転駆動手段としての駆動用モータ２０が取り付けられており、駆動用モータ２０の駆動力を各回転軸１９が受けて、各回転軸１９が所定の速度で回転するようになっている。一方、回転軸１９の上端側には、後述するカップリング手段２１を構成する第１回転体としての下側カップリング部材２１Ａが、ユニット取付部材１７の略中央に位置し、かつユニット取付部材１７の上面から上側に向かって垂直に突出した状態にして取り付けられている。なお、下側カップリング部材２１Ａの高さは、１対のユニット取付座脚１７Ｂの高さと等しいか、それよりも若干低く設定されている。下側カップリング部材２１Ａは、回転軸１９と一体に回転する。下側カップリング部材２１Ａには、上面から外側面に亘り、下方に向かってスリット状に切り込まれた１対の連結用凹部２１Ｃが形成されている。

１対のアタッチメントユニット１３は、第１ウエハ回転保持手段１４Ａの上端側に交換着脱自在に取り付けられる第１アタッチメントユニット１３Ａと第２ウエハ回転保持手段１４Ｂの上端側に交換着脱自在に取り付けられる第２アタッチメントユニット１３Ｂとでなる。なお図５には、（Ａ）に第１アタッチメントユニット１３Ａを、（Ｂ）に第２アタッチメントユニット１３Ｂを、それぞれ下面側から見た斜視図を示している。また、第１アタッチメントユニット１３Ａと第２アタッチメントユニット１３Ｂは、位置を特定する必要が無い限り、第１アタッチメントユニット１３Ａと第２アタッチメントユニット１３Ｂとに区別することなく、１対のアタッチメントユニット１３として説明する。したがって、以下の説明において１対のアタッチメントユニット１３として説明した場合は、第１アタッチメントユニット１３Ａと第２アタッチメントユニット１３Ｂの両方を説明していると理解してもらいたい。

次に図１乃至図４に図５を加えて、１対のアタッチメントユニット１３の構成を説明すると、第１アタッチメントユニット１３Ａの構成について説明する。第１アタッチメントユニット１３Ａは、ユニット取付座脚１７Ａに固定ボルト２５で固定されるベース板２２Ａを有し、第２アタッチメントユニット１３Ｂは、ユニット取付座脚１７Ｂに固定ボルト２５で固定されるベース板２２Ｂを有している。ベース板２２Ａは、ユニット取付部材１７のユニット取付座脚１７Ａのねじ孔１８と対応する位置に、ベース板２２Ａの表面（上面）側からねじ孔１８に固定ボルト２５を螺合させて、ベース板２２Ａをユニット取付座脚１７Ａに固定するための取付孔（図示せず）を有し、ベース板２２Ｂは、ユニット取付部材１７のユニット取付座脚１７Ｂのねじ孔１８と対応する位置に、ベース板２２Ｂの表面側からねじ孔１８に固定ボルト２５を螺合させて、ベース板２２Ｂをユニット取付座脚１７Ｂに固定するための取付孔（図示せず）を有している。

ベース板２２Ａの裏面（下面）側には、第１ウエハ回転保持手段１４Ａの下側カップリング部材２１Ａと着脱可能に直結合される上側カップリング部材２１Ｂを有する動力伝達機構２３Ａが設けられ、ベース板２２Ｂの裏面（下面）側には、第２ウエハ回転保持手段１４Ｂの第１回転体としての下側カップリング部材２１Ａと着脱可能に直結合される第２回転体としての上側カップリング部材２１Ｂを有する動力伝達機構２３Ｂが設けられている。一方、ベース板２２Ａの表面（上面）側には、複数個の回転コマ２４（本実施例では、第１回転コマ２４Ａ１、第２回転コマ２４Ａ２、第３回転コマ２４Ａ３の３個の回転コマ２４）が設けられ、ベース板２２Ｂの表面（上面）側には、複数個の回転コマ２４（本実施例では、第４回転コマ２４Ｂ４、第５回転コマ２４Ｂ５、第６回転コマ２４Ｂ６の３個の回転コマ２４）が設けられている。

動力伝達機構２３Ａは、ベース板２２Ａが固定ボルト２５でユニット取付座脚１７Ａに固定して取り付けられた状態において、下側カップリング部材２１Ａと対応する位置に配置される第１平歯車２３Ａ１と、第１平歯車２３Ａ１と噛合配置された第２平歯車２３Ａ２及び第３平歯車２３Ａ３と、第２平歯車２３Ａ２と噛合配置され第４平歯車２３Ａ４と、第３平歯車２３Ａ３と噛合配置された第５平歯車２３Ａ５とを有している。これら第１平歯車２３Ａ１、第２平歯車２３Ａ２、第３平歯車２３Ａ３、第４平歯車２３Ａ４、第５平歯車２３Ａ５は、それぞれベース板２２Ａに回転可能に取り付けられている。また、第１平歯車２３Ａ１の下面側には、下側カップリング部材２１Ａの連結用凹部２１Ｃに着脱自在に嵌入係合可能な連結用凸部２１Ｄを有する上側カップリング部材２１Ｂが設けられている。第１ウエハ回転保持手段１４Ａにおける上側カップリング部材２１Ｂは、ベース板２２Ａがユニット取付座脚１７Ａに固定ボルト２５で所定の状態に固定されたとき、連結用凸部２１Ｄが連結用凹部２１Ｃに嵌入係合されてカップリング手段２１によるカップリング連結が成立し、回転軸１９側の回転を第１平歯車２３Ａ１に伝達して、第１平歯車２３Ａ１を回転させることができる。

また、第１平歯車２３Ａ１と第２平歯車２３Ａ２と第３平歯車２３Ａ３の回転軸は、それぞれベース板２２Ａを貫通してベース板２２Ａの上面側に突出している。そして、ベース板２２Ａの上面側において、第１平歯車２３Ａ１と同じ回転軸２６Ａ１に第１回転コマ２４Ａ１が一体回転可能固定され、さらに第２平歯車２３Ａ２と同じ回転軸２６Ａ２に第２回転コマ２４Ａ２が、第３平歯車２３Ａ３と同じ回転軸２６Ａ３に第３回転コマ２４Ａ３が、それぞれ一体回転可能固定されている。また、これら第１回転コマ２４Ａ１と第２回転コマ２４Ａ２と第３回転コマ２４Ａ３は、ベース板２２Ａがユニット取付座脚１７Ａに固定ボルト２５で固定して取り付けられた状態において、ウエハＷが図１の（Ａ）に示す装置本体１１上における規定の位置に配置された時、ウエハＷの外周縁と接する位置に配設される。なお、これら第１回転コマ２４Ａ１と第２回転コマ２４Ａ２と第３回転コマ２４Ａ３の中、真ん中の第１回転コマ２４Ａ１は、位置調整手段としての調整ねじ２８Ａの締め付け力を一時的に緩めることにより、図１の（Ａ）に示す装置本体１１上における規定の位置の中心Ｏに対して放射方向に位置を移動調整できるようになっている。この移動調整により、ウエハＷと回転コマ２４との間の製造誤差等を吸収する。

次に、第２アタッチメントユニット１３Ｂの構成について説明する。動力伝達機構２３Ｂは、ベース板２２Ｂが固定ボルト２５でユニット取付座脚１７Ｂに固定して取り付けられた状態において、下側カップリング部材２１Ａと対応する位置に配置される第６平歯車２３Ｂ６と、第６平歯車２３Ｂ６と噛合配置された第７平歯車２３Ｂ７と、第７平歯車２３Ｂ７と噛合配置された第８平歯車２３Ｂ８と、何れの歯車とも噛合していない遊動の平歯車である第９平歯車２３Ｂ９とを有している。これら第６平歯車２３Ｂ６、第７平歯車２３Ｂ７、第８平歯車２３Ｂ８、第９平歯車２３Ｂ９は、それぞれベース板２２Ｂに回転可能に取り付けられている。また、第６平歯車２３Ｂ６の下面側には、下側カップリング部材２１Ａの連結用凹部２１Ｃに着脱自在に嵌入係合可能な連結用凸部２１Ｄを有する上側カップリング部材２１Ｂが設けられている。第２ウエハ回転保持手段１４Ｂにおける上側カップリング部材２１Ｂは、ベース板２２Ｂがユニット取付座脚１７Ａに固定ボルト２５で所定の状態に固定されたとき、連結用凸部２１Ｄが連結用凹部２１Ｃに嵌入係合されてカップリング手段２１によるカップリング連結が成立し、回転軸１９側の回転を第６平歯車２３Ｂ６に伝達して、第６平歯車２３Ｂ６を回転させることができる。

また、第６平歯車２３Ｂ６と第８平歯車２３Ｂ８と第９平歯車２３Ｂ９の回転軸２６Ｂ６、２６Ｂ８，２６Ｂ９は、それぞれベース板２２Ｂを貫通してベース板２２Ｂの上面側に突出している。そして、ベース板２２Ｂの上面側において、第６平歯車２３Ｂ６と同じ回転軸２６Ｂ６に第４回転コマ２４Ｂ４が一体回転可能に固定され、さらに第８平歯車２３Ｂ８と同じ回転軸２６Ｂ８に第５回転コマ２４Ｂ５が、第９平歯車２３Ｂ９と同じ回転軸２６Ｂ９に第６回転コマ２４Ｂ６が、それぞれ一体回転可能に固定されている。また、これら第４回転コマ２４Ｂ４と第５回転コマ２４Ｂ５、及び第６回転コマ２４Ｂ６は、ベース板２２Ｂがユニット取付座脚１７Ｂに固定ボルト２５で固定して取り付けられた状態において、ウエハＷが図１の（Ａ）に示す装置本体１１上における規定の位置に配置された時、ウエハＷの外周縁と接する位置に配設される。なお、これら第４回転コマ２４Ｂ４と第５回転コマ２４Ｂ５と第６回転コマ２４Ｂ６の中、真ん中の第４回転コマ２４Ｂ４は、位置調整手段としての調整ねじ２８Ｂの締め付け力を一時的に緩めることにより、図１の（Ａ）に示す装置本体１１上における規定の位置の中心Ｏに対して放射方向に位置を移動調整できるようになっている。

なお、第１回転コマ２４Ａ１、第２回転コマ２４Ａ２、第３回転コマ２４Ａ３、第４回転コマ２４Ｂ４、第５回転コマ２４Ｂ５、及び、第６回転コマ２４Ｂ６は、略同じ形状構造をした回転コマ２４として形成されている。その回転コマ２４の形状構造を説明すると、回転コマ２４は、図１の（Ｃ）に示すように、外周面に断面概略Ｖの字状をした周回溝２７を有している。また、周回溝２７の下側の溝面２７Ａの外径は、上側の溝面２７Ｂの外径よりも大きく形成されている。そして、６つの回転コマ２４は、図１の（Ａ）に示すように、装置本体１１上における規定の位置にウエハＷが配置されたとき、図１の（Ｂ）に示すように、各回転コマ２４における周回溝２７の溝面２７ＡでウエハＷの外周下面を受けて保持できるようになっている。また、回転コマ２４が同じ方向に回転されると、回転コマ２４とウエハＷとの間の摩擦力で回転コマ２４による回転送りがなされ、ウエハＷは中心Ｏを略回転支点にして水平回転するようになっている。

そして、本実施例の回転保持装置１０で使用できるアタッチメントユニット１３は１種類だけでなく、ウエハＷの大きさに応じた、例えば直径が４インチ用のアタッチメントユニット１３、６インチ用のアタッチメントユニット１３、８インチ用のアタッチメントユニット１３の３種類を用意しておき、ウエハＷの大きさに応じてアタッチメントユニット１３を交換することにより、同じ回転保持装置１０を使用することができる。すなわち、直径が４インチ用のアタッチメントユニット１３、６インチ用のアタッチメントユニット１３、８インチ用のアタッチメントユニット１３のそれぞれのアタッチメントユニット１３の上側カップリング部材２１Ｂは、下側カップリング部材２１Ａに対応している。そして、使用するサイズに対応したアタッチメントユニット１３の上側カップリング部材２１Ｂを、装置本体１１側の下側カップリング部材２１Ａに対応させて、連結用凹部２１Ｃに連結用凸部２１Ｄを嵌入係合させると、駆動用モータ２０で回転される回転軸１９とアタッチメントユニット１３側の動力伝達機構２３Ａ及び動力伝達機構２３Ｂとの間の動力連結がなされる。そして、回転軸１９の回転を動力伝達機構２３Ａ及び動力伝達機構２３Ｂにそれぞれ伝達させて交換取付後のアタッチメントユニット１３の回転コマ２４を回転軸１９の回転に応じた回転速度で回転させることができる。なお、上側カップリング部材２１Ｂと下側カップリング部材２１Ａとの連結後は、ユニット取付座脚１７Ａとベース板２２Ａとの間と、ユニット取付座脚１７Ｂとベース板２２Ｂとの間を、それぞれ固定ボルト２５で固定すると一体化される。

一方、交換したアタッチメントユニット１３側は、第１回転コマ２４Ａ１、第２回転コマ２４Ａ２、第３回転コマ２４Ａ３、第４回転コマ２４Ｂ４、第５回転コマ２４Ｂ５、及び、第６回転コマ２４Ｂ６の配置位置が、ウエハＷの直径の大きさに対応する位置ようにして作られている。すなわち、４インチ用のアタッチメントユニット１３の場合は、カップリング手段２１を介して取り付けると、第１回転コマ２４Ａ１、第２回転コマ２４Ａ２、第３回転コマ２４Ａ３、第４回転コマ２４Ｂ４、第５回転コマ２４Ｂ５、及び、第６回転コマ２４Ｂ６のそれぞれが、４インチのウエハＷの外径と対応する位置に配置される。６インチ用のアタッチメントユニット１３の場合は、カップリング手段２１を介して取り付けると、第１回転コマ２４Ａ１、第２回転コマ２４Ａ２、第３回転コマ２４Ａ３、第４回転コマ２４Ｂ４、第５回転コマ２４Ｂ５、及び、第６回転コマ２４Ｂ６のそれぞれが、６インチのウエハＷの外径と対応する位置に配置される。８インチ用のアタッチメントユニット１３の場合は、カップリング手段２１を介して取り付けると、第１回転コマ２４Ａ１、第２回転コマ２４Ａ２、第３回転コマ２４Ａ３、第４回転コマ２４Ｂ４、第５回転コマ２４Ｂ５、及び、第６回転コマ２４Ｂ６のそれぞれが、８インチのウエハＷの外径と対応する位置に配置される。なお、本実施例の場合では、ウエハＷの直径の大きさが４インチ、６インチ、８インチの場合を説明したが、これ以外の大きさのウエハＷにも対応できるものである。

したがって、本実施例における回転保持装置１０では、取り扱うウエハＷのサイズが異なる場合は、カップリング手段２１が共通化されているので、ウエハＷのサイズに合ったアタッチメントユニット１３と交換することにより、同じ装置を引き続き使用して直ぐに作業を行うことができる。これにより、作業性が向上し、生産性の向上にも寄与する。

なお、本実施例における回転保持装置１０では、１対のアタッチメントユニット１３を取り付ける前に、装置本体１１上における１対のウエハ回転保持手段１４の位置合わせ（芯合わせ調整）である、第１ウエハ回転保持手段１４Ａにおけるユニット取付座脚１７Ａの向きと第２ウエハ回転保持手段１４Ｂにおけるユニット取付座脚１７Ｂの向き、及び、高さ位置の調整作業を行う。

次に、芯合わせ作業について図６を用いて説明する。芯合わせ作業は、図６の（Ｃ）に示す１対の第１治具５１と、この１対の第１治具５１に跨がって配置する第２治具５２と、よりなる調整治具を使用して行う。また、芯合わせ作業時には、装置本体１１の裏面側（下側）で装置本体１１に固定されている、図６の（Ｅ）に示す第１ウエハ回転保持手段１４Ａ側における、支柱１５のフランジ１５Ａを固定している固定ボルト２９の締め付けを緩める。そして、支柱１５を、ユニット取付部材１７と共に支柱１５の軸回りに回転させて、ユニット取付部材１７の向きを調整し、調整後は固定ボルト２９を締め付けて再び固定することにより１対のアタッチメントユニット１３がそれぞれ取り付けられる、ユニット取付部材１７の向き調整を行うことができる。一方、ユニット取付部材１７の高さ位置の調整を行う場合は、図６の（Ａ）から（Ｄ）に示すように、第１ウエハ回転保持手段１４Ａ側におけるユニット取付部材１７にユニット取付座脚１７Ａを固定している固定ボルト３０の締め付けを緩める。そして、ユニット取付部材１７に対するユニット取付座脚１７Ａの高さ、すなわちユニット取付座脚１７Ｂに対する高さ位置を調整し、調整後は固定ボルト３０を締め付けて再び固定することにより高さ調整を行う。

次に、第１治具５１と第２治具５２の構成及び作用について更に説明する。第１治具は、１対の治具、すなわちユニット取付座脚１７Ａ上に取り付けられる第１治具５１Ａと、ユニット取付座脚１７Ｂ上に取り付けられる第１治具５１Ｂと、でなる。第１治具５１Ａには、ユニット取付座脚１７Ａ上の１対のねじ孔１８と対応する取付孔５３が形成されており、第１治具５１Ｂには、ユニット取付座脚１７Ｂ上の１対のねじ孔１８と対応する取付孔５３が形成されている。また、第１治具５１Ａと第１治具５１Ｂには相対向する面に、上面から側面に向かって略直角に切欠して形成した段部５４が設けられている。そして、調整に先立ち、１対の第１治具５１Ａと第１治具５１Ｂは、段部５４を互いに向かい合わせした状態で、また、取付孔５３をねじ孔１８に対応させて、第１治具５１Ａをユニット取付座脚１７Ａ上に配置するとともに、同じく第１治具５１Ｂをユニット取付座脚１７Ｂ上に配置し、更に固定ボルト（図示せず）を、取付孔５３を通ってねじ孔１８にそれぞれねじ止めし、第１治具５１Ａをユニット取付座脚１７Ａに固定するとともに、第１治具５１Ｂをユニット取付座脚１７Ｂに固定する。図６の（Ｂ）は、この状態を示している。

一方、第２治具５２は、図６の（Ｃ）に示すように、ユニット取付座脚１７Ａ上に取り付けられた第１治具５１Ａの段部５４とユニット取付座脚１７Ｂ上に取り付けられた第１治具５１Ｂの段部５４との間に跨がって配置される板状の部材である。また、第２治具５２の両端には、第１治具５１Ａの段部５４と密に係合される段部５５が設けられている。

そして、芯合わせ調整を行う場合は、図６の（Ｃ）に示すように、ユニット取付座脚１７Ａ上に取り付けられた第１治具５１Ａの段部５４とユニット取付座脚１７Ｂ上に取り付けられた第１治具５１Ａの段部５４との間に第２治具５２を、段部５４と段部５５を互いに嵌め合い結合させた状態で配置する。

すなわち、第１治具５１Ａをユニット取付座脚１７Ａに取り付けると共に、第１治具５１Ｂをユニット取付座脚１７Ｂに取り付けた状態で、第１ウエハ回転保持手段における支柱１５の回転を固定している向き調整手段としての固定ボルト２９を緩めて、図６の（Ｃ）に示すように、第２治具５２を第１治具５１Ａと第１治具５１Ｂに跨がらせて配置する。すると、第１ウエハ回転保持手段１４Ａにおける支柱１５の向きが第２ウエハ回転保持手段１４Ｂに対する向きがずれている場合には、第１ウエハ回転保持手段１４Ａにおける支柱１５を軸回り方向に回転させて、第１ウエハ回転保持手段１４Ａの向きを第２ウエハ回転保持手段１４Ｂの向きに合わせることができる。また、高さ調整手段としての固定ボルト３０を緩めて、第１ウエハ回転保持手段１４Ａにおけるユニット取付座脚１７Ａの高さ位置を、第２ウエハ回転保持手段１４Ｂにおけるユニット取付座脚１７Ｂの高さと同じになるように調整することができる。また、調整後は図６にそれぞれ示す固定ボルト２９及び固定ボルト３０を締め付けて固定することにより、調整状態を固定することができる。したがって、第１治具５１と第２治具５２を使用することにより、第１ウエハ回転保持手段１４Ａの向きと第２ウエハ回転保持手段１４Ｂの向きを同時に調整できるとともに、第１ウエハ回転保持手段１４Ａにおけるユニット取付座脚１７Ａの高さと第２ウエハ回転保持手段１４Ｂのユニット取付座脚１７Ｂの高さを簡単に調整することができる。なお、上記実施例の場合では、第１ウエハ回転保持手段１４Ａ側だけを調整して、向き及び高さを第２ウエハ回転保持手段１４Ｂ側に合わせる場合について説明したが、第１ウエハ回転保持手段１４Ａだけでなく、第２ウエハ回転保持手段１４Ｂの向き及び高さも同時に調整するように構成しても良いことは勿論のことである。

また、本実施例における回転保持装置１０では、第１回転コマ２４Ａ１と第４回転コマ２４Ｂ４は、位置調整手段としての調整ねじ２８Ａ及び調整ねじ２８Ｂの締め付け力を一時的に緩めて、図１の（Ａ）に示す装置本体１１上における規定の位置の中心Ｏに対して放射方向に、それぞれ位置を図１の（Ｂ）中の矢印Ｓ方向に移動させて調整することができるので、ウエハＷの外周縁と回転コマ２４における周回溝２７の下側の溝面２７Ａとの微少な位置ずれは、第１回転コマ２４Ａ１と第４回転コマ２４Ｂ４の位置を、中心Ｏに対して各々微少量だけ移動させることにより調整することができる。

また、本実施例における回転保持装置１０では、ウエハＷの搬入・排出側となる第２ウエハ回転保持手段１４Ｂ側の支柱１５は、昇降手段としてのラック機構１６により上下方向に昇降移動可能に構成されており、ウエハＷの搬入・排出時には搬入・搬出の邪魔にならない位置まで第２アタッチメントユニット１３Ｂと共に一時的に下降させ、ウエハＷの搬入後に所定の位置まで上昇するようにしているので、ウエハＷの搬入・搬出が容易にでき、作業性が向上し、生産性の向上に寄与する。なお、昇降手段はラック機構１６に限らず、第２アタッチメントユニット１３Ｂと共に支柱１５が上下方向に昇降できる構造であればこれ以外の構造、例えば電磁機構などであってもよい。

また、本実施例における回転保持装置１０では、第２ウエハ回転保持手段１４Ｂにおける第２アタッチメントユニット１３Ｂの動力伝達機構２３Ｂの第９平歯車２３Ｂ９を何れの歯車とも噛合していない遊動の平歯車として配設している。そして、第９平歯車２３Ｂ９の回転軸２６Ｂ９には、動力伝達機構２３Ｂと切り離された遊動の回転コマとしての、第６回転コマ２４Ｂ６を一体回転可能に固定している。さらに、図７に示すように第６回転コマ２４Ｂ６の回転軸２６Ｂ９と隣接した位置には、回転軸２６Ｂ９と並置した状態にして回転検知センサー３２を設けている。回転検知センサー３２は、第６回転コマ２４Ｂ６及び回転軸２６Ｂ９と一体に回転する第９平歯車２３Ｂ９の外周面の一部に埋め込まれた磁石３２Ａと、第９平歯車２３Ｂ９に隣接してベース板２２Ｂの側面に取付ねじ５６で取り付けられたマグネットセンサー３２Ｂとでなる。なお、磁石３２Ａを設ける箇所は、第９平歯車２３Ｂ９の外周面に変えて回転軸２６Ｂ９の外周面等、第６回転コマ２４Ｂと一体に回転する箇所であれば、何れの箇所でもよい。また、マグネットセンサー３２Ｂは、アンテナ装置３２Ｃを備え、マグネットセンサー３２Ｂで検出された信号を外部に送信することができる。また、マグネットセンサー３２Ｂの外周はフッ素樹脂製の熱収縮チューブにて覆い、ウエハＷを研削した後に、その研削面を洗浄してウエハＷの研削面等に付着したコンタミネーションを除去するための洗浄処理工程等で使用する場合等を考慮し、洗浄水等の影響を受けないように耐薬性を付与している。

本実施例の回転保持装置１０における回転検知センサー３２の機能を説明する。回転検知センサー３２は、装置本体１１上の規定の位置にウエハＷが配置されているかを検出するためのものである。すなわち、第１回転コマ２４Ａ１、第２回転コマ２４Ａ２、第３回転コマ２４Ａ３、第４回転コマ２４Ｂ４、第５回転コマ２４Ｂ５、及び、第６回転コマ２４Ｂ６の、６つの回転コマ２４は、図１の（Ａ）に示すように、装置本体１１上における規定の位置にウエハＷが配置されたとき、図１の（Ｂ）に示すように、各回転コマ２４における周回溝２７の溝面２７ＡでウエハＷの外周下面を受けて保持している。そして、回転コマ２４が同じ方向に回転されると、回転コマ２４とウエハＷとの間の摩擦力で、回転コマ２４によるウエハＷの回転送りがなされ、ウエハＷは中心Ｏを回転支点として水平回転するようになっている。したがって、ウエハＷが装置本体１１上の規定の位置に配置されているとき、駆動用モータ２０で回転される回転軸１９とアタッチメントユニット１３側の動力伝達機構２３Ａ及び動力伝達機構２３Ｂがそれぞれ回転されると、第１回転コマ２４Ａ１、第２回転コマ２４Ａ２、第３回転コマ２４Ａ３、第４回転コマ２４Ｂ４、第５回転コマ２４Ｂ５、及び、第６回転コマ２４Ｂ６の６つの回転コマ２４の全てが回転する。よって、外周面に磁石３２Ａを埋め込んでいる第６回転コマ２４Ｂ６が磁石３２Ａと共に回転し、このマグネットセンサー３２Ｂからは周期的な信号（パルス信号）が得られ、これがアンテナ装置３２Ｃを介して外部に送られ、この信号を受信した制御部（図示せず）では、装置本体１１上の規定の位置にウエハＷが配置されていることが分かる。

これに対して、装置本体１１上における規定の位置にウエハＷが配置されていないとき、駆動用モータ２０で回転される回転軸１９とアタッチメントユニット１３側の動力伝達機構２３Ａ及び動力伝達機構２３Ｂが回転されると、第１回転コマ２４Ａ１、第２回転コマ２４Ａ２、第３回転コマ２４Ａ３、第４回転コマ２４Ｂ４、第５回転コマ２４Ｂ５の５つの回転コマ２４は回転するが、動力伝達機構２３Ｂと切り離されている遊動の第６回転コマ２４Ｂ６は回転しない。すなわち、外周面に磁石３２Ａを埋め込んでいる第６回転コマ２４Ｂ６の回転軸２６Ｂ９が回転しないので、マグネットセンサー３２Ｂからの周期的な信号（バルス信号）は得られず、制御部では装置本体１１上の規定の位置にウエハＷが配置されていないことを知ることができる。したがって、制御部ではウエハＷに対する所定の動作を停止し、必要な処理を指示することにより、不必要な駆動、例えば洗浄液の噴霧などの動作を事前に停止することができる。

また、本実施例における回転保持装置１０では、ウエハＷを研削した後に、その研削面を洗浄してウエハＷの研削面等に付着したコンタミネーションを除去するための洗浄処理工程等で使用する場合、支柱１５と回転軸１９との間に侵入する処理水の封止や、逆に支柱１５と回転軸１９との間を通って回転保持装置１０内に吹き出す処理水等の封止、すなわちラビリンスが必要となることが知られている。また、回転保持装置１０のウエハ回転保持手段１４の部分におけるラビリンスでは、揺動時における封止を行う揺動用ラビリンスと、回転時における封止を行う回転用ラビリンスと、が必要になる。しかし、従来の回転保持装置では、揺動用ラビリンスと回転用ラビリンスとを兼用して、封止を一箇所で行っていた。しかし、本実施例における回転保持装置１０では、回転軸１９の回転時に支柱１５と回転軸１９との間に流れ込む処理水の侵入を妨げる回転用ラビリンス４１と、回転軸１９の揺動時に支柱１５と回転軸１９との間等に流れ込む処理水の侵入を妨げる揺動用ラビリンス４２を別々に形成して、支柱１５と回転軸１９の異なる位置に各々設けることにより、ラビリンスの小型化を可能にする構造にしている。図８の（Ａ）は回転保持装置１０に回転用ラビリンス４１と揺動用ラビリンス４２をそれぞれ組み込んだ位置を示し、図８の（Ｂ）では回転用ラビリンス４１と揺動用ラビリンス４２の配置を模式的に記している。回転用ラビリンス４１及び揺動用ラビリンス４２は、共に略管状体として形成されて、それぞれ支柱１５の外周部及び支柱１５の外周部に、処理水の侵入を妨げるようにして配置されている。

なお、本発明は、本発明の精神を逸脱しない限り種々の改変を成すことができ、そして、本発明が該改変されたものに及ぶことは当然である。

１０ ：回転保持装置
１１ ：装置本体
１３ ：アタッチメントユニット
１３Ａ ：第１アタッチメントユニット
１３Ｂ ：第２アタッチメントユニット
１４ ：ウエハ回転保持手段
１４Ａ ：第１ウエハ回転保持手段
１４Ｂ ：第２ウエハ回転保持手段
１５ ：支柱
１５Ａ ：フランジ
１６ ：ラック機構（昇降手段）
１７ ：ユニット取付部材
１７Ａ ：ユニット取付座脚
１７Ｂ ：ユニット取付座脚
１８ ：ねじ孔
１９ ：回転軸
２０ ：駆動用モータ（ウエハ回転駆動手段）
２１ ：カップリング手段
２１Ａ ：下側カップリング部材（第１回転体）
２１Ｂ ：上側カップリング部材（第２回転体）
２１Ｃ ：連結用凹部
２１Ｄ ：連結用凸部
２２Ａ ：ベース板
２２Ｂ ：ベース板
２３Ａ ：動力伝達機構
２３Ａ１ ：第１平歯車
２３Ａ２ ：第２平歯車
２３Ａ３ ：第３平歯車
２３Ａ４ ：第４平歯車
２３Ａ５ ：第５平歯車
２３Ｂ ：動力伝達機構
２３Ｂ６ ：第６平歯車
２３Ｂ７ ：第７平歯車
２３Ｂ８ ：第８平歯車
２３Ｂ９ ：第９平歯車
２４ ：回転コマ
２４Ａ１ ：第１回転コマ
２４Ａ２ ：第２回転コマ
２４Ａ３ ：第３回転コマ
２４Ｂ４ ：第４回転コマ
２４Ｂ５ ：第５回転コマ
２４Ｂ６ ：第６回転コマ（遊動の回転コマ）
２５ ：固定ボルト
２６Ａ１ ：回転軸
２６Ａ２ ：回転軸
２６Ａ３ ：回転軸
２６Ｂ６ ：回転軸
２６Ｂ８ ：回転軸
２６Ｂ９ ：回転軸
２７ ：周回溝
２７Ａ ：溝面
２７Ｂ ：溝面
２８Ａ ：調整ねじ（位置移動手段）
２８Ｂ ：調整ねじ（位置移動手段）
２９ ：固定ボルト（向き調整手段）
３０ ：固定ボルト（高さ調整手段
３２ ：回転検知センサー
３２Ａ ：磁石
３２Ｂ ：マグネットセンサー
３２Ｃ ：アンテナ装置
４１ ：回転用ラビリンス
４２ ：揺動用ラビリンス
５１ ：第１治具（調整治具）
５１Ａ ：第１治具（調整治具）
５１Ｂ ：第１治具
５２ ：第２治具
５３ ：取付孔
５４ ：段部
５５ ：段部
Ｏ ：中心
Ｓ ：矢印
Ｗ ：ウエハ

Claims (9)

1. ウエハの外形部分を基準にして、前記ウエハを規定の位置に回転可能に保持するウエハの回転保持装置であって、
   装置本体と、
   前記装置本体に取り付けられ、前記ウエハを水平回転させる駆動力を供給するウエハ回転駆動手段と、
   前記規定の位置の略中心を挟んで対向する位置にそれぞれ交換可能に配置される少なくとも１対のアタッチメントユニットと、
   前記ウエハ回転駆動手段と前記アタッチメントユニットとの間を交換着脱自在に連結するカップリング手段と、を有し、
   前記１対のアタッチメントユニットは、
   前記規定の位置の略中心から放射方向に延びる位置にそれぞれ配置されて前記ウエハの前記外形部分を回転可能に支持する複数個の回転コマと、
   前記ウエハ回転駆動手段からの駆動力を少なくとも一つ以上の前記回転コマに伝達する動力伝達機構と、を備える、
   ことを特徴とするウエハの回転保持装置。
2. 前記カップリング手段は、凹部を有する第１回転体と、前記凹部に着脱可能に嵌入係合される凸部を有して前記第１回転体と一体に回転する第２回転体と、を備え、前記第１回転体と前記第２回転体との連結を介して前記ウエハ回転駆動手段の前記駆動力を前記動力伝達機構側に伝達する、ことを特徴とする請求項１に記載のウエハの回転保持装置。
3. 前記ウエハ回転駆動手段は、前記１対のアタッチメントユニットの中、少なくとも一方の前記アタッチメントの向きを軸回り方向に調整可能な向き調整手段をさらに備える、
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載のウエハの回転保持装置。
4. 前記ウエハ回転駆動手段は、前記１対のアタッチメントユニットの中、少なくとも一方の前記アタッチメントの高さ位置を上下方向に調整可能な高さ調整手段をさらに備える、
   ことを特徴とする請求項１から３までのいずれか１項に記載のウエハの回転保持装置。
5. 前記ウエハ回転駆動手段は、前記１対のアタッチメントユニットの中、前記ウエハが前記規定の位置に搬入・排出される側に配置されている前記アタッチメントユニットを、前記ウエハの搬入・搬出時の妨げにならない下側の位置へ移動退避可能な昇降手段を設けた、
   ことを特徴とする請求項１から４までのいずれか１項に記載のウエハの回転保持装置。
6. 前記１対のアタッチメントユニットの前記複数個の回転コマの中、少なくとも１つの前記回転コマの位置を、前記ウエハの径に合わせて移動調整可能な位置調整手段をさらに備える、
   ことを特徴とする請求項１から５までのいずれか１項に記載のウエハの回転保持装置。
7. 前記１対のアタッチメントユニットの前記複数個の回転コマの中、少なくとも１つの前記回転コマは前記動力伝達機構と切り離された遊動の回転コマであり、
   前記遊動の回転コマの回転を検出する回転検知センサーをさらに備える、
   ことを特徴とする請求項１から６までのいずれか１項に記載のウエハの回転保持装置。
8. 前記１対のアタッチメントユニットの正対する向きと高さ位置の調整を行う調整治具を更に備えている、
   ことを特徴とする請求項１から７までのいずれか１項に記載のウエハの回転保持装置。
9. 前記ウエハ回転駆動手段は、前記ウエハ回転駆動手段の軸の回りにそれぞれ配置された、前記ウエハ回転駆動手段の回転時に前記ウエハ回転駆動手段の内部に前記ウエハの処理水が浸入するのを封止する回転用ラビリンスと前記ウエハ回転駆動手段の揺動時に前記ウエハ回転駆動手段の内部に前記ウエハの前記処理水が浸入するのを封止する揺動用ラビリンスとをさらに備える、
   ことを特徴とする請求項１から８までのいずれか１項に記載のウエハの回転保持装置。

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